JP7341863B2 - 電子機器 - Google Patents

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Description

本発明は、電子機器に関するものである。
従来、配線基板としては、ウェアラブル端末等の電子機器に用いられる配線基板が知られている(例えば、特許文献1参照)。この種の配線基板は、屈曲した状態で使用される場合がある。このため、配線基板は、屈曲性を高めるために薄く形成されている。
特開2000-114728号公報
ところで、電子機器における薄型化が一層進み、配線基板に対する薄型化の要請はさらに高まっている。しかしながら、このような要請に応えるために、配線基板を薄くすると、配線基板の機械的強度が弱くなるため、製造途中の配線基板の取り扱いが困難になるという問題が生じる。例えば、配線基板の両面に電子部品を実装する際において、配線基板をハンドリング(搬送)することが困難である。
本発明の一観点によれば、互いに対向して設けられた一対の板状部と、前記一対の板状部の基端部同士を接続する接続部とを有し、前記一対の板状部と前記接続部とによって囲まれた収容部を有する支持体と、前記支持体の外周面に沿って取り付けられるとともに、前記各板状部の前記基端部とは反対側の先端部において前記収容部の内周面側に折り返されて前記各板状部の内周面に沿って取り付けられた配線基板と、前記一対の板状部のうちの一方の第1板状部の内周面側に取り付けられた部分における前記配線基板の第1面に実装された発光素子と、前記一対の板状部のうちの他方の第2板状部の内周面側に取り付けられた部分における前記配線基板の前記第1面に、前記発光素子と対向するように実装された受光素子と、を有する。
本発明の一観点によれば、製造工程におけるハンドリング性の低下を抑制できるという効果を奏する。
一実施形態の電子機器を示す概略斜視図である。 一実施形態の電子機器を示す概略断面図である。 一実施形態の電子機器を示す概略断面図である。 一実施形態の半導体装置を示す概略平面図である。 一実施形態の半導体装置を示す概略断面図(図4における5-5線断面図)である。 一実施形態の配線基板を示す概略平面図である。 一実施形態の電子機器の電気的構成を示すブロック図である。 (a),(b)は、一実施形態の半導体装置の製造方法を示す概略断面図である。 (a),(b)は、一実施形態の半導体装置の製造方法を示す概略断面図である。 (a),(b)は、一実施形態の半導体装置の製造方法を示す概略断面図である。 (a),(b)は、一実施形態の半導体装置の製造方法を示す概略断面図である。 一実施形態の半導体装置の製造方法を示す概略断面図である。 一実施形態の半導体装置の製造方法を示す概略断面図である。 一実施形態の半導体装置の製造方法を示す概略断面図である。 変更例の電子機器を示す概略断面図である。 変更例の電子機器を示す概略断面図である。 変更例の電子機器を示す概略断面図である。 変更例の配線基板を示す概略平面図である。 変更例の配線基板を示す概略平面図である。
以下、一実施形態について添付図面を参照して説明する。
なお、添付図面は、便宜上、特徴を分かりやすくするために特徴となる部分を拡大して示している場合があり、各構成要素の寸法比率などが各図面で異なる場合がある。また、断面図では、各部材の断面構造を分かりやすくするために、一部の部材のハッチングを梨地模様に代えて示し、一部の部材のハッチングを省略している。ここで、本明細書における「平行」、「直交」や「水平」は、厳密に平行、直交や水平の場合のみでなく、本実施形態における作用効果を奏する範囲内で概ね平行、直交や水平の場合も含まれる。
(電子機器10の構造)
図1に示すように、電子機器10は、例えば、支持体11と、支持体11に取り付けられた半導体装置12とを有している。半導体装置12は、例えば、支持体11に取り付けられた配線基板13と、配線基板13に実装された複数の電子部品14とを有している。電子機器10は、例えば、被検者の身体に装着され、その被検者の生体情報を取得するように構成された生体情報測定器(センサデバイス)である。電子機器10は、例えば、取得した生体情報を無線通信によって送信するように構成されている。生体情報としては、例えば、血中酸素飽和度や脈拍などが挙げられる。
ここで、各図面中のXYZ軸におけるX軸は電子機器10の前後方向を表し、Y軸はX軸と直交する電子機器10の幅方向を表し、Z軸はXY平面に対して直交する電子機器10の高さ方向を表している。以下の説明では、便宜上、X軸に沿って延びる方向を前後方向Xと称し、Y軸に沿って延びる方向を幅方向Yと称し、Z軸に沿って延びる方向を高さ方向Zと称する。また、以下の説明では、図1におけるX矢印方向を前方、Z矢印方向を上方とする。本明細書において、「平面視」とは、対象物を高さ方向Zから視ることを言い、「平面形状」とは、対象物を高さ方向Zから視た形状のことを言う。
(支持体11の構造)
まず、支持体11について説明する。
支持体11は、例えば、配線基板13よりも機械的強度(剛性や硬度等)が高く設定されている。支持体11は、例えば、配線基板13を支持する機能を有している。支持体11は、例えば、弾性を有している。支持体11の材料としては、例えば、誘電率が既知の材料であることが好ましい。支持体11の材料としては、例えば、誘電率が1~5程度の誘電体材料であることが好ましい。支持体11の材料としては、例えば、アクリル樹脂、ポリカーボネートやABS樹脂などを用いることができる。支持体11は、例えば、遮光性を有している。支持体11の材料としては、例えば、黒色等に着色された樹脂材料を用いることができる。
支持体11は、例えば、U字状に形成されている。支持体11は、例えば、U字状の断面を有している。支持体11は、例えば、幅方向Yから視た側面形状がU字状に形成されている。支持体11は、例えば、不連続の環状構造に形成されている。
支持体11は、例えば、互いに対向して設けられた一対の板状部21,22と、両板状部21,22の一端部同士を接続する接続部23とを有している。支持体11は、例えば、一対の板状部21,22の間に、互いに対向して設けられた分岐部24,25を有している。支持体11は、例えば、板状部21,22と接続部23と分岐部24,25とが一体に形成された単一部品である。
ここで、本明細書における「対向」とは、面同士又は部材同士が互いに正面の位置にあることを指し、互いが完全に正面の位置にある場合だけでなく、互いが部分的に正面の位置にある場合を含む。また、本明細書における「対向」とは、2つの部分の間に、2つの部分とは別の部材が介在している場合と、2つの部分の間に何も介在していない場合の両方を含む。
(板状部21の構造)
板状部21は、例えば、平板状に形成されている。板状部21は、例えば、高さ方向Zに所定の厚みを有し、前後方向X及び幅方向Yに広がるように形成されている。板状部21は、例えば、接続部23の高さ方向Zの一端部(ここでは、上端部)から前後方向Xに延びるように形成されている。板状部21は、例えば、前後方向Xに沿って直線状に延びるように形成されている。板状部21は、例えば、接続部23の上端部から前後方向Xに沿って水平に延びるように形成されている。板状部21は、例えば、接続部23と接続された基端部を固定端とし、基端部とは前後方向Xにおいて反対側の先端部を自由端とする片持ち状に形成されている。板状部21は、例えば、弾性変形による高さ方向Zへの撓みが可能に構成されている。
(板状部22の構造)
板状部22は、例えば、平板状に形成されている。板状部22は、例えば、高さ方向Zに所定の厚みを有し、前後方向X及び幅方向Yに広がるように形成されている。板状部22は、例えば、接続部23の高さ方向Zの一端部(ここでは、下端部)から前後方向Xに延びるように形成されている。板状部22は、例えば、前後方向Xに沿って直線状に延びるように形成されている。板状部22は、例えば、接続部23の下端部から前後方向Xに沿って水平に延びるように形成されている。板状部22は、例えば、板状部21と平行に延びるように形成されている。板状部22は、例えば、板状部21と高さ方向Zに対向するように設けられている。板状部22は、例えば、接続部23と接続された基端部を固定端とし、基端部とは前後方向Xにおいて反対側の先端部を自由端とする片持ち状に形成されている。板状部22は、例えば、弾性変形による高さ方向Zへの撓みが可能に構成されている。
(接続部23の構造)
図2に示すように、接続部23は、例えば、板状部21の基端部と板状部22の基端部とを接続するように形成されている。接続部23は、例えば、前後方向Xに所定の厚みを有し、幅方向Y及び高さ方向Zに広がるように形成されている。接続部23は、例えば、円弧状や楕円弧状に湾曲するように形成されている。接続部23は、例えば、外周面及び内周面が円弧状に湾曲した湾曲面に形成されている。
支持体11では、例えば、板状部21の内周面(ここでは、下面)と接続部23の内周面と板状部22の内周面(ここでは、上面)とによって囲まれた空間によって、測定対象物T1が挿入される収容部26が形成されている。板状部21の内周面と板状部22の内周面との間の間隔は、例えば、測定対象物T1の厚みに応じて設定されている。ここで、測定対象物T1は、例えば、人体(生体組織)である。人体としては、例えば、指や耳などが挙げられる。
支持体11は、例えば、板状部21と板状部22との間の間隔が広がるように弾性変形可能に構成されている。すなわち、支持体11は、収容部26の空間が広がるように弾性変形可能に構成されている。例えば、板状部21と板状部22との間の間隔よりも厚い測定対象物T1が収容部26に挿入されると、板状部21と板状部22との間隔が一時的に広がるように弾性変形される。
(分岐部24の構造)
分岐部24は、収容部26内に設けられている。分岐部24は、例えば、接続部23の上端部に接続された基部24Aと、基部24Aから前後方向Xに延びるように形成されたプレート部24Bとを有している。
