WO2024106322A1 - 検査装置の診断装置、検査装置の診断方法及びプログラム - Google Patents

Abstract

診断装置（５０）は、情報取得部（６１）、記憶部（５２）、判定部（６２）及び診断処理部（６３）を備える。情報取得部（６１）は、検査装置（２０）から実情報として実設定データ（Ｄ１）及び実検査画像（Ｖ１）を取得する。記憶部（５２）は、基準情報として標準設定データ（Ｄ２）および基準画像（Ｖ２）を記憶する。判定部（６２）は、実設定データ（Ｄ１）と標準設定データ（Ｄ２）とを比較する第１比較と、実検査画像（Ｖ１）と基準画像（Ｖ２）とを比較する第２比較とを含む複数組の比較を同じ種類同士の実情報と基準情報との間で行うことで比較対象の組ごとに差異の有無を判定する。診断処理部（６３）は、判定結果として取得される組ごとの差異の有無に関する組み合わせに応じて要因を分析する要因分析を行い、得られた要因分析結果に応じた診断内容で検査装置（２０）の診断を行う。

Description

検査装置の診断装置、検査装置の診断方法及びプログラム

　本発明は、検査装置を診断する検査装置の診断装置、検査装置の診断方法及びプログラムに関する。

　特許文献１～３には、検査装置による検査対象物の検査をシミュレーションする技術が開示されている。例えば、特許文献１には、クラウドがＰＣからの操作にしたがって設定データを編集する設定サポートシステムが開示されている。クラウドは編集された設定データとワーク画像を用いて、画像処理装置が実行する画像検査をシミュレーションする。クラウドは編集前の設定データに基づく検査結果と、編集後の設定データに基づくシミュレーション結果をＰＣに送信する。

　また、特許文献２には、検査装置による検査対象物の検査をシミュレーションすることで適切な設定データを設定する検査装置用の画像処理システムが開示されている。さらに、特許文献３には、検査装置が行う第１検査条件と異なる第２検査条件で検査対象物の良否判定をシミュレーションする外観検査装置が開示されている。

　なお、検査装置は、検査対象の物品が良品であるか不良品であるかを必要な精度で検査できるように、テスト用の基準画像として良品画像及び不良品画像を用いて検査のテスト（シミュレーション）を行う。このテストでは、必要な精度が得られるまで設定データの見直しが行われる。そのため、検査を必要な精度で正しく行うことができる設定データが設定される。

特開２０１９－９５９８３号公報 特開２０１０－１０２７３６号公報 特開２０１１－４７６９８号公報

　しかしながら、検査装置において、立ち上げ時や物品の切り替え時に、テストを行って必要な精度が得られる設定データを設定しても、時間の経過と共に必要な精度の検査が行われなくなってしまう場合がある。例えば、工場内の照明（外光）の変化、検査用の照明部の劣化やカメラの劣化、カメラの撮像条件の変更、検査画像の画像処理条件の変更など、設定データ中の条件のうち１つでも変わると、必要な検査精度が得られなくなる場合がある。工場内の環境変化や、検査アプリケーション（ソフトウェア）のバージョンの未更新なども、必要な検査精度が得られなくなる原因になる。

　この場合、オペレータ操作で設定データの調整が行われる。しかし、設定データの調整が不適切な場合がある。
　また、設定データが正しくても、テスト用の基準画像が不適切な場合もある。良品画像と不良品画像を基準画像に用いてテストを行うことで、適切な設定データに調整される。しかし、上述した照明部やカメラの劣化、環境変化等があると、設定データを設定する時に用いた基準画像が不適切になっている場合がある。この場合、テスト用の基準画像を用いて設定データを再調整しても、その設定は不適切なものとなる。

　設定データが明らかに不適切であれば、良品が不良品と判定されるなどその異常に比較的早期に気付くこともできる。しかし、設定データが最適条件から少し外れた検査条件である場合は、必要な精度が得られていない検査が行われていても、それを発見することは困難である。そして、不適切な検査の発見が遅れると、製品の歩留まりの低下や生産性の低下に繋がる。そのため、不適切な検査条件で検査が行われていることを早期に発見できる検査装置の診断装置が要望されている。

　以下、上記課題を解決するための手段及びその作用効果について記載する。
　上記課題を解決する検査装置の診断装置は、検査装置から取得した実情報に基づいて前記検査装置を診断する検査装置の診断装置であって、前記検査装置から前記実情報として実設定データ及び実検査画像を取得する情報取得部と、基準情報として標準設定データおよび基準画像を記憶する記憶部と、前記実設定データと前記標準設定データとを比較する第１比較と、前記実検査画像と前記基準画像とを比較する第２比較とを含む複数組の比較を同じ種類同士の前記実情報と前記基準情報との間で行うことによって比較対象の組ごとに差異の有無を判定する判定部と、判定結果として取得される前記組ごとの差異の有無に関する組み合わせに応じて要因を分析する要因分析を行い、得られた要因分析結果に応じた診断内容で前記検査装置の診断を行う診断処理部と、を備える。

　この構成によれば、検査装置が適切に検査を行えているか否かを診断できる。例えば、不適切な検査条件を早期に発見して報知でき、これにより検査条件を適切に直す適切化の頻度を高めることができる。

　上記検査装置の診断装置において、前記判定部の判定結果が、前記第１比較で差異がなく、且つ前記第２比較で差異がある場合、前記診断処理部は、画像差異要因を分析する診断を行い、画像差異が許容範囲内であれば、差異分析結果に基づいて、前記基準画像に加工を施して新規基準画像を生成し、前記実設定データと前記新規基準画像を用いた検査精度試験を行い、精度結果が不十分な場合には、検査精度を改善させるための新規設定データを生成してもよい。

　この構成によれば、検査画像が原因で、検査装置が必要な精度で検査を行うことができない場合、検査精度を改善できる新規設定データを提供できる。
　上記検査装置の診断装置において、前記判定部の判定結果が、前記第１比較で差異があり、且つ前記第２比較で差異がない場合、前記診断処理部は、設定データ差異要因を分析する診断を行い、設定データ差異が許容範囲内であれば、差異分析結果に基づいて、前記実設定データと前記基準画像を用いた検査精度試験を行い、精度結果が不十分な場合には、検査精度を改善させるための新規設定データを生成してもよい。

　この構成によれば、設定データが原因で、検査装置が必要な精度で検査を行うことができない場合、検査精度を改善できる新規設定データを提供できる。
　上記検査装置の診断装置において、前記判定部の判定結果が、前記第１比較で差異があり、且つ前記第２比較で差異がある場合、前記診断処理部は、画像差異要因を分析する診断を行い、画像差異が許容範囲内であれば、更に設定データ差異要因を分析する診断を行い、設定データ差異が許容範囲内であれば、画像差異分析結果に基づいて、前記基準画像に加工を施して新規基準画像を生成し、前記実設定データと前記新規基準画像を用いた検査精度試験を行い、精度結果が不十分な場合には、検査精度を改善させるための新規設定データを生成してもよい。

　この構成によれば、設定データと検査画像が原因で、検査装置が必要な精度で検査を行うことができない場合、検査精度を改善できる新規設定データを提供できる。
　上記検査装置の診断装置は、データを出力する出力部と、指示を入力する入力部とを備え、前記診断処理部は、前記新規設定データを前記出力部から出力し、前記入力部から前記新規設定データを採用する旨の指示を受け付けると、前記標準設定データ及び前記基準画像を前記新規設定データに基づいて更新してもよい。

　この構成によれば、採用された新規設定データに基づいて標準設定データ及び前記基準画像が更新されるので、その後の検査装置の検査を適切に行うことができる。
　上記検査装置の診断装置は、前記新規設定データに基づいて更新する前の前記標準設定データと前記基準画像とを前記記憶部に記憶するとともに、前記標準設定データ及び前記基準画像のうち更新された少なくとも一方について更新前データと更新された新規データとの差異を前記記憶部に記憶してもよい。

　この構成によれば、記憶部から、更新前の標準設定データと基準画像と、更新前後のデータの差異とのうち少なくとも１つを読み出すことで、診断装置による履歴を確認することができる。例えば、履歴情報を用いて回復や分析、更には複数台の同一検査装置間の設定データ、基準画像の差異拡大を制限することが可能になる。

　上記検査装置の診断装置は、前記検査装置から前記実情報として実検査結果を取得し、前記判定部の判定結果が、前記第１比較で差異がなく、且つ前記第２比較で差異がない場合、前記診断処理部は、前記実設定データと前記実検査画像とによる仮想検査を行い、仮想検査結果と前記実検査結果との比較診断を行ってもよい。

　この構成によれば、設定データと検査画像のどちらも原因ではないのに、仮想検査結果と実検査結果に差異が発生している場合、検査処理の不適切さの有無を診断できる。例えば、検査処理ソフトウェアのバージョンが不適切であることなどを診断できる。

　上記検査装置の診断装置は、前記検査装置及び端末とネットワークを通じて接続されるサーバを備え、前記サーバは、前記情報取得部、前記記憶部、前記判定部及び前記診断処理部を備え、前記検査装置から前記実設定データ及び前記実検査画像を取得し、前記診断処理部の診断結果を前記端末に送信してもよい。

　この構成によれば、検査装置の診断をネットワークを通じて行うことができ、しかも診断結果をネットワークを通じて端末で確認することができる。なお、サーバは、自社サーバやメーカ提供の診断専用サーバでもよいし、クラウドサーバでもよい。

