JP7344317B2 - 圧電アクチュエータ、液体吐出ヘッド及び記録装置 - Google Patents

Description

本開示は、圧電アクチュエータ、当該圧電アクチュエータを有する液体吐出ヘッド、及び当該液体吐出ヘッドを有する記録装置に関する。

インクジェットヘッド等に用いられる圧電アクチュエータが知られている。例えば特許文献１では、圧電アクチュエータは、圧電体層と、圧電体層の表裏の一方に重なる共通電極と、圧電体層の表裏の他方に重なる複数の個別電極と、共通電極の圧電体層とは反対側に重なる振動板とを有している。平面透視において、共通電極は、複数の個別電極に重なっており、例えば、基準電位が付与される。複数の個別電極には、個別に基準電位とは異なる電位（駆動信号）が付与される。これにより、圧電体層のうち個別電極と共通電極との間の領域が圧電体層に沿う方向に伸長又は収縮する。この伸長又は収縮が振動板によって規制され、圧電アクチュエータは、撓み変形を生じる。一般に、個別電極からは、個別電極に電位を付与するための配線が延び出ている。

特開２００６－１５８１２７号公報

本開示の一態様に係る圧電アクチュエータは、圧電体層と、前記圧電体層に直接的又は間接的に重なっている導体層と、を有している。前記導体層は、平面視において、互いに間隔を空けている複数の個別電極と、前記複数の個別電極から延びている複数の配線と、を含んでいる。前記複数の配線に含まれる各配線は、幅広部と、第１幅狭部と、を有している。前記幅広部は、前記各配線の長さ方向の中央に位置する部分を含んでいる。前記第１幅狭部は、前記幅広部と、前記各配線がつながっている前記個別電極との間に介在しており、前記幅広部よりも幅が狭い。

本開示の一態様に係る液体吐出ヘッドは、上記圧電アクチュエータと、流路部材と、を有している。前記流路部材は、加圧面と、吐出面と、複数の加圧室と、複数の吐出孔と、を有している。前記加圧面は、前記圧電アクチュエータに重なっている。前記吐出面は、前記加圧面の背面である。前記複数の加圧室は、前記加圧面側に位置しており、前記加圧面の平面透視において前記複数の個別電極に個別に重なっている。前記複数の吐出孔は、前記複数の加圧室に個別に通じており、前記吐出面にて開口している。

本開示の一態様に係る記録装置は、上記液体吐出ヘッドと、前記液体吐出ヘッドを制御する制御部と、を有している。

本開示の一実施形態に係る記録装置の側面図である。 図１Ａの記録装置の平面図である。 図１Ａの記録装置が含む液体吐出ヘッドの一部の平面図である。 図２のIII－III線における断面図である。 図２の液体吐出ヘッドが含む圧電アクチュエータの分解斜視図である。 図４の一部拡大図である。 図４の圧電アクチュエータの上面の一部を簡略化して示す平面図である。 図６のVII－VII線における断面図である。 図２の液体吐出ヘッドの加圧室の平面形状を説明する模式図である。 両端が個別電極につながる配線の形状の一例を示す平面図である。 一端のみが個別電極につながる配線の形状の一例を示す平面図である。

以下、本開示の実施形態について図面を参照して説明する。なお、以下の図面は、模式的なものである。従って、細部は省略されることがある。また、寸法比率は現実のものと必ずしも一致しない。複数の図面相互の寸法比率も必ずしも一致しない。特定の寸法が実際よりも大きく示され、特定の形状が誇張されることもある。

本開示における「相似」は、数学でいう相似を含むが、これに限定されない。数学でいう相似は、一の形状を拡大若しくは縮小したときに（又はそのようなスケール変換をしないときに）、他の形状と合同になることをいう。しかし、技術常識等に照らして合理的に考えて、この数学の相似に近い関係が成り立てば、相似であるとみなされてよい。例えば、楕円形と、当該楕円形の外縁から一定かつ比較的短い距離（例えば小さい方の図形の最小径の１／４以下の距離）で内側（又は外側）に位置する外縁を有する楕円形とは、長径と短径との比が両者の間で異なるから、数学でいう相似ではない。しかし、このような関係も本開示における相似に含まれてよい。

また、本開示における種々の形状を示す用語（例えば、「円」、「楕円」又は「長方形」）は、これらの用語が数学において示す形状を含むが、これに限定されない。例えば、楕円は、外側に凸となる曲線のみによって構成されており、互いに概ね直交する長手方向と短手方向とを特定できる形状であればよい。また、例えば、長方形は、角部が面取りされていてもよい。

（プリンタの全体構成）
図１Ａは、本開示の一実施形態に係る液体吐出ヘッド２（以下で単にヘッドということがある。）を含むカラーインクジェットプリンタ１（記録装置の一例。以下で単にプリンタということがある）の概略の側面図である。図１Ｂは、プリンタ１の概略の平面図である。

なお、ヘッド２又はプリンタ１は、任意の方向を鉛直方向とすることが可能であるが、便宜上、図１Ａの紙面上下方向を鉛直方向として、上面又は下面等の語を用いることがある。また、平面視又は平面透視の語は、特に断りがない限り、図１Ａの紙面上下方向に見ることをいうものとする。

プリンタ１は、印刷用紙Ｐ（記録媒体の一例）を給紙ローラ８０Ａから回収ローラ８０Ｂへと搬送することにより、印刷用紙Ｐをヘッド２に対して相対的に移動させる。なお、給紙ローラ８０Ａ及び回収ローラ８０Ｂ並びに後述する各種のローラは、印刷用紙Ｐとヘッド２とを相対移動させる移動部８５を構成している。制御部８８は、画像や文字等のデータである印刷データ等に基づいて、ヘッド２を制御して、印刷用紙Ｐに向けて液体を吐出させ、印刷用紙Ｐに液滴を着弾させて、印刷用紙Ｐに印刷などの記録を行なう。

本実施形態では、ヘッド２はプリンタ１に対して固定されており、プリンタ１はいわゆるラインプリンタとなっている。記録装置の他の実施形態としては、ヘッド２を印刷用紙Ｐの搬送方向に交差する方向（例えば略直交する方向）に移動させつつ液滴を吐出する動作と、印刷用紙Ｐの搬送とを交互に行なう、いわゆるシリアルプリンタが挙げられる。

プリンタ１には、印刷用紙Ｐと略平行となるように、４つの平板状のヘッド搭載フレーム７０（以下で単にフレームと言うことがある）が固定されている。各フレーム７０には図示しない５個の孔が設けられており、５個のヘッド２がそれぞれの孔の部分に搭載されている。１つのフレーム７０に搭載されている５つのヘッド２は、１つのヘッド群７２を構成している。プリンタ１は、４つのヘッド群７２を有しており、合計２０個のヘッド２が搭載されている。

フレーム７０に搭載されたヘッド２は、液体を吐出する部位が印刷用紙Ｐに面するようになっている。ヘッド２と印刷用紙Ｐとの間の距離は、例えば０．５～２０ｍｍ程度とされる。

２０個のヘッド２は、制御部８８と直接接続されていてもよいし、印刷データを分配する分配部を介して制御部８８と接続されていてもよい。例えば、制御部８８が印刷データを１つの分配部へ送信し、１つの分配部が印刷データを２０個のヘッド２に分配してもよい。また、例えば、４つのヘッド群７２に対応する４つの分配部へ制御部８８が印刷データを分配し、各分配部は、対応するヘッド群７２内の５つのヘッド２に印刷データを分配してもよい。

ヘッド２は、図１Ａの手前から奥へ向かう方向、図１Ｂの上下方向に細長い長尺形状を有している。１つのヘッド群７２内において、３つのヘッド２は、印刷用紙Ｐの搬送方向に交差する方向（例えば略直交する方向）に沿って並んでおり、他の２つのヘッド２は搬送方向に沿ってずれた位置で、３つのヘッド２の間にそれぞれ一つずつ並んでいる。別の表現をすれば、１つのヘッド群７２において、ヘッド２は、千鳥状に配置されている。ヘッド２は、各ヘッド２で印刷可能な範囲が、印刷用紙Ｐの幅方向、すなわち、印刷用紙Ｐの搬送方向に交差する方向に繋がるように、あるいは端が重複するように配置されており、印刷用紙Ｐの幅方向に隙間のない印刷が可能になっている。

４つのヘッド群７２は、印刷用紙Ｐの搬送方向に沿って配置されている。各ヘッド２には、図示しない液体供給タンクから液体（例えばインク）が供給される。１つのヘッド群７２に属するヘッド２には、同じ色のインクが供給されるようになっており、４つのヘッド群７２で４色のインクが印刷できる。各ヘッド群７２から吐出されるインクの色は、例えば、マゼンタ（Ｍ）、イエロー（Ｙ）、シアン（Ｃ）及びブラック（Ｋ）である。このようなインクを印刷用紙Ｐに着弾させることにより、カラー画像を印刷できる。

プリンタ１に搭載されているヘッド２の個数は、単色で、１つのヘッド２で印刷可能な範囲を印刷するのであれば、１つでもよい。ヘッド群７２に含まれるヘッド２の個数や、ヘッド群７２の個数は、印刷する対象や印刷条件により適宜変更できる。例えば、さらに多色の印刷をするためにヘッド群７２の個数を増やしてもよい。また、同色で印刷するヘッド群７２を複数配置して、搬送方向に交互に印刷すれば、同じ性能のヘッド２を使用しても搬送速度を速くできる。これにより、時間当たりの印刷面積を大きくすることができる。また、同色で印刷するヘッド群７２を複数準備して、搬送方向と交差する方向にずらして配置して、印刷用紙Ｐの幅方向の解像度を高くしてもよい。

さらに、色のあるインクを印刷する以外に、印刷用紙Ｐの表面処理をするために、コーティング剤などの液体を、ヘッド２で、一様に、あるいはパターンニングして印刷してもよい。コーティング剤としては、例えば、記録媒体として液体が浸み込み難いものを用いる場合において、液体が定着し易いように、液体受容層を形成するものを使用できる。他に、コーティング剤としては、記録媒体として液体が浸み込み易いものを用いる場合において、液体のにじみが大きくなり過ぎたり、隣に着弾した別の液体とあまり混じり合わないように、液体浸透抑制層を形成するものを使用できる。コーティング剤は、ヘッド２で印刷する以外に、制御部８８が制御する塗布機７６で一様に塗布してもよい。

プリンタ１は、記録媒体である印刷用紙Ｐに印刷を行なう。印刷用紙Ｐは、給紙ローラ８０Ａに巻き取られた状態になっており、給紙ローラ８０Ａから送り出された印刷用紙Ｐは、フレーム７０に搭載されているヘッド２の下側を通り、その後２つの搬送ローラ８２Ｃの間を通り、最終的に回収ローラ８０Ｂに回収される。印刷する際には、搬送ローラ８２Ｃを回転させることで印刷用紙Ｐは、一定速度で搬送され、ヘッド２によって印刷される。

続いて、プリンタ１の詳細について、印刷用紙Ｐが搬送される順に説明する。給紙ローラ８０Ａから送り出された印刷用紙Ｐは、２つのガイドローラ８２Ａの間を通った後、塗布機７６の下を通る。塗布機７６は、印刷用紙Ｐに、上述のコーティング剤を塗布する。

印刷用紙Ｐは、続いて、ヘッド２が搭載されたフレーム７０を収納した、ヘッド室７４に入る。ヘッド室７４は、印刷用紙Ｐが出入りする部分などの一部において外部と繋がっているが、概略、外部と隔離された空間である。ヘッド室７４は、必要に応じて、制御部８８等によって、温度、湿度、及び気圧等の制御因子が制御される。ヘッド室７４では、プリンタ１が設置されている外部と比較して、外乱の影響を少なくできるので、上述の制御因子の変動範囲を外部よりも狭くできる。