基部24Aは、例えば、板状部21と共に、接続部23の上端部に接続されている。基部24Aは、例えば、板状部21の基端部と連続して一体に形成されている。基部24Aは、例えば、板状部21から下方に広がるように形成されている。基部24Aは、例えば、板状部21の内周面から収容部26の内側に突出するように形成されている。基部24Aは、例えば、接続部23からプレート部24Bに向かうに連れて高さ方向Zの厚みが厚くなるように形成されている。
プレート部24Bは、例えば、平板状に形成されている。プレート部24Bは、例えば、高さ方向Zに所定の厚みを有し、前後方向X及び幅方向Yに広がるように形成されている。プレート部24Bは、例えば、板状部21と並んで延びるように形成されている。プレート部24Bは、例えば、基部24Aの前後方向Xの一端部(ここでは、前端部)から前後方向Xに延びるように形成されている。プレート部24Bは、例えば、基部24Aの前端部よりも薄く形成されている。プレート部24Bは、例えば、基部24Aの高さ方向Zの一端部(ここでは、下端部)から前後方向Xに延びるように形成されている。プレート部24Bは、例えば、高さ方向Zにおいて板状部21と所定の間隔を空けて設けられている。プレート部24Bは、例えば、板状部21と高さ方向Zに対向するように形成されている。板状部21とプレート部24Bとは、例えば、二股に分かれるように形成されている。プレート部24Bは、例えば、前後方向Xに沿って直線状に延びるように形成されている。プレート部24Bは、例えば、基部24Aの前端部における下端部から前後方向Xに沿って水平に延びるように形成されている。プレート部24Bは、例えば、板状部21と平行に延びるように形成されている。プレート部24Bは、例えば、基部24Aと接続された基端部を固定端とし、基端部とは前後方向Xにおいて反対側の先端部を自由端とする片持ち状に形成されている。プレート部24Bは、例えば、板状部21と板状部22とが並ぶ方向(ここでは、高さ方向Z)に弾性変形可能に構成されている。プレート部24Bは、例えば、弾性変形による高さ方向Zへの撓みが可能に構成されている。
プレート部24Bは、例えば、プレート部24Bを板厚方向(ここでは、高さ方向Z)に貫通する貫通孔24Xを有している。貫通孔24Xは、例えば、プレート部24Bの前後方向Xの中間部に設けられている。貫通孔24Xの平面形状は、例えば、矩形状に形成されている。
(分岐部25の構造)
分岐部25は、収容部26内に設けられている。分岐部25は、例えば、接続部23の下端部に接続された基部25Aと、基部25Aから前後方向Xに延びるように形成されたプレート部25Bとを有している。
基部25Aは、例えば、板状部22と共に、接続部23の下端部に接続されている。基部25Aは、例えば、板状部22の基端部と連続して一体に形成されている。基部25Aは、例えば、板状部22から上方に広がるように形成されている。基部25Aは、例えば、板状部22の内周面から収容部26の内側に突出するように形成されている。基部25Aは、例えば、接続部23からプレート部25Bに向かうに連れて高さ方向Zの厚みが厚くなるように形成されている。
プレート部25Bは、例えば、平板状に形成されている。プレート部25Bは、例えば、高さ方向Zに所定の厚みを有し、前後方向X及び幅方向Yに広がるように形成されている。プレート部25Bは、例えば、板状部22と並んで延びるように形成されている。プレート部25Bは、例えば、基部25Aの前後方向Xの一端部(ここでは、前端部)から前後方向Xに延びるように形成されている。プレート部25Bは、例えば、基部25Aの前端部よりも薄く形成されている。プレート部25Bは、例えば、基部25Aの高さ方向Zの一端部(ここでは、上端部)から前後方向Xに延びるように形成されている。プレート部25Bは、例えば、高さ方向Zにおいて板状部22と所定の間隔を空けて設けられている。プレート部25Bは、例えば、板状部22と高さ方向Zに対向するように形成されている。板状部22とプレート部25Bとは、例えば、二股に分かれるように形成されている。プレート部25Bは、例えば、前後方向Xに沿って直線状に延びるように形成されている。プレート部25Bは、例えば、基部25Aの前端部における上端部から前後方向Xに沿って水平に延びるように形成されている。プレート部25Bは、例えば、板状部22と平行に延びるように形成されている。プレート部25Bは、例えば、高さ方向Zにおいてプレート部24Bと所定の間隔を空けて設けられている。プレート部25Bは、例えば、プレート部24Bと高さ方向Zに対向するように形成されている。プレート部25Bは、例えば、基部25Aと接続された基端部を固定端とし、基端部とは前後方向Xにおいて反対側の先端部を自由端とする片持ち状に形成されている。プレート部25Bは、例えば、板状部21と板状部22とが並ぶ方向(ここでは、高さ方向Z)に弾性変形可能に構成されている。プレート部25Bは、例えば、弾性変形による高さ方向Zへの撓みが可能に構成されている。
プレート部25Bは、例えば、プレート部25Bを板厚方向(ここでは、高さ方向Z)に貫通する貫通孔25Xを有している。貫通孔25Xは、例えば、プレート部25Bの前後方向Xの中間部に設けられている。貫通孔25Xは、例えば、平面視において貫通孔24Xと重なるように設けられている。貫通孔25Xの平面形状は、例えば、矩形状に形成されている。貫通孔25Xの平面形状は、例えば、貫通孔24Xの平面形状よりも大きく形成されている。
支持体11では、板状部21の内周面と基部24Aの前端面とプレート部24Bの上面とによって囲まれた空間によって、配線基板13の一部が収容される収容部27が形成されている。板状部21の内周面とプレート部24Bの上面との間の間隔は、例えば、2mm~3mm程度に設定することができる。支持体11では、板状部22の内周面と基部25Aの前端面とプレート部25Bの下面とによって囲まれた空間によって、配線基板13の一部が収容される収容部28が形成されている。板状部22の内周面とプレート部25Bの下面との間の間隔は、例えば、2mm~3mm程度に設定することができる。
図3に示すように、支持体11は、例えば、プレート部24Bとプレート部25Bとの間の間隔が広がるように弾性変形可能に構成されている。例えば、プレート部24Bとプレート部25Bとの間の間隔よりも厚い測定対象物T1が収容部26に挿入されると、プレート部24Bとプレート部25Bとの間隔が一時的に広がるように弾性変形される。
(配線基板13の構造)
次に、配線基板13の構造について説明する。配線基板13は、可撓性を有するフレキシブル基板である。ここで、可撓性とは、曲げや撓みを持たせることができる性質をいう。
図2に示すように、配線基板13は、例えば、実装部13Aと、屈曲部13Bと、実装部13Cと、電子部品14が実装されていない非実装部13Dと、実装部13Eと、屈曲部13Fと、実装部13Gとを有している。配線基板13は、例えば、実装部13Aと屈曲部13Bと実装部13Cと非実装部13Dと実装部13Eと屈曲部13Fと実装部13Gとが連続して一体に形成されている。ここで、本明細書の配線基板13における「屈曲部」は、配線基板13が略180度折り返される部分のことである。
図4に示すように、実装部13Aと屈曲部13Bと実装部13Cと非実装部13Dと実装部13Eと屈曲部13Fと実装部13Gとは、配線基板13の長手方向(図4における左右方向)に沿ってこの順番で並んで設けられている。なお、図4は、支持体11に装着される前の半導体装置12、具体的には配線基板13を屈曲部13B,13Fで屈曲させる前の状態の半導体装置12の平面図を示している。また、図4は、配線基板13の第1面S1(図5における上面)側から視た半導体装置12を示す平面図である。
図5に示すように、配線基板13は、配線基板13の第1面S1(ここでは、上面)及び第2面S2(ここでは、下面)のうち第1面S1のみに電子部品14が実装されている。すなわち、配線基板13の第2面S2には、電子部品14が実装されていない。
図4に示すように、電子部品14は、例えば、実装部13Aに実装された発光素子14Aと、実装部13Cに実装された受光素子14Bとを有している。発光素子14Aは、光電素子であり、電気信号を光信号に変換する素子である。発光素子14Aとしては、例えば、発光ダイオード(Light Emitting Diode:LED)を用いることができる。発光素子14Aは、例えば、異なる2つの波長を発生するLEDから構成されている。発光素子14Aは、例えば、赤色領域の波長の赤色光を発生する赤色LEDと、赤外線領域の波長の赤外光を発生する赤外LEDとから構成されている。受光素子14Bは、光電素子であり、光信号を電気信号に変換する素子である。受光素子14Bは、発光素子14Aから発せられた光を受光し、その受光した光強度に応じた電気信号を生成する。受光素子14Bとしては、例えば、フォトダイオード(Photo Diode:PD)やシリコンフォトダイオードを用いることができる。受光素子14Bとしては、例えば、赤色領域の波長及び赤外線領域の波長に対して光感応性を有するPDを用いることができる。
電子部品14は、例えば、実装部13Cに実装されたアンテナ14Cと、実装部13Cに実装された電子部品14D,14Eと、実装部13Eに実装された電子部品14Fとを有している。アンテナ14Cは、例えば、無線通信に用いられる。アンテナ14Cは、例えば、生体情報等を含む送信情報を無線通信により外部の機器に送信する。電子部品14D,14Fは、例えば、発光素子14A及び受光素子14B等を制御する制御部50(図7参照)を含むものを用いることができる。電子部品14Fは、例えば、受光素子14Bから出力されるアナログ信号をデジタル信号に変換するA/D変換回路52(図7参照)を含むものである。電子部品14Eは、例えば、生体情報等を含む送信情報をアンテナ14Cに送信する通信部55(図7参照)を含むものを用いることができる。電子部品14D,14E,14Fは、例えば、1つのICチップ又は複数のICチップを含むモジュールである。
