JP7351448B2 - Ｘ線撮影装置 - Google Patents

Description

本発明は、Ｘ線撮影装置に関し、より特定的には、線状物のＸ線画像を撮影するＸ線撮影装置に関する。

従来、Ｘ線撮影は、医療分野における診断や産業機器分野における非破壊検査などに用いられている。従来のＸ線撮影装置は、たとえば下記特許文献１などに開示されている。下記特許文献１には、コンベアに取り付けることが可能なＸ線検査装置が開示されている。

特開２０１８－１１２５２３号公報

近年、線状のキャリアテープに設けられた複数の凹部に対して複数の電子部品の各々を配置することにより、複数の電子部品を梱包した線状物を作製し、Ｘ線検査後に線状物をリールに巻きつけた状態で出荷する方法が多く採用されている。しかしながら、従来のＸ線撮影装置では、線状物が撮影対象である場合に撮影効率が悪いという問題があった。

Ｘ線撮影装置においては、Ｘ線を筐体の内部に遮蔽する必要がある。このため、撮影前に筐体に設けられた扉を開閉することにより、筐体の内部の所定の載置位置に試料を載置し、撮影後には扉を再度開閉することにより、載置位置から試料を撤去する作業が必要である。また、Ｘ線撮影装置の撮影エリアよりも線状物の長さは長い。このため、線状物が撮影対象である場合には、線状物を切断し、切断後の複数の線状物の部分の各々に対して、撮影前に扉を開閉して載置位置に載置し、撮影後に扉を開閉して載置位置から撤去する作業が必要になり、線状物の取扱いに手間を要していた。

また、特許文献１のようにコンベアに取り付けられたＸ線検査装置を用いて線状物の撮影を行う場合には、撮影前に線状物を引き延ばしてコンベアの搬送方向に沿って配置し、撮影後に引き延ばした線状物を回収する作業が必要であった。このため、線状物の取扱いに手間を要していた。

線状物の撮影効率が悪いという問題は、上述のような複数の電子部品を梱包した線状物のみならず、線状物一般において起こる問題であった。

本発明は、上記課題を解決するためのものであり、その目的は、線状物の撮影効率を向上することのできるＸ線撮影装置を提供することである。

本発明の一の局面に従うＸ線撮影装置は、線状物のＸ線画像を撮影するＸ線撮影装置であって、Ｘ線を照射する照射部と、照射部にて照射したＸ線を受信する受信部と、照射部にて照射したＸ線を遮蔽する筐体と、照射部にて照射され受信部にて受信されるＸ線の経路に設けられた検出位置に、線状物の延在方向に沿って線状物を先端から順番に送り出す送出部と、検出位置に到達した後の線状物の部分を回収する回収部と、受信部にて受信したＸ線に基づいて、線状物のＸ線画像を生成する画像生成部とを備え、送出部は、線状物を巻き付けることで線状物を収容し、かつ回転することで線状物を検出位置に送り出し、回収部は、線状物を巻き付けることで線状物を収容し、かつ回転することで検出位置に到達した後の線状物の部分を回収し、送出部は、筐体の外部において、筐体の内部へ線状物を導入するための導入口よりも上方で筐体に回転可能に支持され、回収部は、筐体の外部において、筐体の外部へ線状物を排出するための排出口よりも上方で筐体に回転可能に支持され、送出部によって下方に送り出された線状物の部分は、導入口において略水平方向に送出方向が変更されて検出位置に到達し、検出位置に到達した後の線状物の部分は、排出口において上方に送出方向が変更されて回収部に回収される。

上記Ｘ線撮影装置において好ましくは、筐体から第１の方向に突出する第１のトンネル部と、第１の方向とは反対の方向である第２の方向に筐体から突出する第２のトンネル部とをさらに備え、筐体の内部と、第１および第２のトンネル部の各々の内部とは互いに接続されており、第１のトンネル部は、検出位置に到達する前の線状物の部分を第１のトンネルの内部に導入する導入口を含み、第２のトンネル部は、検出位置に到達した後の線状物の部分を第２のトンネルの内部から排出する排出口を含む。

上記Ｘ線撮影装置において好ましくは、送出部は、間欠的に線状物を検出位置に送り出し、画像生成部は、送出部が線状物の送り出しを停止しているタイミングで受信部にて受信したＸ線に基づいて、線状物の延在方向に沿って区分された線状物の複数の部分の各々の画像を生成する。

上記Ｘ線撮影装置において好ましくは、回収部を回転駆動するモーターと、回収部の回転距離を指標する値をカウントするカウント部とをさらに備える

上記Ｘ線撮影装置において好ましくは、線状物における特定の位置に対して印を付けるマーキング部をさらに備える。

本発明の他の局面に従うＸ線撮影装置は、線状物のＸ線画像を撮影するＸ線撮影装置であって、Ｘ線を照射する照射部と、照射部にて照射したＸ線を受信する受信部と、照射部にて照射したＸ線を遮蔽する筐体と、照射部にて照射され受信部にて受信されるＸ線の経路に設けられた検出位置に、線状物の延在方向に沿って線状物を先端から順番に送り出す送出部と、検出位置に到達した後の線状物の部分を回収する回収部と、受信部にて受信したＸ線に基づいて、線状物のＸ線画像を生成する画像生成部とを備え、送出部は、線状物を巻き付けることで線状物を収容し、かつ回転することで線状物を検出位置に送り出し、回収部は、線状物を巻き付けることで線状物を収容し、かつ回転することで検出位置に到達した後の線状物の部分を回収し、線状物における特定の位置に対して印を付けるマーキング部をさらに備え、マーキング部は、線状物の複数の部分の各々に線状物の先端からの距離を指標する情報を含む印を付ける第１のマーキング部を含む。

上記Ｘ線撮影装置において好ましくは、第１のマーキング部は、検出位置に到達する前の線状物の部分に対して、Ｘ線が透過しないインクよりなる印を付ける。

上記Ｘ線撮影装置において好ましくは、マーキング部は、画像生成部にて生成した画像から異常が検出された場合に、線状物における異常が検出された部分を指標する印を線状物に付ける第２のマーキング部を含む。

上記Ｘ線撮影装置において好ましくは、第２のマーキング部は、インクよりなる印を付ける。

上記Ｘ線撮影装置において好ましくは、第２のマーキング部は、線状物における異常が検出された部分を変形させる。

本発明のさらに他の局面に従うＸ線撮影装置は、線状物のＸ線画像を撮影するＸ線撮影装置であって、Ｘ線を照射する照射部と、照射部にて照射したＸ線を受信する受信部と、照射部にて照射したＸ線を遮蔽する筐体と、照射部にて照射され受信部にて受信されるＸ線の経路に設けられた検出位置に、線状物の延在方向に沿って線状物を先端から順番に送り出す送出部と、検出位置に到達した後の線状物の部分を回収する回収部と、受信部にて受信したＸ線に基づいて、線状物のＸ線画像を生成する画像生成部とを備え、送出部は、線状物を巻き付けることで線状物を収容し、かつ回転することで線状物を検出位置に送り出し、回収部は、線状物を巻き付けることで線状物を収容し、かつ回転することで検出位置に到達した後の線状物の部分を回収し、Ｘ線の経路に沿って線状物を移動させることにより、検出位置を調整する検出位置調整部をさらに備える。