ヘッド室７４には、５個のガイドローラ８２Ｂが配置されており、印刷用紙Ｐは、ガイドローラ８２Ｂの上を搬送される。５個のガイドローラ８２Ｂは、側面から見て、フレーム７０が配置されている方向に向けて、中央が凸になるように配置されている。これにより、５個のガイドローラ８２Ｂの上を搬送される印刷用紙Ｐは、側面から見て円弧状になっており、印刷用紙Ｐに張力を加えることで、各ガイドローラ８２Ｂ間の印刷用紙Ｐが平面状になるように張られる。２つのガイドローラ８２Ｂの間には、１つのフレーム７０が配置されている。フレーム７０は、その下を搬送される印刷用紙Ｐと平行になるように、設置される角度が少しずつ変えられている。

ヘッド室７４から外に出た印刷用紙Ｐは、２つの搬送ローラ８２Ｃの間を通り、乾燥機７８の中を通り、２つのガイドローラ８２Ｄの間を通り、回収ローラ８０Ｂに回収される。印刷用紙Ｐの搬送速度は、例えば、１００ｍ／分とされる。各ローラは、制御部８８によって制御されてもよいし、人によって手動で操作されてもよい。

乾燥機７８で乾燥することにより、回収ローラ８０Ｂにおいて、重なって巻き取られる印刷用紙Ｐ同士が接着したり、未乾燥の液体が擦れることが起き難くなる。高速で印刷するためには、乾燥も速く行なう必要がある。乾燥を速くするため、乾燥機７８では、複数の乾燥方式により順番に乾燥してもよいし、複数の乾燥方式を併用して乾燥してもよい。そのような際に用いられる乾燥方式としては、例えば、温風の吹き付け、赤外線の照射、加熱したローラへの接触などがある。赤外線を照射する場合は、印刷用紙Ｐへのダメージを少なくしつつ乾燥を速くできるように、特定の周波数範囲の赤外線を当ててもよい。印刷用紙Ｐを加熱したローラに接触させる場合は、印刷用紙Ｐをローラの円筒面に沿って搬送させることで、熱が伝わる時間を長くしてもよい。ローラの円筒面に沿って搬送させる範囲は、ローラの円筒面の１／４周以上がよく、さらにローラの円筒面の１／２周以上にするのがよい。ＵＶ硬化インク等を印刷する場合には、乾燥機７８の代わりに、あるいは乾燥機７８に追加してＵＶ照射光源を配置してもよい。ＵＶ照射光源は、各フレーム７０の間に配置してもよい。

プリンタ１は、ヘッド２をクリーニングするクリーニング部を備えていてもよい。クリーニング部は、例えば、ワイピング及び／又はキャッピングによって洗浄を行なう。ワイピングは、例えば、柔軟性のあるワイパーで、液体が吐出される部位の面、例えば吐出面１１ａ（後述）を擦ることで、その面に付着していた液体を取り除く。キャッピングしての洗浄は、例えば、次のように行なう。まず、液体を吐出される部位、例えば吐出面１１ａを覆うようにキャップを被せる（これをキャッピングと言う）ことで、吐出面１１ａとキャップとで、略密閉されて空間が作られる。そのような状態で、液体の吐出を繰り返すことで、吐出孔３（後述）に詰まっていた、標準状態よりも粘度が高くなっていた液体や、異物等を取り除く。キャッピングしてあることで、洗浄中の液体がプリンタ１に飛散し難く、液体が、印刷用紙Ｐやローラ等の搬送機構に付着し難くなる。洗浄を終えた吐出面１１ａを、さらにワイピングしてもよい。ワイピング及び／又はキャッピングによる洗浄は、プリンタ１に取り付けられているワイパー及び／又はキャップを人が手動で操作して行なってもよいし、制御部８８によって自動で行なってもよい。

記録媒体は、印刷用紙Ｐ以外に、ロール状の布などでもよい。また、プリンタ１は、印刷用紙Ｐを直接搬送する代わりに、搬送ベルトを搬送して、記録媒体を搬送ベルトに置いて搬送してもよい。そのようにすれば、枚葉紙、裁断された布、木材又はタイルなどを記録媒体にできる。さらに、ヘッド２から導電性の粒子を含む液体を吐出するようにして、電子機器の配線パターンなどを印刷してもよい。またさらに、ヘッド２から反応容器などに向けて所定量の液体の化学薬剤又は化学薬剤を含んだ液体を吐出させて、反応させるなどして、化学薬品を作製してもよい。

また、プリンタ１に、位置センサ、速度センサ及び／又は温度センサなどを取り付けて、制御部８８が、各センサからの情報から分かるプリンタ１各部の状態に応じて、プリンタ１の各部を制御してもよい。例えば、ヘッド２の温度、ヘッド２に液体を供給する液体供給タンクの液体の温度、及び／又は液体供給タンクの液体がヘッド２に加えている圧力などが、吐出される液体の吐出特性（例えば吐出量及び／又は吐出速度）に影響を与えている場合などに、それらの情報に応じて、液体を吐出させる駆動信号を変えるようにしてもよい。

（吐出面）
図２は、ヘッド２の印刷用紙Ｐに対向する面（吐出面１１ａ）の一部を示す平面図である。この図では、便宜上、Ｄ１軸、Ｄ２軸及びＤ３軸からなる直交座標系を付している。Ｄ１軸は、ヘッド２と印刷用紙Ｐとの相対移動の方向に平行に定義されている。Ｄ１軸の正負と、ヘッド２に対する印刷用紙Ｐの進行方向との関係は、本実施形態の説明では特に問わない。Ｄ２軸は、吐出面１１ａ及び印刷用紙Ｐに平行で、かつＤ１軸に直交するように定義されている。Ｄ２軸の正負も特に問わない。Ｄ３軸は、吐出面１１ａ及び印刷用紙Ｐに直交するように定義されている。－Ｄ３側（図２の紙面手前側）は、ヘッド２から印刷用紙Ｐへの方向である。既述のように、ヘッド２は、Ｄ２方向を長手方向とする形状であり、ここでは、その長手方向の一端側部分が示されている。

吐出面１１ａは、例えば、ヘッド２の印刷用紙Ｐに対向する面の大部分を構成している平面である。また、吐出面１１ａは、例えば、Ｄ２方向を長手方向とする概略矩形状とされている。吐出面１１ａには、インク滴を吐出する複数の吐出孔３が開口している。複数の吐出孔３は、ヘッド２と印刷用紙Ｐとの相対移動の方向（Ｄ１方向）に直交する方向（Ｄ２方向）の位置を互いに異ならせて配置されている。従って、移動部８５によってヘッド２と印刷用紙Ｐとを相対移動させつつ、複数の吐出孔３からインク滴を吐出することにより、任意の２次元画像が形成される。

より具体的には、複数の吐出孔３は、複数行（図示の例では１６行）で配列されている。すなわち、複数の吐出孔３によって、複数の吐出孔行５が構成されている。複数の吐出孔行５同士において、複数の吐出孔３のＤ２方向における位置は互いに異なっている。これにより、各吐出孔行５における吐出孔３のピッチよりも狭いピッチでＤ２方向に並ぶ複数のドットを印刷用紙Ｐに形成することが可能となっている。ただし、ヘッド２は、１行のみ吐出孔行５を有する構成であっても構わない。

複数の吐出孔行５は、例えば、概略、互いに平行であり、また、互いに同等の長さを有している。図示の例では、吐出孔行５は、ヘッド２と印刷用紙Ｐとの相対移動の方向に直交する方向（Ｄ２方向）に平行になっている。ただし、吐出孔行５は、Ｄ２方向に対して傾斜していてもよい。また、図示の例では、複数の吐出孔行５間の隙間の大きさ（Ｄ１方向の間隔）は均等ではない。これは、例えば、ヘッド２内部の流路の配置の都合に起因する。もちろん、吐出孔行５間の隙間の大きさは均等とされてもよい。

（ヘッド本体）
図３は、図２のIII－IIIにおける断面図である。図３の紙面下方は、印刷用紙Ｐ側である。ここでは、主として、１つの吐出孔３に係る構成が示されている。また、ここでは、ヘッド２のうち、吐出面１１ａを含むヘッド本体７（すなわち吐出面１１ａ側の一部のみ）が示されている。なお、ヘッド本体７が液体吐出ヘッドと捉えられてもよい。

ヘッド本体７は概略板状の部材であり、板状の表裏の一方は既述の吐出面１１ａとなっている。ヘッド本体７の厚さは、例えば、０．５ｍｍ以上２ｍｍ以下である。ヘッド本体７は、圧電素子の機械的歪により液体に圧力を付与して液滴を吐出するピエゾ式のヘッドである。ヘッド本体７は、それぞれ吐出孔３を含む複数の吐出素子９を有している。複数の吐出素子９及び複数の吐出素子９に関わる構成（例えば複数の吐出素子９に接続される配線）は、基本的に、互いに同様の構成とされてよい。複数の吐出素子９は、吐出面１１ａに沿って２次元的に配列されている。

また、別の観点では、ヘッド本体７は、液体（インク）が流れる流路が形成されている概略板状の流路部材１１と、流路部材１１内の液体に圧力を付与するための圧電アクチュエータ１３とを有している。複数の吐出素子９は、流路部材１１及び圧電アクチュエータ１３により構成されている。吐出面１１ａは、流路部材１１によって構成されている。流路部材１１の吐出面１１ａとは反対側の面を加圧面１１ｂというものとする。

流路部材１１は、共通流路１５と、共通流路１５にそれぞれ接続されている複数の個別流路１７（図３では１つを図示）とを有している。各個別流路１７は、既述の吐出孔３を有しており、また、共通流路１５から吐出孔３へ順に、接続流路１９、加圧室２１及び部分流路２３を有している。

複数の個別流路１７及び共通流路１５には液体が満たされている。複数の加圧室２１の容積が変化して液体に圧力が付与されることにより、複数の加圧室２１から複数の部分流路２３へ液体が送出され、複数の吐出孔３から複数の液滴が吐出される。また、複数の加圧室２１へは複数の接続流路１９を介して共通流路１５から液体が補充される。

流路部材１１は、例えば、複数のプレート２５Ａ～２５Ｊ（以下、Ａ～Ｊを省略することがある。）が積層されることにより構成されている。プレート２５には、複数の個別流路１７及び共通流路１５を構成する複数の穴（主として貫通孔。凹部にすることも可）が形成されている。複数のプレート２５の厚み及び積層数は、複数の個別流路１７及び共通流路１５の形状等に応じて適宜に設定されてよい。複数のプレート２５は、適宜な材料により形成されてよい。例えば、複数のプレート２５は、金属又は樹脂によって形成されている。プレート２５の厚さは、例えば、１０μｍ以上３００μｍ以下である。プレート２５同士は、例えば、プレート２５間に介在する不図示の接着剤によって互いに固定されている。

（流路形状）
流路部材１１内の各流路の具体的な形状及び寸法等は適宜に設定されてよい。図示の例では、以下のとおりである。

共通流路１５は、ヘッド２の長手方向（図３では紙面貫通方向）に延びている。共通流路１５は、１本のみ設けられてもよいが、例えば、互いに並列に複数本で設けられている。共通流路１５の横断面の形状は、矩形状とされている。

複数の個別流路１７（別の観点では吐出素子９）は、各共通流路１５の長さ方向に配列されている。ひいては、複数の個別流路１７に個別に含まれている複数の吐出孔３も共通流路１５に沿って配列されている。図２に示したような吐出孔３の配列においては、例えば、１本の共通流路１５の両側それぞれに２行ずつ吐出孔３が配列されてよい。そして、４本の共通流路１５に合計で１６行の吐出孔３が配列されてよい。