本実施形態の配線基板13では、配線基板13の長手方向の一端部に発光素子14Aの実装された実装部13Aが設けられ、配線基板13の長手方向の他端部に受光素子14Bの実装された実装部13Gが設けられている。また、本実施形態の配線基板13では、受光素子14Bの近傍に位置する実装部13Eに、受光素子14Bから出力されたアナログ信号をデジタル信号に変換するA/D変換回路52(図7参照)を含む電子部品14Fが実装されている。
屈曲部13B,13Fは、例えば、あらかじめ所定の方向に屈曲させることを想定して設計された部分である。屈曲部13Bは、例えば、実装部13Aと屈曲部13Bと実装部13Cとの並設方向(図中矢印参照)に屈曲させることを想定して設計されている。屈曲部13Fは、例えば、実装部13Eと屈曲部13Fと実装部13Gとの並設方向(図中矢印参照)に屈曲させることを想定して設計されている。このような屈曲部13B,13Fを設けることにより、それら屈曲部13B,13Fにおいて配線基板13を容易に180度屈曲させることができる。なお、屈曲部13B,13Fの屈曲方向は、配線基板13の長手方向と一致している。また、屈曲部13B,13Fには、例えば、電子部品14が実装されていない。
非実装部13Dは、例えば、隣り合う実装部13C,13Eを接続するように形成されている。非実装部13Dは、例えば、配線基板13の長手方向の中央部に設けられている。非実装部13Dには、例えば、発光素子14A、受光素子14B、アンテナ14C及び電子部品14D,14E,14F等の電子部品14が実装されていない。
次に、図2に従って、支持体11に装着された状態の半導体装置12の構造について説明する。
配線基板13は、支持体11の表面に沿って支持体11に取り付けられている。配線基板13は、例えば、板状部21の外周面(ここでは、上面)と接続部23の外周面と板状部22の外周面(ここでは、下面)とに沿って支持体11に取り付けられている。配線基板13は、板状部21の先端部において、板状部21の外周面側から板状部21の内周面側に折り返すように形成されている。具体的には、配線基板13は、板状部21の先端部において、屈曲部13Bにより略180度折り曲げられて板状部21の外周面側から板状部21の内周面側に折り返されている。配線基板13は、板状部22の先端部において、板状部22の外周面側から板状部22の内周面側に折り返すように形成されている。具体的には、配線基板13は、板状部22の先端部において、屈曲部13Fにより略180度折り曲げられて板状部22の外周面側から板状部22の内周面側に折り返されている。
実装部13Aは、例えば、収容部27に挿入されている。実装部13Aは、板状部21の内周面を被覆するように設けられている。実装部13Aは、例えば、接着剤15により板状部21の内周面に接着されている。接着剤15は、例えば、平面視においてアンテナ14Cと重ならない位置に設けられている。接着剤15は、例えば、平面視において発光素子14Aの設置領域と重なる位置のみに設けられている。ここで、本明細書における「発光素子14Aの設置領域」は、発光素子14Aが実装された領域の平面形状を一回り大きくした領域のことである。
実装部13Aは、例えば、高さ方向Zにおいてプレート部24Bと所定の間隔を空けて設けられている。発光素子14Aは、実装部13Aの第1面S1、つまり実装部13Aのうち板状部22側に向く第1面S1に実装されている。発光素子14Aは、板状部22の内周面と対向するように設けられている。発光素子14Aは、例えば、平面視において、プレート部24Bの貫通孔24X及びプレート部25Bの貫通孔25Xと重なるように設けられている。発光素子14Aは、例えば、高さ方向Zにおいてプレート部24Bと所定の間隔を空けて設けられている。なお、実装部13Aの第2面S2は、板状部21の内周面と対向するように設けられている。
屈曲部13Bは、例えば、板状部21の先端部の先端面を被覆するように形成されている。屈曲部13Bは、例えば、円弧状に湾曲するように形成されている。屈曲部13Bは、例えば、U字状に折り返されるように形成されている。屈曲部13Bの第2面S2は、板状部21の先端部の先端面に対向するように設けられている。
実装部13Cは、例えば、板状部21の外周面を被覆するように形成されている。実装部13Cの第1面S1には、アンテナ14C及び電子部品14Dが実装されている。アンテナ14Cは、例えば、平面視においてプレート部24Bと重なる位置に設けられている。アンテナ14Cは、例えば、平面視において発光素子14Aと重ならない位置に設けられている。なお、実装部13Cの第2面S2は、板状部21の外周面と対向するように設けられている。
非実装部13Dは、例えば、接続部23の外周面を被覆するように形成されている。非実装部13Dは、例えば、接続部23の外周面に沿って湾曲するように形成されている。非実装部13Dの第2面S2は、接続部23の外周面に対向するように設けられている。
実装部13Eは、例えば、板状部22の外周面を被覆するように形成されている。実装部13Eの第1面S1には、電子部品14Fが実装されている。なお、実装部13Eの第2面S2は、板状部22の外周面に対向するように設けられている。
屈曲部13Fは、例えば、板状部22の先端部の先端面を被覆するように形成されている。屈曲部13Fは、例えば、円弧状に湾曲するように形成されている。屈曲部13Fは、例えば、U字状に折り返されるように形成されている。屈曲部13Fの第2面S2は、板状部22の先端部の先端面と対向するように設けられている。
実装部13Gは、例えば、収容部28に挿入されている。実装部13Gは、板状部22の内周面を被覆するように設けられている。実装部13Gは、例えば、接着剤16により板状部22の内周面に接着されている。接着剤16は、例えば、平面視において受光素子14Bの設置領域と重なる位置のみに設けられている。ここで、本明細書における「受光素子14Bの設置領域」は、受光素子14Bが実装された領域の平面形状を一回り大きくした領域のことである。
実装部13Gは、例えば、高さ方向Zにおいてプレート部25Bと所定の間隔を空けて設けられている。受光素子14Bは、実装部13Gの第1面S1、つまり実装部13Gのうち板状部21側に向く第1面S1に実装されている。受光素子14Bは、板状部21の内周面と対向するように設けられている。受光素子14Bは、発光素子14Aと対向するように設けられている。受光素子14Bは、例えば、平面視において、プレート部24Bの貫通孔24X及びプレート部25Bの貫通孔25Xと重なるように設けられている。受光素子14Bは、例えば、高さ方向Zにおいてプレート部25Bと所定の間隔を空けて設けられている。なお、実装部13Gの第2面S2は、板状部22の内周面と対向するように設けられている。
図3に示すように、電子機器10は、収容部26に測定対象物T1が挿入されるように、測定対象物T1に装着される。このとき、発光素子14Aと受光素子14Bとは、測定対象物T1を挟んで生体の透過光を検出できるように、互いに対向するように配置される。これにより、発光素子14Aから発せられる光を、測定対象物T1を経由した上で、受光素子14Bで受光させることができる。
(配線基板13の積層構造)
次に、図5に従って、配線基板13の積層構造について説明する。図5では、実装部13Aと屈曲部13Bと実装部13Cとにおける積層構造を図示している。図4に示した非実装部13D及び実装部13E,13Gは、実装部13A,13Cと同様の積層構造を有しているため、ここでは詳細な説明を省略する。また、図4に示した屈曲部13Fは、屈曲部13Bと同様の積層構造を有しているため、ここでは詳細な説明を省略する。
図5に示すように、配線基板13は、複数の配線層と複数の絶縁層とが交互に積層された構造を有する多層配線基板である。配線基板13は、例えば、絶縁層31と、配線層32と、絶縁層33と、配線層34と、絶縁層35と、配線層36と、ソルダーレジスト層37とが順次積層された構造を有している。このように、本実施形態の配線基板13は、一般的なビルドアップ法を用いて作製される配線基板、つまり支持基材としてのコア基板の両面又は片面に所要数のビルドアップ層を順次形成して積層したものとは異なり、支持基材を含まない所謂コアレス基板の形態を有している。
絶縁層31,33,35の材料としては、例えば、ヤング率が低く可撓性を有する絶縁性樹脂を用いることができる。絶縁層31,33,35の材料としては、例えば、エポキシ系樹脂やポリイミド系樹脂などの熱硬化性樹脂を主成分とする非感光性の絶縁性樹脂を用いることができる。また、絶縁層31,33,35の材料としては、例えば、フェノール系樹脂やポリイミド系樹脂などの感光性樹脂を主成分とする絶縁性樹脂を用いることもできる。絶縁層31,33,35は、例えば、シリカやアルミナ等のフィラーを含有していてもよい。なお、絶縁層31,33,35の厚さは、例えば、20~45μm程度とすることができる。
配線層32,34,36の材料としては、例えば、銅(Cu)や銅合金を用いることができる。配線層32,34,36の厚さは、例えば、10~20μm程度とすることができる。また、配線層32,34,36のラインアンドスペース(L/S)は、例えば、10μm/10μm~20μm/20μm程度とすることができる。ここで、ラインアンドスペース(L/S)は、配線の幅と、隣り合う配線同士の間隔とを示す。
絶縁層31は、配線基板13の最外層(ここでは、最下層)に形成されている。本実施形態の配線基板13では、絶縁層31の下面が配線基板13の第2面S2となる。配線層32は、絶縁層31の上面に形成されている。配線層32は、配線基板13の最下層の配線層である。配線層32は、信号線等を構成する配線パターン32Aと、電磁ノイズ等のノイズを遮蔽するシールドパターン32Bとを有している。シールドパターン32Bは、例えば、図示しないグランド電源と接続されるグランドパターンである。
