JP7371004B2 - 撮像装置及び電子機器 - Google Patents
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Description
受光部を含む画素が行列状に配置されて成る画素アレイ部が形成された第1の基板、及び、画素を制御する画素制御部が形成された第2の基板が積層されて成り、
第1の基板は、
第1の電圧を伝送する第1の配線、
第2の電圧を伝送する第2の配線、及び、
画素アレイ部を、複数の画素列又は複数の画素行を単位として複数の画素ブロックに分割したとき、画素ブロック毎に、配線不良の検出を行う不良検出回路を備え、
不良検出回路は、
配線不良の検出時に、画素ブロック毎に、複数の画素列又は複数の画素行に対応する複数の配線を直列に接続し、各画素ブロックの直列に接続された配線チェーンの一端を第1の配線に接続し、他端を第2の配線に接続し、
配線チェーンの中間位置の電位に基づいて配線不良の検出を行う。
1.本開示の撮像装置及び電子機器、全般に関する説明
2.本開示の撮像装置
2-1.CMOSイメージセンサの構成例
2-2.画素の構成例
2-3.アナログ-デジタル変換部の構成例
2-4.積層型のチップ構造
2-5.配線のショート/オープン不良について
3.実施形態の説明
3-1.実施例1(画素チップの基本的な構成例)
3-2.実施例2(実施例1に係る画素チップの具体的な構成例)
4.変形例
5.応用例
6.本開示に係る技術の適用例
6-1.本開示の電子機器(撮像システムの例)
6-2.内視鏡手術システムへの応用例
6-3.移動体への応用例
7.本開示がとることができる構成
本開示の撮像装置及び電子機器にあっては、不良検出回路について、配線不良の検出時に、第1の配線と第2の配線との間に、画素ブロック毎に、複数の配線を直列に接続して配線チェーンを構成するスイッチ素子群を有する構成とすることができる。このとき、スイッチ素子群の一方の端部のスイッチ素子が第1の配線に接続され、他方の端部のスイッチ素子が第2の配線に接続された構成とすることができる。
本開示に係る技術が適用される撮像装置(即ち、本開示の撮像装置)の基本的な構成について説明する。ここでは、撮像装置として、X-Yアドレス方式の撮像装置の一種であるCMOS(Complementary Metal Oxide Semiconductor)イメージセンサを例に挙げて説明する。CMOSイメージセンサは、CMOSプロセスを応用して、又は、部分的に使用して作製されたイメージセンサである。
図1は、本開示の撮像装置の一例であるCMOSイメージセンサの基本的な構成の概略を示すブロック図である。
図2は、画素2の回路構成の一例を示す回路図である。画素2は、受光部である光電変換部として、例えば、フォトダイオード21を有している。画素2は、フォトダイオード21に加えて、転送トランジスタ22、リセットトランジスタ23、増幅トランジスタ24、及び、選択トランジスタ25を有する画素構成となっている。
次に、列並列アナログ-デジタル変換部14の構成例について説明する。図3は、列並列アナログ-デジタル変換部14の構成の一例を示すブロック図である。本開示のCMOSイメージセンサ1におけるアナログ-デジタル変換部14は、垂直信号線321~32nの各々に対応して設けられた複数のシングルスロープ型アナログ-デジタル変換器の集合から成る。ここでは、n列目のシングルスロープ型アナログ-デジタル変換器140を例に挙げて説明する。
上記の構成のCMOSイメージセンサ1のチップ(半導体集積回路)構造は、積層型のチップ構造(所謂、積層チップ)となっている。また、画素2の構造については、配線層が形成される側の基板面を表面(正面)とするとき、その反対側の裏面側から照射される光を取り込む裏面照射型の画素構造とすることもできるし、表面側から照射される光を取り込む表面照射型の画素構造とすることもできる。
