JP7327841B1 - 除塵装置の巻取カートリッジ、除塵装置および除塵装置へのセッティング方法 - Google Patents

Abstract

【課題】新たに粘着テープをセッティングする際の作業性を向上させ、塵埃の発生を抑え、電気的な部品を削減可能な除塵装置の巻取カートリッジおよび除塵装置を提供する。【解決手段】除塵装置の巻取カートリッジ１００は、粘着テープロールから、最外周の粘着テープＴ１を剥がす剥がし用テープが巻回された剥がし用テープロールＴ２Ｒを保持する剥がしテープ保持筒２１０と、剥がされた粘着テープＴ１を巻き取る巻取筒２００と、剥がし用テープを粘着テープロールに向けて押し当てる剥がし用ローラ２２２を備える貼付機構２２０と、剥がし用ローラ２２２が開口１６０から突出可能な状態で回転可能に保持し、除塵装置の巻取カートリッジ収納部に対して着脱可能に設けられるハウジング１１０を備え、ハウジング１１０は、巻取筒２００で巻き取られた粘着テープＴ１を外部に露出させない状態で収納する。【選択図】図５

Description

本発明は、ワークに付着した塵埃を除去するための除塵装置の巻取カートリッジ、除塵装置および除塵装置へのセッティング方法に関する。

プリント基板や半導体基板等のような各種のワークに付着した塵埃を取り除くために、除塵装置が用いられている。この除塵装置は、ワークに接触する粘着ロールと、粘着ロールに接触する粘着テープロールとを具備している。粘着テープロールには、ロール状に巻回されている粘着テープが取り付けられていて、粘着ロールに付着している塵埃は、粘着テープに転写される。そして、試用された粘着テープが巻取筒に巻き取られることで、粘着テープの未使用面が露出し、その未使用面を粘着ロールに接触させるようにしている。

ところで、粘着テープを作業者の人手で剥がす場合には、作業者由来の塵埃が入り込んで、ワークに付着してしまう虞がある。このため、たとえば特許文献１には、粘着テープを自動的に更新する技術内容について開示されている。

上記の特許文献１に示す構成では、たとえば新たな粘着テープをセットする際に、粘着テープの巻き取り側に対して、作業者が所定の作業を行っている。具体的には、粘着テープ剥がし機構を、除塵装置の本体から引き出す。このとき、巻取筒に既に使用済みの粘着テープが巻き取られている場合には、巻き取られた粘着テープを巻取筒から取り外して廃棄する。

その後に、引き出しフィルムの先端を、巻取筒のスリットに差し込み、挟持用カムを回転させて引き出しフィルムの先端を巻取筒に保持させる。その後に、作業者は、剥がし用テープの先端を、引き出しフィルムに貼り付ける。このとき、剥がし用テープは、押し当て用ローラに掛けられた状態とする。

特開２０２１－０９２６５０号公報

ところで、特許文献１に示す構成では、新たな粘着テープを巻取筒で巻取可能とするために、上記のような面倒なセッティング作業を行う必要がある。そのため、作業者が、セッティング作業に慣れていないと、その作業（段取り）に時間が掛かってしまう、という問題がある。また、作業者が作業誤りを起こす可能性がある。

また、セッティング作業を行うためには、作業者は、除塵装置の近傍で作業を行う必要がある。そのため、使用済みの粘着テープを取り出す際に塵埃が発生したり、作業者に由来する塵埃が発生して、除塵装置が設置されているクリーンな環境に影響を及ぼす虞がある。また、巻取筒に使用済みの粘着テープを巻き取るためには、モータ、センサおよびローラ移動機構といった電気的に作動する部品を用いる必要があるが、その分だけ重量が重くなり、コストも大きくなる、という問題がある。

本発明は上記の事情に鑑みなされたもので、新たに粘着テープをセッティングする際の作業性を向上させると共に、塵埃の発生を抑え、さらには電気的な部品を削減可能な除塵装置の巻取カートリッジ、除塵装置および除塵装置へのセッティング方法を提供することを目的とする。

上記課題を解決するために、本発明の第１の観点によると、ワークの除塵を行うための除塵装置に収納されると共に、巻き取られた粘着テープを保持する除塵装置の巻取カートリッジであって、粘着テープが巻回されている粘着テープロールから、最外周の粘着テープを剥がすための剥がし用テープが巻回された剥がし用テープロールを保持する剥がしテープ保持筒と、剥がし用テープによって剥がされた粘着テープを、剥がし用テープと共に巻き取る巻取筒と、剥がし用テープロールから引き出された剥がし用テープを粘着テープロールに向けて押し当てるための剥がし用ローラを備える貼付機構と、剥がしテープ保持筒および巻取筒を回転可能な状態で保持すると共に、剥がし用ローラが開口から突出可能な状態で回転可能に保持すると共に、除塵装置の巻取カートリッジ収納部に対して着脱可能に設けられるハウジングと、を備え、ハウジングは、巻取筒で巻き取られた粘着テープを外部に露出させない状態で収納する、ことを特徴とする除塵装置の巻取カートリッジが提供される。

また、上述の発明において、ハウジングには、外壁パネルと、この外壁パネルに対して開閉可能な蓋部材が取り付けられていて、蓋部材は、剥がしテープ保持筒および巻取筒の軸方向と平行な向きを開閉の支点として開閉可能に設けられている、ことが好ましい。

また、上述の発明において、蓋部材には、巻取押さえ機構が取り付けられていて、巻取押さえ機構は、巻取筒に巻き取られた粘着テープの外周に接触する押さえローラと、押さえローラに対して巻取筒の内径側に向かう付勢力を与える付勢バネと、を有する、ことが好ましい。

また、上述の発明において、ハウジングは、その長手方向の両端側に側板部材をそれぞれ備えていて、側板部材には、剥がし用テープロールを支持する剥がしテープ保持筒を着脱自在に支持する剥がし軸支部と、巻取筒を着脱自在に支持する巻取軸支部と、が設けられていて、剥がし軸支部は、半円状の内壁を備え当該内壁によって剥がしテープ保持筒を回転自在に支持する第１軸受部と、第１軸受部の内径よりも狭める方向に向かって突出して第１軸受部からの剥がしテープ保持筒の脱落を防止する第１抜止突起とを備え、巻取軸支部は、半円状の内壁を備え当該内壁によって巻取筒を回転自在に支持する第２軸受部と、第２軸受部の内径よりも狭める方向に向かって突出して第２軸受部からの巻取筒の脱落を防止する第２抜止突起とを備える、ことが好ましい。

また、上述の発明において、側板部材には、第２軸受部と連通する挿通孔が設けられていて、巻取軸の端部には継手蓋が設けられていて、継手蓋には、外部の巻取モータの連結部材が挿入されると共に、凹状に設けられている複数の連結凹部と、周方向において隣り合う連結凹部の間に設けられていると共に、連結部材が衝突した際に連結凹部に向けてガイドする斜面を有するガイド突起と、が設けられている、ことが好ましい。

また、上述の発明において、貼付機構には、押圧機構が設けられていて、押圧機構は、ハウジング内部に配置されているバネ部材を有すると共に、バネ部材の付勢力によって剥がし用ローラを開口から外部に突出させる向きに付勢する、ことが好ましい。

また、本発明の第２の観点によると、筐体と、筐体に支持され、ワークの表面に付着している塵埃を吸着する除塵ローラを備える除塵ロールユニットと、筐体に支持され、除塵ローラに付着した塵埃を転写する粘着テープロールを保持する粘着テープホルダと、筐体のうち、粘着テープホルダに保持される粘着テープロールよりも除塵ローラから離間する側に配置される巻取カートリッジ収納部と、巻取カートリッジ収納部に収納される上述の発明に係る巻取カートリッジと、を備えることを特徴とする除塵装置が提供される。

また、本発明の第３の観点によると、ワークに接触して当該ワークの除塵を行う除塵ローラに接触して、当該除塵ローラから塵埃を粘着テープに転写させることで、ワークの除塵を行う除塵装置のセッティング方法であって、粘着テープが巻回されている粘着テープロールから、最外周の粘着テープを剥がすための剥がし用テープが巻回された剥がし用テープロールを保持する剥がしテープ保持筒、および使用済みの粘着テープを巻き取る巻取筒を、除塵装置から取り出す取出工程と、剥がしテープ保持筒に、剥がし用テープロールを保持させる保持工程と、剥がし用テープロールから引き出された剥がし用テープの先端側を、巻取筒に貼り付ける貼付工程と、貼り付け工程に前後して、粘着テープロールに向けて剥がし用テープを押し当てるための剥がし用ローラに剥がし用テープを掛け回す掛け回し工程と、剥がしテープ保持筒および巻取筒を、除塵装置に取り付ける取付工程と、を備えることを特徴とする除塵装置のセッティング方法が提供される。

