JP7358231B2 - キャリア洗浄装置 - Google Patents
キャリア洗浄装置 Download PDFInfo
- Publication number
- JP7358231B2 JP7358231B2 JP2019234224A JP2019234224A JP7358231B2 JP 7358231 B2 JP7358231 B2 JP 7358231B2 JP 2019234224 A JP2019234224 A JP 2019234224A JP 2019234224 A JP2019234224 A JP 2019234224A JP 7358231 B2 JP7358231 B2 JP 7358231B2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- carrier
- frame
- cleaning device
- roller
- guide
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Active
Links
Landscapes
- Cleaning By Liquid Or Steam (AREA)
- Grinding-Machine Dressing And Accessory Apparatuses (AREA)
- Finish Polishing, Edge Sharpening, And Grinding By Specific Grinding Devices (AREA)
- Mechanical Treatment Of Semiconductor (AREA)
Description
また、本発明のキャリアの洗浄装置は、研磨機によるワークの研磨中にワークの保持に使用される円盤状のキャリアを洗浄するキャリア洗浄装置であって、上方に向かって開放した開口を有し、キャリアを立てた状態で収納可能なフレームと、フレーム内に回動可能に設けられ、キャリアの中心よりも下側に配置されると共に、外周面がキャリアの外周縁に形成された歯部に噛み合う駆動ギヤと、駆動ギヤを介してキャリアを回転させる駆動機構と、フレーム内に回動可能に設けられてキャリアの中心よりも下側に配置されると共に、平坦な凹凸のない外周面が歯部に接触し、回転しながらキャリアを支持する円筒状の支持ローラと、を備えている。
以下、実施例1のキャリア洗浄装置1の構成を図1~図6に基づいて説明する。
10 フレーム
11 板部材
12 支柱
14 ブラケット
15 ガイドレール
20 駆動ギヤ
21 円盤プレート
22 丸棒部材
23 回転軸
25 従動歯車
30 支持ローラ
33 回転軸
40 ガイドローラ
41 案内溝
43 回転軸
40x 押さえローラ
50 駆動機構
51 駆動モータ
52 回転伝達部
52c 駆動歯車
53 ローラーチェーン
60 ガイドプレート(ガイド部)
61 挿入案内溝
Claims (12)
- 研磨機によるワークの研磨中に前記ワークの保持に使用される円盤状のキャリアを洗浄するキャリア洗浄装置であって、
前記キャリアを収納可能なフレームと、
前記フレーム内に回動可能に設けられ、外周面が前記キャリアの外周縁に形成された歯部に噛み合う駆動ギヤと、
前記駆動ギヤを介して前記キャリアを回転させる駆動機構と、
前記フレーム内に回動可能に設けられ、外周面が前記歯部に接触して回転しながら前記キャリアを支持する支持ローラ、及び、前記フレーム内に回動可能に設けられ、外周面に前記キャリアが差し込まれる案内溝が形成されたガイドローラの少なくとも一方と、
前記フレームに設けられ、前記支持ローラ又は前記ガイドローラを回動可能に支持すると共に、前記フレームに対して前記支持ローラ又は前記ガイドローラを着脱可能に取り付けるための複数のローラ保持部と、を備え、
前記複数のローラ保持部は、所定の径寸法の第1のキャリアを洗浄する際に選択される第1のローラ保持部と、前記第1のローラ保持部よりも前記キャリアの中心に近い位置に設けられて前記第1のキャリアよりも径寸法が小さい第2のキャリアを洗浄する際に選択される第2のローラ保持部と、を有し、
前記支持ローラ又は前記ガイドローラは、洗浄されるキャリアの径寸法に応じて選択された前記第1のローラ保持部及び前記第2のローラ保持部のいずれかを介して前記フレームに取り付けられる
ことを特徴するキャリア洗浄装置。 - 請求項1に記載されたキャリア洗浄装置において、
前記フレームは、上方に向かって開放した開口を有し、前記キャリアを立てた状態で収納可能とする
ことを特徴とするキャリア洗浄装置。 - 請求項1又は請求項2に記載されたキャリア洗浄装置において、
前記案内溝は、前記ガイドローラの軸方向に沿って複数並んでいる
ことを特徴とするキャリア洗浄装置。 - 請求項1から請求項3のいずれか一項に記載されたキャリア洗浄装置において、
前記フレームは、上方に向かって開放した開口を有し、前記キャリアを立てた状態で収納可能とし、
前記フレーム内に回動可能に設けられ、前記キャリアの中心よりも上側に着脱可能に配置される押さえローラを備える
ことを特徴とするキャリア洗浄装置。 - 研磨機によるワークの研磨中に前記ワークの保持に使用される円盤状のキャリアを洗浄するキャリア洗浄装置であって、
上方に向かって開放した開口を有し、前記キャリアを立てた状態で収納可能なフレームと、
前記フレーム内に回動可能に設けられ、前記キャリアの中心よりも下側に配置されると共に、外周面が前記キャリアの外周縁に形成された歯部に噛み合う駆動ギヤと、
前記駆動ギヤを介して前記キャリアを回転させる駆動機構と、
前記フレーム内に回動可能に設けられ、前記キャリアの中心よりも下側に配置されると共に、平坦な凹凸のない外周面が前記歯部に接触し、回転しながら前記キャリアを支持する円筒状の支持ローラと、
を備えることを特徴とするキャリア洗浄装置。 - 請求項5に記載されたキャリア洗浄装置において、
前記フレーム内に回動可能に設けられ、外周面に前記キャリアが差し込まれる案内溝が形成されたガイドローラを備える
ことを特徴とするキャリア洗浄装置。 - 請求項6に記載されたキャリア洗浄装置において、
前記案内溝は、前記ガイドローラの軸方向に沿って複数並んでいる
ことを特徴とするキャリア洗浄装置。 - 請求項5から請求項7の何れか一項に記載されたキャリア洗浄装置において、
前記フレーム内に回動可能に設けられ、前記キャリアの中心よりも上側に着脱可能に配置される押さえローラを備える
ことを特徴とするキャリア洗浄装置。 - 請求項5に記載されたキャリア洗浄装置において、
前記フレームには、複数のローラ保持部が設けられ、
前記支持ローラは、前記ローラ保持部を介して前記フレームに着脱可能に設けられる
ことを特徴とするキャリア洗浄装置。 - 請求項6又は請求項7に記載されたキャリア洗浄装置において、
前記フレームには、複数のローラ保持部が設けられ、
前記支持ローラ又は前記ガイドローラは、前記ローラ保持部を介して前記フレームに着脱可能に設けられる
ことを特徴とするキャリア洗浄装置。 - 請求項1から請求項10のいずれか一項に記載されたキャリア洗浄装置において、
前記フレームの内側に設けられ、前記キャリアの差し込み方向に延び、前記キャリアが挿入される挿入案内溝を有するガイド部を備えた
ことを特徴とするキャリア洗浄装置。 - 請求項1から請求項11のいずれか一項に記載されたキャリア洗浄装置において、
