JP7331885B2 - 予測装置、予測方法、予測プログラム、および、制御装置 - Google Patents
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Description
[先行技術文献]
[特許文献]
[特許文献1] 特開昭61-120427
20 制御対象
100 予測装置
110 データ取得部
120 特徴量抽出部
130 学習部
140 学習モデル保存部
150 設定調整部
160 予測部
170 評価部
180 出力部
200 拡散炉
900 制御装置
910 制御部
9900 コンピュータ
9901 DVD-ROM
9910 ホストコントローラ
9912 CPU
9914 RAM
9916 グラフィックコントローラ
9918 ディスプレイデバイス
9920 入/出力コントローラ
9922 通信インターフェイス
9924 ハードディスクドライブ
9926 DVDドライブ
9930 ROM
9940 入/出力チップ
9942 キーボード
Claims (11)
- 制御対象の設定値を示す設定値データ、および、前記制御対象を制御したことによる成果物の物理量を示す物理量データを取得するデータ取得部と、
前記設定値データおよび前記物理量データを用いて、前記制御対象の制御に用いる設定値に基づいて前記成果物における複数の物理量を予測した複数の予測値を算出する予測部と、
前記複数の予測値を予め定められた基準に基づいて評価する評価部と、
前記評価された結果に応じて推奨する設定値を出力する出力部と
を備え、
前記予測部は、前記設定値データおよび前記物理量データを学習データとして前記制御対象の設定値と前記成果物の物理量との関係を機械学習することによって生成された学習モデルを用いて、前記複数の予測値を算出すると共に、前記機械学習で扱われる確率モデルで得られる標準偏差に基づいて、前記複数の予測値の信頼性を示す指標をそれぞれ算出し、
前記評価部は、前記複数の予測値の全てが前記予め定められた基準を満たす複数の設定値の何れか1つを、前記指標に基づき、推奨する前記設定値として選択する、予測装置。 - 前記出力部は、更に、前記複数の予測値を前記指標とともにそれぞれ出力する、請求項1に記載の予測装置。
- 前記学習モデルを生成する学習部を更に備える、請求項1または2に記載の予測装置。
- 前記設定値データおよび前記物理量データから、前記設定値の変化率および前記物理量の変化率を抽出する特徴量抽出部を更に備え、
前記学習部は、前記設定値の変化率を入力、前記物理量の変化率を出力とした前記学習モデルを生成する、請求項3に記載の予測装置。 - 前記学習部は、ガウス過程回帰により前記学習モデルを生成する、請求項3または4に記載の予測装置。
- 前記複数の予測値の全てが前記予め定められた基準を満たす設定値を探索するために設定値を調整する設定調整部を更に備え、
前記出力部は、前記探索された設定値を前記推奨する設定値として出力する、請求項1から5のいずれか一項に記載の予測装置。 - 前記制御対象はウエハを熱処理する炉内の温度を調整するためのヒーターであり、前記成果物の物理量は前記ウエハに成膜される膜厚である、請求項1から6のいずれか一項に記載の予測装置。
- 前記予測部は、前記炉内に配置された複数のウエハの各々に成膜される膜厚をそれぞれ予測する、請求項7に記載の予測装置。
- 制御対象の設定値を示す設定値データ、および、前記制御対象を制御したことによる成果物の物理量を示す物理量データを取得する段階と、
前記設定値データおよび前記物理量データを用いて、前記制御対象の制御に用いる設定値に基づいて前記成果物における複数の物理量を予測した複数の予測値を算出する段階と、
前記複数の予測値を予め定められた基準に基づいて評価する段階と、
前記評価された結果に応じて推奨する設定値を出力する段階と
を備え、
前記複数の予測値を算出する段階では、前記設定値データおよび前記物理量データを学習データとして前記制御対象の設定値と前記成果物の物理量との関係を機械学習することによって生成された学習モデルを用いて、前記複数の予測値を算出すると共に、前記機械学習で扱われる確率モデルで得られる標準偏差に基づいて、前記複数の予測値の信頼性を示す指標をそれぞれ算出し、
前記評価する段階では、前記複数の予測値の全てが前記予め定められた基準を満たす複数の設定値の何れか1つを、前記指標に基づき、推奨する前記設定値として選択する、予測方法。 - コンピュータにより実行されて、前記コンピュータを、
制御対象の設定値を示す設定値データ、および、前記制御対象を制御したことによる成果物の物理量を示す物理量データを取得するデータ取得部と、
前記設定値データおよび前記物理量データを用いて、前記制御対象の制御に用いる設定値に基づいて前記成果物における複数の物理量を予測した複数の予測値を算出する予測部と、
前記複数の予測値を予め定められた基準に基づいて評価する評価部と、
前記評価された結果に応じて推奨する設定値を出力する出力部と
して機能させ、
前記予測部は、前記設定値データおよび前記物理量データを学習データとして前記制御対象の設定値と前記成果物の物理量との関係を機械学習することによって生成された学習モデルを用いて、前記複数の予測値を算出すると共に、前記機械学習で扱われる確率モデルで得られる標準偏差に基づいて、前記複数の予測値の信頼性を示す指標をそれぞれ算出し、
前記評価部は、前記複数の予測値の全てが前記予め定められた基準を満たす複数の設定値の何れか1つを、前記指標に基づき、推奨する前記設定値として選択する、予測プログラム。 - 制御対象の設定値を示す設定値データ、および、前記制御対象を制御したことによる成果物の物理量を示す物理量データを取得するデータ取得部と、
前記設定値データおよび前記物理量データを用いて、前記制御対象の制御に用いる設定値に基づいて前記成果物における複数の物理量を予測した複数の予測値を算出する予測部と、
前記複数の予測値を予め定められた基準に基づいて評価する評価部と、
前記評価された結果に応じて推奨する設定値を出力する出力部と、
前記推奨する設定値に従って前記制御対象を制御する制御部と
を備え、
前記予測部は、前記設定値データおよび前記物理量データを学習データとして前記制御対象の設定値と前記成果物の物理量との関係を機械学習することによって生成された学習モデルを用いて、前記複数の予測値を算出すると共に、前記機械学習で扱われる確率モデルで得られる標準偏差に基づいて、前記複数の予測値の信頼性を示す指標をそれぞれ算出し、
前記評価部は、前記複数の予測値の全てが前記予め定められた基準を満たす複数の設定値の何れか1つを、前記指標に基づき、推奨する前記設定値として選択する、制御装置。
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