JP7345661B2 - 測定モジュールおよび測定装置 - Google Patents

Description

本開示は、測定モジュールおよび測定装置に関する。

流体の流れの状態を定量的に測定する装置としては、例えば、レーザー血流計などの光学的な手法を用いて流体の流量および流速を測定する装置が知られている（例えば、国際公開第２０１３／１５３６６４号の記載を参照。）。

測定モジュールおよび測定装置が開示される。

測定モジュールの一態様は、流路部の内部に含まれる流路における流体を測定するものである測定モジュールであって、センサ部と、反射部と、を備えている。前記センサ部は、発光部および受光部を有する。前記センサ部および前記反射部は、前記流路を挟んで対向している第１状態で配置可能に構成されている。前記第１状態において、前記受光部は、前記発光部による前記流路部に対する光の照射に応じて、前記流路部で散乱した光と、前記流路部を透過して前記流路における前記流体で散乱した光と、前記流路部および前記流路における前記流体を透過して前記反射部で反射した光と、を受光する。

測定モジュールの一態様は、流路部と、センサ部と、反射部と、を備えている。前記流路部は、流体が流れる流路を内部に含んでいる。前記センサ部は、発光部と受光部とを含む。前記反射部は、前記流路の少なくとも一部を挟んで前記センサ部に対向している。前記発光部は、前記流路部に光を照射する。前記流路部は、前記発光部から発せられた光を透過させる光透過部、を含む。前記受光部は、前記発光部から発せられて前記流路部で散乱した光と、前記発光部から発せられて前記光透過部を透過して前記流路内の前記流体で散乱した光と、前記発光部から発せられて前記光透過部および前記流路内の前記流体を透過して前記反射部で反射した光と、を受光する。

測定装置の一態様は、上記の何れかの一態様の測定モジュールと、処理部と、を備えている。前記受光部は、光を受光して光の強度に応じた信号を出力する。前記処理部は、前記受光部が出力した信号に基づいて、前記流体の流れの状態に係る定量的な計算値を算出する。

図１は、第１実施形態に係る測定モジュールの一構成例の外観を模式的に示す正面図である。 図２は、第１実施形態に係る測定モジュールの一構成例の外観を模式的に示す平面図である。 図３は、第１実施形態に係る測定モジュールの一構成例の外観を模式的に示す分解正面図である。 図４は、第１実施形態に係る測定モジュールの一構成例の外観を模式的に示す分解平面図である。 図５は、図４の測定モジュールのＶ－Ｖ線に沿った断面の一例を模式的に示す分解断面図である。 図６は、第１実施形態に係る測定装置の概略的な構成の一例を模式的に示す図である。 図７は、第１実施形態に係る測定装置の機能的な構成の一例を示すブロック図である。 図８は、一参考例に係る測定装置の概略的な構成の一例を模式的に示す図である。 図９は、第１実施形態に係る測定装置の一構成例および一参考例に係る測定装置における流量設定値と流量算出値との関係の一例を示すグラフである。 図１０は、第２実施形態に係る測定モジュールの一構成例の外観を模式的に示す正面図である。 図１１は、第２実施形態に係る測定モジュールの一構成例の外観を模式的に示す平面図である。 図１２は、第２実施形態に係る測定モジュールの一構成例の外観を模式的に示す正面図である。 図１３は、第２実施形態に係る測定モジュールの一構成例の外観を模式的に示す平面図である。 図１４は、図１３の測定モジュールのXIV－XIV線に沿った断面の一例を模式的に示す断面図である。 図１５は、第３実施形態に係る測定モジュールの一構成例の外観を模式的に示す正面図である。 図１６は、図１５の測定モジュールの一構成例についての図４の測定モジュールのＶ－Ｖ線に沿った断面に対応する断面の一例を模式的に示す分解断面図である。 図１７は、第４実施形態に係る測定モジュールの一構成例の外観を模式的に示す正面図である。 図１８は、図１７の測定モジュールの一構成例についての図１３の測定モジュールのXIV－XIV線に沿った断面に対応する断面の一例を模式的に示す断面図である。 図１９は、第５実施形態に係る測定モジュールの一構成例の外観を模式的に示す正面図である。 図２０は、図１９の測定モジュールの一構成例についての図１３の測定モジュールのXIV－XIV線に沿った断面に対応する断面の一例を模式的に示す断面図である。 図２１は、第６実施形態に係る測定モジュールの一構成例の外観を模式的に示す正面図である。 図２２は、第７実施形態に係る測定モジュールの第１構成例の外観を模式的に示す正面図である。 図２３は、第７実施形態に係る測定モジュールの第２構成例の外観を模式的に示す正面図である。 図２４は、第８実施形態に係る測定モジュールの第１構成例の外観を模式的に示す平面図である。 図２５は、第８実施形態に係る測定モジュールの第２構成例の外観を模式的に示す平面図である。 図２６は、第８実施形態に係る測定モジュールの第３構成例の外観を模式的に示す平面図である。 図２７は、第８実施形態に係る測定モジュールの第３構成例の外観を模式的に示す正面図である。 図２８は、第８実施形態に係る測定モジュールの第３構成例の外観を模式的に示す分解平面図である。 図２９は、第８実施形態に係る測定モジュールの第３構成例の外観を模式的に示す分解正面図である。 図３０は、図２８の測定モジュールのXXX－XXX線に沿った断面の一例を模式的に示す分解断面図である。 図３１は、第８実施形態に係る測定モジュールの第４構成例の外観を模式的に示す平面図である。 図３２は、第８実施形態に係る測定モジュールの第４構成例の外観を模式的に示す分解平面図である。 図３３は、図３２の第８実施形態に係る測定モジュールの第４構成例についての図２８の測定モジュールのXXX－XXX線に沿った断面に対応する断面の一例を模式的に示す分解断面図である。 図３４は、第８実施形態に係る測定モジュールの第５構成例の外観を模式的に示す分解平面図である。 図３５は、第８実施形態に係る測定モジュールの第６構成例の外観を模式的に示す分解平面図である。 図３６は、第９実施形態に係る測定モジュールの第１構成例の外観を模式的に示す平面図である。 図３７は、第９実施形態に係る測定モジュールの第１構成例の外観を模式的に示す正面図である。 図３８は、第９実施形態に係る測定モジュールの第２構成例の外観を模式的に示す平面図である。 図３９は、第９実施形態に係る測定モジュールの第３構成例の外観を模式的に示す正面図である。 図４０は、第９実施形態に係る測定モジュールの第３構成例の外観を模式的に示す平面図である。 図４１は、第１０実施形態に係る測定モジュールの第１構成例の外観を模式的に示す正面図である。 図４２は、第１０実施形態に係る測定モジュールの第２構成例の外観を模式的に示す正面図である。 図４３は、第１０実施形態に係る測定モジュールの第３構成例の外観を模式的に示す正面図である。 図４４は、第１０実施形態に係る測定モジュールの第４構成例の外観を模式的に示す正面図である。 図４５は、第１１実施形態に係る測定装置の機能的な構成の一例を示すブロック図である。 図４６は、第１２実施形態に係る測定装置の機能的な構成の一例を示すブロック図である。 図４７は、第１３実施形態に係る測定システムの機能的な構成の一例を示すブロック図である。 図４８は、流量設定値と流量計算値との関係を例示するグラフである。

流体の流れの状態を定量的に測定する装置として、例えば、レーザー血流計などの光学的な手法を用いて流体の流量および流速の少なくとも一方を測定する装置が知られている。レーザー血流計は、例えば、発光素子としてのレーザーから生体に照射されたレーザー光が散乱する際に生ずるドップラーシフトに起因したレーザー光の波長の変化に基づいて、生体の血流量を算出することができる。

より具体的には、周波数ｆｏのレーザー光が生体に照射されると、血管内を流れる血液の流れ（血球などの粒子の移動）による光の散乱と、他の固定組織（皮膚組織および血管を構成している組織など）による光の散乱と、によって、散乱光が生じる。血球の径は、例えば、数マイクロメートル（μｍ）から２０μｍ程度である。また、血球による散乱で生じた散乱光の周波数ｆは、他の固定組織による散乱で生じた散乱光の周波数ｆｏと比較して、血球などの粒子の移動速度に対応したドップラーシフトによってｆｂだけ変化した周波数ｆｏ＋ｆｂとなっている。この変調周波数ｆｂは、血流の速度をＶとし、流体に対するレーザー光の入射角度をθとし、レーザー光の波長をλとすると、次の式（１）で示される。

ｆｂ＝（２Ｖ×ｃｏｓθ）／λ ・・・（１）

ここでは、固定組織によって生じる周波数ｆｏの光と、移動する血球によって生じる周波数ｆｏ＋ｆｂの光と、の相互干渉によって、差周波ｆｂが光ビート（うなり）として観測され得る。換言すれば、周波数が互いに異なる２種類の光を受光素子が受光することで得られる信号（受光信号）には、これらの２種類の光の相互干渉によって生ずる光ビートに対応する信号（光ビート信号ともいう）の成分が含まれる。

光ビートの周波数に対応する差周波ｆｂは、元のレーザー光の周波数ｆｏよりも非常に小さい。例えば、７８０ｎｍの波長の光の周波数は、４００テラヘルツ（ＴＨｚ）程度であり、通常の受光素子で検出が可能である応答速度を超えている。これに対して、光ビートの周波数（光ビート周波数ともいう）ｆｂは、血球の移動速度に依存するものの、例えば、数キロヘルツ（ｋＨｚ）から数十ｋＨｚ程度であり、通常の受光素子が十分応答して検出することが可能である周波数帯域に含まれる。このため、受光素子を用いて、固定組織によって生じた周波数ｆｏの光と、移動する血球によって生じた周波数ｆｏ＋ｆｂの光と、を受光することで得られる信号（受光信号）は、直流（ＤＣ）成分の信号（ＤＣ信号）に光ビート周波数ｆｂの強度変調信号が重畳された波形を示す。そして、周波数ｆｂの光ビート信号を解析することで、血流量を算出することができる。

例えば、まず、受光素子によって検出された受光信号についてフーリエ変換（ＦＦＴ）などの演算を用いて周波数スペクトルＰ（ｆ）を算出する。次に、この周波数スペクトルＰ（ｆ）に周波数ｆの重み付けを行うことで、重み付け後の周波数スペクトル（重み付け周波数スペクトルともいう）Ｐ（ｆ）×ｆを算出する。次に、重み付け周波数スペクトルＰ（ｆ）×ｆについて、所定の範囲の周波数で積分を行って、第１の計算値（∫｛Ｐ（ｆ）×ｆ｝ｄｆ）を算出する。次に、下記の式（２）で示されるように、第１の計算値（∫｛Ｐ（ｆ）×ｆ｝ｄｆ）を、周波数スペクトルＰ（ｆ）を所定の範囲の周波数について積分を行うことで算出される第２の計算値（∫Ｐ（ｆ）ｄｆ）で除することで、光ビート周波数ｆｂにおける平均周波数ｆｍを算出する。

ｆｍ＝∫｛Ｐ（ｆ）×ｆ｝ｄｆ／｛∫Ｐ（ｆ）ｄｆ｝ ・・・（２）

そして、平均周波数ｆｍを用いた所定の計算で、生体の血流量を算出することが考えられる。

この流体の流量を測定する測定装置は、血管内を流れる血液だけでなく、配管などの流路を有している部分（流路部ともいう）内の流路を流れる流体一般を測定の対象としてもよい。ここでは、例えば、周波数ｆｏのレーザー光が流路部に照射されると、受光素子は、強度Ｉの光を受光する。そして、流路部によって生じる周波数ｆｏの光の電界成分の振幅をα１とし、流路内を流れる流体内の粒子によって生じる周波数ｆｏ＋ｆｂの光の電界成分の振幅をα２とする。また、時刻をｔとし、流路部によって生じる周波数ｆｏの光の電界成分と流路内を流れる流体内の粒子によって生じる周波数ｆｏ＋ｆｂの光の電界成分との位相差をΔとすると、上記の光の強度Ｉは、次の式（３）で示される。

Ｉ＝（α１^２＋α２^２）／２＋２α１α２ｃｏｓ｛２πｆｂ×ｔ＋Δ｝ ・・・（３）

式（３）の右辺第１項の（α１^２＋α２^２）／２は、時刻ｔの経過にかかわらず一定であるＤＣ成分である。式（３）の右辺第２項の２α１α２ｃｏｓ｛２πｆｂ×ｔ＋Δ｝は、時刻ｔの経過とともに変化する交流（ＡＣ）成分である。

ここで、例えば、流路としての透明な管状体内において流体を流す際に、測定装置を用いて流体の流量を測定する構成を想定する。この構成では、例えば、ポンプなどで流路を流れる流体の流量（流量設定値ともいう）を設定することが可能であるものとする。ここでは、例えば、流量設定値を順に増加させ、各流量設定値について、測定装置を用いて、光ビート信号に係る周波数スペクトルＰ（ｆ）、重み付け周波数スペクトルＰ（ｆ）×ｆ、平均周波数ｆｍおよび流量を算出する場合を想定する。ここで、例えば、流体に含まれる粒子の径がある程度大きければ、図４８の太い実線で示されるように、流量設定値と流量の算出値（流量算出値ともいう）とが略正比例の関係を呈し得る。

ところが、例えば、流体によっては、流体に含まれる粒子の径がある程度小さい場合がある。この場合には、例えば、式（３）の振幅α２が小さくなり、式（３）の右辺第２項のＡＣ成分が減少し得る。その結果、例えば、図４８の太い２点鎖線で示されるように、流量設定値と流量算出値との関係が略正比例の関係から大きく外れる場合がある。