上記Ｘ線撮影装置において好ましくは、検出位置調整部は、筐体の内部に設けられ、線状物における筐体の内部に存在する部分を保持する保持部を含み、保持部は、Ｘ線の経路に対して平行に移動可能である。

上記Ｘ線撮影装置において好ましくは、保持部と一体的にＸ線の経路に対して平行に移動可能である試料載置部であって、Ｘ線を透過する透過部を含む試料載置部をさらに備える。

上記Ｘ線撮影装置において好ましくは、保持部は、Ｘ線の経路を挟む位置に設けられた２本の移動ローラーよりなり、２本の移動ローラーは、Ｘ線の経路に沿って照射部へ向かう方向の力を線状物に加え、かつ送り出される線状物に従動して回転する。

上記Ｘ線撮影装置において好ましくは、２本の移動ローラーの各々よりもＸ線の経路から離れた位置に固定された２本の固定ローラーの各々をさらに備え、２本の固定ローラーは、Ｘ線の経路に沿って受信部へ向かう方向の力を線状物に加え、かつ送り出される線状物に従動して回転する。
上記Ｘ線撮影装置において好ましくは、線状物を回収部に導くガイド線をさらに備え、ガイド線の基端は回収部に固定されており、ガイド線は、把持部を排出口から筐体の内部に通し、導入口から筐体の外部に引き出すことのできる長さを有する。

本発明によれば、線状物の撮影効率を向上することのできるＸ線撮影装置を提供することができる。

本発明の一実施の形態におけるＸ線撮影装置１の構成を示す正面図である。 本発明の一実施の形態におけるＸ線撮影装置１の構成を示す断面図である。 ＰＣ４０の機能的構成を示すブロック図である。 Ｘ線撮影装置１への線状物ＷＫの取付方法を説明する第１の図である。 Ｘ線撮影装置１への線状物ＷＫの取付方法を説明する第２の図である。 Ｘ線撮影装置１への線状物ＷＫの取付方法を説明する第３の図である。 本発明の一実施の形態において、画像生成部４５によって生成されたＸ線画像と、線状物ＷＫにおける被撮影部分との対応関係を説明する図である。 本発明の一実施の形態におけるＸ線撮影装置１に、線状物でない試料ＳＭが載置された状態を示す図である。 本発明の一実施の形態の第１の変形例におけるＸ線撮影装置１の構成を示す断面図である。 本発明の一実施の形態の第１の変形例において、マーキング部１７によって線状物ＷＫに付けられた印ＭＲを模式的に示す図である。 本発明の一実施の形態の第２の変形例におけるＸ線撮影装置１の構成を示す断面図である。 本発明の一実施の形態の第２の変形例において、画像生成部４５によって生成されたＸ線画像と、マーキング部１７によって線状物ＷＫに付けられた印ＭＲとを模式的に示す図である。 本発明の一実施の形態の第３の変形例において、画像生成部４５によって生成されたＸ線画像と、マーキング部１７によって線状物ＷＫに付けられた印ＭＲとを模式的に示す図である。 本発明の一実施の形態の第４の変形例において、画像生成部４５によって生成されたＸ線画像と、マーキング部１７によって線状物ＷＫに付けられた印ＭＲとを模式的に示す図である。 本発明の一実施の形態の第５の変形例におけるＸ線撮影装置１の構成を示す断面図である。 本発明の一実施の形態の第６の変形例におけるＸ線撮影装置１の構成を示す断面図である。 本発明の一実施の形態の第７の変形例におけるＸ線撮影装置１の構成を示す断面図である。 本発明の一実施の形態の第７の変形例のＸ線撮影装置１において、移動ローラー１５および載置部１６が下降した状態を示す断面図である。

以下、本発明の一実施の形態について、図面に基づいて説明する。

［Ｘ線撮影装置の構成］

図１は、本発明の一実施の形態におけるＸ線撮影装置１（Ｘ線撮影装置の一例）の構成を示す正面図である。図２は、本発明の一実施の形態におけるＸ線撮影装置１の構成を示す断面図である。

図１および図２を参照して、本実施の形態のＸ線撮影装置１は、線状物ＷＫのＸ線画像を撮影するものであり、筐体１０（筐体の一例）と、Ｘ線発生部２０（照射部の一例）と、Ｘ線検出部３０（受信部の一例）と、ＰＣ（Ｐｅｒｓｏｎａｌ Ｃｏｍｐｕｔｅｒ）４０などを備えている。線状物ＷＫは、たとえば複数の電子部品（コンデンサ、抵抗器、またはトランジスタなど）を梱包した線状物などよりなっている。

筐体１０は、直方体に近い形状を有している。筐体１０は、筐体１０の内部でＸ線発生部２０が発生したＸ線を遮蔽する。筐体１０は、その正面に扉１０ａを含んでいる。扉１０ａは、筐体１０の内部を露出する開いた状態と、筐体１０の内部を覆う閉じた状態とを採ることができる。

Ｘ線発生部２０は、たとえば反射型のＸ線発生装置であり、Ｘ線を照射する。Ｘ線発生部２０は、筐体１０の内部に収容されている。Ｘ線発生部２０は、チャンバー２１と、ヘッド２２と、電子線発生部２３と、集束電極２４と、ターゲット２５とを主に含んでいる。

チャンバー２１は、円筒形状を有している。チャンバー２１は、ガラスやセラミックスなどよりなっている。

ヘッド２２は、チャンバー２１に固定されており、チャンバー２１とともに真空（減圧）の内部空間を構成している。ヘッド２２は、ウインドウ２２ａと、ヘッド本体２２ｂとを含んでいる。ヘッド本体２２ｂは、チャンバー２１の端部に固定されている。ヘッド本体２２ｂは、たとえば銅などよりなっている。ウインドウ２２ａは、平板状であり、ヘッド本体２２ｂに固定されている。ウインドウ２２ａは、ヘッド本体２２ｂよりも高いＸ線透過率を有している。ヘッド２２は、チャンバー２１に対して着脱可能であってもよいし、着脱不可であってもよい。

電子線発生部２３および集束電極２４は、チャンバー２１およびヘッド２２で構成された空間に設けられている。電子線発生部２３は、電子線を発生する。電子線発生部２３は、熱陰極型であっても冷陰極型であってもよい。

集束電極２４は、電子線発生部２３よりもヘッド２２側の位置において、電子線発生部２３と所定の間隔を空けて配置されている。集束電極２４に所定の電圧が印加されることにより、集束電極２４から電界が発生する。この電界により、電子線発生部２３から発生した電子が真空中に引き出されて電子線となる。また、この電界のレンズ効果によって、電子線発生部２３から発生した電子線は集束されて、ターゲット２５に照射される。

