JP7360355B2 - シリンダ装置 - Google Patents

Description

本発明は、シリンダ装置に関する。

従来、この種のシリンダ装置としては、たとえば、鉄道車両の車体と台車との間に介装されて、車両進行方向に対して左右方向の車体の振動を抑制するダンパやアクチュエータが知られている。

近年では、特に、振動が激しい編成端車両や集電装置付車両、特別料金を支払う特別車両では、鉄道車両の乗心地の向上のため、ダンパをセミアクティブダンパとしたり、アクチュエータにもセミアクティブダンパ機能を持たせたりといった工夫がなされている。

このようなセミアクティブダンパやアクチュエータでは、シリンダ内の圧力の制御のために圧力制御弁を備える他、シリンダ内のロッド側室とピストン側室との間の通路と、ピストン側室とタンクとの間の通路とに設けた二つの開閉弁を備えている。そして、圧力制御弁と二つの開閉弁は、電磁弁であって、シリンダの端部を閉塞するボトムキャップに連結されるバルブブロックに装着されている（たとえば、特許文献１参照）。

特開２０１６－０８４８４１号公報

このように、バルブブロックの利用によって圧力制御弁および開閉弁をボトムキャップに連結する場合、バルブブロックとボトムキャップとをボルトの利用によって締結するため、振動入力によってボルトが緩んでバルブブロックとボトムキャップとの間から作動油が漏洩する可能性を指摘される場合がある。

バルブブロックとボトムキャップとをボルトの利用によって締結するため、ボルトを装着するスペースが必要となるのでシリンダ装置が大型化してしまうとともに部品点数が多くなるという問題もある。

そこで、本発明は、部品点数の削減と小型化が可能であって液体の外部漏れの心配のないシリンダ装置の提供を目的としている。

前記した目的を達成するため、本発明の課題解決手段におけるシリンダ装置は、シリンダと、シリンダ内に摺動自在に挿入されるピストンと、シリンダ内に挿入されてピストンに連結されるロッドと、シリンダの一端を閉塞するとともにロッドの内周側への挿通を許容してロッドの軸方向の移動を案内する環状のロッドガイドと、シリンダの他端を閉塞するボトムキャップと、シリンダ内にピストンで区画されるロッド側室およびピストン側室と、液体を貯留するタンクと、ピストン側室からロッド側室へ向かう液体の流れのみを許容する整流通路と、タンクからピストン側室へ向かう液体の流れのみを許容する吸込通路と、ロッド側室とピストン側室とを連通する第一通路と、第一通路の途中に設けた第一開閉弁と、ピストン側室とタンクとを連通する第二通路と、第二通路の途中に設けた第二開閉弁と、ロッド側室をタンクへ接続する排出通路と、排出通路の途中に設けた制御弁とを備え、ロッドガイドを蓋部材とし、第一開閉弁は、蓋部材内に設けられて第一通路を開閉する第一弁体と、蓋部材に装着されて第一弁体を駆動する第一ソレノイドとを有し、第二開閉弁は、蓋部材内に設けられて第二通路を開閉する第二弁体と、蓋部材に装着されて第二弁体を駆動する第二ソレノイドとを有し、制御弁は、蓋部材内に設けられて排出通路を開閉する制御弁体と、蓋部材に装着されて制御弁体に推力を作用させる第三ソレノイドとを有している。

このように構成されたシリンダ装置は、一つの部品である蓋部材に第一開閉弁の第一弁体、第二開閉弁の第二弁体および制御弁の制御弁体が内蔵されるので第一開閉弁を構成するバルブブロック、第二開閉弁を構成するバルブブロックおよび制御弁を構成するバルブブロックのそれぞれを蓋部材にボルトで固定する必要がなくなる。

蓋部材をロッドガイドとしているので、重量物である第一開閉弁、第二開閉弁および制御弁がロッドガイドに集中するため、シリンダ装置の重心がロッドガイド付近となってシリンダ装置の重量バランスが向上しシリンダ装置を取り付ける両端側のブラケットの防振ゴムの一方のみに偏った荷重がかかるのを防止できる。

また、シリンダ装置は、タンクとロッド側室とを連通する供給通路と、供給通路の途中に設けられてタンクから液体を吸込んでロッド側室へ液体を供給するポンプと、ポンプを駆動するモータとを備え、ボトムキャップにポンプとモータが装着されてもよい。このように構成されたシリンダ装置によれば、重量物である第一開閉弁、第二開閉弁および制御弁と、同じく重量物であるポンプおよびモータとをシリンダのロッドガイドとボトムキャップとにバランスよく配置できるので、重量バランスに優れ、ブラケットに設けられる防振ゴムの一方のみに大きな荷重が作用するのを防止できる。

本発明のシリンダ装置によれば、部品点数の削減と小型化が可能であって液体の外部漏れの心配もなくなる。

本発明の第一の実施の形態におけるシリンダ装置の縦断面図である。 本発明のシリンダ装置を鉄道車両に適用した状態を示す図である。 本発明の第二の実施の形態におけるシリンダ装置の縦断面図である。 本発明の第三の実施の形態におけるシリンダ装置の縦断面図である。 本発明の第四の実施の形態におけるシリンダ装置の縦断面図である。 本発明のシリンダ装置における制御弁の回路図の一例である。

以下、図に示した実施の形態に基づき、本発明を説明する。以下に説明する各実施の形態のシリンダ装置Ｃ，Ｃ１，Ｃ２，Ｃ３において、同一の部品については同一の符号を付しており、説明が重複するため、一実施の形態で説明した同一の部品については他の実施の形態の説明では詳しい説明を省略する。

第一の実施の形態のシリンダ装置Ｃは、図１に示すように、鉄道車両の車体Ｂの左右動を抑制するダンパとされている。シリンダ装置Ｃは、図１に示すように、シリンダ１と、シリンダ１の一端に設けられてシリンダ１の端部を閉塞する蓋部材としての環状のロッドガイド２と、シリンダ１内に摺動自在に挿入されるピストン３と、シリンダ１内に挿入されてピストン３に連結されるロッド４と、シリンダ１内にピストン３で区画されるロッド側室Ｒ１およびピストン側室Ｒ２と、作動油を貯留するタンクＴと、ピストン側室Ｒ２からロッド側室Ｒ１へ向かう作動油の流れのみを許容する整流通路５と、タンクＴからピストン側室Ｒ２へ向かう作動油の流れのみを許容する吸込通路６と、ロッド側室Ｒ１とピストン側室Ｒ２とを連通する第一通路７と、第一通路７の途中に設けた第一開閉弁８と、ピストン側室Ｒ２とタンクＴを連通する第二通路９と、第二通路９の途中に設けた第二開閉弁１０と、ロッド側室Ｒ１をタンクＴへ接続する排出通路１１と、排出通路１１の途中に設けた制御弁１２とを備えて構成されている。

そして、このシリンダ装置Ｃは、図２に示すように、鉄道車両の台車Ｗと車体Ｂとの間に介装されて、車体Ｂの車両進行方向に対して水平横方向の振動を抑制するように車体Ｂの制振装置として使用される。

以下、シリンダ装置Ｃの各部について詳細に説明する。シリンダ１は、筒状であって、図１中左端となる一端が蓋部材としてのロッドガイド２によって閉塞されている。また、シリンダ１の図１中右端となる他端には、バルブケース１３が嵌合されている。ロッドガイド２の内周には、シリンダ１内に移動自在に挿入されるロッド４が挿通されている。ロッドガイド２は、ロッド４の外周に摺接していて、ロッド４のシリンダ１に対する軸方向の移動を案内する。ロッド４の一端は、シリンダ１外へ突出しており、ロッド４の他端は、シリンダ１内に摺動自在に挿入されるピストン３に連結されている。

シリンダ１の外周側には、シリンダ１の外周を覆う外筒１４が設けられている。外筒１４は、筒部１４ａと、筒部１４ａの図１中左端に溶接によって取り付けられるフランジ部１４ｂとを備えている。また、外筒１４は、フランジ部１４ｂの左端から開口する複数の螺子孔１４ｃを備えている。なお、筒部１４ａとフランジ部１４ｂとの接合は、溶接以外の接合方法とされてもよい。外筒１４のフランジ部１４ｂの図１中左端には、環状のヘッドキャップ１５が複数のボルト２０によって締結される。さらに、ロッドガイド２は、ヘッドキャップ１５に複数のボルト２１によって締結される。また、外筒１４の図１中右端には、外筒１４の図１中右端を閉塞するボトムキャップ１６が装着されている。

このように、外筒１４に連結されるヘッドキャップ１５とボトムキャップ１６とによって、シリンダ１とシリンダ１の端部に嵌合するバルブケース１３が挟持されて、外筒１４に対して不動に固定される。外筒１４の図１中左端は、以上のようにロッドガイド２とヘッドキャップ１５によって閉塞され、外筒１４の図１中右端はボトムキャップ１６によって閉塞され、シリンダ１と外筒１４との間の環状隙間が密閉される。そして、タンクＴは、シリンダ１と外筒１４との間の環状隙間によって形成される。

ボトムキャップ１６は、本実施の形態では、直接にシリンダ１に嵌合されてはいないが、外筒１４の筒部１４ａの他端に装着されることでシリンダ１にバルブケース１３を介して連結されている。このようにボトムキャップ１６は、シリンダ１に直接嵌合される他、間接的にシリンダ１に連結されてもよい。