画素チップ41に搭載される画素アレイ部11の回路構成は、図1に示すように、列方向に垂直信号線321~32n、及び、行方向に画素制御線311~31mの各配線が張り巡らされる。これらの配線にショート(短絡)/オープン(断線)の不良が発生すると、撮像装置の出力映像の線欠陥となる。そして、これらの配線不良は、チップ不良の主要因となっている。
近年の積層構造の撮像装置は、多画素、高速化のために画素単体の不良率よりも、画素制御線311~31mや垂直信号線321~32nの配線の不良率が高い傾向にある。そこで、本開示の実施形態では、画素アレイ部11が形成される画素チップ41において、配線層のみのチェックを主眼におき、最小限の回路を追加することにより、画素制御線311~31mや垂直信号線321~32nの配線不良、具体的には、オープン不良(断線)の検出を実現できるようにする。
実施例1は、本開示の実施形態に係る画素チップ41の基本的な構成例である。実施例1に係る画素チップ41の基本的な構成の一例を図8に示す。
実施例2は、実施例1に係る画素チップ41の具体的な構成例である。実施例2に係る画素チップ41の具体的な構成の一例を図9に示す。
ケース(1)は、デイジチェーンにおける垂直信号線vsl#1~vsl#jにオープン不良が発生しない場合である。ケース(1)では、デイジチェーンの中間位置Vmの電位が電圧値VDD1の1/2になる。この中間位置Vmの電位は、スイッチトランジスタTr1を介してスイッチトランジスタTr2のゲート電極に入力される。図11Aの表における条件(3)_1により、スイッチトランジスタTr2は、ゲート電圧がソース・ドレイン電圧より低いためオフ状態になる。従って、ケース(1)の場合、テストパッド535,536間にショート電流が発生しない。
ケース(2)は、デイジチェーンの一端と中間位置Vmとの間の、垂直信号線vsl#1~vsl#j/2にオープン不良が発生し、且つ、垂直信号線vsl#(j/2+1)~vsl#jにオープン不良が発生しなかった場合である。この場合、デイジチェーンの中間位置Vmの電位がVbの電位に引っ張られる。つまり、設定aでは、中間位置Vmの電位が接地レベルGNDになり、設定bでは、中間位置Vmの電位がVDD1になる。そうすると、設定bでのスイッチトランジスタTr2が、図11Aの表における条件(3)_2によってオン状態となる。これにより、テストパッド535,536間に、接続配線525,526を通してショートパスが形成され、ショート電流が発生する。尚、設定aでは、スイッチトランジスタTr2がオフとなるため、テストパッド535,536間にショート電流が発生しない。
ケース(3)は、デイジチェーンの中間位置Vmと他端との間の、垂直信号線vsl#1~vsl#j/2にオープン不良が発生せず、且つ、垂直信号線vsl#(j/2+1)~vsl#jにオープン不良が発生した場合である。この場合、デイジチェーンの中間位置Vmの電位がVaの電位に引っ張られる。つまり、設定bでは、中間位置Vmの電位がVDD1になり、設定aでは、中間位置Vmの電位が接地レベルGNDになる。そうすると、設定bではスイッチトランジスタTr2がオン状態となるため、テストパッド535,536間に、接続配線525,526を通してショートパスが形成され、ショート電流が発生する。尚、設定aでは、スイッチトランジスタTr2がオフ状態となるため、テストパッド535,536間にショート電流が発生しない。
ケース(4)は、垂直信号線vsl#1~vsl#j/2にも、垂直信号線vsl#(j/2+1)~vsl#jにもオープン不良が発生した場合である。この場合、設定a,bのデイジチェーンの中間位置Vmの電位が不定の状態になる。もし、両方の設定a,bでも、スイッチトランジスタTr2がたまたまオン状態になってしまった場合、オープン不良の検出漏れになる。
