JP7374775B2 - チャックテーブルケース - Google Patents
チャックテーブルケース Download PDFInfo
- Publication number
- JP7374775B2 JP7374775B2 JP2020002123A JP2020002123A JP7374775B2 JP 7374775 B2 JP7374775 B2 JP 7374775B2 JP 2020002123 A JP2020002123 A JP 2020002123A JP 2020002123 A JP2020002123 A JP 2020002123A JP 7374775 B2 JP7374775 B2 JP 7374775B2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- chuck table
- table case
- case
- grinding
- container
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Active
Links
- 239000011347 resin Substances 0.000 claims description 6
- 229920005989 resin Polymers 0.000 claims description 6
- 235000012431 wafers Nutrition 0.000 description 19
- 238000009423 ventilation Methods 0.000 description 4
- 230000003028 elevating effect Effects 0.000 description 2
- 238000000034 method Methods 0.000 description 2
- XLYOFNOQVPJJNP-UHFFFAOYSA-N water Substances O XLYOFNOQVPJJNP-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 239000000919 ceramic Substances 0.000 description 1
- 238000003780 insertion Methods 0.000 description 1
- 230000037431 insertion Effects 0.000 description 1
- 239000000463 material Substances 0.000 description 1
- 230000001681 protective effect Effects 0.000 description 1
- 239000004065 semiconductor Substances 0.000 description 1
- 230000008961 swelling Effects 0.000 description 1
Landscapes
- Packaging Frangible Articles (AREA)
- Mechanical Treatment Of Semiconductor (AREA)
- Dicing (AREA)
- Container, Conveyance, Adherence, Positioning, Of Wafer (AREA)
Description
2:装置ハウジング
3:壁部
4:研削手段
42:研削ホイール
44;研削砥石
5:昇降手段
6:チャックテーブル機構
62:チャックテーブル
64:枠部
64a:底面
66:保持面
68:通気孔
10:チャックテーブルケース
10A:第一のチャックテーブルケース
10B:第二のチャックテーブルケース
12、12A、12B:収容体
121:側壁部
122:底部
122B:盛上り部
123:支持壁
124:囲繞壁
125:把持用凹部
126:余剰凹部
127:連結部
127B:係合凹部
128:支持凸部
S1:支持領域
S2:余剰領域
14、14A、14B:蓋体
14a:上面
14b:側壁部
142、142A、142B:凸部
144、144A、144B:凹部
Claims (2)
- ウエーハを保持するチャックテーブルを収容するチャックテーブルケースであって、チャックテーブルを収容する収容体と、該収容体の開口を閉塞する蓋体とを備え、
該収容体は、底部から立設されたチャックテーブルを支持する少なくとも3個の支持壁と、該支持壁の頂部より高く、チャックテーブルの外周を囲繞する囲繞壁と、該囲繞壁に形成され、手を挿入してチャックテーブルを把持する把持用凹部と、を含み、少なくとも該蓋体は、透明な樹脂で構成されているチャックテーブルケース。 - 該蓋体の上面、又は該収容体の底面のいずれか一方に凸部が形成され、他方には、該凸部に係合される係合凹部が形成され、該凸部と該係合凹部とを係合して重ねることができる請求項1に記載のチャックテーブルケース。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2020002123A JP7374775B2 (ja) | 2020-01-09 | 2020-01-09 | チャックテーブルケース |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2020002123A JP7374775B2 (ja) | 2020-01-09 | 2020-01-09 | チャックテーブルケース |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2021111680A JP2021111680A (ja) | 2021-08-02 |
JP7374775B2 true JP7374775B2 (ja) | 2023-11-07 |
Family
ID=77060172
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2020002123A Active JP7374775B2 (ja) | 2020-01-09 | 2020-01-09 | チャックテーブルケース |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP7374775B2 (ja) |
Families Citing this family (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP7511995B2 (ja) | 2021-02-18 | 2024-07-08 | 株式会社ディスコ | 着脱用具 |
