JP7359399B1 - 半導体基板および半導体基板の製造方法 - Google Patents
半導体基板および半導体基板の製造方法 Download PDFInfo
- Publication number
- JP7359399B1 JP7359399B1 JP2022135772A JP2022135772A JP7359399B1 JP 7359399 B1 JP7359399 B1 JP 7359399B1 JP 2022135772 A JP2022135772 A JP 2022135772A JP 2022135772 A JP2022135772 A JP 2022135772A JP 7359399 B1 JP7359399 B1 JP 7359399B1
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- semiconductor substrate
- substrate
- specific element
- bonding interface
- damaged layer
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Active
Links
- 239000000758 substrate Substances 0.000 title claims abstract description 401
- 239000004065 semiconductor Substances 0.000 title claims abstract description 226
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 title claims abstract description 40
- 238000000034 method Methods 0.000 claims abstract description 93
- 238000010438 heat treatment Methods 0.000 claims abstract description 44
- 239000013078 crystal Substances 0.000 claims description 104
- 229910052698 phosphorus Inorganic materials 0.000 claims description 93
- 239000011574 phosphorus Substances 0.000 claims description 93
- OAICVXFJPJFONN-UHFFFAOYSA-N Phosphorus Chemical compound [P] OAICVXFJPJFONN-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 90
- 229910010271 silicon carbide Inorganic materials 0.000 claims description 55
- HBMJWWWQQXIZIP-UHFFFAOYSA-N silicon carbide Chemical compound [Si+]#[C-] HBMJWWWQQXIZIP-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 52
- XKRFYHLGVUSROY-UHFFFAOYSA-N Argon Chemical compound [Ar] XKRFYHLGVUSROY-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 49
- IJGRMHOSHXDMSA-UHFFFAOYSA-N Atomic nitrogen Chemical compound N#N IJGRMHOSHXDMSA-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 45
- 238000005468 ion implantation Methods 0.000 claims description 36
- 229910052786 argon Inorganic materials 0.000 claims description 25
- 229910052757 nitrogen Inorganic materials 0.000 claims description 22
- 229910052710 silicon Inorganic materials 0.000 claims description 21
- XUIMIQQOPSSXEZ-UHFFFAOYSA-N Silicon Chemical compound [Si] XUIMIQQOPSSXEZ-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 20
- 229910052799 carbon Inorganic materials 0.000 claims description 20
- 239000001257 hydrogen Substances 0.000 claims description 20
- 229910052739 hydrogen Inorganic materials 0.000 claims description 20
- 239000010703 silicon Substances 0.000 claims description 20
- OKTJSMMVPCPJKN-UHFFFAOYSA-N Carbon Chemical compound [C] OKTJSMMVPCPJKN-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 19
- UFHFLCQGNIYNRP-UHFFFAOYSA-N Hydrogen Chemical compound [H][H] UFHFLCQGNIYNRP-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 14