そして、上記については、流体の流量を測定する測定装置に限られず、流体の流量および流速の少なくとも一方を含む流体の流れの状態に係る定量値を測定する装置一般に共通する。このため、流体の流れの状態を定量的に測定するための測定モジュールおよび測定装置については、流体の流れの状態についての定量的な測定精度を向上させる点で改善の余地がある。

そこで、本発明者らは、流体の流れの状態を定量的に測定するための測定モジュールおよび測定装置について、流体の流れの状態についての定量的な測定精度を向上させることができる技術を創出した。

これについて、以下、第１実施形態から第１３実施形態について図面を参照しつつ説明する。図面においては同様な構成および機能を有する部分に同じ符号が付されており、下記説明では重複説明が省略される。図面は模式的に示されたものである。図１から図５および図１０から図４４には、右手系のＸＹＺ座標系が付されている。このＸＹＺ座標系では、流体３が流れる方向が－Ｚ方向とされ、－Ｚ方向に直交する１方向が＋Ｘ方向とされ、＋Ｘ方向と＋Ｚ方向との両方に直交する方向が＋Ｙ方向とされている。図１、図３、図５、図６、図８、図１０、図１５から図１７、図１９、図２１から図２３、図２７、図２９、図３０、図３３、図３７、図３９および図４１から図４４には、流体３が流れる方向が太い２点鎖線の矢印で描かれている。図１、図６、図８、図１０、図１５、図１７、図１９、図２１から図２３、図２７、図３７および図３９には、照射光Ｌ１および干渉光Ｌ２の進む方向が細い１点鎖線の矢印で描かれている。

＜１．第１実施形態＞
＜１－１．測定装置＞
図１から図５で示されるように、第１実施形態に係る測定装置１００は、例えば、流路２２を有している部分（流路部ともいう）２１の内部２１ｉを流れる流体３の流れの状態を定量的に測定することができる。ここで、流路部２１は、例えば、各種装置の配管などの管状の物体（管状体ともいう）を含み得る。管状体は、例えば、透光性を有する材料によって構成される。透光性を有する材料には、例えば、ガラスまたはポリマー樹脂などが適用される。流体３の流れの状態を示す定量的な値（流れ定量値ともいう）は、例えば、流量および流速のうちの少なくとも一方の値を含み得る。流量は、単位時間あたりに流路を通過する流体の量である。流体の量は、例えば、体積または質量で表され得る。流速は、流路における流体の流れの速さである。流れの速さは、単位時間あたりに流体が進む距離で表され得る。

測定装置１００は、例えば、測定モジュール１を備えている。後述する測定装置１００および測定モジュール１の各種構成は、適宜周知あるいは公知の方法を用いて製造され得る。

測定モジュール１は、流路部２１の内部２１ｉに含まれる流路２２における流体３の流れの状態を定量的に測定するためのモジュールである。測定モジュール１は、例えば、光のドップラー効果を利用して流体３の流れの状態を定量的に測定するためのモジュールである。ここで、例えば、流体３に対する光の照射に応じて、その光が流体３で散乱を生じる場合には、流体３の流れに応じたドップラー効果によって、流体３の移動速度に応じた光の周波数のシフト（ドップラーシフトともいう）が生じる。測定装置１００は、例えば、測定モジュール１を用いて、ドップラーシフトを検出して、流体３の流れの状態を示す流れ定量値を測定することができる。

ここで、流れの状態が定量的に測定される対象物（被測定物ともいう）としての流体３は、例えば、その流体３自体が光を散乱するもの、または光を散乱する物質（散乱物質ともいう）もしくは光を散乱する物体（散乱体ともいう）を流動させるものを含む。より具体的には、この被測定物としての流体３には、例えば、水、血液、プリンター用のインク、または粉体などの散乱体を含む気体などが適用される。ここで、例えば、散乱物質または散乱体が流体に追従して流動する場合には、「散乱物質または散乱体の流量」を「流体の流量」とみなしてもよいし、「散乱物質または散乱体の流速」を「流体の流速」とみなしてもよい。

図１から図５で示されるように、第１実施形態に係る測定モジュール１は、例えば、センサ部１１１と、反射部１２１と、を備えている。

第１実施形態に係る測定モジュール１は、例えば、センサ部１１１および反射部１２１が流路２２を挟んで対向している状態（第１状態ともいう）で配置することが可能であるように構成されている。例えば、図３から図５で示されるように、センサ部１１１および反射部１２１が流路部２１から離れた状態（第２状態ともいう）から、図１および図２で示されるように、センサ部１１１と反射部１２１とが流路部２１を挟んで対向している第１状態とすることができる。これにより、例えば、流路部２１の内部２１ｉに含まれる流路２２における流体３の流れの状態を定量的に測定する際には、流路部２１としての各種の管状体に対して、センサ部１１１と反射部１２１とを流路部２１を挟むように配置することで、測定モジュール１を容易に配置することができる。図１および図２の例では、流路２２を基準として－Ｘ方向にセンサ部１１１が位置しており、流路２２を基準として＋Ｘ方向に反射部１２１が位置している。

センサ部１１１は、例えば、発光部１１１１と、受光部１１１２と、を含む。

発光部１１１１は、例えば、第１状態において、内部２１ｉで流体３が流れる物体（被照射物ともいう）２に光（照射光ともいう）Ｌ１を照射することができる。被照射物２は、少なくとも管状体などの流路を構成する物体（流路部）２１と、流路２２を流れる流体３と、を含む。照射光Ｌ１には、例えば、被測定物としての流体３に応じた所定の波長の光が適用される。例えば、流体３が血液もしくはスポーツドリンクである場合には、照射光Ｌ１の波長は、６００ナノメートル（ｎｍ）から９００ｎｍ程度に設定される。また、例えば、流体３がプリンター用のインクである場合には、被照射物２に照射される光の波長は、７００ｎｍから１０００ｎｍ程度に設定される。発光部１１１１には、例えば、垂直共振器面発光レーザー（ＶＣＳＥＬ：Vertical Cavity Surface Emitting LASER）などの半導体レーザー素子が適用される。

受光部１１１２は、例えば、第１状態において、照射光Ｌ１のうち、被照射物２および反射部１２１で散乱した光を含む干渉光Ｌ２を受光することができる。より具体的には、例えば、受光部１１１２は、発光部１１１１による流路部２１に対する照射光Ｌ１の照射に応じて、流路部２１で散乱した光Ｌ２ａと、流路部２１を透過して流路２２における流体３で散乱した光Ｌ２ｂと、流路部２１および流路２２における流体３を透過して反射部１２１で反射した光Ｌ２ｃと、を受光することができる。また、受光部１１１２は、例えば、受光した干渉光Ｌ２を光の強度に応じた電気信号に変換することができる。換言すれば、受光部１１１２は、干渉光Ｌ２を受光してこの干渉光Ｌ２の強度に応じた電気信号を出力することができる。

ここでは、受光部１１１２が受光することができる干渉光Ｌ２は、例えば、流体３の周囲で静止している物体（静止物体ともいう）としての流路部２１および反射部１２１からのドップラーシフトを生じていない散乱光と、流体３からのシフト量がｆｂであるドップラーシフトを生じた散乱光と、によって生じる干渉光を含む。換言すれば、干渉光Ｌ２は、例えば、流路部２１および流体３を透過して反射部１２１によって反射された光を含む。これにより、例えば、受光部１１１２で受光される干渉光Ｌ２の強度が増加し得る。

ここで、例えば、静止物体によって生じる周波数ｆｏの散乱光の電界成分の振幅をα１とし、流路２２内を流れる流体３内の粒子によって生じる周波数ｆｏ＋ｆｂの散乱光の電界成分の振幅をα２とする。また、例えば、時刻をｔとし、静止物体によって生じる周波数ｆｏの散乱光の電界成分と流路２２内を流れる流体３内の粒子によって生じる周波数ｆｏ＋ｆｂの散乱光の電界成分との位相差をΔとする。この場合には、受光部１１１２で受光される干渉光Ｌ２の強度Ｉは、次の式（４）で示される。

Ｉ＝（α１^２＋α２^２）／２＋２α１α２ｃｏｓ｛２πｆｂ×ｔ＋Δ｝ ・・・（４）

例えば、式（４）の右辺第１項の（α１^２＋α２^２）／２は、時刻ｔの経過にかかわらず一定であるＤＣ成分である。また、例えば、式（４）の右辺第２項の２α１α２ｃｏｓ｛２πｆｂ×ｔ＋Δ｝は、時刻ｔの経過とともに変化するシフト量ｆｂに対応する周波数のＡＣ成分である。ここでは、例えば、時間の経過に対する干渉光Ｌ２の強度Ｉの変化（時間変化ともいう）は、ドップラーシフトを生じていない散乱光の周波数と、ドップラーシフトを生じた散乱光の周波数と、の差（差周波ともいう）ｆｂに対応する周波数のうなりを示し得る。このため、例えば、受光部１１１２から出力される干渉光Ｌ２の強度に応じた信号は、干渉光Ｌ２の強度の時間変化におけるうなりに対応する信号（うなり信号とも光ビート信号ともいう）の成分を含み得る。受光部１１１２には、例えば、干渉光Ｌ２の強度の時間変化におけるうなりに追従することができる能力（時間分解能ともいう）を有するものが適用される。受光部１１１２が受光することができる光の波長は、例えば、照射光Ｌ１の波長および流体３の速度の範囲などの測定条件に応じて設定され得る。受光部１１１２には、例えば、シリコン（Ｓｉ）フォトダイオード、ガリウムヒ素（ＧａＡｓ）フォトダイオード、ヒ化インジウムガリウム（ＩｎＧａＡｓ）フォトダイオード、またはゲルマニウム（Ｇｅ）フォトダイオードなどの各種のフォトダイオードが適用される。

第１実施形態では、例えば、静止物体によって生じる周波数ｆｏの散乱光は、流路部２１によって生じる周波数ｆｏの散乱光に加えて、反射部１２１によって生じる周波数ｆｏの散乱光を含む。これにより、例えば、仮に流体３に含まれる粒子の径がある程度小さく、式（４）の振幅α１が小さくなる場合であっても、式（４）の振幅α２が大きくなり得る。このため、例えば、式（４）の右辺第２項のＡＣ成分が大きくなり得る。換言すれば、例えば、干渉光Ｌ２の強度Ｉの増大に応じて受光部１１１２から出力される信号に含まれる光ビート信号の成分の振幅が大きくなり得る。その結果、例えば、後述する処理部１１３において光ビート信号を解析することで算出される流体３の流れの状態を示す定量的な値（流れ定量値）の測定精度が向上し得る。

また、センサ部１１１は、例えば、パッケージ１１１３を有していてもよい。パッケージ１１１３は、発光部１１１１および受光部１１１２を収容するものである。図１から図５の例では、測定モジュール１は、センサ部１１１が実装された基板（実装基板ともいう）１０１を有する。実装基板１０１には、例えば、プリント基板などが適用される。ここでは、センサ部１１１のパッケージ１１１３が実装基板１０１上に位置している。パッケージ１１１３は、例えば、立方体状または直方体状などの外形を有する。パッケージ１１１３は、例えば、第１状態において流路２２に向けてそれぞれ開口するように構成された凹部（第１凹部ともいう）１１１３ａおよび凹部（第２凹部ともいう）１１１３ｂを有する。図１から図５の例では、第１凹部１１１３ａおよび第２凹部１１１３ｂは、それぞれ＋Ｘ方向に向けて開口している。第１凹部１１１３ａには、例えば、発光部１１１１が実装された状態で位置している。第２凹部１１１３ｂには、例えば、受光部１１１２が実装された状態で位置している。ここで、発光部１１１１から発せられる照射光Ｌ１は、第１凹部１１１３ａの開口を介して被照射物２に照射される。また、被照射物２および反射部１２１からの干渉光Ｌ２は、第２凹部１１１３ｂの開口を介して受光部１１１２によって受光される。パッケージ１１１３には、例えば、セラミック材料または有機材料などで構成されている配線基板の積層体が適用される。セラミック材料には、例えば、酸化アルミニウム質焼結体またはムライト質焼結体などが適用される。有機材料には、例えば、エポキシ樹脂またはポリイミド樹脂などが適用される。

また、例えば、図１から図５で示されるように、パッケージ１１１３のうちの第１凹部１１１３ａおよび第２凹部１１１３ｂのそれぞれの開口を覆うように、透光性を有する蓋部材１１１４が位置していてもよい。この構成が採用されれば、例えば、パッケージ１１１３の第１凹部１１１３ａ内において発光部１１１１が密閉された状態、およびパッケージ１１１３の第２凹部１１１３ｂ内において受光部１１１２が密閉された状態が実現され得る。蓋部材１１１４には、例えば、ガラス板などが適用される。

反射部１２１は、例えば、光を反射することができる。反射部１２１の材料には、例えば、流路部２１の材料よりも、照射光Ｌ１に対する反射率が高い材料が適用される。反射部１２１の材料は、例えば、照射光Ｌ１の波長に応じて適宜設定され得る。反射部１２１の材料には、例えば、アルミニウムもしくは銅などの金属が適用される。反射部１２１は、第１状態において、例えば、流路部２１の＋Ｘ側の外周部に沿って位置する形状を有する。反射部１２１は、膜状、箔状、板状および塊状の何れの形態を有していてもよい。反射部１２１の形態は、例えば、照射光Ｌ１の強度に応じて適宜設定され得る。ここで、例えば、照射光Ｌ１に対する反射部１２１の反射率が増大すれば、受光部１１１２で受光される干渉光Ｌ２の強度Ｉが増大し、受光部１１１２から出力される信号が含む光ビート信号の成分の振幅が大きくなり得る。この場合には、例えば、干渉光Ｌ２の強度に応じた電気信号の強度を増幅する処理において増幅率を低くすることが可能であり、電気信号におけるノイズの増幅が低減され得る。その結果、例えば、後述する処理部１１３において光ビート信号を解析することで算出される流体３の流れの状態を示す定量的な値（流れ定量値）の測定精度が向上し得る。また、別の観点から言えば、例えば、周波数ｆｏの照射光Ｌ１に対する反射部１２１の反射率を高めて、流体３の流れの状態を示す定量的な値（流れ定量値）の測定精度が維持できる範囲内で、発光部１１１１が発する照射光Ｌ１の強度を低減してもよい。これにより、例えば、測定装置１００および測定モジュール１における消費電力の低減が図られ得る。

