JP7333277B2 - パターン検査装置の故障診断方法及びパターン検査装置 - Google Patents
パターン検査装置の故障診断方法及びパターン検査装置 Download PDFInfo
- Publication number
- JP7333277B2 JP7333277B2 JP2020000502A JP2020000502A JP7333277B2 JP 7333277 B2 JP7333277 B2 JP 7333277B2 JP 2020000502 A JP2020000502 A JP 2020000502A JP 2020000502 A JP2020000502 A JP 2020000502A JP 7333277 B2 JP7333277 B2 JP 7333277B2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- optical image
- image
- inspection
- pattern
- substrate
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Active
Links
Images
Landscapes
- Length Measuring Devices By Optical Means (AREA)
- Preparing Plates And Mask In Photomechanical Process (AREA)
Description
パターン検査装置の画像取得機構を用いて、パターンが形成された基板のパターン検査を開始する前に基板の所定の領域の第1の光学画像を取得する工程と、
取得された所定の領域の第1の光学画像のデータを用いて第1の光学画像の複数の画素の第1の値を演算する工程と、
画像取得機構を用いて、基板のパターン検査の途中で、第1の光学画像の領域と同じ基板の上述した所定の領域の第2の光学画像を取得する工程と、
取得された所定の領域の第2の光学画像のデータを用いて、第1の値の演算と同じ演算を行うことにより第2の光学画像の複数の画素の第2の値を演算する工程と、
第1の光学画像の複数の画素の第1の値と第2の光学画像の複数の画素の第2の値との差分が差分閾値の範囲内から外れる画素が存在する場合にパターン検査装置の故障と判定し、結果を出力する工程と、
を備えたことを特徴とする。
パターン検査は、複数のストライプ領域のストライプ領域毎に実施され、
基板に形成されたパターンの欠陥が検出されなくなったストライプ領域の数が所定数まで達した後で、所定の領域の第2の光学画像が取得されると好適である。
パターンが形成された基板のパターン検査を開始する前に基板の所定の領域の第1の光学画像を取得すると共に、基板のパターン検査の途中で、第1の光学画像の領域と同じ基板の上述した所定の領域の第2の光学画像を取得する画像取得機構と、
取得された所定の領域の第1の光学画像のデータを用いて第1の光学画像の複数の画素の第1の値を演算すると共に、取得された所定の領域の第2の光学画像のデータを用いて、第1の値の演算と同じ演算を行うことにより第2の光学画像の複数の画素の第2の値を演算する演算処理回路と、
第1の光学画像の複数の画素の第1の値と第2の光学画像の複数の画素の第2の値との差分が差分閾値の範囲内から外れる画素が存在する場合にパターン検査装置の故障と判定する判定処理回路と、
を備えたことを特徴とする。
図1は、実施の形態1におけるパターン検査装置の構成を示す構成図である。図1において、検査対象基板に形成されたパターンの欠陥を検査する検査装置100は、光学画像取得機構150、及び制御系回路160を備えている。
11 サンプリング領域
20 検査ストライプ
30 フレーム領域
50,54,68 記憶装置
52 フレーム画像作成部
56 反応値演算部
58 比較処理部
72 サンプリング領域設定部
80 記憶装置
82 欠陥未検出ストライプ数閾値設定部
84 判定部
86 画像再取得制御部
88 判定部
100 検査装置
101 基板
102 XYθテーブル
103 光源
104 拡大光学系
105 フォトダイオードアレイ
106 センサ回路
107 位置回路
108 比較回路
109 磁気ディスク装置
110 制御計算機
112 参照画像作成回路
113 オートローダ制御回路
114 テーブル制御回路
116 GUI
117 外部I/F
118 パターンモニタ
119 プリンタ
120 バス
122 レーザ測長システム
123 ストライプパターンメモリ
140 診断回路
150 光学画像取得機構
160 制御系回路
170 照明光学系
174 ビームスプリッタ
176 結像光学系
Claims (5)
- パターン検査装置の画像取得機構を用いて、パターンが形成された基板のパターン検査を開始する前に前記基板の所定の領域の第1の光学画像を取得する工程と、
取得された前記所定の領域の第1の光学画像のデータを用いて前記第1の光学画像の複数の画素の第1の値を演算する工程と、
前記画像取得機構を用いて、前記基板の前記パターン検査の途中で、前記第1の光学画像の領域と同じ前記基板の前記所定の領域の第2の光学画像を取得する工程と、
取得された前記所定の領域の第2の光学画像のデータを用いて、前記第1の値の演算と同じ演算を行うことにより前記第2の光学画像の複数の画素の第2の値を演算する工程と、
前記第1の光学画像の前記複数の画素の第1の値と前記第2の光学画像の前記複数の画素の第2の値との差分が差分閾値の範囲内から外れる画素が存在する場合に前記パターン検査装置の故障と判定し、結果を出力する工程と、
を備えたことを特徴とするパターン検査装置の故障診断方法。 - 前記所定の領域として、前記基板上の前記パターンが形成される領域のうちの欠陥個所を含む領域が用いられることを特徴とする請求項1記載のパターン検査装置の故障診断方法。
- 前記所定の領域として、前記基板上の前記パターンが形成される領域のうちの任意の領域が用いられることを特徴とする請求項1記載のパターン検査装置の故障診断方法。
- 前記基板の検査領域は、複数のストライプ領域に分割され、
前記パターン検査は、前記複数のストライプ領域のストライプ領域毎に実施され、
前記基板に形成されたパターンの欠陥が検出されなくなったストライプ領域の数が所定数まで達した後で、前記所定の領域の第2の光学画像が取得されることを特徴とする請求項1~3いずれかに記載のパターン検査装置の故障診断方法。 - パターンが形成された基板のパターン検査を開始する前に前記基板の所定の領域の第1の光学画像を取得すると共に、前記基板のパターン検査の途中で、前記第1の光学画像の領域と同じ前記基板の前記所定の領域の第2の光学画像を取得する画像取得機構と、
取得された前記所定の領域の第1の光学画像のデータを用いて前記第1の光学画像の複数の画素の第1の値を演算すると共に、取得された前記所定の領域の第2の光学画像のデータを用いて、前記第1の値の演算と同じ演算を行うことにより前記第2の光学画像の複数の画素の第2の値を演算する演算処理回路と、
前記第1の光学画像の前記複数の画素の第1の値と前記第2の光学画像の前記複数の画素の第2の値との差分が差分閾値の範囲内から外れる画素が存在する場合に前記パターン検査装置の故障と判定する判定処理回路と、
を備えたことを特徴とするパターン検査装置。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2020000502A JP7333277B2 (ja) | 2020-01-06 | 2020-01-06 | パターン検査装置の故障診断方法及びパターン検査装置 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2020000502A JP7333277B2 (ja) | 2020-01-06 | 2020-01-06 | パターン検査装置の故障診断方法及びパターン検査装置 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2021110556A JP2021110556A (ja) | 2021-08-02 |