- ZOXJGFHDIHLPTG-UHFFFAOYSA-N Boron Chemical compound [B] ZOXJGFHDIHLPTG-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 13
- 229910052782 aluminium Inorganic materials 0.000 claims description 13
- XAGFODPZIPBFFR-UHFFFAOYSA-N aluminium Chemical compound [Al] XAGFODPZIPBFFR-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 13
- 229910052796 boron Inorganic materials 0.000 claims description 13
- 238000002513 implantation Methods 0.000 claims description 13
- JMASRVWKEDWRBT-UHFFFAOYSA-N Gallium nitride Chemical compound [Ga]#N JMASRVWKEDWRBT-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 11
- AJNVQOSZGJRYEI-UHFFFAOYSA-N digallium;oxygen(2-) Chemical compound [O-2].[O-2].[O-2].[Ga+3].[Ga+3] AJNVQOSZGJRYEI-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 10
- -1 hydrogen ions Chemical class 0.000 claims description 10
- 230000007935 neutral effect Effects 0.000 claims description 10
- 238000003466 welding Methods 0.000 claims description 10
- GPRLSGONYQIRFK-UHFFFAOYSA-N hydron Chemical compound [H+] GPRLSGONYQIRFK-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 9
- 238000009792 diffusion process Methods 0.000 claims description 8
- 239000001307 helium Substances 0.000 claims description 7
- 229910052734 helium Inorganic materials 0.000 claims description 7
- SWQJXJOGLNCZEY-UHFFFAOYSA-N helium atom Chemical compound [He] SWQJXJOGLNCZEY-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 7
- 229910052754 neon Inorganic materials 0.000 claims description 7
- GKAOGPIIYCISHV-UHFFFAOYSA-N neon atom Chemical compound [Ne] GKAOGPIIYCISHV-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 7
- 229910052724 xenon Inorganic materials 0.000 claims description 7
- FHNFHKCVQCLJFQ-UHFFFAOYSA-N xenon atom Chemical compound [Xe] FHNFHKCVQCLJFQ-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 7
- PIGFYZPCRLYGLF-UHFFFAOYSA-N Aluminum nitride Chemical compound [Al]#N PIGFYZPCRLYGLF-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 6
- 239000010432 diamond Substances 0.000 claims description 6
- 229910003460 diamond Inorganic materials 0.000 claims description 6
- 229910001195 gallium oxide Inorganic materials 0.000 claims description 4
- 230000001678 irradiating effect Effects 0.000 claims description 4
- 238000010586 diagram Methods 0.000 abstract description 13
- 239000010410 layer Substances 0.000 description 112
- 230000008569 process Effects 0.000 description 57
- 125000004429 atom Chemical group 0.000 description 14
- 150000002500 ions Chemical class 0.000 description 14
- 230000015572 biosynthetic process Effects 0.000 description 9
- 239000000463 material Substances 0.000 description 9
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 7