なお、ロッド４の外周は、ロッドガイド２の図１中左端に装着されるシール部材２２ａによってシールされ、シリンダ１内は密閉される。さらに、シリンダ１は、内方に摺動自在に挿入されるピストン３によって、図１中左方のロッド側室Ｒ１と図１中右方のピストン側室Ｒ２とに区画されている。ロッド側室Ｒ１とピストン側室Ｒ２には、作動油等の液体が充填され、タンクＴ内には、液体と気体が充填される。なお、シリンダ装置Ｃに使用される液体は、水、水溶液といった作動油以外の液体とされてもよい。そして、ロッド４の先端である図１中左端には、鉄道車両の台車Ｗに連結可能なブラケット４ａが設けられている。

つづいて、ピストン３には、ピストン側室Ｒ２とロッド側室Ｒ１とを連通するとともに途中に逆止弁５ａを備えた整流通路５が設けられている。逆止弁５ａは、ピストン側室Ｒ２からロッド側室Ｒ１へ向かう作動油の流れのみを許容するようになっており、整流通路５をピストン側室Ｒ２からロッド側室Ｒ１へ向かう作動油の流れのみを許容する一方通行の通路に設定している。

バルブケース１３は、前記したように、シリンダ１の端部に嵌合されてシリンダ１の図１中右端を閉塞している。そして、バルブケース１３は、中央に設けた貫通孔１３ａと、タンクＴとピストン側室Ｒ２を連通するとともに途中に逆止弁６ａを備えた吸込通路６を備えている。バルブケース１３の右端中央には、軸方向に伸びる軸部１３ｂが設けられていて、貫通孔１３ａは、軸部１３ｂの先端から開口してバルブケース１３の左端に通じてピストン側室Ｒ２に連通されている。吸込通路６は、バルブケース１３の右端であって軸部１３ｂを避ける位置からバルブケース１３の左端へ通じている。また、逆止弁６ａは、タンクＴからピストン側室Ｒ２へ向かう作動油の流れのみを許容するようになっており、吸込通路６をタンクＴからピストン側室Ｒ２へ向かう作動油の流れのみを許容する一方通行の通路に設定している。

ボトムキャップ１６は、外筒１４の図１中右端である一端に取り付けられていて、外筒１４の一端を閉塞している。ボトムキャップ１６は、図１中右端に設けた鉄道車両の台車Ｗと車体Ｂの他方に連結可能なブラケット１６ａと、図１中左端に設けられて外筒１４に嵌合される筒状の嵌合部１６ｂと、シリンダ１の右端およびバルブケース１３が嵌合される凹部１６ｃと、図１中左端であって凹部１６ｃよりも外周側に開口してパイプ１７の差込が可能な嵌合孔１６ｄを備えている。そして、シリンダ装置Ｃは、図２に示すように、これらのブラケット４ａ，１６ａを利用して鉄道車両の車体Ｂと台車Ｗとに連結され、台車Ｗと車体Ｂとの間に介装される。

このように構成されたボトムキャップ１６の嵌合部１６ｂを外筒１４の右端に嵌合させると、嵌合部１６ｂと外筒１４の筒部１４ａの右端との間に開先が形成され、この開先を利用して両者が溶接されて一体化される。なお、外筒１４とボトムキャップ１６との接合は溶接以外の接合方法によって行われてもよい。凹部１６ｃは、バルブケース１３およびシリンダ１の外径よりも内径が大径な大径部１６ｃ１と、大径部１６ｃ１の右端に連なり大径部１６ｃ１よりも内径が小径な中径部１６ｃ２と、中径部１６ｃ２の右端に連なり中径部１６ｃ２よりも内径が小径な小径部１６ｃ３を備えている。この凹部１６ｃに、バルブケース１３が嵌合されたシリンダ１端が挿入されると、バルブケース１３の軸部１３ｂが前記小径部１６ｃ３に挿入されて、シリンダ１およびバルブケース１３が径方向に位置決めされるようになっている。また、中径部１６ｃ２は、バルブケース１３の外径よりも小径となっており、大径部１６ｃ１内にシリンダ１およびバルブケース１３が挿入されると、バルブケース１３が大径部１６ｃ１と中径部１６ｃ２との間の段部に着座し、バルブケース１３の右方に環状の空隙Ｇが生じる。この環状の空隙Ｇは、ボトムキャップ１６に設けた溝１６ｃ４を通じてタンクＴに連通されている。また、この環状の空隙Ｇは、バルブケース１３に設けた吸込通路６に面している。したがって、吸込通路６は、前記空隙Ｇおよび溝１６ｃ４を通じてタンクＴへ連通され、ピストン側室Ｒ２とタンクＴの連通が確保されている。なお、タンクＴには、作動油の他に気体が充填されている。タンクＴ内は、特に、気体を圧縮して充填して加圧状態とする必要は無い。

また、ボトムキャップ１６には、嵌合孔１６ｄから凹部１６ｃにおける小径部１６ｃ３に開口する通路１６ｅとを備えている。また、通路１６ｅは、バルブケース１３の貫通孔１３ａを介してピストン側室Ｒ２に連通されており、嵌合孔１６ｄをピストン側室Ｒ２に連通させる。

つづいて、ヘッドキャップ１５は、環状であって、内周の図１中右端側を大径に形成して設けられたシリンダ１が嵌合される嵌合部１５ａと、外周に設けられた外筒１４のフランジ部１４ｂに対向するフランジ部１５ｂと、図１中右端のボトムキャップ１６の嵌合孔１６ｄに軸方向で対向する位置に開口する嵌合孔１５ｃと、嵌合孔１５ｃから延びて図１中左端へ通じる通路１５ｄと、図１中左端から右端へ貫く通路１５ｅとを備えている。外筒１４のフランジ部１４ｂには、符示はしないが複数の螺子孔が設けられており、ヘッドキャップ１５のフランジ部１５ｂの前記螺子孔に対向する位置に複数の孔（符示せず）が設けられている。そして、ヘッドキャップ１５は、フランジ部１５ｂと外筒１４のフランジ部１４ｂとを突き合わせてフランジ部１４ｂ，１５ｂ同士を複数のボルト２０で締結することで、外筒１４に固定される。

ヘッドキャップ１５の嵌合孔１５ｃと、この嵌合孔１５ｃに対向するボトムキャップ１６の嵌合孔１６ｄとには、シールされた状態でパイプ１７が嵌合されている。よって、嵌合孔１５ｃに連通される通路１５ｄは、パイプ１７内、通路１６ｅおよび貫通孔１３ａを介してピストン側室Ｒ２に連通されている。また、通路１５ｅは、タンクＴに連通されている。

また、パイプ１７は、外筒１４に固定されるヘッドキャップ１５とボトムキャップ１６とで保持されるため、シリンダ装置Ｃに振動が入力されても脱落することはない。

蓋部材としてのロッドガイド２は、この実施の形態では、ヘッドキャップ１５にボルト２１によって締結されている。ロッドガイド２は、シリンダ1の内周に嵌合される嵌合部２ａ１を有してヘッドキャップ１５に連結されてシリンダ1の図1中左端を閉塞する蓋部２ａと、蓋部２ａの側方に連なり第一開閉弁８における第一ソレノイド８ａ、第二開閉弁１０における第二ソレノイド１０ａおよび制御弁１２における第三ソレノイド１２ａを保持するバルブ保持部２ｂとを備えており、分解不能な一部品として形成されている。

蓋部２ａは、図１中左端から嵌合部２ａ１の図１中右端を貫通するロッド挿通孔２ａ２を備えている。ロッド挿通孔２ａ２の内周には、筒状であってロッド４の外周に摺接するブッシュ１９が装着されている。蓋部２ａは、図示はしないが、ヘッドキャップ１５に設けられる図示しない複数の螺子孔に対向してボルト２１の挿通を許容する複数のボルト挿通孔を備えている。また、ロッドガイド２の図１中左端には、ロッド４の外周に摺接する環状のシール部材２２ａを保持する環状のシールケース２２が積層されている。シールケース２２もまた、ヘッドキャップ１５に設けられる図示しない複数の螺子孔に対向してボルト２１の挿通を許容する複数のボルト挿通孔を備えている。よって、ヘッドキャップ１５にロッドガイド２およびシールケース２２を積層して、ボルト２１をロッドガイド２およびシールケース２２のボルト挿通孔内に挿入するとともにヘッドキャップ１５の螺子孔に螺着すると、ロッドガイド２およびシールケース２２はヘッドキャップ１５に固定される。

また、ロッドガイド２の嵌合部２ａ１は、環状であって外周の一部にロッド側室Ｒ１に通じる溝２ａ３を備えている。ロッドガイド２は、さらに、蓋部２ａおよびバルブ保持部２ｂの内部に通路２ｃ、２ｄ，２ｅを備えている。

通路２ｃは、溝２ａ３からロッドガイド２の図１中右端に開口してヘッドキャップ１５の通路１５ｄに通じている。そして、通路２ｃには、第一開閉弁８が設けられている。

通路２ｄは、通路２ｃの第一開閉弁８よりも通路１５ｄ側の接続点Ｐ１に接続されるとともにロッドガイド２の図１中右端に開口して、通路２ｃをヘッドキャップ１５の通路１５ｅに連通させている。そして、通路２ｄには、第二開閉弁１０が設けられている。

さらに、通路２ｅは、通路２ｃの第一開閉弁８よりも溝２ａ３側の接続点Ｐ２と通路２ｄの第二開閉弁１０よりも通路１５ｅ側の接続点Ｐ３とに接続されて、通路２ｃと通路２ｄを連通させている。そして、通路２ｄには、制御弁１２が設けられている。

通路２ｃは、一端側が溝２ａ３を介してロッド側室Ｒ１に通じており、他端側が通路１５ｄ、パイプ１７内、通路１６ｅおよび貫通孔１３ａを介してピストン側室Ｒ２に通じている。そして、第一通路７は、溝２ａ３、通路２ｃ、通路１５ｄ、パイプ１７内、通路１６ｅおよび貫通孔１３ａによって形成されていて、ロッド側室Ｒ１とピストン側室Ｒ２とを連通している。また、第一開閉弁８は、通路２ｃに設けられているので第一通路７の途中に設置されている。