ターゲット２５は、チャンバー２１およびヘッド２２で構成された空間に設けられており、ヘッド本体２２ｂに固定されている。ターゲット２５は、電子線の照射によりＸ線を発生するＸ線の発生源である。

Ｘ線発生部２０は、矢印ＡＲ０で示すように、ターゲット２５に対して電子線を照射することにより、ターゲット２５からＸ線を発生させる。Ｘ線発生部２０で発生したＸ線は、矢印ＡＲ１で示すように、ヘッド２２によって検出位置Ｐ１へ導かれる。検出位置Ｐ１は、Ｘ線発生部２０にて照射されＸ線検出部３０にて受信されるＸ線の経路（矢印ＡＲ１で示す経路、以降、Ｘ線の経路と記すことがある）に設けられている。

Ｘ線検出部３０は、筐体１０の内部に収容されており、Ｘ線発生部２０の上部に設けられている。Ｘ線検出部３０は、Ｘ線発生部２０にて照射したＸ線であって、検出位置Ｐ１を通過した（詳細には、検出位置Ｐ１に存在する線状物ＷＫの部分を透過した）Ｘ線を受信する。Ｘ線検出部３０は、受信したＸ線の強度を示す信号をＰＣ４０に送信する。

Ｘ線撮影装置１は、送出リール１１（送出部の一例）と、回収リール１２（回収部の一例）と、トンネル部１３および１４（第１および第２のトンネル部の一例）と、２本の移動ローラー１５（検出位置調整部の一例）と、載置部１６（試料載置部の一例）と、支持部１８と、ガイド線１９と、モーターＭ（モーターの一例）とをさらに備えている。

送出リール１１および回収リール１２の各々は、筐体１０の外部に設けられており、筐体１０の上部に設けられている。送出リール１１は、検出位置Ｐ１に、線状物ＷＫの延在方向に沿って線状物ＷＫを検出位置Ｐ１に先端Ｅ１から順番に送り出す。送出リール１１は、線状物ＷＫを巻き付けることで線状物ＷＫを収容し、かつ矢印ＡＲ２Ａで示す方向に回転することで線状物ＷＫを検出位置Ｐ１に送り出す。

回収リール１２は、検出位置Ｐ１に到達した後の線状物ＷＫの部分を回収する。回収リール１２は、線状物ＷＫを巻き付けることで線状物ＷＫを収容し、かつ矢印ＡＲ２Ｂで示す方向に回転することで検出位置Ｐ１に到達した後の線状物ＷＫの部分を巻き取って回収する。

モーターＭは、回収リール１２を回転駆動する。送出リール１１は、線状物ＷＫを介して回収リール１２の回転に従動回転する。

トンネル部１３は、筐体１０の右側面に設けられた開口１０ｂに設けられており、筐体１０から図１中右方向に突出している。トンネル部１３は、筐体１０の内部とトンネル部１３の内部とは互いに接続されている。トンネル部１３は導入口１３ａを含んでいる。送出リール１１によって送り出された線状物ＷＫの部分は、検出位置Ｐ１に到達する前に、導入口１３ａを通じてトンネル部１３の内部に導入される。線状物ＷＫは、送出リール１１から下方に送り出され、導入口１３ａにおいて略水平方向に送出方向が変更されて、検出位置Ｐ１に到達する。

トンネル部１４は、筐体１０の左側面に設けられた開口１０ｂに設けられており、筐体１０から図１中左方向（トンネル部１３の突出方向とは反対方向）に突出している。筐体１０の内部とトンネル部１４の内部とは互いに接続されている。トンネル部１４は排出口１４ａを含んでいる。検出位置Ｐ１に到達した後の線状物ＷＫの部分は、排出口１４ａを通じてトンネル部１４の内部から排出され、回収リール１２によって回収される。検出位置Ｐ１に到達した後の線状物ＷＫの部分は、排出口１４ａにおいて上方に送出方向が変更されて、回収リール１２に巻き取られる。

トンネル部１３および１４を設け、トンネル部１３および１４の各々に導入口１３ａおよび排出口１４ａの各々を設けることにより、筐体１０の内部で発生したＸ線をより確実に遮蔽することができる。

２本の移動ローラー１５の各々は、筐体１０の内部におけるＸ線の経路を挟む位置に設けられている。２本の移動ローラー１５は、線状物にＷＫおける筐体１０の内部に存在する部分を保持する。２本の移動ローラー１５のうち一方は、線状物ＷＫにおける検出位置Ｐ１に到達する前の部分を下方向（Ｘ線の経路に沿ってＸ線発生部２０へ向かう方向）に押圧する。２本の移動ローラー１５のうち他方は、線状物ＷＫにおける検出位置Ｐ１に到達した後の部分を下方向に押圧する。２本の移動ローラー１５の各々は、送り出される線状物ＷＫに従動して回転する。

載置部１６は、２本の移動ローラー１５の各々の下部に設けられており、Ｘ線の経路（矢印ＡＲ１で示す経路）に設けられている。載置部１６は２本の移動ローラー１５の各々と微小な間隔を隔てて設けられており、線状物ＷＫは２本の移動ローラー１５の各々と載置部１６との間に挿入されている。載置部１６は、平板状であり、その中央部にＸ線を透過する透過部１６ａを含んでいる。

２本の移動ローラー１５および載置部１６は、筐体１０に対して一体的に移動し、矢印ＡＲ３で示すように、Ｘ線の経路（矢印ＡＲ１）に対して平行に移動することが可能である。２本の移動ローラー１５は、Ｘ線の経路に沿って線状物ＷＫを移動させることにより、検出位置Ｐ１を調節する。具体的には、２本の移動ローラー１５および載置部１６が上方（Ｘ線発生部２０から離れる方向）に移動した場合には、検出位置Ｐ１（Ｘ線の経路と線状物ＷＫとの交点の位置）が上方に移動する。その結果、Ｘ線画像の撮影領域のサイズが大きくなる。一方、２本の移動ローラー１５および載置部１６が下方（Ｘ線発生部２０に近づく方向）に移動した場合には、検出位置Ｐ１（Ｘ線の経路と線状物ＷＫとの交点の位置）が下方に移動する。その結果、Ｘ線画像の撮影領域のサイズが小さくなる。

２本の移動ローラー１５および載置部１６の移動は手動で行われてもよいし、位置調整部４４の制御の下でモーターＭなどの動力で行われてもよい。

支持部１８は、筐体１０の上面に固定されている。支持部１８は、送出リール１１および回収リール１２の各々を回転可能に支持している。支持部１８は、筐体１０の右側面側で送出リール１１を支持しており、筐体１０の左側面側で回収リール１２を支持している。

ガイド線１９は、線状物ＷＫを回収リール１２に導く。ガイド線１９の基端は回収リール１２に固定されており、ガイド線１９の先端には把持部１９ａが設けられている。把持部１９ａは、線状物ＷＫの先端Ｅ１を把持する。