また、上述の発明において、剥がしテープ保持筒、巻取筒および剥がし用ローラは、これらを保持するハウジングと共に巻取カートリッジを構成し、ハウジングは、剥がしテープ保持筒および巻取筒を、回転可能な状態で保持し、ハウジングは開口を備え、当該開口から剥がし用ローラを突出可能な状態で回転可能に保持すると共に、巻取カートリッジは、除塵装置の巻取カートリッジ収納部に対して着脱可能に設けられている、ことが好ましい。

本発明によると、新たに粘着テープをセッティングする際の作業性を向上させると共に、塵埃の発生を抑え、さらには電気的な部品を削減可能な除塵装置の巻取カートリッジ、除塵装置および除塵装置へのセッティング方法を提供することができる。

本発明の一実施の形態に係る除塵装置の一部の構成を透過的に示す側面図である。 図１に示す除塵装置の概略的な構成を示す図である。 図１に示す除塵装置に収納される巻取カートリッジの構成を示す斜視図であり、開口側から見た状態を示す図である。 図３に示す巻取カートリッジの構成を示す斜視図であり、上面部側から見た状態を示す図である。 図３に示す巻取カートリッジの構成を示す断面図である。 図３に示す巻取カートリッジが有する側板部材の構成を示すと共に、その側板部材に支持される巻取筒、剥がしテープ保持筒および剥がし用ローラの構成を示す斜視図である。 図３に示す巻取カートリッジが有する後蓋パネルおよび巻取押さえ機構を切断した状態を示す斜視図である。 図３に示す巻取カートリッジが有する巻取筒の構成を示す斜視図である。

以下、本発明の一実施の形態に係る除塵装置１０および巻取カートリッジ１００について、図面に基づいて説明する。

＜除塵装置１０の全体的な構成について＞
図１は、本発明の一実施の形態に係る除塵装置１０の一部の構成を透過的に示す側面図である。図２は、除塵装置１０の概略的な構成を示す図である。本実施の形態に係る除塵装置１０は、ワークＷの表面に付着した塵埃を除去するための装置である。なお、ワークＷとしては、たとえば、電子部品が実装されるプリント基板、液晶パネル等の基板、あるいは基板の原材料となるシート状部材等が挙げられるが、これら以外の平面状の部材がワークＷであっても良い。

本実施の形態の除塵装置１０は、ワークＷを、たとえば図１の左方から右方に向かって搬送しながら、ワークＷの表面に付着した塵埃を除去する。この除塵装置１０は、筐体部２０と、搬送機構３０と、クリーンユニット４０と、巻取カートリッジ収納部７０と、巻取モータ８０と、制御部９０と、巻取カートリッジ収納部７０に収納される巻取カートリッジ１００と、を主要な構成要素としている。

筐体部２０は、金属製の支柱といった構造部材が組み合わされると共に、その支柱の間に必要に応じて外壁が取り付けられることで、構成されている。この筐体部２０は、搬送機構３０、クリーンユニット４０や制御部９０等の各種の構成を支持している。また、筐体部２０は、巻取カートリッジ収納部７０に収納された巻取カートリッジ１００を支持可能としている。

また、搬送機構３０は、ワークＷを搬送する駆動力を与える部分である。搬送機構３０としては、図１に概略的に示されるモータ３１と、そのモータ３１からの駆動力を伝達させる不図示の伝達機構と、伝達機構からの駆動力の伝達によって外部から搬送されるワークＷを搬送する搬送ローラ３２と、を有している。

なお、モータ３１は、制御部９０の指令により、回転駆動させられる部分である。なお、本実施の形態では、伝達機構として、マグネット式のカップリング部、マグネット式のギヤおよびギヤ輪列を有している。しかしながら、伝達機構は、これらには限られず、マグネット式のカップリング部やマグネット式のギヤに代えて、歯車式のギヤやベルトを用いるようにしても良い。

また、図２および図７においては、搬送ローラ３２は複数設けられているが、モータ３１は、いずれの搬送ローラ３２に駆動力を与えても良い。また、モータ３１は、除塵ローラ５１に駆動力を伝達しても良い。

また、クリーンユニット４０は、ワークＷから塵埃を除去するための部分であり、除塵ロールユニット５０と、テープユニット６０とを主要な構成要素としている。除塵ロールユニット５０は、複数の除塵ローラ５１を有している。図２に示す構成では、除塵ローラ５１は、ワークＷを挟んで上下方向（Ｚ方向）に対称な位置に配置されている。そのため、ワークＷの上下両面を、上記の除塵ローラ５１で除塵可能となっている。なお、図１および図２に示す構成では、除塵ローラ５１は、ワークＷの上面側と、ワークＷの下面側のそれぞれに２つずつ配置されている。しかしながら、除塵ローラ５１は、ワークＷの上面側と、ワークＷの下面側のそれぞれに１つずつ配置しても良く、３つ以上配置しても良い。

図２に示すように、除塵ローラ５１は、回転軸５１ａと、粘着ラバー層５１ｂとを有している。粘着ラバー層５１ｂは、回転軸５１ａの外側に、軸方向において所定の長さ範囲に亘るように設けられている。この粘着ラバー層５１ｂは、塵埃を吸着可能な粘着ラバーを材質として形成されている。なお、粘着ラバー層５１ｂは、その表面側に吸着層（図示省略）が設けられていて、その吸着層は、シリコンゴム等のような、塵埃の吸着性に優れた材質から構成されている。なお、吸着層の下層側には、たとえばニトリルゴムやカーボンゴム等のような導電層を設けるように構成しても良い。

また、テープユニット６０は、粘着テープホルダ６１を備えている。粘着テープホルダ６１は、粘着テープＴ１をロール状に巻回した粘着テープロールＴ１Ｒの両端側を回転自在に保持する部分である。この粘着テープホルダ６１は、粘着テープ移動機構６５に取り付けられている。粘着テープ移動機構６５は、たとえばエアシリンダやモータ等の駆動手段の駆動により、除塵ローラ５１に対して接離する方向に粘着テープロールＴ１Ｒを移動させることが可能となっている。なお、粘着テープ移動機構６５は、粘着テープＴ１を介して除塵ローラ５１をワークＷに向けて移動させることも可能となっている。

なお、粘着テープホルダ６１は、粘着テープロールＴ１Ｒを保持するのみとしても良い（すなわち、粘着テープロールＴ１Ｒは、ワークＷの送り込みによって従動的に回転させられるものとしても良い）。しかしながら、駆動モータ等の駆動源により、粘着テープロールＴ１Ｒを回転させる駆動力を与えられる構成とするのが好ましい。このように、駆動モータによって、粘着テープロールＴ１Ｒを回転させる場合には、不図示の検出センサでの最外周（最上位）の粘着テープＴ１の先端（段差部分）の検出を行い易くなる。なお、粘着テープロールＴ１Ｒを駆動させる駆動モータに代えて、直径が一定の状態を維持できる除塵ローラ５１を駆動モータによって回転させる構成としても良い。

ここで、粘着テープＴ１はシート状に設けられていると共に、その表面に粘着面を有している。粘着面は、上述した除塵ローラ５１に吸着されている塵埃を保持可能となっている。このため、粘着テープＴ１の粘着面の塵埃に対する粘着力は、除塵ローラ５１の塵埃に対する粘着力よりも大きくなっている。それにより、除塵ローラ５１から粘着テープＴ１の粘着面へと、塵埃を良好に転写可能となっている。なお、シート状の粘着テープＴ１には、切れ目が存在していると共に、その粘着テープＴ１はロール状に巻回されて、粘着テープロールＴ１Ｒを構成している。このため、粘着テープロールＴ１Ｒから粘着テープＴ１を引き出した後に切れ目で切断することで、汚れた粘着テープＴ１を、汚れていない粘着テープＴ１へと容易に更新することができる。

また、巻取カートリッジ収納部７０は、筐体部２０のうち、巻取カートリッジ１００を収納する部分である。図１に示すように、巻取カートリッジ収納部７０は、筐体部２０において、ワークＷを挟んで上下にそれぞれ設けられている。具体的には、ワークＷよりも上側に位置する巻取カートリッジ収納部７０は、筐体部２０のうち、テープユニット６０よりも、さらに上側に設けられている。また、ワークＷよりも下側に位置する巻取カートリッジ収納部７０は、筐体部２０のうち、テープユニット６０よりも、さらに下側に設けられている。