通路２ｄは、一端側が通路２ｃの接続点Ｐ１より通路１５ｄ側の部分、パイプ１７内、通路１６ｅおよび貫通孔１３ａを介して第一開閉弁８を通らずにピストン側室Ｒ２に通じており、他端側が通路１５ｅを通じてタンクＴに通じている。そして、第二通路９は、貫通孔１３ａ、通路１６ｅ、パイプ１７内、通路１５ｄ、通路２ｃの一部、通路２ｄおよび通路１５ｅによって形成されており、ピストン側室Ｒ２とタンクＴとを連通している。また、第二開閉弁１０は、通路２ｄに設けられているので第二通路９の途中に設置されている。

通路２ｅは、一端側が通路２ｃの接続点Ｐ２より溝２ａ３側の部分および溝２ａ３を介して第一開閉弁８を通らずにロッド側室Ｒ１に通じており、他端側が通路２ｄの接続点Ｐ３より通路１５ｅ側の部分および通路１５ｅを介して第二開閉弁１０を通らずにタンクＴに通じている。そして、排出通路１１は、溝２ａ３、通路２ｃの一部、通路２ｅおよび通路１５ｅによって形成されており、ロッド側室Ｒ１とタンクＴとを連通している。また、制御弁１２は、通路２ｅに設けられているので排出通路１１の途中に設置されている。

第一開閉弁８は、第一通路７の一部である通路２ｃを開閉する開閉弁であって、ロッドガイド２の外方に図外のボルトによって取付けられる第一ソレノイド８ａと、第一ソレノイド８ａによって駆動されるとともに通路２ｃに設けられて遮断ポジションと連通ポジションとを備えた第一弁体８ｂと、遮断ポジションを採るように第一弁体８ｂを付勢するばね８ｃとを備えている。そして、第一開閉弁８は、第一ソレノイド８ａへの通電によってばね８ｃの付勢力に対抗して第一弁体８ｂに推力を作用させると第一弁体８ｂが連通ポジションを採って第一通路７を開き、第一ソレノイド８ａへ通電しないとばね８ｃの付勢力によって第一弁体８ｂが遮断ポジションを採って第一通路７を閉じる、常閉型の開閉弁となっている。第一開閉弁８の構成部品のうち第一ソレノイド８ａを除く他の構成部品はロッドガイド２内に設置されている。

第二開閉弁１０は、第二通路９の一部である通路２ｄを開閉する開閉弁であって、ロッドガイド２の外方に図外のボルトによって取付けられる第二ソレノイド１０ａと、第二ソレノイド１０ａによって駆動されるとともに通路２ｄに設けられて遮断ポジションと連通ポジションとを備えた第二弁体１０ｂと、遮断ポジションを採るように第二弁体１０ｂを付勢するばね１０ｃとを備えている。そして、第二開閉弁１０は、第二ソレノイド１０ａへの通電によってばね１０ｃの付勢力に対抗して第二弁体１０ｂに推力を作用させると第二弁体１０ｂが連通ポジションを採って第二通路９を開き、第二ソレノイド１０ａへ通電しないとばね１０ｃの付勢力によって第二弁体１０ｂが遮断ポジションを採って第二通路９を閉じる、常閉型の開閉弁となっている。第二開閉弁１０の構成部品のうち第二ソレノイド１０ａを除く他の構成部品はロッドガイド２内に設置されている。

制御弁１２は、本実施の形態では、開弁圧の調整が可能であって排出通路１１の一部である通路２ｅを開閉する可変リリーフ弁とされており、ロッドガイド２の外方に図外のボルトによって取付けられる第三ソレノイド１２ａと、第三ソレノイド１２ａによって駆動されるとともに通路２ｅに設けられた制御弁体１２ｂと、制御弁体１２ｂを閉弁させる方向へ付勢するばね１２ｃと、ロッド側室Ｒ１の圧力を制御弁体１２ｂに対して開弁方向へ作用させるパイロット通路１２ｄとを備えている。そして、第三ソレノイド１２ａは、ばね１２ｃの付勢力に対抗する方向へ制御弁体１２ｂに推力を作用させる。制御弁体１２ｂには、開弁方向に第三ソレノイド１２ａの推力とロッド側室Ｒ１の圧力とが作用し、閉弁方向にばね１２ｃの付勢力が作用する。第三ソレノイド１２ａへ与える電流量を調整すると第三ソレノイド１２ａの推力を大小調整できるので、第三ソレノイド１２ａへ与える電流量の調整で制御弁１２が排出通路１１を開放する際の開弁圧を調整できる。制御弁１２の構成部品のうち第三ソレノイド１２ａを除く他の構成部品はロッドガイド２内に設置されている。なお、制御弁１２は、可変リリーフ弁以外にも作動油の流れに与える抵抗を調整可能な弁を採用できる。

なお、第一ソレノイド８ａ、第二ソレノイド１０ａおよび第三ソレノイド１２ａは、蓋部材としてのロッドガイド２のシリンダ側の端面にシリンダ１と平行に取付けられている。このように第一ソレノイド８ａ、第二ソレノイド１０ａおよび第三ソレノイド１２ａは、蓋部材としてのロッドガイド２に取付けられると、第一ソレノイド８ａ、第二ソレノイド１０ａおよび第三ソレノイド１２ａがロッド４のシリンダ１に対する軸方向の移動の邪魔にならず、シリンダ装置Ｃの径方向への大型化も回避できる。

このように構成されたシリンダ装置Ｃでは、第一開閉弁８を連通ポジションとし第二開閉弁１０を遮断ポジションとすると、ロッド側室Ｒ１とピストン側室Ｒ２とは第一通路７を介して連通状態となるが、ピストン側室Ｒ２とタンクＴとの第二通路９を介しての連通が断たれる。この状態で、シリンダ装置Ｃが外部入力によってロッド４がシリンダ１に対して退出する伸長作動を呈すると、作動油が縮小されるロッド側室Ｒ１から第一通路７を通じて拡大されるピストン側室Ｒ２へ移動する。また、シリンダ１内の全体では、ロッド４がシリンダ１から退出する体積分の作動油が不足するが、不足分の作動油は、逆止弁６ａが開いて吸込通路６を通じてタンクＴからピストン側室Ｒ２へ移動する。このように、第一開閉弁８を連通ポジションとし第二開閉弁１０を遮断ポジションとした状態でシリンダ装置Ｃが伸長作動しても、作動油が排出通路１１に設けられた制御弁１２を通過せず、ロッド側室Ｒ１とピストン側室Ｒ２とがほぼタンク圧となるので、シリンダ装置Ｃは、伸長作動を妨げる伸側の減衰力を発生しない。

他方、第一開閉弁８を連通ポジションとし第二開閉弁１０を遮断ポジションとした状態でシリンダ装置Ｃが収縮作動を呈すると、作動油は、第一通路７を介して縮小されるピストン側室Ｒ２から拡大するロッド側室Ｒ１へ移動する。また、シリンダ１内の全体では、ロッド４がシリンダ１内に侵入する体積分の作動油が過剰となるが、第二通路９が遮断されているため、シリンダ１内で過剰分の作動油は、シリンダ１内から排出通路１１の制御弁１２を通じてタンクＴへ移動する。このように、第一開閉弁８を連通ポジションとし第二開閉弁１０を遮断ポジションとした状態でシリンダ装置Ｃが収縮作動すると、作動油が排出通路１１に設けられた制御弁１２を通過してシリンダ１内の全体の圧力が上昇するため、シリンダ装置Ｃは、収縮作動を妨げる圧側の減衰力を発生する。制御弁１２の開弁圧を調整することでシリンダ１内の圧力を大小調整できるので、制御弁１２の第三ソレノイド１２ａへ与える電流量の調整によって、シリンダ装置Ｃが発生する圧側の減衰力を調整できる。この場合のシリンダ装置Ｃが発生する圧側の減衰力は、ピストン３のピストン側室Ｒ２側の受圧面積とロッド側室Ｒ１の受圧面積の差にシリンダ１内の圧力を乗じた値の減衰力となる。

また、シリンダ装置Ｃでは、第一開閉弁８を遮断ポジションとし第二開閉弁１０を連通ポジションとすると、ロッド側室Ｒ１とピストン側室Ｒ２との第一通路７を介しての連通が断たれるが、ピストン側室Ｒ２とタンクＴとは第二通路９を介して連通される。この状態で、シリンダ装置Ｃが外部入力によってロッド４がシリンダ１に対して退出する伸長作動を呈すると、第一通路７が遮断されているため作動油が縮小されるロッド側室Ｒ１から排出通路１１の制御弁１２を通じてタンクＴへ移動する。シリンダ装置Ｃの伸長作動によって拡大されるピストン側室Ｒ２には、第二通路９を通じてタンクＴから作動油が供給される。このように、第一開閉弁８を遮断ポジションとし第二開閉弁１０を連通ポジションとした状態でシリンダ装置Ｃが伸長作動すると、作動油が排出通路１１に設けられた制御弁１２を通過してロッド側室Ｒ１内の圧力が上昇する一方、ピストン側室Ｒ２内の圧力はほぼタンク圧となるため、シリンダ装置Ｃは、伸長作動を妨げる伸側の減衰力を発生する。制御弁１２の開弁圧を調整することでロッド側室Ｒ１の圧力を大小調整できるので、制御弁１２の第三ソレノイド１２ａへ与える電流量の調整によって、シリンダ装置Ｃが発生する伸側の減衰力を調整できる。この場合のシリンダ装置Ｃが発生する伸側の減衰力は、ピストン３のロッド側室Ｒ１の受圧面積にシリンダ１内の圧力を乗じた値の減衰力となる。