　上記課題を解決する検査装置の診断方法は、検査装置から取得した実情報に基づいて前記検査装置を診断する検査装置の診断方法であって、情報取得部が、前記検査装置から前記実情報として実設定データ及び実検査画像を取得する情報取得ステップと、判定部が、前記実設定データと標準設定データとの第１比較と、前記実検査画像と基準画像との第２比較とを含む複数組の比較を同じ種類同士の前記実情報と基準情報との間で行うことによって比較対象の組ごとに差異の有無を判定する判定ステップと、診断処理部が、判定結果として取得される前記組ごとの差異の有無に関する組み合わせに応じた診断内容で診断を行う診断処理ステップと、を含む。

　この方法によれば、検査装置が適切に検査を行えているか否かを診断できる。
　上記課題を解決するプログラムは、検査装置から取得した実情報に基づいて前記検査装置を診断する処理をコンピュータに実行させるプログラムであって、コンピュータに、前記検査装置から前記実情報として実設定データ及び実検査画像を取得する情報取得ステップと、前記実設定データと標準設定データとを比較する第１比較と、前記実検査画像と基準画像とを比較する第２比較とを含む複数組の比較を同じ種類同士の前記実情報と基準情報との間で行うことによって比較対象の組ごとに差異の有無を判定する判定ステップと、判定結果として取得される前記組ごとの差異の有無に関する組み合わせに応じた診断内容で診断を行う診断処理ステップと、を実行させる。

　この構成によれば、コンピュータがプログラムを実行することで、検査装置が適切に検査を行えているか否かを診断できる。

　本発明によれば、検査装置が適切に検査を行えているか否かを診断できる。

実施形態の検査システムを示す模式図である。 検査装置を示す模式図である。 記憶部に記憶される基準画像を示す模式図である。 検査処理を説明する模式図である。 欠点を抽出する検査処理を説明する模式図である。 検査システムの電気的構成を示すブロック図である。 第２記憶部に記憶されるデータ及びプログラム等を示す模式図である。 判定テーブルを示す図である。 診断メインルーチンを示すフローチャートである。 更新処理を示すフローチャートである。 診断処理ルーチンを示すフローチャートである。

　以下、撮像装置について、図面を参照して説明する。
　＜検査システム１０の概略構成＞
　図１は、本実施形態の検査システム１０を示す。検査システム１０は、検査装置２０と診断装置５０とを備える。

　検査装置２０は、検査対象を検査する装置である。検査装置２０は、例えば、工場内に複数台設置されている。検査装置２０は、検査に関する制御を司る第１コンピュータ３１を備える。また、検査装置２０は、ユーザ（オペレータ）が検査装置２０に指示を与える際に操作される入力操作部２１と、検査に関する各種メニューや設定画面が表示される表示部２２とを備える。図１に示す例では、検査装置２０は、端末２０Ｔを備える。なお、端末２０Ｔは、検査装置２０とは別に設置されるパーソナルコンピュータであってもよい。この場合、端末２０Ｔは、複数台の検査装置２０に対して共通に通信可能に接続されてもよい。要するに、端末２０Ｔは、検査装置２０のユーザが操作及び表示確認を行えるものであればよい。

　診断装置５０は、検査装置２０が検査を適切に行っているかどうかを診断する。図１に示す例では、診断装置５０は、検査装置２０とインターネット等のネットワークＮＷを介して接続されたサーバ５０Ｓにより構成される。サーバ５０Ｓは、ネットワークＮＷを介して検査装置２０及び端末２０Ｔと通信可能に接続されている。サーバ５０Ｓは、本例では、クラウドサーバ５０Ｓであるが、自社サーバ５０Ｓやメーカ提供の診断専用サーバ５０Ｓでもよい。また、診断装置５０は、診断処理を司る第２コンピュータ５１を備える。第２コンピュータ５１は、検査装置２０から取得した診断に必要な情報を記憶する第２記憶部５２を備える。この情報には、設定データ、検査画像、テスト（シミュレーション）用の基準画像、検査アプリケーション等が含まれる。なお、情報の詳細は後述する。

　＜検査装置２０の構成＞
　次に、図２を参照して検査装置２０の構成について説明する。なお、図２は、検査対象の物品１２を容器とする例である。

　図２に示すように、例えば、工場内には、検査対象の物品１２を搬送する搬送装置１３が設置されている。物品１２は、搬送装置１３のコンベヤ１４により検査装置２０の検査エリアを経由する経路で搬送される。検査装置２０は、検査エリアに位置する物品１２に光を照射する照明部２３（光源）、物品１２を撮像するカメラ２４及び検査エリア（検査位置）に達した物品１２を検知するセンサ２５を備える。

　検査装置２０は、センサ２５が物品１２を検知すると、照明部２３及びカメラ２４を駆動する。この結果、カメラ２４が、照明部２３からの光が照射された物品１２を撮像する。カメラ２４が撮像した画像は、実検査画像Ｖ１として第１コンピュータ３１に入力される。検査装置２０では、第１コンピュータ３１が、実検査画像Ｖ１に基づいて検査を行う。その検査結果は表示部２２に出力される。また、検査装置２０が検査した物品１２が不良品である場合、不良品信号が搬送系の制御装置（図示略）に送信される。制御装置は、不良品信号に基づいて不良品除去機構（図示略）を駆動させることで、不良品と判定された物品１２をコンベヤ１４上から除去する。

　検査装置２０の第１コンピュータ３１は、第１記憶部３２を備える。また、第１コンピュータ３１は、制御部３３、設定処理部３５及び検査処理部３６を備える。第１記憶部３２には、実設定データＤ１、実検査画像Ｖ１、実検査結果データＲ１、標準設定データＤ２、基準画像Ｖ２、及び検査アプリケーションＡＰ（以下、単に「検査アプリＡＰ」ともいう。）が記憶されている。なお、本実施形態では、実設定データＤ１及び実検査画像Ｖ１が、実情報ＲＤの一例に相当する。また、標準設定データＤ２及び基準画像Ｖ２が基準情報ＳＤの一例に相当する。

　制御部３３は、センサ２５からの検知信号に基づいて照明部２３及びカメラ２４を制御する。第１コンピュータ３１は、カメラ２４から取得した撮像信号を画像データに変換する信号処理部（図示略）と、画像データに必要な処理（画像処理を含む。）を施す画像処理部（図示略）とを備える。

　設定処理部３５は、ユーザーが表示部２２に表示される設定画面（図示略）で入力操作部２１を操作して設定項目ごとに入力した入力値を受け付けることで、各種の設定値で規定される設定データを設定する。設定データの設定内容によって検査の精度が変化する。このため、保証すべき精度で検査が行われるためには、適切な設定データを設定する必要がある。設定処理部３５が設定した設定データは、第１記憶部３２に記憶される。

　ここで、図２に示すように、設定データには、実際の検査に使用される実設定データＤ１と、最初に設定データを決めるためにテスト用の基準画像Ｖ２を用いてテストを行うことにより設定される標準設定データＤ２とがある。物品１２の検査を開始したときは、予めテストで決めた標準設定データＤ２が実設定データＤ１として使用される。その後、照明部２３やカメラ２４等の部品の劣化、検査装置２０の周辺又は内部の環境の変化などの種々の要因により検査の精度が低下すると、ユーザは入力操作部２１を操作して実設定データＤ１を調整する。

　例えば、カメラ２４の取付位置や取付角度が変更されると、カメラ２４の焦点距離や倍率、これに伴いシャッタ速度や絞り値などが変更される場合がある。ユーザは、カメラ２４が撮像した実検査画像Ｖ１を表示部２２で見て、表示部２２に設定画面を表示させたうえ入力操作部２１を操作することで実設定データＤ１を調整する。こうして実設定データＤ１は変更される。

　設定データＤ１，Ｄ２は、カメラ２４の撮像条件を決定する設定値、照明部２３の照明条件を決定する設定値、検査処理において検査画像に画像処理を施す画像処理条件を決定する設定値などを含む。例えば、撮像条件を決定する設定値には、焦点距離、倍率、絞り値、シャッタ速度、ゲインなどが挙げられる。また、照明条件を決定する設定値には、光量、光色、発光タイミング、発光時間等が挙げられる。また、画像処理条件を決定する設定値には、明度、コントラスト、その他の画像処理の設定値（例えばγ補正値等）、２値化処理の閾値、エッジ処理の設定値などが挙げられる。なお、カメラ２４が固定焦点で手動で絞り調整や合焦調整を行う構成である場合、設定データＤ１，Ｄ２は、絞り値や焦点に関する設定値を含まなくてもよい。

　検査処理部３６は、第１コンピュータ３１が第１記憶部３２から読み出した検査アプリＡＰを実行することによってその内部に構築される。検査処理部３６は、検査処理機能を有するソフトウェアにより構成される。検査処理部３６は、検査装置２０が物品１２を検査する検査処理を司る。検査処理部３６（検査アプリＡＰ）を使用するに際して、検査装置２０ごとに標準設定データＤ２が設定される。なお、検査アプリＡＰは、定期的又は不定期にバージョンアップ等される。検査アプリＡＰは、例えば、サーバ５０Ｓから新しいバージョンのものをダウンロードすることで更新される。

　検査処理部３６は、カメラ２４が撮像した実検査画像Ｖ１を用いて物品１２を検査する。このとき、検査処理部３６は、第１記憶部３２から読み出した実設定データＤ１を用いる。すなわち、検査処理部３６は、実検査画像Ｖ１に対して実設定データＤ１（画像処理の設定値や閾値等を含む）に基づく処理を行うことにより実検査画像Ｖ１中に撮像された物品１２を検査する。検査処理部３６は、検査処理において、物品１２が良品であるか不良品であるかを判定する。検査処理部３６は、物品１２が良品であるか不良品であるかを判定した検査結果を、検査結果データＲ１として出力する。制御部３３は、検査結果データＲ１を表示部２２に表示する。また、制御部３３は、検査結果データＲ１が不良品を示すデータ内容である場合、前述の不良品除去機構を制御する。

