JP7148644B2 - 探索装置、探索プログラム及びプラズマ処理装置 - Google Patents
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Claims (13)
- 処理装置が行う所定の処理の処理結果が目標出力パラメータ値を満たすよう、前記処理装置に設定する複数の制御パラメータに与える入力パラメータ値を探索する探索装置であって、
プロセッサと、
メモリと、
前記メモリに格納され、前記プロセッサに実行されることにより、前記目標出力パラメータ値を満たす前記入力パラメータ値を探索する探索プログラムとを有し、
前記探索プログラムは、パラメータ圧縮部と、モデル学習部と、処理条件探索部と、パラメータ復元部と、収束判定部とを有し、
前記パラメータ圧縮部は、第1の入力パラメータ値の一部の制御パラメータの値を、制御パラメータ数が目標パラメータ数以下になるように削除した入力パラメータ値である第1の圧縮済み入力パラメータ値を生成し、
前記モデル学習部は、前記第1の圧縮済み入力パラメータ値と、前記第1の入力パラメータ値を前記複数の制御パラメータとして前記処理装置に与えて得られた処理結果である第1の出力パラメータ値との組である学習データにより予測モデルを学習し、
前記処理条件探索部は、前記予測モデルを用いて、前記目標出力パラメータ値に対応する第2の圧縮済み入力パラメータ値を推定し、
前記パラメータ復元部は、前記第2の圧縮済み入力パラメータ値から前記パラメータ圧縮部で削除した制御パラメータの値を復元して第2の入力パラメータ値を生成し、
前記収束判定部は、前記第2の入力パラメータ値を前記複数の制御パラメータとして前記処理装置に与えて得られた処理結果である第2の出力パラメータ値が前記目標出力パラメータ値の所定の範囲内に収束しているか否かを判定する探索装置。 - 請求項1において、
前記収束判定部が前記第2の出力パラメータ値が前記目標出力パラメータ値の所定の範囲内に収束していないと判断する場合、前記探索プログラムは、前記第2の入力パラメータ値と前記第2の出力パラメータ値の組を、前記第1の入力パラメータ値と前記第1の出力パラメータ値の組に追加して、前記予測モデルの更新を行う探索装置。 - 請求項1において、
前記所定の処理は、前記複数の制御パラメータに与えられる値が異なるステップを複数含み、
前記探索プログラムは、前記入力パラメータ値として、前記複数のステップにおける前記複数の制御パラメータの値を探索する探索装置。 - 請求項1において、
前記処理条件探索部は、前記予測モデルを用いて、複数の前記第2の圧縮済み入力パラメータ値を推定する探索装置。 - 請求項1において、
前記パラメータ圧縮部は、前記第1の入力パラメータ値のうち、未使用または固定値となっている制御パラメータの値を削除し、削除した制御パラメータの値を保存する探索装置。 - 請求項1において、
前記パラメータ圧縮部は、前記第1の入力パラメータ値のうち、第1の制御パラメータの値vを残して、第2の制御パラメータの値wを削除し、w=av+bの係数aと切片bの値を保存する探索装置。 - 請求項6において、
前記第2の制御パラメータの値wは前記第1の制御パラメータの値vに比例する、または前記第1の制御パラメータの値vと前記第2の制御パラメータの値wとは所定のしきい値よりも大きい相関係数を有する探索装置。 - 処理装置が行う所定の処理の処理結果が目標出力パラメータ値を満たすよう、前記処理装置に設定する複数の制御パラメータに与える入力パラメータ値を探索する探索装置であって、
プロセッサと、
メモリと、
前記メモリに格納され、前記プロセッサに実行されることにより、前記目標出力パラメータ値を満たす前記入力パラメータ値を探索する探索プログラムとを有し、
前記探索プログラムは、モデル学習部と、処理条件探索部と、収束判定部とを有し、