加圧室２１は、例えば、加圧面１１ｂに開口しており、圧電アクチュエータ１３によって塞がれている。なお、加圧室２１は、プレート２５によって塞がれていてもよい。ただし、これは、加圧室２１を塞ぐプレート２５を流路部材１１の一部として捉えるか、圧電アクチュエータ１３の一部として捉えるかの問題と考えることもできる。いずれにせよ、加圧室２１は、吐出面１１ａ及び加圧面１１ｂのうち加圧面１１ｂの側に偏って位置している。

複数の加圧室２１の形状は、例えば、互いに同一である。各加圧室２１の形状は適宜に設定されてよい。例えば、加圧室２１は、加圧面１１ｂに沿って一定の厚さで広がる薄型形状に形成されている。ただし、加圧室２１は、厚さが異なる部位を有していてもよい。薄型形状は、例えば、平面視のいずれの径よりも厚さが小さい形状である。

また、例えば、加圧室２１の平面形状は、互いに直交する長手方向及び短手方向を有する形状（例えば菱形又は楕円形）であってもよいし（図示の例）、そのような方向を概念できない形状（例えば円形）であってもよい。また、長手方向及び短手方向と複数の加圧室２１の配列態様との関係も任意である。

本実施形態の説明では、後述するように、円形と楕円形とを足し合わせた形状を例に取る。別の観点では、長手方向と短手方向とを概念できる形状を例に取る。図示の例では、図３の紙面左右方向が加圧室２１の長手方向である。当該方向は、例えば、共通流路１５が延びる方向に交差（例えば直交）する方向であり、また、別の観点では、ヘッド本体７の短手方向である。

部分流路２３は、加圧室２１から吐出面１１ａに向かって延びている。部分流路２３の形状は、概略、円柱状である。なお、部分流路２３は、加圧室２１から吐出面１１ａに向かって上下方向に傾斜して延びていてもよいし（図示の例）、傾斜せずに延びていてもよい。また、部分流路２３は、その横断面の面積が上下の位置によって異なっていてもよい。平面視において、部分流路２３は、例えば、加圧室２１の所定方向（例えば平面視における加圧室２１の長手方向）の端部に繋がっている。

吐出孔３は、部分流路２３の底面（加圧室２１とは反対側の面）の一部に開口している。吐出孔３は、例えば、部分流路２３の底面の概ね中央に位置している。ただし、吐出孔３は、部分流路２３の底面の中央に対して偏心して設けられていてもよい。吐出孔３の縦断面の形状は、吐出面１１ａ側ほど径が小さくなるテーパ状とされている。ただし、吐出孔３は、一部又は全部が逆テーパであってもよい。

接続流路１９は、例えば、共通流路１５の上面から上方へ延びる部位と、当該部位からプレート２５に沿う方向に延びる部位と、当該部位から上方に延びて加圧室２１の下面に接続されている部位とを有している。プレート２５に沿う部位は、流れ方向に直交する断面積が小さくされており、いわゆるしぼりとして機能する。平面視において、接続流路１９の加圧室２１に対する接続位置は、例えば、加圧室２１の下面のうちの当該下面の中央に対して部分流路２３とは反対側の端部とされている。

複数の加圧室２１の配列の態様については、概略、図２を参照して説明した複数の吐出孔３の配列の態様の説明が援用されてよい。ただし、複数の加圧室２１の配列の態様と、複数の吐出孔３の配列の態様とは異なっていても構わない。例えば、複数の部分流路２３の形状を互いに異ならせることなどによって、複数の加圧室２１の配列の態様と、複数の吐出孔３の配列の態様とが異なっていてもよい。そして、例えば、複数の加圧室２１は、図２に示した複数の吐出孔３とは異なり、Ｄ１方向及びＤ２方向の双方において一様に分布したり（加圧室２１の行間のピッチが一定とされたり）、吐出孔行５の数よりも少ない行数で配列されたりしてよい。

（圧電アクチュエータ）
圧電アクチュエータ１３は、例えば、複数の加圧室２１に亘る広さを有する概略板状である。圧電アクチュエータ１３は、板形状の表面及び裏面として第１面１３ａ及び第２面１３ｂを有している。本実施形態では、第１面１３ａは、流路部材１１の加圧面１１ｂに重ねられる面である。圧電アクチュエータ１３は、吐出素子９毎に（加圧室２１毎に）加圧室２１に圧力を付与する圧電素子２７を有している。すなわち、圧電アクチュエータ１３は、第１面１３ａに沿う方向の複数の位置に複数の圧電素子２７を有している。

なお、圧電アクチュエータ１３において、圧電素子２７と捉えられる領域は、適宜に定義されてよい。例えば、当該領域は、後述するＵ個別電極５１が設けられている領域によって定義されてもよいし、平面透視において加圧室２１と重なっている領域によって定義されてもよい。

圧電アクチュエータ１３は、第１面１３ａに沿って広がる複数の層状部材が積層されて構成されている。具体的には、例えば、圧電アクチュエータ１３は、第１面１３ａ側（流路部材１１側）から順に、ＤＤ絶縁層２９、ＤＤ導体層３１、Ｄ絶縁層３３、Ｄ導体層３５、圧電体層３７、Ｕ導体層３９、Ｕ圧電体層４１及びＵＵ導体層４３を有している。すなわち、圧電体層３７及びＵ圧電体層４１も絶縁層の一種として捉えた場合に、圧電アクチュエータ１３は、絶縁層と導体層とを交互に有しており、また、合計で４層の絶縁層と４層の導体層とを有している。特に図示しないが、圧電アクチュエータ１３は、ＵＵ導体層４３を覆う絶縁層（例えばソルダーレジスト）を有していてもよい。

なお、絶縁層及び導体層に付した「ＤＤ」、「Ｄ」、「Ｕ」、「ＵＵ」は、圧電体層３７を基準として、第１面１３ａ側（Down Side）を「Ｄ」、第２面１３ｂ側（Up side）を「Ｕ」とし、圧電体層３７から離れるほど「Ｄ」及び「Ｕ」の文字を多くしている。各層が含む部位にもこの文字を付すことがある。

圧電素子２７においては、Ｄ導体層３５とＵ導体層３９とによって圧電体層３７に電圧が印加されることによって、圧電体層３７がその平面方向（表面及び裏面に沿う方向）において伸長及び／又は収縮（伸縮）する。この伸縮は、他の絶縁層のいずれかによって規制される。これにより、圧電素子２７は、バイメタルのように第１面１３ａ側及び／又は第２面１３ｂ側へ撓み変形を生じる。このような圧電素子２７の撓み変形によって、加圧室２１の容積が縮小及び／又は拡大され、加圧室２１の液体に圧力が付与される。

より詳細には、例えば、本実施形態の説明ではＤ絶縁層３３及び／又はＤＤ絶縁層２９が圧電体層３７の伸縮を規制する。この場合、圧電体層３７が収縮するときは、圧電素子２７は、第１面１３ａ側に撓み変形を生じる（第１面１３ａ側が凸となる。）。また、圧電体層３７が伸長するときは、圧電素子２７は、第２面１３ｂ側に撓み変形を生じる（第１面１３ａ側が凹となる。）。

Ｕ圧電体層４１は、Ｕ導体層３９とＵＵ導体層４３とによって電圧が印加されることによって、その平面方向に伸縮する。より詳細には、電圧印加によって圧電体層３７が平面方向に伸長するときは、Ｕ圧電体層４１も電圧印加によって伸長し、電圧印加によって圧電体層３７が平面方向に収縮するときは、Ｕ圧電体層４１も電圧印加によって収縮する。従って、Ｕ圧電体層４１は、圧電体層３７と同様に、伸縮がＤ絶縁層３３及び／又はＤＤ絶縁層２９によって規制され、圧電体層３７の撓み変形と同一の方向に撓み変形を生じる。

これにより、圧電体層３７及びＵ圧電体層４１の合計厚みと等しい厚みの１層の圧電体層がある態様（当該態様も本開示に係る技術に含まれてよい。）と比較すると、圧電体層を挟む電極間距離が半分になることにより、圧電体層に印加される電界の強度が強くなり、ひいては、圧電素子２７の変位量を大きくすることができる。また、Ｕ圧電体層４１を有さず圧電体層３７のみがある態様（当該態様も本開示に係る技術に含まれてよい。）と比較すると、変位する圧電体層の厚さが厚くなることにより、圧電体層と絶縁層とからなる積層体を撓ませる力を強くすることができる。

上記の撓み変形の説明で言及しなかったＤＤ導体層３１は、例えば、圧電アクチュエータ１３における意図されていない応力及び／又は歪の低減に寄与する。このような応力及び／又は歪としては、例えば、製造時及び／又は使用時における温度変化に起因するものを挙げることができる。より詳細には、例えば、温度変化に起因する圧電アクチュエータ１３のその平面方向における伸縮に着目したときに、ＤＤ導体層３１は、厚み方向（Ｄ３方向）の一方側における伸縮と他方側における伸縮とを釣り合せることに寄与する。

本実施形態では、上記のように圧電体層（３７及び４１）の伸縮を圧電体層よりも第１面１３ａ側において規制して撓み変形を実現する。従って、圧電体層以外の層の材料及び厚さは、圧電体層の伸縮時に圧電体層が第１面１３ａ側から受ける応力が、第２面１３ｂ側から受ける応力よりも大きくなるように設定される。このような材料及び厚さの組み合わせは種々存在し、適宜に設定されてよい。

一例を挙げる。各導体層の厚さは絶縁層の厚さに比較して薄くされ、ひいては、圧電体層（３７及び４１）の伸縮に及ぼす影響が低減されてよい。ＤＤ絶縁層２９及びＤ絶縁層３３は、互いに同一の圧電体（例えば圧電体層３７及び／又はＵ圧電体層４１の材料と同じ材料。別の観点ではヤング率が比較的大きい材料。）によって構成されてよい。そして、圧電体層（３７及び４１）に対して第１面１３ａ側に位置する絶縁層（２９及び３３）の合計厚さは、圧電体層（３７及び４１）に対して第２面１３ｂ側に位置する絶縁層（本実施形態ではそのような絶縁層は存在しない。）の合計厚さよりも厚くされてよい。このような構成によって、圧電体層（３７及び４１）においては、第１面１３ａ側から受ける応力が第２面１３ｂ側から受ける応力よりも大きくされる。

上記のような構成において、絶縁層の厚さは適宜に設定されてよい。例えば、圧電体層（３７及び４１）に対して第１面１３ａ側に位置する絶縁層（２９及び３３）の合計厚さは、圧電体層（３７及び４１）の合計厚さに対して、１／２以上３／２以下とされてよい。

図示の例では、ＤＤ絶縁層２９、Ｄ絶縁層３３、圧電体層３７及びＵ圧電体層４１は、互いに概ね同等の厚さとされている。換言すれば、圧電体層（３７及び４１）に対して第１面１３ａ側に位置する絶縁層（２９及び３３）の合計厚さは、圧電体層（３７及び４１）の合計厚さと概ね同等とされている。別の観点では、Ｄ導体層３５に対して第１面１３ａ側に位置する絶縁層（２９及び３３）の合計厚さと、Ｄ導体層３５に対して第２面１３ｂ側に位置する絶縁層（３７及び４１）の合計厚さとは、概ね同等とされている。

上記のような構成における寸法の一例を挙げる。ＤＤ絶縁層２９、Ｄ絶縁層３３、圧電体層３７及びＵ圧電体層４１の厚さは、それぞれ１０μｍ以上４０μｍ以下とされてよい。ＤＤ導体層３１、Ｄ導体層３５、Ｕ導体層３９及びＵＵ導体層４３の厚さは、それぞれ０．５μｍ以上３μｍ以下とされてよい。また、Ｄ導体層３５の厚さは、他の導体層（例えばＵ導体層３９）の厚さに対して、０．５μｍ以上２μｍ以下の差で厚くされていてもよい。