以上、本開示に係る技術について、好ましい実施形態に基づき説明したが、本開示に係る技術は当該実施形態に限定されるものではない。上記の実施形態において説明した撮像装置の構成、構造は例示であり、適宜、変更することができる。
以上説明した本実施形態に係る撮像装置は、例えば図14に示すように、可視光、赤外光、紫外光、X線等の光をセンシングする様々な装置に使用することができる。様々な装置の具体例について以下に列挙する。
・自動停止等の安全運転や、運転者の状態の認識等のために、自動車の前方や後方、周囲、車内等を撮影する車載用センサ、走行車両や道路を監視する監視カメラ、車両間等の測距を行う測距センサ等の、交通の用に供される装置
・ユーザのジェスチャを撮影して、そのジェスチャに従った機器操作を行うために、TVや、冷蔵庫、エアーコンディショナ等の家電に供される装置
・内視鏡や、赤外光の受光による血管撮影を行う装置等の、医療やヘルスケアの用に供される装置
・防犯用途の監視カメラや、人物認証用途のカメラ等の、セキュリティの用に供される装置
・肌を撮影する肌測定器や、頭皮を撮影するマイクロスコープ等の、美容の用に供され装置
・スポーツ用途等向けのアクションカメラやウェアラブルカメラ等の、スポーツの用に供される装置
・畑や作物の状態を監視するためのカメラ等の、農業の用に供される装置
本開示に係る技術は、様々な製品に適用することができる。より具体的には、デジタルスチルカメラやビデオカメラ等の撮像システムや、携帯電話機などの撮像機能を有する携帯端末装置や、画像読取部に撮像素子を用いる複写機などの電子機器に適用することができる。以下に、デジタルスチルカメラやビデオカメラ等の撮像システムに適用する場合について説明する。
図15は、本開示の電子機器の一例である撮像システムの構成を示すブロック図である。図15に示すように、本例に係る撮像システム100は、レンズ群等を含む撮像光学系101、撮像部102、DSP(Digital Signal Processor)回路103、フレームメモリ104、表示装置105、記録装置106、操作系107、及び、電源系108等を有している。そして、DSP回路103、フレームメモリ104、表示装置105、記録装置106、操作系107、及び、電源系108がバスライン109を介して相互に接続された構成となっている。
本開示に係る技術(本技術)は、様々な製品へ応用することができる。例えば、本開示に係る技術は、内視鏡手術システムに適用されてもよい。
本開示に係る技術(本技術)は、内視鏡手術システムの他、様々な製品へ応用することができる。例えば、本開示に係る技術は、自動車、電気自動車、ハイブリッド電気自動車、自動二輪車、自転車、パーソナルモビリティ、飛行機、ドローン、船舶、ロボット、建設機械、農業機械(トラクター)などのいずれかの種類の移動体に搭載される撮像素子として実現されてもよい。
尚、本開示は、以下のような構成をとることもできる。
[A-1]受光部を含む画素が行列状に配置されて成る画素アレイ部が形成された第1の基板、及び、画素を制御する画素制御部が形成された第2の基板が積層されて成り、
第1の基板は、
第1の電圧を伝送する第1の配線、
第2の電圧を伝送する第2の配線、及び、
画素アレイ部を、複数の画素列又は複数の画素行を単位として複数の画素ブロックに分割したとき、画素ブロック毎に、配線不良の検出を行う不良検出回路を備え、
不良検出回路は、
配線不良の検出時に、画素ブロック毎に、複数の画素列又は複数の画素行に対応する複数の配線を直列に接続し、各画素ブロックの直列に接続された配線チェーンの一端を第1の配線に接続し、他端を第2の配線に接続し、
配線チェーンの中間位置の電位に基づいて配線不良の検出を行う、
撮像装置。