Citations (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2009170780A (ja) | 2008-01-18 | 2009-07-30 | Miraial Kk | クッションシート付ウエハ収納容器 |
JP2019123020A (ja) | 2018-01-11 | 2019-07-25 | 株式会社ディスコ | 加工装置及び加工手段の取り付け方法 |
JP2022534738A (ja) | 2019-06-06 | 2022-08-03 | ラム リサーチ コーポレーション | 回転アライメントを必要とするエッジリングの自動搬送 |
Family Cites Families (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP3409571B2 (ja) * | 1996-03-28 | 2003-05-26 | セイコーエプソン株式会社 | 電子部品の給材容器並びにこれを用いた電子部品の給材方法及び給材装置 |
JP4564638B2 (ja) * | 2000-09-14 | 2010-10-20 | 株式会社ディスコ | ブレードケース |
JP4431016B2 (ja) * | 2004-09-14 | 2010-03-10 | 株式会社ディスコ | ブレードケース |
JP2008062986A (ja) * | 2006-09-11 | 2008-03-21 | Taiheiyo Cement Corp | 静電チャックの搬送保管方法 |
-
2020
- 2020-01-09 JP JP2020002123A patent/JP7374775B2/ja active Active
Patent Citations (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2009170780A (ja) | 2008-01-18 | 2009-07-30 | Miraial Kk | クッションシート付ウエハ収納容器 |
JP2019123020A (ja) | 2018-01-11 | 2019-07-25 | 株式会社ディスコ | 加工装置及び加工手段の取り付け方法 |
JP2022534738A (ja) | 2019-06-06 | 2022-08-03 | ラム リサーチ コーポレーション | 回転アライメントを必要とするエッジリングの自動搬送 |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JP2021111680A (ja) | 2021-08-02 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
JP6031520B2 (ja) | 板ガラスのパッキング装置 | |
JP7164396B2 (ja) | ウエーハ生成装置 | |
WO1997008746A1 (fr) | Recipient contenant des galettes de semiconducteur, structure contenant des galettes de semiconducteur et procede d'introduction et d'extraction de galettes de semiconducteur | |
JP2006335518A (ja) | 基板搬送装置 | |
JP7374775B2 (ja) | チャックテーブルケース | |
JP7018452B2 (ja) | 基板処理システム、基板処理方法及びコンピュータ記憶媒体 | |
KR102251263B1 (ko) | 연삭 장치, 보호 테이프 접착 방법 및 보호 테이프 | |
JP5759779B2 (ja) | 板材の加工装置 | |
JP5731158B2 (ja) | 加工装置 | |
JP2002246347A (ja) | ウェーハの平面加工装置及びその平面加工方法 | |
JP2012119489A (ja) | 加工対象物搭載台装置 | |
JP7071818B2 (ja) | 基板処理システム | |
WO2020090518A1 (ja) | 基板供給システムおよび基板加工装置 | |
JP5773841B2 (ja) | ユニット搬出入装置 | |
JP2018176323A (ja) | 加工装置 | |
JP2020183001A (ja) | 加工装置 | |
JP2003077982A (ja) | 搬送装置 | |
JP6522476B2 (ja) | 搬送機構 | |
JP4705765B2 (ja) | 円板ワークのローダハンド | |
JP4526316B2 (ja) | 被加工物搬送装置 | |
JP4261951B2 (ja) | 基板処理装置 | |
JP2022103995A (ja) | テープマウンタ | |
JP4488581B2 (ja) | 研削装置 | |
JP4564695B2 (ja) | ウェーハカセット並びに半導体ウェーハの搬入方法及び搬出方法 | |
JP7440288B2 (ja) | 加工装置 |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20221125 |
|
RD03 | Notification of appointment of power of attorney |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A7423 Effective date: 20230824 |
|
TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20230929 |
|
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20231003 |
|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20231025 |
|
R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
Ref document number: 7374775 Country of ref document: JP Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 |