（圧電アクチュエータの各層の詳細）
図４及び図５は、圧電アクチュエータ１３の分解斜視図である。図４では、圧電アクチュエータ１３の一部の領域であって、複数の圧電素子２７が含まれる領域について示されている。図５では、１つの圧電素子２７が含まれる領域について示されている。これらの図では、便宜上、導体層（３１、３５、３９及び４３）の表面にハッチングを付している。

これらの図では、絶縁層又は圧電体層と、その上面（＋Ｄ３側の面）に重なる導電層との２層が組み合わされた板状部材が示されている。すなわち、４つの板状部材が示されている。ただし、これは、図示の便宜上のものであり、製造過程において、このような４つの板状部材がそれぞれ作製されることを意味していない。例えば、製造過程において、各導体層は、絶縁層又は圧電体層の下面（－Ｄ３側の面）に設けられてもよい。

図３～図５に示すように、圧電体層（３７及び４１）も絶縁層の一種として捉えた場合に、４つの絶縁層（２９、３３、３７及び４１）は、複数の圧電素子２７に亘って実質的に隙間無く広がっている。「実質的に」としているのは、例えば、導体層同士を接続するための貫通導体（後述）が絶縁層を貫通していてもよいことなどからである（以下、同様。）。また、Ｄ導体層３５も、複数の圧電素子２７に亘って実質的に隙間無く広がっている。一方、他の導体層（３１、３９及び４３）は、複数の圧電素子２７に個別に（換言すれば１対１で）位置する複数の部位（４５、５１及び５３）を有している。

圧電アクチュエータ１３の種々の層（２９、３１、３３、３５、３７、３９、４１及び４３）は、導体層の非配置領域を無視したときに、概略、一定の厚さの層状である。複数の圧電素子２７に亘って広がっている層（２９、３３、３５、３７及び４１）の広さは、例えば、互いに同等の広さとされてよい。別の観点では、これらの層の広さは、圧電アクチュエータ１３の広さと同様とされてよい。ただし、いずれかの層が他の層よりも狭くされていても構わない。例えば、Ｄ導体層３５は、当該Ｄ導体層３５に重なるＤ絶縁層３３及び圧電体層３７よりも狭くされて、外縁が圧電アクチュエータ１３の外部に露出しないようにされていてもよい。

各層は、１種類の材料によって一体的に構成されていてもよいし、互いに異なる材料が積層されて構成されていてもよい。各層の材料は、平面方向の互いに異なる位置同士で同一である。ただし、一部の領域の材料が他の領域の材料と異なっていてもよい。

（圧電体層）
圧電体層３７及びＵ圧電体層４１は、例えば、少なくとも圧電素子２７を構成している領域において、分極軸（単結晶では電気軸又はＸ軸ともいう。）が厚み方向（Ｄ３方向）に概ね平行になっている。また、圧電体層３７とＵ圧電体層４１とは、分極の向き（＋Ｄ３側及び－Ｄ３側のいずれであるか）が互いに逆とされている。圧電体層（３７及び４１）それぞれは、厚み方向において分極の向きと同じ向きで電圧が印加されることによって平面方向に収縮する。また、圧電体層（３７及び４１）それぞれは、厚み方向において分極の向きと逆の向きで電圧が印加されることによって平面方向に伸長する。なお、圧電体層（３７及び／又は４１）のうち、圧電素子２７を構成している領域以外の領域は、分極されていてもよいし、分極されていなくてもよい。前者の場合において、分極の方向は、圧電素子２７を構成している領域における分極の方向と同様であってもよいし、異なっていてもよい。

圧電体層３７及びＵ圧電体層４１の材料は、例えば、強誘電性を有するセラミックス材料とされてよい。セラミック材料としては、例えば、チタン酸ジルコン酸鉛（ＰＺＴ）系、ＮａＮｂＯ_３系、ＢａＴｉＯ_３系、（ＢｉＮａ）ＴｉＯ_３系、ＢｉＮａＮｂ_５Ｏ_１５系のものを挙げることができる。ただし、圧電体層（３７及び４１）の材料は、セラミック材料以外とされても構わない。圧電体層（３７及び４１）の材料は、単結晶であってもよいし、多結晶であってもよいし、無機材料であってもよいし、有機材料であってもよいし、強誘電体であってもなくてもよいし、焦電体であってもなくてもよい。圧電体層３７及びＵ圧電体層４１の材料は、互いに同一であってもよいし、互いに異なっていてもよい。

（絶縁層）
ＤＤ絶縁層２９及びＤ絶縁層３３の厚さは、既に言及したように、適宜に設定されてよい。例えば、これらの層の厚さは、互いに同一であってもよいし、互いに異なっていてもよい。また、各層の厚さは、圧電体層３７及び／又はＵ圧電体層４１の厚さに対して、薄くてもよいし、同等でもよいし、厚くてもよい。

ＤＤ絶縁層２９及びＤ絶縁層３３の材料は、既に言及したように、適宜なものとされてよい。例えば、少なくとも１つの絶縁層の材料は、圧電体層３７及び／又はＵ圧電体層４１の材料と同一であってもよいし、異なっていてもよい。換言すれば、少なくとも１つの絶縁層の材料は、圧電体であってもよいし、圧電体でなくてもよい。絶縁層の材料が圧電体層の材料と同一又は異なる圧電体である場合において、圧電体層の説明で例示した材料は、絶縁層の材料に援用されてよい。絶縁層は、多結晶からなる場合において、分極されていてもよいし、分極されていなくてもよい。もちろん、少なくとも１つの絶縁層の材料は、圧電体でなくてもよい。

（導体層）
ＤＤ導体層３１、Ｄ導体層３５、Ｕ導体層３９及びＵＵ導体層４３の厚さは、適宜に設定されてよい。例えば、これらの層の厚さは、互いに同一であってもよいし、互いに異なっていてもよい。各層の厚さは、例えば、圧電体層３７の厚さよりも薄くされている。

ＤＤ導体層３１、Ｄ導体層３５、Ｕ導体層３９及びＵＵ導体層４３の材料は、互いに同一であってもよいし、互いに異なっていてもよい。また、各導体層の材料は、例えば、金属材料とされてよい。金属材料としては、例えば、Ａｇ－Ｐｄ系の合金及びＡｕ系の合金が用いられてよい。

（Ｄ導体層）
Ｄ導体層３５は、例えば、既述のように圧電体層３７に電圧を印加することに寄与する。Ｄ導体層３５は、図示の例では（又は図示の範囲では）、共通電極４９のみを含んでいる。共通電極４９は、複数の圧電素子２７に亘って実質的に隙間無く広がっている。圧電素子２７の駆動時、共通電極４９は、例えば、一定の電位（時間経過に対して変動しない電位）が付与される。当該一定の電位は、例えば、基準電位（グランド電位）である。

（Ｕ導体層）
Ｕ導体層３９は、例えば、既述のように圧電体層３７及びＵ圧電体層４１に電圧を印加することに寄与する。Ｕ導体層３９は、例えば、電圧印加に直接的に寄与する複数のＵ個別電極５１と、複数のＵ個別電極５１に個別に電位（駆動信号）を付与するための複数のＵ配線５３とを有している。複数のＵ個別電極５１及び複数のＵ配線５３は、複数の圧電素子２７（別の観点では複数の加圧室２１）に対して個別に設けられている。特に図示しないが、Ｕ導体層３９は、上記以外の部分を有していてもよい。例えば、Ｕ導体層３９は、圧電体層３７及び／又はＵ圧電体層４１の外縁に沿って延びる補強部を有していてもよい。

圧電素子２７の駆動時において、共通電極４９に一定の電位（例えば基準電位）が付与されているのに対して、Ｕ個別電極５１には経過時間に対して電位が変化する駆動信号が入力される。これにより、圧電体層３７に電圧が印加され、圧電素子２７が変位する。また、複数のＵ個別電極５１には個別に駆動信号が入力される。これにより、複数の圧電素子２７は個別に（換言すれば独立に）駆動される。

複数のＵ個別電極５１及び複数のＵ配線５３の面積（又は体積）の総和、及びＵ導体層３９の面積（又は体積）の総和は、適宜に設定されてよい。なお、図示の例では、上記２つの総和は同じものである。以下の説明では、便宜上、上記２つの総和を区別せずに説明するものとし、一方の総和の語は、他方の総和の語に置換されてよいものとする。

（Ｕ個別電極）
複数のＵ個別電極５１は、複数の加圧室２１に対して個別に対向している。Ｕ個別電極５１の平面形状は、例えば、加圧室２１の平面形状と相似であってもよいし（図示の例）、相似でなくてもよい。いずれにせよ、加圧室２１の平面形状に関する説明は、Ｕ個別電極５１の平面形状に援用されてよい。例えば、Ｕ個別電極５１の平面形状は、互いに直交する長手方向及び短手方向を有する形状であってもよいし（図示の例）、そのような方向を概念できない形状であってもよい。また、長手方向及び短手方向と複数のＵ個別電極５１の配列態様との関係も任意である。

また、Ｕ個別電極５１の大きさは、適宜に設定されてよい。例えば、平面透視において、Ｕ個別電極５１の外縁は、加圧室２１（より詳細には例えば加圧室２１の加圧面１１ｂ側の開口面）の外縁に対して、その全体が内側に位置していてもよいし、その全体が概ね一致していてもよいし、その全体が外側に位置していてもよいし、一部のみが一致又は内側に位置していてもよい。

本実施形態では、Ｕ個別電極５１の平面形状が加圧室２１の平面形状と相似である態様を例に取る。この平面形状の詳細については後述するが、互いに直交する長手方向と短手方向とを概念できる形状である。また、本実施形態では、平面透視において、Ｕ個別電極５１及び加圧室２１の（その平面形状の）中心同士が概ね一致し、また、両者の向きが互いに一致する態様を例に取る。図示の例では、Ｕ個別電極５１の長手方向は、Ｄ１方向（すなわち圧電アクチュエータ１３の短手方向）とされている。ただし、Ｕ個別電極５１の長手方向は、他の方向（例えば圧電アクチュエータ１３の長手方向）とされてもよい。

なお、本実施形態の説明において、平面図形について中心（あるいは中央等）という場合（あるいは平面視又は断面視において中心という場合）、特に断りが無い限り、中心は、例えば、図心とされてよい。図心は、平面図形の重心であり、その点を通る任意の軸に対する断面一次モーメントが０になる点である。

複数のＵ個別電極５１の配列については、既述の複数の加圧室２１の配列についての説明が援用されてよい。図示の例では、複数のＵ個別電極５１は、圧電アクチュエータ１３の長手方向（Ｄ２方向。別の観点ではＵ個別電極５１の短手方向）に配列されて複数の行（１行でもよい）をなしている。互いに隣り合う行は、行に平行な方向（ここではＤ２方向）において互いに半ピッチずれている。半ピッチずれる態様において、行に平行な方向に見たとき、互いに隣り合う行は、一部同士が互いに重複していてもよいし、重複していなくてもよい。

（Ｕ配線）
Ｕ配線５３は、Ｕ個別電極５１から延び出る形状であり、いわゆる引出電極である。Ｕ配線５３は、例えば、Ｕ圧電体層４１を貫通している貫通導体６１（図３）に接続されている。従って、貫通導体６１に駆動信号が入力されることによって、Ｕ配線５３を介してＵ個別電極５１に駆動信号が入力される。

Ｕ配線５３の具体的な形状、寸法及び位置等は適宜に設定されてよい。例えば、Ｕ配線５３は、Ｕ個別電極５１の所定方向（図示の例ではＤ１方向）の一方側の端部から前記所定方向の前記一方側へ直線状に延びている。当該所定方向は、任意の方向とされてよいが、例えば、Ｕ個別電極５１の長手方向及び／又は圧電アクチュエータ１３の短手方向である。また、Ｕ配線５３の幅は、例えば、概略一定である。もちろん、図示の例とは異なり、Ｕ配線５３は、屈曲又は湾曲する部分を有していてもよい。また、Ｕ配線５３のＵ個別電極５１とは反対側の端部は、他の部分に比較して拡幅されていてもよい。