[A-2]不良検出回路は、配線不良の検出時に、第1の配線と第2の配線との間に、画素ブロック毎に、複数の配線を直列に接続して配線チェーンを構成するスイッチ素子群を有し、
スイッチ素子群の一方の端部のスイッチ素子が第1の配線に接続され、他方の端部のスイッチ素子が第2の配線に接続されている、
上記[A-1]に記載の撮像装置。
[A-3]第1の基板は、
第3の電圧を伝送する第3の配線、及び、
第4の電圧を伝送する第4の配線を有し、
不良検出回路は、
配線チェーンの中間位置に接続され、中間位置の電位を読み出す第1のスイッチ素子、及び、
第3の配線と第4の配線との間に接続され、第1のスイッチ素子を通して読み出された中間位置の電位に応じてオン/オフ動作を行う第2のスイッチ素子を有する、
上記[A-1]又は上記[A-2]に記載の撮像装置。
[A-4]不良検出回路は、第3の配線と第4の配線との間にショート電流が発生するか否かによって配線不良の検出を行う、
上記[A-3]に記載の撮像装置。
[A-5]不良検出回路は、配線チェーンの一端と中間位置との間における配線の断線不良、又は、配線チェーンの中間位置と他端との間における配線の断線不良の検出を行う、
上記[A-4]に記載の撮像装置。
[A-6]不良検出回路のスイッチ素子群の各スイッチ素子、第1のスイッチ素子、及び、第2のスイッチ素子は、画素を構成するトランジスタと同じ導電型のトランジスタから成る、
上記[A-3]に記載の撮像装置。
[A-7]画素を構成するトランジスタが、NチャネルMOSトランジスタから成るとき、
不良検出回路のスイッチ素子群の各スイッチ素子、第1のスイッチ素子、及び、第2のスイッチ素子は、画素と同種のNチャネルMOSトランジスタから成る、
上記[A-6]に記載の撮像装置。
[B-1]受光部を含む画素が行列状に配置されて成る画素アレイ部が形成された第1の基板、及び、画素を制御する画素制御部が形成された第2の基板が積層されて成り、
第1の基板は、
第1の電圧を伝送する第1の配線、
第2の電圧を伝送する第2の配線、及び、
画素アレイ部を、複数の画素列又は複数の画素行を単位として複数の画素ブロックに分割したとき、画素ブロック毎に、配線不良の検出を行う不良検出回路を備え、
不良検出回路は、
配線不良の検出時に、画素ブロック毎に、複数の画素列又は複数の画素行に対応する複数の配線を直列に接続し、各画素ブロックの直列に接続された配線チェーンの一端を第1の配線に接続し、他端を第2の配線に接続し、
配線チェーンの中間位置の電位に基づいて配線不良の検出を行う、
撮像装置を有する電子機器。
[B-2]不良検出回路は、配線不良の検出時に、第1の配線と第2の配線との間に、画素ブロック毎に、複数の配線を直列に接続して配線チェーンを構成するスイッチ素子群を有し、
スイッチ素子群の一方の端部のスイッチ素子が第1の配線に接続され、他方の端部のスイッチ素子が第2の配線に接続されている、
上記[B-1]に記載の電子機器。
[B-3]第1の基板は、
第3の電圧を伝送する第3の配線、及び、
第4の電圧を伝送する第4の配線を有し、
不良検出回路は、
配線チェーンの中間位置に接続され、中間位置の電位を読み出す第1のスイッチ素子、及び、
第3の配線と第4の配線との間に接続され、第1のスイッチ素子を通して読み出された中間位置の電位に応じてオン/オフ動作を行う第2のスイッチ素子を有する、
上記[B-1]又は上記[B-2]に記載の電子機器。
[B-4]不良検出回路は、第3の配線と第4の配線との間にショート電流が発生するか否かによって配線不良の検出を行う、
上記[B-3]に記載の電子機器。
[B-5]不良検出回路は、配線チェーンの一端と中間位置との間における配線の断線不良、又は、配線チェーンの中間位置と他端との間における配線の断線不良の検出を行う、
上記[B-4]に記載の電子機器。