また、巻取モータ８０は、後述する巻取筒２００に対して駆動力を与えるためのモータである。この巻取モータ８０の回転軸には、不図示の連結部材が連結されていて、この連結部材が挿通孔１２１ｄに差し込まれて、継手蓋２０２の連結凹部２０２ａに嵌まり込むことで、巻取モータ８０の駆動力を巻取筒２００に伝達可能としている。

また、制御部９０は、不図示の検出センサからの検出信号に基づいて、または所定の制御プログラムに基づいて、モータ３１または巻取モータ８０の駆動を制御することができる。また、制御部９０は、所定の移動タイミングが到来した際に、粘着テープ移動機構６５を作動させて、粘着テープＴ１をワークＷに押し当てたり、粘着テープＴ１をワークＷから退避させることを可能としている。

＜巻取カートリッジ１００について＞
図３は、巻取カートリッジ１００の構成を示す斜視図であり、開口１６０側から見た状態を示す図である。図４は、巻取カートリッジ１００の構成を示す斜視図であり、上面部１３０ａ側から見た状態を示す図である。図５は、巻取カートリッジ１００の構成を示す断面図である。なお、図３および図４は、巻取カートリッジ収納部７０から巻取カートリッジ１００が取り出された状態の、巻取カートリッジ１００を示している。

図３から図５に示すように、巻取カートリッジ１００は、ハウジング１１０と、巻取筒２００と、剥がしテープ保持筒２１０と、貼付機構２２０と、巻取押さえ機構２４０とを主要な構成要素としている。

ハウジング１１０は、巻取カートリッジ１００の全体を支持すると共に、巻取筒２００で巻き取った粘着テープＴ１を収納したり、剥がしテープ保持筒２１０に保持されている剥がし用テープＴ２を収納する部材である。このため、ハウジング１１０は、巻取筒２００で巻き取った粘着テープＴ１を外部から隔離することで、その粘着テープＴ１から塵埃が何らかの拍子に脱落して外部環境に飛散するのを防止可能となっている。また、ハウジング１１０は、剥がし用テープＴ２に塵埃が付着するのを防止可能となっている。

このハウジング１１０は、側板部材１２０と、外壁パネル１３０と、前蓋パネル１４０と、後蓋パネル１５０とを主要な構成要素としている。

まず、巻取カートリッジ１００を構成する側板部材１２０について説明する。図４に示すように、側板部材１２０は、巻取カートリッジ１００の長手方向（Ｙ方向）における両端側に配置されている部材である。かかる側板部材１２０の構成を図６に示す。

図６は、側板部材１２０の構成を示すと共に、その側板部材１２０に支持される巻取筒２００、剥がしテープ保持筒２１０および剥がし用ローラ２２２の構成を示す斜視図である。図６に示す側板部材１２０は、たとえばＰＯＭ（ポリアセタール樹脂）のような、耐衝撃性に優れ、摩擦係数が小さく自己潤滑性に優れている材質から形成されているが、このような特質を備えている材質であれば、側板部材１２０は、ＰＯＭ以外の材質（たとえばフッ素樹脂等）から形成されても良い。

図６に示すように、側板部材１２０、巻取軸支部１２１と、剥がし軸支部１２２と、貼付軸支部１２３とを有している。巻取軸支部１２１は、巻取筒２００の端部を支持するための部分であり、第２軸支部に対応する。この巻取軸支部１２１は、側板部材１２０における肉厚部分１２４（他の部分よりも肉厚に設けられている部分）を略Ｕ字形状に窪ませた溝状の部分である。したがって、巻取軸支部１２１の一端側は、開口された状態となっていて、この開口から巻取筒２００の端部を挿入可能となっている。

この巻取軸支部１２１には、略Ｕ字形状の溝の内壁から、その略Ｕ字形状の溝の内側に向かって突出する抜止突起１２１ａ（第２抜止突起に対応）が設けられていて、その抜止突起１２１ａを境に、挿入ガイド部１２１ｂと、軸受部１２１ｃとに分けられている。抜止突起１２１ａの突出の先端側から、その抜止突起１２１ａが対向する内壁までの寸法は、巻取筒２００の端部の直径よりも小さく設けられている。そのため、巻取筒２００の端部を軸受部１２１ｃが軸支している場合には、抜止突起１２１ａは、巻取筒２００の端部が挿入ガイド部１２１ｂから抜けてしまうのを防止することが可能な高さに設定されている。

また、抜止突起１２１ａの突出高さは、挿入ガイド部１２１ｂの開口側から巻取筒２００を挿入する際に、側板部材１２０が撓んで当該挿入の支障がない程度の高さに設けられている。

また、挿入ガイド部１２１ｂは、抜止突起１２１ａよりも巻取軸支部１２１の開口側に位置する部分であり、一対の内壁が対向することで巻取筒２００の端部の挿入をガイドする部分である。また、軸受部１２１ｃ（第２軸受部に対応）は、巻取筒２００の端部を軸支する部分であり、略半円状の内壁で囲まれた部分である。なお、上記のように、側板部材１２０の材質は、ＰＯＭのような摩擦係数の小さな材質から形成されているので、軸受部１２１ｃは、ベアリング等のような軸受を配置しなくても、巻取筒２００の回転の支障となるような回転抵抗を生じさせない状態となっている。

また、巻取軸支部１２１には、軸受部１２１ｃと連通する挿通孔１２１ｄが設けられている。挿通孔１２１ｄは、巻取軸支部１２１を貫く孔部分であり、軸受部１２１ｃと同心に設けられているが、軸受部１２１ｃよりも直径が若干小さく設けられている。このため、軸受部１２１ｃと挿通孔１２１ｄの間には段差が設けられていて、巻取筒２００が挿通孔１２１ｄから抜けてしまうのが阻止されている。

上記の挿通孔１２１ｄからは、巻取モータ８０の連結部材が差し込み可能となっている。それにより、挿通孔１２１ｄに差し込まれる連結部材を介して、巻取モータ８０の駆動力を、巻取筒２００に伝達可能となっている。

また、剥がし軸支部１２２は、剥がしテープ保持筒２１０の端部を支持するための部分である。この剥がし軸支部１２２も、側板部材１２０における肉厚部分１２４（他の部分よりも肉厚に設けられている部分）を略Ｕ字形状に窪ませた溝状の部分である。したがって、剥がし軸支部１２２の一端側も、開口された状態となっていて、この開口から剥がしテープ保持筒２１０の端部を挿入可能となっている。

この剥がし軸支部１２２には、抜止突起１２２ａ（第１抜止突起に対応）が設けられていて、その抜止突起１２２ａも、上記の抜止突起１２１ａと同様に、略Ｕ字形状の溝の内壁から、その略Ｕ字形状の溝の内側に向かって突出している。そして、この抜止突起１２２ａを境に、挿入ガイド部１２２ｂと、軸受部１２２ｃとに分けられている。なお、抜止突起１２２ａの突出の先端側から、その抜止突起１２２ａが対向する内壁までの寸法は、剥がしテープ保持筒２１０の端部の直径よりも小さく設けられている。そのため、剥がしテープ保持筒２１０の端部を軸受部１２２ｃが軸支している場合には、抜止突起１２２ａは、剥がしテープ保持筒２１０の端部が挿入ガイド部１２２ｂから抜けてしまうのを防止することが可能な高さに設定されている。

また、抜止突起１２２ａの突出高さは、挿入ガイド部１２２ｂの開口側から剥がしテープ保持筒２１０を挿入する際に、側板部材１２０が撓んで当該挿入の支障がない程度の高さに設けられている。

また、挿入ガイド部１２２ｂは、抜止突起１２２ａよりも剥がし軸支部１２２の開口側に位置する部分であり、一対の内壁が対向することで剥がしテープ保持筒２１０の端部の挿入をガイドする部分である。また、軸受部１２２ｃ（第１軸受部に対応）は、剥がしテープ保持筒２１０の端部を軸支する部分であり、略半円状の内壁で囲まれた部分である。この軸受部１２２ｃも、上記の軸受部１２１ｃと同様に、ベアリング等のような軸受を配置しなくても、剥がしテープ保持筒２１０の回転の支障となるような回転抵抗を生じさせない状態となっている。

なお、剥がし軸支部１２２には、上記の挿通孔１２１ｄに対応する挿通孔は設けられていないが、挿通孔を設けるようにしても良い。

また、側板部材１２０には、貼付軸支部１２３が設けられている。貼付軸支部１２３は、貼付機構２２０の剥がし用支持軸２２１を支持する部分であるが、この剥がし用支持軸２２１を回転自在とはせずに回転不能な状態で支持している。