　第１記憶部３２には、設定処理部３５を介して設定された、標準設定データＤ２及び実設定データＤ１が記憶される。また、第１記憶部３２には、標準設定データＤ２や実設定データＤ１を設定する際に設定内容が適切であるかどうかを確認するテスト用の基準画像Ｖ２が記憶される。さらに、第１記憶部３２には、カメラ２４により撮像された実際の検査に用いられる実検査画像Ｖ１が記憶される。なお、基準画像Ｖ２の詳細は、後述する。

　＜基準画像Ｖ２について＞
　次に、図３を参照して、テスト用の基準画像Ｖ２について説明する。物品１２が容器である例で説明する。図３に示すように、基準画像Ｖ２中の物品１２が容器である場合、物品１２は、容器本体１２Ａと、容器本体１２Ａに付されたラベル１２Ｂとを備える。

　ユーザは、標準設定データＤ２を設定する前に、基準画像Ｖ２を第１記憶部３２に記憶する。図３に示すように、基準画像Ｖ２は、良品の物品１２をカメラ２４で撮像して得られた良品画像ＧＶと、不良品の物品１２をカメラ２４で撮像して得られる不良品画像ＮＶとを含む。良品画像ＧＶには、良品と判定されるべき種々の画像が含まれる。一方、不良品画像ＮＶには、不良品と判定されるべき種々の画像が含まれる。不良品画像ＮＶには、物品１２の欠点Ｆが含まれる。欠点Ｆには、汚れＦ１や破れＦ２等が含まれる。その他、欠点Ｆには、印字ずれ、傷等がある。また、検査処理部３６は、物品１２におけるラベル１２Ｂの位置ずれ等も検査し、ラベル１２Ｂの位置ずれがある場合も不良品として判定される。なお、良品画像ＧＶには、汚れ、破れ、印字ずれ、傷等の欠点Ｆが許容範囲内にある種々の良品を、照明条件及び撮像条件が環境等の変化で中央値から許容範囲内でばらつくことを想定して撮像された画像が含まれてもよい。

　ユーザは、検査処理部３６（検査アプリＡＰ）に、複数枚の良品画像ＧＶと複数枚の不良品画像ＮＶとを与えてテスト（検査）を行う。このテストを全ての良品画像ＧＶと全ての不良品画像ＮＶで正しい検査結果が必要な精度で得られるまで設定データを繰り返し調整する。このテストによって標準設定データＤ２が決定される。よって、検査処理部３６が標準設定データＤ２に基づき検査処理を行えば、物品１２を必要な検査精度で検査することができる。このため、通常、物品１２が他の品番や品種に切り替わるまでは、標準設定データＤ２が実設定データＤ１として使用される。

　しかし、例えば、照明部２３、カメラ２４をはじめとする検査装置２０の構成部品の経年劣化、照明部２３又はカメラ２４の設置位置や向きの変更、工場内の環境変化（例えば、外光の変化や温度変化等を含む）があると、テスト時と条件が変わる。この場合、実設定データＤ１として標準設定データＤ２を用いても、必要な精度が保証されなくなる場合がある。例えば、必要な検査精度が得られなくなると、ユーザは設定画面で入力操作部２１を操作して実設定データＤ１を調整する。しかし、この実設定データＤ１の調整が適切でなかった場合、必要な検査精度が保証されない。また、ユーザが基準画像Ｖ２を用いたテストを行って標準設定データＤ２を再設定しても、基準画像Ｖ２の作成時から条件や環境が変化している場合は、基準画像Ｖ２そのものが不適切な場合もありうる。この場合も、必要な検査精度が保証されない。

　そこで、本実施形態では、診断装置５０が、検査装置２０が検査対象を必要な精度で検査しているかどうかを診断する。診断装置５０は、検査装置２０を診断して正常・異常の診断結果を提供するだけでなく、異常ではないものの不適切な診断結果であった場合、標準設定データＤ２と基準画像Ｖ２とのうち少なくとも一方を更新する新規データをユーザに提供する更新推奨機能を備える。なお、診断装置５０が診断を行うときは、診断に必要な基準画像Ｖ２が第２記憶部５２に記憶される。

　＜検査内容＞
　次に、図４、図５を参照して検査の内容について説明する。
　図４に示す実検査画像Ｖ１が得られると、検査処理部３６は、実検査画像Ｖ１に対してエッジ処理等を行って、物品１２の輪郭線１５を抽出する。そして、実検査画像Ｖ１から輪郭線１５に沿って物品１２の画像を切り取る。次に、切り取った物品１２の画像から欠点Ｆを抽出する欠点抽出処理を行う。欠点抽出処理は、例えば、欠点Ｆとそれ以外の領域とを０と１の画素値で分ける２値化処理であってもよいし、検査対象の物品画像と良品画像（良品サンプル画像）とを比較して不一致の領域を欠点候補として抽出する比較処理であってもよい。

　欠点抽出処理によって、例えば、図５に示す欠点Ｆの候補が抽出される。欠点抽出処理の設定値によって、抽出される欠点Ｆの候補の領域サイズは変化する。そのため、設定値によって、実際の欠点Ｆに対して適切な形状・サイズの欠点領域ＦＮが抽出される場合、大き過ぎる不適切な欠点領域ＦＬが抽出される場合、あるいは小さ過ぎる不適切な欠点領域ＦＳが抽出される場合などがある。不適切な欠点領域ＦＬ，ＦＳが抽出される場合は、良品であるにも関わらず不良品と判定されたり、不良品であるにも関わらず良品と判定されたりする。この場合、欠点抽出処理の設定値を調整する必要がある。

　図５に示す欠点領域ＦＮが決まると、検査処理部３６は、少なくとも１つのパラメータに基づき欠点候補が欠点であるか否かを判定する。パラメータは、例えば、欠点領域ＦＮのサイズ（例えば面積）と形状などである。形状は、例えば、欠点領域ＦＮに外接する矩形のアスペクト比（縦と横の２辺の比）をパラメータとしてもよい。また、色を判定するパラメータを採用してもよい。例えば、パラメータごとに閾値が設定される。検査処理部３６は、各パラメータ値が閾値を超えるか否かを判定する。そして、検査処理部３６は全パラメータの判定結果の組合せに基づいて欠点Ｆの候補が欠点であるか否かを判定する。なお、テストは、図４において実検査画像Ｖ１に替えて基準画像Ｖ２を用いることで、検査処理部３６によって同様の検査処理で行われる。

　＜検査装置２０及び診断装置５０の電気的構成＞
　次に、図６を参照して、検査装置２０及び診断装置５０の電気的構成について説明する。検査装置２０については、図２で一部について説明したとおりの構成である。すなわち、検査装置２０は、前述のとおり、端末２０Ｔを構成する入力操作部２１、表示部２２、前記述した撮像系部品である、照明部２３、カメラ２４及びセンサ２５を備える。

　また、検査装置２０は、ネットワークＮＷに接続される第１出力部３８及び第１入力部３９を備える。第１出力部３８は、検査装置２０が診断装置５０から情報要求を受け付ける度に、あるいは所定の情報提供タイミングになる度に、第１記憶部３２に記憶された実設定データＤ１、実検査画像Ｖ１、実検査結果データＲ１、標準設定データＤ２、基準画像Ｖ２のうち少なくとも１つ（例えば、全部）のデータを、第１出力部３８からネットワークＮＷを介して診断装置５０へ出力する。また、第１出力部３８は、実設定データＤ１の更新を指示する指示データを診断装置５０へ出力する。なお、指示データは、検査装置２０内のデータを、診断装置５０が作成した新規データに更新することを指示するデータである。

　第１入力部３９は、例えば、ネットワークＮＷと接続可能な入力インターフェイスである。第１入力部３９は、診断装置５０から送られてくるデータ又は通知を入力する。通知には、診断結果の通知が含まれる。詳しくは、診断結果の通知には、「正常」、「異常」の他、異常ではないが、実設定データＤ１や基準画像Ｖ２の更新を推奨する「更新推奨」などがある。「更新推奨」には、実設定データＤ１の更新、基準画像Ｖ２の更新、標準設定データＤ２の更新などが含まれる。この更新推奨の通知を受け付けるときは、一緒に更新用の新規データが送られてくる。第１入力部３９は、検査結果の通知を受け付けたとき、第１出力部３８からネットワークＮＷを介して診断装置５０へ出力する。

　第１コンピュータ３１は、第１記憶部３２を備える。第１記憶部３２には、前述の実設定データＤ１、実検査画像Ｖ１、検査結果データＲ１、標準設定データＤ２、及び基準画像Ｖ２が記憶されている。また、第１記憶部３２には、検査アプリＡＰ及びその他の制御プログラム（図示略）が記憶されている。第１コンピュータ３１は、第１記憶部３２から読み出した検査アプリＡＰを含む各種のプログラムを実行することで、その内部にソフトウェアよりなる処理機能部として、制御部３３、設定処理部３５、検査処理部３６、及び更新処理部３７を備える。特に、検査処理部３６は、第１コンピュータ３１が、第１記憶部３２から読み出した検査アプリＡＰを実行することで、その内部にソフトウェアとして構築される。

　制御部３３は、図２を用いて説明したとおり、センサ２５からの検知信号に基づいて照明部２３及びカメラ２４を制御する。第１コンピュータ３１は、カメラ２４から取得した撮像信号を画像データに変換する信号処理部（図示略）と、画像データに必要な処理（画像処理を含む。）を施す画像処理部（図示略）とを備える。