図３は、ＰＣ４０の機能的構成を示すブロック図である。

図２および図３を参照して、ＰＣ４０は、ＣＰＵ（Ｃｅｎｔｒａｌ Ｐｒｏｃｅｓｓｉｎｇ Ｕｎｉｔ）、ＲＯＭ（Ｒｅａｄ Ｏｎｌｙ Ｍｅｍｏｒｙ）、ＲＡＭ（Ｒａｎｄｏｍ Ａｃｃｅｓｓ Ｍｅｍｏｒｙ）、操作部、および表示部などのハードウェア構成を含んでいる。ＰＣ４０は、ＣＰＵが、ＲＯＭに記憶された制御プログラムをＲＡＭにロードして実行することにより、Ｘ線撮影装置１全体の動作を制御する。

ＰＣ４０は、操作部４１と、表示部４２と、Ｘ線制御部４３と、位置調整部４４と、画像生成部４５（画像生成部の一例）と、モーター制御部４６と、カウント部４７（カウント部の一例）と、マーキング制御部４８とを含んでいる。

操作部４１は、Ｘ線撮影に関する設定を含む各種操作を受け付ける。

表示部４２は、Ｘ線画像などの各種情報を表示する。

Ｘ線制御部４３は、Ｘ線発生部２０の動作を制御する。

位置調整部４４は、Ｘ線の経路に沿って線状物ＷＫを移動させることにより、検出位置Ｐ１を調節する。

画像生成部４５は、Ｘ線検出部３０にて受信したＸ線に基づいて、線状物ＷＫのＸ線画像を生成する。画像生成部４５は、Ｘ線検出部３０から受信したＸ線の強度を示す信号に基づいて、線状物ＷＫのＸ線画像を生成する。

モーター制御部４６は、モーターＭの動作を制御することにより、回収リール１２による線状物ＷＫの回収動作を制御する。

カウント部４７は、回収リール１２の回転距離を指標する値をカウントする。カウント部４７は、回収リール１２の回転開始時にカウント値をリセットし、回収リール１２が所定の距離だけ回転する度にカウント値を１だけ増加させる。

マーキング制御部４８は、後述する変形例において、線状物ＷＫに対して印を付けるマーキング部１７の動作を制御する。

［Ｘ線撮影装置を用いた異常検出方法］

図４～図６は、Ｘ線撮影装置１への線状物ＷＫの取付方法を説明する図である。

図４を参照して、線状物ＷＫのＸ線画像の撮影を開始する際に、作業者は、撮影対象となる線状物ＷＫを巻き付けた送出リール１１を準備する。また作業者は、ガイド線１９の先端の把持部１９ａを排出口１４ａから筐体１０の内部に通し、導入口１３ａから筐体１０の外部に引き出す。

図５を参照して、次に作業者は、線状物ＷＫの先端Ｅ１を送出リール１１から引き出し、引き出した先端Ｅ１を把持部１９ａで把持する。

図６を参照して、次に作業者は、回収リール１２をモーターＭまたは手動で回転させることにより、線状物ＷＫの先端Ｅ１を検出位置Ｐ１の直前の位置まで送り出す。以上の工程によりＸ線撮影装置１への線状物ＷＫの取付作業は完了する。

図３および図６を参照して、線状物ＷＫの取付作業が完了すると、作業者または位置調整部４４は、Ｘ線画像の撮影領域のサイズが設定されたサイズとなるように、検出位置Ｐ１を調整する。続いて作業者は、操作部４１を通じて、Ｘ線画像の撮影条件の設定および設定された撮影条件での撮影の実行指示を行う。

撮影の実行指示を受け付けると、Ｘ線撮影装置１は撮影を開始する。モーター制御部４６は、間欠的に所定の回転距離（たとえば被撮影領域の送出方向の長さに相当する距離）だけ回収リール１２を回転させる。これにより、送出リール１１は、間欠的に線状物ＷＫを検出位置Ｐ１に送り出す。Ｘ線制御部４３は、回収リール１２が停止しているタイミング（送出リール１１が線状物ＷＫの送り出しを停止しているタイミング）で、Ｘ線発生部２０からＸ線を発生させ、検出位置Ｐ１に存在する線状物ＷＫの部分にＸ線を照射する。画像生成部４５は、Ｘ線検出部３０から受信した信号に基づいて、Ｘ線画像を生成する。Ｘ線検出部３０から受信した信号は、検出位置Ｐ１に存在する線状物ＷＫの部分を透過してＸ線検出部３０に入射したＸ線の強度を示している。このため、画像生成部４５によって生成されるＸ線画像は、検出位置Ｐ１に存在する線状物ＷＫの部分の画像となる。

Ｘ線撮影装置１は、上述の線状物ＷＫの送り出しおよびＸ線の照射を繰り返すことにより、線状物ＷＫの延在方向に沿って区分された線状物ＷＫの複数の部分の各Ｘ線画像を画像生成部４５にて生成する。

なお、画像生成部４５は移動中の線状物ＷＫの画像を生成してもよい。すなわち、モーター制御部４６は、連続的に回収リール１２を回転させ、Ｘ線制御部４３は、線状物ＷＫの移動中にＸ線発生部２０からＸ線を発生させ、画像生成部４５は、Ｘ線検出部３０から受信した信号に基づいて、Ｘ線画像を生成してもよい。

図７は、本発明の一実施の形態において、画像生成部４５によって生成されたＸ線画像と、線状物ＷＫにおける被撮影部分との対応関係を説明する図である。

図７を参照して、続いて、Ｘ線画像に基づいて線状物ＷＫの異常の有無が検査される。この検査は、作業者の目視によって行われてもよいし、ＰＣ４０によるＸ線画像に対する所定の画像処理によって行われてもよい。また、線状物ＷＫの異常の有無は、１枚のＸ線画像が生成される度に検査されてもよいし、線状物ＷＫについての全てのＸ線画像を生成された後で検査されてもよい。

本実施の形態および後述する変形例では、線状物ＷＫが複数の電子部品ＥＣを梱包した線状物であるものとする。また、線状物ＷＫの先端Ｅ１から後端Ｅ２までの部分は線状物ＷＫの延在方向に沿ってｎ（ｎは自然数）個の部分に区分され、それぞれの部分に対してｎ回の撮影が行われｎ枚のＸ線画像が撮影（生成）される。１回のＸ線画像の撮影の度に（言い換えれば、回収リール１２の上記所定の回転距離分の回転によって）、カウント部４７のカウント値は５だけ増加するものとする。

図７（ａ）に示すように、ｎ枚のＸ線画像の中のｋ枚目のＸ線画像の電子部品ＥＣ１から異常が検出された場合、異常が検出されたＸ線画像の撮影の順番ｋ（ｋは１≦ｋ≦ｎを満たす自然数）と、１回の撮影当たりのカウント値の増加量と、カウント値が１増加するのに必要な回収リール１２の回転距離とに基づいて、線状物ＷＫにおける異常が検出された電子部品ＥＣ１が存在する位置が特定される。