この貼付軸支部１２３は、側板部材１２０における肉厚部分１２４を略Ｕ字形状に窪ませた溝状の部分であり、その貼付軸支部１２３の一端側は開口されている。しかしながら、上記の巻取軸支部１２１および剥がし軸支部１２２とは異なり、抜止突起１２１ａ，１２２ａに相当する突起状の部分は設けられていない。また、貼付軸支部１２３の溝幅は、上述した巻取軸支部１２１の溝幅および剥がし軸支部１２２の溝幅よりも小さく設けられているが、貼付軸支部１２３の溝幅は、巻取軸支部１２１の溝幅および剥がし軸支部１２２の溝幅と同程度としても良い。

この貼付軸支部１２３には、貼付機構２２０の、後述する押圧機構２３０が配置されている。具体的には、貼付軸支部１２３には、摺動溝１２３ａと、軸孔１２３ｂとが設けられている。摺動溝１２３ａは、押圧機構２３０を構成するバネ部材２３２が配置されていて、その一端部を摺動溝１２３ａの底部で受け止めることが可能となっている。また、軸孔１２３ｂには、バネ軸２３１が自由に摺動可能な状態で挿通され、摺動溝１２３ａの内部にバネ軸２３１が突出しているが、バネ軸２３１の頭部２３１ａは、摺動溝１２３ａとは反対側の壁面に受け止められている。

また、側板部材１２０には、取手１２５が設けられている。取手１２５は、作業者が手の指を差し込むことが可能な長孔状の部分であり、側板部材１２０を貫くように設けられている。

また、図３から図５に示すように、ハウジング１１０を構成する外壁パネル１３０は、金属板が折り曲げられた部材であり、当該外壁パネル１３０の長手方向の両端側はそれぞれ側板部材１２０に固定されている。この外壁パネル１３０は、図４および図５における上面部１３０ａ、側面部１３０ｂおよびフランジ部１３０ｃを有するように折り曲げられている。上面部１３０ａは、ハウジング１１０において後述する開口とは反対側に位置する壁面である。側面部１３０ｂは、上面部１３０ａから略９０度をなして折り曲げられている壁面である。

また、フランジ部１３０ｃは、側面部１３０ｂから略９０度をなして折り曲げられている部分であるが、その幅は、上記の上面部１３０ａおよび側面部１３０ｂよりも小さく設けられている。なお、側面部１３０ｂとフランジ部１３０ｃとは、後述する前蓋パネル１４０に対して面一には設けられておらず、フランジ部１３０ｃが搬送方向の後側に向かって形成されていることで、側面部１３０ｂは、前蓋パネル１４０よりも後側に位置している。かかる側面部１３０ｂおよびフランジ部１３０ｃの存在により、作業者の手を取手１２５から容易に差し込むことが可能な凹形状がハウジング１１０に存在している。

また、前蓋パネル１４０（蓋部材に対応）は、フランジ部１３０ｃに対して複数のヒンジＨ１を介して回動可能に取り付けられているパネル状の部材である。すなわち、前蓋パネル１４０は、ハウジング１１０の前側（Ｘ１側）に位置する開閉可能な蓋状の部材である。また、前蓋パネル１４０は、側板部材１２０に対して、ロック部材Ｒ１を介して閉じた状態をロック可能に取り付けられている。

この前蓋パネル１４０は、図３から図５に示すような側面部１４０ａと、ガイド斜面部１４０ｂとを有している。側面部１４０ａは、上記の側面部１３０ｂに対して面一ではないが平行をなす壁面である。また、ガイド斜面部１４０ｂは、ワークＷの搬送方向（Ｘ方向）において、前側（Ｘ１側）から後側（Ｘ２側）に向かうにつれて、徐々にワークＷに近接するように傾斜している壁面であるが、後述する剥がし用ローラ２２２よりも下方側（Ｚ２側）に突出しないように設けられている。

図７は、後蓋パネル１５０および巻取押さえ機構２４０を切断した状態を示す斜視図である。図５に示すように、後蓋パネル１５０（蓋部材に対応）は、外壁パネル１３０の上面部１３０ａの後側（Ｘ２側）に対して、複数のヒンジＨ２を介して回動可能に取り付けられているパネル状の部材である。すなわち、後蓋パネル１５０は、ハウジング１１０の後側（Ｘ２側）に位置する開閉可能な蓋状の部材である。また、後蓋パネル１５０は、側板部材１２０に対して、ロック部材Ｒ２を介して閉じた状態をロック可能に取り付けられている。

この後蓋パネル１５０も、上記の前蓋パネル１４０と同様に、図３、図５および図７に示す側面部１５０ａを有していて、その側面部１５０ａは、上面部１３０ａに対して直交している。また、後蓋パネル１５０は、急斜面部１５０ｂを有している。急斜面部１５０ｂは、ガイド斜面部１４０ｂよりも水平方向に対してなす角度が大きく設けられている壁面である。かかる急斜面部１５０ｂの存在により、巻取カートリッジ１００の搬送方向（Ｘ方向）における前後を区別可能としていると共に、巻取カートリッジ１００の搬送方向（Ｘ方向）に沿う寸法（幅寸法）を小さくしている。

この後蓋パネル１５０の側面部１５０ａには、ロール支持部材２４１が取り付けられている。ロール支持部材２４１は、後述する巻取押さえ機構２４０を構成する部材であり、押さえローラ２４２を支持する部材である。また、前蓋パネル１４０と同様に、後蓋パネル１５０も、側板部材１２０に対して、ロック部材Ｒ２を介して閉じた状態をロック可能に取り付けられている。

また、前蓋パネル１４０のガイド斜面部１４０ｂの端部と、後蓋パネル１５０の端部の間には、開口１６０が設けられている。開口１６０は、後述する剥がし用ローラ２２２およびこの剥がし用ローラ２２２に巻回されている剥がし用テープＴ２がハウジング１１０から突出する開口部分であると共に、粘着テープＴ１がハウジング１１０に収納されるための開口部分である。

次に、巻取筒２００について説明する。図８は、巻取筒２００の構成を示す斜視図である。巻取筒２００は、上記の粘着テープＴ１と後述する剥がし用テープＴ２を巻き取るための筒状の部材であり、上述した巻取軸支部１２１の軸受部１２１ｃに回転自在な状態で支持されている。この巻取筒２００は、パイプ状部２０１を備えており、このパイプ状部２０１は、たとえば塩化ビニル樹脂等のような樹脂を材質としている。しかしながら、パイプ状部２０１は、たとえばアルミニウム系金属のような金属を材質としても良い。

図８に示すように、パイプ状部２０１の両端側には、継手蓋２０２が取り付けられている。継手蓋２０２は、駆動モータからの駆動力を巻取筒２００に伝達させるために取り付けられる蓋状の部材であり、パイプ状部２０１と一体的に回転するようにパイプ状部２０１に係止されている。

継手蓋２０２には、連結凹部２０２ａと、ガイド突起２０２ｂとが設けられている。連結凹部２０２ａは、上述した巻取モータ８０の連結部材が差し込まれる凹状または孔状の部分である。図８に示す構成では、連結凹部２０２ａは２つ設けられているが、３つ以上設けるようにしても良い。

また、ガイド突起２０２ｂは、隣り合う連結凹部２０２ａの間に位置する突起状の部材であり、たとえば三角錐状のような斜面を有する形状に設けられている。したがって、巻取モータ８０の連結部材が挿通孔１２１ｄを通過して連結凹部２０２ａに向かって進行した際に、連結凹部２０２ａから回転方向にずれた位置に進行してガイド突起２０２ｂに衝突すると、その連結部材か、または巻取筒２００が連結部材の進行によって回転する。そのため、位置ずれを防止するためのセンサを設けなくても、連結部材を連結凹部２０２ａに差し込むことが可能となっている。

また、図５に示すように、剥がしテープ保持筒２１０は、剥がし用テープＴ２をロール状に巻回した剥がし用テープロールＴ２Ｒを保持する部分である。この剥がしテープ保持筒２１０の材質は、上記の巻取筒２００のパイプ状部２０１と同様となっている。

また、貼付機構２２０は、剥がしテープ保持筒２１０から送り出される剥がし用テープＴ２を、粘着テープロールＴ１Ｒに押し付けるための機構である。この貼付機構２２０は、剥がし用支持軸２２１と、剥がし用ローラ２２２と、押圧機構２３０とを備えている。剥がし用支持軸２２１は、巻取カートリッジ１００の長手方向（Ｙ方向）に沿って遠心する長尺状の部材であるが、この剥がし用支持軸２２１は回転不能に設けられている。また、剥がし用支持軸２２１の両端側には、後述するバネ軸２３１のネジ山を捻じ込むためのネジ孔２２１ａが形成されている。