　また、設定処理部３５は、図２を用いて説明したとおり、入力操作部２１からの入力値に基づいて実設定データＤ１を設定する設定処理、及び実設定データＤ１を調整する調整処理を行う。照明部２３やカメラ２４の劣化、検査装置２０の周辺又は内部の温度変化等の環境変化、検査対象である物品１２の切り替え（例えば、品種変更や品番変更）などに起因してユーザは、入力操作部２１を操作して実設定データＤ１を調整する場合がある。

　また、物品１２の切り替え時は、切り替える物品１２に合わせてテスト用の基準画像Ｖ２が変更される。そして、良品画像と不良品画像とを含む基準画像Ｖ２（図３参照）を用いてテストを行うことで必要な検査精度を満たす標準設定データＤ２を設定する。そして、設定処理部３５は、標準設定データＤ２を第１記憶部３２に記憶する。

　さらに、検査処理部３６は、図２を用いて説明したとおり、第１コンピュータ３１が第１記憶部３２から読み出した検査アプリＡＰを実行することで、第１コンピュータ３１内に構築される。検査処理部３６（検査アプリＡＰ）は、実検査画像Ｖ１に対して標準設定データＤ２に基づく所定の処理を行うことで、実検査画像Ｖ１中の物品１２が良品であるか不良品であるかを判定する。検査処理部３６は、検査結果を実検査結果データＲ１として出力する。

　更新処理部３７は、実設定データＤ１、標準設定データＤ２、基準画像Ｖ２を更新する処理を行う。更新に用いられる新規データＤ３，Ｖ３は、診断装置５０がデータの更新を推奨する診断結果を出した場合、診断装置５０から診断結果と共にダウンロードされる。検査装置２０は、診断装置５０から診断結果の通知と共に新規データＤ３，Ｖ３を受信する。本例では、新規データＤ３，Ｖ３へ更新するかどうかは、ユーザが表示部２２に表示される診断結果及び更新推奨情報の内容を確認して決める。更新を選択する場合、ユーザは入力操作部２１を操作して更新の承認操作を行う。すると、更新処理部３７は更新前のデータＤ２，Ｖ２を新規データＤ３，Ｖ３に更新する。なお、更新の対象データは、標準設定データＤ２のみの場合、基準画像Ｖ２のみの場合、これら両方の場合とがある。

　＜診断装置５０＞
　次に、図６、図７を参照して、診断装置５０の詳細な構成について説明する。診断装置５０は、検査装置２０から実情報ＲＤ及び基準情報ＳＤを取得する。そして、診断装置５０は、検査装置２０から取得した実情報ＲＤ及び基準情報ＳＤを用いて、検査装置２０が保証されるべき検査精度で適切な検査を行えているかどうかを診断する。なお、基準情報ＳＤは、初期の基準情報ＳＤだけを最初に取得し、以降は、診断装置５０自らが基準情報ＳＤを更新・管理する。したがって、診断装置５０は、診断ごとに毎回、基準情報ＳＤを検査装置２０から取得する必要はない。

　図６に示すように、診断装置５０は、第２コンピュータ５１、入力部の一例としての第２入力部５３、及び出力部の一例である第２出力部５４とを備える。第２コンピュータ５１は、第２記憶部５２を備える。つまり、診断装置５０は、記憶部の一例として第２記憶部５２を備える。

　第２入力部５３は、検査装置２０及び端末２０ＴからネットワークＮＷを介して各種のデータを入力する。第２入力部５３は、例えば、ネットワークＮＷと接続可能な入力インターフェイスである。

　第２出力部５４は、ネットワークＮＷを介して検査装置２０及び端末２０Ｔへ各種の通知及び各種のデータを出力する。通知には、診断結果の通知が含まれる。また、データには、新規データＮＤ（図７参照）が含まれる。新規データＮＤは、診断結果がデータの更新を推奨する内容である場合に、現在のデータに替えて更新すべき新規なデータである。

　第２記憶部５２には、プログラムＰＲ、判定テーブルＴＤ、各種のデータＤ１，Ｖ１，Ｒ１，Ｄ２．Ｖ２，Ｄ３．Ｖ３，ΔＤ，ΔＶが記憶されている。プログラムＰＲは、診断プログラムＰＲ１と検査アプリＡＰとを含む。

　詳しくは、図７に示すように、第２記憶部５２には、プログラムＰＲ、判定テーブルＴＤ、実情報ＲＤ、基準情報ＳＤ、新規データＮＤ、差異データＤＤ、仮想検査結果データＲ２等が記憶される。実情報ＲＤは、実設定データＤ１、実検査画像Ｖ１及び実検査結果データＲ１を含む。基準情報ＳＤは、標準設定データＤ２、基準画像Ｖ２を含む。新規データＮＤは、新規設定データＤ３、新規基準画像Ｖ３を含む。差異データＤＤは、設定データ差異ΔＤ及び画像差異ΔＶの各データを含む。第２記憶部５２に記憶されるデータには、診断のため検査装置２０から取得した各種のデータが含まれる。

　第２コンピュータ５１は、第２記憶部５２から読み出したプログラムＰＲを実行することで、ソフトウェアよりなる各種の処理機能部を備える。すなわち、第２コンピュータ５１は、ソフトウェアよりなる処理機能部として、情報取得部６１、判定部６２、診断処理部６３、検査処理部６４（検査アプリＡＰ）及び通知部６５を備える。診断処理部６３は、差異要因分析部７１（以下、単に要因分析部７１ともいう。）、及び新規データ生成部７２を備える。

　第２コンピュータ５１は、検査装置２０内の検査処理部３６と同じ検査処理機能を有するソフトウェアよりなる検査処理部６４を備える。この検査処理部６４は、第２コンピュータ５１が、検査装置２０で使われる検査アプリＡＰと同じ検査アプリＡＰを、第２記憶部５２から読み出して実行することで内部に構築される。検査処理部６４は、新規データへの更新を推奨する診断結果である場合に、更新用に提供する前にその新規設定データが要求される精度を保証しうるものであるかどうかを検証する検証試験に使用される。また、検査処理部６４は、検証試験以外にも、新規設定データの抽出や、抽出した新規設定データを用いた検査シミュレーションを繰り返し実行することによる新規設定データの最適化などを行う。なお、検査アプリＡＰは、定期的又は不定期にバージョンアップ等されるため、診断装置５０は、検査装置２０で実際に使用されている検査アプリＡＰを、検査装置２０から取得する。そして、取得した検査アプリＡＰを第２コンピュータ５１が実行することで、第２コンピュータ５１内に検査処理部６４が構成される。

　情報取得部６１は、診断準備のための情報取得時期又は診断時期になると、検査装置２０から実情報ＲＤ及び基準情報ＳＤを取得する。実情報ＲＤは、実設定データＤ１、実検査画像Ｖ１及び実検査結果データＲ１を含む。基準情報ＳＤは、標準設定データＤ２及び基準画像Ｖ２を含む。情報取得部６１は、例えば、診断時期に先立つ情報取得時期に、検査装置２０から基準情報ＳＤを取得してもよい。この場合、前述のとおり、検査装置２０において基準情報ＳＤが設定された際の最初の情報取得時期に、情報取得部６１が初期の基準情報ＳＤを取得するだけでもよい。情報取得部６１は、例えば、診断時期に、検査装置２０から実情報ＲＤのみを取得してもよい。このように、実情報ＲＤ及び基準情報ＳＤの取得時期は、同じでも異なってもよい。実情報ＲＤ及び基準情報ＳＤは、判定部６２の判定処理で使用される。情報取得部６１は、取得した実情報ＲＤ及び基準情報ＳＤを第２記憶部５２に記憶する。第２記憶部５２には、検査装置２０から取得した、実設定データＤ１、実検査画像Ｖ１、実検査結果データＲ１、標準設定データＤ２、基準画像Ｖ２等が記憶される。

　判定部６２は、実設定データＤ１と標準設定データＤ２とを比較する第１比較と、実検査画像Ｖ１とテスト用の基準画像Ｖ２とを比較する第２比較とを含む複数組の比較を同じ種類同士の実情報ＲＤと基準情報ＳＤとの間で行う。本実施形態では、第１比較が、実設定データＤ１と標準設定データＤ２とを比較する設定データ比較処理である。第２比較が、実検査画像Ｖ１とテスト用の基準画像Ｖ２とを比較する画像比較処理である。第１比較の比較結果から設定データＤ１，Ｄ２間の差異の有無が決まる。また、第２比較の比較結果から画像Ｖ１，Ｖ２間の差異の有無が決まる。こうして、判定部６２は、比較対象の組ごとに差異の有無を判定する。

　本実施形態の判定部６２は、複数組の比較を同じ種類同士の実情報ＲＤと基準情報ＳＤとの間で行った結果として得られる差異の有無の組合せ結果を、例えば、所定ビットの判定値として出力する。例えば、第２記憶部５２には、図８に示す判定テーブルＴＤが記憶されている。判定部６２は、判定結果として得られた複数組の差異の有無の組合せ結果を、判定テーブルＴＤを参照して、例えば、２ビットの差異判定値として取得する。図８に示す例では、第１比較結果の差異の有無が、２ビット値の２桁目に示され、第２比較結果の差異の有無が、２ビット値の１桁目に示される。

　図８に示す判定テーブルＴＤの例では、設定データＤ１，Ｄ２に差異がなく、且つ画像Ｖ１，Ｖ２にも差異がない場合、差異判定値は「００」とされる。また、設定データＤ１，Ｄ２に差異があり、且つ画像Ｖ１，Ｖ２に差異がない場合、差異判定値は「１０」とされる。さらに、設定データＤ１，Ｄ２に差異がなく、且つ画像Ｖ１，Ｖ２に差異がある場合、差異判定値は「０１」とされる。また、設定データＤ１，Ｄ２に差異があり、且つ画像Ｖ１，Ｖ２間にも差異がある場合、差異判定値は「１１」とされる。判定部６２は、判定結果を例えば２ビットの差異判定値として、診断処理部６３に送る。