（ＤＤ導体層）
ＤＤ導体層３１は、例えば、既述のように、圧電アクチュエータ１３における意図されていない応力及び／又は歪の低減に寄与する。圧電素子２７の駆動時において、ＤＤ導体層３１は、例えば、共通電極４９と同様に、一定の電位（時間経過に対して変動しない電位）が付与される。当該一定の電位は、例えば、共通電極４９の電位と同一の電位とされてよく、また、基準電位（グランド電位）とされてよい。なお、ＤＤ導体層３１は、圧電素子２７の駆動時において、電位が付与されずに、電気的に浮遊状態とされてもよい。

ＤＤ導体層３１は、例えば、複数の圧電素子２７に個別に位置している複数のＤＤ個別電極４５と、複数のＤＤ個別電極４５を互いに接続している複数のＤＤ配線４７とを有している。特に図示しないが、ＤＤ導体層３１は、上記以外の部分を有していてもよい。例えば、ＤＤ導体層３１は、ＤＤ絶縁層２９及び／又はＤ絶縁層３３の外縁に沿って延びる補強部を有していてもよい。また、逆に、ＤＤ導体層３１は、ＤＤ個別電極４５同士を接続するＤＤ配線４７を有していなくてもよい。この場合、例えば、複数のＤＤ個別電極４５は、互いに非接続とされていてもよい。また、例えば、複数のＤＤ個別電極４５は、ＤＤ個別電極４５毎に、配線、及びＤ絶縁層３３を貫通する貫通導体を設けることによって、共通電極４９を介して互いに電気的に接続されていてもよい。

複数のＤＤ個別電極４５及び複数のＤＤ配線４７の面積（又は体積）の総和、及びＤＤ導体層３１の面積（又は体積）の総和は、適宜に設定されてよい。なお、図示の例では、上記２つの総和は同じものである。以下の説明では、便宜上、上記２つの総和を区別せずに説明するものとし、一方の総和の語は、他方の総和の語に置換されてよいものとする。上記の面積（又は体積）の総和は、Ｕ導体層３９の面積（又は体積）の総和に対して、小さくてもよいし、同等でもよいし、大きくてもよい。例えば、ＤＤ導体層３１の面積（又は体積）の総和は、Ｕ導体層３９の面積（又は体積）の総和に対して、１／２以上２倍以下とされてよい。また、ＤＤ導体層３１の面積（又は体積）の総和がＵ導体層３９の面積（又は体積）の総和よりも大きい場合又は小さい場合、その差は、例えば、Ｕ導体層３９の面積（又は体積）の総和の１％以上又は５０％以上とされてよい。

（ＤＤ個別電極）
複数（例えば全て）のＤＤ個別電極４５は、既述のように、複数のＤＤ配線４７によって互いに接続されている。従って、複数のＤＤ個別電極４５は、互いに同一の電位とされる。

上記から理解されるように、本開示において、「個別電極」は、複数の電極が互いに分離した形状とされていることを意味し、互いに別個の電位を付与可能にされている必要は無い。また、ここでいう分離は、完全な分離に限定されない。複数の個別電極は、互いに間隔を空けていればよい。換言すれば、複数の個別電極は、その間に導体層（ＤＤ個別電極４５の場合においてはＤＤ導体層３１）の非配置領域を挟んでいればよい。例えば、本実施形態では、図４に示すように、Ｄ２方向において互いに隣り合うＤＤ個別電極４５は、その間のＤＤ配線４７によって接続されているが、隙間Ｓ２を挟んでいる。なお、図示の例において、複数のＤＤ個別電極４５がＤ２方向以外の方向において互いに分離されていることは明らかである。

複数のＤＤ個別電極４５は、複数のＵ個別電極５１（別の観点では複数の加圧室２１）に個別に対向している。より詳細には、平面透視において、各ＤＤ個別電極４５は、自己に対応するＵ個別電極５１の中央（中心）に重なっている。ＤＤ個別電極４５は、任意の領域がＵ個別電極５１の中央に重なってよい。例えば、ＤＤ個別電極４５の中央側の領域（例えばＤＤ個別電極４５を任意の方向において３等分したときの中央の領域）又は中央がＵ個別電極５１の中央に重なってよい。

ＤＤ個別電極４５の形状は、任意の形状とされてよい。例えば、ＤＤ個別電極４５の平面形状は、Ｕ個別電極５１の平面形状と相似であってもよいし（図示の例）、相似でなくてもよい。いずれにせよ、Ｕ個別電極５１の平面形状に関する説明は、ＤＤ個別電極４５の平面形状に援用されてよい。例えば、ＤＤ個別電極４５の平面形状は、互いに直交する長手方向及び短手方向を有する形状であってもよいし（図示の例）、そのような方向を概念できない形状であってもよい。また、長手方向及び短手方向と複数のＤＤ個別電極４５の配列態様との関係も任意である。

また、ＤＤ個別電極４５の大きさは、適宜に設定されてよい。例えば、平面透視において、ＤＤ個別電極４５の外縁は、Ｕ個別電極５１の外縁に対して、その全体が内側に位置していてもよいし（図示の例）、その全体が概ね一致していてもよいし、その全体が外側に位置していてもよいし、一部のみが一致又は内側に位置していてもよい。別の観点では、ＤＤ個別電極４５の面積（又は体積）は、Ｕ個別電極５１の面積（又は体積）に対して、例えば、小さくてもよいし（図示の例）、同等でもよいし、大きくてもよい。例えば、ＤＤ個別電極４５の面積（又は体積）は、Ｕ個別電極５１の面積（又は体積）の１／２以上２倍以下とされてよい。また、ＤＤ個別電極４５の面積（又は体積）がＵ個別電極５１の面積（又は体積）よりも大きい場合又は小さい場合、その差は、例えば、Ｕ個別電極５１の面積（又は体積）の５％以上又は２０％以上とされてよい。

本実施形態では、ＤＤ個別電極４５の平面形状がＵ個別電極５１の平面形状と相似であり、また、平面透視において双方の中心同士が概ね一致する態様を例に取る。また、本実施形態では、平面透視において、ＤＤ個別電極４５及びＵ個別電極５１の中心同士が概ね一致し、また、両者の向きが互いに一致する態様を例に取る。上記から理解されるように、ＤＤ個別電極４５の配置位置については、Ｕ個別電極５１の配置位置の説明が援用されてよい。また、本実施形態では、ＤＤ個別電極４５の全体がＵ個別電極５１の外縁の内側に位置する（別の観点ではＤＤ個別電極４５の面積がＵ個別電極５１の面積よりも小さい）態様を例に取る。

（ＤＤ配線）
複数のＤＤ配線４７の数、位置、形状及び寸法等は適宜に設定されてよい。例えば、ＤＤ配線４７は、Ｄ２方向に隣り合うＤＤ個別電極４５同士を接続していてもよいし（図示の例）、Ｄ２方向以外の方向（Ｄ１方向又はＤ１方向に傾斜する方向）に隣り合うＤＤ個別電極４５同士を接続していてもよいし、これらの接続の２以上を組み合わせた接続を実現していてもよい。また、例えば、ＤＤ配線４７は、直線状に延びていてもよいし（図示の例）、屈曲又は湾曲していてもよい。また、例えば、ＤＤ配線４７は、その長さ方向に亘って概略一定の幅であってもよいし、長さ方向の位置によって幅が異なっていてもよい。ＤＤ配線４７の幅は、ＤＤ個別電極４５の間に隙間（例えば隙間Ｓ２）が形成されるように、ＤＤ配線４７の幅方向におけるＤＤ個別電極４５の最大径よりも小さい。例えば、前者は、後者の１／２以下、１／３以下又は１／４以下とされてよい。

図示の例では、ＤＤ配線４７は、Ｄ２方向に互いに隣り合うＤＤ個別電極４５同士を接続している。また、ＤＤ配線４７の形状は、概略、一定の幅でＤ２方向に直線状に延びる形状とされている。ＤＤ配線４７が延びている方向（Ｄ２方向）は、本実施形態では、Ｕ配線５３が延びる方向に交差（より詳細には直交）する方向であり、また、ＤＤ個別電極４５の長手方向（別の観点では加圧室２１の長手方向）に交差（より詳細には直交）する方向である。

（ＵＵ導体層）
ＵＵ導体層４３は、例えば、既述のように、Ｕ圧電体層４１に電圧を印加することに寄与する。圧電素子２７の駆動時において、ＵＵ導体層４３は、例えば、基本的に（例えば後述するパッド５９を除いて）、共通電極４９と同様に、一定の電位（時間経過に対して変動しない電位）が付与される。当該一定の電位は、例えば、共通電極４９及び／又はＤＤ導体層３１の電位と同一の電位とされてよく、また、例えば、基準電位（グランド電位）とされてよい。

共通電極４９とＵＵ導体層４３とに同一の電位（例えば基準電位）が付与され、Ｕ導体層３９（Ｕ個別電極５１）に駆動信号が入力されると、共通電極４９とＵ個別電極５１とによって圧電体層３７に電界が印加されるとともに、ＵＵ導体層４３とＵ個別電極５１とによってＵ圧電体層４１に電界が印加される。また、前者の電界と後者の電界とは逆向きとなる。一方、既述のように、圧電体層３７とＵ圧電体層４１とは分極の向きが逆である。従って、圧電体層３７及びＵ圧電体層４１は、共に伸長し、又は共に収縮することになり、これによって圧電素子２７が駆動される。

ＵＵ導体層４３は、例えば、複数の圧電素子２７に個別に位置している複数のＵＵ個別電極５５と、複数のＵＵ個別電極５５を互いに接続している複数のＵＵ配線５７と、Ｕ圧電体層４１よりも下層の導体層（３９、３５及び／又は３１）に対する電位の付与に寄与する複数のパッド５９とを有している。特に図示しないが、ＵＵ導体層４３は、上記以外の部分を有していてもよい。例えば、ＵＵ導体層４３は、Ｕ圧電体層４１の外縁に沿って延びる補強部を有していてもよい。また、逆に、ＵＵ導体層４３は、ＵＵ個別電極５５同士を接続するＵＵ配線５７を有していなくてもよい。この場合、例えば、複数のＵＵ個別電極５５は、互いに非接続とされていてもよい。また、例えば、複数のＵＵ個別電極５５は、ＵＵ個別電極５５毎に、配線、並びにＵ圧電体層４１及び圧電体層３７を貫通する貫通導体を設けることによって、共通電極４９を介して互いに電気的に接続されていてもよい。また、例えば、例えば、複数のＵＵ個別電極５５は、圧電アクチュエータ１３の第２面１３ｂに対向する不図示のＦＰＣ（Flexible printed circuits）を介して互いに接続されていてもよい。

複数のＵＵ個別電極５５及び複数のＵＵ配線５７の面積（又は体積）の総和（以下、ＵＵ導体層４３の要部の面積（又は体積）ということがある。）、及びＵＵ導体層４３の面積（又は体積）の総和は、適宜に設定されてよい。これらの面積（又は体積）の総和は、Ｕ導体層３９の面積（又は体積）の総和及びＤＤ導体層３１の面積（又は体積）の総和の少なくとも一方に対して、小さくてもよいし、同等でもよいし、大きくてもよい。例えば、ＵＵ導体層４３の要部の面積（又は体積）及びＵＵ導体層４３の面積（又は体積）の総和の少なくとも一方は、Ｕ導体層３９の面積（又は体積）の総和に対して、１／２以上２倍以下とされてよい。また、ＵＵ導体層４３の要部の面積（又は体積）又はＵＵ導体層４３の面積（又は体積）の総和がＵ導体層３９の面積（又は体積）の総和よりも大きい場合又は小さい場合、その差は、例えば、Ｕ導体層３９の面積（又は体積）の総和の１％以上又は５０％以上とされてよい。