他方、第一開閉弁８を遮断ポジションとし第二開閉弁１０を連通ポジションとした状態でシリンダ装置Ｃが収縮作動を呈すると、作動油は、逆止弁５ａを押し開いて縮小されるピストン側室Ｒ２から整流通路５を通じて拡大するロッド側室Ｒ１へ移動する。また、シリンダ１内の全体では、ロッド４がシリンダ１内に侵入する体積分の作動油が過剰となるが、シリンダ１内で過剰分の作動油は、シリンダ１内から第二通路９を通じてタンクＴへ移動する。このように、第一開閉弁８を遮断ポジションとし第二開閉弁１０を連通ポジションとした状態でシリンダ装置Ｃが収縮作動しても、作動油が排出通路１１に設けられた制御弁１２を通過せず、ロッド側室Ｒ１とピストン側室Ｒ２とがほぼタンク圧となるので、シリンダ装置Ｃは、収縮作動を妨げる圧側の減衰力を発生しない。

前述した通り、シリンダ装置Ｃの圧側の減衰力は、ピストン３のピストン側室Ｒ２側の受圧面積とロッド側室Ｒ１の受圧面積の差にシリンダ１内の圧力を乗じた値の減衰力となり、シリンダ装置Ｃが発生する伸側の減衰力は、ピストン３のロッド側室Ｒ１の受圧面積にシリンダ１内の圧力を乗じた値の減衰力となる。本実施の形態のシリンダ装置Ｃでは、ピストン３のロッド側室Ｒ１側の受圧面積をピストン側室Ｒ２側の受圧面積の二分の一に設定してある。よって、制御弁１２の開弁圧を同じにすれば、シリンダ装置Ｃが伸側の減衰力と圧側の減衰力とを等しくできる。よって、ピストン３のロッド側室Ｒ１側の受圧面積をピストン側室Ｒ２側の受圧面積の二分の一に設定すると、シリンダ装置Ｃの減衰力の制御が容易となる。

以上の通り、シリンダ装置Ｃは、第一開閉弁８を連通ポジションとするとともに第二開閉弁１０を遮断ポジションとすると収縮作動時のみに減衰力を発生して伸長作動時には減衰力を発生しない。また、シリンダ装置Ｃは、第一開閉弁８を遮断ポジションとするとともに第二開閉弁１０を連通ポジションとすると伸長作動時のみに減衰力を発生して収縮作動時には減衰力を発生しない。

図２に示したシリンダ装置Ｃの鉄道車両への取付状態では、台車Ｗに対して車体Ｂが右方へ移動する場合にシリンダ装置Ｃが収縮作動を呈し、台車Ｗに対して車体Ｂが左方へ移動する場合にシリンダ装置Ｃが伸長作動を呈する。この場合、シリンダ装置Ｃは、圧側の減衰力で車体Ｂの右方への移動を抑制するが、車体Ｂと台車Ｗとが右方へ移動し、かつ、台車Ｗの移動速度が遅い場合、収縮作動して圧側の減衰力を発生して車体Ｂの振動を抑制できる。ところが、シリンダ装置Ｃは、車体Ｂと台車Ｗとが右方へ移動し、かつ、台車Ｗの移動速度が速い場合、収縮作動せず伸長作動を呈する。ここで、シリンダ装置Ｃが伸側の減衰力を発生するとシリンダ装置Ｃの伸長作動が抑制されるため台車Ｗの右方向の移動を車体Ｂへ伝達してしまう。しかしながら、本実施の形態のシリンダ装置Ｃでは、片効きのセミアクティブダンパとして機能できるので、車体Ｂと台車Ｗとが右方へ移動し、かつ、台車Ｗの移動速度が速い場合に圧側の減衰力のみを発生するように制御できるから、車体Ｂの振動を助長してしまうのを防止できる。なお、車体Ｂと台車Ｗとが左方へ移動し、かつ、台車Ｗの移動速度が速い場合には、シリンダ装置Ｃの伸側の減衰力のみを発生するように制御すればよい。このように、シリンダ装置Ｃが減衰力を発生する方向が鉄道車両の台車Ｗの振動により車体Ｂを加振する方向である場合、そのような方向には力を出さないようにシリンダ装置Ｃを片効きのダンパとして機能させ得る。よって、このシリンダ装置Ｃは、カルノップ理論に基づくセミアクティブ制御を容易に実現できるため、セミアクティブダンパとして機能できる。

つづいて、第一開閉弁８と第二開閉弁１０とをともに遮断ポジションとすると、ロッド側室Ｒ１とピストン側室Ｒ２との第一通路７を介しての連通が断たれるともに、ピストン側室Ｒ２とタンクＴとの第二通路９を介しての連通が断たれる。この状態で、シリンダ装置Ｃが外部入力によってロッド４がシリンダ１に対して退出する伸長作動を呈すると、第一通路７が遮断されているため作動油が縮小されるロッド側室Ｒ１から排出通路１１の制御弁１２を通じてタンクＴへ移動する。シリンダ装置Ｃの伸長作動によって拡大されるピストン側室Ｒ２には、逆止弁６ａが開いて吸込通路６を通じてタンクＴから作動油が供給される。このように、第一開閉弁８と第二開閉弁１０とを遮断ポジションとした状態でシリンダ装置Ｃが伸長作動すると、作動油が排出通路１１に設けられた制御弁１２を通過してロッド側室Ｒ１内の圧力が上昇する一方、ピストン側室Ｒ２内の圧力はほぼタンク圧となるため、シリンダ装置Ｃは、伸長作動を妨げる伸側の減衰力を発生する。制御弁１２の開弁圧を調整することでロッド側室Ｒ１の圧力を大小調整できるので、制御弁１２の第三ソレノイド１２ａへ与える電流量の調整によって、シリンダ装置Ｃが発生する伸側の減衰力を調整できる。

他方、第一開閉弁８と第二開閉弁１０とを遮断ポジションとした状態でシリンダ装置Ｃが収縮作動を呈すると、作動油は、逆止弁５ａを押し開いて整流通路５を介して縮小されるピストン側室Ｒ２から拡大するロッド側室Ｒ１へ移動する。また、シリンダ１内の全体では、ロッド４がシリンダ１内に侵入する体積分の作動油が過剰となるが、第二通路９が遮断されているため、シリンダ１内で過剰分の作動油は、シリンダ１内から排出通路１１の制御弁１２を通じてタンクＴへ移動する。このように、第一開閉弁８と第二開閉弁１０とを遮断ポジションとした状態でシリンダ装置Ｃが収縮作動すると、作動油が排出通路１１に設けられた制御弁１２を通過してシリンダ１内の全体の圧力が上昇するため、シリンダ装置Ｃは、収縮作動を妨げる圧側の減衰力を発生する。制御弁１２の開弁圧を調整することでシリンダ１内の圧力を大小調整できるので、制御弁１２の第三ソレノイド１２ａへ与える電流量の調整によって、シリンダ装置Ｃが発生する圧側の減衰力を調整できる。

以上の通り、シリンダ装置Ｃは、第一開閉弁８と第二開閉弁１０とを遮断ポジションとすると伸縮時に作動油がタンクＴ、ピストン側室Ｒ２およびロッド側室Ｒ１を一方通行で循環して制御弁１２を通るようになる。よって、シリンダ装置Ｃは、伸長作動時と収縮作動時の両方で減衰力を発生するユニフロー型のパッシブダンパとして機能でき、制御弁１２の開弁圧の調整で減衰力調整もできる。また、前述した通り、本実施の形態のシリンダ装置Ｃでは、ピストン３のロッド側室Ｒ１側の受圧面積をピストン側室Ｒ２側の受圧面積の二分の一に設定してあるので、制御弁１２の開弁圧を同じにすればシリンダ装置Ｃが伸側の減衰力と圧側の減衰力とを等しくできる。

さらに、シリンダ装置Ｃでは、第一開閉弁８と第二開閉弁１０とをともに連通ポジションとすると、ロッド側室Ｒ１とピストン側室Ｒ２とが第一通路７を介して連通されるともに、ピストン側室Ｒ２とタンクＴとが第二通路９を介して連通される。この状態で、シリンダ装置Ｃが外部入力によってロッド４がシリンダ１に対して退出する伸長作動を呈すると、作動油が縮小されるロッド側室Ｒ１から第一通路７を通じて拡大されるピストン側室Ｒ２へ移動する。また、シリンダ１内の全体では、ロッド４がシリンダ１から退出する体積分の作動油が不足するが、不足分の作動油は、第二通路９を通じてタンクＴからピストン側室Ｒ２へ移動する。このように、第一開閉弁８と第二開閉弁１０とを連通ポジションとするとシリンダ装置Ｃが伸長作動しても、作動油が排出通路１１に設けられた制御弁１２を通過せず、ロッド側室Ｒ１とピストン側室Ｒ２とがほぼタンク圧となるので、シリンダ装置Ｃは、伸長作動を妨げる伸側の減衰力を発生しない。

他方、第一開閉弁８と第二開閉弁１０とを連通ポジションとした状態でシリンダ装置Ｃが収縮作動を呈すると、作動油は、第一通路７を介して縮小されるピストン側室Ｒ２から拡大するロッド側室Ｒ１へ移動する。また、シリンダ１内の全体では、ロッド４がシリンダ１内に侵入する体積分の作動油が過剰となるが、シリンダ１内で過剰分の作動油は、シリンダ１内から第二通路９を通じてタンクＴへ移動する。このように、第一開閉弁８と第二開閉弁１０とを連通ポジションした状態でシリンダ装置Ｃが収縮作動しても、作動油が排出通路１１に設けられた制御弁１２を通過せず、ロッド側室Ｒ１とピストン側室Ｒ２とがほぼタンク圧となるので、シリンダ装置Ｃは、収縮作動を妨げる圧側の減衰力を発生しない。