絶縁層33は、配線層32を被覆するように絶縁層31の上面に形成されている。配線層34は、絶縁層33の上面に形成されている。配線層34は、絶縁層33を厚さ方向に貫通するビア配線V1を介して配線層32と電気的に接続されている。配線層34は、例えば、ビア配線V1と一体に形成されている。配線層34は、信号線等を構成する配線パターン34Aと、電磁ノイズ等のノイズを遮蔽するシールドパターン34Bとを有している。シールドパターン34Bは、例えば、図示しないグランド電源と接続されるグランドパターンである。
絶縁層35は、配線層34を被覆するように絶縁層33の上面に形成されている。配線層36は、絶縁層35の上面に形成されている。配線層36は、絶縁層35を厚さ方向に貫通するビア配線V2を介して配線層34と電気的に接続されている。配線層36は、例えば、ビア配線V2と一体に形成されている。配線層36は、信号線等を構成する配線パターン36Aと、電磁ノイズ等のノイズを遮蔽するシールドパターン36Bとを有している。シールドパターン36Bは、例えば、図示しないグランド電源と接続されるグランドパターンである。
ここで、ビア配線V1,V2は、例えば、図5において上側(ソルダーレジスト層37側)から下側(絶縁層31側)に向かうに連れて幅が小さくなるテーパ状に形成されている。例えば、ビア配線V1,V2は、下面が上面よりも小さくなる略逆円錐台形状に形成されている。ビア配線V1,V2の上面の直径は、例えば、60~70μm程度とすることができる。
ソルダーレジスト層37は、配線層36を被覆するように絶縁層35の上面に形成されている。ソルダーレジスト層37は、配線基板13の最外層(ここでは、最上層)に形成されている。本実施形態の配線基板13では、ソルダーレジスト層37の上面が配線基板13の第1面S1となる。ソルダーレジスト層37の材料としては、例えば、フェノール系樹脂やポリイミド系樹脂などの感光性樹脂を主成分とする絶縁性樹脂を用いることができる。ソルダーレジスト層37は、例えば、シリカやアルミナ等のフィラーを含有していてもよい。また、ソルダーレジスト層37の材料としては、感光性樹脂を主成分とする絶縁性樹脂に限らず、例えば、絶縁層31,33,35と同じ絶縁性樹脂を用いてもよい。なお、ソルダーレジスト層37は、必ずしも屈曲性に優れた材料を用いる必要はない。ソルダーレジスト層37の材料として屈曲性に優れた材料を用いない場合には、屈曲部13Bにソルダーレジスト層37を設けなくてもよい。屈曲部13Bにソルダーレジスト層37を設けない場合には、屈曲部13Bにおける配線層36を省略することができる。ソルダーレジスト層37の厚さは、例えば、15~35μm程度とすることができる。
ソルダーレジスト層37には、当該ソルダーレジスト層37を厚さ方向に貫通して配線層36の上面の一部を接続パッドP1として露出させるための複数の開口部37Xが形成されている。接続パッドP1は、例えば、電子部品14と電気的に接続されるパッドとして機能する。全ての電子部品14は、ソルダーレジスト層37の上面側、つまり配線基板13の第1面S1側に実装される。
開口部37Xから露出する配線層36上(つまり、接続パッドP1上)には、必要に応じて、表面処理層が形成されている。表面処理層の例としては、金(Au)層、ニッケル(Ni)層/Au層(Ni層とAu層をこの順番で積層した金属層)、Ni層/パラジウム(Pd)層/Au層(Ni層とPd層とAu層をこの順番で積層した金属層)などを挙げることができる。ここで、Au層はAu又はAu合金からなる金属層、Ni層はNi又はNi合金からなる金属層、Pd層はPd又はPd合金からなる金属層である。これらNi層、Au層、Pd層としては、例えば、無電解めっき法により形成された金属層(無電解めっき金属層)を用いることができる。また、表面処理層の他の例としては、接続パッドP1の表面に、OSP(Organic Solderability Preservative)処理などの酸化防止処理を施して形成されるOSP膜を用いることができる。OSP膜としては、アゾール化合物やイミダゾール化合物等の有機被膜を用いることができる。
本実施形態の配線基板13では、屈曲部13Bにおける配線層数が、実装部13A,13Cにおける配線層数よりも少なくなっている。詳述すると、配線層32は、実装部13A,13C及び屈曲部13Bのうち実装部13A,13Cのみに配置されている。すなわち、配線層32は、屈曲部13Bに配置されていない。また、配線層34,36は、実装部13A,13C及び屈曲部13Bの全てに配置されている。このため、本例の配線基板13では、屈曲部13Bにおける配線層数が配線層34,36の2層になっている一方で、実装部13A,13Cにおける配線層数が配線層32,34,36の3層になっている。このように屈曲部13Bにおける配線層数を実装部13A,13Cにおける配線層数よりも少なくすることにより、屈曲部13Bにおける配線層の形成密度を低減することができ、良好な屈曲性を確保することができる。
本例のビア配線V1,V2は、実装部13A,13C及び屈曲部13Bのうち実装部13A,13Cのみに配置されている。すなわち、本例の屈曲部13Bには、ビア配線V1,V2が配置されていない。このように、屈曲可能に構成された屈曲部13Bにはビア配線V1,V2を配置せず、屈曲させることが想定されていない実装部13A,13Cのみにビア配線V1,V2を配置するようにした。これにより、屈曲部13Bを180度折り返す際に、ビア配線V1,V2の剥離等に伴う導通不良の発生を好適に抑制できる。
一方、配線パターン32A,34A,36Aは、実装部13A,13C及び屈曲部13Bのいずれに配置してもよい。但し、本例の配線基板13では、配線層32が屈曲部13Bに形成されない形態を採用しているため、配線パターン32Aは屈曲部13Bに形成されていない。
シールドパターン32B,34B,36Bは、実装部13A,13C及び屈曲部13Bのいずれに配置してもよい。但し、本例の配線基板13では、配線層32が屈曲部13Bに形成されない形態を採用しているため、シールドパターン32Bは屈曲部13Bに形成されていない。本例の配線基板13では、例えば、シールドパターン34B,36Bが実装部13A,13C及び屈曲部13Bに形成されている。
屈曲部13Bに配置されたシールドパターン34B,36Bには、それらシールドパターン34B,36Bを厚さ方向に貫通する複数の貫通孔34X,36Xがそれぞれ形成されている。
(屈曲部13Bに配置されたシールドパターン34B,36Bの構造)
次に、屈曲部13Bに配置されたシールドパターン34B,36Bの構造について説明する。ここでは、屈曲部13Bに配置されたシールドパターン34Bの構造について説明する。なお、屈曲部13Bに配置されたシールドパターン36Bは、屈曲部13Bに配置されたシールドパターン34Bと同様の構造を有しているため、ここでは説明を省略する。
図6に示すように、屈曲部13Bに配置されたシールドパターン34Bは、複数の貫通孔34Xを有している。複数の貫通孔34Xは、所定間隔で配列されている。複数の貫通孔34Xは、例えば、屈曲方向において所定の間隔を空けて設けられるとともに、屈曲方向と平面視で直交する方向(本実施形態では、配線基板13の短手方向)において所定の間隔を空けて設けられている。
各貫通孔34Xの平面形状は、少なくとも1つの屈折部を有する形状に形成されている。本例の各貫通孔34Xの平面形状は、2つの屈折部C1,C2を有するクランク状に形成されている。詳述すると、各貫通孔34Xは、屈曲方向と直交する短手方向に沿って延びる開口部41と、開口部41の端部から屈曲方向に沿って延びる開口部42と、開口部42の端部から短手方向に沿って延び、開口部42と短手方向にずれた位置に形成された開口部43とを有している。開口部41と開口部43は、例えば、互いに同じ平面形状及び同じ大きさに形成されている。複数の貫通孔34Xは、例えば、互いに同じ平面形状及び大きさに形成されている。また、複数の貫通孔34Xは、例えば、互いに同じ方向を向いて配置されている。これら複数の貫通孔34Xによって、屈曲部13Bに配置されたシールドパターン34Bは略格子状に画定されている。
屈曲部13Bに配置されたシールドパターン34Bは、例えば、所定の方向に沿って延びるとともに互いに平行に形成された複数の支持部44と、隣り合う支持部44の間に形成され、隣り合う支持部44を接続するように形成された連結部45とを有している。連結部45は、例えば、支持部44と連続して一体に形成されている。
各支持部44は、例えば、屈曲方向と平面視で交差する方向に延びるように形成されている。本例の各支持部44は、屈曲方向(ここでは、配線基板13の長手方向)と平面視で直交する方向(ここでは、配線基板13の短手方向)に延びるように形成されている。各支持部44は、例えば、所定の幅を持って直線状に延びるように形成されている。複数の支持部44は、例えば、屈曲方向において所定の間隔を空けて設けられている。図6に示した例では、支持部44を3つ設けるようにしたが、支持部44の数は特に限定されない。支持部44を2つ設けるようにしてもよいし、支持部44を4つ以上設けるようにしてもよい。
複数の連結部45は、例えば、隣り合う支持部44の間で、配線基板13の短手方向において所定の間隔を空けて設けられている。複数の連結部45は、例えば、屈曲方向において所定の間隔を空けて設けられている。本例では、屈曲方向に沿って並んで設けられた複数の連結部45が短手方向において同じ位置に並んで設けられている。また、複数の連結部45は、例えば、互いに同じ平面形状及び同じ大きさに形成されている。複数の連結部45は、例えば、互いに同じ方向を向いて配置されている。