- 238000005036 potential barrier Methods 0.000 description 6
- 230000001133 acceleration Effects 0.000 description 5
- 239000002019 doping agent Substances 0.000 description 4
- 239000007789 gas Substances 0.000 description 4
- 239000000203 mixture Substances 0.000 description 4
- 230000004888 barrier function Effects 0.000 description 3
- 239000000969 carrier Substances 0.000 description 3
- 230000007547 defect Effects 0.000 description 3
- 238000009826 distribution Methods 0.000 description 3
- 238000002347 injection Methods 0.000 description 3
- 239000007924 injection Substances 0.000 description 3
- 238000005259 measurement Methods 0.000 description 3
- 238000001179 sorption measurement Methods 0.000 description 3
- VYPSYNLAJGMNEJ-UHFFFAOYSA-N Silicium dioxide Chemical compound O=[Si]=O VYPSYNLAJGMNEJ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 230000008859 change Effects 0.000 description 2
- 238000004140 cleaning Methods 0.000 description 2
- 230000000052 comparative effect Effects 0.000 description 2
- 239000002131 composite material Substances 0.000 description 2
- 150000001875 compounds Chemical class 0.000 description 2
- 239000007943 implant Substances 0.000 description 2
- 239000011261 inert gas Substances 0.000 description 2
- 238000005304 joining Methods 0.000 description 2
- 238000004151 rapid thermal annealing Methods 0.000 description 2
- 238000001004 secondary ion mass spectrometry Methods 0.000 description 2
- 239000002344 surface layer Substances 0.000 description 2
- 238000012546 transfer Methods 0.000 description 2
- 230000005641 tunneling Effects 0.000 description 2
- 229910018072 Al 2 O 3 Inorganic materials 0.000 description 1
- 229910052581 Si3N4 Inorganic materials 0.000 description 1
- 238000002679 ablation Methods 0.000 description 1
- 230000003213 activating effect Effects 0.000 description 1
- 238000005280 amorphization Methods 0.000 description 1
- 238000004458 analytical method Methods 0.000 description 1
- 229910001423 beryllium ion Inorganic materials 0.000 description 1
- 230000005540 biological transmission Effects 0.000 description 1
- 238000005229 chemical vapour deposition Methods 0.000 description 1
- 238000005520 cutting process Methods 0.000 description 1
- 229910001873 dinitrogen Inorganic materials 0.000 description 1
- 238000005516 engineering process Methods 0.000 description 1
- 238000011156 evaluation Methods 0.000 description 1
- 238000004299 exfoliation Methods 0.000 description 1
- 238000000227 grinding Methods 0.000 description 1
- 125000004435 hydrogen atom Chemical group [H]* 0.000 description 1
- 230000006872 improvement Effects 0.000 description 1
- 239000012535 impurity Substances 0.000 description 1