また、測定モジュール１は、例えば、第１筐体部１１２と、第２筐体部１２２と、を備えていてもよい。第１筐体部１１２および第２筐体部１２２は、例えば、センサ部１１１と反射部１２１とが流路２２を挟んで対向している第１状態において流路部２１を挟んで位置している状態（第３状態ともいう）で配置することができるように構成されている。

第１筐体部１１２は、例えば、第３状態においてセンサ部１１１を流路部２１とは逆側から囲むように構成された凹部（第３凹部ともいう）１１２ｒを有する。第１筐体部１１２の外形としては、例えば、立方体状、直方体状または半円柱状など種々の形状が採用され得る。第３凹部１１２ｒは、例えば、第３状態において流路２２に向けて開口するように構成されている。図１から図５の例では、第３凹部１１２ｒは、＋Ｘ方向に向けて開口している開口部を有する。例えば、第３状態において、第３凹部１１２ｒ内にはセンサ部１１１が位置している。例えば、第３状態において、第３凹部１１２ｒ内にはセンサ部１１１が実装された実装基板１０１が位置していてもよい。ここで、例えば、第１筐体部１１２にセンサ部１１１が固定されることで、一体的な部分（第１部分ともいう）１１とされてもよい。例えば、第３凹部１１２ｒ内において、センサ部１１１が実装された実装基板１０１は、ネジ止め、かしめ、もしくは接着などによって第１筐体部１１２に固定され得る。これにより、例えば、測定モジュール１は、センサ部１１１および第１筐体部１１２を含む第１部分１１を有する形態となる。これにより、例えば、流路部２１に対してセンサ部１１１および第１筐体部１１２を容易に配置することができる。

また、第１筐体部１１２は、例えば、第３凹部１１２ｒの開口部の周囲に位置しており且つ第３状態において第２筐体部１２２に沿って位置するように構成された面（第１面ともいう）１１２ｆを有する。第１面１１２ｆは、例えば、第３状態において、第２筐体部１２２に接触していてもよいし、近接していてもよい。図１から図５の例では、第１面１１２ｆは、第１筐体部１１２のうちの＋Ｘ方向を向いた面である。また、第１筐体部１１２は、例えば、第３状態において流路部２１の外面に沿って位置する形状を有する。第１筐体部１１２は、例えば、第１面１１２ｆ側に第３凹部１１２ｒおよび第１溝部１１２ｔを有する。図１から図５の例では、第３凹部１１２ｒは、第１面１１２ｆの略中央部に位置し、第１溝部１１２ｔは、第３凹部１１２ｒから＋Ｚ方向および－Ｚ方向に向けて直線状に延びている。第１溝部１１２ｔは、例えば、第３状態において、流路部２１の－Ｘ側の部分が嵌まり込む形状を有する。例えば、第１溝部１１２ｔが、半円柱状の内部空間を有し、流路部２１が円筒状の形状を有する形態が考えられる。

第２筐体部１２２は、例えば、第３状態において第１面１１２ｆに沿って位置するように構成された面（第２面ともいう）１２２ｆを有する。第２面１２２ｆは、例えば、第３状態において、第１面１１２ｆに接触していてもよいし、近接していてもよい。図１から図５の例では、第２面１２２ｆは、第２筐体部１２２のうちの－Ｘ方向を向いた面である。また、ここでは、例えば、第２筐体部１２２は、反射部１２１を流路部２１とは逆側から囲むように位置する。第２筐体部１２２の外形としては、例えば、立方体状、直方体状または半円柱状などの種々の形状が採用され得る。

また、第２筐体部１２２は、例えば、第３状態において流路部２１の外面に沿って位置する形状を有する。第２筐体部１２２は、例えば、第２面１２２ｆ側に第２溝部１２２ｔを有する。第２溝部１２２ｔは、例えば、第２面１２２ｆに沿った一方向に沿って延びている。図１から図５の例では、第２溝部１２２ｔは、第２面１２２ｆのＹ方向の略中央付近においてＺ方向に直線状に延びている。第２溝部１２２ｔは、例えば、第３状態において、流路部２１の＋Ｘ側の部分が嵌まり込む形状を有する。例えば、第２溝部１２２ｔが、半円柱状の内部空間を有し、流路部２１が円筒状の形状を有する形態が考えられる。また、例えば、第２溝部１２２ｔの底面（内面）に沿って反射部１２１が位置している。図１から図５の例では、反射部１２１は、第２溝部１２２ｔの底面に沿った半円筒状の形状を有する。ここで、例えば、第２筐体部１２２に反射部１２１が固定されることで、一体的な部分（第２部分ともいう）１２とされてもよい。例えば、蒸着もしくはスパッタリングなどの手法による乾式の成膜、またはめっきもしくは塗布などの手法による湿式の成膜によって、第２溝部１２２ｔの底面に沿って膜状の反射部１２１が形成され得る。反射部１２１は、例えば、接着剤もしくは接着テープなどによる貼り付けによって、第２溝部１２２ｔの底面に沿って配置されてもよい。これにより、例えば、測定モジュール１は、反射部１２１および第２筐体部１２２を含む第２部分１２を有する形態となる。これにより、例えば、流路部２１に対して反射部１２１および第２筐体部１２２を容易に配置することができる。

ここでは、例えば、第１筐体部１１２を含む第１部分１１と第２筐体部１２２を含む第２部分１２とを、図３から図５で示されるように相互に離れた状態から、図１および図２で示されるように流路部２１を挟んでいる第３状態とする。上記により、センサ部１１１および反射部１２１が流路２２から離れた第２状態からセンサ部１１１および反射部１２１が流路２２を挟んで対向している第１状態とすることができる。このため、例えば、流路部２１の内部２１ｉを流れる流体３の状態を定量的に測定する際には、流路部２１としての各種の管状体に対して、測定モジュール１を容易に配置することができる。第３状態においては、第１部分１１と第２部分１２とは、例えば、接着剤または粘着テープなどを用いた接着によって連結されてもよいし、他の部材を用いた締結または挟持などによって連結されてもよい。

また、例えば、第１筐体部１１２および第２筐体部１２２は、第３状態において、第１開口部Ｏｐ１と第２開口部Ｏｐ２とを有するように構成されている。第１開口部Ｏｐ１は、例えば、流路部２１の長手方向（例えば、＋Ｚ方向）における端部（第１端部ともいう）に位置している。この第１開口部Ｏｐ１には、流路部２１が貫通している。第２開口部Ｏｐ２は、例えば、流路部２１の長手方向（例えば、＋Ｚ方向）における第１端部とは逆の端部（第２端部ともいう）に位置している。この第２開口部Ｏｐ２には、流路部２１が貫通している。図１および図２の例では、測定モジュール１は、第１溝部１１２ｔと第２溝部１２２ｔとによって構成された貫通孔１０ｈを有する。貫通孔１０ｈは、＋Ｚ側に位置する第１開口部Ｏｐ１と、－Ｚ側に位置する第２開口部Ｏｐ２と、を有する。この貫通孔１０ｈには、例えば、流路部２１としての管状体が貫通している状態にある。

ここで、例えば、第１筐体部１１２および第２筐体部１２２が、流路部２１よりも高い遮光性を有していれば、測定モジュール１の外部から受光部１１１２へ光が進入しにくい。これにより、例えば、流路２２における流体３の流れの状態についての定量的な測定精度が向上し得る。ここで、第１筐体部１１２および第２筐体部１２２の材料には、例えば、可視光線に対する高い遮光性を有する黒色などの樹脂が適用され得る。第１筐体部１１２および第２筐体部１２２の材料には、例えば、可視光線に対する高い遮光性を有する金属またはセラミックスなどの材料が適用されてもよい。

また、ここで、例えば、図１で示されるように、反射部１２１が貫通孔１０ｈ内において第１開口部Ｏｐ１から離れて位置していれば、測定モジュール１の外部から第１開口部Ｏｐ１を介して貫通孔１０ｈ内に入射した光が、反射部１２１の反射によって受光部１１１２まで到達しにくい。これにより、例えば、測定モジュール１の外部から受光部１１１２へ光が進入しにくい。その結果、例えば、流路２２における流体３の流れの状態についての定量的な測定精度が向上し得る。また、ここで、例えば、図１で示されるように、反射部１２１が貫通孔１０ｈ内において第２開口部Ｏｐ２から離れて位置していれば、測定モジュール１の外部から第２開口部Ｏｐ２を介して貫通孔１０ｈ内に入射した光が、反射部１２１の反射によって受光部１１１２まで到達しにくい。これにより、例えば、測定モジュール１の外部から受光部１１１２へ光が進入しにくい。その結果、例えば、流路２２における流体３の流れの状態についての定量的な測定精度が向上し得る。ここでは、例えば、貫通孔１０ｈの内面のうち、反射部１２１を除く部分における光の反射率が、反射部１２１における照射光Ｌ１の反射率よりも低い態様が考えられる。

別の観点から言えば、例えば、図５で示されるように、反射部１２１は、第１状態において流路２２を挟んでセンサ部１１１と対向するように配置される面（反射面ともいう）Ｓｒ１を有する。そして、例えば、第１溝部１１２ｔの内面と、第２溝部１２２ｔのうちの反射部１２１が配されていない内面とが、反射面Ｓｒ１よりも照射光Ｌ１の反射率が低い面（低反射面ともいう）Ｓａ１を構成している態様が考えられる。低反射面Ｓａ１は、例えば、黒色の樹脂などの黒色の材料によって構成され得る。低反射面Ｓａ１は、例えば、第１筐体部１１２および第２筐体部１２２の材料で構成されてもよいし、第１溝部１１２ｔおよび第２溝部１２２ｔの底面に沿った黒色の膜状の部分で構成されてもよい。黒色の膜状の部分は、例えば、塗布などの手法による黒色の樹脂の成膜などによって形成され得る。黒色の膜状の部分は、例えば、接着剤もしくは接着テープなどで貼り付けによって、第１溝部１１２ｔおよび第２溝部１２２ｔの底面に沿って配置されてもよい。

また、図６および図７で示されるように、測定装置１００は、上述した測定モジュール１に加えて、処理部１１３を備えている。ここで、実装基板１０１には、例えば、図６で示されるように、センサ部１１１と、処理部１１３と、接続部１１４と、が実装されていてもよい。この場合には、センサ部１１１と処理部１１３との間および処理部１１３と接続部１１４との間のそれぞれは、例えば、実装基板１０１によって電気的に接続されている。また、例えば、第１筐体部１１２の第３凹部１１２ｒ内には、センサ部１１１と処理部１１３と接続部１１４とが実装された実装基板１０１が位置していてもよい。

処理部１１３は、例えば、受光部１１１２が出力した電気信号に基づいて、流体３の流れの状態に係る定量的な計算値を算出することができる。また、処理部１１３は、例えば、測定装置１００を制御することができてもよい。処理部１１３は、例えば、トランジスタもしくはダイオードなどの能動素子およびコンデンサなどの受動素子などを含む複数の電子部品を有する。接続部１１４は、例えば、処理部１１３と外部装置とを電気的に接続することができる。接続部１１４と外部装置とは、例えば、第１筐体部１１２を貫通するように配された配線によって電気的に接続され得る。ここでは、例えば、複数の電子部品を集積して、１つ以上の集積回路（ＩＣ）または大規模集積回路（ＬＳＩ）などを形成したり、複数のＩＣまたはＬＳＩなどをさらに集積して形成したりすることで、処理部１１３および接続部１１４を含む各種機能部が構成され得る。処理部１１３および接続部１１４を構成する複数の電子部品は、例えば、実装基板１０１上に実装されている状態にある。これにより、例えば、パッケージ１１１３と処理部１１３とが電気的に接続されているとともに、処理部１１３と接続部１１４とが電気的に接続されている状態にある。

処理部１１３は、例えば、信号処理部１１３１と、情報処理部１１３２と、を有する。

信号処理部１１３１は、例えば、受光部１１１２から受信した電気信号に対して種々の処理を行うことができる。種々の処理には、例えば、電気信号を電圧値に変換する処理、電気信号の強度を増幅する処理、アナログ信号をデジタル信号に変換する処理および電気信号の交流（ＡＣ）成分と直流（ＤＣ）成分とを分離する処理などが含まれ得る。信号処理部１１３１は、例えば、受光部１１１２から出力された電気信号をＤＣ成分とＡＣ成分とに分けた後に、ＡＣ成分の信号（ＡＣ信号ともいう）を増幅してもよい。この場合には、信号処理部１１３１で行われる種々の処理には、例えば、電気信号を電圧値に変換する処理、電気信号のＡＣ成分とＤＣ成分とを分離する処理（ＡＣ－ＤＣ分離処理ともいう）、およびＡＣ信号を増幅する処理、ならびにアナログ信号をデジタル信号に変換する処理などが含まれる。信号処理部１１３１は、例えば、電流－電圧変換回路（Ｉ－Ｖ変換回路）、交流－直流分離回路（ＡＣ－ＤＣデカップリング回路）、増幅回路およびアナログ－デジタル変換回路（ＡＤ変換回路）などの回路を有し得る。ここでは、例えば、信号処理部１１３１は、受光部１１１２から受信したアナログの電気信号に対して、ＡＣ－ＤＣ分離処理、増幅処理およびＡＤ変換処理などの処理を施した上で、情報処理部１１３２に向けて、デジタル信号を出力することができる。信号処理部１１３１は、例えば、受光部１１１２から受信したアナログの電気信号に対して、増幅処理およびＡＤ変換処理などの処理を施した上で、情報処理部１１３２に向けて、デジタル信号を出力してもよい。