図７（ｂ）に示すように、１回の撮影当たりのカウント値の増加量が５である場合、ｋ枚目のＸ線画像の被撮影部分（ｋ枚目のＸ線画像が撮影された線状物ＷＫの部分）のカウント値Ｃｋの範囲は、下記式（１）のようになる。

５（ｋ－１）≦Ｃｋ≦５ｋ ・・・（１）

カウント値が１増加するのに必要な回収リール１２の回転距離が２（ｍｍ）である場合、線状物ＷＫにおける先端Ｅ１からの距離を距離Ｄ（ｍｍ）とすると、線状物ＷＫにおける電子部品ＥＣ１は、距離Ｄが下記式（２）を満たす範囲内に存在すると特定される。

５（ｋ－１）×２≦Ｄ（ｍｍ）≦５ｋ×２ ・・・（２）

本実施の形態においては、送出リール１１の回転により線状物ＷＫが検出位置Ｐ１に送り出され、回収リール１２の回転により検出位置Ｐ１に到達した後の線状物ＷＫの部分が回収される。これにより、線状物の撮影を行う際に筐体の扉を開閉する操作や、撮影前に線状物を引き延ばしてコンベアの搬送方向に沿って配置する作業や、撮影後に引き延ばした線状物を回収する作業などが不要になる。その結果、線状物の撮影効率を向上することができる。

また、送出リール１１および回収リール１２が筐体１０の外部に設けられているため、撮影前後の線状物ＷＫに不要なＸ線が照射される事態を抑止することができる。

また、トンネル部１３および１４が設けられているため、線状物を筐体の内部へ導入するための導入口および線状物を筐体の内部から排出するための排出口からの、筐体の外部へのＸ線の漏れを抑止することができる。

また、線状物ＷＫの送り出しを停止しているタイミングで線状物ＷＫの複数の部分の各々の画像が画像生成部４５によって生成されるため、線状物ＷＫの移動中に線状物ＷＫの画像を生成する場合と比較して、生成されるＸ線画像を鮮明にすることができる。

また、回収リール１２の回転距離を指標する値をカウントすることで、異常が検出された電子部品の撮影の順番に基づいて、異常が検出された電子部品の位置を迅速に特定することができる。

図８は、本発明の一実施の形態におけるＸ線撮影装置１に、線状物でない試料ＳＭが載置された状態を示す図である。

図８を参照して、さらに本実施の形態によれば、載置部１６が設けられているため、扉１０ａの開閉により線状物でない試料ＳＭを載置部１６に載置することができ、線状物でない試料ＳＭのＸ線画像をも撮影することが可能となる。その結果、Ｘ線撮影装置の汎用性を高めることができる。

［変形例］

続いて、本実施の形態の変形例について説明する。

（第１の変形例）

図９は、本発明の一実施の形態の第１の変形例におけるＸ線撮影装置１の構成を示す断面図である。

図９を参照して、第１の変形例におけるＸ線撮影装置１は、マーキング部１７（マーキング部の一例）をさらに備えている。マーキング部１７は、検出位置Ｐ１とはならない位置（Ｘ線画像の撮影領域外の位置）に設けられている。マーキング部１７は、線状物ＷＫにおける特定の位置に対して印を付ける。第１の変形例では、マーキング部１７は、筐体１０の内部における位置ＰＯ１において、検出位置Ｐ１に到達した後の線状物ＷＫに対して印を付ける。

マーキング部１７は、たとえばインクジェット印刷機よりなっており、矢印ＡＲ４で示すようにインクを噴射することにより、線状物ＷＫに対してインクよりなる印を付ける。

マーキング部１７が印を付ける動作を行う位置は任意である。マーキング部１７は、筐体１０の内部における検出位置Ｐ１よりも線状物ＷＫの送出方向の上流側の位置ＰＯ２において、検出位置Ｐ１に到達する前の線状物ＷＫに対して印を付けてもよい。マーキング部１７は、筐体１０の外部における検出位置Ｐ１よりも線状物ＷＫの送出方向の上流側の位置ＰＯ３において、検出位置Ｐ１に到達する前の線状物ＷＫに対して印を付けてもよい。さらにマーキング部１７は、筐体１０の外部における検出位置Ｐ１よりも線状物ＷＫの送出方向の下流側の位置ＰＯ４において、検出位置Ｐ１に到達した後の線状物ＷＫに対して印を付けてもよい。

図１０は、本発明の一実施の形態の第１の変形例において、マーキング部１７によって線状物ＷＫに付けられた印ＭＲを模式的に示す図である。

図１０を参照して、上述の実施の形態の場合と同様に、線状物ＷＫの先端Ｅ１から後端Ｅ２までの部分は線状物ＷＫの延在方向に沿ってｎ（ｎは自然数）個の部分に区分され、それぞれの部分に対してｎ回の撮影が行われｎ枚のＸ線画像が撮影（生成）される。マーキング部１７は、線状物ＷＫを延在方向に区分したｎ個の被撮影部分の各々に、線状物ＷＫの先端からの距離を指標する情報を含む印ＭＲを付ける。

具体的には、マーキング部１７は、ｎ個の被撮影部分の各々に撮影の順番を示す数字（１～ｎ）の印ＭＲを付ける。１枚目の被撮影部分には「１」という数字の印ＭＲが付され、２枚目の被撮影部分には「２」という数字の印ＭＲが付され、ｋ枚目の被撮影部分には「ｋ」という数字の印ＭＲが付され、ｎ枚目（最後）の被撮影部分には「ｎ」という数字の印ＭＲが付けられる。印ＭＲは所定の間隔で付けられる。

第１の変形例によれば、ｎ枚のＸ線画像の中のｋ枚目のＸ線画像の電子部品ＥＣ１から異常が検出された場合、異常が検出されたＸ線画像の撮影の順番ｋに基づいて、「ｋ」という印ＭＲを手掛かりとして、線状物ＷＫにおける異常が検出された部分が特定される。その結果、線状物ＷＫにおける異常が検出された部分を迅速に特定することができる。

（第２の変形例）

図１１は、本発明の一実施の形態の第２の変形例におけるＸ線撮影装置１の構成を示す断面図である。

図１１を参照して、第２の変形例において、マーキング部１７は、検出位置Ｐ１よりも線状物ＷＫの送出方向の上流側の位置である位置ＰＯ２またはＰＯ３において、検出位置Ｐ１に到達する前の線状物ＷＫに対して、Ｘ線が透過しないインクよりなる印を付ける。

図１２は、本発明の一実施の形態の第２の変形例において、画像生成部４５によって生成されたＸ線画像と、マーキング部１７によって線状物ＷＫに付けられた印ＭＲとを模式的に示す図である。

図１２を参照して、第１の変形例の場合と同様に、線状物ＷＫの先端Ｅ１から後端Ｅ２までの部分は線状物ＷＫの延在方向に沿ってｎ（ｎは自然数）個の部分に区分され、それぞれの部分に対してｎ回の撮影が行われｎ枚のＸ線画像が撮影（生成）される。マーキング部１７は、線状物ＷＫを延在方向に区分したｎ個の被撮影部分の各々に、線状物ＷＫの先端からの距離を指標する情報を含む印を付ける。