　診断処理部６３は、診断処理を行う。詳しくは、診断処理部６３は、判定結果として取得される組ごとの差異の有無に関する組み合わせに応じて要因を分析する要因分析を行い、得られた要因分析結果に応じた診断内容で検査装置２０の診断を行う。要因分析は、要因分析部７１が行う。

　新規データ生成部７２は、要因分析部７１が分析した差異の要因に応じて新規データＮＤを生成する。新規データ生成部７２は、差異の要因に応じて、新規設定データＤ３及び新規基準画像Ｖ３のうち少なくとも一方を作成する。新規データ生成部７２が生成した新規設定データＤ３及び新規基準画像Ｖ３は、新規データＮＤとして、第２記憶部５２に記憶される。

　診断処理部６３は、新規データＮＤを検査処理部６４（検査アプリＡＰ）に適用して、仮想検査試験を行う。すなわち、診断処理部６３は、新規データＮＤを用いて検査処理部６４に対して検査処理を行わせる。この検査処理は、検査装置２０内の検査処理部３６と同じ検査アプリＡＰを用いるので、診断装置５０は検査装置２０と同じ検査内容で仮想検査を行う。

　＜作用＞
　次に、図９～図１１を参照して診断装置５０の作用を説明する。
　第２コンピュータ５１（以下、単にコンピュータ５１ともいう。）のＣＰＵは、プログラムＰＲを実行する。なお、プログラムＰＲは、検査装置２０から取得した実情報ＲＤ及び基準情報ＳＤに基づいて検査装置２０を診断する処理をコンピュータ５１に実行させるものである。

　まず、図９を参照して診断メインルーチンについて説明する。
　図９において、まずステップＳ１１では、診断時期であるか否かを判定する。診断時期であればステップＳ１２に進み、診断時期でなければ当該処理を終了する。

　ステップＳ１２において、コンピュータ５１は、実情報ＲＤと基準情報ＳＤとを取得する。コンピュータ５１は、実情報ＲＤを検査装置２０からネットワークＮＷを介して取得する。基準情報ＳＤについては、検査対象の物品１２の品番ごとに既に第２記憶部５２に記憶されているので、コンピュータ５１は第２記憶部５２から読み出すことで基準情報ＳＤを取得する。実情報ＲＤとして、実設定データＤ１及び実検査画像Ｖ１が取得される。また、基準情報ＳＤとして、標準設定データＤ２及び基準画像Ｖ２が取得される。さらに、実情報ＲＤとして、実検査結果データＲ１を取得してもよい。基準情報ＳＤについては、データなしや異常時などに検査装置２０からネットワークＮＷを介して取得してもよい。なお、このステップＳ１１の処理が、検査装置２０から実情報ＲＤとして実設定データＤ１及び実検査画像Ｖ１を取得する情報取得ステップの一例に相当する。

　次のステップＳ１３において、コンピュータ５１は、診断処理を実行する。この診断処理の詳細は、図１１の診断処理ルーチンを参照しつつ後述する。診断処理では、検査装置２０から取得した実情報ＲＤ及び基準情報ＳＤに基づいて検査装置２０を診断する。診断結果としては、「正常」、「異常」、「設定データ異常」、「実設定データ不適切」、「画像異常」などがある。

　次のステップＳ１４において、コンピュータ５１は、診断結果を通知する。詳しくは、コンピュータ５１は、診断結果が「正常」である場合、検査装置２０又は端末２０Ｔに対して、正常の旨を通知する。また、コンピュータ５１は、診断結果が「設定データ不適切」である場合、検査装置２０又は端末２０Ｔに対して設定データ不適切の旨及び実設定データＤ１の更新を促す旨を通知する。このとき、実設定データＤ１（又は標準設定データＤ２）を更新するための更新用の新規設定データＤ３を検査装置２０又は端末２０Ｔに送信する。また、コンピュータ５１は、診断結果が「基準画像不適切」である場合、検査装置２０又は端末２０Ｔに対して、基準画像不適切の旨及び基準画像Ｖ２の更新を促す旨を通知する。このとき、基準画像Ｖ２を更新するための新規基準画像Ｖ３を検査装置２０又は端末２０Ｔに送信する。さらに、コンピュータ５１は、診断結果が「異常」である場合、検査装置２０又は端末２０Ｔに対して、異常判定の要因の確認、及び検査装置２０の運転中止を促す旨を通知する。

　＜診断処理ルーチン＞
　次に、図１１を参照して、診断処理ルーチンについて説明する。
　まずステップＳ２１において、コンピュータ５１は、設定データ比較処理及び画像比較処理を実行する。詳しくは、コンピュータ５１は、設定データ比較処理として、実設定データＤ１と標準設定データＤ２とを比較して差異（変更点）を取得する。併せて、コンピュータ５１は、画像比較処理として、実検査画像Ｖ１と基準画像Ｖ２とを比較して差異を取得する。なお、本実施形態では、このステップＳ２１の処理が、判定ステップの一例に相当する。

　コンピュータ５１は、設定データ比較処理としての第１比較と、画像比較処理としての第２比較とを含む複数組の比較を同じ種類同士の実情報ＲＤと基準情報ＳＤとの間で行う。これにより、コンピュータ５１は、比較対象の組ごとに差異の有無を判定する。

　詳しくは、比較を行う１つの組のデータの種類は「設定データ」である。コンピュータ５１は、設定データ同士の実情報ＲＤ（実設定データＤ１）と基準情報ＳＤ（標準設定データＤ２）とを比較することで、設定データの差異の有無を判定する。つまり、コンピュータ５１は、第１比較によって、実設定データＤ１が標準設定データＤ２から変更されたか否かを判定する。

　比較を行う他の１つの組のデータの種類は「検査画像」である。コンピュータ５１は、検査画像同士の実情報ＲＤ（実検査画像Ｖ１）と基準情報ＳＤ（基準画像Ｖ２）とを比較することで、検査画像の差異の有無を判定する。つまり、コンピュータ５１は、第２比較によって、実検査画像Ｖ１が基準画像Ｖ２に対して差異があるか否かを判定する。

　ステップＳ２２において、コンピュータ５１は、差異判定値が「００」であるか否かを判定する。コンピュータ５１は、差異判定値が「００」であればステップＳ３８に進み、「００」でなければステップＳ２３に進む。つまり、実設定データＤ１に変更点がなく且つ実検査画像Ｖ１に差異がなければ（００であれば）、ステップＳ３８に進む。一方、実設定データＤ１に変更点があるか又は実検査画像Ｖ１に差異があれば（００以外であれば）、ステップＳ２３に進む。

　ステップＳ２３において、コンピュータ５１は、差異判定値が「０１」又は「１１」であるか否かを判定する。コンピュータ５１は、差異判定値が「０１」又は「１１」であればステップＳ２４に進み、「０１」と「１１」のどちらでもなければ（つまり「１０」であれば）ステップＳ２６に進む。

　ステップＳ２４において、コンピュータ５１は、画像差異分析を行う。画像差異分析とは、差異のある画像箇所を分析する処理である。画像差異分析では、分析で得られた差異を基に要因を抽出する画像差異要因抽出が一緒に行われてもよい。画像差異要因抽出で抽出された要因は、次の判定で用いる許容範囲の決定に使用される。

　ステップＳ２５において、コンピュータ５１は、差異が許容範囲にあるか否かを判定する。すなわち、コンピュータ５１は、画像差異が、差異の要因ごとに個別に設定された許容範囲にあるか否かを判定する。差異が許容範囲にあればステップＳ２６に進み、差異が許容範囲になければステップＳ２７に進む。

　ステップＳ２７において、コンピュータ５１は、診断結果を「画像異常」とする。
　ステップＳ２６において、コンピュータ５１は、差異判定値が「１０」又は「１１」であるか否かを判定する。コンピュータ５１は、差異判定値が「１０」又は「１１」であれば、ステップＳ２８に進み、「１０」と「１１」のどちらでもなければ（つまり「０１」であれば）ステップＳ３０に進む。

　ステップＳ２８において、コンピュータ５１は、設定データ差異分析を行う。設定データ差異分析とは、実設定データＤ１に含まれる複数のパラメータのうち差異のある（変更された）パラメータ及びその差異の量（変更量）を分析する処理である。差異のあるパラメータが複数ある場合は差異のあるパラメータの組み合わせを分析してもよい。この設定データ差異分析では、分析で得られた差異を基に要因を抽出する設定データ差異要因抽出が一緒に行われてもよい。設定データ差異要因抽出で抽出された要因は、次の判定で用いる許容範囲の決定に使用される。

　次のステップＳ２９において、コンピュータ５１は、差異が許容範囲にあるか否かを判定する。すなわち、コンピュータ５１は、設定データ差異が、差異の要因ごとに個別に設定された許容範囲にあるか否かを判定する。例えば、コンピュータ５１は、要因と許容範囲とが対応付けられたテーブルデータ等を参照して、要因に応じた許容範囲を取得する。コンピュータ５１は、差異が許容範囲にあればステップＳ３０に進み、差異が許容範囲になければステップＳ３１に進む。

　ステップＳ３１において、コンピュータ５１は、診断結果を「設定データ異常」とする。
　ステップＳ３０において、コンピュータ５１は、差異判定値が「０１」又は「１１」であるか否かを判定する。コンピュータ５１は、差異判定値が「０１」又は「１１」であれば、ステップＳ３２に進み、「０１」と「１１」のどちらでもなければ（つまり「１０」であれば）ステップＳ３３に進む。

