JP7325842B2

JP7325842B2 - 電気的駆動弁

Info

Publication number: JP7325842B2
Application number: JP2021040809A
Authority: JP
Inventors: 良輔津久井
Original assignee: Fujikoki Corp
Current assignee: Fujikoki Corp
Priority date: 2021-03-12
Filing date: 2021-03-12
Publication date: 2023-08-15
Anticipated expiration: 2041-03-12
Also published as: CN115076449A; JP2022140138A

Description

本発明は、電気的駆動弁に関する。

従来の電気的駆動弁の一例であるパイロット式の電磁弁が特許文献１に開示されている。特許文献１の電磁弁は、弁本体と、主弁体と、を有している。弁本体は、主弁室と背圧室とを有している。主弁室と背圧室とは、主弁体によって区画されている。主弁室には、主弁座を介して主弁口が接続されている。弁本体には、主弁室に接続された入口継手管と、主弁口に接続された出口継手管と、が接合されている。主弁体が主弁座に接すると主弁口が閉じ、主弁体が主弁座から離れると主弁口が開く。主弁体は、パイロット通路を有している。パイロット通路は、背圧室と主弁口とを接続する。主弁室には、開弁ばねが配置されている。開弁ばねは、主弁体を主弁室側から背圧室側に押している。

また、電磁弁は、パイロット弁体と、プランジャーと、固定鉄心と、コイルと、を有している。パイロット弁体は、背圧室に配置されている。パイロット弁体は、パイロット通路を開閉する。パイロット弁体は、プランジャーに取り付けられている。プランジャーと固定鉄心との間には、プランジャーばねが配置されている。プランジャーばねは、プランジャーを主弁体側に押している。

コイルが非通電状態のとき、プランジャーが、プランジャーばねによって主弁体側に移動する。プランジャーがパイロット弁体を主弁体に押し付け、パイロット通路が閉じる。さらに、パイロット弁体が主弁体を主弁座に押し付け、主弁口が閉じる。これにより、主弁室から主弁口への流体の流れが遮断される（閉弁状態）。閉弁状態において、主弁室の流体圧力と背圧室の流体圧力とが同一であり、主弁口の流体圧力は、主弁室の流体圧力および背圧室の流体圧力より低い。

そして、コイルが通電状態になると、プランジャーが、磁力によって固定鉄心側に移動する。プランジャーがパイロット弁体を主弁体から離し、パイロット通路が開く。パイロット通路を介して背圧室の流体が主弁口に流れ、背圧室の流体圧力が低下する。開弁ばねおよび主弁室の流体圧力と背圧室の流体圧力との圧力差によって、主弁体が主弁座から離れ、主弁口が開く。これにより、主弁室の流体は、主弁口に流れる。

特開２００７－９２８２５号公報

上述した電磁弁では、主弁口が開いたときに主弁室の流体圧力と主弁口の流体圧力との圧力差が大きく、主弁室の流体が主弁口に急激に流れ込み、騒音（流体音）が生じてしまっていた。

そこで、本発明は、主弁口が開いたときに生じる騒音を効果的に抑制できる電気的駆動弁を提供することを目的とする。

上記目的を達成するために、本発明の一態様に係る電気的駆動弁は、主弁室と背圧室とを有する弁本体と、前記主弁室と前記背圧室とを区画するように配置され、前記主弁室に接続された主弁口を開閉する主弁体と、前記主弁室と前記背圧室とを接続する均圧通路と、前記背圧室と前記主弁口とを接続するパイロット通路と、前記パイロット通路を開閉するパイロット弁体と、前記パイロット弁体を駆動する駆動部と、を有する電気的駆動弁であって、前記パイロット通路を、前記均圧通路より流路面積の小さい第１通路形態と、前記均圧通路より流路面積の大きい第２通路形態と、に切り換える流路切換機構を有し、前記流路切換機構は、前記パイロット通路が開いた状態において、前記主弁口の流体圧力が前記背圧室の流体圧力より低くかつ前記背圧室の流体圧力と前記主弁口の流体圧力との圧力差が大きいときは前記第１通路形態に切り換え、前記圧力差が小さいときは前記第２通路形態に切り換えるように構成されていることを特徴とする。

本発明によれば、電気的駆動弁は、パイロット通路を、均圧通路より流路面積の小さい第１通路形態と、均圧通路より流路面積の大きい第２通路形態と、に切り換える流路切換機構を有している。そして、流路切換機構は、前記パイロット通路が開いた状態において、背圧室の流体圧力と主弁口の流体圧力との圧力差が大きいときはパイロット通路を第１通路形態に切り換え、圧力差が小さいときはパイロット通路を第２通路形態に切り換えるように構成されている。電気的駆動弁において、主弁口が閉じた閉弁状態では主弁室の流体圧力と背圧室の流体圧力とが同じ値（ほぼ同じ値を含む）であり、これらの流体圧力より主弁口の流体圧力が低い。そのため、パイロット通路が開いた直後は背圧室の流体圧力と主弁口の流体圧力との圧力差が大きく、流路切換機構は、パイロット通路を流路面積の小さい第１通路形態に切り換えて、主弁室と背圧室との間の流量より背圧室と主弁口との間の流量を小さくする。これにより、主弁室の流体圧力と背圧室の流体圧力とがほぼ同じ値を維持したまま徐々に低下する。そして、背圧室の流体圧力と主弁口の流体圧力との圧力差が小さくなると、流路切換機構は、パイロット通路を流路面積の大きい第２通路形態に切り換えて、主弁室と背圧室との間の流量より背圧室と主弁口との間の流量を大きくする。これにより、主弁室の流体圧力より背圧室の流体圧力が小さくなり、主弁室の流体圧力と背圧室の流体圧力との圧力差によって主弁体が主弁座から離れて、主弁口が開く。このとき、主弁室の流体圧力と主弁口の流体圧力との圧力差が、パイロット通路が開いた直後より小さくなっている。そのため、主弁室から主弁口に急激に流体が流れ込むことを抑制でき、主弁口が開いたときに生じる騒音を効果的に抑制できる。

上記目的を達成するために、本発明の他の一態様に係る電気的駆動弁は、主弁室と背圧室とを有する弁本体と、前記主弁室と前記背圧室とを区画するように配置され、前記主弁室に接続された主弁口を開閉する主弁体と、前記主弁室と前記背圧室とを接続する均圧通路と、前記背圧室と前記主弁口とを接続するパイロット通路と、前記パイロット通路を開閉するパイロット弁体と、前記パイロット弁体を駆動する駆動部と、を有する電気的駆動弁であって、前記均圧通路を、前記パイロット通路より流路面積の小さい第１通路形態と、前記パイロット通路より流路面積の大きい第２通路形態と、に切り換える流路切換機構を有し、前記流路切換機構は、前記パイロット通路が開いた状態において、（１）前記主弁室の流体圧力と前記背圧室の流体圧力との圧力差が大きくかつ前記背圧室の流体圧力と前記主弁口の流体圧力との圧力差が大きいときは前記第２通路形態に切り換え、（２－１）前記主弁室の流体圧力と前記背圧室の流体圧力との圧力差が小さいときまたは（２－２）前記主弁室の流体圧力と前記背圧室の流体圧力との圧力差が大きくかつ前記背圧室の流体圧力と前記主弁口の流体圧力との圧力差が小さいときは前記第１通路形態に切り換えるように構成されていることを特徴とする。