情報処理部１１３２は、例えば、演算処理部１１３２ａと、記憶部１１３２ｂと、を有する。

演算処理部１１３２ａは、例えば、電気回路としてのプロセッサを有する。プロセッサは、例えば、１つ以上のプロセッサ、コントローラ、マイクロプロセッサ、マイクロコントローラ、特定用途向け集積回路（ＡＳＩＣ）、デジタル信号処理装置、プログラマブルロジックデバイス、またはこれらのデバイスもしくは任意の構成の組み合わせ、あるいは他の既知のデバイスもしくは構成の組み合わせを含み得る。

記憶部１１３２ｂは、例えば、即時呼び出し記憶装置（ＲＡＭ）および読み出し専用メモリ（ＲＯＭ）などを有する。記憶部１１３２ｂは、例えば、プログラムＰｇ１を含むファームウェアを記憶している状態にある。演算処理部１１３２ａは、例えば、記憶部１１３２ｂに記憶されたファームウェアに従って、１つ以上のデータの演算またはデータ処理を実行することができる。換言すれば、例えば、演算処理部１１３２ａがプログラムＰｇ１を実行することで、測定装置１００の各種機能を実現することができる。これにより、情報処理部１１３２は、例えば、発光部１１１１および受光部１１１２の動作を制御することができる。

ところで、例えば、受光部１１１２から出力される電気信号の周波数および信号強度は、光のドップラー効果に依存する。このため、例えば、電気信号の周波数と信号強度との関係を示す周波数スペクトルＰ（ｆ）は、流体３の流れ定量値（流量または流速）に応じて変化する。そこで、情報処理部１１３２は、例えば、演算処理部１１３２ａによって、受光部１１１２から出力されて信号処理部１１３１で処理された電気信号に基づいて流体３の流れの状態を定量的に測定するための演算を実行することができる。

より具体的には、演算処理部１１３２ａは、まず、例えば、受光部１１１２から出力された信号について、フーリエ変換（ＦＦＴ）などの演算を用いて、信号強度の時間変化についての周波数ごとの信号強度に係る分布を示すパワースペクトル（第１周波数スペクトルともいう）Ｐ（ｆ）を算出する。換言すれば、演算処理部１１３２ａは、例えば、受光部１１１２から出力された信号の強度の時間変化について第１周波数スペクトルＰ（ｆ）を算出する。演算処理部１１３２ａは、例えば、受光部１１１２から出力された信号を対象とした信号処理部１１３１における増幅処理で得た信号、もしくは信号処理部１１３１におけるＡＣ－ＤＣ分離処理および増幅処理で得たＡＣ信号について、信号強度の時間の経過に対する変化（時間変化）についての第１周波数スペクトルＰ（ｆ）を算出する。ここでは、例えば、第１周波数スペクトルＰ（ｆ）は、信号処理部１１３１から出力される信号におけるＡＣ成分の強度の時間変化について、フーリエ変換などの演算を用いた解析がなされることで得られる。第１周波数スペクトルＰ（ｆ）における周波数の範囲は、例えば、ＡＤ変換回路におけるサンプリングレートに基づいて設定され得る。

次に、演算処理部１１３２ａは、例えば、第１周波数スペクトルＰ（ｆ）に周波数ｆの重み付けを行うことで、重み付け後の周波数スペクトル（第２周波数スペクトルともいう）Ｐ（ｆ）×ｆを算出する。

次に、演算処理部１１３２ａは、例えば、第２周波数スペクトルＰ（ｆ）×ｆについての強度の積分値（∫｛Ｐ（ｆ）×ｆ｝ｄｆ）と、第１周波数スペクトルＰ（ｆ）についての強度の積分値（∫Ｐ（ｆ）ｄｆ）と、を算出する。

次に、演算処理部１１３２ａは、例えば、第２周波数スペクトルＰ（ｆ）×ｆについての強度の積分値（∫｛Ｐ（ｆ）×ｆ｝ｄｆ）を、第１周波数スペクトルＰ（ｆ）についての強度の積分値（∫Ｐ（ｆ）ｄｆ）で除することで、差周波ｆｂについての平均周波数ｆｍを算出する。

そして、演算処理部１１３２ａは、例えば、上記のように算出した平均周波数ｆｍに基づいて、流体３の流れの状態を定量的な値（流れ定量値）を算出することができる。これにより、例えば、測定装置１００は、流路２２を含む流路部２１の内部２１ｉを流れる流体３の流れの状態を定量的に測定することができる。

例えば、演算処理部１１３２ａは、平均周波数ｆｍと、予め準備された検量データ（検量線ともいう）と、に基づいて、流体３の流れに係る定量的な値（流れ定量値）を算出することができる。ここで、例えば、流体３の流量に係る検量データが予め準備されていれば、平均周波数ｆｍと、流れ定量値としての流量に係る検量線と、に基づいて、流体３の流量が算出され得る。また、例えば、流体３の流速に係る検量データが予め準備されていれば、平均周波数ｆｍと、流れ定量値としての流速に係る検量線と、に基づいて、流体３の流速が算出され得る。これにより、流体３の流量および流速のうちの少なくとも一方が算出され得る。

検量データは、例えば、流体３の流れ定量値を測定する前に、予め記憶部１１３２ｂなどに記憶されていればよい。検量データは、例えば、関数式の形式で記憶されていてもよいし、テーブルの形式で記憶されていてもよい。

検量データは、例えば、流体３について、既知の流れ定量値で流路部２１内を流れる流体３を測定の対象として測定装置１００によって平均周波数ｆｍの算出を行うことで準備され得る。また、測定装置１００による平均周波数ｆｍの算出は、発光部１１１１による被照射物２に向けた照射光Ｌ１の照射と、受光部１１１２による被照射物２および反射部１２１で散乱した光を含む干渉光Ｌ２の受光と、演算処理部１１３２ａによる平均周波数ｆｍの算出と、を行うものである。ここでは、例えば、既知の流れ定量値で流路部２１内を流れる流体３を対象として測定装置１００によって平均周波数ｆｍを算出し、既知の流れ定量値と、算出された平均周波数ｆｍと、の関係に基づいて検量データが導出され得る。より具体的には、例えば、平均周波数ｆｍを媒介変数とする演算式（検量線）が検量データとして導出され得る。

例えば、流れ定量値をｙとし、平均周波数ｆｍをｘとして、係数ａ、ｂおよび定数ｃを有する式（５）によって検量線が表される場合を想定する。

ｙ＝ａ×ｘ^２＋ｂ×ｘ＋ｃ ・・・（５）

例えば、流れ定量値が既知の値ｙ１で流路部２１内を流れる流体３を対象として平均周波数ｆｍが値ｘ１と算出され、流れ定量値が既知の値ｙ２で流路部２１内を流れる流体３を対象として平均周波数ｆｍが値ｘ２と算出され、流れ定量値が既知の値ｙ３で流路部２１内を流れる流体３を対象として平均周波数ｆｍが値ｘ３と算出されれば、次の式（６）、式（７）および式（８）が得られる。

ｙ１＝ａ×ｘ１^２＋ｂ×ｘ１＋ｃ ・・・（６）
ｙ２＝ａ×ｘ２^２＋ｂ×ｘ２＋ｃ ・・・（７）
ｙ３＝ａ×ｘ３^２＋ｂ×ｘ３＋ｃ ・・・（８）

式（６）、式（７）および式（８）から、係数ａ、係数ｂおよび定数ｃが算出される。そして、ここで算出された係数ａ、係数ｂおよび定数ｃを式（５）に代入すれば、検量線を示す検量データが得られる。

検量線を示す関数式は、例えば、流れ定量値をｙとし、平均周波数ｆｍを変数であるｘとした、ｎ次（ｎは２以上の自然数）の項を含む多項式で表されるものであってもよい。検量線を示す関数式は、例えば、平均周波数ｆｍに係る変数ｘについての対数の項および冪乗の項の少なくとも１つの項を有していてもよい。

ここで、例えば、ポンプなどで流路２２を流れる流体３の流量（流量設定値ともいう）を順に増加させつつ、上記構成を有する測定装置１００を用いて、流路２２を流れる流体３の流量（流量算出値ともいう）を算出すると、流量設定値と流量算出値との関係が、正比例に近い関係を示し得る。そして、例えば、流体３に含まれる粒子の径が減少しても、流量設定値と流量算出値との関係は、正比例に近い関係を示し得る。また、例えば、ポンプなどで流路２２を流れる流体３の流速（流速設定値ともいう）を順に増加させつつ、上記構成を有する測定装置１００を用いて、流路２２を流れる流体３の流速（流速算出値ともいう）を算出すると、流速設定値と流量算出値との関係が、正比例に近い関係を示し得る。そして、例えば、流体３に含まれる粒子の径が減少しても、流速設定値と流速算出値との関係は、正比例に近い関係を示し得る。したがって、例えば、測定装置１００における流体３の流れの状態についての定量的な測定精度を向上させることができる。

＜１－２．測定装置による測定結果の具体例＞
ここで、上述したようにセンサ部１１１に対して流路２２を挟んで対向している反射部１２１を有する第１状態の測定装置１００を用いた流量計算値の算出結果の具体例を挙げて説明する。また、図８で示されるように、測定装置１００から反射部１２１が削除された一参考例に係る測定装置９００を用いた流量計算値の算出結果の一例も参考例として併せて挙げる。ここでは、流路部２１である配管として、直径が３ミリメートル（ｍｍ）である円筒状のＰＦＡ（テトラフルオロエチレン－パーフルオロアルキルビニルエーテル共重合体（ペルフルオロアルコキシフッ素樹脂））製のチューブを用いた。センサ部１１１の蓋部材１１１４と配管との距離を約２ｍｍとした。発光部１１１１として、８５０ナノメートル（ｎｍ）の波長と１．０ミリワット（ｍＷ）の強度とを有する光を発する垂直共振器面発光レーザー（ＶＣＳＥＬ）を用いた。受光部１１１２として、シリコン（Ｓｉ）フォトダイオードを用いた。反射部１２１として、配管のうちのセンサ部１１１とは逆側の外周面に沿って銅箔を配置した。流体３は、１００ミリリットル（ｍ１）の純水に対して２０マイクロメートル（μｍ）の平均粒径を有するアミノ酸類粉末を５０グラム（ｇ）混合することで作製した。また、ポンプを用いて配管内の流路２２を流れる流体３の流量（流量設定値）を、１０ミリリットル毎分（ｍｌ／ｍｉｎ）、１００ｍｌ／ｍｉｎ、５００ｍｌ／ｍｉｎおよび１０００ｍｌ／ｍｉｎにそれぞれ設定して、測定装置１００によって流量計算値を算出した。

図９では、第１実施形態に係る測定装置１００を用いた場合における流量設定値と流量計算値の算出結果との関係が、黒丸印で示されている。また、図９では、一参考例に係る測定装置９００を用いた場合における流量設定値と流量計算値の算出結果との関係が、バツ印（クロスマークともいう）で示されている。

図９で示されるように、一参考例に係る測定装置９００を用いた場合には、流量設定値と流量計算値の算出結果との関係が正比例の関係から大きく外れていたことが確認された。これに対して、第１実施形態に係る測定装置１００を用いた場合には、流量設定値と流量計算値の算出結果との関係が、略正比例の関係を示すことが確認された。

これにより、例えば、センサ部１１１に対して流路２２を挟んで対向している反射部１２１を設けることで、流体３の流れの状態についての定量的な測定精度が向上することが分かった。ここでは、発光部１１１１による流路部２１に対する照射光Ｌ１の照射に応じて、受光部１１１２が受光する干渉光Ｌ２の強度Ｉが、反射部１２１の存在によって増大し、流体３の流れの状態を示す流れ定量値の測定精度が向上したものと推察された。より具体的には、干渉光Ｌ２の強度の増大に応じて受光部１１１２から出力される信号に含まれる光ビート信号の成分の振幅が大きくなり、光ビート信号を解析することで算出される流体３の流れの状態を示す流れ定量値の測定精度が向上したものと推察された。

＜１－３．第１実施形態のまとめ＞
上述したように、第１実施形態に係る測定装置１００および測定モジュール１は、例えば、発光部１１１１および受光部１１１２を含むセンサ部１１１と、反射部１２１と、を備えている。センサ部１１１および反射部１２１は、流路部２１を挟んで対向している第１状態で配置することができる。そして、第１状態において、例えば、受光部１１１２は、発光部１１１１による流路部２１に対する照射光Ｌ１の照射に応じて、流路部２１で散乱した光Ｌ２ａと、流路部２１を透過して流路２２における流体３で散乱した光Ｌ２ｂと、流路部２１および流路２２における流体３を透過して反射部１２１で反射した光Ｌ２ｃと、を受光することができる。これにより、例えば、発光部１１１１による流路部２１に対する照射光Ｌ１の照射に応じて受光部１１１２で受光される干渉光Ｌ２の強度Ｉが増大し、受光部１１１２から出力される信号に含まれる光ビート信号の成分の振幅が大きくなり得る。その結果、例えば、光ビート信号を解析することで算出される流体３の流れの状態を示す定量的な値（流れ定量値）の測定精度が向上し得る。したがって、例えば、流路２２における流体３の流れの状態についての定量的な測定精度が向上し得る。

