JP7355687B2 - 貼合装置および貼合方法 - Google Patents
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Description
OL=S+k×C (式1)
平坦度関係式は、第1学習用基板W1sの平坦度、倍率入力値、および、貼合された第1および第2学習用基板W1s、W2sのパターンずれ量の関係を示す。尚、本実施形態では、便宜的に式1を一次関数で表しているが、式1は、二次以上の高次関数式であってもよい。
成分、(e)台形成分、(f)扇形成分、(g)C字倍率成分、(h)アコーディオン成
分、(i)C字ひずみ成分、(j)川の流れ成分を示している。
(b)倍率成分は、Δdx=K3・x、Δdy=K4・yである。
(c)菱形成分は、Δdx=K5・y、Δdy=K6・xである。
(d)偏心倍率成分は、Δdx=K7・x2、Δdy=K8・y2である。
(e)台形成分は、Δdx=K9・x・y、Δdy=K10・x・yである。
(f)扇形成分は、Δdx=K11・y2、Δdy=K12・x2である。
(g)C字倍率成分は、Δdx=K13・x3、Δdy=K14・y3である。
(h)アコーディオン成分は、Δdx=K15・x2・y、Δdy=K16・x・y2である。
(i)C字歪み成分は、Δdx=K17・x・y2、Δdy=K18・x2・yである。
(j)川の流れ成分は、Δdx=K19・y3、Δdy=K20・x3である。
Claims (8)
- 第1半導体基板を保持する第1ステージと、
第2半導体基板を保持し、前記第1ステージに対向して前記第2半導体基板を前記第1半導体基板へ貼合する第2ステージと、
前記第1ステージに設けられ、前記第1半導体基板の形状または大きさを調整するための倍率値に基づいて該第1半導体基板に応力を印加する応力印加部と、
第1学習用基板の平坦度、前記倍率値、および、貼合された前記第1学習用基板と第2学習用基板のパターンずれ量の関係を示す平坦度関係式に基づいて、前記第1半導体基板の平坦度から前記第1半導体基板に対応する前記倍率値を補正倍率値として算出する算出部とを備え、
前記第1および第2半導体基板を貼合させるときに、前記応力印加部は、前記補正倍率値に基づいて、前記第1ステージ上の前記第1半導体基板に応力を印加する、貼合装置。 - 前記平坦度関係式は、前記第1学習用基板の平坦度ごとに作成されており、
前記算出部は、前記第1半導体基板の平坦度に応じて前記平坦度関係式を選択して前記補正倍率値を算出する、請求項1に記載の装置。 - 前記平坦度関係式は、前記パターンずれ量がゼロとなる前記倍率値と前記平坦度との関係式である、請求項1または請求項2に記載の装置。
- 前記算出部は、前記第1学習用基板の平坦度Cごとに、前記倍率値Sおよび貼合された前記第1学習用基板と第2学習用基板とのパターンずれ量OLを用いて式1から係数kを算出し、
OL=S+k×C (式1)
算出された該係数kを式1に入れることにより前記平坦度関係式を算出する、請求項1から請求項3のいずれか一項に記載の装置。 - 第1半導体基板を保持する第1ステージと、第2半導体基板を保持し、前記第1ステージに対向して前記第2半導体基板を前記第1半導体基板へ貼合する第2ステージと、前記第1ステージに設けられ前記第1半導体基板に応力を印加する応力印加部と、前記第1半導体基板の形状または大きさを調整するための倍率値を算出する算出部とを備えた貼合装置を用いた貼合方法であって、
第1学習用基板の平坦度、前記倍率値、および、貼合された前記第1学習用基板と第2学習用基板のパターンずれ量の関係を示す平坦度関係式に基づいて、前記第1半導体基板の平坦度から前記第1半導体基板に対応する前記倍率値を補正倍率値として算出し、
前記補正倍率値に基づいて、前記第1ステージ上の前記第1半導体基板に応力を印加し、
前記第1および第2半導体基板を貼合させることを具備した、貼合方法。 - 前記平坦度関係式は、前記第1学習用基板の平坦度ごとに作成されており、
前記算出部は、前記第1半導体基板の平坦度に応じて前記平坦度関係式を選択して前記補正倍率値を算出する、請求項5に記載の方法。 - 前記平坦度関係式は、前記パターンずれ量がゼロとなる前記倍率値と前記平坦度との関係式である、請求項5または請求項6に記載の方法。
- 前記算出部は、前記第1学習用基板の平坦度Cごとに、前記倍率値Sおよび貼合された前記第1学習用基板と第2学習用基板とのパターンずれ量OLを用いて式1から係数kを算出し、
OL=S+k×C (式1)
算出された該係数kを式1に入れることにより前記平坦度関係式を算出する、請求項5から請求項7のいずれか一項に記載の方法。
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