以上の通り、シリンダ装置Ｃは、第一開閉弁８と第二開閉弁１０とを連通ポジションとすると伸長作動時と収縮作動時の両方で減衰力を発生しないアンロード状態となる。

以上、本実施の形態のシリンダ装置Ｃは、シリンダ１と、シリンダ１の一端に設けられてシリンダ１の端部を閉塞するロッドガイド（蓋部材）２と、シリンダ１内に摺動自在に挿入されるピストン３と、シリンダ１内に挿入されてピストン３に連結されるロッド４と、シリンダ１内にピストン３で区画されるロッド側室Ｒ１およびピストン側室Ｒ２と、作動油（液体）を貯留するタンクＴと、ピストン側室Ｒ２からロッド側室Ｒ１へ向かう作動油（液体）の流れのみを許容する整流通路５と、タンクＴからピストン側室Ｒ２へ向かう作動油（液体）の流れのみを許容する吸込通路６と、ロッド側室Ｒ１とピストン側室Ｒ２とを連通する第一通路７と、第一通路７の途中に設けた第一開閉弁８と、ピストン側室Ｒ２とタンクＴとを連通する第二通路９と、第二通路９の途中に設けた第二開閉弁１０と、ロッド側室Ｒ１をタンクＴへ接続する排出通路１１と、排出通路１１の途中に設けた制御弁１２とを備え、第一開閉弁８は、ロッドガイド（蓋部材）２内に設けられて第一通路７を開閉する第一弁体８ｂと、ロッドガイド（蓋部材）２に装着されて第一弁体８ｂを駆動する第一ソレノイド８ａとを有し、第二開閉弁１０は、ロッドガイド（蓋部材）２内に設けられて第二通路９を開閉する第二弁体９ｂと、ロッドガイド（蓋部材）２に装着されて第二弁体９ｂを駆動する第二ソレノイド９ａとを有し、制御弁１２は、ロッドガイド（蓋部材）２内に設けられて排出通路１１を開閉する制御弁体１２ｂと、ロッドガイド（蓋部材）２に装着されて制御弁体１２ｂに推力を作用させる第三ソレノイド１２ａとを有している。

このように構成されたシリンダ装置Ｃは、一つの部品であるロッドガイド（蓋部材）２に第一開閉弁８の第一弁体８ｂ、第二開閉弁１０の第二弁体１０ｂおよび制御弁１２の制御弁体１２ｂとが内蔵されている。そのため、本実施の形態のシリンダ装置Ｃでは、第一開閉弁を構成するバルブブロック、第二開閉弁を構成するバルブブロックおよび制御弁を構成するバルブブロックのそれぞれをロッドガイド（蓋部材）２にボルトで固定する必要がなくなる。各バルブブロックをボルトでロッドガイド（蓋部材）２に締結する構造を採用すると、各バルブブロックに第一、第二および第三のソレノイドをボルト締結する必要があり、ボルト締結箇所が非常に多くなる。そして、各バルブブロックの固有振動数およびロッドガイド（蓋部材）２とバルブブロックを含めた全体の固有振動数を鉄道車両の固有振動数以上に設定してボルトの抜けを防止する対策が必要となったり、ボルトの嵌合長の確保のため、各バルブブロックとロッドガイド（蓋部材）２の設計上の制約が多くなるとともに、振動数の問題から材料の選択の自由も著しく制限される。これに対して、本実施の形態のシリンダ装置Ｃは、前述の通り、一つの部品であるロッドガイド（蓋部材）２に第一開閉弁８の第一弁体８ｂ、第二開閉弁１０の第二弁体１０ｂおよび制御弁１２の制御弁体１２ｂとが内蔵されているので、ボルト締結箇所を削減でき、ロッドガイド（蓋部材）２の材料の選択の自由度が向上し、たとえば、アルミニウムなどの軽量な金属を用いてロッドガイド（蓋部材）２を形成できるようになる。また、ロッドガイド（蓋部材）２に各バルブブロックを連結する必要がなくなるので、ロッドガイド（蓋部材）２と各バルブブロックとの間から作動油（液体）が漏洩する心配もない。よって、本実施の形態のシリンダ装置Ｃによれば、バルブブロックが不要でボルト締結箇所も削減できるので部品点数の削減と小型化が可能となり、作動油（液体）の外部漏れの心配も無くせる。また、本実施の形態のシリンダ装置Ｃによれば、バルブブロックをロッドガイド（蓋部材）２の側方に連結する必要がなくなるので、ロッドガイド（蓋部材）２のロッド４を支持する部位の厚みについて設計自由度が向上するので、当該厚み必要最小限にとどめることができる。

また、蓋部材をロッドガイド２とする場合、重量物である第一開閉弁８、第二開閉弁１０および制御弁１２がロッドガイド２に集中するため、シリンダ装置Ｃの重心がロッドガイド２付近となってシリンダ装置Ｃの重量バランスが向上しシリンダ装置Ｃを取付ける両端側のブラケット４ａ，１６ａの防振ゴムＶ１，Ｖ２の一方のみに偏った荷重がかかるのを防止できる。

なお、前述したところでは、蓋部材をロッドガイド２としているが、図３に示した第二の実施の形態のシリンダ装置Ｃ１のように、ボトムキャップ２３を蓋部材として、ボトムキャップ２３に第一ソレノイド８ａ、第二ソレノイド９ａおよび第三ソレノイド１２ａを取付けるとともに、ボトムキャップ２３に第一開閉弁８の第一弁体８ｂ、第二開閉弁１０の第二弁体１０ｂおよび制御弁１２の制御弁体１２ｂとを内蔵するようにしてもよい。第二の実施の形態のシリンダ装置Ｃ１は、鉄道車両の車体Ｂの左右動を抑制するダンパとされている。また、第二の実施の形態のシリンダ装置Ｃ１と第一の実施の形態のシリンダ装置Ｃとで異なる部分は、図３に示すように、ボトムキャップ２３とロッドガイド２４のみとなっている。

ボトムキャップ２３は、外筒１４の図３中右端である一端に取付けられていて、外筒１４の一端を閉塞している。ボトムキャップ２３は、外筒１４の図３中右端に嵌合されて外筒１４の右端を閉塞する蓋部２３ａと、蓋部２３ａの側方に連なり第一開閉弁８における第一ソレノイド８ａ、第二開閉弁１０における第二ソレノイド１０ａおよび制御弁１２における第三ソレノイド１２ａを保持するバルブ保持部２３ｂと、蓋部２３ａの図３中右端に設けられるブラケット２３ｃとを備え、少なくとも蓋部２３ａとバルブ保持部２３ｂとが分解不能な一部品として形成されている。

蓋部２３ａは、バルブケース１３のシリンダ１の右端およびバルブケース１３が嵌合される凹部２３ａ１と、図３中左端であって凹部２３ａ１よりも外周側に開口してパイプ１７の図２中右端の差込が可能な嵌合孔２３ａ２を備えている。なお、凹部２３ａ１内でバルブケース１３の軸部１３ｂの外周に形成される空隙Ｇは、タンクＴに連通されている。

そして、ボトムキャップ２３は、さらに、蓋部２３ａおよびバルブ保持部２３ｂの内部に通路２３ｄ，２３ｅ，２３ｆを備えている。

通路２３ｄは、ボトムキャップ２３の嵌合孔２３ａ２の図３中右端から開口して凹部２３ａ１内であって軸部１３ｂが嵌合される最深部に連通され、貫通孔１３ａを介してピストン側室Ｒ２に連通される。そして、通路２３ｄには、第一開閉弁８が設けられている。

通路２３ｅは、通路２３ｄの第一開閉弁８よりも凹部２３ａ１側に接続されるとともに、凹部２３ａ１内の空隙Ｇに連通されており、空隙Ｇを介してタンクＴに連通される。そして、通路２３ｅには、第二開閉弁１０が設けられている。

さらに、通路２３ｆは、通路２３ｄの第一開閉弁８よりもパイプ１７側と通路２３ｅの第二開閉弁１０よりもタンクＴ側に接続されて、通路２３ｄと通路２３ｅを連通させている。そして、通路２３ｆには、制御弁１２が設けられている。

つづいて、ロッドガイド２４は、ヘッドキャップ１５にボルト２１によって締結されている。ロッドガイド２４は、シリンダ1の内周に嵌合される嵌合部２４ａと、図３中左端から嵌合部２４ａの図３中右端を貫通するロッド挿通孔２４ｂとを有してヘッドキャップ１５に連結されてシリンダ1の図３中左端を閉塞している。なお、ロッド挿通孔２４ｂの内周には、筒状であってロッド４の外周に摺接するブッシュ１９が装着されている。

ロッドガイド２４は、ボルト２１の利用でロッドガイド２４の図３中左端に積層されるシールケース２２とともにヘッドキャップ１５に固定される。また、ロッドガイド２４の嵌合部２４ａは、環状であって外周の一部にロッド側室Ｒ１に通じる溝２４ｃを備えている。ロッドガイド２４は、溝２４ｃとヘッドキャップ１５の通路１５ｄとを連通する通路２４ｄを備えている。なお、第一の実施の形態のヘッドキャップ１５の通路１５ｅは、廃止されている。

整理すると、ボトムキャップ２３の通路２３ｄは、一端側がパイプ１７、通路２４ｄおよび溝２４ｃを介してロッド側室Ｒ１に通じており、他端側が貫通孔１３ａを介してピストン側室Ｒ２に通じている。よって、第一通路７は、溝２４ｃ、通路２４ｄ、通路１５ｄ、パイプ１７内、通路２３ｄおよび貫通孔１３ａによって形成されていて、ロッド側室Ｒ１とピストン側室Ｒ２とを連通している。また、第一開閉弁８は、通路２３ｄに設けられているので第一通路７の途中に設置されている。