- 230000007246 mechanism Effects 0.000 description 1
- 238000012986 modification Methods 0.000 description 1
- 230000004048 modification Effects 0.000 description 1
- 230000000737 periodic effect Effects 0.000 description 1
- 238000005498 polishing Methods 0.000 description 1
- 238000012545 processing Methods 0.000 description 1
- 230000009467 reduction Effects 0.000 description 1
- 238000011946 reduction process Methods 0.000 description 1
- 229910052594 sapphire Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000010980 sapphire Substances 0.000 description 1
- HQVNEWCFYHHQES-UHFFFAOYSA-N silicon nitride Chemical compound N12[Si]34N5[Si]62N3[Si]51N64 HQVNEWCFYHHQES-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229910052814 silicon oxide Inorganic materials 0.000 description 1
- 238000004544 sputter deposition Methods 0.000 description 1
- 238000000859 sublimation Methods 0.000 description 1
- 230000008022 sublimation Effects 0.000 description 1
- 238000005092 sublimation method Methods 0.000 description 1
Images
Classifications
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L21/00—Processes or apparatus adapted for the manufacture or treatment of semiconductor or solid state devices or of parts thereof
- H01L21/02—Manufacture or treatment of semiconductor devices or of parts thereof
Landscapes
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Physics & Mathematics (AREA)
- Condensed Matter Physics & Semiconductors (AREA)
- General Physics & Mathematics (AREA)
- Manufacturing & Machinery (AREA)
- Computer Hardware Design (AREA)
- Microelectronics & Electronic Packaging (AREA)
- Power Engineering (AREA)
- Recrystallisation Techniques (AREA)
Abstract
Description
半導体基板は、第1半導体基板と、第2半導体基板を備える。第1半導体基板と第2半導体基板は、接合界面を介して接合している。
図2は、本発明の半導体基板の一例を示す斜視図である。本発明の半導体基板10は、接合半導体基板であり、例えばオリエンテーションフラットを備えた略円盤状に形成されている。半導体基板10は、第1半導体基板の一例である支持基板11と、第2半導体基板の一例である単結晶基板13とを備えており、単結晶基板13は支持基板11に貼り合わされている。
次に、本発明の第1半導体基板と、第2半導体基板と、を備える半導体基板の製造方法の一例として、第1半導体基板である支持基板11が多結晶SiCであり、第2半導体基板である単結晶基板13が単結晶4H-SiCである半導体基板10の製造方法について説明する。ここでは、図1に示すフロー図等を用いて、水素原子のアブレーションによる単結晶基板13の剥離技術を用いて半導体基板10の製造を実施する場合について説明する。
図1のステップS0において、単結晶基板13の接合対象面13aから水素イオンを注入する、水素イオン注入工程が行われる。単結晶基板13に水素イオンを注入すると、水素イオンは入射エネルギーに応じた深さまで到達し、高濃度に分布する。これにより、図3の側面模式図に示すように、接合対象面13aから所定深さに、点線で示す水素注入層15が形成される。例えば、接合対象面13aから深さ0.6μm程度の位置に水素注入層15が形成される。
本工程は、第1半導体基板の第1接合対象面または第2半導体基板の第2接合対象面にダメージ層を形成する工程である。すなわち、接合対象面11aまたは接合対象面13aにダメージ層を形成する工程であり、接合対象面11aおよび接合対象面13aの両方にダメージ層を形成してもよい。
本工程は、第1接合対象面または第2接合対象面に対して特定元素を導入する工程である。すなわち、接合対象面11aまたは接合対象面13aに特定元素を導入する工程であり、接合対象面11aおよび接合対象面13aの両方に特定元素を導入してもよい。
本工程は、ダメージ層形成工程後、かつ特定元素導入工程後であって、接合工程前に、第1接合対象面または第2接合対象面にアルゴンビームを照射する工程である。すなわち、接合対象面11aまたは接合対象面13aにアルゴンビームを照射する工程であり、接合対象面11aおよび接合対象面13aの両方にアルゴンビームを照射してもよい。