各連結部45の平面形状は、少なくとも1つの屈折部を有する形状に形成されている。本例の各連結部45の平面形状は、2つの屈折部C3,C4を有するクランク状に形成されている。詳述すると、各連結部45は、屈曲方向に沿って延びる延出部46と、延出部46の端部から屈曲方向と直交する短手方向に沿って延びる接続部47と、接続部47の端部から屈曲方向に沿って延びる延出部48とを有している。すなわち、各連結部45では、接続部47が延出部46に対して略直角に屈折して形成されており、延出部48が接続部47に対して略直角に屈折して形成されている。各連結部45では、延出部46と接続部47との接続部分に屈折部C3が形成されており、接続部47と延出部48との接続部分に屈折部C4が形成されている。各連結部45では、延出部46と延出部48とが短手方向において互いにずれた位置に設けられている。これら延出部46と延出部48とは、例えば、互いに同じ平面形状及び同じ大きさに形成されている。そして、延出部46の端部が隣り合う支持部44のうち一方の支持部44に接続され、延出部48の端部が隣り合う支持部44のうち他方の支持部44に接続されている。例えば、隣り合う支持部44と延出部46と接続部47と延出部48とは連続して一体に形成されている。
このように、屈曲部13Bに配置されたシールドパターン34Bでは、隣り合う支持部44の間に形成された連結部45の平面形状を、屈折部C3,C4を有する形状に形成した。これにより、連結部45にばね性を持たせることができるため、そのばね性によって良好な屈曲性を確保することができる。
ここで、支持部44の幅寸法(つまり、支持部44の屈曲方向の長さ)L1は、例えば、25~100μm程度とすることができる。屈曲方向に隣り合う支持部44の間の離間距離L2は、例えば、225~400μm程度とすることができる。延出部46の屈曲方向の長さL3は、例えば、100~150μm程度とすることができる。接続部47の幅寸法(つまり、接続部47の屈曲方向の長さ)L4は、例えば、25~100μm程度とすることができる。延出部48の屈曲方向の長さL5は、例えば、100~150μm程度とすることができる。連結部45全体の短手方向の長さ(つまり、接続部47の短手方向の長さ)L6は、例えば、201~350μm程度とすることができる。延出部46の幅寸法(つまり、延出部46の短手方向の長さ)L7は、例えば、25~100μm程度とすることができる。延出部48の幅寸法(延出部48の短手方向の長さ)L8は、例えば、25~100μm程度とすることができる。短手方向に隣り合う連結部45の間の離間距離L9は、例えば、100~150μm程度とすることができる。短手方向に隣り合う延出部46の間の離間距離(つまり、貫通孔34Xの開口部41の短手方向の長さ)L10は、例えば、126~500μm程度とすることができる。短手方向に隣り合う延出部48の間の離間距離(つまり、貫通孔34Xの開口部43の短手方向の長さ)L11は、例えば、250~300μm程度とすることができる。以上説明した各部材の寸法は、シールドパターン34Bに求められるシールド性能及び曲げ弾性率等に基づいて適宜設定される。
本実施形態では、支持部44の幅寸法L1と、接続部47の幅寸法L4と、延出部46の幅寸法L7と、延出部48の幅寸法L8とが同じ長さになるように設定されている。また、本実施形態では、屈曲方向に隣り合う支持部44の間の離間距離L2が、短手方向に隣り合う延出部46の間の離間距離L10(又は、短手方向に隣り合う延出部48の間の離間距離L11)よりも長くなるように設定されている。これにより、連結部45に比べて剛性の高い構造を有する支持部44の間隔を広く確保することができるため、良好な屈曲性を確保することができる。
なお、図示は省略するが、図5に示した屈曲部13Bに配置されたシールドパターン36Bには、貫通孔34Xと同じ平面形状を有する貫通孔36Xが形成されている。貫通孔36Xは、例えば、貫通孔34Xと同じ大きさに形成されており、貫通孔34Xと同じ間隔で配列されている。本実施形態では、積層方向に隣り合う貫通孔34X,36Xが平面視で重なるように形成されている。
屈曲部13Bに配置された各シールドパターン34B,36Bは、それらシールドパターン34B,36Bに要求される所望のシールド性能を維持できる程度の面積を有している。シールドパターン34B,36Bの材料が銅である場合には、屈曲部13Bに配置された各シールドパターン34B,36Bの残銅率は、所望のシールド性能を維持できる範囲内で任意に設定することができる。例えば、屈曲部13Bに配置された各シールドパターン34B,36Bの残銅率は、30~40%程度に設定することができる。ここで、残銅率とは、ある絶縁層上の面積に占める銅層の面積の比率である。
図5に示すように、電子部品14は、例えば、その一方の面(図5では下面)に設けられた電極端子14Pを有している。電極端子14Pとしては、例えば、金属柱、金バンプや半田バンプを用いることができる。金属柱の材料としては、例えば、銅や銅合金を用いることができる。半田バンプの材料としては、例えば、鉛(Pb)を含む合金、錫(Sn)とCuの合金、Snと銀(Ag)の合金、SnとAgとCuの合金などを用いることができる。
電子部品14は、例えば、電極端子14Pが配線基板13の接続パッドP1と電気的に接続されている。電極端子14Pは、例えば、接続パッドP1上に設けられた半田38を介して、接続パッドP1と電気的に接続されている。これにより、電子部品14は、電極端子14P及び半田38を介して、配線基板13の配線パターン36Aと電気的に接続されている。すなわち、電子部品14は、配線基板13にフリップチップ実装されている。半田38の材料としては、例えば、Pbを含む合金、SnとCuの合金、SnとAgの合金、SnとAgとCuの合金などを用いることができる。
(電子機器10の電気的構成)
次に、電子機器10の電気的構成について説明する。
図7に示すように、電子機器10は、例えば、電源装置60及び情報管理装置61と協働して、生体情報測定システムを構成している。
電子機器10は、例えば、電源装置60から供給される電力に基づいて動作する。例えば、電子機器10は、電源装置60から非接触にて供給される電力に基づいて動作する。電子機器10は、例えば、発光素子14A及び受光素子14Bにより測定対象物T1の生体情報を取得する。電子機器10には、例えば、識別情報(ID)が設定されている。複数の電子機器10において、各電子機器10には互いに異なる識別情報が設定される。電子機器10は、例えば、自身に設定された識別番号と取得した生体情報とを含む送信情報を無線通信によって送信する。
情報管理装置61は、例えば、アンテナ62を有し、電子機器10から送信される情報を受信する。情報管理装置61は、例えば、受信した情報を記憶装置に記憶する。記憶装置としては、例えば、ハードディスクドライブ(Hard Disk Drive:HDD)を用いることができる。情報管理装置61は、例えば、受信した情報を表示装置に表示する。情報管理装置61は、例えば、受信した情報に対して所定の解析処理を施した解析結果を表示装置に表示する。表示装置としては、例えば、液晶表示装置(Liquid Crystal Display)や有機EL(Electronic Luminescence)を用いることができる。
電子機器10は、例えば、発光素子14Aと、受光素子14Bと、制御部50と、通信部55とを有している。制御部50は、発光素子14Aと電気的に接続されるとともに、受光素子14Bと電気的に接続されている。制御部50は、通信部55と電気的に接続されている。
制御部50は、例えば、発光素子14Aを駆動する駆動回路51と、アナログ信号をデジタル信号に変換するA/D変換回路52と、制御装置53とを有している。駆動回路51は、例えば、所定のサンプリング周期に基づいて、発光素子14Aを発光させる制御を行うように構成されている。発光素子14Aから発せられた光は、例えば、収容部26(図3参照)に挿入された測定対象物T1を経由した上で、受光素子14Bにて受光される。A/D変換回路52は、例えば、受光素子14Bから出力される生体情報(アナログ信号)を発光素子14Aの発光に同期して取得し、取得したアナログ信号をデジタル信号に変換する。制御装置53は、例えば、制御部50に含まれる各回路の動作を統括制御するように構成されている。制御装置53は、例えば、A/D変換回路52で生成されたデジタル信号(つまり、生体情報)に対して所定の解析処理を施して解析結果情報を生成する。制御装置53は、例えば、A/D変換回路52で生成されたデジタル信号(つまり、生体情報)又は解析結果情報を通信部55に出力する。
制御装置53は、[1]コンピュータプログラム(ソフトウェア)に従って各種処理を実行する1つ以上のプロセッサ、[2]各種処理のうち少なくとも一部の処理を実行する、特定用途向け集積回路(ASIC)等の1つ以上の専用のハードウェア回路、或いは[3]それらの組み合わせ、を含む回路として構成し得る。プロセッサは、中央演算処理装置(Central Processing Unit:CPU)と、RAM(Random Access Memory)及びROM(Read Only Memory)等のメモリとを含んでいる。メモリは、処理をCPUに実行させるように構成されたプログラムコード又は指令を格納している。メモリ、つまりコンピュータ可読媒体は、汎用又は専用のコンピュータでアクセスできるあらゆる利用可能な媒体を含む。
通信部55には、所定の無線通信方式により情報管理装置61と通信を行うためのアンテナ14Cが接続されている。通信部55は、例えば、送信回路である。通信部55は、発光素子14A及び受光素子14Bにより取得した生体情報や解析結果情報を含む送信情報をアンテナ14Cに送信する。通信部55は、アンテナ14Cを通じて、送信情報を無線通信によって情報管理装置61に送信する。なお、無線通信方式の例としては、BLE(Bluetooth Low Energy、Bluetoothは登録商標)、ZigBee(登録商標)、ANT+(登録商標)、NFCなどが挙げられる。