通路２３ｅは、一端側が通路２３ｅの第一開閉弁８よりもピストン側室Ｒ２側の部分および貫通孔１３ａを介して第一開閉弁８を通らずにピストン側室Ｒ２に通じており、他端側が空隙Ｇを通じてタンクＴに通じている。そして、第二通路９は、貫通孔１３ａ、通路２３ｅ、通路２３ｄの一部によって形成されており、ピストン側室Ｒ２とタンクＴとを連通している。また、第二開閉弁１０は、通路２３ｅに設けられているので第二通路９の途中に設置されている。

通路２３ｆは、一端側が通路２３ｄの第一開閉弁８よりもロッド側室Ｒ１側の部分を介して第一開閉弁８を通らずにロッド側室Ｒ１に通じており、他端側が通路２３ｅの第二開閉弁１０よりタンクＴ側の部分を介して第二開閉弁１０と通らずにタンクＴに通じている。そして、排出通路１１は、溝２４ｃ、通路２４ｄ、通路１５ｄ、パイプ１７内、通路２３ｄの一部、通路２３ｆおよび通路２３ｅの一部によって形成されており、ロッド側室Ｒ１とタンクＴとを連通している。また、制御弁１２は、通路２３ｆに設けられているので排出通路１１の途中に設置されている。

そして、ボトムキャップ２３に第一ソレノイド８ａ、第二ソレノイド９ａおよび第三ソレノイド１２ａが取付けられる、ボトムキャップ２３内に第一開閉弁８の第一弁体８ｂ、第二開閉弁１０の第二弁体１０ｂおよび制御弁１２の制御弁体１２ｂとが設けられる。

このように構成されたシリンダ装置Ｃ１にあっても、整流通路５、吸込通路６、第一通路７、第二通路９、排出通路１１、第一通路７に設けられる第一開閉弁８、第二通路９に設けられる第二開閉弁１０および排出通路１１に設けられる制御弁１２を備えているので、第一の実施の形態のシリンダ装置Ｃと同様に、第一開閉弁８と第二開閉弁１０の開閉の切換えによってセミアクティブダンパ或いはパッシブダンパとして機能でき、さらには、アンロードの状態となることもできる。

そして、本実施の形態のシリンダ装置Ｃ１では、一つの部品であるボトムキャップ（蓋部材）２３に第一開閉弁８の第一弁体８ｂ、第二開閉弁１０の第二弁体１０ｂおよび制御弁１２の制御弁体１２ｂを内蔵できる。そのため、本実施の形態のシリンダ装置Ｃ１では、第一開閉弁を構成するバルブブロック、第二開閉弁を構成するバルブブロックおよび制御弁を構成するバルブブロックのそれぞれをボトムキャップ（蓋部材）２３にボルトで固定する必要がなくなる。よって、本実施の形態のシリンダ装置Ｃ１によれば、第一の実施の形態のシリンダ装置Ｃと同様に、バルブブロックが不要でボルト締結箇所も削減できるので部品点数の削減と小型化が可能となり、作動油（液体）の外部漏れの心配も無くせる。また、本実施の形態のシリンダ装置Ｃによれば、バルブブロックをボトムキャップ（蓋部材）２３の側方に連結する必要がなくなるので、ボトムキャップ（蓋部材）２３の厚みについて設計自由度が向上するので、当該厚み必要最小限にとどめることができる。

また、蓋部材をボトムキャップ２３とする場合、重量物である第一開閉弁８、第二開閉弁１０および制御弁１２がボトムキャップ２３に集中するため、ロッド４とロッドガイド２４とに大きな荷重が作用しなくなるためロッド４とロッドガイド２４の内周に設けたブッシュ１９との間の摩擦力を低減でき、シリンダ装置Ｃ１が円滑に伸縮するうえで有利となる。

なお、第一および第二の実施の形態のシリンダ装置Ｃ，Ｃ１において、制御弁１２は、可変リリーフ弁であるとロッド側室Ｒ１内の圧力を調整でき、シリンダ装置Ｃ，Ｃ１をセミアクティブダンパとして機能させる際に減衰力の調整が容易となり、センサレスでシリンダ装置Ｃ，Ｃ１の減衰力の制御が可能となる。

つづいて、図４に示す第三の実施の形態のシリンダ装置Ｃ２のようにボトムキャップ１６にポンプＰとモータＭを設置してシリンダ装置Ｃ２をアクチュエータとして機能させるようにしてもよい。

第三の実施の形態のシリンダ装置Ｃ２は、第一の実施の形態のシリンダ装置Ｃのボトムキャップ１６にポンプＰとモータＭとを一体化している点で第一の実施の形態のシリンダ装置Ｃと異なっている。

シリンダ装置Ｃ２におけるボトムキャップ１６は、第一の実施の形態のシリンダ装置Ｃにおけるボトムキャップ１６の構成に加えて、側方に延長されたポンプ保持部１６ｆと、図４中左端であって凹部１６ｃよりも外周側に開口してパイプ１８の差込が可能な嵌合孔１６ｇと、嵌合孔１６ｇから開口して凹部１６ｃ内の空隙Ｇに通じる通路１６ｈとを備えている。

また、ヘッドキャップ１５は、図４中左端であってボトムキャップ１６の嵌合孔１６ｇに軸方向で対向する位置に開口する嵌合孔１５ｆと、嵌合孔１５ｆから開口して図４中左端へ通じる通路１５ｇとをさらに備えている。ヘッドキャップ１５の嵌合孔１５ｆとボトムキャップ１６の嵌合孔１６ｇとにはパイプ１８が嵌合されている。パイプ１８は、外筒１４に固定されるヘッドキャップ１５とボトムキャップ１６とで保持されるため、シリンダ装置Ｃ２に振動が入力されても脱落することはない。

また、蓋部材としてのロッドガイド２は、通路１５ｇを通路２ｃの接続点Ｐ２よりもロッド側室Ｒ１側に連通する通路２ｆを備えている。なお、通路２ｆは、通路２ｅの制御弁１２よりもロッド側室Ｒ１側に接続されてもよい。

戻って、通路１６ｈは、一端側が空隙Ｇを介してタンクＴに連通されるとともに、他端側がパイプ１８、通路１５ｇ、通路２ｃおよび溝２ａ３を介してロッド側室Ｒ１に連通されている。そして、本実施の形態のシリンダ装置Ｃ２では、通路１６ｈ、パイプ１８、通路１５ｇ、通路２ｃおよび溝２ａ３で供給通路Ｓが形成されており、ロッド側室Ｒ１とタンクＴとを連通している。

ポンプＰは、ボトムキャップ１６のポンプ保持部１６ｆ内に設置されており、本実施の形態では通路１６ｈの途中に設けられるギアポンプとされている。また、モータＭは、ボトムキャップ１６のポンプ保持部１６ｆのシリンダ側端に対してシリンダ１と平行に図示しないボルトによって締結されている。モータＭの図外の出力シャフトは、ポンプＰの駆動軸に連結されており、モータＭでポンプＰを駆動できる。ポンプＰは、モータＭによって駆動されるとタンクＴから作動油を吸い込んでロッド側室Ｒ１へ供給する。なお、ポンプＰはギアポンプ以外のポンプとされてもよい。さらに、モータＭは、減速機を備えていてもよく、その場合には減速機の出力シャフトをポンプＰに連結すればよい。

また、通路１６ｈの途中であって、ポンプＰよりロッド側室Ｒ１側には、ポンプＰからロッド側室Ｒ１へ向かう作動室の流れのみを許容する逆止弁２５が設けられており、ロッド側室Ｒ１からポンプＰ側への作動油の逆流が防止されている。

このように構成されたシリンダ装置Ｃ２では、モータＭでポンプＰを駆動しつつ、第一開閉弁８を連通ポジションとし第二開閉弁１０を遮断ポジションとすると、第一通路７によってロッド側室Ｒ１とピストン側室Ｒ２とが連通状態におかれて両者にポンプＰから作動油が供給される。作動油の供給によって、ロッド側室Ｒ１およびピストン側室Ｒ２の容積の総和が増大し、ロッド４がシリンダ１から図４中左方へ押し出されてシリンダ装置Ｃ２は伸長作動を呈する。ロッド側室Ｒ１内およびピストン側室Ｒ２内の圧力が制御弁１２の開弁圧を上回ると、制御弁１２が開弁して作動油が排出通路１１を介してタンクＴへ排出される。よって、ロッド側室Ｒ１内およびピストン側室Ｒ２内の圧力は、第三ソレノイド１２ａに与える電流量で決まる制御弁１２の開弁圧と等しくなるようにコントロールされる。よって、シリンダ装置Ｃ２は、ピストン３におけるピストン側室Ｒ２側とロッド側室Ｒ１側の受圧面積差に前記した制御弁１２の開弁圧を乗じた値に等しい伸長方向の推力を発揮する。また、シリンダ装置Ｃ２が発生する推力は、第三ソレノイド１２ａへ与える電流量の調整によって調整される。