本発明によれば、電気的駆動弁は、均圧通路を、パイロット通路より流路面積の小さい第１通路形態と、パイロット通路より流路面積の大きい第２通路形態と、に切り換える流路切換機構を有している。そして、流路切換機構は、パイロット通路が開いた状態において、（１）主弁室の流体圧力と背圧室の流体圧力との圧力差が大きくかつ背圧室の流体圧力と主弁口の流体圧力との圧力差が大きいときは第２通路形態に切り換え、（２－１）主弁室の流体圧力と背圧室の流体圧力との圧力差が小さいときまたは（２－２）主弁室の流体圧力と背圧室の流体圧力との圧力差が大きくかつ背圧室の流体圧力と主弁口の流体圧力との圧力差が小さいときは均圧通路を第１通路形態に切り換えるように構成されている。電気的駆動弁において、主弁口が閉じた閉弁状態では主弁室の流体圧力と背圧室の流体圧力とが同じ値（ほぼ同じ値を含む）であり、これらの流体圧力より主弁口の流体圧力が低い。そのため、パイロット通路が開いた直後は背圧室の流体圧力と主弁口の流体圧力との圧力差が大きく、背圧室から主弁口に流体が流れて主弁室の流体圧力と背圧室の流体圧力との圧力差が大きくなる。このとき、流路切換機構は、均圧通路を流路面積の大きい第２通路形態に切り換えて、主弁室と背圧室との間の流量を背圧室と主弁口との間の流量より大きくする。これにより、主弁室の流体圧力と背圧室の流体圧力とが徐々に低下しつつ互いに近づき、主弁室の流体圧力と背圧室の流体圧力との圧力差が小さくなる。そして、主弁室の流体圧力と背圧室の流体圧力との圧力差が小さくなると、流路切換機構は、均圧通路を流路面積の小さい第１通路形態に切り換えて、主弁室と背圧室との間の流量を背圧室と主弁口との間の流量より小さくする。これにより、主弁室の流体圧力より背圧室の流体圧力が低下して、主弁室の流体圧力と背圧室の流体圧力との圧力差が大きくなるとともに背圧室の流体圧力と主弁口の流体圧力との圧力差が小さくなる。そして、主弁室の流体圧力と背圧室の流体圧力との圧力差によって主弁体が主弁座から離れて、主弁口が開く。このとき、主弁室の流体圧力と主弁口の流体圧力との圧力差が、パイロット通路が開いた直後より小さくなっている。そのため、主弁室から主弁口に急激に流体が流れ込むことを抑制でき、主弁口が開いたときに生じる騒音を効果的に抑制できる。

本発明において、前記流路切換機構が、第１流通孔が設けられた流路切換弁体と、前記第１流通孔より径の大きい第２流通孔が設けられた弁座部と、前記流路切換弁体を上流側に押すように設けられた圧力差作動ばねと、を有し、上流側の流体圧力と下流側の流体圧力との圧力差に応じて前記流路切換弁体が前記弁座部に接離し、前記流路切換弁体が前記弁座部に接しているときは流体が前記第１流通孔を通り、前記流路切換弁体が前記弁座部から離れているときは流体が前記第２流通孔を通る、ように構成されている。このようにすることで、上流側の流体圧力と下流側の流体圧力との圧力差を利用して、小径の第１流通孔と大径の第２流通孔とのいずれかを流体が通るようにして、第１通路形態と第２通路形態とを切り換えることができる。そのため、流路切換機構を比較的簡易な構成にすることができる。

本発明によれば、主弁口が開いたときに生じる騒音を効果的に抑制できる。

本発明の第１実施例に係る電磁弁の断面図である。図１の電磁弁の拡大断面図である（閉弁状態）。図１の電磁弁の拡大断面図である（途中状態１）図１の電磁弁の拡大断面図である（途中状態２）図１の電磁弁の拡大断面図である（開弁状態）本発明の第２実施例に係る電磁弁の断面図である。図６の電磁弁の拡大断面図である（閉弁状態）。図６の電磁弁の拡大断面図である（途中状態１）図６の電磁弁の拡大断面図である（途中状態２）図６の電磁弁の拡大断面図である（開弁状態）本発明の第３実施例に係る電磁弁の断面図である。図１１のＸＩＩ－ＸＩＩ線に沿う断面図である。図１１の電磁弁の一部を示す断面図である（第２主弁口が閉じた状態）。図１１の電磁弁の一部を示す断面図である（途中状態１）図１１の電磁弁の一部を示す断面図である（途中状態２）図１１の電磁弁の一部を示す断面図である（第２主弁口が開いた状態）本発明の第４実施例に係る電磁弁の断面図である。図１７の電磁弁の一部を示す断面図である（第２主弁口が閉じた状態）。図１７の電磁弁の一部を示す断面図である（途中状態１）図１７の電磁弁の一部を示す断面図である（途中状態２）図１７の電磁弁の一部を示す断面図である（第２主弁口が開いた状態）

（第１実施例）
以下、本発明の電気的駆動弁の第１実施例に係るパイロット式の電磁弁について、図１～図５を参照して説明する。

図１は、本発明の第１実施例に係る電磁弁の断面図である。図２～図５は、図１の電磁弁の弁本体およびその近傍の拡大断面図である。図２～図５は、順に閉弁状態、途中状態１（パイロット通路が第１通路形態となる状態）、途中状態２（パイロット通路が第２通路形態となる状態）および開弁状態を示している。

図１～図５に示すように、第１実施例に係る電磁弁１は、弁本体１０と、主弁体２０と、駆動部３０と、パイロット弁体４０と、流路切換機構６０と、を有している。

弁本体１０は、有底円筒形状を有している。弁本体１０は、周壁部１１と、底壁部１２と、を有している。底壁部１２は、周壁部１１の下端部に連設されている。弁本体１０の内側には、主弁体２０が配置される。主弁体２０は、弁本体１０の内側空間を、主弁室１３と、背圧室１４と、に区画している。主弁室１３は主弁体２０の下側にあり、背圧室１４は主弁体２０の上側にある。底壁部１２は、主弁口１５と、主弁座１６と、を有している。主弁口１５は、底壁部１２を貫通している。円環形状の主弁座１６は、主弁室１３において主弁口１５を囲むように配置されている。主弁口１５は、主弁座１６を介して主弁室１３に接続されている。周壁部１１には、入口通路である入口継手管１７が接合されている。入口継手管１７は、周壁部１１を横方向に貫通し、主弁室１３に接続されている。底壁部１２には、出口通路である出口継手管１８が接合されている。出口継手管１８は、主弁口１５に接続されている。

主弁体２０は、弁本体１０の内側に上下方向（軸線Ｌ方向）に移動可能に配置されている。主弁体２０は、主弁体本体２１と、フランジ２２と、を有している。

主弁体本体２１は、円柱形状を有している。主弁体本体２１は、パイロット通路２５を有している。パイロット通路２５は、主弁体本体２１を上下方向に貫通している。パイロット通路２５は、背圧室１４と主弁口１５とを接続する。パイロット通路２５の下部には、大径部２５ａが設けられている。パイロット通路２５の上部には、大径部２５ａに接続された小径部２５ｂが設けられている。小径部２５ｂの径は、大径部２５ａの径より小さい。主弁体本体２１の下端部は、主弁室１３に配置されている。主弁体本体２１の下端部には、主弁部２１ａが設けられている。主弁部２１ａは、主弁座１６に接離される。主弁部２１ａが主弁座１６に接すると、主弁口１５が閉じる。主弁部２１ａが主弁座１６から離れると、主弁口１５が開く。主弁体本体２１の上端部は、背圧室１４に配置されている。主弁体本体２１の上端部には、円環形状のパイロット弁座２１ｂが設けられている。パイロット弁座２１ｂは、パイロット通路２５を囲むように配置されている。