　ステップＳ３２において、コンピュータ５１は、画像差異要因に基づいて新規基準画像を生成する。この処理は、新規データ生成部７２が行う。新規データ生成部７２は、画像差異要因に基づいて基準画像Ｖ２を加工することで新規基準画像Ｖ３を生成する。

　次のステップＳ３３において、コンピュータ５１は、精度検証試験を実行する。この処理は、検査処理部６４（検査アプリＡＰ）が行う。ここで、この精度検証処理では、検査アプリＡＰに基づく仮想検査を行うことで検査精度が保証されるかどうかを検証する。差異判定値によって仮想検査に適用する設定データ及び基準画像が異なる。

　詳しくは、差異判定値が「１０」である場合、設定データのみに差異があるので、この差異があっても検査精度が保証されるかどうかを検証する。このとき、実検査画像Ｖ１と基準画像Ｖ２との間に差異はないので、基準画像Ｖ２を用いて検査結果を出す。

　一方、差異判定値が「０１」又は「１１」である場合、実検査画像Ｖ１と基準画像Ｖ２との間に画像の差異があるので、この画像の差異があっても検査精度が保証されるかどうかを仮想検査によって検証する。このとき、実検査画像Ｖ１と基準画像Ｖ２との間に差異があるので、まずこの差異を無くす又は小さくするために更新用の新規基準画像Ｖ３を生成する（Ｓ３２）。そして、本ステップにおいて、コンピュータ５１は、実設定データＤ１及び新規基準画像Ｖ３を用いて検査アプリＡＰを実行することで仮想検査を行い、この仮想検査結果から精度検証を行う。つまり、コンピュータ５１は、新規基準画像Ｖ３に更新すれば、検査精度が保証されるかどうかを、新規基準画像Ｖ３を用いた仮想検査を行うことで、その検査結果から検証する。

　ここで、画像差異分析を設定データ差異分析よりも先に行うのは、基準画像Ｖ２が適切であることを確認したうえで設定データ差異分析を行わないと、設定データ異常の誤診断が発生する可能性があるからである。本実施形態では、差異判定値が「１１」の場合、コンピュータ５１が、画像差異分析（Ｓ２４）、設定データ差異分析（Ｓ２８）の順に処理を行うことで、画像異常（Ｓ２７）を排除したうえで、設定データＤ１の診断を行うので、設定データ異常が正しく診断される。

　ステップＳ３４において、コンピュータ５１は、検査精度が許容範囲にあるか否かを判定する。コンピュータ５１は、検査精度が許容範囲にあればステップＳ３５に進み、検査精度が許容範囲になければステップＳ３６に進む。

　ステップＳ３５において、コンピュータ５１は、診断結果を「正常」とする。
　ステップＳ３６において、コンピュータ５１は、設定データ最適化処理を実行する。この処理は、新規データ生成部７２が行う。新規データ生成部７２は、設定データ差異要因に基づいて実設定データＤ１を加工することで新規設定データＤ３を生成する。

　ステップＳ３７において、コンピュータ５１は、診断結果を「実設定データ不適切」とする。なお、「実設定データ不適切」である場合、新規設定データＤ３への更新を推奨する。

　一方、差異判定値「００」である場合、コンピュータ５１は、ステップＳ３８～ステップＳ４２の処理を実行する。
　ステップＳ３８において、コンピュータ５１は、仮想検査処理を実行する。

　次のステップＳ３９において、コンピュータ５１は、仮想検査結果と実検査結果とを比較する。
　ステップＳ４０において、コンピュータ５１は、差異ありか否かを判定する。差異がなければステップＳ４１に進み、差異があればステップＳ４２に進む。

　ステップＳ４１において、コンピュータ５１は、診断結果を「正常」とする。
　ステップＳ４２において、コンピュータ５１は、診断結果を「異常」とする。
　なお、本実施形態では、図１１において、判定結果として取得される組ごとの差異の有無に関する組み合わせ（差異判定値００，１０，０１，１１）に応じた診断内容で診断を行うステップＳ２４，Ｓ２５、Ｓ２７～Ｓ２９，Ｓ３１～Ｓ４２の処理が、診断処理ステップの一例に相当する。

　こうして、差異判定値が「０１」である場合、つまり判定部６２の判定結果が、第１比較で差異がなく、且つ第２比較で差異がある場合、診断処理部６３は、画像差異要因を分析する診断を行う。そして、診断処理部６３は、画像差異が許容範囲内であれば、差異分析結果に基づいて、基準画像Ｖ２に加工を施して新規基準画像Ｖ３を生成する。さらに、診断処理部６３は、実設定データＤ１と新規基準画像Ｖ３を用いた検査精度試験を行い、精度結果が不十分な場合には、検査精度を改善させるための新規設定データＤ３を生成する。

　また、差異判定値が「１０」である場合、つまり判定部６２の判定結果が、第１比較で差異があり、且つ第２比較で差異がない場合、診断処理部６３は、設定データ差異要因を分析する診断を行う。そして、診断処理部６３は、設定データ差異が許容範囲内であれば、差異分析結果に基づいて、実設定データＤ１と基準画像Ｖ２を用いた検査精度試験を行う。診断処理部６３は、精度結果が不十分な場合には、検査精度を改善させるための新規設定データＤ３を生成する。

　さらに、差異判定値が「１１」である場合、つまり判定部６２の判定結果が、第１比較で差異があり、且つ第２比較でも差異がある場合、診断処理部６３は、画像差異要因を分析する診断を行う。そして、診断処理部６３は、画像差異が許容範囲内であれば、更に設定データ差異要因を分析する診断を行う。さらに、診断処理部６３は、設定データ差異が許容範囲内であれば、画像差異分析結果に基づいて、基準画像Ｖ２に加工を施して新規基準画像Ｖ３を生成する。診断処理部６３は、実設定データＤ１と新規基準画像Ｖ３を用いた検査精度試験を行い、精度結果が不十分な場合には、検査精度を改善させるための新規設定データＤ３を生成する。

　また、差異判定値が「００」である場合、つまり判定部６２の判定結果が、第１比較で差異がなく、且つ第２比較でも差異がない場合、診断処理部６３は、実設定データＤ１と実検査画像Ｖ１とによる検査（仮想検査）を行う。そして、診断処理部６３は、実検査結果データＲ１と仮想検査結果データＲ２とを用いて、仮想検査結果と実検査結果との比較診断を行う。この比較診断で差異があれば、例えば、検査アプリＡＰ（検査処理ソフトウェア）のバージョンが不適切であるなどの異常と推定される。

　＜新規データ更新処理＞
　次に、新規データ更新処理について説明する。検査装置２０又は端末２０Ｔの表示部２２で診断結果を見たユーザは、実設定データ不適切又は画像異常の診断結果である場合、新規データへの更新を推奨される。ユーザは、新規データへの更新を希望する場合、入力操作部２１を操作して新規データへの更新を指示する。検査装置２０又は端末２０ＴからネットワークＮＷを介して指示データが診断装置５０へ送信される。一方、診断装置５０の第２コンピュータ５１は、図９におけるステップＳ１４で診断結果を通知した後、図１０に示す更新処理ルーチンを開始しており、検査装置２０又は端末２０Ｔからの指示データの受信を待機する。以下、図１０を参照して、第２コンピュータ５１が実行する更新処理ルーチンについて説明する。

　ステップＳ５１において、コンピュータ５１は、指示データを受信したか否かを判定する。指示データを受信すればステップＳ５２に進み、指示データを受信しなければ当該ルーチンを終了する。なお、診断結果の通知から一定時間待機しても指示データを受信しない場合、あるいは、新規データ更新不要の旨の不要データを受信した場合、コンピュータ５１は、指示データを受信しないと判断する。

　ステップＳ５２において、コンピュータ５１は、更新処理を実行する。つまり、コンピュータ５１は、検査装置２０にアクセスして更新前のデータを新規データＮＤに更新する。詳しくは、新規データＮＤが新規設定データＤ３である場合、コンピュータ５１は、検査装置２０内の標準設定データＤ２を新規設定データＤ３に更新する。一方、新規データＮＤが新規基準画像Ｖ３である場合、コンピュータ５１は、検査装置２０内の基準画像Ｖ２を新規基準画像Ｖ３に更新する。さらに、コンピュータ５１は、第２記憶部５２にアクセスして更新前のデータを新規データＮＤに更新する更新処理を行う。つまり、コンピュータ５１は、検査装置２０に対して行った更新前データから新規データＮＤへの上述の更新処理を、第２記憶部５２内のデータに対しても同様に行う。こうして、検査装置２０と診断装置５０間で更新後のデータが整合する。

　次のステップＳ５３において、コンピュータ５１は、更新前後の差異を抽出する。つまり、コンピュータ５１は、更新前のデータと更新される新規データＮＤとの差異を抽出する。詳しくは、新規データＮＤが新規設定データＤ３である場合、コンピュータ５１は、更新前の標準設定データＤ２と新規設定データＤ３との差異である設定データ差異ΔＤを抽出する。一方、新規データＮＤが新規基準画像Ｖ３である場合、コンピュータ５１は、更新前の基準画像Ｖ２と新規基準画像Ｖ３との差異である画像差異ΔＶを抽出する。

　次のステップＳ５４において、コンピュータ５１は、差異を記憶する。すなわち、コンピュータ５１は、設定データ差異ΔＤと画像差異ΔＶとのうち、ステップＳ５３で抽出した少なくとも一方を、第２記憶部５２に記憶する。なお、設定データ差異ΔＤと画像差異ΔＶとのうち少なくとも一方を、検査装置２０側の第１記憶部３２に記憶してもよい。