（ＵＵ個別電極）
図４及び図５から理解されるように、本実施形態では、Ｄ３方向における位置を除いて、複数のＵＵ個別電極５５の位置、形状及び寸法は、複数のＤＤ個別電極４５（別の観点では複数のＵ個別電極５１）の位置、形状及び寸法と同様又は類似とされている。従って、例えば、既述のＤＤ個別電極４５（又はＵ個別電極５１）についての説明は、基本的にＵＵ個別電極５５に援用されてよい。

例えば、ＵＵ個別電極５５の平面形状は、Ｕ個別電極５１の平面形状と相似とされてよい。また、平面透視において、ＵＵ個別電極５５は、Ｕ個別電極５１の中心に重なってよい。より詳細には、平面透視において、ＵＵ個別電極５５及びＵ個別電極５１は、互いに中心が概ね一致してよく、また、向きも一致してよい。また、ＵＵ個別電極５５の面積（又は体積）は、Ｕ個別電極５１の面積（又は体積）に対して、小さくてもよいし、同等でもよいし、大きくてもよい。その差の具体例も既に述べたとおりである。

より詳細には、図示の例では、ＵＵ個別電極５５の面積（又は体積）は、Ｕ個別電極５１の面積（又は体積）よりも大きくされている。また、既述のように、図示の例では、ＤＤ個別電極４５の面積（又は体積）は、Ｕ個別電極５１の面積（又は体積）よりも小さくされているから、ＵＵ個別電極５５の面積（又は体積）は、ＤＤ個別電極４５の面積（又は体積）に対しても大きい。

（ＵＵ配線）
図４及び図５から理解されるように、本実施形態では、Ｄ３方向における位置を除いて、複数のＵＵ配線５７の位置、形状及び寸法は、複数のＤＤ配線４７（別の観点では複数のＵ個別電極５１）の位置、形状及び寸法と同様又は類似とされている。従って、例えば、既述のＤＤ配線４７についての説明は、基本的にＵＵ配線５７に援用されてよい。

例えば、ＵＵ配線５７は、Ｄ２方向に隣り合うＵＵ個別電極５５同士を接続してよい。また、例えば、ＵＵ配線５７は、概略一定の幅でＤ２方向に直線状に延びてよい。ＵＵ配線５７の幅は、ＵＵ個別電極５５の間に隙間が形成されるように、ＵＵ配線５７の幅方向におけるＵＵ個別電極５５の最大径よりも小さい。

図示の例とは異なり、複数のＵＵ配線５７の位置、形状及び寸法は、複数のＤＤ配線４７の位置、形状及び寸法に対して、同一及び類似のいずれでないものとされてもよい。例えは、ＵＵ配線５７が延びる方向は、ＤＤ配線４７が延びる方向と交差する方向（例えば直交する方向）とされてもよい。このような同一及び類似のいずれでない場合においても、ＤＤ配線４７の説明は、任意の部分がＵＵ配線５７に援用されてよい。

（パッド）
複数のパッド５９は、図５において点線で示すように、複数のＵ配線５３の端部に重なる位置に設けられている。そして、図３に示すように、複数のパッド５９は、Ｕ圧電体層４１を貫通する複数の貫通導体６１によって、複数のＵ配線５３と個別に接続されている。これにより、圧電アクチュエータ１３の外部からパッド５９を介してＵ個別電極５１に駆動信号を入力可能となっている。

既述のように、圧電アクチュエータ１３を構成する各層は、一部の領域の材料が他の領域の材料と異なっていてもよい。ＵＵ導体層４３において、パッド５９は、その全部又は上面側の一部の材料がＵＵ個別電極５５の材料と異なっていてもよい。

（個別電極の行同士の接続）
図６は、ＵＵ導体層４３の一部の拡大平面図である。この図では、複数のＵＵ個別電極５５がＤ２方向に並ぶことによって構成されている行が２つだけ示されている。また、この図では、説明の便宜上、１行が含む複数のＵＵ個別電極５５の数が４つであるものと仮定している。また、パッド５９の図示は省略されている。

複数のＵＵ個別電極５５が成す複数の行同士は、例えば、互いに接続されている。その接続方法は、適宜なものとされてよい。図示の例では、各行の両端には、行の外側（－Ｄ２側又は＋Ｄ２側）へ延びるＵＵ配線５７が設けられている。この両端のＵＵ配線５７は、複数の行に交差する方向（Ｄ１方向）に延びる共通配線６３に接続されている。これにより、複数の行は、互いに接続されている。

共通配線６３は、ＵＵ導体層４３の一部である。本実施形態の説明では、共通配線６３をＵＵ配線５７と区別しているが、共通配線６３は、ＵＵ配線５７と同様に、ＵＵ個別電極５５同士を接続する配線の一種であると捉えられてもよい。共通配線６３の材料は、ＵＵ導体層４３の他の領域（例えばＵＵ個別電極５５及びＵＵ配線５７）の材料と同一であってもよいし、異なっていてもよく、後述する図７では、異なっている態様が例示される。

なお、これまでの説明から理解されるように、図示の例とは異なり、複数のＵＵ個別電極５５は、Ｄ１方向又はＤ１方向に傾斜する方向に延びる複数のＵＵ配線５７によって行同士が接続されていてもよい。また、そのようなＵＵ配線５７は、全てのＵＵ個別電極５５に対して設けられていてもよいし、各行内の一部のＵＵ個別電極５５（例えば両端のＵＵ個別電極５５）に対してのみ設けられていてもよい。また、後述の説明から理解されるように、行同士の接続は、他の導体層（例えばＤ導体層３５）を介してなされてもよい。

ＵＵ個別電極５５の行同士の接続について述べたが、ＤＤ個別電極４５の行同士の接続についても同様とされてよい。

（外部との接続）
既述のように、Ｕ個別電極５１は、Ｕ配線５３及び貫通導体６１を介してパッド５９と接続されていることによって、圧電アクチュエータ１３の外部との接続が可能となっている。同様に、他の電極（共通電極４９及びＤＤ個別電極４５）は、絶縁層（圧電体層を含む）を貫通する貫通導体を介して圧電アクチュエータ１３の外部と接続されてよい。この場合において、貫通導体は、互いに異なる導体層に対して別個に設けられていてもよいし、互いに同一の電位とされる導体層に共用されていてもよい。後者について換言すれば、互いに同電位とされる電極同士（例えば共通電極４９、ＤＤ個別電極４５及びＵＵ個別電極５５）は、貫通導体を介して互いに接続されてよい。以下では、後者の場合について一例を示す。

図７は、図６のVII－VII線における断面図である。

図６及び図７に示すように、共通配線６３の直下には、絶縁層を貫通する貫通導体６５が設けられている。この貫通導体６５は、例えば、図７の紙面右側に示されているように、Ｕ圧電体層４１、圧電体層３７及びＤ絶縁層３３を貫通し、共通配線６３、共通電極４９及びＤＤ導体層３１（より詳細には共通配線６３と同様の共通配線）に接続されている。これにより、複数のＵＵ個別電極５５、共通電極４９及び複数のＤＤ個別電極４５は互いに電気的に接続されている。

なお、図７の紙面左側に示されているように、上記のような貫通導体６５に加えて、又は代えて、Ｕ圧電体層４１及び圧電体層３７のみを貫通し、複数のＵＵ個別電極５５及び共通電極４９を電気的に接続する貫通導体６５が設けられてもよい。同様に、特に図示しないが、Ｄ絶縁層３３のみを貫通して共通電極４９及び複数のＤＤ個別電極４５を電気的に接続する貫通導体６５が設けられてもよい。

図６において点線で示すように、貫通導体６５は、例えば、共通配線６３に沿って複数設けられてよい。これにより、同電位とされる電極の電位が安定する。もちろん、貫通導体６５は、１カ所のみに設けられても構わない。

（加圧室の平面形状）
図８は、加圧室２１の平面図である。

加圧室２１の平面形状は、例えば、円形Ｃ１の領域と、円形Ｃ１の領域から所定方向（紙面上下方向）の両側に突出した領域Ｒ２（一方の領域Ｒ２にハッチングを付す。）とを足し合わせた形状である。領域Ｒ２の円形Ｃ１とは反対側の外縁（実線で示されている外縁）は、外側に膨らむ曲線である。この曲線の曲率（一定でない場合は平均値）は、例えば、円形Ｃ１の曲率よりも大きい。

上記の加圧室２１の平面形状は、円形Ｃ１と、楕円形Ｃ２との、互いに重なる領域（点線で囲まれた領域）及び互いに重ならない領域（実線と点線とで囲まれた領域）を足し合わせた形状と捉えることができる。すなわち、円形Ｃ１及び楕円形Ｃ２それぞれをベン図における閉曲線とみなしたときに、加圧室２１の平面形状は、和集合（別の観点では論理和）に相当している。

より詳細には、円形Ｃ１の中心と、楕円形Ｃ２の中心とは一致している（中心Ｏ１参照）。楕円形Ｃ２の長径ｒＬは、円形Ｃ１の半径ｒ１よりも長く、かつ楕円形Ｃ２の短径ｒＳは、円形Ｃ１の半径ｒ１よりも短い。そして、楕円形Ｃ２の長手方向の両端側の領域Ｒ２は、円形Ｃ１の外側に位置している。

ただし、領域Ｒ２の円形Ｃ１とは反対側の外縁（実線で示されている外縁）は、曲率が一定であってもよい。すなわち、領域Ｒ２は、楕円の両端として概念される形状ではなく、円形Ｃ１の半径よりも半径が小さい円形の一部として概念される形状であってもよい。

このような形状の各種の寸法（例えば半径ｒ１、長径ｒＬ及び短径ｒＳの相対長さ）は適宜に設定されてよい。一例を以下に挙げる。長径ｒＬは、半径ｒ１の１．２倍以上１．８倍以下とされてよい。領域Ｒ２の円形Ｃ１とは反対側の外縁の曲率の平均から求めた曲率半径は、半径ｒ１の０．３倍以上０．６倍以下とされてよい。

既述のように、加圧室２１、Ｕ個別電極５１、ＤＤ個別電極４５及びＵＵ個別電極５５の平面形状は互いに相似とされてよい。従って、上記の加圧室２１の平面形状の説明は、Ｕ個別電極５１、ＤＤ個別電極４５及びＵＵ個別電極５５の平面形状に援用されてよい。

（両端が個別電極につながる配線の形状の例）
図９は、ＵＵ導体層４３の一部を拡大して示す平面図である。

ＵＵ配線５７は、例えば、その長さ方向（Ｄ２方向）の位置によって幅（Ｄ１方向の長さ）が異なっていてもよい。図示の例では、ＵＵ配線５７は、幅広部５７ａと、幅広部５７ａよりも幅が狭い第１幅狭部５７ｂ及び第２幅狭部５７ｃとを有している。幅広部５７ａは、ＵＵ配線５７の長さ方向の中央（線ＣＬ参照）に位置している（中央に位置する部分を含んでいる。）。第１幅狭部５７ｂは、幅広部５７ａと、ＵＵ配線５７がつないでいる互いに隣り合うＵＵ個別電極５５のうちの一方との間に介在している。第２幅狭部５７ｃは、幅広部５７ａと、ＵＵ配線５７がつないでいる互いに隣り合うＵＵ個別電極５５のうちの他方との間に介在している。