本工程は、ダメージ層形成工程後、かつ特定元素導入工程後、第1接合対象面と第2接合対象面とを接合し、接合界面を有する接合半導体基板を形成する工程である。
本工程は、接合工程後かつ熱処理工程前の剥離工程時に熱が加わることによって、水素注入層15に微小気泡層が形成され、その微小気泡層を剥離面として第2半導体基板を剥離する工程である。すなわち、単結晶基板13にある微小気泡層が形成された水素注入層15を剥離面として単結晶基板13が剥離される。
本工程は、接合半導体基板を熱処理する工程であり、第1半導体基板または第2半導体基板に導入された特定元素を、第1半導体基板のダメージ層または第2半導体基板のダメージ層に移動させる工程である。
ステップS6の熱処理工程で、ドーピング層13bに存在していたリンが接合界面近傍のダメージ層12に移動することについて図8を用いて説明する。測定基板は、本明細書に記載の接合方法により接合された、4H-SiCの単結晶基板13および多結晶SiCの支持基板11である。ステップS5の剥離工程後であってステップS6の熱処理工程前のリン濃度プロファイルと、ステップS6の熱処理工程後のリン濃度プロファイルをSIMS分析により測定した。図8において、縦軸はリン濃度(atoms/cm3)である。横軸は、単結晶基板13と支持基板11の界面近傍の深さ(nm)で、深さ0nmが支持基板11と単結晶基板13との接合界面である。
本発明では、半導体層の表面ともう一つの半導体層の表面とを接合して、接合界面を有する半導体基板を生成し、その後の熱処理によって半導体層の特定元素をダメージ層に移動させる。これにより、接合界面の電位障壁を電子がトンネリングすることにより、界面抵抗を小さくすることができる。
以上、本発明の一実施形態について詳細に説明したが、これらは例示に過ぎず、本発明の範囲を限定するものではない。例えば以下に説明するように、本発明には、以上に例示した具体例を様々に変形、変更したものが含まれる。
〈半導体基板10の製造〉
単結晶基板13として、昇華法によって作製された、直径寸法が6インチの4H-SiC単結晶基板を用いた。また、支持基板11として、化学的気相蒸着法によりSiC多結晶を成膜して得た、直径寸法が6インチの3C-SiC多結晶基板を用いた。まず、ダメージ層形成工程の前に、単結晶基板13と支持基板11の接合対象面11a、13aに対して、鏡面研磨加工および洗浄を行った。
単結晶基板13の接合対象面13aに対して、水素イオンを接合対象面13aから深さ0.6μm程度の位置に注入し、水素注入層15を形成した。この水素注入層15は、水素イオン注入時に非晶質化が進み、その後の剥離工程S5で加わった熱により微小気泡が形成されて剥離する。
本実施例では、ダメージ層形成工程S1として、単結晶基板13の表面13aに、イオン注入機を用いてアルゴンを照射した。その注入条件は、例えば、ドーズ量1014~1016atoms/cm2、加速電圧0.1~70kVである。
イオン注入機を用いて、単結晶基板13の表面13aからリンイオンを注入し、ドーピング層13bを形成した。その時の表面13aのリン濃度は8×1019/cm3であった。
まず、接合対象面11a、13aに対し、鏡面研磨加工および洗浄を行った。次に、接合対象面11aおよび接合対象面13aにアルゴンビームを照射した。
照射工程後、活性化させた支持基板11の接合対象面11aと単結晶基板13の接合対象面13aとを、チャンバー101内で、真空状態を維持したままで接触させ、さらに加圧して、支持基板11と単結晶基板13との接合基板を得た。
ファーネス炉を用いて、窒素ガスを充満させた不活性雰囲気下において接合基板を加熱し、単結晶基板13を、水素注入層15で分離して、0.6μmの厚さの薄い単結晶基板13を接合した接合基板を形成した。
剥離工程後、ファーネス炉内においてアルゴンガスを充満させた不活性雰囲気下において1700℃で接合基板を加熱し、半導体基板10を得た。
(リン濃度の測定)
二次イオン質量分析(SIMS)により、製造した熱処理工程後の半導体基板10のリン濃度を測定した。また、比較として、熱処理工程前であって剥離工程後の接合基板についても、同様にリン濃度を測定した。結果を図8に示す。
図10に、今回試作した特性ON抵抗測定TEG断面図を示す。この断面図の表面電極として、Ti膜の上にAl膜を堆積した後パターニングで電極を形成した。転写層は単結晶基板13であり、多結晶支持基板は支持基板11であり、裏面電極はTi膜である。
以上より、本発明であれば、接合界面における界面抵抗の発生を防止することのできる半導体基板および半導体基板の製造方法を提供できるため、産業上有用である。
Claims (17)
- 第1半導体基板と、第2半導体基板と、を備える半導体基板の製造方法であって、
前記第1半導体基板の第1接合対象面または前記第2半導体基板の第2接合対象面にダメージ層を形成するダメージ層形成工程と、
前記第1接合対象面または前記第2接合対象面に対して特定元素を導入する特定元素導入工程と、
前記ダメージ層形成工程後、かつ前記特定元素導入工程後、前記第1接合対象面と前記第2接合対象面とを接合し、接合界面を有する接合半導体基板を形成する接合工程と、
前記接合半導体基板を熱処理する熱処理工程と、を備え、
前記熱処理工程は、前記第1半導体基板または前記第2半導体基板に導入された前記特定元素を、前記第1半導体基板の前記ダメージ層または前記第2半導体基板の前記ダメージ層に移動させる工程であり、
前記第1半導体基板および前記第2半導体基板がN型半導体の場合には、前記特定元素として5価元素を使用し、
前記第1半導体基板および前記第2半導体基板がP型半導体の場合には、前記特定元素として3価元素を使用する、
半導体基板の製造方法。 - 前記第1半導体基板および前記第2半導体基板は、シリコンカーバイト(SiC)、シリコン(Si)、炭素(C)、ガリウムナイトライド(GaN)、アルミナイトライド(AlN)、ガリウムオキサイド(Ga2O3)、ダイヤモンドのうちの何れかである、請求項1に記載の半導体基板の製造方法。