　＜実施形態の効果＞
　以上、詳述した実施形態によれば、以下に示す効果が得られる。
　（１）診断装置５０は、検査装置２０から取得した実情報ＲＤに基づいて検査装置２０を診断する。診断装置５０は、情報取得部６１と、記憶部５２と、判定部６２と、診断処理部６３とを備える。情報取得部６１は、検査装置２０から実情報ＲＤとして実設定データＤ１及び実検査画像Ｖ１を取得する。記憶部５２は、基準情報ＳＤとして標準設定データＤ２および基準画像Ｖ２を記憶する。判定部６２は、実設定データＤ１と標準設定データＤ２とを比較する第１比較と、実検査画像Ｖ１と基準画像Ｖ２とを比較する第２比較とを含む複数組の比較を同じ種類同士の実情報ＲＤと基準情報ＳＤとの間で行うことによって比較対象の組ごとに差異の有無を判定する。診断処理部６３は、判定結果として取得される組ごとの差異の有無に関する組み合わせに応じて要因を分析する要因分析を行い、得られた要因分析結果に応じた診断内容で検査装置２０の診断を行う。この構成によれば、検査装置２０が適切に検査を行えているか否かを診断できる。例えば、不適切な検査条件を早期に発見して報知でき、これにより検査条件を適切に直す適切化の頻度を高めることができる。

　（２）判定部６２の判定結果が、第１比較で差異がなく、且つ第２比較で差異がある場合、診断処理部６３は、画像差異要因を分析する診断を行う。そして、診断処理部６３は、画像差異が許容範囲内であれば、差異分析結果に基づいて、基準画像Ｖ２に加工を施して新規基準画像Ｖ３を生成する。さらに、診断処理部６３は、実設定データＤ１と新規基準画像Ｖ３を用いた検査精度試験を行い、精度結果が不十分な場合には、検査精度を改善させるための新規設定データＤ３を生成する。この構成によれば、検査画像が原因で、検査装置２０が必要な精度で検査を行うことができない場合、検査精度を改善できる新規設定データＤ３を提供できる。

　（３）判定部６２の判定結果が、第１比較で差異があり、且つ第２比較で差異がない場合、診断処理部６３は、設定データ差異要因を分析する診断を行う。そして、診断処理部６３は、設定データ差異が許容範囲内であれば、差異分析結果に基づいて、実設定データＤ１と基準画像Ｖ２を用いた検査精度試験を行う。診断処理部６３は、精度結果が不十分な場合には、検査精度を改善させるための新規設定データＤ３を生成する。この構成によれば、設定データが原因で、検査装置２０が必要な精度で検査を行うことができない場合、検査精度を改善できる新規設定データＤ３を提供できる。

　（４）判定部６２の判定結果が、第１比較で差異があり、且つ第２比較で差異がある場合、診断処理部６３は、画像差異要因を分析する診断を行う。そして、診断処理部６３は、画像差異が許容範囲内であれば、更に設定データ差異要因を分析する診断を行う。さらに、診断処理部６３は、設定データ差異が許容範囲内であれば、画像差異分析結果に基づいて、基準画像Ｖ２に加工を施して新規基準画像Ｖ３を生成する。診断処理部６３は、実設定データＤ１と新規基準画像Ｖ３を用いた検査精度試験を行い、精度結果が不十分な場合には、検査精度を改善させるための新規設定データＤ３を生成する。この構成によれば、設定データと検査画像が原因で、検査装置２０が必要な精度で検査を行うことができない場合、検査精度を改善できる新規設定データＤ３を提供できる。

　（５）診断装置５０は、データを出力する出力部５４と、指示を入力する入力部５３とを備える。診断処理部６３は、新規設定データＤ３を出力部５４から出力する。そして、診断処理部６３は、入力部５３から新規設定データＤ３を採用する旨の指示を受け付けると、標準設定データＤ２及び基準画像Ｖ２を新規設定データＤ３に基づいて更新する。この構成によれば、採用された新規設定データＤ３に基づいて標準設定データＤ２及び基準画像Ｖ２が更新されるので、その後の検査装置２０の検査を適切に行うことができる。

　（６）診断装置５０は、新規設定データＤ３に基づいて更新する前の標準設定データＤ２と基準画像Ｖ２とを記憶部５２に記憶する。さらに、診断装置５０は、標準設定データＤ２及び基準画像Ｖ２のうち更新された少なくとも一方について更新前データと更新された新規データＤ３，Ｖ３との差異ΔＤ，ΔＶを記憶部５２に記憶する。

　この構成によれば、記憶部５２から、更新前の標準設定データＤ２と基準画像Ｖ２と、更新前後のデータの差異ΔＤ，ΔＶとのうち少なくとも１つを読み出すことで、診断装置５０による履歴を確認することができる。例えば、履歴情報を用いて回復や分析、更には複数台の同一検査装置２０間の設定データ、基準画像Ｖ２の差異拡大を制限することが可能になる。

　（７）検査装置２０から実情報ＲＤとして実検査結果データＲ１を取得する。判定部６２の判定結果が、第１比較で差異がなく、且つ第２比較で差異がない場合、診断処理部６３は、実設定データＤ１と実検査画像Ｖ１とによる仮想検査を行う。そして、診断処理部６３は、仮想検査結果と実検査結果との比較診断を行う。この構成によれば、設定データと検査画像のどちらも原因ではないのに、仮想検査結果と実検査結果に差異が発生している場合、検査処理そのものが不適切であると診断できる。例えば、検査処理ソフトウェアのバージョンが不適切であることを診断できる。

　（８）診断装置５０は、検査装置２０及び端末２０ＴとネットワークＮＷを通じて接続されるサーバ５０Ｓを備える。サーバ５０Ｓは、情報取得部６１、記憶部５２、判定部６２及び診断処理部６３を備える。サーバ５０Ｓは、検査装置２０から実設定データＤ１及び実検査画像Ｖ１を取得し、診断処理部６３の診断結果を端末２０Ｔに送信する。この構成によれば、検査装置２０の診断をネットワークＮＷを通じて行うことができ、しかも診断結果をネットワークＮＷを通じて端末２０Ｔで確認することができる。

　（９）検査装置２０から取得した実情報ＲＤに基づいて検査装置２０を診断する検査装置２０の診断方法は、情報取得ステップと、判定ステップと、診断処理ステップとを含む。情報取得ステップでは、情報取得部６１が、検査装置２０から実情報ＲＤとして実設定データＤ１及び実検査画像Ｖ１を取得する。判定ステップでは、判定部６２が、実設定データＤ１と標準設定データＤ２との第１比較と、実検査画像Ｖ１と基準画像Ｖ２との第２比較とを含む複数組の比較を同じ種類同士の実情報ＲＤと基準情報ＳＤとの間で行うことによって比較対象の組ごとに差異の有無を判定する。診断処理ステップでは、診断処理部６３が、判定結果として取得される組ごとの差異の有無に関する組み合わせに応じた診断内容で診断を行う。この方法によれば、検査装置２０が適切に検査を行えているか否かを診断できる。

　（１０）プログラムＰＲは、検査装置２０から取得した実情報ＲＤに基づいて検査装置２０を診断する処理をコンピュータに実行させる。プログラムＰＲは、コンピュータに、情報取得ステップと、判定ステップと、診断処理ステップとを実行させる。情報取得ステップでは、検査装置２０から実情報ＲＤとして実設定データＤ１及び実検査画像Ｖ１を取得する。判定ステップでは、実設定データＤ１と標準設定データＤ２とを比較する第１比較と、実検査画像Ｖ１と基準画像Ｖ２とを比較する第２比較とを含む複数組の比較を同じ種類同士の実情報ＲＤと基準情報ＳＤとの間で行うことによって比較対象の組ごとに差異の有無を判定する。診断処理ステップは、判定結果として取得される組ごとの差異の有無に関する組み合わせに応じた診断内容で診断を行う。このプログラムＰＲによれば、コンピュータ５１により実行されることで、検査装置２０が適切に検査を行えているか否かを診断できる。

　実施形態は、上記に限定されず、以下の態様に変更してもよい。
　・診断装置５０はサーバに限定されない。この場合、検査装置２０と診断装置５０は、ＬＡＮで接続されてもよい。例えば、工場内の複数台の検査装置２０が工場内ＬＡＮを介して１台の共通の診断装置５０に接続されてもよい。また、端末２０Ｔ内に診断装置５０が組み込まれてもよい。さらに、診断装置５０が検査装置２０に組み込まれてもよい。この場合、検査装置２０の第１コンピュータ３１と診断装置５０の第２コンピュータ５１は別々でもよいし、検査装置２０と診断装置５０とで共有する１つのコンピュータでもよい。

　・端末２０Ｔは、検査装置２０に組み付けられた構成でもよいし、検査装置２０とＬＡＮを介して通信可能に接続されてもよい。
　・検査装置２０又はこれに対応する端末２０Ｔから予め自動更新モードを設定できる構成としてもよい。この場合、自動更新モード時は不適切な設定データＤ１又は不適切な実検査画像Ｖ１を新規データに自動更新してもよい。

　・更新が推奨される新規データを判定結果と共にユーザ側の検査装置２０又は端末２０Ｔに送信し、新規データに更新するかどうかはユーザに委ねてもよい。
　・診断装置５０を、検査装置２０又は端末２０Ｔから診断の指示を受け付け可能に構成し、診断装置５０が診断の指示を受け付けると、診断処理を行って診断結果を検査装置２０又は端末２０Ｔに送信してもよい。例えば、実設定データＤ１を調整したときに、その調整が必要な精度を保証しうるものであるかどうか診断装置５０に確認することができる。