(半導体装置12の製造方法)
次に、図8~図14に従って、半導体装置12の製造方法について説明する。本実施形態では、支持基板上に1個ずつ半導体装置を作製した後に支持基板を除去する工程の例を示すが、支持基板上に複数の半導体装置となる部分を作製して支持基板を除去した後に個片化して各半導体装置とする工程としてもよい。なお、説明の便宜上、最終的に半導体装置12の各構成要素となる部分には、最終的な構成要素の符号を付して説明する。ここでは、実装部13A,13C及び屈曲部13Bにおける構造体を図示して説明する。
図8(a)に示すように、まず、支持基板70を準備する。支持基板70としては、例えば、金属板や金属箔を用いることができ、本実施形態では、例えば銅箔を用いる。支持基板70の厚さは、例えば、18~100μm程度とすることができる。
続いて、支持基板70の上面に、その上面全面を被覆する絶縁層31を形成する。絶縁層31として樹脂フィルムを用いる場合には、例えば、支持基板70上に樹脂フィルムをラミネートした後に、樹脂フィルムを押圧しながら130~190℃程度の温度で熱処理して硬化させることにより絶縁層31を形成することができる。また、液状又はペースト状の絶縁性樹脂を支持基板70の上面にスピンコート法などにより塗布し、その塗布した絶縁性樹脂を130~190℃程度の温度で熱処理して硬化させることにより絶縁層31を形成することもできる。
次いで、図8(b)に示す工程では、絶縁層31の上面に、その上面全面を被覆するシード層71を形成する。シード層71は、例えば、無電解めっき法(例えば、無電解銅めっき法)やスパッタ法により形成することができる。
次に、図9(a)に示す工程では、シード層71の上面に、開口パターン72Xを有するレジスト層72を形成する。開口パターン72Xは、配線層32(図5参照)の形成領域に対応する部分のシード層71の上面を露出するように形成される。レジスト層72の材料としては、例えば、感光性のドライフィルム又は液状のフォトレジスト(例えば、ノボラック系樹脂やアクリル系樹脂等のドライフィルムレジストや液状レジスト)等を用いることができる。例えば、感光性のドライフィルムを用いる場合には、絶縁層31の上面にドライフィルムを熱圧着によりラミネートし、そのドライフィルムをフォトリソグラフィ法によりパターニングしてレジスト層72を形成する。なお、液状のフォトレジストを用いる場合にも、同様の工程を経て、レジスト層72を形成することができる。
続いて、図9(b)に示す工程では、レジスト層72の開口パターン72Xから露出されたシード層71の上面に導電層73を形成する。例えば、レジスト層72をめっきマスクとして、開口パターン72Xから露出されたシード層71の上面に、そのシード層71をめっき給電層に利用する電解めっき法(例えば、電解銅めっき法)を施すことにより、シード層71上に導電層73を形成する。
次いで、レジスト層72をアルカリ性の剥離液(例えば、有機アミン系剥離液、苛性ソーダ、アセトンやエタノールなど)により除去する。
次に、図10(a)に示す工程では、導電層73をエッチングマスクとして、不要なシード層71をエッチングにより除去する。シード層71が無電解銅めっき層である場合には、例えば、硫酸過水系のエッチング液を用いたウェットエッチングにより不要なシード層71を除去する。これにより、シード層71と導電層73とからなる配線層32が形成される。配線層32は、配線パターン32Aと、シールドパターン32Bとを有している。但し、配線層32は、屈曲部13Bには形成されていない。なお、これ以降の図10(b)~図14では、シード層71と導電層73との図示を省略し、配線層32(配線パターン32A及びシールドパターン32B)として図示する。
続いて、図10(b)に示す工程では、絶縁層31の上面に、配線層32を覆うように絶縁層33を形成する。絶縁層33は、例えば、絶縁層31と同様の方法により形成することができる。
次いで、図11(a)に示す工程では、絶縁層33に、当該絶縁層33を厚さ方向に貫通して配線層32の上面の一部を露出するビアホール33Xを形成する。ビアホール33Xは、実装部13A,13C及び屈曲部13Bのうち実装部13A,13Cのみに形成される。ビアホール33Xは、例えば、COレーザやYAGレーザ等によるレーザ加工法によって形成することができる。なお、絶縁層33が感光性樹脂を用いて形成されている場合には、例えば、フォトリソグラフィ法により所要のビアホール33Xを形成するようにしてもよい。
次に、ビアホール33Xをレーザ加工法によって形成した場合には、デスミア処理を行って、ビアホール33Xの底部に露出する配線層32の露出面に付着した樹脂スミア(樹脂残渣)を除去する。
続いて、図11(b)に示す工程では、ビアホール33Xにビア導体を充填してビア配線V1を形成するとともに、そのビア配線V1を介して配線層32と電気的に接続される配線層34を絶縁層33の上面に積層する。これらビア配線V1及び配線層34は、例えば、セミアディティブ法やサブトラクティブ法などの各種の配線形成方法を用いて形成することができる。ここで、配線層34は、配線パターン34Aと、シールドパターン34Bとを有している。このとき、屈曲部13Bに設けられたシールドパターン34Bには、屈折部C1,C2(図6参照)を有する複数の貫通孔34Xが形成されている。
次いで、図12に示す工程では、図10(b)及び図11(a)に示した工程と同様に、絶縁層33の上面に、配線層34の上面の一部を露出するビアホール35Xを有する絶縁層35を形成する。
続いて、図11(b)に示した工程と同様に、ビアホール35Xにビア導体を充填してビア配線V2を形成するとともに、そのビア配線V2を介して配線層34と電気的に接続される配線層36を絶縁層35の上面に積層する。配線層36は、配線パターン36Aと、シールドパターン36Bとを有している。このとき、屈曲部13Bに設けられたシールドパターン36Bには、屈折部C1,C2(図6参照)を有する複数の貫通孔36Xが形成されている。
次に、図13に示す工程では、絶縁層35の上面に、配線層36の上面の一部を接続パッドP1として露出させるための開口部37Xを有するソルダーレジスト層37を形成する。ソルダーレジスト層37は、例えば、感光性のソルダーレジストフィルムをラミネートし、又は液状のソルダーレジストを塗布し、当該レジストをフォトリソグラフィ法によりパターニングすることにより形成することができる。なお、必要に応じて、接続パッドP1上に表面処理層を形成するようにしてもよい。
以上の工程により、支持基板70上に配線基板13を製造することができる。
続いて、図14に示す工程では、電子部品14を配線基板13に実装する。まず、開口部37Xから露出された接続パッドP1上に半田38を形成する。半田38は、例えば、はんだペーストの塗布などにより形成することができる。続いて、電子部品14の電極端子14Pを配線基板13の接続パッドP1上に位置決めし、半田38を溶融させ、電子部品14の電極端子14Pを接続パッドP1に電気的に接続する。これにより、配線基板13に電子部品14がフリップチップ実装される。
以上の工程により、支持基板70上に半導体装置12を製造することができる。本実施形態の半導体装置12では、複数の電子部品14の全てが配線基板13の一方の面(ここでは、第1面S1)のみに実装される。このため、支持基板70を除去する前に、配線基板13に全ての電子部品14を実装することができる。これにより、支持基板70によって機械的強度が高められた状態の配線基板13に対して電子部品14を実装できるため、製造工程における配線基板13及び半導体装置12のハンドリング性を向上させることができる。
その後、支持基板70を除去することで、図4及び図5に示した半導体装置12を製造することができる。支持基板70として銅箔を用いた場合には、例えば、塩化第二鉄水溶液、塩化第二銅水溶液、過硫酸アンモニウム水溶液等を用いたウェットエッチングにより支持基板70を除去することができる。
次に、本実施形態の作用効果を説明する。
(1)配線基板13の第1面S1に発光素子14Aが実装され、配線基板13の第1面S1に受光素子14Bが実装される。すなわち、配線基板13の第1面S1のみに発光素子14A及び受光素子14Bが実装される。このため、例えば電子機器10を製造する際に、配線基板13を支持基板70に支持した状態で、配線基板13に発光素子14A及び受光素子14Bを実装することができる。これにより、配線基板13に発光素子14A及び受光素子14Bを実装する際においても、支持基板70によって配線基板13の機械的強度が高められるため、製造工程におけるハンドリング性を向上させることができる。
(2)また、配線基板13は、支持体11の外周面に沿って取り付けられるとともに、各板状部21,22の先端部において収容部26の内周面側に折り返されて各板状部21,22の内周面に沿って取り付けられる。そして、板状部21の内周面側に取り付けられた配線基板13の実装部13Aの第1面S1に発光素子14Aが実装され、板状部22の内周面側に取り付けられた配線基板13の実装部13Gの第1面S1に受光素子14Bが実装される。このため、配線基板13の第1面S1のみに発光素子14A及び受光素子14Bを実装した場合であっても、それら発光素子14A及び受光素子14Bを互いに対向して配置することができる。これにより、電子機器10では、測定対象物T1が収容部26に挿入された場合に、測定対象物T1を挟んで発光素子14Aと受光素子14Bとを互いに対向して配置することができる。
(3)配線基板13の第1面S1のみに全ての電子部品14を実装するようにした。このため、例えば電子機器10を製造する際に、配線基板13を支持基板70に支持した状態で、配線基板13に全ての電子部品14を実装することができる。これにより、配線基板13に電子部品14を実装する際においても、支持基板70によって配線基板13の機械的強度が高められるため、製造工程におけるハンドリング性を向上させることができる。
