JP7374513B2 - バルブ - Google Patents
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Description
ボディ10は、ボディ本体11と、シート12と、ボンネット13と、ダイヤフラム14と、押えアダプタ15と、ダイヤフラム押え16と、ステム17と、圧縮コイルスプリング18を備える。
アクチュエータ20は、ケーシング21と、第1ストローク調整部22と、駆動部30と、第2ストローク調整部40とを備える。ケーシング21は、下ケーシング25と、下端部が下ケーシング25の上端部に螺合された上ケーシング26とを有する。
に螺合されている。第2下突出部25Cは螺合部に相当し、雄ねじ部25Eは第1ねじ部に相当する。
駆動部30は、第1ピストン31と、仕切ディスク32と、第2ピストン33、駆動軸34とを有する。
センサ部2は、ステム17の変位を検知するための変位センサであり、図2に示すように、磁石2AとホールIC2Bと配線2Cを有するホールセンサである。磁石2Aは、円環状をなし、ステム17のフランジ17Aの磁石収容溝17bに収容されている。ホールIC2Bは、収容凹部13fに収容されている。ホールIC2Bは、ホール素子とオペアンプ等の増幅回路とを有する。配線2Cは、ホールIC2Bに接続され、第2貫通孔13eを介して外部へ延び、制御部3に接続されている。
制御部3は、CPU(Central Processing Unit)と、記憶部とを備える。記憶部は、各種プログラムを記憶し、当該プログラムがCPUに読み出されて実行されることにより、後述のストローク算出処理が行われる。
次に、本実施形態に係るバルブ1の開閉動作について説明する。
次に、ステム17のストローク量の調整方法について説明する。ステム17のストローク量を調整することにより、バルブ1の流量(Cv値)を変更することができる。
Claims (6)
- 流入路および流出路が形成されたボディと、
前記流入路および前記流出路を開閉する弁体と、
前記弁体により前記流入路および前記流出路を連通または遮断させるために、前記ボディに対し近接および離間移動するステムと、
前記ステムのストローク量を調整するストローク調整部と、
前記ステムの下端の変位を検知する変位センサと、を備えるバルブ。 - 前記変位センサにより、バルブが開状態または閉状態において検知された測定値に基づき、前記ステムのストローク算出のためのゼロ点を設定する制御部を備える、請求項1に記載のバルブ。
- 前記制御部は、前記変位センサの測定値と、閾値とに基づき、バルブが開状態か閉状態かを判定する、請求項2に記載のバルブ。
- 前記制御部は、前記変位センサにより、バルブが開状態および閉状態において検知された測定値に基づき、前記閾値を更新する、請求項3に記載のバルブ。
- 前記ストローク調整部は、第1ストローク調整部と、前記第1ストローク調整部とは異なる位置に設けられた第2ストローク調整部とを備える請求項1から請求項4のいずれか一項に記載のバルブ。
- 第1ねじ孔が形成され、前記ボディに固定されたボンネットと、
ケーシングおよび前記ケーシングに収容された駆動部を有するアクチュエータと、をさらに備え、
前記ケーシングは、円筒状をなし、前記ステムが当接可能であり、外周に前記第1ねじ孔に螺合する第1ねじ部が設けられた螺合部を有し、
前記駆動部は、前記ステムに連結され、前記ステムと共に前記ボディに対し近接および離間移動する駆動軸を有し、
前記第1ねじ部および前記第1ねじ孔は、前記第1ストローク調整部を構成し、
前記第2ストローク調整部は、前記ケーシングにおいて、前記駆動部に対する前記螺合部側の反対側に設けられ、
前記第2ストローク調整部は、円筒状をなし回転可能に設けられ第2ねじ孔を有するハンドルと、外周に前記第2ねじ孔に螺合する第2ねじ部が設けられ前記駆動軸が当接可能な移動ディスクとを有し、
前記第1ストローク調整部は、前記ケーシングを回転させて、前記螺合部の前記第1ねじ部を前記ボンネットの第1ねじ孔に対して回転させることにより、前記ケーシングの前記ボディに対する位置を調整して、前記ステムのストローク量を調整するように構成され、
前記第2ストローク調整部は、前記ハンドルを回転させて、互いに螺合している前記第2ねじ孔と前記第2ねじ部により、前記移動ディスクを移動させて、前記移動ディスクの前記ボディに対する位置を調整して、前記ステムのストローク量を調整するように構成され、
前記第2ねじ部および前記第2ねじ孔のピッチは、前記第1ねじ部および前記第1ねじ孔のピッチよりも小さく構成されている、請求項5に記載のバルブ。
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---|---|---|---|---|
KR102542263B1 (ko) * | 2019-01-31 | 2023-06-13 | 가부시키가이샤 후지킨 | 밸브장치, 이 밸브장치를 사용한 유량 제어방법, 유체 제어장치, 반도체 제조방법, 및 반도체 제조장치 |
US20230243437A1 (en) * | 2022-02-03 | 2023-08-03 | Safoco, Inc. | Actuator assemblies and related methods for valve systems |
Citations (10)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2002106744A (ja) | 2000-09-28 | 2002-04-10 | Techno Excel Co Ltd | 電磁式給水弁装置 |
JP2002238288A (ja) | 2001-02-06 | 2002-08-23 | Honda Motor Co Ltd | 変位センサの故障制御装置 |
DE202006012959U1 (de) | 2006-08-21 | 2006-10-26 | Kieselmann Gmbh | Doppelt dichtendes Ventil, insbesondere für Lebensmittel, Getränke- und die pharmazeutische Industrie |
WO2007026448A1 (ja) | 2005-08-30 | 2007-03-08 | Fujikin Incorporated | ダイレクトタッチ型メタルダイヤフラム弁 |
JP2007525622A (ja) | 2003-10-03 | 2007-09-06 | スワゲロック カンパニー | 流れ制御デバイスのためのダイヤフラムモニタリング |
JP2011220461A (ja) | 2010-04-09 | 2011-11-04 | Kitz Corp | 電動アクチュエータ |