洗浄液を貯留可能な洗浄槽から出し入れ可能とする
ことを特徴とするキャリア洗浄装置。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2019234224A JP7358231B2 (ja) | 2019-12-25 | 2019-12-25 | キャリア洗浄装置 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2019234224A JP7358231B2 (ja) | 2019-12-25 | 2019-12-25 | キャリア洗浄装置 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2021102190A JP2021102190A (ja) | 2021-07-15 |
JP7358231B2 true JP7358231B2 (ja) | 2023-10-10 |
Family
ID=76754654
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2019234224A Active JP7358231B2 (ja) | 2019-12-25 | 2019-12-25 | キャリア洗浄装置 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP7358231B2 (ja) |
Citations (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2005116871A (ja) | 2003-10-09 | 2005-04-28 | Komatsu Electronic Metals Co Ltd | 液中処理方法及び液中処理装置 |
JP2008161982A (ja) | 2006-12-28 | 2008-07-17 | Kyocera Kinseki Corp | 研磨装置 |
Family Cites Families (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2817532B2 (ja) * | 1992-08-05 | 1998-10-30 | 日立電子エンジニアリング株式会社 | 超音波洗浄装置 |
-
2019
- 2019-12-25 JP JP2019234224A patent/JP7358231B2/ja active Active
Patent Citations (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2005116871A (ja) | 2003-10-09 | 2005-04-28 | Komatsu Electronic Metals Co Ltd | 液中処理方法及び液中処理装置 |
JP2008161982A (ja) | 2006-12-28 | 2008-07-17 | Kyocera Kinseki Corp | 研磨装置 |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JP2021102190A (ja) | 2021-07-15 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
US5626159A (en) | Apparatus for cleaning semiconductor wafers | |
KR100687296B1 (ko) | 자전형 웨이퍼 캐리어와 이를 구비한 초음파 세정장치 | |
JPS5928036Y2 (ja) | 化学エツチング処理装置 | |
JP5696491B2 (ja) | ウェーハ洗浄装置及び洗浄方法 | |
US5839460A (en) | Apparatus for cleaning semiconductor wafers | |
US5816274A (en) | Apparartus for cleaning semiconductor wafers | |
JP7358231B2 (ja) | キャリア洗浄装置 | |
TWI584365B (zh) | 晶圓旋轉裝置及晶圓旋轉方法 | |
JPH04151837A (ja) | エッチング装置 | |
CN216371594U (zh) | 一种抱箍打磨装置 | |
KR101030833B1 (ko) | 원판형 부재의 에칭 방법 및 장치 | |
US3516203A (en) | Method and means for surface finishing a work piece | |
CN210614592U (zh) | 一种油漆桶清洗装置 | |
CN213768075U (zh) | 一种用于木盘的内支撑结构 | |
JP6994242B2 (ja) | 半導体ウェハ処理装置 | |
CN213613185U (zh) | 一种罐头清洗装置 | |
JP3083832B2 (ja) | 研摩方法及び装置 | |
JP6848408B2 (ja) | ガラス物品の製造方法 | |
JP6908289B2 (ja) | ウェハ洗浄機 | |
CN210523183U (zh) | 石英晶体载板清洗装置 | |
JPH07136924A (ja) | 線材用振動式バレル研磨機 | |
CN211860694U (zh) | 一种线路板清洗装置 | |
JP6811882B2 (ja) | 洗浄装置 | |
CN220678766U (zh) | 一种机械电气元器件清洁装置 | |
TWI744988B (zh) | 清洗及蝕刻裝置 |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20220610 |
|
A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20230322 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20230509 |
|
A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20230706 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20230725 |
|
A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20230818 |
|
TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20230905 |
|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20230927 |
|
R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
Ref document number: 7358231 Country of ref document: JP Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 |