＜２．他の実施形態＞
本開示は上述の第１実施形態に限定されるものではなく、本開示の要旨を逸脱しない範囲において種々の変更および改良などが可能である。

＜２－１．第２実施形態＞
上記第１実施形態においては、例えば、図１０から図１４で示されるように、流体３の流れの状態を定量的に測定するための測定モジュール１は、流体３が流れる流路２２を内部２２ｉに含む流路部２１を備えていてもよい。ここでは、例えば、測定モジュール１は、流路部２１に光を照射する発光部１１１１と受光部１１１２とを含むセンサ部１１１と、流路２２の少なくとも一部を挟んでセンサ部１１１に対向している反射部１２１と、を備えている形態が採用される。さらに、例えば、流路部２１が、発光部１１１１から発せられた光（照射光Ｌ１）を透過させる部分（光透過部ともいう）２１ｔを有していてもよい。そして、例えば、受光部１１１２は、発光部１１１１から発せられて流路部２１で散乱した光Ｌ２ａと、発光部１１１１から発せられて光透過部２１ｔを透過して流路２２内の流体３で散乱した光Ｌ２ｂと、発光部１１１１から発せられて光透過部２１ｔおよび流路２２内の流体３を透過して反射部１２１で反射した光Ｌ２ｃと、を受光することができてもよい。

この構成が採用されても、例えば、発光部１１１１による流路部２１に対する照射光Ｌ１の照射に応じて受光部１１１２で受光される干渉光Ｌ２が、流路部２１で散乱した光Ｌ２ａと、流体３で散乱した光Ｌ２ｂと、反射部１２１で反射した光Ｌ２ｃと、を含む。これにより、例えば、受光部１１１２で受光される干渉光Ｌ２の強度Ｉが増大し、受光部１１１２から出力される信号に含まれる光ビート信号の成分の振幅が大きくなり得る。その結果、例えば、光ビート信号を解析することで算出される流体３の流れの状態を示す定量的な値（流れ定量値）の測定精度が向上し得る。したがって、例えば、流路２２における流体３の流れの状態についての定量的な測定精度が向上し得る。

図１０から図１４で示される第２実施形態に係る測定モジュール１の一構成例は、図１から図５で示された第１実施形態に係る測定モジュール１の一構成例がベースとされて、第１筐体部１１２と第２筐体部１２２とが、一体的な筐体部１１０とされた形態を有する。図１０から図１４の例では、筐体部１１０は、例えば、流路部２１の少なくとも一部を含むとともに、流路２２の周囲を囲むように位置している。換言すれば、筐体部１１０の貫通孔１０ｈが、流路２２の少なくとも一部を構成している。筐体部１１０の外形としては、例えば、立方体状、直方体状または円柱状など種々形状が採用される。筐体部１１０は、例えば、貫通孔１０ｈを有する。筐体部１１０は、例えば、第１開口部Ｏｐ１と第２開口部Ｏｐ２とを有する。第１開口部Ｏｐ１は、例えば、筐体部１１０のうちの流路２２の長手方向（例えば、＋Ｚ方向）における端部（第１端部）に位置している。第２開口部Ｏｐ２は、例えば、筐体部１１０のうちの流路２２の長手方向（例えば、＋Ｚ方向）における第１端部とは逆の端部（第２端部）に位置している。図１０から図１４の例では、貫通孔１０ｈは、例えば、＋Ｚ方向において筐体部１１０を貫通している。貫通孔１０ｈは、例えば、筐体部１１０の＋Ｚ側に位置する第１開口部Ｏｐ１と、筐体部１１０の－Ｚ側に位置する第２開口部Ｏｐ２と、を有する。筐体部１１０は、１つの部材に貫通孔１０ｈが位置した構成を有していてもよいし、２つ以上の部材が連結されることで貫通孔１０ｈとした構成を有していてもよい。１つの部材は、２つ以上の部分が連結されることで構成されてもよい。

また、筐体部１１０は、例えば、筐体部１１０の内部において、貫通孔１０ｈに対して開口している凹部（第４凹部ともいう）１１０ｒを有する。図１０から図１４の例では、第４凹部１１０ｒは、貫通孔１０ｈに対して、＋Ｘ方向に向けて開口している。第４凹部１１０ｒのうちの貫通孔１０ｈに開口している部分（第３開口部ともいう）Ｏｐ３は、例えば、半円筒状の形状を有する。第４凹部１１０ｒ内には、例えば、センサ部１１１が位置している。より具体的には、例えば、第４凹部１１０ｒ内には、センサ部１１１が実装された実装基板１０１が位置している。また、例えば、第４凹部１１０ｒが貫通孔１０ｈに開口している第３開口部Ｏｐ３に、第４凹部１１０ｒと貫通孔１０ｈとを仕切るように光透過部２１ｔが位置している。光透過部２１ｔは、例えば、半円筒状の形状を有する。光透過部２１ｔは、例えば、透光性を有する材料によって構成される。透光性を有する材料には、例えば、ガラスまたはポリマー樹脂などが適用される。また、例えば、貫通孔１０ｈの内面のうち、光透過部２１ｔに対向する部分に沿って、光透過部２１ｔよりも照射光Ｌ１に対する反射率が高い反射部１２１が位置している。

ここでは、例えば、貫通孔１０ｈの内面を構成している部分と、光透過部２１ｔと、反射部１２１とが、流体３が流れる流路２２を内部に含む流路部２１としての役割を有する。換言すれば、流路部２１、例えば、発光部１１１１から発せられた光（照射光Ｌ１）を透過させる光透過部２１ｔを有する。また、筐体部１１０は、例えば、第１開口部Ｏｐ１を構成している環状の被嵌合部（第１被嵌合部ともいう）２１１と、第２開口部Ｏｐ２を構成している環状の被嵌合部（第２被嵌合部ともいう）２１２と、を有する。上記構成を有する筐体部１１０は、例えば、２以上の部分が連結されることで作製され得る。

ここでは、例えば、図１０および図１２で示されるように、第１被嵌合部２１１に、管状体（第１管状体ともいう）４の端部を嵌合することで、流路部２１と第１管状体４とを連結することができる。また、例えば、図１０および図１２で示されるように、第２被嵌合部２１２に、管状体（第２管状体ともいう）５の端部を嵌合することで、流路部２１と第２管状体５とを連結することができる。第１管状体４および第２管状体５には、例えば、各種装置の配管などの管状の物体（管状体）が適用される。第２実施形態に係る測定モジュール１は、例えば、各種装置の配管内を流れる流体３の状態を定量的に測定する際には、配管に介挿されるように連結された状態（連結状態ともいう）とされる。測定モジュール１は、連結状態において、例えば、第１管状体４から第２管状体５に向けて流体３が流されると、流路部２１の内部に含まれる流路２２に、流体３が流れている状態となる。ここでは、例えば、第１被嵌合部２１１と第１管状体４との隙間が樹脂製のパッキングで封止されていてもよいし、第２被嵌合部２１２と第２管状体５との隙間が樹脂製のパッキングで封止されていてもよい。ここで、例えば、接着、かしめ、もしくは締め付けなどの手法によって、第１被嵌合部２１１と第１管状体４とが強固に連結されてもよいし、第２被嵌合部２１２と第２管状体５とが強固に連結されてもよい。各種装置の配管としての第１管状体４および第２管状体５の材料は、例えば、透光性を有する材料であっても、透光性を有していない材料であってもよい。

連結状態では、例えば、発光部１１１１は、流路部２１の一部である光透過部２１ｔに照射光Ｌ１を照射することができる。また、例えば、照射光Ｌ１の一部が光透過部２１ｔで散乱されるものの、照射光Ｌ１の他の一部は、光透過部２１ｔを透過して、流路部２１の内部２１ｉの流路２２を流れている流体３および反射部１２１に照射される。このため、連結状態では、受光部１１１２は、例えば、発光部１１１１による流路部２１に対する照射光Ｌ１の照射に応じて、流路部２１の一部である光透過部２１ｔで散乱した光Ｌ２ａと、光透過部２１ｔを透過して流路２２内の流体３で散乱した光Ｌ２ｂと、光透過部２１ｔおよび流路２２内の流体３を透過して反射部１２１で反射した光Ｌ２ｃと、を受光することができる。ここでは、例えば、光Ｌ２ｃの存在によって、発光部１１１１による流路部２１に対する照射光Ｌ１の照射に応じて受光部１１１２で受光される干渉光Ｌ２の強度Ｉが増大し、受光部１１１２から出力される信号に含まれる光ビート信号の成分の振幅が大きくなり得る。その結果、例えば、光ビート信号を解析することで算出される流体３の流れの状態を示す定量的な値（流れ定量値）の測定精度が向上し得る。したがって、例えば、流路２２における流体３の流れの状態についての定量的な測定精度が向上し得る。

ここで、例えば、筐体部１１０が光透過部２１ｔよりも高い遮光性を有していれば、筐体部１１０が測定モジュール１の外部から受光部１１１２への光の光路を遮り得る。これにより、例えば、流路２２における流体３の流れの状態についての測定精度が向上し得る。ここで、筐体部１１０の材料には、例えば、第１筐体部１１２および第２筐体部１２２と同様に、可視光線に対する高い遮光性を有する黒色などの樹脂が適用されてもよいし、可視光線に対する高い遮光性を有する金属またはセラミックスなどの材料が適用されてもよい。

また、ここで、例えば、図１０で示されるように、反射部１２１が貫通孔１０ｈ内において第１開口部Ｏｐ１から離れて位置していれば、測定モジュール１の外部から第１開口部Ｏｐ１を介して貫通孔１０ｈ内に入射した光が、反射部１２１の反射によって受光部１１１２まで到達しにくい。これにより、例えば、連結状態において仮に第１管状体４の材料が透光性を有していても、測定モジュール１の外部から受光部１１１２へ光が進入しにくい。その結果、例えば、流路２２における流体３の流れの状態についての定量的な測定精度が向上し得る。また、ここで、例えば、図１０で示されるように、反射部１２１が貫通孔１０ｈ内において第２開口部Ｏｐ２から離れて位置していれば、測定モジュール１の外部から第２開口部Ｏｐ２を介して貫通孔１０ｈ内に入射した光が、反射部１２１の反射によって受光部１１１２まで到達しにくい。これにより、例えば、仮に連結状態において第２管状体５の材料が透光性を有していても、測定モジュール１の外部から受光部１１１２へ光が進入しにくい。その結果、例えば、流路２２における流体３の流れの状態についての定量的な測定精度が向上し得る。ここでは、例えば、貫通孔１０ｈの内面のうち、反射部１２１を除く部分における光の反射率が、反射部１２１における照射光Ｌ１の反射率よりも低い態様が考えられる。

別の観点から言えば、例えば、図１４で示されるように、反射部１２１は、流路部２１を挟んでセンサ部１１１と対向している面（反射面）Ｓｒ１を有する。そして、例えば、貫通孔１０ｈのうちの反射部１２１が配されていない内面が、反射面Ｓｒ１よりも光の反射率が低い面（低反射面）Ｓａ１を構成している態様が考えられる。低反射面Ｓａ１は、例えば、黒色の樹脂などの黒色の材料によって構成され得る。低反射面Ｓａ１は、例えば、筐体部１１０の材料で構成されてもよいし、貫通孔１０ｈの内面に沿った黒色の膜状の部分で構成されてもよい。黒色の膜状の部分は、例えば、塗布などの手法による黒色の樹脂の成膜などによって形成され得る。黒色の膜状の部分は、例えば、接着剤もしくは接着テープなどで貼り付けによって、貫通孔１０ｈの内面に沿って配置されてもよい。

＜２－２．第３実施形態＞
上記第１実施形態において、例えば、図１５および図１６で示されるように、反射部１２１が、第２筐体部１２２に含まれていてもよい。ここでは、第２筐体部１２２の材料には、例えば、流路部２１の材料よりも照射光Ｌ１に対する反射率が高い材料が適用される。第２筐体部１２２の材料には、例えば、アルミニウムもしくは銅などの金属が適用される。図１５および図１６で示される第３実施形態に係る測定モジュール１の一構成例では、反射部１２１が、第２筐体部１２２のうちの第２溝部１２２ｔの底面を構成する部分である。ここで、例えば、第２溝部１２２ｔの底面のうち、第２溝部１２２ｔの長手方向（例えば、＋Ｚ方向）において反射部１２１を挟む両側の部分に沿って、反射面Ｓｒ１よりも光の反射率が低い低反射面Ｓａ１を構成する部分（低反射部ともいう）１２３が位置していてもよい。低反射部１２３には、例えば、第２溝部１２２ｔの底面に沿った黒色の樹脂などの黒色の膜状の部分が適用され得る。黒色の膜状の部分は、例えば、塗布などの手法による成膜などによって形成され得る。黒色の膜状の部分は、例えば、接着剤もしくは接着テープなどによる貼り付けによって、第２溝部１２２ｔの底面に沿って配置されてもよい。また、ここでは、例えば、第２筐体部１２２の第２溝部１２２ｔの底面（内面）のうちの少なくとも一部における表面粗さの低減によって光の反射率が高められた、反射面Ｓｒ１を有する反射部１２１が位置する形態が考えられる。そして、例えば、第２筐体部１２２の第２溝部１２２ｔの底面（内面）のうち、第２溝部１２２ｔの長手方向（例えば、＋Ｚ方向）において反射面Ｓｒ１を挟む両側の部分における表面粗さが、反射面Ｓｒ１における表面粗さよりも大きくされることで光の反射率が反射面Ｓｒ１よりも低められた、低反射面Ｓａ１を有する低反射部１２３が位置してもよい。換言すれば、例えば、第２筐体部１２２における表面粗さの大小および材質の違いの何れによって、表面状態が異なる反射部１２１と低反射部１２３とが位置してもよい。