(4)測定対象物T1が挿入される収容部26の内部に、板状部21と並んで延びるように基部24Aから片持ち状に形成されたプレート部24Bと、板状部22と並んで延びるように基部25Aから片持ち状に形成されたプレート部25Bとを設けた。また、プレート部24B,25Bを、板状部21と板状部22とが並ぶ方向(ここでは、高さ方向Z)に弾性変形可能に構成した。このため、例えばプレート部24Bとプレート部25Bとの間の間隔よりも厚い測定対象物T1が収容部26に挿入された際に、プレート部24B,25Bが弾性変形することにより、プレート部24Bとプレート部25Bとの間隔を広げることができる。これにより、測定対象物T1を収容部26に好適に挿入させることができる。このように、プレート部24B,25Bが弾性変形することにより、測定対象物T1の厚みのばらつきを吸収することができる。
(5)また、発光素子14Aを板状部21の内周面とプレート部24Bとの間に設け、受光素子14Bを板状部22の内周面とプレート部25Bとの間に設けた。このため、プレート部24B,25Bが弾性変形した場合であっても、その弾性変形に伴って発光素子14A及び受光素子14Bが移動することを抑制できる。これにより、発光素子14A及び受光素子14Bの光軸がずれることを抑制でき、測定対象物T1の生体情報を精度良く検出することができる。
(6)アンテナ14Cを、板状部21の外周面に取り付けられた配線基板13の実装部13Cの第1面S1に実装した。アンテナ14Cを、プレート部24Bと平面視で重なる位置に設けた。この構成では、収容部26に測定対象物T1が挿入された場合に、測定対象物T1とアンテナ14Cとの間に、プレート部24Bと、そのプレート部24Bと板状部21との間の空間(つまり、収容部27)と、板状部21とが介在される。このため、測定対象物T1とアンテナ14Cとの間の間隔を広く確保することができる。これにより、誘電率の比較的高い人体である測定対象物T1がアンテナ14Cに近づくことに起因して、アンテナ14Cのアンテナ特性が低下することを好適に抑制できる。
(7)配線基板13を板状部21の内周面に接着する接着剤15を、アンテナ14Cと平面視で重ならない位置に設けた。このため、接着剤15の誘電率が高い場合であっても、その接着剤15に起因してアンテナ14Cのアンテナ特性が低下することを抑制できる。
(8)屈曲部13B,13Fに配置されたシールドパターン34Bに、平面形状が屈折部C1,C2を有する形状に形成された複数の貫通孔34Xを所定間隔で配列した。これにより、シールドパターンが貫通孔を有しないベタパターンである場合に比べて、シールドパターン34Bの曲げ弾性率を低減することができ、屈曲部13B,13Fの曲げ弾性率を低減することができる。この結果、屈曲部13B,13Fにおける屈曲性を向上させることができる。
(9)また、シールドパターン34Bに複数の貫通孔34Xが形成されると、それら複数の貫通孔34Xによって画定されるシールドパターン34Bにも屈折部C3,C4が形成される。この屈折部C3,C4を有するシールドパターン34Bにばね性を持たせることができるため、そのばね性によって良好な屈曲性を確保することができる。
(10)シールドパターン34Bを、屈曲方向と直交する方向に沿って延びるとともに互いに平行に形成された複数の支持部44と、隣り合う支持部44の間に形成された連結部45とを有する構造に形成した。さらに、連結部45の平面形状を、屈折部C3,C4を有する形状に形成した。これにより、連結部45にばね性を持たせることができるため、そのばね性によって良好な屈曲性を確保することができる。
(11)支持部44を屈曲方向と直交する方向に延びるように形成した。この構成によれば、連結部45に比べて剛性の高い構造を有する支持部44が屈曲方向と直交する方向に延びるように形成される。このため、屈曲部13B,13Fにおける屈曲性が支持部44によって阻害されることを好適に抑制できる。
(12)連結部45を、全体として屈曲方向に沿って延びるように形成した。この構成によれば、支持部44に比べて剛性の低い構造を有し、且つばね性を有する連結部45が屈曲方向に沿って延びるように形成される。このため、屈曲部13B,13Fの曲げ弾性率を効果的に低減することができ、屈曲部13B,13Fにおける屈曲性をより向上させることができる。
(13)屈曲部13B,13Fにおいて積層方向に隣接するシールドパターン34B,36Bに設けられた貫通孔34X,36Xを平面視で重なるように形成した。この構成によれば、積層方向に隣接する貫通孔34X,36X同士が平面視で重なっているため、それら貫通孔34X,36Xを通じてガスが抜けやすくなる。このため、各貫通孔34X,36Xをデガスホールとして機能させることができる。各貫通孔34X,36Xがデガスホールとして機能することにより、配線基板13の内部にボイドが発生することを好適に抑制できる。なお、デガスホールとは、配線基板の製造工程において、加熱の際に配線基板の内部で発生するガスを外部に逃がすためのガス抜き用の孔である。
(他の実施形態)
上記実施形態は、以下のように変更して実施することができる。上記実施形態及び以下の変更例は、技術的に矛盾しない範囲で互いに組み合わせて実施することができる。
・図15に示すように、プレート部24B,25Bの先端部を収容部26の外方に突出するように形成してもよい。また、プレート部24B,25Bの先端部を、収容部26から離れるに連れてプレート部24Bとプレート部25Bとの間の間隔が広がるように形成してもよい。すなわち、プレート部24Bの先端部とプレート部25Bの先端部とは、収容部26から遠ざかるに連れて、互いに離れるように形成されている。プレート部24Bの先端部は、例えば、収容部26から遠ざかるに連れて、板状部21側(図中上方)に傾斜するように形成された誘導部24Cを有している。プレート部25Bの先端部は、例えば、収容部26から遠ざかるに連れて、板状部22側(図中下方)に傾斜するように形成された誘導部25Cを有している。
この構成によれば、測定対象物T1(図3参照)が収容部26に挿入される際に、測定対象物T1が誘導部24C,25Cの斜面に沿って収容部26内に誘導される。これにより、測定対象物T1を電子機器10の収容部26内に容易に挿入できる。このため、電子機器10を被検者の測定対象物T1に装着する際の装着性を向上させることができる。
・上記実施形態の支持体11の分岐部24を省略してもよい。また、支持体11の分岐部25を省略してもよい。あるいは、支持体11の分岐部24,25の双方を省略してもよい。
図16に示すように、この場合の支持体11は、例えば、一対の板状部21,22と接続部23とによって構成される。この場合であっても、実装部13Aが板状部21の内周面を被覆するように設けられ、実装部13Gが板状部22の内周面を被覆するように設けられる。そして、実装部13Aの第1面S1に発光素子14Aが実装され、実装部13Gの第1面S1に、発光素子14Aと対向するように受光素子14Bが実装される。
・上記実施形態では、支持体11の接続部23を、円弧状に湾曲するように形成したが、これに限定されない。
例えば図17に示すように、接続部23を、高さ方向Zに沿って直線状に延びるように形成してもよい。この場合の非実装部13Dは、例えば、接続部23に沿って直線状に延びるように形成される。
・上記実施形態の電子機器10では、発光素子14Aの設置領域と平面視で重なる位置のみに接着剤15を設けるようにした。これに限らず、例えば、実装部13Aの第2面S2の全面に広がるように接着剤15を設けるようにしてもよい。
・上記実施形態の接着剤15を省略してもよい。
・上記実施形態の電子機器10では、受光素子14Bの設置領域と平面視で重なる位置のみに接着剤16を設けるようにした。これに限らず、例えば、実装部13Gの第2面S2の全面に広がるように接着剤16を設けるようにしてもよい。
・上記実施形態の接着剤16を省略してもよい。
・上記実施形態の半導体装置12において、電子部品14の個数や電子部品14の実装位置は特に限定されない。例えば、実装部13Aに発光素子14Aとその他の電子部品14とを実装するようにしてもよい。例えば、実装部13Gに受光素子14Bとその他の電子部品14とを実装するようにしてもよい。例えば、実装部13Aに受光素子14Bを実装し、実装部13Gに発光素子14Aを実装するようにしてもよい。例えば、実装部13Eに電子部品14を実装しないようにしてもよい。例えば、非実装部13Dに電子部品14を実装するようにしてもよい。
・上記実施形態の半導体装置12における電子部品14の実装の形態(例えば、フリップチップ実装、ワイヤボンディングによる実装、はんだ実装、又はこれらの組み合わせ)は適宜変更することが可能である。
・上記実施形態の電子機器10に電源装置を設けるようにしてもよい。例えば、電子機器10に、制御部50等に電力を供給する電池等を設けるようにしてもよい。
・上記実施形態の屈曲部13B,13Fに配置されたシールドパターン34B,36Bの構造は特に限定されない。例えば、貫通孔34X,36Xの平面形状は、少なくとも1つの屈折部を有する形状であれば、その形状は特に限定されない。例えば、連結部45の平面形状は、少なくとも1つの屈折部を有する形状であれば、その形状は特に限定されない。
例えば図18に示すように、屈曲部13Bに配置されたシールドパターン34Bに、平面形状が1つの屈折部C5を有するV字状に形成された複数の貫通孔34Yを形成するようにしてもよい。複数の貫通孔34Yは、例えば、屈曲方向において所定の間隔を空けて設けられるとともに、屈曲方向と平面視で直交する短手方向において所定の間隔を空けて設けられている。
本例のシールドパターン34Bは、屈曲方向と平面視で交差する短手方向に沿って延びるとともに互いに平行に形成された複数の支持部84と、隣り合う支持部84の間に形成され、隣り合う支持部84を接続するように形成された連結部85とを有している。