フランジ２２は、円環形状を有している。フランジ２２の外径は、主弁体本体２１の外径より大きい。フランジ２２は、主弁体本体２１に同軸に連設されている。フランジ２２の外周面は、周壁部１１の内周面と摺動する。フランジ２２は、均圧通路２６を有している。均圧通路２６は、フランジ２２を上下方向に貫通している。均圧通路２６は、主弁室１３と背圧室１４とを接続している。フランジ２２の外周面と周壁部１１の内周面との隙間も、主弁室１３と背圧室１４とを接続する均圧通路となる。以下の説明において、フランジ２２の外周面と周壁部１１の内周面との隙間と、均圧通路２６と、を合わせたものを「均圧通路２６Ｅ」としている。なお、電磁弁１は、均圧通路２６を省略して、フランジ２２の外周面と周壁部１１の内周面との隙間のみを均圧通路とした構成としてもよい。

駆動部３０は、ケース３１と、コイル３２と、固定鉄心３３と、プランジャー３４と、プランジャーばね３５と、を有している。

ケース３１は、円筒形状を有している。ケース３１の下端部は、周壁部１１の上端部に取り付けられている。コイル３２は、ケース３１の外側に配置されている。固定鉄心３３は、円柱形状を有している。固定鉄心３３は、ケース３１の上端部に挿入されている。プランジャー３４は、円柱形状を有している。プランジャー３４は、ケース３１に上下方向に移動可能に収容されている。プランジャーばね３５は、固定鉄心３３とプランジャー３４との間に配置されている。プランジャーばね３５は、圧縮コイルばねである。プランジャーばね３５は、プランジャー３４を下方に押している。

パイロット弁体４０は、球形状を有している。パイロット弁体４０は、背圧室１４に配置されている。パイロット弁体４０は、プランジャー３４の下端部にかしめによって取り付けられている。パイロット弁体４０は、プランジャー３４の下端部に溶接されていてもよい。パイロット弁体４０は、駆動部３０によって上下方向に移動される。パイロット弁体４０は、パイロット弁座２１ｂに接離される。パイロット弁体４０がパイロット弁座２１ｂに接すると、パイロット通路２５が閉じる。パイロット弁体４０がパイロット弁座２１ｂから離れると、パイロット通路２５が開く。

流路切換機構６０は、パイロット通路２５に配置されている。流路切換機構６０は、流路切換弁体６１と、弁座部６２と、圧力差作動ばね６３と、を有している。

流路切換弁体６１は、パイロット通路２５の大径部２５ａに上下方向に移動可能に配置されている。流路切換弁体６１は、円筒形状の切換弁部６１ａと、切換弁部６１ａの上端部に同軸に連設された円筒形状のガイド部６１ｂと、を有している。切換弁部６１ａの下端部には、上下方向に延在する第１流通孔６１ｃが設けられている。切換弁部６１ａには、横方向に貫通する貫通孔６１ｄが複数設けられている。ガイド部６１ｂの上端部は開口している。ガイド部６１ｂの外径は、切換弁部６１ａの外径より大きい。ガイド部６１ｂの外周面は、パイロット通路２５の大径部２５ａの内周面と摺動する。

弁座部６２は、パイロット通路２５（大径部２５ａ）の下端部に配置されている。弁座部６２は、円環板形状を有している。弁座部６２の中央部には、上下方向に貫通する第２流通孔６２ｃが設けられている。第２流通孔６２ｃの径は、第１流通孔６１ｃの径より大きい。第２流通孔６２ｃの径は、パイロット通路２５の小径部２５ｂの径より小さい。なお、第２流通孔６２ｃの径がパイロット通路２５の小径部２５ｂの径より大きくてもよい。

第２流通孔６２ｃの流路面積Ａ２は、第１流通孔６１ｃの流路面積Ａ１より大きい。均圧通路２６Ｅの流路面積Ａｅは、第１流通孔６１ｃの流路面積Ａ１より大きく、第２流通孔６２ｃの流路面積Ａ２より小さい（Ａ２＞Ａｅ＞Ａ１）。なお、流路面積とは、流路の最も狭い部分の断面積である。流体の流量は、実際には流路面積や流路の上流側と下流側との圧力差などの複数の条件によって決まるが、本明細書では、説明の便宜上、流路面積が大きいほど流量が大きくなるものとしている。電磁弁１の通路や孔を通過する流体の流量についてより正確に説明すると、均圧通路２６Ｅ（流路面積Ａｅ）の流量をＱｅ、第１流通孔６１ｃ（流路面積Ａ１）の流量をＱ１、第２流通孔６２ｃ（流路面積Ａ２）の流量をＱ２としたとき、電磁弁１は各流量の大きさがＱ２＞Ｑｅ＞Ｑ１となるように構成されている。

圧力差作動ばね６３は、流路切換弁体６１のガイド部６１ｂと弁座部６２との間に配置されている。圧力差作動ばね６３は、圧縮コイルばねである。圧力差作動ばね６３は、流路切換弁体６１を上方に押している。パイロット通路２５の上流側と下流側とで圧力差がないとき、圧力差作動ばね６３は、流路切換弁体６１を主弁体本体２１の内側に設けられた環状平面である段部に押し付けている。

流路切換機構６０において、パイロット通路２５が開いた状態の場合に、パイロット通路２５の上流側にある背圧室１４の流体圧力Ｐ２と下流側にある主弁口１５の流体圧力Ｐ３との圧力差ΔＰ２３が所定の切換設定値Ｓ１以上（ΔＰ２３≧Ｓ１）のとき、パイロット通路２５を流れる流体が流路切換弁体６１を下流側に押す力が、圧力差作動ばね６３が流路切換弁体６１を上流側に押す力より大きくなる。これにより、流路切換弁体６１が下流側に移動して弁座部６２に接する。そして、流路切換弁体６１が弁座部６２に接しているとき、切換弁部６１ａが第２流通孔６２ｃを閉じ、パイロット通路２５を流れる流体は第１流通孔６１ｃを通る（図３）。流体が第１流通孔６１ｃを通る構成のパイロット通路２５を「第１通路形態Ｆ１」という。第１通路形態Ｆ１のパイロット通路２５において第１流通孔６１ｃが最も狭く、第１流通孔６１ｃの流路面積Ａ１が第１通路形態Ｆ１のパイロット通路２５の流路面積になる。

流路切換機構６０において、パイロット通路２５が開いた状態の場合に、圧力差ΔＰ２３が所定の切換設定値Ｓ１より小さいとき（ΔＰ２３＜Ｓ１）、パイロット通路２５を流れる流体が流路切換弁体６１を下流側に押す力が、圧力差作動ばね６３が流路切換弁体６１を上流側に押す力より小さくなる。これにより、流路切換弁体６１が上流側に移動して弁座部６２から離れる。そして、流路切換弁体６１が弁座部６２から離れているとき、第２流通孔６２ｃが開き、パイロット通路２５を流れる流体は第２流通孔６２ｃを通る（図４）。流体が第２流通孔６２ｃを通る構成のパイロット通路２５を「第２通路形態Ｆ２」という。第２通路形態Ｆ２のパイロット通路２５において第２流通孔６２ｃが最も狭く、第２流通孔６２ｃの流路面積Ａ２が第２通路形態Ｆ２のパイロット通路２５の流路面積になる。なお、第２流通孔６２ｃの径がパイロット通路２５の小径部２５ｂの径より大きい構成では、小径部２５ｂの流路面積が第２通路形態Ｆ２のパイロット通路２５の流路面積になる。