他方、シリンダ装置Ｃ２では、モータＭでポンプＰを駆動しつつ、第一開閉弁８を遮断ポジションとし第二開閉弁１０を連通ポジションとすると、ロッド側室Ｒ１のみに作動油が供給されてロッド側室Ｒ１が拡大し、反対に収縮するピストン側室Ｒ２内からは連通状態とされる第二通路９を通じて作動油がタンクＴへ排出される。すると、ピストン３が図４中右方へ押されシリンダ装置Ｃ２は収縮作動を呈する。この場合、ピストン側室Ｒ２の圧力はタンク圧となって一定し、ロッド側室Ｒ１の圧力は制御弁１２の開弁圧と等しい圧力にコントロールされる。よって、シリンダ装置Ｃ２は、ピストン３におけるロッド側室Ｒ１側の受圧面積と制御弁１２の開弁圧を乗じた値に等しい収縮方向の推力を発揮する。また、シリンダ装置Ｃ２が発生する推力は、第三ソレノイド１２ａへ与える電流量の調整によって調整される。

なお、ポンプＰを停止させた場合、シリンダ装置Ｃ２もシリンダ装置Ｃと同様に、整流通路５、吸込通路６、第一通路７、第二通路９、排出通路１１、第一通路７に設けられる第一開閉弁８、第二通路９に設けられる第二開閉弁１０および排出通路１１に設けられる制御弁１２を備えているので、第一の実施の形態のシリンダ装置Ｃと同様に、第一開閉弁８と第二開閉弁１０の開閉の切換えによってセミアクティブダンパ或いはパッシブダンパとして機能でき、さらには、アンロードの状態となることもできる。なお、シリンダ装置Ｃ２は、アンロードの状態では、ポンプＰを駆動しても伸長も収縮もせず外力による振動に対して減衰力も発生しない状態となる。

このように第三の実施の形態のシリンダ装置Ｃ２は、前述した第一の実施の形態のシリンダ装置Ｃの構成に加えて、タンクＴとロッド側室Ｒ１とを連通する供給通路Ｓと、供給通路Ｓの途中に設けられてタンクＴから作動油（液体）を吸い込んでロッド側室Ｒ１へ作動油（液体）を供給するポンプＰと、ポンプＰを駆動するモータＭとを備え、蓋部材がシリンダ１の一端を閉塞するとともにロッド４の内周側への挿通を許容してロッド４の軸方向の移動を案内するロッドガイド２であって、ボトムキャップ１６にポンプＰとモータＭが装着されている。このように構成されたシリンダ装置Ｃ２によれば、重量物である第一開閉弁８、第二開閉弁１０および制御弁１２と、同じく重量物であるポンプＰおよびモータＭとをシリンダ１のロッドガイド２とボトムキャップ１６とにバランスよく配置できるので、重量バランスに優れ、ブラケット４ａ，１６ａに設けられる防振ゴムＶ１，Ｖ２の一方のみに大きな荷重が作用するのを防止できる。

また、図５に示す第四の実施の形態のシリンダ装置Ｃ３のようにロッドガイド２４にポンプＰとモータＭを設置してシリンダ装置Ｃ３をアクチュエータとして機能させるようにしてもよい。

第四の実施の形態のシリンダ装置Ｃ３は、第二の実施の形態のシリンダ装置Ｃ１のロッドガイド２４にポンプＰとモータＭとを一体化している点で第二の実施の形態のシリンダ装置Ｃ１と異なっている。

シリンダ装置Ｃ３におけるロッドガイド２４は、第二の実施の形態のシリンダ装置Ｃ１におけるロッドガイド２４の構成に加えて、側方に延長されたポンプ保持部２４ｅと、図５中右端から開口して溝２４ｃに通じる通路２４ｆとを備えている。

また、ヘッドキャップ１５は、タンクＴに面する図５中右端から開口する嵌合孔１５ｆと、嵌合孔１５ｆから開口して図５中左端へ通じる通路１５ｇとを備えている。

ボトムキャップ２３は、第二の実施の形態のシリンダ装置Ｃ１における構成に加えて、タンクＴに面する図５中左端であってヘッドキャップ１５に設けた嵌合孔１５ｆに軸方向で対向する位置に開口する嵌合孔２３ｇと、嵌合孔２３ｇと空隙Ｇとを連通させる通路２３ｈを備えている。

ヘッドキャップ１５の嵌合孔１５ｆとボトムキャップ２３の嵌合孔２３ｇとにはパイプ１８が嵌合されている。パイプ１８は、外筒１４に固定されるヘッドキャップ１５とボトムキャップ１６とで保持されるため、シリンダ装置Ｃ３に振動が入力されても脱落することはない。

ロッドガイド２４の通路２４ｆは、一端側が溝２４ｃを介してロッド側室Ｒ１に通じており、他端側が通路１５ｇ、パイプ１８および通路２３ｈおよび空隙Ｇを介してタンクＴに通じている。よって、供給通路Ｓは、溝２４ｃ、通路２４ｆ、通路１５ｇ、パイプ１８および通路２３ｈによって形成されており、ロッド側室Ｒ１とタンクＴとを連通している。そして、ポンプＰは、ロッドガイド２４のポンプ保持部２４ｅ内に設置されており、本実施の形態では通路２４ｆの途中に設けられるギアポンプとされている。また、モータＭは、ロッドガイド２のポンプ保持部２４ｅのシリンダ側端に対してシリンダ１と平行に図示しないボルトによって締結されており、モータＭがロッド４のシリンダ１に対する軸方向の移動を妨げないよう配慮されている。モータＭの図外の出力シャフトは、ポンプＰの駆動軸に連結されており、モータＭでポンプＰを駆動できる。ポンプＰは、モータＭによって駆動されるとタンクＴから作動油を吸い込んでロッド側室Ｒ１へ供給する。なお、ポンプＰはギアポンプ以外のポンプとされてもよい。さらに、モータＭは、減速機を備えていてもよく、その場合には減速機の出力シャフトをポンプＰに連結すればよい。

また、通路２４ｆの途中であって、ポンプＰよりロッド側室Ｒ１側には、ポンプＰからロッド側室Ｒ１へ向かう作動室の流れのみを許容する逆止弁２６が設けられており、ロッド側室Ｒ１からポンプＰ側への作動油の逆流が防止されている。

このように構成されたシリンダ装置Ｃ３では、モータＭでポンプＰを駆動しつつ、第一開閉弁８を連通ポジションとし第二開閉弁１０を遮断ポジションとすると、第一通路７によってロッド側室Ｒ１とピストン側室Ｒ２とが連通状態におかれて両者にポンプＰから作動油が供給される。作動油の供給によって、ロッド側室Ｒ１およびピストン側室Ｒ２の容積の総和が増大し、ロッド４がシリンダ１から図５中左方へ押し出されてシリンダ装置Ｃ３は伸長作動を呈する。ロッド側室Ｒ１内およびピストン側室Ｒ２内の圧力が制御弁１２の開弁圧を上回ると、制御弁１２が開弁して作動油が排出通路１１を介してタンクＴへ排出される。よって、ロッド側室Ｒ１内およびピストン側室Ｒ２内の圧力は、第三ソレノイド１２ａに与える電流量で決まる制御弁１２の開弁圧と等しくなるようにコントロールされる。よって、シリンダ装置Ｃ３は、ピストン３におけるピストン側室Ｒ２側とロッド側室Ｒ１側の受圧面積差に前記した制御弁１２の開弁圧を乗じた値に等しい伸長方向の推力を発揮する。また、シリンダ装置Ｃ３が発生する推力は、第三ソレノイド１２ａへ与える電流量の調整によって調整される。

他方、シリンダ装置Ｃ３では、モータＭでポンプＰを駆動しつつ、第一開閉弁８を遮断ポジションとし第二開閉弁１０を連通ポジションとすると、ロッド側室Ｒ１のみに作動油が供給されてロッド側室Ｒ１が拡大し、反対に収縮するピストン側室Ｒ２内からは連通状態とされる第二通路９と通じて作動油がタンクＴへ排出される。すると、ピストン３が図５中右方へ押されシリンダ装置Ｃ２は収縮作動を呈する。この場合、ピストン側室Ｒ２の圧力はタンク圧となって一定し、ロッド側室Ｒ１の圧力は制御弁１２の開弁圧と等しい圧力にコントロールされる。よって、シリンダ装置Ｃ３は、ピストン３におけるロッド側室Ｒ１側の受圧面積と制御弁１２の開弁圧を乗じた値に等しい収縮方向の推力を発揮する。また、シリンダ装置Ｃ２が発生する推力は、第三ソレノイド１２ａへ与える電流量の調整によって調整される。

なお、ポンプＰを停止させた場合、シリンダ装置Ｃ３もシリンダ装置Ｃ１と同様に、整流通路５、吸込通路６、第一通路７、第二通路９、排出通路１１、第一通路７に設けられる第一開閉弁８、第二通路９に設けられる第二開閉弁１０および排出通路１１に設けられる制御弁１２を備えているので、第一開閉弁８と第二開閉弁１０の開閉の切換えによってセミアクティブダンパ或いはパッシブダンパとして機能でき、さらには、アンロードの状態となることもできる。なお、シリンダ装置Ｃ３は、アンロードの状態では、ポンプＰを駆動しても伸長も収縮もせず外力による振動に対して減衰力も発生しない状態となる。

このように第四の実施の形態のシリンダ装置Ｃ３は、前述した第二の実施の形態のシリンダ装置Ｃ１の構成に加えて、タンクＴとロッド側室Ｒ１とを連通する供給通路Ｓと、供給通路Ｓの途中に設けられてタンクＴから作動油（液体）を吸い込んでロッド側室Ｒ１へ作動油（液体）を供給するポンプＰと、ポンプＰを駆動するモータＭとを備え、蓋部材がボトムキャップ２３であって、シリンダ１の一端を閉塞するとともにロッド４の内周側への挿通を許容してロッド４の軸方向の移動を案内するロッドガイド２４にポンプＰとモータＭが装着されている。このように構成されたシリンダ装置Ｃ３によれば、重量物である第一開閉弁８、第二開閉弁１０および制御弁１２と、同じく重量物であるポンプＰおよびモータＭとをシリンダ１のロッドガイド２４とボトムキャップ２３とにバランスよく配置できるので、重量バランスに優れ、ブラケット４ａ，２３ｃに設けられる防振ゴムＶ１，Ｖ２の一方のみに大きな荷重が作用するのを防止できる。