＜２－３．第４実施形態＞
上記第２実施形態において、例えば、図１７および図１８で示されるように、反射部１２１が、筐体部１１０に含まれていてもよい。ここでは、筐体部１１０の材料には、例えば、光透過部２１ｔなどの流路部２１の材料よりも照射光Ｌ１に対する反射率が高い材料が適用される。筐体部１１０の材料には、例えば、アルミニウムもしくは銅などの金属が適用される。図１７および図１８で示される第４実施形態に係る測定モジュール１の一構成例では、反射部１２１が、筐体部１１０のうちの貫通孔１０ｈの内面を構成する部分である。ここで、例えば、筐体部１１０の貫通孔１０ｈの内面のうち、貫通孔１０ｈの長手方向（例えば、＋Ｚ方向）において反射部１２１を挟む両側の部分に沿って、反射面Ｓｒ１よりも光の反射率が低い低反射面Ｓａ１を構成する部分（低反射部）１２３が位置していてもよい。換言すれば、例えば、貫通孔１０ｈの内面のうちの反射部１２１よりも第１開口部Ｏｐ１に近接した部分に、低反射部１２３が位置していてもよいし、貫通孔１０ｈの内面のうちの反射部１２１よりも第２開口部Ｏｐ２に近接した部分に、低反射部１２３が位置していてもよい。各低反射部１２３は、例えば、貫通孔１０ｈの内面に沿って円管状に位置していてもよい。低反射部１２３には、例えば、貫通孔１０ｈの内面に沿った黒色の樹脂などの黒色の膜状の部分が適用され得る。黒色の膜状の部分は、例えば、塗布などの手法による成膜などによって形成され得る。黒色の膜状の部分は、例えば、接着剤もしくは接着テープなどによる貼り付けによって、貫通孔１０ｈの内面に沿って配置されてもよい。

＜２－４．第５実施形態＞
上記第２実施形態および上記第４実施形態のそれぞれにおいて、例えば、図１９および図２０で示されるように、測定モジュール１が、筐体部１１０の貫通孔１０ｈ内に位置している流路部２１を有していてもよい。換言すれば、例えば、筐体部１１０が、流路部２１の周囲を囲むように位置していてもよい。ここでは、流路部２１には、例えば、管状体が適用される。この場合には、例えば、光透過部２１ｔが流路部２１の少なくとも一部を構成している態様が考えられる。ここで、例えば、筐体部１１０が、流路部２１よりも高い遮光性を有していれば、測定モジュール１の外部から受光部１１１２へ光が進入しにくい。これにより、例えば、流路２２における流体３の流れの状態についての定量的な測定精度が向上し得る。

図１９および図２０で示される第５実施形態に係る測定モジュール１の一構成例では、光透過部２１ｔは、流路部２１のうちの少なくとも第３開口部Ｏｐ３に沿った部分を構成している。これにより、例えば、連結状態では、発光部１１１１は、流路部２１の一部である光透過部２１ｔに照射光Ｌ１を照射することができる。流路部２１の材料には、例えば、透光性を有する材料が適用される。透光性を有する材料には、例えば、ガラスまたはポリマー樹脂などが適用される。ここで、例えば、流路部２１が、透光性を有する材料で構成されていれば、測定モジュール１における流路部２１が１つの部材で構成され得る。これにより、例えば、流路部２１の内面において異なる部材の間における凹凸が生じにくい。また、例えば、流路部２１の内面において異なる部材の間における表面粗さの違いが生じにくい。このため、例えば、流路部２１の内部の流路２２において流体３の流れが乱れにくい。その結果、例えば、流路２２における流体３の流れの状態についての定量的な測定精度が向上し得る。

また、ここでは、反射部１２１は、例えば、流路２２の少なくとも一部を挟んでいる状態で、センサ部１１１に対向している。この構成により、例えば、連結状態では、発光部１１１１が、流路部２１の一部である光透過部２１ｔに照射光Ｌ１を照射すると、照射光Ｌ１の一部が光透過部２１ｔで散乱されるものの、照射光Ｌ１の他の一部は、光透過部２１ｔを透過して、流路部２１の内部２１ｉの流路２２を流れている流体３および反射部１２１などに照射される。

ここで、例えば、反射部１２１が、流路部２１のうちの流路２２とは逆側に位置している外面上に位置しているか、または流路部２１の外側に位置していれば、反射部１２１が、流路２２に露出していない状態となる。これにより、例えば、流路２２を流れる流体３へ反射部１２１の成分が溶け出しにくく、反射部１２１の腐食および汚れが生じにくい。その結果、例えば、流路２２における流体３の流れの状態についての定量的な測定精度が向上し得る。

ここで、例えば、反射部１２１が、流路部２１のうちの流路２２とは逆側に位置している外面上に位置していれば、流路部２１の一部である光透過部２１ｔおよび流路２２における流体３を透過して反射部１２１で反射する光Ｌ２ｃの強度が増大し得る。これにより、例えば、発光部１１１１による流路部２１に対する照射光Ｌ１の照射に応じて受光部１１１２で受光される干渉光Ｌ２の強度Ｉが増大し、受光部１１１２から出力される信号に含まれる光ビート信号の成分の振幅が大きくなり得る。その結果、例えば、光ビート信号を解析することで算出される流体３の流れの状態を示す定量的な値（流れ定量値）の測定精度が向上し得る。したがって、例えば、流路２２における流体３の流れの状態についての定量的な測定精度が向上し得る。

ここでは、例えば、流路部２１としての管状体の外面上に、膜状または箔状の反射部１２１を配置することで、反射部１２１を流路部２１のうちの流路２２とは逆側に位置している外面上に配置することができる。なお、例えば、蒸着もしくはスパッタリングなどの手法による乾式の成膜、またはめっきもしくは塗布などの手法による湿式の成膜によって、流路部２１としての管状体の外面上に、膜状または箔状の反射部１２１を形成することができる。また、例えば、接着剤などによる接着もしくは接着テープなどによる貼り付けなどによって、流路部２１としての管状体の外面上に、膜状、箔状または板状の反射部１２１を配置してもよい。

また、ここでは、例えば、筐体部１１０の貫通孔１０ｈの内面のうちの光透過部２１ｔに対向する部分に沿って反射部１２１を配置することで、反射部１２１を流路部２１の外側に配置することができる。なお、例えば、蒸着もしくはスパッタリングなどの手法による乾式の成膜、またはめっきもしくは塗布などの手法による湿式の成膜によって、筐体部１１０の貫通孔１０ｈの内面を成す部分に、膜状または箔状の反射部１２１を形成することができる。また、例えば、接着剤などによる接着もしくは接着テープなどによる貼り付けなどによって、筐体部１１０の貫通孔１０ｈの内面を成す部分に、膜状、箔状または板状の反射部１２１を配置してもよい。

また、例えば、流路部２１の内面に沿って、膜状または箔状の反射部１２１が位置していてもよい。

＜２－５．第６実施形態＞
上記第１実施形態および上記第３実施形態のそれぞれにおいて、測定モジュール１は、例えば、第１状態において流路部２１と受光部１１１２との間に位置するように配置可能に構成された光学フィルタ１５を備えていてもよい。ここで、光学フィルタ１５が、例えば、発光部１１１１が発する照射光Ｌ１の波長を含む所定の波長範囲（第１波長範囲ともいう）の光を透過させ、且つ第１波長範囲とは異なる所定の波長範囲（第２波長範囲ともいう）の光を透過させにくい光学特性を有する。光学フィルタ１５には、例えば、誘電体多層膜などを用いたバンドパスフィルタが適用される。例えば、第１波長範囲が、照射光Ｌ１の波長である約８５０ｎｍを含み、第２波長範囲が、可視光線の波長範囲である４００ｎｍから７００ｎｍを含む態様が考えられる。この構成が採用されれば、例えば、光学フィルタ１５の存在によって、測定モジュール１の外部から受光部１１１２へ光が進入しにくい。これにより、例えば、流路２２における流体３の流れの状態についての定量的な測定精度が向上し得る。

図２１で示される第６実施形態に係る測定モジュール１の一構成例は、図１で示された第１実施形態に係る測定モジュール１の一構成例がベースとされて、第１状態において流路部２１と受光部１１１２との間に位置している光学フィルタ１５が加えられた形態を有する。ここでは、光学フィルタ１５は、例えば、センサ部１１１に取り付けられてもよいし、流路部２１に取り付けられてもよい。より具体的には、光学フィルタ１５は、例えば、蓋部材１１１４上に位置していてもよいし、流路部２１の表面上に位置していてもよい。

＜２－６．第７実施形態＞
上記第２実施形態、上記第４実施形態および上記第５実施形態のそれぞれにおいて、測定モジュール１は、例えば、流路２２と受光部１１１２との間に位置している光学フィルタ１５を備えていてもよい。ここで、光学フィルタ１５が、例えば、発光部１１１１が発する照射光Ｌ１の波長を含む第１波長範囲の光を透過させるとともに、第１波長範囲とは異なる第２波長範囲の光を透過させにくい光学特性を有する。光学フィルタ１５には、例えば、誘電体多層膜などを用いたバンドパスフィルタが適用される。例えば、第１波長範囲が、照射光Ｌ１の波長である約８５０ｎｍを含み、第２波長範囲が、可視光線の波長範囲である４００ｎｍから７００ｎｍを含む態様が考えられる。この構成が採用されれば、例えば、光学フィルタ１５の存在によって、測定モジュール１の外部から受光部１１１２へ光が進入しにくい。これにより、例えば、流路２２における流体３の流れの状態についての定量的な測定精度が向上し得る。

図２２で示される第７実施形態に係る測定モジュール１の第１構成例は、図１０で示された第２実施形態に係る測定モジュール１の一構成例がベースとされて、流路２２と受光部１１１２との間に位置している光学フィルタ１５が加えられた形態を有する。ここでは、光学フィルタ１５は、例えば、蓋部材１１１４上に位置していてもよいし、流路部２１を構成する光透過部２１ｔの表面上に位置していてもよい。

図２３で示される第７実施形態に係る測定モジュール１の第２構成例は、図１９で示された第４実施形態に係る測定モジュール１の一構成例がベースとされて、流路２２と受光部１１１２との間に位置している光学フィルタ１５が加えられた形態を有する。ここでも、光学フィルタ１５は、例えば、蓋部材１１１４上に位置していてもよいし、流路部２１を構成する光透過部２１ｔの表面上に位置していてもよい。

＜２－７．第８実施形態＞
上記第１実施形態、上記第３実施形態および上記第６実施形態のそれぞれにおいて、例えば、図２４から図３５で示されるように、第１筐体部１１２の第１面１１２ｆおよび第２筐体部１２２の第２面１２２ｆのそれぞれが、第３状態において流路部２１が位置している領域から離れる方向において曲がっている状態となる形状を有していてもよい。この構成が採用されれば、例えば、第３状態において、第１面１１２ｆと第２面１２２ｆとの間に隙間Ｇｐ１が生じていても、測定モジュール１の外部からの光が、流路部２１が位置している領域を構成している貫通孔１０ｈ内まで到達しにくい。これにより、例えば、流路部２１の内部２１ｉに含まれた流路２２における流体３の流れの状態を定量的に測定する際に、測定モジュール１の外部から受光部１１１２へ光が進入しにくい。その結果、例えば、流路２２における流体３の流れの状態についての定量的な測定精度が向上し得る。

図２４で示される第８実施形態に係る測定モジュール１の第１構成例は、図２で示された第１実施形態に係る測定モジュール１の一構成例がベースとされている。この測定モジュール１は、第１筐体部１１２の第１面１１２ｆおよび第２筐体部１２２の第２面１２２ｆのそれぞれが、第３状態において貫通孔１０ｈから離れる方向に進むと屈曲している面とされた形態を有する。

図２５で示される第８実施形態に係る測定モジュール１の第２構成例は、図２で示された第１実施形態に係る測定モジュール１の一構成例がベースとされている。この測定モジュール１は、第１筐体部１１２の第１面１１２ｆおよび第２筐体部１２２の第２面１２２ｆのそれぞれが、第３状態において貫通孔１０ｈから離れる方向に進むと湾曲している面とされた形態を有する。ここで、図２５の例のように、第１面１１２ｆおよび第２面１２２ｆのそれぞれが、複数回曲がっている形状を有していれば、測定モジュール１の外部から受光部１１１２へ光が進入しにくい。