- 前記ダメージ層形成工程後に前記特定元素導入工程を行う、または前記特定元素導入工程後に前記ダメージ層形成工程を行う、請求項1または2に記載の半導体基板の製造方法。
- 前記ダメージ層には、シリコン(Si)、炭素(C)、ヘリウム(He)、ネオン(Ne)、アルゴン(Ar)、キセノン(Xe)、水素(H)、窒素(N)、リン(P)、ボロン(B)、アルミニウム(Al)の少なくとも何れかが存在する、請求項1に記載の半導体基板の製造方法。
- 前記ダメージ層形成工程は、前記第1接合対象面または前記第2接合対象面に対してイオン注入、中性元素注入、プラズマ照射の少なくとも何れか1つの処理を行うことで前記ダメージ層を形成する工程である、請求項1に記載の半導体基板の製造方法。
- 前記特定元素導入工程は、前記第1接合対象面または前記第2接合対象面に対してイオン注入、中性元素注入、プラズマドーピング、熱拡散の少なくとも何れか1つの処理を行うことで前記特定元素を導入する工程である、請求項1に記載の半導体基板の製造方法。
- 前記特定元素は、窒素(N)、リン(P)、ボロン(B)、アルミニウム(Al)の少なくとも何れか1つである、請求項1に記載の半導体基板の製造方法。
- 前記熱処理工程における熱処理温度は、1100℃~2200℃である、請求項1に記載の半導体基板の製造方法。
- 前記ダメージ層形成工程後、かつ前記特定元素導入工程後であって、前記接合工程前に、前記第1接合対象面または前記第2接合対象面にアルゴンビームを照射する照射工程を備える、請求項1に記載の半導体基板の製造方法。
- 前記第1半導体基板がSiC多結晶基板かつ前記第2半導体基板がSiC単結晶基板、前記第1半導体基板がSi基板かつ前記第2半導体基板がSi基板、前記第1半導体基板がガリウムナイトライド(GaN)基板かつ前記第2半導体基板がガリウムナイトライド(GaN)基板、前記第1半導体基板がガリウムオキサイド(Ga2O3)基板かつ前記第2半導体基板がガリウムオキサイド(Ga2O3)基板、または前記第1半導体基板がダイヤモンド基板かつ前記第2半導体基板がダイヤモンド基板であり、
前記ダメージ層形成工程前、かつ前記特定元素導入工程前に、前記第2接合対象面に対して水素イオンを注入する水素イオン注入工程を備える、請求項1に記載の半導体基板の製造方法。 - 前記接合工程後、かつ前記熱処理工程前に、微小気泡層を剥離面として前記第2半導体基板を剥離する剥離工程を備える、請求項10に記載の半導体基板の製造方法。
- 第1半導体基板と、前記第1半導体基板と接合界面を介して接合している第2半導体基板と、を備える半導体基板であって、
前記接合界面または前記接合界面から15nm近傍までの領域において特定元素の濃度が最も濃く、
前記特定元素は、前記接合界面または前記接合界面から15nm近傍までの領域と、前記接合界面から40nm~60nm離れた領域において濃度が濃い、半導体基板。 - 前記接合界面における前記特定元素の濃度が1×1019atoms/cm3~2.0×1020atoms/cm3である、請求項12に記載の半導体基板。
- 前記第1半導体基板および前記第2半導体基板は、シリコンカーバイト(SiC)、シリコン(Si)、炭素(C)、ガリウムナイトライド(GaN)、アルミナイトライド(AlN)、ガリウムオキサイド(Ga2O3)のうちの何れかである、請求項12に記載の半導体基板。
- 前記接合界面または前記接合界面から15nm近傍までの領域においてダメージ層を備え、
前記ダメージ層には、シリコン(Si)、炭素(C)、ヘリウム(He)、ネオン(Ne)、アルゴン(Ar)、キセノン(Xe)、水素(H)、窒素(N)、リン(P)、ボロン(B)、アルミニウム(Al)の少なくとも何れかが存在する、請求項12に記載の半導体基板。 - 前記特定元素は、窒素(N)、リン(P)、ボロン(B)、アルミニウム(Al)の少なくとも何れか1つである、請求項12に記載の半導体基板。
- 前記第1半導体基板がSiC多結晶基板であり、
前記第2半導体基板がSiC単結晶基板であり、
前記接合界面におけるリンの濃度が1×1019atoms/cm3~2.0×1020atoms/cm3である、請求項12に記載の半導体基板。
Priority Applications (2)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2022135772A JP7359399B1 (ja) | 2022-08-29 | 2022-08-29 | 半導体基板および半導体基板の製造方法 |
PCT/JP2023/029247 WO2024048239A1 (ja) | 2022-08-29 | 2023-08-10 | 半導体基板および半導体基板の製造方法 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2022135772A JP7359399B1 (ja) | 2022-08-29 | 2022-08-29 | 半導体基板および半導体基板の製造方法 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP7359399B1 true JP7359399B1 (ja) | 2023-10-11 |
JP2024032220A JP2024032220A (ja) | 2024-03-12 |
Family
ID=88242178
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2022135772A Active JP7359399B1 (ja) | 2022-08-29 | 2022-08-29 | 半導体基板および半導体基板の製造方法 |
Country Status (2)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP7359399B1 (ja) |
WO (1) | WO2024048239A1 (ja) |
Citations (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
WO2016006663A1 (ja) * | 2014-07-10 | 2016-01-14 | 株式会社豊田自動織機 | 半導体基板および半導体基板の製造方法 |