　・同じ種類同士の実情報ＲＤと基準情報ＳＤとの間で行う複数組の比較は、第１比較と第２比較との２組に限定されない。例えば、第３比較を加えて３組としてもよいし、さらに第４比較を加えて４組にしてもよい。例えば、判定部６２が、第３比較として、実検査結果データＲ１とテスト時の検査結果データＲ２とを比較して両者の差異の有無を判定してもよい。

　・判定部６２は、比較対象の組ごとに差異の有無を判定して得られる複数の組合せの全てについて要因解析を行う必要はなく、少なくとも１つの組合せについて要因分析を行うだけでもよい。例えば、前記実施形態において図１１のステップＳ３７～Ｓ４０の処理を行わなくてもよい。

　・前記実施形態において、診断装置５０の診断結果として正常か異常かのみを検査装置２０又は端末２０Ｔに送信する構成としてもよい。
　・前記実施形態において、診断装置５０の診断結果として正常、異常、不適切の診断結果を検査装置２０又は端末２０Ｔに送信するが、更新を推奨する新規データについては作成しない構成でもよい。すなわち、更新作業と更新する内容はユーザに委ねてもよい。

　・プログラムＰＲは、ＣＤ又はＤＶＤ等の記憶媒体に記憶された状態で販売等されてもよい。
　・診断装置５０が診断の対象とする検査装置２０の検査対象は特に限定されない。検査対象の物品１２は、容器等に限定されない。検査対象は、電子部品や機械部品等の各種の部品、電化製品や機械製品等の各種の製品、さらに製品を製造する製造ラインを搬送される加工品であってもよい。また、検査は、部品の受け入れ検査、部品や製品の出荷前検査でもよい。また、検査装置２０の検査は、Ｘ線や超音波等を用いた非破壊検査でもよい。

　１０…検査システム、１１…搬送装置、１２…物品、１２Ａ…容器本体、１２Ｂ…ラベル、１３…搬送装置、１４…コンベヤ、１５…輪郭線、２０…検査装置、２０Ｔ…端末、２１…入力操作部、２２…表示部、２３…照明部、２４…カメラ、２５…センサ、３１…第１コンピュータ、３２…第１記憶部、３３…制御部、３５…設定処理部、３６…検査処理部、３７…更新処理部、３８…第１出力部、３９…第１入力部、５０…診断装置、５０Ｓ…サーバ（クラウドサーバ）、５１…第２コンピュータ、５２…記憶部の一例としての第２記憶部、５３…入力部の一例としての第２入力部、５４…出力部の一例としての第２出力部、６１…情報取得部、６２…判定部、６３…診断処理部、６４…検査処理部（検査アプリ）、６５…通知部、７１…要因分析部（差異要因分析部）、７２…検査処理部、ＮＷ…ネットワーク、ＡＰ…検査アプリケーション（検査アプリ）、ＰＲ…プログラム、ＰＲ１…診断プログラム、ＧＶ…良品画像、ＮＶ…不良品画像、Ｆ…欠点、Ｆ１…汚れ、Ｆ２…破れ、ＦＮ…適正な欠点領域、ＦＬ…過大な欠点領域、ＦＳ…過小の欠点領域、ＴＤ…判定テーブル、ＲＤ…実情報、ＳＤ…基準情報、Ｄ１…実設定データ、Ｖ１…実検査画像、Ｒ１…実検査結果データ、Ｄ２…標準設定データ、Ｖ２…テスト用の基準画像、Ｒ２…仮想検査結果データ、ＮＤ…新規データ、Ｄ３…新規データの一例である新規設定データ、Ｖ３…新規データの一例である新規基準画像、ＤＤ…差異データ、ΔＤ…差異（設定データ差異）、ΔＶ…差異（画像差異）。

Claims (11)

1. 　検査装置から取得した実情報に基づいて前記検査装置を診断する検査装置の診断装置であって、
   　前記検査装置から前記実情報として実設定データ及び実検査画像を取得する情報取得部と、
   　基準情報として標準設定データおよび基準画像を記憶する記憶部と、
   　前記実設定データと前記標準設定データとを比較する第１比較と、前記実検査画像と前記基準画像とを比較する第２比較とを含む複数組の比較を同じ種類同士の前記実情報と前記基準情報との間で行うことによって比較対象の組ごとに差異の有無を判定する判定部と、
   　判定結果として取得される前記組ごとの差異の有無に関する組み合わせに応じて要因を分析する要因分析を行い、得られた要因分析結果に応じた診断内容で前記検査装置の診断を行う診断処理部と、
   を備えることを特徴とする検査装置の診断装置。
2. 　前記判定部の判定結果が、前記第１比較で差異がなく、且つ前記第２比較で差異がある場合、前記診断処理部は、画像差異要因を分析する診断を行い、画像差異が許容範囲内であれば、差異分析結果に基づいて、前記基準画像に加工を施して新規基準画像を生成し、前記実設定データと前記新規基準画像を用いた検査精度試験を行い、精度結果が不十分な場合には、検査精度を改善させるための新規設定データを生成することを特徴とする請求項１に記載の検査装置の診断装置。
3. 　前記判定部の判定結果が、前記第１比較で差異があり、且つ前記第２比較で差異がない場合、前記診断処理部は、設定データ差異要因を分析する診断を行い、設定データ差異が許容範囲内であれば、差異分析結果に基づいて、前記実設定データと前記基準画像を用いた検査精度試験を行い、精度結果が不十分な場合には、検査精度を改善させるための新規設定データを生成することを特徴とする請求項１に記載の検査装置の診断装置。
4. 　前記判定部の判定結果が、前記第１比較で差異があり、且つ前記第２比較で差異がある場合、前記診断処理部は、画像差異要因を分析する診断を行い、画像差異が許容範囲内であれば、更に設定データ差異要因を分析する診断を行い、設定データ差異が許容範囲内であれば、画像差異分析結果に基づいて、前記基準画像に加工を施して新規基準画像を生成し、前記実設定データと前記新規基準画像を用いた検査精度試験を行い、精度結果が不十分な場合には、検査精度を改善させるための新規設定データを生成することを特徴とする請求項１に記載の検査装置の診断装置。
5. 　データを出力する出力部と、
   　指示を入力する入力部とを備え、
   　前記診断処理部は、
   　　前記新規設定データを前記出力部に出力し、
   　　前記入力部から前記新規設定データを採用する旨の指示を受け付けると、前記標準設定データ及び前記基準画像を前記新規設定データに基づいて更新することを特徴とする請求項２～請求項４のいずれか一項に記載の検査装置の診断装置。
6. 　前記新規設定データに基づいて更新する前の前記標準設定データと前記基準画像とを前記記憶部に記憶するとともに、前記標準設定データ及び前記基準画像のうち更新された少なくとも一方について更新前データと更新された新規データとの差異を前記記憶部に記憶することを特徴とする請求項５に記載の検査装置の診断装置。
7. 　前記検査装置から前記実情報として実検査結果を取得し、
   　前記判定部の判定結果が、前記第１比較で差異がなく、且つ前記第２比較で差異がない場合、前記診断処理部は、前記実設定データと前記実検査画像とによる仮想検査を行い、仮想検査結果と前記実検査結果との比較診断を行うことを特徴とする請求項２～請求項４のいずれか一項に記載の検査装置の診断装置。
8. 　前記検査装置及び端末とネットワークを通じて接続されるサーバを備え、
   　前記サーバは、
   　　前記情報取得部、前記記憶部、前記判定部及び前記診断処理部を備え、
   　　前記検査装置から前記実設定データ及び前記実検査画像を取得し、
   　　前記診断処理部の診断結果を前記端末に送信することを特徴とする請求項１～請求項４のいずれか一項に記載の検査装置の診断装置。
9. 　前記検査装置及び端末とネットワークを通じて接続されるサーバを備え、
   　前記サーバは、
   　　前記情報取得部、前記記憶部、前記判定部及び前記診断処理部を備え、
   　　前記検査装置から前記実設定データ及び前記実検査画像を取得し、
   　　前記診断処理部の診断結果を前記端末に送信することを特徴とする請求項５に記載の検査装置の診断装置。
10. 　検査装置から取得した実情報に基づいて前記検査装置を診断する検査装置の診断方法であって、
    　情報取得部が、前記検査装置から前記実情報として実設定データ及び実検査画像を取得する情報取得ステップと、
    　判定部が、前記実設定データと標準設定データとの第１比較と、前記実検査画像と基準画像との第２比較とを含む複数組の比較を同じ種類同士の前記実情報と基準情報との間で行うことによって比較対象の組ごとに差異の有無を判定する判定ステップと、
    　診断処理部が、判定結果として取得される前記組ごとの差異の有無に関する組み合わせに応じた診断内容で診断を行う診断処理ステップと、
    を含むことを特徴とする検査装置の診断方法。
11. 　検査装置から取得した実情報に基づいて前記検査装置を診断する処理をコンピュータに実行させるプログラムであって、
    　コンピュータに、
    　前記検査装置から前記実情報として実設定データ及び実検査画像を取得する情報取得ステップと、
    　前記実設定データと標準設定データとを比較する第１比較と、前記実検査画像と基準画像とを比較する第２比較とを含む複数組の比較を同じ種類同士の前記実情報と基準情報との間で行うことによって比較対象の組ごとに差異の有無を判定する判定ステップと、
    　判定結果として取得される前記組ごとの差異の有無に関する組み合わせに応じた診断内容で診断を行う診断処理ステップと、
    を実行させるプログラム。

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