また、剥がし用ローラ２２２は、剥がし用支持軸２２１に対して軸受Ｂ１を介して回転可能に設けられているローラである。また、剥がし用ローラ２２２は、剥がし用テープＴ２が巻回された状態で剥がし用テープＴ２を粘着テープロールＴ１Ｒに対して押し付けることで、粘着テープロールＴ１Ｒの最外周の粘着テープＴ１を粘着テープロールＴ１Ｒから剥がすためのローラである。この剥がし用ローラ２２２は、剥がし用テープＴ２の幅に対応した幅を有しているため、剥がし用支持軸２２１の長手方向に沿って複数（図３に示す構成では３つ）配置されている。また、剥がし用ローラ２２２は、押圧機構２３０での押圧によって、開口１６０から突出するように設けられている。

また、押圧機構２３０は、一対の側板部材１２０のそれぞれに設けられている。この押圧機構２３０は、バネ軸２３１と、バネ部材２３２とを有している。バネ軸２３１は、上述した軸孔１２３ｂに差し込まれる軸状の部材であるが、図５および図６に示す構成では、バネ軸２３１の先端側には、ネジ山（符号省略）が形成されている。したがって、バネ軸２３１の先端側を、剥がし用支持軸２２１のネジ孔２２１ａに捻じ込むことで、バネ軸２３１と剥がし用支持軸２２１とは、一体的に移動する構成となっている。

上記のバネ軸２３１の外周側には、バネ部材２３２が設けられているが、このバネ部材２３２は、摺動溝１２３ａの内部に配置されている。バネ部材２３２は、たとえばコイルバネであり、その一端側が摺動溝１２３ａの底部に受け止められると共に、その他端側が剥がし用支持軸２２１に受け止められている。そして、バネ軸２３１の頭部２３１ａが、摺動溝１２３ａとは反対側の壁面に受け止められた状態で、バネ部材２３２は、摺動溝１２３ａの底部と、剥がし用支持軸２２１の双方に付勢力を及ぼす。したがって、剥がし用ローラ２２２が粘着テープロールＴ１Ｒ側に強く押し付けられると、その押し付け力に応じてバネ部材２３２が収縮することで、剥がし用ローラ２２２がハウジング１１０の内部に向かって移動可能となっている。このため、剥がし用ローラ２２２は、剥がし用テープロールＴ２Ｒの外周面に対して付勢力を及ぼしながら、良好に追従可能となっている。

次に、巻取押さえ機構２４０について説明する。図５および図７に示すように、後蓋パネル１５０には、巻取押さえ機構２４０が取り付けられている。この巻取押さえ機構２４０は、ロール支持部材２４１と、押さえローラ２４２と、付勢バネ２４３とを有している。ロール支持部材２４１は、側面部１５０ａに対して、たとえばネジ等で固定されており、その材質を樹脂または金属としている。なお、樹脂を材質とする場合、側板部材１２０と同様に、たとえばＰＯＭ（ポリアセタール樹脂）のような、耐衝撃性に優れ、摩擦係数が小さく自己潤滑性に優れている樹脂としても良い。

このロール支持部材２４１には、軸支スリット２４１ａと、バネ取付軸２４１ｂと、バネ係止部２４１ｃが設けられている。軸支スリット２４１ａは、押さえローラ２４２の軸部（符号省略）を挿入しつつ、その押さえローラ２４２の回転を許容する溝部分である。この軸支スリット２４１ａは、たとえば円弧を描くように形成されているが、その円弧の中心は、側面部１５０ａに近接する側に位置している。しかも、軸支スリット２４１ａの端部の上側（Ｚ１側）には、巻取筒２００が近接して設けられている。このため、押さえローラ２４２が軸支スリット２４１ａに沿って移動することで、その押さえローラ２４２は巻取筒２００に対して近接または離間可能となっている。

また、バネ取付軸２４１ｂは、後述する付勢バネ２４３の巻回部分をロール支持部材２４１に取り付けるための軸部分である。また、バネ係止部２４１ｃは、後述する付勢バネ２４３の他端側を係止する部分であり、その他端部が係止し易いように凸部状に設けられている。

また、押さえローラ２４２は、その端部に軸部（符号省略）と、ローラ部２４２ａとが設けられている。軸部は、ローラ部２４２ａよりも小径に設けられていて、この軸部が上記の軸支スリット２４１ａに挿入されている。また、ローラ部２４２ａは、巻取筒２００に剥がし用テープＴ２と共に粘着テープＴ１が巻き取られた際に、その粘着テープＴ１が外径側に膨らもうとするのを抑えるためのローラである。

上記のような、粘着テープＴ１が外径側に膨らむのを抑えるための付勢力を押さえローラ２４２に与えるために、付勢バネ２４３が設けられている。付勢バネ２４３は、たとえばトーションバネであり、その一端部は軸部に係止されている。また、付勢バネ２４３の他端側は、上述したバネ係止部２４１ｃに係止されている。そして、付勢バネ２４３は、巻取筒２００に向けて付勢している。したがって、後蓋パネル１５０を閉じると、押さえローラ２４２は巻取筒２００に付勢された状態となる。

以上のような構成の除塵装置１０においては、巻取カートリッジ１００が筐体部２０の巻取カートリッジ収納部７０から取り外し可能となっている。このため、取り外した巻取カートリッジ１００のセッティング作業を容易に行うことが可能となっている。

かかる巻取カートリッジ１００のセッティング作業は、以下の通りである。まず、巻取カートリッジ１００の前蓋パネル１４０および後蓋パネル１５０を開く。そして、既に、巻取筒２００に粘着テープＴ１が巻き取られている場合には、巻取筒２００を巻取軸支部１２１から取り外す。このとき、巻取筒２００のパイプ状部２０１の端部が、抜止突起１２１ａを乗り越えることで、巻取筒２００を巻取軸支部１２１から容易に取り外すことが可能となっている。そして、巻取筒２００には、たとえば剥がし用テープＴ２の端部側（図５、図６参照）を貼り付ける。

また、剥がしテープ保持筒２１０には、新たな剥がし用テープロールＴ２Ｒを保持させ、その剥がし用テープロールＴ２Ｒから引き出した剥がし用テープＴ２は、剥がし用ローラ２２２に掛け回し、その掛け回しの後に剥がし用テープＴ２を上述した巻取筒２００に貼り付ける。そして、剥がし用テープＴ２が所定だけ巻取筒２００に巻き付くように、巻取筒２００を回転させる。

以上のような状態とすることで、開口１６０から突出した剥がし用ローラ２２２に、剥がし用テープＴ２が掛け回された状態となる。そのため、不図示の検出センサで、粘着テープロールＴ１Ｒのテープエッジを検出し、その検出結果に基づいて粘着テープ移動機構６５を制御部９０が制御駆動させる。すると、上記のテープエッジ付近に剥がし用テープＴ２が貼り付けられるが、この剥がし用テープＴ２の粘着力は、粘着テープロールＴ１Ｒにおける粘着テープＴ１の粘着力よりも強くなるように設けられている。

したがって、粘着テープロールＴ１Ｒのテープエッジ付近に、剥がし用テープＴ２が貼り付けられた状態で、制御部９０が巻取モータ８０を所定だけ駆動させると、粘着テープロールＴ１Ｒから最外周の粘着テープＴ１を剥がすことができる。また、粘着テープロールＴ１Ｒから剥がされた粘着テープＴ１は、巻取筒２００に巻き取ることが可能となる。

＜除塵装置１０のセッティング方法について＞
上記の巻取カートリッジ１００を用いた、構成の除塵装置１０のセッティング方法においては、先ずは、除塵装置１０から上記の巻取カートリッジ１００を取り出す（取出工程に対応）。なお、除塵装置１０から取り出した巻取カートリッジ１００は、除塵装置１０が設置されている空間（たとえばクリーンルーム）とは別の作業空間に運び、その作業空間内で、以下の各工程を実行する方が好ましい。

上記の取出工程の後に、前蓋パネル１４０および後蓋パネル１５０を開いて、ハウジング１１０から剥がしテープ保持筒２１０を取り外す。そして、剥がしテープ保持筒２１０に対して、剥がし用テープロールＴ２Ｒを保持させる（保持工程）。そして、剥がし用テープロールＴ２Ｒを保持した状態の剥がしテープ保持筒２１０を、再びハウジング１１０に装着させるが、この装着は、下記の貼付工程と掛け回し工程の少なくとも１つが完了した後に行っても良い。