JP2018014372A (ja) * | 2016-07-19 | 2018-01-25 | 株式会社サイコックス | 半導体基板 |
-
2022
- 2022-08-29 JP JP2022135772A patent/JP7359399B1/ja active Active
-
2023
- 2023-08-10 WO PCT/JP2023/029247 patent/WO2024048239A1/ja unknown
Patent Citations (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
WO2016006663A1 (ja) * | 2014-07-10 | 2016-01-14 | 株式会社豊田自動織機 | 半導体基板および半導体基板の製造方法 |
JP2018014372A (ja) * | 2016-07-19 | 2018-01-25 | 株式会社サイコックス | 半導体基板 |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JP2024032220A (ja) | 2024-03-12 |
WO2024048239A1 (ja) | 2024-03-07 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
EP3168862B1 (en) | Semiconductor substrate and semiconductor substrate production method | |
US7718519B2 (en) | Method for manufacturing silicon carbide semiconductor element | |
CN109478495B (zh) | 半导体基板 | |
US7462540B2 (en) | Silicon carbide semiconductor device and process for producing the same | |
US8367510B2 (en) | Process for producing silicon carbide semiconductor device | |
JP4879507B2 (ja) | バイポーラ型半導体装置の順方向電圧回復方法、積層欠陥縮小方法およびバイポーラ型半導体装置 | |
WO2008015766A1 (en) | Method for recovering forward voltage of bipolar semiconductor device, method for reducing lamination defect and bipolar semiconductor device | |
CN115692181A (zh) | 在碳化硅(SiC)衬底上制造欧姆接触的方法 | |
JP3963154B2 (ja) | 炭化珪素ショットキーバリアダイオードの製造方法 | |
JP7359399B1 (ja) | 半導体基板および半導体基板の製造方法 | |
TWI643250B (zh) | Method for manufacturing epitaxial wafer and epitaxial wafer | |
TW202416346A (zh) | 半導體基板及半導體基板之製造方法 | |
WO2024128021A1 (ja) | 半導体基板および半導体基板の製造方法 | |
JP2007027630A (ja) | バイポーラ型半導体装置およびその製造方法 | |
JP6540607B2 (ja) | 接合ウェーハの製造方法および接合ウェーハ | |
JP2003347235A (ja) | 半導体装置の製造方法 | |
JPH05238880A (ja) | エピタキシャル成長方法 | |
JP2020004989A (ja) | シリコン接合ウェーハ | |
JP2024086297A (ja) | 半導体基板および半導体基板の製造方法 | |
JPH11307467A (ja) | 炭化けい素半導体素子の製造方法 | |
Howlader et al. | Bonding of p-Si/n-InP wafers through surface activated bonding method at room temperature | |
JP2023068782A (ja) | 半導体基板とその製造方法 | |
WO2008015765A1 (fr) | Dispositif a semi-conducteurs bipolaire et son procédé de production | |
JP2023138469A (ja) | 4h-sic物質と直接コンタクトする3c-sic層を形成するために4h-sic物質のウエハを処理するプロセス | |
JP2003092270A (ja) | 化合物半導体の処理方法 |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20220829 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20230627 |
|
A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20230810 |
|
TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20230829 |
|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20230920 |
|
R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
Ref document number: 7359399 Country of ref document: JP Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 |