マーキング部１７は、ｎ個の被撮影部分の各々に撮影の順番を示す数字（１～ｎ）の印ＭＲを付ける。印ＭＲはＸ線が透過しないインクよりなっているため、ｎ枚のＸ線画像の各々には、電子部品ＥＣのＸ線画像とともに、印ＭＲが含まれる。

ｎ枚のＸ線画像の中のｋ枚目のＸ線画像の電子部品ＥＣ１から異常が検出された場合、そのＸ線画像には「ｋ」という印ＭＲが含まれている。このため、Ｘ線画像に含まれる「ｋ」という印ＭＲを手掛かりとして、線状物ＷＫにおける異常が検出された部分が特定される。その結果、線状物ＷＫにおける異常が検出された部分を迅速に特定することができる。

（第３の変形例）

図１３は、本発明の一実施の形態の第３の変形例において、画像生成部４５によって生成されたＸ線画像と、マーキング部１７によって線状物ＷＫに付けられた印ＭＲとを模式的に示す図である。

図９および図１３を参照して、第３の変形例において、マーキング部１７は、画像生成部４５にて生成したＸ線画像から異常が検出された場合に、線状物ＷＫにおける異常が検出された部分を指標する印ＭＲを線状物ＷＫに付ける。

ここでは、線状物ＷＫの異常の有無は、１枚のＸ線画像が生成される度に検査されるものとする。マーキング部１７は、ｎ枚のＸ線画像の中のｋ枚目のＸ線画像の電子部品ＥＣ１から異常が検出された場合に、ｋ枚目のＸ線画像の被撮影部分がマーキング部１７の位置ＰＯ１を通過するタイミングで、インクよりなる印ＭＲを線状物ＷＫに付ける。これにより、図１３（ａ）に示すように、ｋ枚目のＸ線画像の被撮影部分に、その部分から異常が検出されたことを示す印ＭＲが付けられる。

印ＭＲをｋ枚目のＸ線画像の被撮影部分に付す場合、マーキング部１７が印ＭＲを付す動作を行う位置は、検出位置Ｐ１よりも線状物ＷＫの送出方向の下流側（位置ＰＯ１や位置ＰＯ４）であればよい。

ｋ枚目のＸ線画像の被撮影部分がマーキング部１７の位置ＰＯ１を通過するタイミングは、検出位置Ｐ１とマーキング部１７が印ＭＲを付す位置ＰＯ１との距離ｄ１と、線状物ＷＫの送出速度とに基づいて算出される。

作業者は、印ＭＲを手掛かりとして、線状物ＷＫにおける異常が検出された部分を特定する。その結果、線状物ＷＫにおける異常が検出された部分を迅速に特定することができる。

なお、マーキング部１７は、ｎ枚のＸ線画像の中のｋ枚目のＸ線画像の電子部品ＥＣ１から異常が検出された場合に、線状物ＷＫに対して印ＭＲを直ちに付けてもよい。この場合、印ＭＲは、図１３（ｂ）に示すように、ｋ枚目のＸ線画像の被撮影部分とは別の位置に付けられ、ｋ枚目のＸ線画像の被撮影部分よりも距離ｄ１だけ線状物の送出方向の下流側の位置に付けられる。印ＭＲは、異常が検出された部分を指標するものとなる。

作業者は、検出位置Ｐ１と位置ＰＯ１との関係を事前に把握しておくことによって、印ＭＲを手掛かりとして、線状物ＷＫにおける異常が検出された部分を特定する。その結果、線状物ＷＫにおける異常が検出された部分を迅速に特定することができる。また、異常が検出された部分を指標する情報（たとえば印ＭＲから異常が検出された部分までの方向および距離）が印ＭＲに含まれていてもよい。

印ＭＲをｋ枚目のＸ線画像の被撮影部分とは別の位置に付す場合、マーキング部１７が印を付ける動作を行う位置は任意である。

（第４の変形例）

図１４は、本発明の一実施の形態の第４の変形例において、画像生成部４５によって生成されたＸ線画像と、マーキング部１７によって線状物ＷＫに付けられた印ＭＲとを模式的に示す図である。

図９および図１４を参照して、第４の変形例において、マーキング部１７は、画像生成部４５にて生成したＸ線画像から異常が検出された場合に、線状物ＷＫにおける異常が検出された部分を変形させる。マーキング部１７は穴開け機などよりなっている。

ここでは、線状物ＷＫの異常の有無は、１枚のＸ線画像が生成される度に検査されるものとする。マーキング部１７は、ｎ枚のＸ線画像の中のｋ枚目のＸ線画像の電子部品ＥＣ１から異常が検出された場合に、ｋ枚目のＸ線画像の被撮影部分がマーキング部１７の位置ＰＯ１を通過するタイミングで、線状物ＷＫに穴を開ける。これにより、異常が検出された電子部品ＥＣは変形により破壊され、ｋ枚目のＸ線画像の被撮影部分に穴（変形した部分）よりなる印ＭＲが付けられる。

なお、線状物ＷＫにおける異常が検出された部分を変形させる場合、マーキング部１７が線状物ＷＫを変形させる動作を行う位置は、検出位置Ｐ１よりも線状物ＷＫの送出方向の下流側（位置ＰＯ１や位置ＰＯ４）であればよい。変形の方法は、折曲げや圧縮などの穴開け以外の方法であってもよい。

線状物ＷＫが出荷される前の製品である場合、異常が検出された電子部品ＥＣ１は出荷の対象から外される。変形した電子部品ＥＣ１の外形は、正常な電子部品ＥＣ１の外形と比較して著しく異なるため、作業者は、異常が検出された電子部品ＥＣ１を迅速に特定し、廃棄することができる。

（第５の変形例）

図１５は、本発明の一実施の形態の第５の変形例におけるＸ線撮影装置１の構成を示す断面図である。

図１５を参照して、第５の変形例においては、２本の移動ローラーが設けられておらず、トンネル部１３および１４が検出位置Ｐ１を調整する役割を果たす。トンネル部１３および１４は、筐体１０に対して載置部１６とともに一体的に移動し、矢印ＡＲ５で示すように、Ｘ線の経路（矢印ＡＲ１）に対して平行な方向に移動することが可能である。トンネル部１３は導入口１３ａにて線状物ＷＫを保持しており、トンネル部１４は排出口１４ａにて線状物ＷＫを保持している。トンネル部１３および１４は、Ｘ線の経路に沿って線状物ＷＫを移動させることにより、検出位置Ｐ１を調整する。具体的には、トンネル部１３および１４ならびに載置部１６が上方（Ｘ線発生部２０から離れる方向）に移動した場合には、検出位置Ｐ１（Ｘ線の経路と線状物ＷＫとの交点の位置）が上方に移動する。その結果、Ｘ線画像の撮影領域のサイズが大きくなる。一方、トンネル部１３および１４ならびに載置部１６が下方（Ｘ線発生部２０に近づく方向）に移動した場合には、検出位置Ｐ１（Ｘ線の経路と線状物ＷＫとの交点の位置）が下方に移動する。その結果、Ｘ線画像の撮影領域のサイズが小さくなる。