[B-6]不良検出回路のスイッチ素子群の各スイッチ素子、第1のスイッチ素子、及び、第2のスイッチ素子は、画素を構成するトランジスタと同じ導電型のトランジスタから成る、
上記[B-3]に記載の電子機器。
[B-7]画素を構成するトランジスタが、NチャネルMOSトランジスタから成るとき、
不良検出回路のスイッチ素子群の各スイッチ素子、第1のスイッチ素子、及び、第2のスイッチ素子は、画素と同種のNチャネルMOSトランジスタから成る、
上記[B-6]に記載の電子機器。
Claims (8)
- 受光部を含む画素が行列状に配置されて成る画素アレイ部が形成された第1の基板、及び、画素を制御する画素制御部が形成された第2の基板が積層されて成り、
第1の基板は、
第1の電圧を伝送する第1の配線、
第2の電圧を伝送する第2の配線、及び、
画素アレイ部を、複数の画素列又は複数の画素行を単位として複数の画素ブロックに分割したとき、画素ブロック毎に、配線不良の検出を行う不良検出回路を備え、
不良検出回路は、
配線不良の検出時に、画素ブロック毎に、複数の画素列又は複数の画素行に対応する複数の配線を直列に接続し、各画素ブロックの直列に接続された配線チェーンの一端を第1の配線に接続し、他端を第2の配線に接続し、
配線チェーンの中間位置の電位に基づいて配線不良の検出を行う、
撮像装置。 - 不良検出回路は、配線不良の検出時に、第1の配線と第2の配線との間に、画素ブロック毎に、複数の配線を直列に接続して配線チェーンを構成するスイッチ素子群を有し、
スイッチ素子群の一方の端部のスイッチ素子が第1の配線に接続され、他方の端部のスイッチ素子が第2の配線に接続されている、
請求項1に記載の撮像装置。 - 第1の基板は、
第3の電圧を伝送する第3の配線、及び、
第4の電圧を伝送する第4の配線を有し、
不良検出回路は、
配線チェーンの中間位置に接続され、中間位置の電位を読み出す第1のスイッチ素子、及び、
第3の配線と第4の配線との間に接続され、第1のスイッチ素子を通して読み出された中間位置の電位に応じてオン/オフ動作を行う第2のスイッチ素子を有する、
請求項1に記載の撮像装置。 - 不良検出回路は、第3の配線と第4の配線との間にショート電流が発生するか否かによって配線不良の検出を行う、
請求項3に記載の撮像装置。 - 不良検出回路は、配線チェーンの一端と中間位置との間における配線の断線不良、又は、配線チェーンの中間位置と他端との間における配線の断線不良の検出を行う、
請求項4に記載の撮像装置。 - 不良検出回路のスイッチ素子群の各スイッチ素子、第1のスイッチ素子、及び、第2のスイッチ素子は、画素を構成するトランジスタと同じ導電型のトランジスタから成る、
請求項3に記載の撮像装置。 - 画素を構成するトランジスタが、NチャネルMOSトランジスタから成るとき、
不良検出回路のスイッチ素子群の各スイッチ素子、第1のスイッチ素子、及び、第2のスイッチ素子は、画素と同種のNチャネルMOSトランジスタから成る、
請求項6に記載の撮像装置。 - 受光部を含む画素が行列状に配置されて成る画素アレイ部が形成された第1の基板、及び、画素を制御する画素制御部が形成された第2の基板が積層されて成り、
第1の基板は、
第1の電圧を伝送する第1の配線、
第2の電圧を伝送する第2の配線、及び、
画素アレイ部を、複数の画素列又は複数の画素行を単位として複数の画素ブロックに分割したとき、画素ブロック毎に、配線不良の検出を行う不良検出回路を備え、
不良検出回路は、
配線不良の検出時に、画素ブロック毎に、複数の画素列又は複数の画素行に対応する複数の配線を直列に接続し、各画素ブロックの直列に接続された配線チェーンの一端を第1の配線に接続し、他端を第2の配線に接続し、
配線チェーンの中間位置の電位に基づいて配線不良の検出を行う、
撮像装置を有する電子機器。
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