なお、第三および第四の実施の形態のシリンダ装置Ｃ２，Ｃ３において、制御弁１２は、可変リリーフ弁であるとロッド側室Ｒ１内の圧力を調整でき、シリンダ装置Ｃ２，Ｃ３をアクチュエータとして機能させる際に推力の調整が容易となる。また、センサレスでシリンダ装置Ｃ２，Ｃ３の推力の制御が可能となる他、モータＭはポンプＰを一定の回転数で駆動すればよく、ポンプＰの吐出流量の調節のために高度にモータＭを制御したりする必要もなくなる。そのため、シリンダ装置Ｃ２，Ｃ３が安価となり、ハードウェア的にもソフトウェア的にも堅牢なシステムを構築できる。

各実施の形態において、制御弁１２は、可変リリーフ弁以外にも種々の弁の採用が可能であるが、たとえば、図６に示すように、ロッドガイド２或いはボトムキャップ２３を蓋部材として、蓋部材の排出通路１１の途中に並列に設けられる減衰通路３０とリリーフ通路３１と、減衰通路３０に設けられて減衰通路３０を開閉する制御弁体３２と、リリーフ通路３１を開閉する切換弁体３３と、減衰通路３０を閉じる方向へ制御弁体３２を付勢する第一ばね３４と、第一ばね３４と同じ方向であってリリーフ通路３１を開く方向へ切換弁体３３を付勢する第二ばね３５と、第一ばね３４および第二ばね３５の付勢力に対抗して切換弁体３３を介して制御弁体３２へ推力を作用させる第三ソレノイド３６とを備えて構成されてもよい。

第三ソレノイド３６は、蓋部材としてのロッドガイド２或いはボトムキャップ２３の外方に装着され、減衰通路３０、リリーフ通路３１、制御弁体３２、切換弁体３３、第一ばね３４および第二ばね３５は、蓋部材としてのロッドガイド２或いはボトムキャップ２３の内部に設置される。

図６に示した制御弁１２の各部について詳細に説明する。減衰通路３０とリリーフ通路３１は、排出通路１１の途中に並列に設置される。減衰通路３０に設けられる制御弁体３２は、パイロット通路３７を通じてロッド側室Ｒ１の圧力によって開弁方向に付勢されるとともに、第一ばね３４によって閉弁方向に付勢されている。

リリーフ通路３１に設けられる切換弁体３３は、第一ばね３４と付勢方向を同一にする第二ばね３５によって開弁方向に付勢されている。第三ソレノイド３６は、切換弁体３３に閉弁方向に推力を与える。切換弁体３３は、開弁時に作動油の流れに予め設定された抵抗を与える。切換弁体３３と制御弁体３２とは、離間した状態で隣り合う位置に配置されており、第三ソレノイド３６に通電しない状態では、切換弁体３３は第二ばね３５によってリリーフ通路３１を連通するポジションを採り、制御弁体３２は、第一ばね３４によって付勢され開弁圧を最大にする。第三ソレノイド３６に通電して切換弁体３３に第二ばね３５を押し縮めて閉弁させ得る推力を与えると、切換弁体３３はリリーフ通路３１を遮断する遮断ポジションに切換わって隣に配置されている制御弁体３２に当接して制御弁体３２に第三ソレノイド３６の推力を開弁方向に作用させる。

よって、第三ソレノイド３６に切換弁体３３を遮断ポジションに切換えるのに必要な推力を発揮させるのに必要な電流量（必要電流量）以上の電流を与えると、切換弁体３３を介して制御弁体３２に第三ソレノイド３６の推力を与えることができる。そして、第三ソレノイド３６に必要電流量以上の範囲の電流を与えて、電流量を調整すると制御弁体３２に作用する推力が調整され、制御弁体３２の開弁圧を調整できる。

したがって、このように構成された制御弁１２を使用すると、第三ソレノイド３６の電流量の調整でシリンダ装置Ｃ，Ｃ１，Ｃ２，Ｃ３の減衰力或いは推力を調整できる。また、第三ソレノイド３６へ通電しない場合や通電不能となった場合、切換弁体３３がリリーフ通路３１を開いて所定の抵抗を作動油の流れに与えるので、シリンダ装置Ｃ，Ｃ１，Ｃ２，Ｃ３は、パッシブダンパとして機能する場合や失陥時には切換弁体３３によって予め設定された減衰力を発生できる。なお、制御弁体３２は、第三ソレノイド３６へ通電しない場合や通電不能となった場合、開弁圧を最大とするが、仮に、シリンダ１内の圧力が大きくなると開弁してシリンダ１内の圧力が過剰となるのを防止する。

このように制御弁１２がロッドガイド２或いはボトムキャップ２３を蓋部材として、蓋部材の排出通路１１の途中に並列に設けられる減衰通路３０とリリーフ通路３１と、減衰通路３０に設けられて減衰通路３０を開閉する制御弁体３２と、リリーフ通路３１を開閉する切換弁体３３と、減衰通路３０を閉じる方向へ制御弁体３２を付勢する第一ばね３４と、第一ばね３４と同じ方向であってリリーフ通路３１を開く方向へ切換弁体３３を付勢する第二ばね３５と、第一ばね３４および第二ばね３５の付勢力に対抗して切換弁体３３を介して制御弁体３２へ推力を作用させる第三ソレノイド３６とを備えて構成される場合、シリンダ装置Ｃ，Ｃ１，Ｃ２，Ｃ３の減衰力或いは推力の調整が可能となるだけでなく、フェール時の減衰力を所定の大きさに設定できる。なお、フェール時の減衰力の設定は、切換弁体３３の連通ポジションにおける流路抵抗で設定する他、リリーフ通路３１に切換弁体３３の代わりに抵抗を与えるリリーフ弁や絞り等の減衰弁を設けて設定してもよい。

なお、シリンダ装置Ｃ，Ｃ１，Ｃ２，Ｃ３の用途は鉄道車両の振動抑制用途の他にも、建築物、機械の振動抑制、車両の振動抑制等といった種々の用途に利用できる。

以上、本発明の好ましい実施の形態を詳細に説明したが、特許請求の範囲から逸脱しない限り、改造、変形、および変更が可能である。

１・・・シリンダ、２・・・ロッドガイド（蓋部材）、３・・・ピストン、４・・・ロッド、５・・・整流通路、６・・・吸込通路、７・・・第一通路、８・・・第一開閉弁、８ａ・・・第一ソレノイド、８ｂ・・・第一弁体、９・・・第二通路、１０・・・第二開閉弁、１０ａ・・・第二ソレノイド、１０ｂ・・・第二弁体、１１・・・排出通路、１２・・・制御弁、１２ａ，３６・・・第三ソレノイド、１２ｂ，３２・・・制御弁体、１６・・・ボトムキャップ、２３・・・ボトムキャップ(蓋部材)、２４・・・ロッドガイド、３０・・・減衰通路、３１・・・リリーフ通路、３３・・・切換弁体、３４・・・第一ばね、３５・・・第二ばね、Ｃ，Ｃ１，Ｃ２，Ｃ３・・・シリンダ装置、Ｍ…モータ、Ｐ・・・ポンプ、Ｓ・・・供給通路、Ｒ１・・・ロッド側室、Ｒ２・・・ピストン側室、Ｔ・・タンク

Claims (2)

1. シリンダと、
   前記シリンダ内に摺動自在に挿入されるピストンと、
   前記シリンダ内に挿入されて前記ピストンに連結されるロッドと、
   前記シリンダの一端を閉塞するとともに前記ロッドの内周側への挿通を許容して前記ロッドの軸方向の移動を案内する環状のロッドガイドと、
   前記シリンダの他端を閉塞するボトムキャップと、
   前記シリンダ内に前記ピストンで区画されるロッド側室およびピストン側室と、
   液体を貯留するタンクと、
   前記ピストン側室から前記ロッド側室へ向かう液体の流れのみを許容する整流通路と、
   前記タンクから前記ピストン側室へ向かう液体の流れのみを許容する吸込通路と、
   前記ロッド側室と前記ピストン側室とを連通する第一通路と、
   前記第一通路の途中に設けた第一開閉弁と、
   前記ピストン側室と前記タンクとを連通する第二通路と、
   前記第二通路の途中に設けた第二開閉弁と、
   前記ロッド側室を前記タンクへ接続する排出通路と、
   前記排出通路の途中に設けた制御弁とを備え、
   前記ロッドガイドを蓋部材とし、
   前記第一開閉弁は、前記蓋部材内に設けられて前記第一通路を開閉する第一弁体と、前記蓋部材に装着されて前記第一弁体を駆動する第一ソレノイドとを有し、
   前記第二開閉弁は、前記蓋部材内に設けられて前記第二通路を開閉する第二弁体と、前記蓋部材に装着されて前記第二弁体を駆動する第二ソレノイドとを有し、
   前記制御弁は、前記蓋部材内に設けられて前記排出通路を開閉する制御弁体と、前記蓋部材に装着されて前記制御弁体に推力を作用させる第三ソレノイドとを有する
   ことを特徴とするシリンダ装置。
2. 前記タンクと前記ロッド側室とを連通する供給通路と、
   前記供給通路の途中に設けられて前記タンクから液体を吸込んで前記ロッド側室へ液体を供給するポンプと、
   前記ポンプを駆動するモータとを備え、
   前記ボトムキャップに前記ポンプと前記モータが装着される
   ことを特徴とする請求項１に記載のシリンダ装置。