JP7333277B2 true JP7333277B2 (ja) | 2023-08-24 |
Family
ID=77059574
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2020000502A Active JP7333277B2 (ja) | 2020-01-06 | 2020-01-06 | パターン検査装置の故障診断方法及びパターン検査装置 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP7333277B2 (ja) |
Families Citing this family (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
WO2024106322A1 (ja) * | 2022-11-15 | 2024-05-23 | 株式会社エヌテック | 検査装置の診断装置、検査装置の診断方法及びプログラム |
Citations (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2013120101A (ja) | 2011-12-06 | 2013-06-17 | Nuflare Technology Inc | 検査装置 |
JP2016145887A (ja) | 2015-02-06 | 2016-08-12 | 株式会社ニューフレアテクノロジー | 検査装置および検査方法 |
JP2018205184A (ja) | 2017-06-06 | 2018-12-27 | 株式会社ニューフレアテクノロジー | 検査方法および検査装置 |
JP2019125416A (ja) | 2018-01-11 | 2019-07-25 | 株式会社ニューフレアテクノロジー | マルチビーム検査装置及びマルチ検出器の感度修繕方法 |
Family Cites Families (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2008014768A (ja) * | 2006-07-05 | 2008-01-24 | Olympus Corp | 欠陥検査装置及び欠陥検査方法 |
-
2020
- 2020-01-06 JP JP2020000502A patent/JP7333277B2/ja active Active
Patent Citations (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2013120101A (ja) | 2011-12-06 | 2013-06-17 | Nuflare Technology Inc | 検査装置 |
JP2016145887A (ja) | 2015-02-06 | 2016-08-12 | 株式会社ニューフレアテクノロジー | 検査装置および検査方法 |
JP2018205184A (ja) | 2017-06-06 | 2018-12-27 | 株式会社ニューフレアテクノロジー | 検査方法および検査装置 |
JP2019125416A (ja) | 2018-01-11 | 2019-07-25 | 株式会社ニューフレアテクノロジー | マルチビーム検査装置及びマルチ検出器の感度修繕方法 |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JP2021110556A (ja) | 2021-08-02 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
US9177372B2 (en) | Defect estimation device and method and inspection system and method | |
US9196033B2 (en) | Inspection sensitivity evaluation method | |
JP5591675B2 (ja) | 検査装置および検査方法 | |
JP6307367B2 (ja) | マスク検査装置、マスク評価方法及びマスク評価システム | |
JP4336672B2 (ja) | 試料検査装置、試料検査方法及びプログラム | |
JP4933601B2 (ja) | 検査装置および検査方法 | |
US10460435B2 (en) | Pattern inspection method and pattern inspection apparatus | |
JP4185516B2 (ja) | 試料検査装置、試料検査方法及びプログラム | |
JP4323475B2 (ja) | 試料検査装置、試料検査方法及びプログラム | |
US8031932B2 (en) | Pattern inspection apparatus and method | |
US8078012B2 (en) | Pattern inspection apparatus and method | |
JP5514754B2 (ja) | 検査装置および検査方法 | |
JP2012251785A (ja) | 検査装置および検査方法 | |
JP5780936B2 (ja) | 検査装置 | |
JP2012002663A (ja) | パターン検査装置およびパターン検査方法 | |
JP7333277B2 (ja) | パターン検査装置の故障診断方法及びパターン検査装置 | |
JP4870704B2 (ja) | パターン検査装置及びパターン検査方法 | |
JP2014089215A (ja) | 検査装置 | |
JP7440354B2 (ja) | パターン検査装置及びパターン検査方法 | |
JP7465138B2 (ja) | パターン検査装置及びパターン検査方法 | |
JP2011129624A (ja) | 荷電粒子ビーム描画装置の故障診断方法 | |
JP4977123B2 (ja) | 試料検査装置、試料検査方法及びプログラム | |
JP2021025889A (ja) | Tdi(時間遅延積分)センサの感度変動の判定方法、パターン検査方法、及びパターン検査装置 | |
JP2011099788A (ja) | パターン検査装置及びパターン検査方法 | |
JP7222671B2 (ja) | パターン検査装置及びパターン検査方法 |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20221205 |
|
A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20230712 |
|
TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20230801 |
|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20230814 |
|
R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
Ref document number: 7333277 Country of ref document: JP Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 |