トンネル部１３および１４ならびに載置部１６の移動は手動で行われてもよいし、位置調整部４４の制御の下でモーターＭなどの動力で行われてもよい。

第５の変形例によれば、移動ローラーを用いずに検出位置Ｐ１を調整することが可能となるので、装置構成の簡素化を図ることができる。

（第６の変形例）

図１６は、本発明の一実施の形態の第６の変形例におけるＸ線撮影装置１の構成を示す断面図である。

図１６を参照して、第６の変形例においては、トンネル部が設けられておらず、送出リール１１および回収リール１２が筐体１０の内部に設けられている。線状物ＷＫは、筐体１０の内部において送出リール１１に収容されている。線状物ＷＫは、送出リール１１から下方に送り出され、一方の移動ローラー１５において略水平方向に送出方向が変更されて、検出位置Ｐ１に到達する。検出位置Ｐ１に到達した後の線状物ＷＫの部分は、他方の移動ローラー１５によって送出方向が情報に変更され、回収リール１２によって回収される。

第６の変形例によれば、送出リール１１および回収リール１２が筐体１０の内部に設けられているため、装置の小型化を図ることができ、筐体１０の外部へのＸ線の漏れを防止することができる。

（第７の変形例）

図１７は、本発明の一実施の形態の第７の変形例におけるＸ線撮影装置１の構成を示す断面図である。図１８は、本発明の一実施の形態の第７の変形例のＸ線撮影装置１において、移動ローラー１５および載置部１６が下降した状態を示す断面図である。

図１７を参照して、第７の変形例において、Ｘ線撮影装置１は２本の固定ローラー５１（固定ローラーの一例）をさらに備えている。２本の固定ローラー５１の各々は、２本の移動ローラー１５の各々よりもＸ線の経路から離れた位置において、筐体１０に固定されている。２本の固定ローラー５１は、線状物にＷＫおける筐体１０の内部に存在する部分を保持する。２本の固定ローラー５１のうち一方は、線状物ＷＫにおける検出位置Ｐ１に到達する前の部分を上方向（Ｘ線の経路に沿ってＸ線検出部３０へ向かう方向）に押圧する。２本の固定ローラー５１のうち他方は、線状物ＷＫにおける検出位置Ｐ１に到達した後の部分を上方向に押圧する。２本の固定ローラー５１の各々は、送り出される線状物ＷＫに従動して回転する。トンネル部１３および１４の各々の端部は筐体１０の内部に突出している。

図１８を参照して、移動ローラー１５および載置部１６が下降した状態では、線状物ＷＫは、送出リール１１から下方に送り出され、導入口１３ａにおいて略水平方向に送出方向が変更され、一方の固定ローラー５１によって下方に送出方向が変更されて、一方の移動ローラー１５によって略水平方向に送出方向が再び変更されて、検出位置Ｐ１に到達する。検出位置Ｐ１に到達した後の線状物ＷＫの部分は、他方の移動ローラー１５によって上方に送出方向が変更されて、他方の固定ローラー５１によって略水平方向に送出方向が変更されて、排出口１４ａにおいて上方に送出方向が再び変更されて、回収リール１２に巻き取られる。

第７の変形例によれば、２つの固定ローラー５１の間に存在する線状物ＷＫの部分のみを移動ローラー１５とともに変形および移動させることができ、トンネル部１３および１４付近の線状物ＷＫを静止させることができる。これにより、トンネル部１３および１４の容積（図１７中上下方向の幅）を小さくしつつ、線状物ＷＫの可動範囲を増加させることができる。その結果、Ｘ線を効果的に遮蔽しつつ、Ｘ線画像の撮影領域のサイズの可変量（倍率の可変量）を増加させることができる。

上述の各変形例において説明した部分以外のＸ線撮影装置の構成および動作は、上述の実施の形態におけるＸ線撮影装置の構成および動作と同一であるため、その説明は繰り返さない。

［その他］

上述の実施の形態および変形例は適宜組み合わせることが可能である。たとえばカウント部４７とマーキング部１７とが併用されてもよい。この場合には、複数の方法を用いて異常が検出された部分を特定することができる。

上述の実施の形態および変形例は、すべての点で例示であって制限的なものではないと考えられるべきである。本発明の範囲は上記した説明ではなくて特許請求の範囲によって示され、特許請求の範囲と均等の意味および範囲内でのすべての変更が含まれることが意図される。

１ Ｘ線撮影装置（Ｘ線撮影装置の一例）
１０ 筐体（筐体の一例）
１０ａ 筐体の扉
１０ｂ 筐体の開口
１１ 送出リール（送出部の一例）
１２ 回収リール（回収部の一例）
１３，１４ トンネル部（第１および第２のトンネル部の一例）
１３ａ トンネル部の導入口
１４ａ トンネル部の排出口
１５ 移動ローラー（検出位置調整部の一例）
１６ 載置部（試料載置部の一例）
１６ａ 載置部の透過部
１７ マーキング部（マーキング部の一例）
１８ 支持部
１９ ガイド線
１９ａ ガイド線の把持部
２０ Ｘ線発生部（照射部の一例）
２１ チャンバー
２２ ヘッド
２２ａ ウインドウ
２２ｂ ヘッド本体
２３ 電子線発生部
２４ 集束電極
２５ ターゲット
３０ Ｘ線検出部（受信部の一例）
４１ 操作部
４２ 表示部
４３ Ｘ線制御部
４４ 位置調整部
４５ 画像生成部（画像生成部の一例）
４６ モーター制御部
４７ カウント部（カウント部の一例）
４８ マーキング制御部
５１ 固定ローラー（固定ローラーの一例）
Ｅ１ 線状物の先端
Ｅ２ 線状物の後端
ＥＣ 電子部品
ＥＣ１ 異常が検出された電子部品
Ｍ モーター（モーターの一例）
ＭＲ 印
Ｐ１ 検出位置
ＰＯ１，ＰＯ２，ＰＯ３，ＰＯ４ マーキング部の位置
ＳＭ 試料
ＷＫ 線状物

Claims (16)