電磁弁１において、弁本体１０（周壁部１１、主弁口１５、主弁座１６）、主弁体２０（主弁体本体２１、主弁部２１ａ、パイロット弁座２１ｂ、フランジ２２、パイロット通路２５）、ケース３１、コイル３２、プランジャー３４、パイロット弁体４０、流路切換機構６０（流路切換弁体６１、弁座部６２）は、それぞれの軸が軸線Ｌに一致する。

次に、電磁弁１の動作の一例について、図２～図５を参照して説明する。

コイル３２が非通電状態のとき、プランジャー３４が、プランジャーばね３５によって下方に移動する。プランジャー３４がパイロット弁体４０を主弁体２０のパイロット弁座２１ｂに押し付け、パイロット弁体４０がパイロット通路２５を閉じる。さらに、パイロット弁体４０が主弁体２０（主弁部２１ａ）を主弁座１６に押し付け、主弁体２０が主弁口１５を閉じる。これにより、主弁室１３から主弁口１５への流体の流れが遮断され、図２に示すように、電磁弁１は閉弁状態になる。閉弁状態において、主弁室１３の流体圧力Ｐ１と背圧室１４の流体圧力Ｐ２とが同一である（Ｐ１≒Ｐ２）。また、主弁口１５の流体圧力Ｐ３は、主弁室１３の流体圧力Ｐ１および背圧室１４の流体圧力Ｐ２より低い。

そして、コイル３２が通電状態になると、プランジャー３４が、磁力によって上方に移動する。図３に示すように、プランジャー３４がパイロット弁体４０を主弁体２０のパイロット弁座２１ｂから離し、パイロット通路２５が開く。このとき、背圧室１４の流体圧力Ｐ２と主弁口１５の流体圧力Ｐ３との圧力差ΔＰ２３が大きいため（ΔＰ２３≧Ｓ１）、流路切換弁体６１がパイロット通路２５を流れる流体に押されて下方に移動して弁座部６２に接する。これにより、パイロット通路２５を流れる流体は、流路面積の小さい第１流通孔６１ｃを通って主弁口１５に流れる。すなわち、流路切換機構６０は、パイロット通路２５を第１通路形態Ｆ１に切り換える。

背圧室１４の流体が第１流通孔６１ｃを通って主弁口１５に流れると、主弁室１３と背圧室１４との間の流量より背圧室１４と主弁口１５との間の流量が小さくなる。そのため、主弁室１３の流体圧力Ｐ１と背圧室１４の流体圧力Ｐ２とが、ほぼ同じ値を維持したまま徐々に低下する。そして、背圧室１４の流体圧力Ｐ２が低下して圧力差ΔＰ２３が小さくなると（ΔＰ２３＜Ｓ１）、パイロット通路２５を流れる流体が流路切換弁体６１を下方に押す力が弱まり、図４に示すように、流路切換弁体６１が圧力差作動ばね６３に押されて上方に移動して弁座部６２から離れる。これにより、パイロット通路２５を流れる流体は、流路面積の大きい第２流通孔６２ｃを通って主弁口１５に流れる。すなわち、流路切換機構６０は、パイロット通路２５を第２通路形態Ｆ２に切り換える。

背圧室１４の流体が第２流通孔６２ｃを通って主弁口１５に流れると、主弁室１３と背圧室１４との間の流量より背圧室１４と主弁口１５との間の流量が大きくなる。そのため、主弁室１３の流体圧力Ｐ１より背圧室１４の流体圧力Ｐ２が小さくなり（Ｐ１＞Ｐ２）、背圧室１４の流体圧力Ｐ２と主弁口１５の流体圧力Ｐ３とがほぼ同じ値となる（Ｐ２≒Ｐ３）。これにより、主弁室１３の流体圧力Ｐ１と背圧室１４の流体圧力Ｐ２との圧力差ΔＰ１２によって主弁体２０に対して上方に押す力が加わり、図５に示すように、主弁体２０が主弁座１６から離れ、主弁口１５が開く。このとき、主弁室１３の流体圧力Ｐ１と主弁口１５の流体圧力Ｐ３との圧力差ΔＰ１３が、パイロット通路２５が開いた直後より小さくなっているので、主弁室１３から主弁口１５に急激に流体が流れ込むことを抑制できる。

以上説明したように、電磁弁１は、主弁室１３と背圧室１４とを有する弁本体１０と、主弁室１３と背圧室１４とを区画するように配置され、主弁室１３に接続された主弁口１５を開閉する主弁体２０と、主弁室１３と背圧室１４とを接続する均圧通路２６Ｅと、背圧室１４と主弁口１５とを接続するパイロット通路２５と、パイロット通路２５を開閉するパイロット弁体４０と、パイロット弁体４０を駆動する駆動部３０と、を有している。電磁弁１は、パイロット通路２５を、均圧通路２６Ｅより流路面積の小さい第１通路形態Ｆ１と、均圧通路２６Ｅより流路面積の大きい第２通路形態Ｆ２と、に切り換える流路切換機構６０を有している。そして、流路切換機構６０は、パイロット通路２５が開いた状態において、背圧室１４の流体圧力Ｐ２と主弁口１５の流体圧力Ｐ３との圧力差ΔＰ２３が大きいときは第１通路形態Ｆ１に切り換え、圧力差ΔＰ２３が小さいときは第２通路形態Ｆ２に切り換えるように構成されている。

電磁弁１において、主弁口１５が閉じた閉弁状態では主弁室１３の流体圧力Ｐ１と背圧室１４の流体圧力Ｐ２とが同じ値（ほぼ同じ値を含む）であり、これらの流体圧力Ｐ１、Ｐ２より主弁口１５の流体圧力Ｐ３が低い。そのため、パイロット通路２５が開いた直後は圧力差ΔＰ２３が大きく、流路切換機構６０は、パイロット通路２５を流路面積の小さい第１通路形態Ｆ１に切り換えて、主弁室１３と背圧室１４との間の流量より背圧室１４と主弁口１５との間の流量を小さくする。これにより、主弁室１３の流体圧力Ｐ１と背圧室１４の流体圧力Ｐ２とがほぼ同じ値を維持したまま徐々に低下する。そして、圧力差ΔＰ２３が小さくなると、流路切換機構６０は、パイロット通路２５を流路面積の大きい第２通路形態Ｆ２に切り換えて、主弁室１３と背圧室１４との間の流量より背圧室１４と主弁口１５との間の流量を大きくする。これにより、主弁室１３の流体圧力Ｐ１より背圧室１４の流体圧力Ｐ２が小さくなり、主弁室１３の流体圧力Ｐ１と背圧室１４の流体圧力Ｐ２との圧力差ΔＰ１２によって主弁体２０が主弁座１６から離れて、主弁口１５が開く。このとき、主弁室１３の流体圧力Ｐ１と主弁口１５の流体圧力Ｐ３との圧力差ΔＰ１３が、パイロット通路２５が開いた直後より小さくなっている。そのため、主弁室１３から主弁口１５に急激に流体が流れ込むことを抑制でき、主弁口１５が開いたときに生じる騒音を効果的に抑制できる。