WO2016104203A1 (ja) | 2014-12-25 | 2016-06-30 | 株式会社フジキン | 流体制御器 |
WO2017191852A1 (ja) | 2017-06-16 | 2017-11-09 | 株式会社小松製作所 | フィルタ状態推定システムおよびフィルタ状態の推定方法 |
CN107420627A (zh) | 2016-05-12 | 2017-12-01 | 波凯特有限及两合公司 | 控制阀的方法以及阀 |
WO2019106960A1 (ja) | 2017-11-29 | 2019-06-06 | 株式会社フジキン | バルブ、バルブの異常診断方法、及びコンピュータプログラム |
Family Cites Families (17)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS5527548A (en) * | 1978-08-16 | 1980-02-27 | Fuji Kinzoku Kosaku Kk | Indicator of opening degree of valve |
JP2541613Y2 (ja) * | 1991-01-11 | 1997-07-16 | 清原 まさ子 | 制御器 |
US5826613A (en) * | 1993-05-19 | 1998-10-27 | Georg Fischer Rohrleitungssysteme Ag | Flow control valve |
US5654885A (en) * | 1995-03-28 | 1997-08-05 | Virginia Valve Company Corporation | Valve position controller |
US5755428A (en) * | 1995-12-19 | 1998-05-26 | Veriflow Corporation | Valve having metal-to metal dynamic seating for controlling the flow of gas for making semiconductors |
US6272401B1 (en) * | 1997-07-23 | 2001-08-07 | Dresser Industries, Inc. | Valve positioner system |
JPH10148275A (ja) * | 1997-11-12 | 1998-06-02 | Ckd Corp | エアーオペレートバルブ |
JP3553526B2 (ja) | 2001-06-27 | 2004-08-11 | 株式会社キッツエスシーティー | 可変流量バルブ |
JP4108596B2 (ja) * | 2003-12-04 | 2008-06-25 | 株式会社キッツエスシーティー | 手動操作機構部付き複合自動弁 |
WO2006112011A1 (ja) * | 2005-04-13 | 2006-10-26 | Ckd Corporation | 誤動作防止手動弁 |
JP2009127704A (ja) * | 2007-11-21 | 2009-06-11 | Alps Electric Co Ltd | バルブ装置及び多層化基板 |
JP4971405B2 (ja) * | 2009-09-29 | 2012-07-11 | シーケーディ株式会社 | 複合弁 |
JP5243513B2 (ja) * | 2010-10-25 | 2013-07-24 | Ckd株式会社 | 流体制御弁の弁座構造 |
US9133958B2 (en) * | 2012-02-01 | 2015-09-15 | Tescom Corporation | Manual overrides for valves |
WO2019065047A1 (ja) * | 2017-09-30 | 2019-04-04 | 株式会社フジキン | 流体供給ライン及び動作解析システム |
KR102268648B1 (ko) * | 2017-09-30 | 2021-06-23 | 가부시키가이샤 후지킨 | 유체 공급 라인 |
IL279612B2 (en) * | 2018-07-09 | 2023-10-01 | Fujikin Kk | Fluid control device |
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2021
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Patent Citations (10)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2002106744A (ja) | 2000-09-28 | 2002-04-10 | Techno Excel Co Ltd | 電磁式給水弁装置 |
JP2002238288A (ja) | 2001-02-06 | 2002-08-23 | Honda Motor Co Ltd | 変位センサの故障制御装置 |
JP2007525622A (ja) | 2003-10-03 | 2007-09-06 | スワゲロック カンパニー | 流れ制御デバイスのためのダイヤフラムモニタリング |
WO2007026448A1 (ja) | 2005-08-30 | 2007-03-08 | Fujikin Incorporated | ダイレクトタッチ型メタルダイヤフラム弁 |
DE202006012959U1 (de) | 2006-08-21 | 2006-10-26 | Kieselmann Gmbh | Doppelt dichtendes Ventil, insbesondere für Lebensmittel, Getränke- und die pharmazeutische Industrie |
JP2011220461A (ja) | 2010-04-09 | 2011-11-04 | Kitz Corp | 電動アクチュエータ |
WO2016104203A1 (ja) | 2014-12-25 | 2016-06-30 | 株式会社フジキン | 流体制御器 |
CN107420627A (zh) | 2016-05-12 | 2017-12-01 | 波凯特有限及两合公司 | 控制阀的方法以及阀 |
WO2017191852A1 (ja) | 2017-06-16 | 2017-11-09 | 株式会社小松製作所 | フィルタ状態推定システムおよびフィルタ状態の推定方法 |
WO2019106960A1 (ja) | 2017-11-29 | 2019-06-06 | 株式会社フジキン | バルブ、バルブの異常診断方法、及びコンピュータプログラム |
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