前記モデル学習部は、第1の圧縮済み入力パラメータ値と、第1の入力パラメータ値を前記複数の制御パラメータとして前記処理装置に与えて得られた処理結果である第1の出力パラメータ値との組である学習データにより予測モデルを学習し、
前記処理条件探索部は、前記予測モデルを用いて、前記目標出力パラメータ値に対応する第2の圧縮済み入力パラメータ値を推定し、
前記収束判定部は、第2の入力パラメータ値を前記複数の制御パラメータとして前記処理装置に与えて得られた処理結果である第2の出力パラメータ値が前記目標出力パラメータ値の所定の範囲内に収束しているか否かを判定し、
前記処理条件探索部は、前記第1の圧縮済み入力パラメータ値の一部の制御パラメータの値を変化させ、他の制御パラメータの値を前記学習データの所定の制御パラメータの値に固定して近似解を探索し、
前記第1の圧縮済み入力パラメータ値は、前記第1の入力パラメータ値の一部の制御パラメータの値を、制御パラメータ数が目標パラメータ数以下になるように削除した入力パラメータ値であり、前記第2の入力パラメータ値は、前記第2の圧縮済み入力パラメータ値から前記第1の圧縮済み入力パラメータ値において削除された制御パラメータの値を復元した入力パラメータ値である探索装置。 - 請求項8において、
前記処理条件探索部は、前記他の制御パラメータの値を前記学習データのうち最良解を与える学習データの制御パラメータの値に固定する探索装置。 - 処理装置が行う所定の処理の処理結果が目標出力パラメータ値を満たすよう、前記処理装置に設定する複数の制御パラメータに与える入力パラメータ値を探索する探索プログラムであって、
第1の入力パラメータ値の一部の制御パラメータの値を、制御パラメータ数が目標パラメータ数以下になるように削除した入力パラメータ値である第1の圧縮済み入力パラメータ値を生成する第1のステップと、
前記第1の圧縮済み入力パラメータ値と、前記第1の入力パラメータ値を前記複数の制御パラメータとして前記処理装置に与えて得られた処理結果である第1の出力パラメータ値との組である学習データにより予測モデルを学習する第2のステップと、
前記予測モデルを用いて、前記目標出力パラメータ値に対応する第2の圧縮済み入力パラメータ値を推定する第3のステップと、
前記第2の圧縮済み入力パラメータ値から前記第1のステップで削除した制御パラメータの値を復元して第2の入力パラメータ値を生成する第4のステップと、
前記第2の入力パラメータ値を前記複数の制御パラメータとして前記処理装置に与えて得られた処理結果である第2の出力パラメータ値が前記目標出力パラメータ値の所定の範囲内に収束しているか否かを判定する第5のステップとを有する探索プログラム。 - 請求項10において、
前記第5のステップにおいて前記第2の出力パラメータ値が前記目標出力パラメータ値の所定の範囲内に収束していないと判断する場合、前記第2の入力パラメータ値と前記第2の出力パラメータ値の組を、前記第1の入力パラメータ値と前記第1の出力パラメータ値の組に追加して、前記予測モデルの更新を行う探索プログラム。 - 請求項10において、
前記第3のステップにおいて前記第1の圧縮済み入力パラメータ値の一部の制御パラメータの値を変化させ、他の制御パラメータの値を前記学習データのうち最良解を与える学習データの制御パラメータの値に固定して近似解を探索する探索プログラム。 - プラズマを用いて試料をプラズマ処理するプラズマ処理装置であって、
処理室と、
前記処理室内にプラズマを生成させるプラズマ生成装置と、
請求項10に記載の探索プログラムを実行して、前記目標出力パラメータ値を満たす前記プラズマ処理装置に設定する前記複数の制御パラメータに与える入力パラメータ値を探索し、探索した入力パラメータ値により前記処理室内に載置される前記試料のプラズマ処理を行うよう前記プラズマ生成装置を制御する制御装置とを有するプラズマ処理装置。
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