また、流路切換機構６０は、第１流通孔６１ｃが設けられた流路切換弁体６１と、第１流通孔６１ｃより径の大きい第２流通孔６２ｃが設けられた弁座部６２と、流路切換弁体６１を上流側（背圧室１４側）に押すように設けられた圧力差作動ばね６３と、を有している。流路切換機構６０において、上流側にある背圧室１４の流体圧力Ｐ２と下流側にある主弁口１５の流体圧力Ｐ３との圧力差ΔＰ２３に応じて流路切換弁体６１が弁座部６２に接離する。そして、流路切換機構６０が、流路切換弁体６１が弁座部６２に接しているときはパイロット通路２５を流れる流体が第１流通孔６１ｃを通り、流路切換弁体６１が弁座部６２から離れているときはパイロット通路２５を流れる流体が第２流通孔６２ｃを通る、ように構成されている。このようにすることで、圧力差ΔＰ２３を利用して、小径の第１流通孔６１ｃと大径の第２流通孔６２ｃとのいずれかを流体が通るようにして、第１通路形態Ｆ１と第２通路形態Ｆ２とを切り換えることができる。そのため、流路切換機構６０を比較的簡易な構成にすることができる。

（第２実施例）
以下、本発明の電気的駆動弁の第２実施例に係るパイロット式の電磁弁について、図６～図１０を参照して説明する。

図６は、本発明の第２実施例に係る電磁弁の断面図である。図７～図１０は、図６の電磁弁の弁本体およびその近傍の拡大断面図である。図７～図１０は、順に閉弁状態、途中状態１（均圧通路が第２通路形態となる状態）、途中状態２（均圧通路が第１通路形態となる状態）および開弁状態を示している。以下の説明において、第１実施例に係る電磁弁１と同一（実質的に同一を含む）の構成要素には同一の符号を付して説明を省略する。

図６～図１０に示すように、第２実施例に係る電磁弁２は、弁本体１０と、主弁体２０と、駆動部３０と、パイロット弁体４０と、流路切換機構７０と、を有している。電磁弁２は、上述した電磁弁１の流路切換機構６０に代えて、構成の異なる流路切換機構７０を有している。

流路切換機構７０は、均圧通路２６に配置されている。流路切換機構７０は、流路切換弁体７１と、弁座部７２と、圧力差作動ばね７３と、を有している。

流路切換弁体７１は、均圧通路２６に上下方向に移動可能に配置されている。流路切換弁体７１は、円筒形状の切換弁部７１ａと、切換弁部７１ａの外周面から突出した複数のガイド部７１ｂと、を有している。切換弁部７１ａの下端部には、上下方向に延在する第１流通孔７１ｃが設けられている。切換弁部７１ａには、横方向に貫通する貫通孔７１ｄが複数設けられている。切換弁部７１ａの上端部は開口している。ガイド部７１ｂの先端を仮想的に結んだ円の径は、切換弁部７１ａの外径より大きい。ガイド部７１ｂの先端はは、均圧通路２６の内周面と摺動する。

弁座部７２は、均圧通路２６の下端部に配置されている。弁座部７２は、円環板形状を有している。弁座部７２は、主弁体２０に一体的に設けられている。弁座部７２の中央部には、上下方向に貫通する第２流通孔７２ｃが設けられている。第２流通孔７２ｃの径は、第１流通孔７１ｃの径より大きい。

第２流通孔７２ｃの流路面積Ｂ２は、第１流通孔７１ｃの流路面積Ｂ１より大きい。パイロット通路２５の流路面積Ｂｐは、第１流通孔７１ｃの流路面積Ｂ１より大きく、第２流通孔７２ｃの流路面積Ｂ２より小さい（Ｂ２＞Ｂｐ＞Ｂ１）。なお、流路面積とは、流路の最も狭い部分の断面積である。パイロット通路２５（流路面積Ｂｐ）の流量をＱｐ、第１流通孔７１ｃ（流路面積Ｂ１）の流量をＱ１、第２流通孔７２ｃ（流路面積Ｂ２）の流量をＱ２としたとき、電磁弁２は各流量の大きさがＱ２＞Ｑｐ＞Ｑ１となるように構成されている。

圧力差作動ばね７３は、流路切換弁体７１のガイド部７１ｂと、均圧通路２６の上端部に配置された円環板形状のばね受け部材７４と、の間に配置されている。圧力差作動ばね７３は、圧縮コイルばねである。圧力差作動ばね７３は、流路切換弁体７１を下方に押している。均圧通路２６の上流側と下流側とで圧力差がないとき、圧力差作動ばね７３は、流路切換弁体７１を弁座部７２に押し付けている。

流路切換機構７０において、パイロット通路２５が開いた状態の場合に、均圧通路２６の上流側にある主弁室１３の流体圧力Ｐ１と下流側にある背圧室１４の流体圧力Ｐ２との圧力差ΔＰ１２が小さいとき、または、圧力差ΔＰ１２が大きくかつ背圧室１４の流体圧力Ｐ２と主弁口１５の流体圧力Ｐ３との圧力差ΔＰ２３が小さいとき、均圧通路２６を流れる流体が流路切換弁体７１を下流側に押す力が、圧力差作動ばね７３が流路切換弁体７１を上流側に押す力より小さくなる。これにより、流路切換弁体７１が上流側に移動して弁座部７２に接する。そして、流路切換弁体７１が弁座部７２に接しているとき、切換弁部７１ａが第２流通孔７２ｃを閉じ、均圧通路２６を流れる流体は第１流通孔７１ｃを通る（図９）。流体が第１流通孔７１ｃを通る構成の均圧通路２６Ｅを「第１通路形態Ｇ１」という。フランジ２２の外周面と周壁部１１の内周面との隙間の断面積と、第１流通孔７１ｃの流路面積Ｂ１と、を合わせた面積が、第１通路形態Ｇ１の均圧通路２６Ｅの流路面積になる。第1通路形態Ｇ１の均圧通路２６Ｅの流路面積は、パイロット通路２５の流路面積より小さい。

流路切換機構７０において、パイロット通路２５が開いた状態の場合に、圧力差ΔＰ１２が大きくかつ圧力差ΔＰ２３が大きいとき、均圧通路２６を流れる流体が流路切換弁体７１を下流側に押す力が、圧力差作動ばね７３が流路切換弁体７１を上流側に押す力より大きくなる。これにより、流路切換弁体７１が下流側に移動して弁座部７２から離れる。そして、流路切換弁体７１が弁座部７２から離れているとき、第２流通孔７２ｃが開き、均圧通路２６を流れる流体は第２流通孔７２ｃを通る（図８）。流体が第２流通孔７２ｃを通る構成の均圧通路２６Ｅを「第２通路形態Ｇ２」という。フランジ２２の外周面と周壁部１１の内周面との隙間の断面積と、第２流通孔７２ｃの流路面積Ｂ２と、を合わせた面積が、第２通路形態Ｇ２の均圧通路２６Ｅの流路面積になる。第２通路形態Ｇ２の均圧通路２６Ｅの流路面積は、パイロット通路２５の流路面積より大きい。