図示の例では、１つのＵＵ個別電極５５を挟んで両側に位置する２つのＵＵ配線５７は、互いに同様の形状とされている。すなわち、２つのＵＵ配線５７の一方は、他方をＤ２方向において平行移動させたものに相当する。ただし、２つのＵＵ配線５７は、互いに全く異なる形状とされていてもよいし、両者の間に位置するＵＵ個別電極５５に対して線対称の形状とされていてもよい。

特に図示しないが、ＵＵ配線５７は、幅広部５７ａ、第１幅狭部５７ｂ及び第２幅狭部５７ｃ以外の部分を有していてもよい。例えば、図示の例では、第１幅狭部５７ｂ（又は第２幅狭部５７ｃ）と、ＵＵ個別電極５５とが直接につながっているが、両者の間に幅が広い部分が形成されていてもよい。換言すれば、第１幅狭部５７ｂ（又は第２幅狭部５７ｃ）は、幅広部５７ａとＵＵ個別電極５５とを直接につなぐのではなく、間接的に繋いでいてもよい。

別の観点では、例えば、ＵＵ配線５７は、２以上の幅広部及び／又は３以上の幅狭部を有していてもよい。この場合において、例えば、ＵＵ配線５７の最大幅は、中央に位置する幅広部５７ａ以外の幅広部に位置していてもよい。図示の例では、ＵＵ配線５７の最大幅ｗ０は、幅広部５７ａの最大幅である。また、ＵＵ配線５７の－Ｄ２側における最小幅ｗ１は、第１幅狭部５７ｂの最小幅である。ＵＵ配線５７の＋Ｄ２側における最小幅ｗ２は、第２幅狭部５７ｃの最小幅である。

特に図示しないが、上記とは逆に、ＵＵ配線５７は、幅狭部として、第１幅狭部５７ｂ及び第２幅狭部５７ｃのうち一方のみを有していてもよい。例えば、幅広部５７ａは、ＵＵ配線の長さ方向の中央から一端に亘っていてもよい。

幅広部５７ａ、第１幅狭部５７ｂ及び第２幅狭部５７ｃそれぞれにおいて、幅（Ｄ１方向の長さ）は、長さ方向（Ｄ２方向）の位置によって異なっていてもよいし（図示の例）、一定であってもよい。また、前者の場合において、長さ方向の位置に対する幅の変化は、連続的なものであってもよいし（図示の例）、外縁が階段状になるような非連続的（段階的）なものであってもよい。幅広部５７ａと第１幅狭部５７ｂ（又は第２幅狭部５７ｃ）との境界において、長さ方向の位置に対する幅の変化も、連続的なものであってもよいし（図示の例）、非連続的なものであってもよい。長さ方向の位置に対する幅の変化が連続的なものである場合において、ＵＵ配線５７又はその各部における外縁は、直線状であってもよいし、曲線状であってもよい。換言すれば、幅の変化率は、長さ方向の位置によらずに一定であってもよいし、長さ方向の位置に対して変化してもよい。図９（及び後述する図１０）では、最大幅ｗ０等を把握しやすいように、外縁は、直線で示されている。

なお、幅広部５７ａ、第１幅狭部５７ｂ及び第２幅狭部５７ｃの長さ方向（Ｄ２方向）における範囲（別の観点ではこれらの部位同士の境界）は、適宜に定義されてよい。例えば、第１幅狭部５７ｂ（又は第２幅狭部５７ｃ）の最大幅が幅広部５７ａの最小幅よりも小さいという関係が成り立つように、第１幅狭部５７ｂ（又は第２幅狭部５７ｃ）と幅広部５７ａとの境界が定義されてよい。別の観点では、第１幅狭部５７ｂ（又は第２幅狭部５７ｃ）の幅よりも幅広部５７ａの幅よりも狭いという場合、第１幅狭部５７ｂ（又は第２幅狭部５７ｃ）の最大幅が幅広部５７ａの最小幅よりも小さいことを意味すると捉えられてよい。図示の例では、幅広部５７ａは、ＵＵ配線５７の最大幅ｗ０の位置を含み、Ｄ２方向の一方側の最小幅ｗ１の位置及び他方側の最小幅ｗ２の位置を含まない限り、任意の範囲で幅広部５７ａが定義されてよい。

幅広部５７ａがＵＵ配線５７の長さ方向の中央（線ＣＬ参照）に位置しているという場合、例えば、上記のように定義した幅広部５７ａのいずれかの部位が中央（線ＣＬ）に位置することとされてよい。換言すれば、幅広部５７ａは、そのうちの最大幅ｗ０の部位又は長さ方向（Ｄ２方向）の中央の部位が、ＵＵ配線５７の中央（線ＣＬ）に位置している必要は無い。幅広部５７ａの最大幅ｗ０の部位は、適宜な位置に配置されてよいが、例えば、最大幅ｗ０の部位は、ＵＵ配線５７を長さ方向に３等分したときの中央の範囲に位置してよい。

幅広部５７ａの幅と、第１幅狭部５７ｂ（又は第２幅狭部５７ｃ）の幅との差又は比率は適宜に設定されてよい。例えば、幅広部５７ａの最大幅ｗ０と第１幅狭部５７ｂの最小幅ｗ１（又は最小幅ｗ２）との差は、最大幅ｗ０の１％以上、２％以上又は３％以上とされてよい。また、上記差は、最大幅ｗ０の５０％以下、３０％以下又は１０％以下とされてよい。上記の下限値の例と上限値の例とは適宜に組み合わされてよい。

第１幅狭部５７ｂ及び第２幅狭部５７ｃ（並びにその周辺部位）は、幅広部５７ａ（又はその中央若しくは最大幅ｗ０の部位）に対して、非対称の形状であってもよいし（図示の例）、線対称の形状であってもよい。前者に関して、以下に一例を述べる。

例えば、第１幅狭部５７ｂの最小幅ｗ１と、第２幅狭部５７ｃの最小幅ｗ２とは、互いに異なっていてよい。図示の例では、最小幅ｗ２が最小幅ｗ１よりも小さくされている。最小幅ｗ１と最小幅ｗ２との差又は比率は適宜に設定されてよい。例えば、両者の差は、幅広部５７ａの最大幅ｗ０の０．５％以上又は１％以上又は２以上とされてよい。また、当該差は、最大幅ｗ０の３０％以下、１０％以下又は５％以下とされてよい。上記の下限値の例と上限値の例とは適宜に組み合わされてよい。

また、例えば、上記の最小幅の相違に代えて、又は加えて、第１幅狭部５７ｂの最小幅ｗ１の位置から幅広部５７ａの最大幅ｗ０の位置までの長さＬ１と、第２幅狭部５７ｃの最小幅ｗ２の位置から幅広部５７ａの最大幅ｗ０の位置までの長さＬ２とは異なっていてよい。この場合において、ｗ２＜ｗ１かつＬ２＜Ｌ１であってもよいし（図示の例）、ｗ２＜ｗ１かつＬ２＞Ｌ１であってもよい。また、長さＬ１と長さＬ２との差又は比率は適宜に設定されてよい。例えば、両者の差は、ＵＵ配線５７の全長（Ｌ１＋Ｌ２）の５％以上又は１０％以上とされてよい。また、両者の差は、ＵＵ配線５７の全長の７０％以下又は４０％以下とされてよい。

また、例えば、上記の最小幅の相違及び／又は長さの相違に代えて、又は加えて、第１幅狭部５７ｂの最小幅ｗ１の位置から幅広部５７ａの最大幅ｗ０の位置までの部分における幅の変化率と、第２幅狭部５７ｃの最小幅ｗ２の位置から幅広部５７ａの最大幅ｗ０の位置まで部分における幅の変化率とが異なっていてよい。幅の変化率は、例えば、その平均値が比較されてよい。すなわち、（ｗ０－ｗ１）／Ｌ１と、（ｗ０－ｗ２）／Ｌ２とが比較されてよい。この場合において、変化率が大きい側は、相対的に小さい最小幅ｗ２の側であってもよいし（図示の例）、逆であってもよい。同様に、変化率が大きい側は、相対的に短い長さＬ２の側であってもよいし（図示の例）、逆であってもよい。変化率の差又は比率は適宜に設定されてよい。

以上のＵＵ配線５７の形状は、ＵＵ配線５７に代えて、又は加えて、ＤＤ配線４７に適用されてもよい。すなわち、上記の説明は、ＵＵ配線５７をＤＤ配線４７に置換し、ＵＵ個別電極５５をＤＤ個別電極４５に置換して、ＤＤ配線４７に援用されてよい。

（一端のみが個別電極間につながる配線の形状の例）
図１０は、Ｕ導体層３９の一部を拡大して示す平面図である。

配線がその長さ方向の中央に幅広部を有している構成は、両端が個別電極につながっている配線（本実施形態ではＵＵ配線５７及びＤＤ配線４７）だけでなく、一端のみが個別電極につながっている配線（本実施形態ではＵ配線５３）に適用されてもよい。そして、図１０は、長さ方向の中央部の幅広部がＵ配線５３に適用された例を示している。

具体的には、Ｕ配線５３は、幅広部５３ａと、幅広部５３ａよりも幅が狭い第１幅狭部５３ｂ及び第２幅狭部５３ｃとを有している。幅広部５３ａは、Ｕ配線５３の長さ方向の中央に位置している（中央に位置する部分を含んでいる。）。第１幅狭部５３ｂは、幅広部５３ａとＵ個別電極５１とをつないでいる。第２幅狭部５３ｃは、幅広部５７ａに対してＵ個別電極５１とは反対側に位置している。

既述のＵＵ配線５７、幅広部５７ａ、第１幅狭部５７ｂ及び第２幅狭部５７ｃについての説明は、適宜にＵ配線５３、幅広部５３ａ、第１幅狭部５３ｂ及び第２幅狭部５３ｃに適用されてよい。例えば、Ｕ配線５３は、上記の３つの部位以外の部位を有していてもよいし、幅の変化態様（例えば、幅の変化は連続的か否か、幅の変化率は一定か否か、長さ方向において対称か否か等）も任意である。

ＵＵ配線５７の説明において、第１幅狭部５７ｂ及び第２幅狭部５７ｃのうち一方のみが設けられてよいことについて述べた。Ｕ配線５３においては、第１幅狭部５７ｂ及び第２幅狭部５７ｃのうち第１幅狭部５３ｂのみが設けられてもよい。別の観点では、例えば、幅広部５３ａは、Ｕ配線５３の長さ方向の中央からＵ個別電極５１とは反対側の端部に亘っていてもよい。

Ｕ配線５３は、既述のように、Ｕ個別電極５１とは反対側の端部に拡幅部を有していてもよい。この拡幅部は、第２幅狭部５７ｃを挟んで幅広部５３ａから離れていてもよいし、幅広部５３ａと直接につながっており、幅広部５３ａよりも幅が広くされていてもよい。

（ヘッドにおけるその他の構成）
特に図示しないが、ヘッド２は、ヘッド本体７以外に、筐体、ドライバＩＣ、配線基板などを含んでいてよい。ドライバＩＣは、例えば、制御部８８からの制御信号に基づいて、不図示のＦＰＣを介してヘッド本体７に電力を供給する。例えば、制御部８８は、共通電極４９、ＤＤ個別電極４５及びＵＵ個別電極５５に基準電位が付与され、基準電位に対して電位が変動する駆動信号が複数のＵ個別電極５１に個別に入力されるようにドライバＩＣ（ヘッド２）を制御する。また、ヘッド本体７は、流路部材１１に液体を供給する他の流路部材を含んでいてよい。そのような他の流路部材は、他の部材を支持したり、ヘッド２のフレーム７０に対する固定に寄与したりしてもよい。