図２６から図３０で示される第８実施形態に係る測定モジュール１の第３構成例は、図１から図５で示された第１実施形態に係る測定モジュール１の一構成例がベースとされている。具体的には、第１筐体部１１２は、サイズが拡大されるとともに、最も奥の部分（底面）を第１溝部１１２ｔが構成している凹部（第５凹部ともいう）５ｒを有する。また、第２筐体部１２２は、サイズが縮小されるとともに、第２筐体部１２２の第２面１２２ｆ側に突起しており且つ先端に第２溝部１２２ｔを有する突出部１２２ｐが追加された形態を有する。第５凹部５ｒは、例えば、第１筐体部１１２の第１面１１２ｆ側に位置している。第５凹部５ｒは、例えば、第１溝部１１２ｔに沿って延びるように位置している。図２６から図３０の例では、第５凹部５ｒは、例えば、－Ｘ方向に向かって凹んでいるとともに、第１溝部１１２ｔに沿ってＺ方向に延びるように位置している。突出部１２２ｐは、例えば、第３状態において、第１溝部１１２ｔと第２溝部１２２ｔとが貫通孔１０ｈを構成するように、第５凹部５ｒに嵌まり込む形状を有する。これにより、例えば、第３状態において、第１筐体部１１２が、流路部２１よりも＋Ｘ方向に突出している部分を有する。図２６から図３０の例では、第５凹部５ｒは、－Ｘ方向に凹んでいる角柱状の内部空間と、第１溝部１１２ｔ内の半円柱状の内部空間と、が連結された内部空間を有し、突出部１２２ｐが、角柱状の部分の－Ｘ側に第２溝部１２２ｔが位置した形状を有する。また、ここでは、例えば、図２６で示されるように、第３状態において、第１面１１２ｆは、流路部２１が位置している貫通孔１０ｈ内の領域から＋Ｘ方向に延びて屈曲するとともに＋Ｙ方向に延びる面と、流路部２１が位置している貫通孔１０ｈ内の領域から＋Ｘ方向に延びて屈曲するとともに－Ｙ方向に延びる面と、を有する。また、例えば、図２６で示されるように、第３状態において、第２面１２２ｆは、流路部２１が位置している貫通孔１０ｈ内の領域から＋Ｘ方向に延びて屈曲するとともに＋Ｙ方向に延びる面と、流路部２１が位置している貫通孔１０ｈ内の領域から＋Ｘ方向に延びて屈曲するとともに－Ｙ方向に延びる面と、を有する。また、ここでは、反射部１２１は、例えば、第２溝部１２２ｔのうちのＺ方向における一部の底面（内面）に沿って位置している構成を有する。ここで、反射部１２１は、例えば、第２溝部１２２ｔのうちのＺ方向における一部の底面（内面）に沿って位置していれば、種々の構成が適用され得る。例えば、図２６から図３０の例のように、反射部１２１が、突出部１２２ｐのうちのＺ方向における一部の区間を構成しており、第２筐体部１２２に埋め込まれた形態が考えられる。また、例えば、図３１から図３３で示される第８実施形態に係る測定モジュール１の第４構成例のように、反射部１２１が、第２溝部１２２ｔのうちのＺ方向における一部の底面（内面）に沿って位置している半円筒状の構成を有していてもよい。また、ここで、第５凹部５ｒの形状は、例えば、突出部１２２ｐが嵌まり込む形状であれば、種々の形状が適用され得る。例えば、図３４および図３５で示されるように、第１溝部１１２ｔの長手方向に直交する方向において、第５凹部５ｒの幅が第１溝部１１２ｔの幅よりも大きい場合には、第２溝部１２２ｔの長手方向に直交する方向において、突出部１２２ｐの幅が、第２溝部１２２ｔの幅よりも大きくてもよい。図３４で示される第８実施形態に係る測定モジュール１の第５構成例は、図２６から図３０で示された第８実施形態に係る測定モジュール１の第３構成例がベースとされている。この測定モジュール１は、Ｙ方向において、第５凹部５ｒおよび突出部１２２ｐの幅が第１溝部１１２ｔおよび第２溝部１２２ｔの幅よりも拡大された形態を有する。また、図３５で示される第８実施形態に係る測定モジュール１の第６構成例は、図３１から図３３で示された第８実施形態に係る測定モジュール１の第４構成例がベースとされている。この測定モジュール１は、Ｙ方向において、第５凹部５ｒおよび突出部１２２ｐの幅が第１溝部１１２ｔおよび第２溝部１２２ｔの幅よりも拡大された形態を有する。

＜２－８．第９実施形態＞
上記第１実施形態、上記第３実施形態、上記第６実施形態および上記第８実施形態のそれぞれにおいて、例えば、図３６から図４０で示されるように、測定モジュール１は、第３状態において第１筐体部１１２の第１面１１２ｆと第２筐体部１２２の第２面１２２ｆとの隙間Ｇｐ１を覆うように配置可能に構成されたカバー部１６を備えていてもよい。この構成が採用されれば、例えば、第３状態において、第１面１１２ｆと第２面１２２ｆとの間に隙間Ｇｐ１が生じていても、測定モジュール１の外部からの光が、流路部２１が位置している領域を構成している貫通孔１０ｈ内まで到達しにくい。これにより、例えば、流路部２１の内部２１ｉに含まれた流路２２における流体３の流れの状態を定量的に測定する際に、測定モジュール１の外部から受光部１１１２へ光が進入しにくい。その結果、例えば、流路２２における流体３の流れの状態についての定量的な測定精度が向上し得る。

図３６および図３７で示される第９実施形態に係る測定モジュール１の第１構成例は、図１および図２で示された第１実施形態に係る測定モジュール１の一構成例がベースとされている。この測定モジュール１は、第３状態において第１筐体部１１２の＋Ｙ側の面上から第２筐体部１２２の＋Ｙ側の面上にかけて配されるカバー部１６と、第３状態において第１筐体部１１２の－Ｙ側の面から第２筐体部１２２の－Ｙ側の面にかけて配されるカバー部１６と、が追加された形態を有する。ここでは、カバー部１６は、例えば、第１筐体部１１２および第２筐体部１２２に対して、嵌合、締結または接着などの手法によって固定され得る。

図３８で示される第９実施形態に係る測定モジュール１の第２構成例は、図２４で示された第８実施形態に係る測定モジュール１の第１構成例がベースとされている。この測定モジュール１は、第３状態において第１筐体部１１２の＋Ｙ側の面上から第２筐体部１２２の＋Ｙ側の面上にかけて配されるカバー部１６と、第３状態において第１筐体部１１２の－Ｙ側の面から第２筐体部１２２の－Ｙ側の面にかけて配されるカバー部１６と、が追加された形態を有する。ここでは、カバー部１６は、例えば、第１筐体部１１２および第２筐体部１２２に対して、嵌合、締結または接着などの手法によって固定され得る。

図３９および図４０で示される第９実施形態に係る測定モジュール１の第３構成例は、図１および図２で示された第１実施形態に係る測定モジュール１の一構成例がベースとされている。この測定モジュール１は、第３状態において第１筐体部１１２の＋Ｚ側の面上から第２筐体部１２２の＋Ｚ側の面上にかけて配されるカバー部１６と、第３状態において第１筐体部１１２の－Ｚ側の面上から第２筐体部１２２の－Ｚ側の面上にかけて配されるカバー部１６と、が追加された形態を有する。ここでは、例えば、図４０で示されるように、カバー部１６は、第３状態において流路部２１を挟むように配される第１のカバー部分１６ａと第２のカバー部分１６ｂとを含んでいてもよい。

ここで、測定モジュール１は、例えば、第３状態において第１筐体部１１２の＋Ｙ側の面から第２筐体部１２２の＋Ｙ側の面にかけて配されるカバー部１６、第３状態において第１筐体部１１２の－Ｙ側の面から第２筐体部１２２の－Ｙ側の面にかけて配されるカバー部１６、第３状態において第１筐体部１１２の＋Ｚ側の面上から第２筐体部１２２の＋Ｚ側の面上にかけて配されるカバー部１６、および第３状態において第１筐体部１１２の－Ｚ側の面上から第２筐体部１２２の－Ｚ側の面上にかけて配されるカバー部１６、のうちの少なくとも１つのカバー部１６を備えていてもよいし、２つから４つの何れの数のカバー部１６を備えていてもよい。

また、ここで、カバー部１６は、例えば、第３状態において第１筐体部１１２と第２筐体部１２２との間において開口している隙間Ｇｐ１の少なくとも一部を覆うものであれば、如何なるサイズおよび形状を有していてもよい。カバー部１６は、例えば、ある程度高い遮光性を有するものであれば、樹脂もしくはパテなどの充填材または粘着テープなどであってもよい。

＜２－９．第１０実施形態＞
上記各実施形態において、例えば、図４１から図４４で示されるように、センサ部１１１は、測定モジュール１の外部から第１開口部Ｏｐ１および第２開口部Ｏｐ２のうちの少なくとも一方の開口部を介して受光部１１１２に向かう光の光路を遮るように構成された遮光部１１１ｓを有していてもよい。これにより、例えば、流路部２１の内部２１ｉに含まれた流路２２における流体３の流れの状態を定量的に測定する際に、測定モジュール１の外部から受光部１１１２へ光が進入しにくい。その結果、例えば、流路２２における流体３の流れの状態についての定量的な測定精度が向上し得る。

図４１で示される第１０実施形態に係る測定モジュール１の第１構成例は、図１で示された第１実施形態に係る測定モジュール１の一構成例がベースとされている。この測定モジュール１は、第３状態において、測定モジュール１の外部から第１開口部Ｏｐ１および第２開口部Ｏｐ２を介して受光部１１１２に向かう光の光路をそれぞれ遮るように構成された遮光部１１１ｓが追加された形態を有する。図４１の例では、遮光部１１１ｓは、例えば、蓋部材１１１４の表面上に位置している。図４１では、測定モジュール１の外部から第１開口部Ｏｐ１および第２開口部Ｏｐ２をそれぞれ介して受光部１１１２に向かう光の光路が太い１点鎖線で描かれている。ここでは、測定モジュール１は、例えば、第３状態において、測定モジュール１の外部から第１開口部Ｏｐ１および第２開口部Ｏｐ２のうちの少なくとも一方の開口部を介して受光部１１１２に向かう光の光路を遮るように構成された遮光部１１１ｓを有していてもよい。

図４２で示される第１０実施形態に係る測定モジュール１の第２構成例は、図１で示された第１実施形態に係る測定モジュール１の一構成例がベースとされて、パッケージ１１１３の第１凹部１１１３ａおよび第２凹部１１１３ｂの深さが大きくされた形態を有する。ここでは、例えば、パッケージ１１１３の一部が、第３状態において、測定モジュール１の外部から第１開口部Ｏｐ１および第２開口部Ｏｐ２を介して受光部１１１２に向かう光の光路をそれぞれ遮るように構成された遮光部１１１ｓとしての役割を有する。図４２でも、測定モジュール１の外部から第１開口部Ｏｐ１および第２開口部Ｏｐ２をそれぞれ介して受光部１１１２に向かう光の光路が太い１点鎖線で描かれている。ここでも、測定モジュール１は、例えば、第３状態において、測定モジュール１の外部から第１開口部Ｏｐ１および第２開口部Ｏｐ２のうちの少なくとも一方の開口部を介して受光部１１１２に向かう光の光路を遮るように構成された遮光部１１１ｓを有していてもよい。

図４３で示される第１０実施形態に係る測定モジュール１の第３構成例は、図１０で示された第２実施形態に係る測定モジュール１の一構成例がベースとされている。この測定モジュール１は、測定モジュール１の外部から第１開口部Ｏｐ１および第２開口部Ｏｐ２を介して受光部１１１２に向かう光の光路をそれぞれ遮るように構成された遮光部１１１ｓが追加された形態を有する。図４３の例では、遮光部１１１ｓは、例えば、蓋部材１１１４の表面上に位置している。図４３では、測定モジュール１の外部から第１開口部Ｏｐ１および第２開口部Ｏｐ２をそれぞれ介して受光部１１１２に向かう光の光路が太い１点鎖線で描かれている。ここでは、測定モジュール１は、例えば、測定モジュール１の外部から第１開口部Ｏｐ１および第２開口部Ｏｐ２のうちの少なくとも一方の開口部を介して受光部１１１２に向かう光の光路を遮るように構成された遮光部１１１ｓを有していてもよい。

図４４で示される第１０実施形態に係る測定モジュール１の第４構成例は、図１０で示された第２実施形態に係る測定モジュール１の一構成例がベースとされている。この測定モジュール１は、パッケージ１１１３の第１凹部１１１３ａおよび第２凹部１１１３ｂの深さが大きくされた形態を有する。ここでは、例えば、パッケージ１１１３の一部が、測定モジュール１の外部から第１開口部Ｏｐ１および第２開口部Ｏｐ２を介して受光部１１１２に向かう光の光路をそれぞれ遮るように構成された遮光部１１１ｓとしての役割を有する。図４４でも、測定モジュール１の外部から第１開口部Ｏｐ１および第２開口部Ｏｐ２をそれぞれ介して受光部１１１２に向かう光の光路が太い１点鎖線で描かれている。ここでも、測定モジュール１は、例えば、測定モジュール１の外部から第１開口部Ｏｐ１および第２開口部Ｏｐ２のうちの少なくとも一方の開口部を介して受光部１１１２に向かう光の光路を遮るように構成された遮光部１１１ｓを有していてもよい。

図４１の例では、遮光部１１１ｓは、例えば、流路部２１および蓋部材１１１４よりも高い遮光性を有する。図４３の例では、遮光部１１１ｓは、例えば、光透過部２１ｔおよび蓋部材１１１４よりも高い遮光性を有する。遮光部１１１ｓは、例えば、黒色などの膜状の部分で構成され得る。黒色などの膜状の部分は、例えば、蒸着もしくはスパッタリングなどの手法による乾式の成膜、または塗布などの手法による湿式の成膜などによって形成され得る。黒色などの膜状の部分は、例えば、接着剤による接着もしくは接着テープによる貼り付けなどによって、蓋部材１１１４の表面上に配置していてもよい。ここでは、例えば、第１筐体部１１２および第２筐体部１２２あるいは筐体部１１０のサイズおよび形状ならびに遮光部１１１ｓの位置および大きさなどを適宜設定する。上記により、遮光部１１１ｓが、測定モジュール１の外部から第１開口部Ｏｐ１および第２開口部Ｏｐ２のうちの少なくとも一方の開口部を介して受光部１１１２に向かう光の光路を遮ることができる。