次に、電磁弁２の動作の一例について、図７～図１０を参照して説明する。

コイル３２が非通電状態のとき、上述した電磁弁１と同様に、電磁弁２は閉弁状態になる（図７）。

そして、コイル３２が通電状態になると、プランジャー３４が、磁力によって上方に移動する。図８に示すように、プランジャー３４がパイロット弁体４０を主弁体２０のパイロット弁座２１ｂから離し、パイロット通路２５が開く。パイロット通路２５が開いた直後は背圧室１４の流体圧力Ｐ２と主弁口１５の流体圧力Ｐ３との圧力差ΔＰ２３が大きく、背圧室１４から主弁口１５に流体が流れ、主弁室１３の流体圧力Ｐ１と背圧室１４の流体圧力Ｐ２との圧力差ΔＰ１２が大きくなる。このとき、均圧通路２６を流れる流体の流量が大きく、流路切換弁体７１が流体に押されて上方に移動して弁座部７２から離れる。これにより、均圧通路２６を流れる流体は、流路面積の大きい第２流通孔７２ｃを通って背圧室１４に流れる。すなわち、流路切換機構７０は、均圧通路２６Ｅを第２通路形態Ｇ２に切り換える。

主弁室１３の流体が第２流通孔７２ｃを通って背圧室１４に流れると、主弁室１３と背圧室１４との間の流量が背圧室１４と主弁口１５との間の流量より大きくなる。そのため、主弁室１３の流体圧力Ｐ１と背圧室１４の流体圧力Ｐ２とが徐々に低下しつつ互いに近づき、圧力差ΔＰ１２が小さくなる。そして、圧力差ΔＰ１２が小さくなると、均圧通路２６を流れる流体の流量が小さくなり、流体が流路切換弁体７１を上方に押す力が弱まって、図９に示すように、流路切換弁体７１が下方に移動して弁座部７２に接する。これにより、均圧通路２６を流れる流体は、流路面積の小さい第１流通孔７１ｃを通って背圧室１４に流れる。すなわち、流路切換機構７０は、均圧通路２６Ｅを第１通路形態Ｇ１に切り換える。

主弁室１３の流体が第１流通孔７１ｃを通って背圧室１４に流れると、主弁室１３と背圧室１４との間の流量が背圧室１４と主弁口１５との間の流量より小さくなる。そのため、主弁室１３の流体圧力Ｐ１より背圧室１４の流体圧力Ｐ２が低下して、圧力差ΔＰ１２が大きくなる（Ｐ１＞Ｐ２）とともに圧力差ΔＰ２３が小さくなり（Ｐ２≒Ｐ３）、均圧通路２６を流れる流体の流量が小さく、流路切換弁体７１は弁座部７２に接した状態を維持する。これにより、主弁室１３の流体圧力Ｐ１と背圧室１４の流体圧力Ｐ２との圧力差ΔＰ１２によって主弁体２０に対して上方に押す力が加わり、図１０に示すように、主弁体２０が主弁座１６から離れ、主弁口１５が開く。このとき、主弁室１３の流体圧力Ｐ１と主弁口１５の流体圧力Ｐ３との圧力差ΔＰ１３が、パイロット通路２５が開いた直後より小さくなっているので、主弁室１３から主弁口１５に急激に流体が流れ込むことを抑制できる。

以上説明したように、電磁弁２は、主弁室１３と背圧室１４とを有する弁本体１０と、主弁室１３と背圧室１４とを区画するように配置され、主弁室１３に接続された主弁口１５を開閉する主弁体２０と、主弁室１３と背圧室１４とを接続する均圧通路２６Ｅと、背圧室１４と主弁口１５とを接続するパイロット通路２５と、パイロット通路２５を開閉するパイロット弁体４０と、パイロット弁体４０を駆動する駆動部３０と、を有している。電磁弁２は、均圧通路２６Ｅを、パイロット通路２５より流路面積の小さい第１通路形態Ｇ１と、パイロット通路２５より流路面積の大きい第２通路形態Ｇ２と、に切り換える流路切換機構７０を有している。そして、流路切換機構７０は、パイロット通路２５が開いた状態において、圧力差ΔＰ１２が大きくかつ圧力差ΔＰ２３が大きいときは第２通路形態Ｇ２に切り換え、圧力差ΔＰ１２が小さいときまたは圧力差ΔＰ１２が大きくかつ圧力差ΔＰ２３が小さいときは第１通路形態Ｇ１に切り換えるように構成されている。

電磁弁２において、主弁口１５が閉じた閉弁状態では主弁室１３の流体圧力Ｐ１と背圧室１４の流体圧力Ｐ２とが同じ値（ほぼ同じ値を含む）であり、これらの流体圧力Ｐ１、Ｐ２より主弁口１５の流体圧力Ｐ３が低い。そのため、パイロット通路２５が開いた直後は圧力差ΔＰ２３が大きく、背圧室１４から主弁口１５に流体が流れて圧力差ΔＰ１２が大きくなる。このとき、流路切換機構７０は、均圧通路２６Ｅを流路面積の大きい第２通路形態Ｇ２に切り換えて、主弁室１３と背圧室１４との間の流量を背圧室１４と主弁口１５との間の流量より大きくする。これにより、主弁室１３の流体圧力Ｐ１と背圧室１４の流体圧力Ｐ２とが徐々に低下しつつ互いに近づき、圧力差ΔＰ１２が小さくなる。そして、圧力差ΔＰ１２が小さくなると、流路切換機構７０は、均圧通路２６Ｅを流路面積の小さい第１通路形態Ｇ１に切り換えて、主弁室１３と背圧室１４との間の流量を背圧室１４と主弁口１５との間の流量より小さくする。これにより、主弁室１３の流体圧力Ｐ１より背圧室１４の流体圧力Ｐ２が低下して、圧力差ΔＰ１２が大きくなるとともに圧力差ΔＰ２３が小さくなる。そして、圧力差ΔＰ１２によって主弁体２０が主弁座１６から離れて、主弁口１５が開く。このとき、主弁室１３の流体圧力Ｐ１と主弁口１５の流体圧力Ｐ３との圧力差ΔＰ１３が、パイロット通路２５が開いた直後より小さくなっている。そのため、主弁室１３から主弁口１５に急激に流体が流れ込むことを抑制でき、主弁口１５が開いたときに生じる騒音を効果的に抑制できる。

また、流路切換機構７０が、第１流通孔７１ｃが設けられた流路切換弁体７１と、第１流通孔７１ｃより径の大きい第２流通孔７２ｃが設けられた弁座部７２と、流路切換弁体７１を上流側に押すように設けられた圧力差作動ばね７３と、を有している。流路切換機構７０において、上流側にある主弁室１３の流体圧力Ｐ１と下流側にある背圧室１４の流体圧力Ｐ２との圧力差ΔＰ１２および背圧室１４の流体圧力Ｐ２と主弁口１５の流体圧力との圧力差ΔＰ２３に応じて流路切換弁体７１が弁座部７２に接離する。そして、流路切換機構７０が、流路切換弁体７１が弁座部７２に接しているときは流体が第１流通孔７１ｃを通り、流路切換弁体７１が弁座部７２から離れているときは流体が第２流通孔７２ｃを通る、ように構成されている。このようにすることで、圧力差ΔＰ１２および圧力差ΔＰ２３を利用して、小径の第１流通孔７１ｃと大径の第２流通孔７２ｃとのいずれかを流体が通るようにして、第１通路形態Ｇ１と第２通路形態Ｇ２とを切り換えることができる。そのため、流路切換機構７０を比較的簡易な構成にすることができる。

