JP7353042B2 - ブラシ洗浄装置 - Google Patents
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Description
また、洗浄ミストによる飛沫が洗浄ブラシの気孔内の異物に断続的にぶつかることにより、洗浄ブラシ及び異物が共に振動して結合が緩み、異物が飛沫と共に外部に落ち、異物を効率良く除去できる。
さらに、洗浄水を洗浄ミストに変えて噴霧することにより、洗浄水の被膜が洗浄ブラシの広範囲にぶつかり、異物を更に効率良く除去できる。
また、洗浄ミストによる飛沫が洗浄ブラシの気孔内の異物に断続的にぶつかるので、洗浄ブラシ及び異物が共に振動して結合が緩み、異物が飛沫と共に外部に落ち、異物を効率良く除去できる。
さらに、洗浄水を洗浄ミストに変えて噴霧することにより、洗浄ブラシの広範囲に飛沫がぶつかり、異物を更に効率良く除去できる。
このように、洗浄ブラシ表面の異物を効率良く除去することができるので、ブラシの交換周期を長くすることが可能になる。
11 :回転駆動ローラ
12A :上ブラシユニット
12B :下ブラシユニット
13A :上ユニットフレーム
13B :下ユニットフレーム
14A :モータ
14B :モータ
15 :洗浄ブラシ
16 :洗浄水供給部
17 :スクレーパ
18 :枢軸
19 :洗浄水供給パイプ
20 :ブラシ洗浄装置
21 :ノズル
22 :洗浄ミスト
W :ウエハ
Claims (5)
- 基板を洗浄し、高さ方向に移動可能な洗浄ブラシと、
前記基板を洗浄する洗浄位置から前記高さ方向に離間した退避位置で回転する前記洗浄ブラシの外周に向けて、前記洗浄ブラシの気孔内の異物に当たって前記異物を除去可能な洗浄ミストを側面方向から見て直線状に噴霧するノズルと、
を備えている、ことを特徴とするブラシ洗浄装置。 - 前記ノズルは、平面視扇形に拡げた前記洗浄ミストを噴霧する、ことを特徴とする請求項1に記載のブラシ洗浄装置。
- 前記ノズルは、前記洗浄ミストを側面方向から見て前記洗浄ブラシの外周と接する方向に向けて噴霧する、ことを特徴とする請求項1又は2に記載のブラシ洗浄装置。
- 前記ノズルは、前記洗浄ミストを側面方向から見て前記洗浄ブラシの外周下部と接する方向に向けて噴霧する、ことを特徴とする請求項1又は2に記載のブラシ洗浄装置。
- 前記洗浄ブラシの外周面に付着しているダストを剥ぎ落とすスクレーパを更に備えている、ことを特徴とする請求項1、2、3又は4に記載のブラシ洗浄装置。
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