図４２の例では、遮光部１１１ｓは、例えば、流路部２１および蓋部材１１１４よりも高い遮光性を有する。図４４の例では、遮光部１１１ｓは、例えば、光透過部２１ｔおよび蓋部材１１１４よりも高い遮光性を有する。ここでは、例えば、第１筐体部１１２および第２筐体部１２２あるいは筐体部１１０のサイズおよび形状ならびにパッケージ１１１３における第２凹部１１１３ｂの深さおよび開口部の大きさなどを適宜設定する。上記により、パッケージ１１１３が、測定モジュール１の外部から第１開口部Ｏｐ１および第２開口部Ｏｐ２のうちの少なくとも一方の開口部を介して受光部１１１２に向かう光の光路を遮ることができる。

＜２－１０．第１１実施形態＞
上記各実施形態において、測定装置１００は、例えば、図４５で示されるように、入力部５０を有していてもよいし、出力部６０を有していてもよい。

入力部５０は、例えば、接続部１１４を介して処理部１１３に接続され得る。入力部５０は、例えば、ユーザの動作に応答して、測定装置１００における流れ定量値の測定に関する種々の条件（測定条件ともいう）を処理部１１３に入力することができる。測定条件は、例えば、演算処理部１１３２ａで算出される周波数スペクトルにおける周波数の範囲などを含む。入力部５０には、例えば、キーボード、マウス、タッチパネルまたはスイッチなどの操作部あるいは音声による入力が可能なマイク部などが適用される。これにより、例えば、ユーザは、所望の測定条件を容易に設定することができる。その結果、例えば、測定装置１００の利便性が向上し得る。また、測定条件は、例えば、発光部１１１１が発する照射光Ｌ１の光量もしくは強度、受光部１１１２が信号を出力する周期、ＡＤ変換におけるサンプリングレートおよび検量データに係る演算式などを含んでいてもよい。また、入力部５０は、例えば、流体３における粘度、濃度または散乱体の大きさなど、流体３に関する種々の情報を入力することができてもよい。

出力部６０は、例えば、接続部１１４を介して処理部１１３に接続され得る。出力部６０は、例えば、流れ定量値の測定に関する種々の情報を可視的に出力する表示部を含んでいてもよいし、流れ定量値の測定に関する種々の情報を可聴的に出力するスピーカ部を含んでいてもよい。表示部には、例えば、液晶ディスプレイまたはタッチパネルなどが適用される。入力部５０がタッチパネルを含む場合には、入力部５０と出力部６０の表示部とが１つのタッチパネルで実現されてもよい。これにより、例えば、測定装置１００の構成部材が減り、測定装置１００の小型化および製造の容易化が図られ得る。ここで、例えば、表示部が、測定条件、周波数スペクトルまたは測定結果としての平均周波数ｆｍもしくは流れ定量値などを可視的に表示することが可能であれば、ユーザは、流れ定量値の測定に関する種々の情報を容易に認識することができる。ここで、例えば、ユーザが、入力部５０を介して出力部６０における種々の情報の出力態様を変更させることが可能であってもよい。出力態様の変更には、例えば、表示形式の変更または表示される情報の切り替えなどが含まれ得る。これにより、例えば、ユーザは、流れ定量値の測定に関する種々の情報を容易に認識することができる。その結果、例えば、測定装置１００の利便性が向上し得る。

＜２－１１．第１２実施形態＞
上記各実施形態において、測定装置１００は、例えば、図４６で示されるように、外部制御部７０をさらに有していてもよい。外部制御部７０は、例えば、マイクロコンピュータ（マイコン）などのコンピュータを含み得る。

外部制御部７０は、例えば、照射光Ｌ１の光量もしくは強度、受光部１１１２が信号を出力する周期およびＡＤ変換におけるサンプリングレートなどの測定条件を保持しており、この測定条件を処理部１１３に入力可能であってもよい。これにより、例えば、演算処理部１１３２ａにおいて処理する項目が少なくなり、処理部１１３における処理速度を向上させることができる。ここで、測定条件には、例えば、入力部５０によって入力され得る、測定装置１００における流れ定量値の測定に関する種々の条件と同一のものが適用される。

また、外部制御部７０は、例えば、入力部５０および出力部６０の制御を行うことが可能であってもよい。この場合には、例えば、処理部１１３が制御する種々の機能を有する部分（機能部ともいう）の数が少なくなり、処理部１１３の処理速度を向上させることができる。また、外部制御部７０は、例えば、複数の電子部品によって構成された種々の他の機能部を有していてもよい。種々の他の機能部には、例えば、圧力計または温度計などが適用される。これにより、例えば、測定装置１００における設計の自由度が向上し、測定装置１００の利便性が向上し得る。

外部制御部７０と、処理部１１３、入力部５０および出力部６０と、の間における通信は、有線および無線の何れの方式で実現されてもよい。処理部１１３と外部制御部７０との間における通信は、例えば、任意の通信規格に準じた通信が適用される。任意の通信規格は、例えば、ＩＩＣ（Inter Integrated Circuit）、ＳＰＩ（Serial Peripheral Interface）、またはＵＡＲＴ（Universal Asynchronous Receiver Transmitter）などを含む。

ここで、例えば、センサ部１１１および信号処理部１１３１と外部制御部７０とが、直接的に通信可能であってもよい。この場合には、例えば、測定装置１００が、処理部１１３を有することなく、外部制御部７０が処理部１１３の機能を有していてもよい。ここでは、例えば、センサ部１１１と外部制御部７０とが、直接通信を行うことで、処理部１１３と外部制御部７０との間で生じる信号の遅延が解消され得る。これにより、例えば、測定装置１００の処理速度を向上させることができる。その結果、例えば、測定装置１００の利便性が向上し得る。

＜２－１２．第１３実施形態＞
上記各実施形態において、測定装置１００を構成する少なくとも２つ以上の機能的な部分が、相互に通信可能に接続された、測定システム２００が採用されてもよい。例えば、図４７で示されるように、第１３実施形態に係る測定システム２００は、発光部１１１１、受光部１１１２、信号処理部１１３１、および演算処理部１１３２ａを含む情報処理部１１３２を備えている。図４７の例では、例えば、発光部１１１１と受光部１１１２との間、発光部１１１１と情報処理部１１３２との間、受光部１１１２と信号処理部１１３１との間、および信号処理部１１３１と情報処理部１１３２との間のそれぞれが通信可能に接続されている状態にある。

＜３．その他＞
上記第２実施形態、上記第４実施形態、上記第５実施形態および上記第７実施形態のそれぞれにおいて、例えば、流路２２内に反射部１２１を配置してもよい。

上記第１実施形態、上記第３実施形態、上記第６実施形態、上記第８実施形態および上記第１０実施形態のそれぞれにおいて、例えば、第２部分１２において、反射部１２１と、第２筐体部１２２とは、一体的でなく、別体であってもよい。この場合には、例えば、反射部１２１を、流路部２１としての管状体の外面に沿って配置し、第１筐体部１１２の第１面１１２ｆと、第２筐体部１２２の第２面１２２ｆと、を近接または接触させることで、センサ部１１１と、反射部１２１と、が流路２２を挟んで対向している第１状態とされてもよい。ここで、例えば、貼り付けまたは接着などの方法によって、流路部２１としての管状体の外面に沿って反射部１２１を配置することができる。

上記各実施形態では、例えば、検量データは、平均周波数ｆｍに所定の演算を施した値（流れ計算値ともいう）と、流体３の流れに係る定量的な値（流れ定量値）と、の関係を示すものであってもよい。この場合には、例えば、演算処理部１１３２ａは、平均周波数ｆｍに所定の演算を施した流れ計算値と、予め準備された検量データと、に基づいて、流体３の流れに係る定量的な値（流れ定量値）を算出することができる。

上記各実施形態では、例えば、流路部２１には、生体内の血管など、各種装置の配管とは異なる管状体が適用されてもよい。

上記各実施形態において、演算処理部１１３２ａの機能の少なくとも一部の機能は、例えば、専用の電子回路などのハードウェアで構成されてもよい。

上記各実施形態および各種変形例をそれぞれ構成する全部または一部を、適宜、矛盾しない範囲で組み合わせ可能であることは、言うまでもない。

１ 測定モジュール
３ 流体
１５ 光学フィルタ
１６ カバー部
２１ 流路部
２１ｉ 内部
２１ｔ 光透過部
２２ 流路
１００，９００ 測定装置
１１０ 筐体部
１１０ｒ 第４凹部
１１１ センサ部
１１１１ 発光部
１１１２ 受光部
１１１ｓ 遮光部
１１２ 第１筐体部
１１２ｆ 第１面
１１２ｒ 第３凹部
１２１ 反射部
１２２ 第２筐体部
１２２ｆ 第２面
Ｇｐ１ 隙間
Ｌ１ 照射光
Ｌ２ 干渉光
Ｏｐ１ 第１開口部
Ｏｐ２ 第２開口部
Ｏｐ３ 第３開口部

Claims (12)

1. 流路部の内部に含まれる流路における流体を測定するものであって、
   発光部および受光部を含むセンサ部と、
   反射部と、を備え、
   前記センサ部および前記反射部は、前記流路を挟んで対向している第１状態で配置可能に構成されており、
   前記第１状態において、前記受光部は、前記発光部による前記流路部に対する光の照射に応じて、前記流路部で散乱した光と、前記流路部を透過して前記流路における前記流体で散乱した光と、前記流路部および前記流路における前記流体を透過して前記反射部で反射した光と、を受光する、測定モジュール。
2. 光学フィルタ、をさらに備え、
   該光学フィルタは、前記発光部が発する光の波長を含む第１波長範囲の光を透過させ且つ該第１波長範囲とは異なる第２波長範囲の光を透過させにくい光学特性を有するとともに、前記第１状態において前記流路部と前記受光部との間に位置するように配置可能に構成されている、請求項１に記載の測定モジュール。
3. 前記流路部よりも高い遮光性をそれぞれ有する第１筐体部および第２筐体部、を備え、
   前記第１筐体部および前記第２筐体部は、前記第１状態において前記流路部を挟んで位置している第３状態で配置可能に構成されており、
   前記第１筐体部は、前記第３状態において前記センサ部を前記流路部とは逆側から囲むように構成された凹部と、該凹部の開口部の周囲に位置しており且つ前記第３状態において前記第２筐体部に沿って位置するように構成された第１面と、を有し、
   前記第２筐体部は、前記第３状態において前記第１面に沿って位置するように構成された第２面を有する、請求項１または請求項２に記載の測定モジュール。
4. 前記第１面および前記第２面は、それぞれ前記第３状態において前記流路部が位置している領域から離れる方向において曲がっている状態となる形状を有する、請求項３に記載の測定モジュール。
5. カバー部、をさらに備え、
   該カバー部は、前記第３状態において前記第１面と前記第２面との間の隙間を覆うように配置可能に構成されている、請求項３または請求項４に記載の測定モジュール。
6. 前記第１筐体部および前記第２筐体部は、前記第３状態において、前記流路部の長手方向における第１端部に位置し且つ前記流路部が貫通している第１開口部と、前記流路部の長手方向における前記第１端部とは逆の第２端部に位置し且つ前記流路部が貫通している第２開口部と、を有するように構成され、
   前記センサ部は、遮光部を有し、
   該遮光部は、前記第３状態において、前記測定モジュールの外部から前記第１開口部および前記第２開口部のうちの少なくとも一方の開口部を介して前記受光部に向かう光の光路を遮るように構成されている、請求項３から請求項５の何れか１つに記載の測定モジュール。
7. 流体が流れる流路を内部に含む流路部と、
   発光部と受光部とを含むセンサ部と、
   前記流路の少なくとも一部を挟んで前記センサ部に対向している反射部と、を備え、
   前記発光部は、前記流路部に光を照射し、
   前記流路部は、前記発光部から発せられた光を透過させる光透過部、を含み、
   前記受光部は、前記発光部から発せられて前記流路部で散乱した光と、前記発光部から発せられて前記光透過部を透過して前記流路内の前記流体で散乱した光と、前記発光部から発せられて前記光透過部および前記流路内の前記流体を透過して前記反射部で反射した光と、を受光する、測定モジュール。
8. 前記反射部は、前記流路部のうちの前記流路とは逆側に位置している外面上または前記流路部の外側に位置している、請求項７に記載の測定モジュール。
9. 前記流路と前記受光部との間に位置している光学フィルタ、を備え、
   該光学フィルタは、前記発光部が発する光の波長を含む第１波長範囲の光を透過させ且つ該第１波長範囲とは異なる第２波長範囲の光を透過させにくい光学特性を有する、請求項７または請求項８に記載の測定モジュール。
10. 前記流路部の少なくとも一部を含み且つ前記流路の周囲を囲むように位置している、もしくは前記流路部の周囲を囲むように位置しているとともに、前記測定モジュールの外部から前記受光部への光の光路を遮る筐体部、を備えている、請求項７から請求項９の何れか１つに記載の測定モジュール。
11. 前記筐体部は、前記流路の長手方向における第１端部に位置している第１開口部と、前記流路の長手方向における前記第１端部とは逆の第２端部に位置している第２開口部と、を有し、
    前記センサ部は、前記測定モジュールの外部から前記第１開口部および前記第２開口部のうちの少なくとも一方の開口部を介して前記受光部に向かう光の光路を遮る遮光部を有する、請求項１０に記載の測定モジュール。
12. 請求項１から請求項１１の何れか１つの請求項に記載の測定モジュールと、
    処理部と、を備え、
    前記受光部は、光を受光して光の強度に応じた信号を出力し、
    前記処理部は、前記受光部が出力した信号に基づいて、前記流体の流れの状態に係る定量的な計算値を算出する、測定装置。

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