（第３実施例）
以下、本発明の電気的駆動弁の第３実施例に係るパイロット式の電磁弁について、図１１～図１６を参照して説明する。

図１１は、本発明の第３実施例に係る電磁弁の断面図である。図１２は、図１１のＸＩＩ－ＸＩＩ線に沿う断面図である。図１３～図１６は、図１１の電磁弁の一部を示す断面図である。図１３～図１６において、（ａ）は主弁体およびその内部の断面図であり、（ｂ）は（ａ）の一点鎖線で囲む部分の拡大断面図である。図１３～図１６は、順に第２主弁口が閉じた状態、途中状態１（第２パイロット通路が第１通路形態となる状態）、途中状態２（第２パイロット通路が第２通路形態となる状態）および第２主弁口が開いた状態を示している。図１３、図１６において、流体の流れを矢印で模式的に示している。

図１１～図１５に示すように、第３実施例に係る電磁弁３は、弁本体１１０と、第１主弁体１２０と、駆動部１３０と、第１パイロット弁体１４０と、第２主弁体２２０と、第２パイロット弁体２４０と、流路切換機構２６０と、を有している。

弁本体１１０は、第１空間１１０ａと、第２空間１１０ｂと、入口流路１１０ｃと、中間流路１１０ｄと、出口流路１１０ｅと、を有している。

第１空間１１０ａには、第１主弁体１２０が配置される。第１主弁体１２０は、第１空間１１０ａを、第１主弁室１１３と、第１背圧室１１４と、に区画している。第１主弁室１１３は、第１主弁体１２０の下側にあり、第１背圧室１１４は、第１主弁体１２０の上側にある。第１空間１１０ａの底面には、第１主弁口１１５と、第１主弁座１１６と、が設けられている。第１主弁口１１５は、上下方向に延在している。円環形状の第１主弁座１１６は、第１主弁室１１３において第１主弁口１１５を囲むように配置されている。第１主弁口１１５は、第１主弁座１１６を介して第１主弁室１１３に接続されている。入口流路１１０ｃは、第１主弁室１１３に接続されている。中間流路１１０ｄは、第１主弁口１１５に接続されている。

第２空間１１０ｂには、第２主弁体２２０が配置される。第２主弁体２２０は、第２空間１１０ｂを、第２主弁室２１３と、第２背圧室２１４と、に区画している。第２主弁室２１３は、第２主弁体２２０の下側にあり、第２背圧室２１４は、第２主弁体２２０の上側にある。第２空間１１０ｂの底面には、第２主弁口２１５と、第２主弁座２１６と、が設けられている。第２主弁口２１５は、上下方向に延在している。円環形状の第２主弁座２１６は、第２主弁室２１３において第２主弁口２１５を囲むように配置されている。第２主弁口２１５は、第２主弁座２１６を介して第２主弁室２１３に接続されている。中間流路１１０ｄは、第２主弁室２１３に接続されている。出口流路１１０ｅは、第２主弁口２１５に接続されている。第２背圧室２１４において、弁本体１１０と第２主弁体２２０との間に閉弁ばね２３５が配置されている。閉弁ばね２３５は、圧縮コイルばねである。閉弁ばね２３５は、第２主弁体２２０を下方に押している。

第１主弁体１２０は、第１空間１１０ａに上下方向（軸線Ｌ方向）に移動可能に配置されている。第１主弁体１２０は、第１主弁体本体１２１と、第１フランジ１２２と、を有している。

第１主弁体本体１２１は、円柱形状を有している。第１主弁体本体１２１は、第１パイロット通路１２５を有している。第１パイロット通路１２５は、第１主弁体本体１２１を上下方向に貫通している。第１パイロット通路１２５の下端部には、作動棒１２８の上端部が挿入されている。第１パイロット通路１２５は、作動棒１２８の上端部に設けられた流体通路１２８ａを介して、第１背圧室１１４と第１主弁口１１５とを接続する。第１主弁体本体１２１の下端部は、第１主弁室１１３に配置されている。第１主弁体本体１２１の下端部には、第１主弁部１２１ａが設けられている。第１主弁部１２１ａは、第１主弁座１１６に接離される。第１主弁部１２１ａが第１主弁座１１６に接すると、第１主弁口１１５が閉じる。第１主弁部１２１ａが第１主弁座１１６から離れると、第１主弁口１１５が開く。第１主弁体本体１２１の上端部は、第１背圧室１１４に配置されている。第１主弁体本体１２１の上端部には、円環形状の第１パイロット弁座１２１ｂが設けられている。第１パイロット弁座１２１ｂは、第１パイロット通路１２５を囲むように配置されている。

第１フランジ１２２は、円環形状を有している。第１フランジ１２２の外径は、第１主弁体本体１２１の外径より大きい。第１フランジ１２２は、第１主弁体本体１２１に同軸に連設されている。第１フランジ１２２の外周面は、第１空間１１０ａの内周面と摺動する。第１フランジ１２２は、第１均圧通路１２６を有している。第１均圧通路１２６は、第１フランジ１２２を上下方向に貫通している。第１均圧通路１２６は、第１主弁室１１３と第１背圧室１１４とを接続している。第１フランジ１２２の外周面と第１空間１１０ａの内周面との隙間も、第１主弁室１１３と第１背圧室１１４とを接続する第１均圧通路となる。

駆動部１３０は、ケース３１と、コイル３２と、固定鉄心３３と、プランジャー３４と、プランジャーばね３５と、を有している。これらの部材は、上述した電磁弁１のものと同一（実質的に同一を含む）の構成を有するため、同一の符号を付して説明を省略する。また、第１パイロット弁体１４０も、上述した電磁弁１のパイロット弁体４０と同一の構成を有するため、説明を省略する。

第２主弁体２２０は、第２空間１１０ｂに上下方向に移動可能に配置されている。第２主弁体２２０は、第２主弁体本体２２１と、第２フランジ２２２と、を有している。

第２主弁体本体２２１は、円柱形状を有している。第２主弁体本体２２１の下端部は、第２主弁室２１３に配置されている。第２主弁体本体２２１の下端部には、第２主弁部２２１ａが設けられている。第２主弁部２２１ａは、第２主弁座２１６に接離される。第２主弁部２２１ａが第２主弁座２１６に接すると、第２主弁口２１５が閉じる。第２主弁部２２１ａが第２主弁座２１６から離れると、第２主弁口２１５が開く。第２主弁体本体２２１の上端部は、第２背圧室２１４に配置されている。第２主弁体本体２２１は、第２均圧通路２２６を有している。第２均圧通路２２６は、第２主弁体本体２２１の上面および外周面に開口を有する逆さのＴ字形状を有している。第２均圧通路２２６は、第２主弁室２１３と第２背圧室２１４とを接続している。

第２フランジ２２２は、円環形状を有している。第２フランジ２２２の外径は、第２主弁体本体２２１の外径より大きい。第２フランジ２２２は、第２主弁体本体２２１に同軸に連設されている。第２フランジ２２２の外周面は、第２空間１１０ｂの内周面と摺動する。第２フランジ２２２の外周面と第２空間１１０ｂの内周面との隙間も、第２主弁室２１３と第２背圧室２１４とを接続する第２均圧通路となる。以下の説明において、第２フランジ２２２の外周面と第２空間１１０ｂの内周面との隙間と、第２均圧通路２２６と、を合わせたものを「第２均圧通路２２６Ｅ」としている。なお、電磁弁３は、第２均圧通路２２６を省略して、第２フランジ２２２の外周面と第２空間１１０ｂの内周面との隙間のみを第２均圧通路とした構成としてもよい。