（圧電アクチュエータの製造方法）
圧電アクチュエータ１３の製造方法は、公知の方法を適宜に応用したものとされてよい。例えば、４つの絶縁層（２９、３３、３７及び４１）となる４つのセラミックグリーンシートを準備する。このセラミックグリーンシートの上面又は下面に、４つの導体層（３１、３５、３９及び４３）となる導電ペーストを塗布する。また、セラミックグリーンシートに貫通孔を形成し、貫通孔に貫通導体（６１及び６５）となる導電ペーストを配置する。そして、４つのセラミックグリーンシートを積層して焼成する。

上記の製造方法の例は、適宜に変更されてよい。例えば、ＵＵ導体層４３は、絶縁層（２９、３３、３７及び４１）となるセラミックグリーンシート及び他の導体（３１、３５、３９、６１及び６５）となる導電ペーストを焼成した後に、Ｕ圧電体層４１の上面に蒸着又はスパッタリングによって形成されてもよい。

各種の配線の幅の変化は、適宜に実現されてよい。例えば、導電ペーストをスクリーン印刷によって塗布する場合において、配線に対応するマスクのパターンの幅が変化していることによって配線の幅の変化が実現されてよい。また、例えば、配線に対応するマスクのパターンの幅は一定としておき、塗布後の導電ペーストの流動性を利用して、幅の変化が実現されてもよい。具体的には、配線に対応する導電ペーストの一部が個別電極に対応する導電ペーストに引き寄せられて、配線の幅の変化が実現されてもよい。

以上のとおり、本実施形態では、圧電アクチュエータ１３は、圧電体層（圧電体層３７及び／又はＵ圧電体層４１）と、圧電体層（３７及び／又は４１）に直接的又は間接的に重なっている導体層（ＤＤ導体層３１、Ｕ導体層３９又はＵＵ導体層４３。以下、主としてＵＵ導体層４３を例に取る。）とを有している。ＵＵ導体層４３は、平面視において、互いに間隔を空けている複数のＵＵ個別電極５５と、複数のＵＵ個別電極５５から延びている複数のＵＵ配線５７と、を含んでいる。各ＵＵ配線５７は、幅広部５７ａと、第１幅狭部５７ｂとを有している。幅広部５７ａは、各ＵＵ配線５７の長さ方向（Ｄ２方向）の中央に位置する部分を含んでいる。第１幅狭部５７ｂは、幅広部５７ａと、各ＵＵ配線５７がつながっているＵＵ個別電極５５との間に介在しており（幅広部５７ａとＵＵ個別電極５５とを直接又は間接につないでおり）、幅広部５７ａ（そのいずれの部位）よりも幅が狭い。

従って、例えば、ＵＵ配線５７の幅が長さ方向において変化していることによって、ＵＵ配線５７（及びその上下方向及び／又は平面方向の周囲部分）の共振モードの縮退を解いて、ＵＵ配線５７が特定の周波数で大きく振動する蓋然性を低減することができる。その結果、例えば、圧電素子２７における不要な振動が低減され、圧電素子２７に電圧を印加したときの圧電素子２７の撓み量の精度が向上する。

また、本実施形態では、ＵＵ配線５７は、隣り合うＵＵ個別電極５５のうちの一方のＵＵ個別電極５５から他方のＵＵ個別電極５５へ延びている。ＵＵ配線５７は、上記のように第１幅狭部５７ｂを有しているとともに、第２幅狭部５７ｃを有している。第１幅狭部５７ｂは、幅広部５７ａと上記一方のＵＵ個別電極５５との間に介在している。第２幅狭部５７ｃは、幅広部５７ａと前記他方のＵＵ個別電極５５との間に介在しており、幅広部５７ａよりも幅が狭い。

この場合、ＵＵ配線５７には、両端側から圧電素子２７の振動が伝わる。換言すれば、不要な共振を生じやすい。このようなＵＵ配線５７において、幅が長さ方向において変化していることによって、上記の不要振動を低減する効果が有効に奏される。また、幅広部５７ａの両側に第１幅狭部５７ｂ及び第２幅狭部５７ｃが位置しているということは、幅の変化に富んでいるということであり、この観点においても、上記の不要振動を低減する効果が有効に奏される。

また、本実施形態では、第１幅狭部５７ｂの最小幅ｗ１と、第２幅狭部５７ｃの最小幅ｗ２とが異なっている。

この場合、例えば、幅広部５７ａの両側における幅の対称性が崩れるから、共振モードの縮退が解かれる効果が向上する。すなわち、不要振動が低減される効果が向上する。また、一方のＵＵ個別電極５５からＵＵ配線５７への振動の伝わり方と、他方のＵＵ個別電極５５からＵＵ配線５７への振動の伝わり方とが相違することになるから、この観点においても不要振動が低減される効果が向上する。

また、本実施形態では、第１幅狭部５７ｂの最小幅ｗ１の位置から幅広部５７ａの最大幅ｗ０の位置までの長さＬ１と、第２幅狭部５７ｃの最小幅ｗ２の位置から幅広部５７ａの最大幅ｗ０の位置までの長さＬ２とが異なっている。

この場合、例えば、幅広部５７ａの両側における長さの対称性が崩れるから、共振モードの縮退が解かれる効果が向上する。また、例えば、最小幅ｗ１と最小幅ｗ２とを異ならせる態様との組み合わせによって、縮退が解かれる効果をさらに向上させることができる。また、別の観点では、長さによって非対称性を実現することから、最小幅ｗ１と最小幅ｗ２との差については、低減されたり、無くしたりされてもよい。その結果、例えば、最小幅ｗ１及び最小幅ｗ２の一方（本実施形態ではｗ２）を相対的に小さくする必要性を低減し、ＵＵ配線５７の電気抵抗を低減できる。

また、本実施形態では、第１幅狭部５７ｂの最小幅ｗ１の位置から幅広部５７ａの最大幅ｗ０の位置までの部分における幅の変化率（（ｗ０－ｗ１）／Ｌ１）と、第２幅狭部５７ｃの最小幅ｗ２の位置から幅広部５７ａの最大幅ｗ０の位置まで部分における幅の変化率（（ｗ０－ｗ２）／Ｌ２）とが異なっている。

この場合、例えば、幅広部５７ａの両側における幅の変化率の対称性が崩れるから、共振モードの縮退が解かれる効果が向上する。また、幅広部５７ａの両側の幅の変化率が異なるということは、別の観点では、最大幅ｗ０から最小幅ｗ１までの部分の一部又は全部の形状と、最大幅ｗ０から最小幅ｗ２まで部分の形状とが合同でないということである。この観点からも、対称性が崩れ、共振モードの縮退が解かれる効果が向上する。

また、本実施形態では、複数のＵＵ個別電極５５それぞれの形状は、平面視において、円形Ｃ１の領域と、円形Ｃ１の領域から所定方向の両側へ突出している領域Ｒ２とを足し合わせた形状である。

この場合、例えば、ＵＵ個別電極５５の形状が円形Ｃ１である態様（当該態様も本開示に係る技術に含まれてよい。）に比較して、ＵＵ個別電極５５の面積を大きくすることができる。一方で、複数のＵＵ個別電極５５の短手方向における密度をＵＵ個別電極５５の形状が円形Ｃである態様と同等にすることができる。

また、本実施形態に係る液体吐出ヘッド２は、本実施形態に係る圧電アクチュエータ１３と、流路部材１１とを有している。流路部材１１は、圧電アクチュエータ１３に重なっている加圧面１１ｂと、その背面の吐出面１１ａとを有している。また、流路部材１１は、複数の加圧室２１と、複数の吐出孔３とを有している。複数の加圧室２１は、加圧面１１ｂの平面透視において複数の圧電素子２７に個別に重なっている。複数の吐出孔３は、複数の加圧室２１に個別に通じており、吐出面１１ａにて開口している。

従って、例えば、上述したように圧電アクチュエータ１３の不要振動が低減されることによって、加圧室２１に付与される圧力が安定する。ひいては、吐出孔３から吐出される液滴の精度が向上する。

以上の実施形態において、圧電体層３７及びＵ圧電体層４１のそれぞれ又は組み合わせは、圧電体層の一例である。ＵＵ導体層４３、Ｕ導体層３９及びＤＤ導体層３１はそれぞれ導体層の一例である。ＵＵ個別電極５５、Ｕ個別電極５１及びＤＤ個別電極４５はそれぞれ個別電極の一例である。ＵＵ配線５７、Ｕ配線５３及びＤＤ配線４７はそれぞれ配線の一例である。

本開示に係る技術は、上述した実施形態に限定されず、種々の態様で実施されてよい。

例えば、圧電アクチュエータは、超音波を生成する装置などの液体吐出ヘッド以外の用途に用いられてもよい。また、圧電アクチュエータは、Ｕ圧電体層４１、ＵＵ導体層４３、ＤＤ導体層３１及びＤＤ絶縁層２９を有さない一般的なものであってもよい。また、実施形態の圧電アクチュエータにおいて、ＵＵ導体層４３及びＵ圧電体層４１の組み合わせを設けないようにしたり、ＤＤ絶縁層２９を設けないようにしてもよい。実施形態では、圧電アクチュエータ１３は、第１面１３ａ側に圧力を付与する用途で用いられたが、第２面１３ｂ側に圧力を付与する用途で用いられてもよい。

１…プリンタ（記録装置）、２…液体吐出ヘッド、７…ヘッド本体（液体吐出ヘッド）、１３…圧電アクチュエータ、３７…圧電体層、４３…ＵＵ導体層（導体層）、５５…ＵＵ個別電極（個別電極）、５７…ＵＵ配線（配線）、５７ａ…幅広部、５７ｂ…第１幅狭部。

Claims (7)

1. 圧電体層と、
   前記圧電体層に直接的又は間接的に重なっている導体層と、
   を有しており、
   前記導体層は、平面視において、
   互いに間隔を空けている複数の個別電極と、
   前記複数の個別電極から延びている複数の配線と、を含んでおり、
   前記複数の配線に含まれる各配線は、
   隣り合う前記個別電極のうちの一方の個別電極から他方の個別電極へ延びており、
   前記各配線の長さ方向の中央に位置する部分を含んでいる幅広部と、
   前記幅広部と前記一方の個別電極との間に介在しており、前記幅広部よりも幅が狭い第１幅狭部と、
   前記幅広部と前記他方の個別電極との間に介在しており、前記幅広部よりも幅が狭い第２幅狭部と、を有している
   圧電アクチュエータ。
2. 前記第１幅狭部の最小幅と、前記第２幅狭部の最小幅とが異なっている
   請求項１に記載の圧電アクチュエータ。
3. 前記第１幅狭部の最小幅の位置から前記幅広部の最大幅の位置までの長さと、前記第２幅狭部の最小幅の位置から前記幅広部の最大幅の位置までの長さとが異なっている
   請求項１又は２に記載の圧電アクチュエータ。
4. 前記第１幅狭部の最小幅の位置から前記幅広部の最大幅の位置までの部分における幅の変化率と、前記第２幅狭部の最小幅の位置から前記幅広部の最大幅の位置までの部分における幅の変化率とが異なっている
   請求項１～３のいずれか１項に記載の圧電アクチュエータ。
5. 前記複数の個別電極それぞれの形状は、平面視において、円形の領域と、前記円形の領域から所定方向の両側へ突出している領域とを足し合わせた形状である
   請求項１～４のいずれか１項に記載の圧電アクチュエータ。
6. 請求項１～５のいずれか１項に記載の圧電アクチュエータと、
   前記圧電アクチュエータに重なっている加圧面と、その背面の吐出面とを有している流路部材と、
   を有しており、
   前記流路部材は、
   前記加圧面側に位置しており、前記加圧面の平面透視において前記複数の個別電極に個別に重なっている複数の加圧室と、
   前記複数の加圧室に個別に通じており、前記吐出面にて開口している複数の吐出孔と、を有している
   液体吐出ヘッド。
7. 請求項６に記載の液体吐出ヘッドと、
   前記液体吐出ヘッドを制御する制御部と、
   を有している記録装置。

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