なお、既に使用済み（巻取済み）の粘着テープＴ１および剥がし用テープＴ２が巻取筒２００に巻き取られている場合には、保持工程に先立って、ハウジング１１０から巻取筒２００を取り外し、その巻取筒２００から粘着テープＴ１および剥がし用テープＴ２を取り外す。そして、粘着テープＴ１および剥がし用テープＴ２が取り外された状態の巻取筒２００を、再びハウジング１１０に装着する。

また、上記の保持工程の後に、剥がし用テープロールＴ２Ｒから引き出された剥がし用テープＴ２の先端側を、巻取筒２００に貼り付ける（貼付工程）。

また、上記の貼付工程に前後して、粘着テープロールＴ１Ｒに向けて剥がし用テープＴ２を押し当てるための剥がし用ローラ２２２に、剥がし用テープＴ２を掛け回す（掛け回し工程）。

その後に、巻取カートリッジ１００を、除塵装置１０の巻取カートリッジ収納部７０に、巻取カートリッジ１００を取り付ける（取付工程）。以上のようにして、除塵装置１０のセッティング方法が完了する。

＜効果について＞
以上のような構成の、ワークＷの除塵を行うための除塵装置１０に収納されると共に、巻き取られた粘着テープＴ１を保持する除塵装置１０の巻取カートリッジ１００においては、粘着テープＴ１が巻回されている粘着テープロールＴ１Ｒから、最外周の粘着テープＴ１を剥がすための剥がし用テープＴ２が巻回された剥がし用テープロールＴ２Ｒを保持する剥がしテープ保持筒２１０と、剥がし用テープＴ２によって剥がされた粘着テープＴ１を、剥がし用テープＴ２と共に巻き取る巻取筒２００と、剥がし用テープロールＴ２Ｒから引き出された剥がし用テープＴ２を粘着テープロールＴ１Ｒに向けて押し当てるための剥がし用ローラ２２２を備える貼付機構２２０と、剥がしテープ保持筒２１０および巻取筒２００を回転可能な状態で保持すると共に、剥がし用ローラ２２２が開口１６０から突出可能な状態で回転可能に保持すると共に、除塵装置１０の巻取カートリッジ収納部７０に対して着脱可能に設けられるハウジング１１０と、を備え、ハウジング１１０は、巻取筒２００で巻き取られた粘着テープＴ１を外部に露出させない状態で収納する。

このように構成する場合には、剥がし用テープロールＴ２Ｒが巻取カートリッジ１００に収納されていて、その剥がし用テープロールＴ２Ｒから引き出された剥がし用テープＴ２を剥がし用ローラ２２２に掛け回すことで、粘着テープロールＴ１Ｒから最外周の粘着テープＴ１を剥がすことが可能な状態に、セッティングがなされる。しかも、ハウジング１１０は、除塵装置１０の巻取カートリッジ収納部７０に対して着脱可能に設けられているので、巻取カートリッジ１００は、除塵装置１０から取り外して、除塵装置１０が設置されている環境とは別の外部環境にて、セッティング作業を行うことが可能となっている。このため、作業者が、セッティング作業を行う際に、除塵装置１０の他の部位が支障となるのを低減させることができ、セッティングにおける作業性を向上させることが可能となる。また、作業性が向上することで、作業者が作業誤りを起こすのを低減させることができる。

また、巻取カートリッジ１００は、除塵装置１０から取り外して、除塵装置１０が設置されている環境とは別の外部環境にて、セッティング作業を行うことで、作業者に由来する塵埃が、除塵装置１０が設置されているクリーンな環境に影響を及ぼすのを防止することができる。

また、粘着テープロールＴ１Ｒから剥がされた、使用済みの粘着テープＴ１が巻き取られたた巻取筒２００を、巻取カートリッジ１００（ハウジング１１０）の内部に収納しているので、塵埃の付着している使用済みの粘着テープＴ１を外部に露出させない状態とすることが可能となる。それにより、既に粘着テープＴ１に粘着されている塵埃が、何らかの拍子に、外部に飛散してしまうのを抑制可能となる。

また、本実施の形態では、ハウジング１１０には、外壁パネル１３０と、この外壁パネル１３０に対して開閉可能な前蓋パネル１４０および後蓋パネル１５０（蓋部材）が取り付けられている。そして、前蓋パネル１４０および後蓋パネル１５０（蓋部材）は、剥がしテープ保持筒２１０および巻取筒２００の軸方向と平行な向きを開閉の支点として開閉可能に設けられている。

このように構成する場合、開閉可能な前蓋パネル１４０および後蓋パネル１５０（蓋部材）がハウジング１１０に設けられていて、この前蓋パネル１４０および後蓋パネル１５０（蓋部材）を開くことにより、作業者が新たに剥がし用テープロールＴ２Ｒをセッティングしたり、既に巻取筒２００に巻き取られた粘着テープＴ１を巻取筒２００から取り外す際の作業性を向上させることが可能となる。

また、本実施の形態では、後蓋パネル１５０（蓋部材）には、巻取押さえ機構２４０が取り付けられていて、巻取押さえ機構２４０は、巻取筒２００に巻き取られた粘着テープＴ１の外周に接触する押さえローラ２４２と、押さえローラ２４２に対して巻取筒２００の内径側に向かう付勢力を与える付勢バネ２４３と、を有している。

このように構成する場合、巻取筒２００に巻き取られる粘着テープＴ１が膨らんでしまうのを防止することができる。すなわち、粘着テープＴ１を巻取筒２００で巻き取る場合、粘着テープＴ１の外部から何らかの力を加えないと、粘着テープＴ１の巻取状態が乱れてしまい、巻き取った粘着テープＴ１の直径が大きくなってしまう虞がある。しかしながら、上記のような巻取押さえ機構２４０を設け、付勢バネ２４３から付勢力が与えられる押さえローラ２４２で、粘着テープＴ１を押さえながら粘着テープＴ１を巻取筒２００に巻き取らせることで、粘着テープＴ１の良好な巻取状態を実現することができる。

また、本実施の形態では、ハウジング１１０は、その長手方向の両端側に側板部材１２０をそれぞれ備えていて、側板部材１２０には、剥がし用ローラ２２２を支持する剥がし用支持軸２２１を着脱自在に支持する剥がし軸支部１２２と、巻取筒２００を着脱自在に支持する巻取軸支部１２１と、が設けられている。そして、剥がし軸支部１２２は、半円状の内壁を備え当該内壁によって剥がし用テープロールＴ２Ｒを回転自在に支持する軸受部１２２ｃ（第１軸受部）と、軸受部１２２ｃ（第１軸受部）の内径よりも狭める方向に向かって突出して軸受部１２２ｃ（第１軸受部）からの剥がしテープ保持筒２１０の脱落を防止する抜止突起１２２ａ（第１抜止突起）とを備えている。また、巻取軸支部１２１は、半円状の内壁を備え当該内壁によって巻取筒を回転自在に支持する軸受部１２１ｃ（第２軸受部）と、軸受部１２１ｃ（第２軸受部）の内径よりも狭める方向に向かって突出して軸受部１２１ｃ（第２軸受部）からの巻取筒２００の脱落を防止する抜止突起１２１ａ（第２抜止突起）とを備えている。

このように構成する場合には、剥がし軸支部１２２は、軸受部１２２ｃ（第１軸受部）を備えていることにより、剥がしテープ保持筒２１０を軸受部１２２ｃ（第１軸受部）で回転自在に支持することが可能となる。加えて、剥がし軸支部１２２は、抜止突起１２２ａ（第１抜止突起）を備えていることにより、剥がしテープ保持筒２１０が軸受部１２２ｃ（第１軸受部）から容易に抜けてしまうのを防止することができる。また、側板部材１２０を撓ませることで、剥がしテープ保持筒２１０が抜止突起１２２ａ（第１抜止突起）を乗り越えて軸受部１２２ｃ（第１軸受部）に向かうようにすることで、剥がしテープ保持筒２１０を軸受部１２２ｃ（第１軸受部）に容易にセットすることができる。

また、巻取軸支部１２１は、軸受部１２１ｃ（第２軸受部）を備えていることにより、巻取筒２００を軸受部１２１ｃ（第２軸受部）で回転自在に支持することが可能となる。加えて、巻取軸支部１２１は、抜止突起１２１ａ（第２抜止突起）を備えていることにより、巻取筒２００が軸受部１２１ｃ（第２軸受部）から容易に抜けてしまうのを防止することができる。また、側板部材１２０を撓ませることで、巻取筒２００が抜止突起１２１ａ（第２抜止突起）を乗り越えて軸受部１２１ｃ（第２軸受部）に向かうようにすることで、巻取筒２００を軸受部１２１ｃ（第２軸受部）に容易にセットすることができる。