1. 線状物のＸ線画像を撮影するＸ線撮影装置であって、
   Ｘ線を照射する照射部と、
   前記照射部にて照射したＸ線を受信する受信部と、
   前記照射部にて照射したＸ線を遮蔽する筐体と、
   前記照射部にて照射され前記受信部にて受信されるＸ線の経路に設けられた検出位置に、前記線状物の延在方向に沿って前記線状物を先端から順番に送り出す送出部と、
   前記検出位置に到達した後の前記線状物の部分を回収する回収部と、
   前記受信部にて受信したＸ線に基づいて、前記線状物のＸ線画像を生成する画像生成部とを備え、
   前記送出部は、前記線状物を巻き付けることで前記線状物を収容し、かつ回転することで前記線状物を前記検出位置に送り出し、
   前記回収部は、前記線状物を巻き付けることで前記線状物を収容し、かつ回転することで前記検出位置に到達した後の前記線状物の部分を回収し、
   前記送出部は、前記筐体の外部において、前記筐体の内部へ前記線状物を導入するための導入口よりも上方で前記筐体に回転可能に支持され、
   前記回収部は、前記筐体の外部において、前記筐体の外部へ前記線状物を排出するための排出口よりも上方で前記筐体に回転可能に支持され、
   前記送出部によって下方に送り出された前記線状物の部分は、前記導入口において略水平方向に送出方向が変更されて前記検出位置に到達し、前記検出位置に到達した後の前記線状物の部分は、前記排出口において上方に送出方向が変更されて前記回収部に回収される、Ｘ線撮影装置。
2. 前記筐体から第１の方向に突出する第１のトンネル部と、
   前記第１の方向とは反対の方向である第２の方向に前記筐体から突出する第２のトンネル部とをさらに備え、
   前記筐体の内部と、前記第１および第２のトンネル部の各々の内部とは互いに接続されており、
   前記第１のトンネル部は、前記検出位置に到達する前の前記線状物の部分を前記第１のトンネルの内部に導入する前記導入口を含み、
   前記第２のトンネル部は、前記検出位置に到達した後の前記線状物の部分を前記第２のトンネルの内部から排出する前記排出口を含む、請求項１に記載のＸ線撮影装置。
3. 前記送出部は、間欠的に前記線状物を前記検出位置に送り出し、
   前記画像生成部は、前記送出部が前記線状物の送り出しを停止しているタイミングで前記受信部にて受信したＸ線に基づいて、前記線状物の延在方向に沿って区分された前記線状物の複数の部分の各々の画像を生成する、請求項１または２に記載のＸ線撮影装置。
4. 前記回収部を回転駆動するモーターと、
   前記回収部の回転距離を指標する値をカウントするカウント部とをさらに備えた、請求項１～３のいずれかに記載のＸ線撮影装置。
5. 前記線状物における特定の位置に対して印を付けるマーキング部をさらに備えた、請求項１～４のいずれかに記載のＸ線撮影装置。
6. 線状物のＸ線画像を撮影するＸ線撮影装置であって、
   Ｘ線を照射する照射部と、
   前記照射部にて照射したＸ線を受信する受信部と、
   前記照射部にて照射したＸ線を遮蔽する筐体と、
   前記照射部にて照射され前記受信部にて受信されるＸ線の経路に設けられた検出位置に、前記線状物の延在方向に沿って前記線状物を先端から順番に送り出す送出部と、
   前記検出位置に到達した後の前記線状物の部分を回収する回収部と、
   前記受信部にて受信したＸ線に基づいて、前記線状物のＸ線画像を生成する画像生成部とを備え、
   前記送出部は、前記線状物を巻き付けることで前記線状物を収容し、かつ回転することで前記線状物を前記検出位置に送り出し、
   前記回収部は、前記線状物を巻き付けることで前記線状物を収容し、かつ回転することで前記検出位置に到達した後の前記線状物の部分を回収し、
   前記線状物における特定の位置に対して印を付けるマーキング部をさらに備え、
   前記マーキング部は、前記線状物の複数の部分の各々に前記線状物の先端からの距離を指標する情報を含む印を付ける第１のマーキング部を含む、Ｘ線撮影装置。
7. 前記第１のマーキング部は、前記検出位置に到達する前の前記線状物の部分に対して、Ｘ線が透過しないインクよりなる印を付ける、請求項６に記載のＸ線撮影装置。
8. 前記マーキング部は、前記画像生成部にて生成した画像から異常が検出された場合に、前記線状物における異常が検出された部分を指標する印を前記線状物に付ける第２のマーキング部を含む、請求項５～７のいずれかに記載のＸ線撮影装置。
9. 前記第２のマーキング部は、インクよりなる印を付ける、請求項８に記載のＸ線撮影装置。
10. 前記第２のマーキング部は、前記線状物における異常が検出された部分を変形させる、請求項８に記載のＸ線撮影装置。
11. 線状物のＸ線画像を撮影するＸ線撮影装置であって、
    Ｘ線を照射する照射部と、
    前記照射部にて照射したＸ線を受信する受信部と、
    前記照射部にて照射したＸ線を遮蔽する筐体と、
    前記照射部にて照射され前記受信部にて受信されるＸ線の経路に設けられた検出位置に、前記線状物の延在方向に沿って前記線状物を先端から順番に送り出す送出部と、
    前記検出位置に到達した後の前記線状物の部分を回収する回収部と、
    前記受信部にて受信したＸ線に基づいて、前記線状物のＸ線画像を生成する画像生成部とを備え、
    前記送出部は、前記線状物を巻き付けることで前記線状物を収容し、かつ回転することで前記線状物を前記検出位置に送り出し、
    前記回収部は、前記線状物を巻き付けることで前記線状物を収容し、かつ回転することで前記検出位置に到達した後の前記線状物の部分を回収し、
    前記Ｘ線の経路に沿って前記線状物を移動させることにより、前記検出位置を調整する検出位置調整部をさらに備えた、Ｘ線撮影装置。
12. 前記検出位置調整部は、前記筐体の内部に設けられ、前記線状物における前記筐体の内部に存在する部分を保持する保持部を含み、
    前記保持部は、前記Ｘ線の経路に対して平行に移動可能である、請求項１１に記載のＸ線撮影装置。
13. 前記保持部と一体的に前記Ｘ線の経路に対して平行に移動可能である試料載置部であって、Ｘ線を透過する透過部を含む試料載置部をさらに備えた、請求項１２に記載のＸ線撮影装置。
14. 前記保持部は、前記Ｘ線の経路を挟む位置に設けられた２本の移動ローラーよりなり、
    前記２本の移動ローラーは、前記Ｘ線の経路に沿って前記照射部へ向かう方向の力を前記線状物に加え、かつ送り出される前記線状物に従動して回転する、請求項１２または１３に記載のＸ線撮影装置。
15. 前記２本の移動ローラーの各々よりも前記Ｘ線の経路から離れた位置に固定された２本の固定ローラーの各々をさらに備え、
    前記２本の固定ローラーは、前記Ｘ線の経路に沿って前記受信部へ向かう方向の力を前記線状物に加え、かつ送り出される前記線状物に従動して回転する、請求項１４に記載のＸ線撮影装置。
16. 前記線状物を前記回収部に導くガイド線をさらに備え、
    前記ガイド線の基端は前記回収部に固定されており、
    前記ガイド線は、前記線状物の先端を把持する把持部を含み、前記ガイド線は、前記把持部を前記排出口から前記筐体の内部に通し、前記導入口から前記筐体の外部に引き出すことのできる長さを有する、請求項１～５のいずれかに記載のＸ線撮影装置。
    

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