各支持部84は、例えば、所定の幅を持って直線状に延びるように形成されている。複数の支持部84は、例えば、屈曲方向において所定の間隔を空けて設けられている。図18に示した例では、支持部84を3つ設けるようにしたが、支持部84の数は特に限定されない。支持部84を2つ設けるようにしてもよいし、支持部84を4つ以上設けるようにしてもよい。
複数の連結部85は、例えば、隣り合う支持部84の間で、屈曲方向と直交する短手方向において所定の間隔を空けて設けられている。複数の連結部85は、例えば、屈曲方向において所定の間隔を空けて設けられている。本例では、屈曲方向に並んで設けられた複数の連結部85が短手方向において同じ位置に並んで設けられている。複数の連結部85は、例えば、互いに同じ平面形状及び互いに同じ大きさに形成されている。複数の連結部85は、例えば、互いに同じ方向を向いて配置されている。
本例の各連結部85の平面形状は、1つの屈折部C6を有するV字状に形成されている。詳述すると、各連結部85は、支持部84の延出方向と交差する方向に沿って延びる延出部86と、延出部86の端部から支持部84の延出方向及び延出部86の延出方向の双方と交差する方向に沿って延びる延出部87とを有している。本例の延出部87は、支持部84の延出方向と交差する方向であって、且つ延出部86の延出方向と直交する方向に延びるように形成されている。すなわち、本例の各連結部85では、延出部87が延出部86に対して略直角に屈曲して形成されている。各連結部85では、延出部86と延出部87との接続部分に屈折部C6が形成されている。各連結部85では、例えば、延出部86と延出部87とが短手方向において互いに同じ位置に設けられている。これら延出部86と延出部87とは、例えば、互いに同じ平面形状に形成されるとともに、互いに同じ大きさに形成されている。そして、延出部86の端部が隣り合う支持部84のうち一方の支持部84に接続され、延出部87の端部が隣り合う支持部84のうち他方の支持部84に接続されている。例えば、隣り合う支持部84と延出部86と延出部87とは連続して一体に形成されている。
このように、本例のシールドパターン34Bでは、隣り合う支持部84の間に形成された連結部85の平面形状を、1つの屈折部C6を有する形状に形成した。これにより、連結部85にばね性を持たせることができるため、そのばね性によって良好な屈曲性を確保することができる。
なお、図示は省略するが、屈曲部13B,13Fに配置されたシールドパターン36B(図5参照)には、貫通孔34Yと同じ平面形状を有する貫通孔が貫通孔34Yと同じ間隔で形成されている。例えば、積層方向に隣り合うシールドパターン34B,36Bに形成された貫通孔は平面視で重なるように形成されている。
・上記実施形態における連結部45の平面形状を、3つ以上の屈折部を有する形状に変更してもよい。例えば、連結部45の平面形状を、W字状に形成してもよい。
・上記実施形態では、シールドパターン34Bの支持部44を、屈曲方向と直交する方向に沿って延びるように形成したが、これに限定されない。
例えば図19に示すように、支持部44を、屈曲方向に沿って延びるように形成してもよい。この場合には、屈曲方向と直交する短手方向に隣り合う支持部44の間に連結部45が形成される。なお、図19に示したシールドパターン34Bは、図6に示したシールドパターン34Bを平面視で右回り(時計回り)に90度回転した構造になっている。
・上記実施形態では、屈曲部13Bに配置されたシールドパターン34B,36Bを互いに略同じ平面形状に形成するようにした。これに限らず、例えば、屈曲部13Bに配置されたシールドパターン34B,36Bを互いに異なる平面形状に形成してもよい。例えば、シールドパターン34B,36Bにおいて、連結部45を互いに異なる平面形状に形成してもよい。
・上記実施形態では、屈曲部13B,13Fに配置されたシールドパターン34B,36Bの全てに、屈折部を有する貫通孔34X,36Xを形成した。これに限らず、屈曲部13B,13Fにおいて、屈折部を有する貫通孔が形成されていないシールドパターンを設けるようにしてもよい。例えば、屈曲部13B,13Fに配置されたシールドパターン34B,36Bのうちシールドパターン34Bのみに、屈折部を有する貫通孔34Xを形成するようにしてもよい。
・上記実施形態における配線基板13における配線層数は特に限定されない。例えば、屈曲部13B,13Fにおける配線層数は、実装部13Aにおける配線層数と同じ層数であってもよい。
・上記実施形態では、配線基板13をコアレス基板に具体化したが、これに限定されない。例えば、配線基板13を、コア基板を有する配線基板に具体化してもよい。
10 電子機器
11 支持体
12 半導体装置
13 配線基板
13B,13F 屈曲部
S1 第1面
14 電子部品
14A 発光素子
14B 受光素子
14C アンテナ
14D,14E,14F 電子部品
15 接着剤
21 板状部(第1板状部)
22 板状部(第2板状部)
23 接続部
24A 基部(第1基部)
24B プレート部(第1プレート部)
24C 誘導部
24X 貫通孔(第1貫通孔)
25A 基部(第2基部)
25B プレート部(第2プレート部)
25C 誘導部
25X 貫通孔(第2貫通孔)
26 収容部
31,33,35 絶縁層
32,34,36 配線層
32A 配線パターン
32B,34B,36B シールドパターン
34X,34Y,36X 貫通孔
44,84 支持部
45,85 連結部
C1,C2,C5 屈折部
C3,C4,C6 屈折部

Claims (10)

  1. 互いに対向して設けられた一対の板状部と、前記一対の板状部の基端部同士を接続する接続部とを有し、前記一対の板状部と前記接続部とによって囲まれた収容部を有する支持体と、
    前記支持体の外周面に沿って取り付けられるとともに、前記各板状部の前記基端部とは反対側の先端部において前記収容部の内周面側に折り返されて前記各板状部の内周面に沿って取り付けられた配線基板と、
    前記一対の板状部のうちの一方の第1板状部の内周面側に取り付けられた部分における前記配線基板の第1面に実装された発光素子と、
    前記一対の板状部のうちの他方の第2板状部の内周面側に取り付けられた部分における前記配線基板の前記第1面に、前記発光素子と対向するように実装された受光素子と、
    を有する電子機器。
  2. 前記第1板状部の内周面側から前記収容部の内側に突出して形成された第1基部と、
    前記第1基部に片持ち状に形成されるとともに、前記第1板状部と前記第2板状部とが並ぶ第1方向において前記第1板状部と間隔を空けた状態で前記第1板状部と並んで延びるように形成された第1プレート部と、
    前記第2板状部の内周面側から前記収容部の内側に突出して形成された第2基部と、
    前記第2基部に片持ち状に形成されるとともに、前記第1方向において前記第2板状部と間隔を空けた状態で前記第2板状部と並んで延びるように形成された第2プレート部と、を更に有し、
    前記第1プレート部及び前記第2プレート部は、前記第1方向に弾性変形可能に構成されており、
    前記発光素子は、前記第1板状部の内周面と前記第1プレート部との間に設けられており、
    前記受光素子は、前記第2板状部の内周面と前記第2プレート部との間に設けられている請求項1に記載の電子機器。
  3. 前記第1プレート部には、前記発光素子と平面視で重なる位置に、前記第1プレート部を貫通する第1貫通孔が形成されており、
    前記第2プレート部には、前記受光素子と平面視で重なる位置に、前記第2プレート部を貫通する第2貫通孔が形成されている請求項2に記載の電子機器。
  4. 前記第1プレート部の先端部及び前記第2プレート部の先端部は、前記収容部の外方に突出するように形成されるとともに、前記収容部から離れるに連れて前記第1プレート部と前記第2プレート部との間隔が広がるように形成されている請求項2又は請求項3に記載の電子機器。
  5. 前記第1板状部の外周面に取り付けられた部分における前記配線基板の第1面に実装されたアンテナを更に有し、
    前記アンテナは、前記第1プレート部と平面視で重なる位置に設けられている請求項2から請求項4のいずれか1項に記載の電子機器。
  6. 前記配線基板は、前記第1板状部の内周面に接着剤により接着されており、
    前記接着剤は、前記アンテナと平面視で重ならない位置に設けられている請求項5に記載の電子機器。
  7. 前記支持体の外周面に取り付けられた部分における前記配線基板の第1面に実装された電子部品を更に有する請求項1から請求項6のいずれか1項に記載の電子機器。
  8. 前記配線基板は、前記各板状部の先端部において屈曲された屈曲部を有し、
    前記配線基板は、複数の配線層と複数の絶縁層とが交互に積層された構造を有し、
    前記複数の配線層のうち少なくとも1つの配線層は、シールドパターンを有し、
    前記屈曲部に配置された前記シールドパターンには、複数の貫通孔が所定間隔で配列されており、
    前記各貫通孔の平面形状は、少なくとも1つの屈折部を有する形状に形成されている請求項1から請求項7のいずれか1項に記載の電子機器。
  9. 前記屈曲部に配置されたシールドパターンは、
    前記屈曲部が屈曲される屈曲方向と直交する方向に沿って延びるとともに互いに平行に形成された複数の支持部と、
    隣り合う前記支持部の間に形成され、隣り合う前記支持部を接続するように形成された連結部とを有し、
    前記連結部の平面形状は、2つの屈折部を有するクランク状に形成されている請求項8に記載の電子機器。
  10. 前記接続部は、円弧状に湾曲するように形成されている請求項1から請求項9のいずれか1項に記載の電子機器。
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