また、本実施の形態では、側板部材１２０には、軸受部１２１ｃ（第２軸受部）と連通する挿通孔１２１ｄが設けられていて、巻取筒２００の端部には継手蓋２０２が設けられている。そして、継手蓋２０２には、外部の巻取モータ８０の連結部材が挿入されると共に、凹状に設けられている複数の連結凹部２０２ａと、周方向において隣り合う連結凹部２０２ａの間に設けられていると共に、連結部材が衝突した際に連結凹部２０２ａに向けてガイドする斜面を有するガイド突起２０２ｂと、が設けられている。

このように構成する場合には、巻取カートリッジ１００の内部には、巻取筒２００を回転させるための、電気的な部品である、巻取モータ８０を設けずに済む。このため、巻取カートリッジ１００の重量を低減させることができ、その分だけコストを低減することが可能となる。

また、連結部材が衝突した際に連結凹部２０２ａに向けてガイドする斜面を有するガイド突起２０２ｂの存在により、巻取モータ８０の連結部材が挿通孔１２１ｄを通過して連結凹部２０２ａに向かって進行した際に、連結凹部２０２ａから回転方向にずれた位置に進行してガイド突起２０２ｂに衝突すると、その連結部材か、または巻取筒２００が連結部材の進行によって回転する状態となる。そのため、位置ずれを防止するためのセンサを設けなくても、連結部材を連結凹部２０２ａに差し込むことが可能となる。

また、本実施の形態では、貼付機構２２０には、押圧機構２３０が設けられていて、押圧機構２３０は、ハウジング１１０内部に配置されているバネ部材２３２を有すると共に、バネ部材２３２の付勢力によって剥がし用ローラ２２２を開口１６０から外部に突出させる向きに付勢している。

このように、バネ部材２３２によって、剥がし用ローラ２２２を開口１６０から外部に突出させる向きに付勢しているので、剥がし用ローラ２２２を粘着テープロールＴ１Ｒの最外周に向けて移動させるための電気的な部品である、シリンダ等の駆動手段を設けずに済む。このため、巻取カートリッジ１００の重量を低減させることができ、その分だけコストを低減することが可能となる。

また、本実施の形態の、除塵装置１０のセッティング方法は、粘着テープＴ１が巻回されている粘着テープロールＴ１Ｒから、最外周の粘着テープＴ１を剥がすための剥がし用テープＴ２が巻回された剥がし用テープロールＴ２Ｒを保持する剥がしテープ保持筒２１０、および使用済みの粘着テープＴ１を巻き取る巻取筒２００を、除塵装置１０から取り出す取出工程と、剥がしテープ保持筒２１０に、剥がし用テープロールＴ２Ｒを保持させる保持工程と、剥がし用テープロールＴ２Ｒから引き出された剥がし用テープＴ２の先端側を、巻取筒２００に貼り付ける貼付工程と、貼り付け工程に前後して、粘着テープロールＴ１Ｒに向けて剥がし用テープＴ２を押し当てるための剥がし用ローラ２２２に剥がし用テープＴ２を掛け回す掛け回し工程と、剥がしテープ保持筒２１０および巻取筒２００を、除塵装置１０に取り付ける取付工程と、を備えている。

このように、剥がしテープ保持筒２１０および巻取筒２００を、除塵装置１０から取り出すため、除塵装置１０が設置されている環境とは別の外部環境にて、セッティング作業を行うことが可能となる。すなわち、剥がしテープ保持筒２１０に、剥がし用テープロールＴ２Ｒを保持させる保持工程、および剥がし用テープロールＴ２Ｒから引き出された剥がし用テープＴ２の先端側を、巻取筒２００に貼り付ける貼付工程を、除塵装置１０が設置されている環境とは別の外部環境にて、実行することが可能となる。

それにより、作業者が、セッティング作業を行う際に、除塵装置１０の他の部位が支障となるのを低減させることができ、セッティングにおける作業性を向上させることが可能となる。また、作業性が向上することで、作業者が作業誤りを起こすのを低減させることができる。また、消耗品である、剥がし用テープＴ２（剥がし用テープロールＴ２Ｒ）の交換に要する作業時間を短縮することが可能となる。

また、取出工程において、巻取筒２００および剥がしテープ保持筒２１０を除塵装置１０から取り外して、除塵装置１０が設置されている環境とは別の外部環境にて、セッティング作業を行うことで、作業者に由来する塵埃が、除塵装置１０が設置されているクリーンな環境に影響を及ぼすのを防止することができる。

また、本実施の形態では、剥がしテープ保持筒２１０、巻取筒２００および剥がし用ローラ２２２は、これらを保持するハウジング１１０と共に巻取カートリッジ１００を構成する。そして、ハウジング１１０は、剥がしテープ保持筒２１０および巻取筒を、回転可能な状態で保持する。また、ハウジング１１０は開口１６０を備え、当該開口１６０から剥がし用ローラ２２２を突出可能な状態で回転可能に保持すると共に、巻取カートリッジ１００は、除塵装置１０の巻取カートリッジ収納部７０に対して着脱可能に設けられている。

このように、剥がしテープ保持筒２１０、巻取筒２００および剥がし用ローラ２２２は、これらを保持するハウジング１１０と共に巻取カートリッジ１００を構成している。このため、剥がし用テープＴ２等のセッティングに関する各部材が、巻取カートリッジ１００として一体化されているので、セッティングに関する各部材は、巻取カートリッジ収納部７０から巻取カートリッジ１００を取り出すだけで済む。また、セッティングの完了後の各部材を取り付ける場合も、巻取カートリッジ収納部７０へ巻取カートリッジ１００を取り付けるだけで済む。このため、セッティング作業を、一層簡単に行うことが可能となる。

また、ハウジング１１０が剥がしテープ保持筒２１０を保持しているので、粘着テープロールＴ１Ｒから剥がされた、使用済みの粘着テープＴ１が巻き取られたた巻取筒２００を、巻取カートリッジ１００（ハウジング１１０）に保持させることが可能となる。このため、塵埃の付着している使用済みの粘着テープＴ１を廃棄する際の取り扱いが容易となる。

＜変形例＞
以上、本発明の各実施の形態について説明したが、本発明はこれ以外にも種々変形可能となっている。以下、それについて述べる。

上述の実施の形態においては、巻取カートリッジ１００を除塵装置１０から取り外して、クリーンな環境において、セッティング作業を行うようにしている。しかしながら、巻取カートリッジ１００に収納されている、巻取筒２００と剥がしテープ保持筒２１０とを取り出し、巻取筒２００に巻き取られている粘着テープＴ１を取り外した後に、剥がしテープ保持筒２１０に剥がし用テープロールＴ２Ｒを保持させても良い。

この場合も、上述したような取出工程、保持工程、貼付工程、掛け回し工程および取付工程を実行することになる。また、除塵装置１０が設置されている環境とは別の外部環境にて、保持工程および貼付工程を実行することができる。なお、この場合においては、取出工程で剥がしテープ保持筒２１０および巻取筒２００を、取出工程において取り出した後には、剥がしテープ保持筒２１０に剥がし用テープロールＴ２Ｒを保持させ（保持工程）、その剥がし用テープロールＴ２Ｒから剥がし用テープＴ２を引き出し、その剥がし用テープＴ２の先端を巻取筒２００に貼り付ける（貼付工程）。この状態で、巻取筒２００と剥がしテープ保持筒２１０とを巻取カートリッジ１００の内部にセットし（取付工程）、剥がし用テープＴ２を剥がし用ローラ２２２に掛け回す（掛け回し工程）。

このため、セッティングにおける作業性を向上させることが可能となる。また、作業性が向上することで、作業者が作業誤りを起こすのを低減させることができる。また、消耗品である、剥がし用テープＴ２（剥がし用テープロールＴ２Ｒ）の交換に要する作業時間を短縮することが可能となる。

また、上述の実施の形態では、蓋部材には、前蓋パネル１４０と後蓋パネル１５０が対応しているが、ハウジング１１０は、１つの蓋部材のみを設けるようにしても良い。

１０…除塵装置、２０…筐体部、３０…搬送機構、３１…モータ、３２…搬送ローラ、４０…クリーンユニット、５０…除塵ロールユニット、５１…除塵ローラ、５１ａ…回転軸、５１ｂ…粘着ラバー層、６０…テープユニット、６１…粘着テープホルダ、６５…粘着テープ移動機構、７０…巻取カートリッジ収納部、８０…巻取モータ、９０…制御部、１００…巻取カートリッジ、１１０…ハウジング、１２０…側板部材、１２１…巻取軸支部、１２１ａ…抜止突起（第２抜止突起に対応）、１２１ｂ…挿入ガイド部、１２１ｃ…軸受部（第２軸受部に対応）、１２１ｄ…挿通孔、１２２…軸支部、１２２ａ…抜止突起（第１抜止突起に対応）、１２２ｂ…挿入ガイド部、１２２ｃ…軸受部（第１軸受部に対応）、１２３…貼付軸支部、１２３ａ…摺動溝、１２３ｂ…軸孔、１２４…肉厚部分、１２５…取手、１３０…外壁パネル、１３０ａ…上面部、１３０ｂ…側面部、１３０ｃ…フランジ部、１４０…前蓋パネル（蓋部材に対応）、１４０ａ…側面部、１４０ｂ…ガイド斜面部、１５０…後蓋パネル（蓋部材に対応）、１５０ａ…側面部、１５０ｂ…急斜面部、１６０…開口、２００…巻取筒、２０１…パイプ状部、２０２…継手蓋、２０２ａ…連結凹部、２０２ｂ…ガイド突起、２１０…テープ保持筒、２２０…貼付機構、２２１…用支持軸、２２１ａ…ネジ孔、２２１ｂ…貼付ロール軸、２２２…剥がし用ローラ、２３０…押圧機構、２３１…バネ軸、２３１ａ…頭部、２３２…バネ部材、２４０…巻取押さえ機構、２４１…ロール支持部材、２４１ａ…軸支スリット、２４１ｂ…バネ取付軸、２４１ｃ…バネ係止部、２４２…押さえローラ、２４２ａ…ローラ部、２４３…付勢バネ、Ｂ１…軸受、Ｈ１，Ｈ２…ヒンジ、Ｒ１，Ｒ２…ロック部材、Ｔ１…粘着テープ、Ｔ１Ｒ…粘着テープロール、Ｔ２…用テープ、Ｔ２Ｒ…用テープロール、Ｗ…ワーク

Claims (9)

1. ワークの除塵を行うための除塵装置に収納されると共に、ワークに接触して当該ワークの除塵を行う除塵ローラに接触して、当該除塵ローラから塵埃を転写する粘着テープを巻き取った状態で保持する除塵装置の巻取カートリッジであって、
   前記粘着テープが巻回されている粘着テープロールから、最外周の前記粘着テープを剥がすための剥がし用テープが巻回された剥がし用テープロールを保持する剥がしテープ保持筒と、
   前記剥がし用テープによって剥がされた前記粘着テープを、前記剥がし用テープと共に巻き取る巻取筒と、
   前記剥がし用テープロールから引き出された前記剥がし用テープを前記粘着テープロールに向けて押し当てるための剥がし用ローラを備える貼付機構と、
   前記剥がしテープ保持筒および前記巻取筒を回転可能な状態で保持し、前記剥がし用ローラが開口から突出可能な状態で回転可能に保持すると共に、前記除塵装置の巻取カートリッジ収納部に対して着脱可能に設けられるハウジングと、
   を備え、
   前記ハウジングは、前記巻取筒で巻き取られた前記粘着テープを外部に露出させない状態で収納する、
   ことを特徴とする除塵装置の巻取カートリッジ。
2. 請求項１記載の除塵装置の巻取カートリッジであって、
   前記ハウジングには、外壁パネルと、この外壁パネルに対して開閉可能な蓋部材が取り付けられていて、
   前記蓋部材は、前記剥がしテープ保持筒および前記巻取筒の軸方向と平行な向きを開閉の支点として開閉可能に設けられている、
   ことを特徴とする除塵装置の巻取カートリッジ。
3. 請求項２記載の除塵装置の巻取カートリッジであって、
   前記蓋部材には、巻取押さえ機構が取り付けられていて、
   前記巻取押さえ機構は、前記巻取筒に巻き取られた前記粘着テープの外周に接触する押さえローラと、前記押さえローラに対して前記巻取筒の内径側に向かう付勢力を与える付勢バネと、を有する、
   ことを特徴とする除塵装置の巻取カートリッジ。
4. 請求項１から３のいずれか１項に記載の除塵装置の巻取カートリッジであって、
   前記ハウジングは、その長手方向の両端側に側板部材をそれぞれ備えていて、
   前記側板部材には、
   前記剥がし用テープロールを支持する剥がしテープ保持筒を着脱自在に支持する剥がし軸支部と、
   前記巻取筒を着脱自在に支持する巻取軸支部と、
   が設けられていて、
   前記剥がし軸支部は、半円状の内壁を備え当該内壁によって前記剥がしテープ保持筒を回転自在に支持する第１軸受部と、前記第１軸受部の内径よりも狭める方向に向かって突出して前記第１軸受部からの前記剥がしテープ保持筒の脱落を防止する第１抜止突起とを備え、
   前記巻取軸支部は、半円状の内壁を備え当該内壁によって前記巻取筒を回転自在に支持する第２軸受部と、前記第２軸受部の内径よりも狭める方向に向かって突出して前記第２軸受部からの前記巻取筒の脱落を防止する第２抜止突起とを備える、
   ことを特徴とする除塵装置の巻取カートリッジ。
5. 請求項４記載の除塵装置の巻取カートリッジであって、
   前記側板部材には、前記第２軸受部と連通する挿通孔が設けられていて、
   前記巻取軸の端部には継手蓋が設けられていて、
   前記継手蓋には、外部の巻取モータの連結部材が挿入されると共に、凹状に設けられている複数の連結凹部と、
   周方向において隣り合う前記連結凹部の間に設けられていると共に、前記連結部材が衝突した際に前記連結凹部に向けてガイドする斜面を有するガイド突起と、
   が設けられている、
   ことを特徴とする除塵装置の巻取カートリッジ。
6. 請求項１から５のいずれか１項に記載の除塵装置の巻取カートリッジであって、
   前記貼付機構には、押圧機構が設けられていて、
   前記押圧機構は、前記ハウジング内部に配置されているバネ部材を有すると共に、前記バネ部材の付勢力によって前記剥がし用ローラを前記開口から外部に突出させる向きに付勢する、
   ことを特徴とする除塵装置の巻取カートリッジ。
7. ワークの除塵を行うための除塵装置であって、
   筐体と、
   前記筐体に支持され、前記ワークの表面に付着している塵埃を吸着する除塵ローラを備える除塵ロールユニットと、
   前記筐体に支持され、前記除塵ローラに付着した前記塵埃を転写する粘着テープロールを保持する粘着テープホルダと、
   前記筐体のうち、前記粘着テープホルダに保持される前記粘着テープロールよりも前記除塵ローラから離間する側に配置される巻取カートリッジ収納部と、
   前記巻取カートリッジ収納部に収納される請求項１から６のいずれか１項に記載の巻取カートリッジと、
   を備えることを特徴とする除塵装置。
8. ワークに接触して当該ワークの除塵を行う除塵ローラに接触して、当該除塵ローラから塵埃を粘着テープに転写させることで、前記ワークの除塵を行う除塵装置のセッティング方法であって、
   前記粘着テープが巻回されている粘着テープロールから、最外周の前記粘着テープを剥がすための剥がし用テープが巻回された剥がし用テープロールを保持し、かつハウジングと共に巻取カートリッジを構成する剥がしテープ保持筒、および使用済みの前記粘着テープを巻き取り、かつ前記巻取カートリッジを構成する巻取筒を、前記巻取カートリッジごと前記除塵装置から取り出す取出工程と、
   前記剥がしテープ保持筒に、前記剥がし用テープロールを保持させる保持工程と、
   前記剥がし用テープロールから引き出された前記剥がし用テープの先端側を、前記巻取筒に貼り付ける貼付工程と、
   前記貼付工程に前後して、前記巻取カートリッジを構成すると共に前記粘着テープロールに向けて前記剥がし用テープを押し当てるための剥がし用ローラに前記剥がし用テープを掛け回す掛け回し工程と、
   前記剥がしテープ保持筒、前記巻取筒および前記剥がし用ローラを、前記巻取カートリッジごと前記除塵装置に取り付ける取付工程と、
   を備えることを特徴とする除塵装置のセッティング方法。
9. 請求項８記載の除塵装置のセッティング方法であって、
   前記ハウジングは、前記剥がしテープ保持筒および前記巻取筒を、回転可能な状態で保持し、
   前記ハウジングは開口を備え、当該開口から前記剥がし用ローラを突出可能な状態で回転可能に保持すると共に、
   前記巻取カートリッジは、前記除塵装置の巻取カートリッジ収納部に対して着脱可能に設けられている、
   ことを特徴とする除塵装置のセッティング方法。

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