また、弁本体１１０は、第３空間１１０ｆと、作動棒挿通孔１１０ｇと、第２パイロット通路２２５と、を有している。

第３空間１１０ｆには、第２パイロット弁体２４０が配置される。第２パイロット弁体２４０は、第３空間１１０ｆを、第２パイロット弁室２２８と、ばね室２２９と、に区画している。第２パイロット弁室２２８は、第２パイロット弁体２４０の上側にあり、ばね室２２９は、第２パイロット弁体２４０の下側にある。

第２パイロット弁体２４０は、第３空間１１０ｆに上下方向に移動可能に配置されている。第２パイロット弁体２４０は、フレーム２４１と、パッキン２４２と、を有している。フレーム２４１は、円板形状を有している。フレーム２４１の外周面は第３空間１１０ｆの内周面と摺動する。パッキン２４２は、円環形状を有している。パッキン２４２は、フレーム２４１の上面にかしめにより取り付けられている。パッキン２４２は、第２パイロット弁室２２８の天井面２２８ａに接離する。

第２パイロット弁室２２８の天井面２２８ａから作動棒１２８の下端部が突き出ている。作動棒１２８は、その上端部が第１主弁体１２０の第１パイロット通路１２５に挿入されており、第１主弁口１１５、中間流路１１０ｄ、作動棒挿通孔１１０ｇおよび第２パイロット弁室２２８に跨がるように配置されている。作動棒１２８の下端部は、フレーム２４１の上面に接している。作動棒１２８は、第１主弁体１２０とともに上下方向に移動する。作動棒１２８は、下方に移動すると第２パイロット弁体２４０を下方に押す。ばね室２２９において、第２パイロット弁体２４０と弁本体１１０との間には、閉弁ばね２４５が配置されている。閉弁ばね２４５は、圧縮コイルばねである。閉弁ばね２４５は、第２パイロット弁体２４０を上方に押している。

第２パイロット通路２２５は、通路前半部２２５ａと通路後半部２２５ｂとを有している。通路前半部２２５ａは、第２背圧室２１４と第２パイロット弁室２２８とを接続する。通路後半部２２５ｂは、第２パイロット弁室２２８と出口流路１１０ｅ（すなわち第２主弁口２１５）とを接続する。すなわち、第２パイロット通路２２５は、第２パイロット弁室２２８を介して、第２背圧室２１４と第２主弁口２１５とを接続する。第２パイロット弁室２２８の天井面２２８ａには、第２パイロット弁座２２８ｂが設けられている。第２パイロット弁座２２８ｂは、通路後半部２２５ｂを囲むように配置されている。

図１２に示すように、天井面２２８ａにおけるパッキン２４２の接触領域２２８ｃから外れた箇所に通路前半部２２５ａが開口している。天井面２２８ａにおけるパッキン２４２の接触領域２２８ｃに通路後半部２２５ｂ（第２パイロット弁座２２８ｂ）が開口している。パッキン２４２は、第２パイロット弁座２２８ｂに接離して、第２パイロット通路２２５（通路後半部２２５ｂ）を開閉する。通路前半部２２５ａは、第２パイロット弁室２２８に対して常に開いている。

流路切換機構２６０は、第２パイロット通路２２５の通路後半部２２５ｂに配置されている。流路切換機構２６０は、流路切換弁体６１と、弁座部６２と、圧力差作動ばね６３と、を有している。これらの部材は、上述した電磁弁１の流路切換弁体６１、弁座部６２および圧力差作動ばね６３と、同一（実質的に同一を含む）の構成を有するため、同一の符号を付して説明を一部省略する。

第２流通孔６２ｃの流路面積Ａ２は、第１流通孔６１ｃの流路面積Ａ１より大きい。第２均圧通路２２６Ｅの流路面積Ａｅ２は、第１流通孔６１ｃの流路面積Ａ１より大きく、第２流通孔６２ｃの流路面積Ａ２より小さい（Ａ２＞Ａｅ２＞Ａ１）。なお、流路面積とは、流路の最も狭い部分の断面積である。第２均圧通路２２６Ｅ（流路面積Ａｅ２）の流量をＱｅ２、第１流通孔６１ｃ（流路面積Ａ１）の流量をＱ１、第２流通孔６２ｃ（流路面積Ａ２）の流量をＱ２としたとき、電磁弁３は各流量の大きさがＱ２＞Ｑｅ２＞Ｑ１となるように構成されている。

流路切換機構２６０において、第２パイロット通路２２５が開いた状態の場合に、第２パイロット通路２２５の上流側にある第２背圧室２１４の流体圧力Ｐ２と下流側にある第２主弁口２１５の流体圧力Ｐ３との圧力差ΔＰ２３が所定の切換設定値Ｓ１以上（ΔＰ２３≧Ｓ１）のとき、第２パイロット通路２２５を流れる流体が流路切換弁体６１を下流側に押す力が、圧力差作動ばね６３が流路切換弁体６１を上流側に押す力より大きくなる。これにより、流路切換弁体６１が下流側に移動して弁座部６２に接する。そして、流路切換弁体６１が弁座部６２に接しているとき、切換弁部６１ａが第２流通孔６２ｃを閉じ、第２パイロット通路２２５を流れる流体は第１流通孔６１ｃを通る（図１４）。流体が第１流通孔６１ｃを通る構成の第２パイロット通路２２５を「第１通路形態Ｆ１」という。第１通路形態Ｆ１の第２パイロット通路２２５において第１流通孔６１ｃが最も狭く、第１流通孔６１ｃの流路面積Ａ１が第１通路形態Ｆ１の第２パイロット通路２２５の流路面積になる。

流路切換機構２６０において、第２パイロット通路２２５が開いた状態の場合に、圧力差ΔＰ２３が所定の切換設定値Ｓ１より小さいとき（ΔＰ２３＜Ｓ１）、第２パイロット通路２２５を流れる流体が流路切換弁体６１を下流側に押す力が、圧力差作動ばね６３が流路切換弁体６１を上流側に押す力より小さくなる。これにより、流路切換弁体６１が上流側に移動して弁座部６２から離れる。そして、流路切換弁体６１が弁座部６２から離れているとき、第２流通孔６２ｃが開き、第２パイロット通路２２５を流れる流体は第２流通孔６２ｃを通る（図１５）。流体が第２流通孔６２ｃを通る構成の第２パイロット通路２２５を「第２通路形態Ｆ２」という。第２通路形態Ｆ２の第２パイロット通路２２５において第２流通孔６２ｃが最も狭く、第２流通孔６２ｃの流路面積Ａ２が第２通路形態Ｆ２の第２パイロット通路２２５の流路面積になる。

電磁弁３において、弁本体１１０（第１空間１１０ａ、第３空間１１０ｆ、作動棒挿通孔１１０ｇ、第１主弁口１１５、第１主弁座１１６、第２パイロット弁室２２８）、第１主弁体１２０（第１主弁体本体１２１、第１主弁部１２１ａ、第１パイロット弁座１２１ｂ、第１フランジ１２２、第１パイロット通路１２５）、作動棒１２８、ケース３１、コイル３２、プランジャー３４、第１パイロット弁体１４０、第２パイロット弁体２４０は、それぞれの軸が軸線Ｌに一致する。

次に、電磁弁３の動作の一例について、図１３～図１６を参照して説明する。

コイル３２が通電状態のとき、プランジャー３４が、磁力によって上方に移動する。第１主弁室１１３の流体圧力と第１背圧室１１４の流体圧力との圧力差によって第１主弁体１２０（第１主弁部１２１ａ）が第１主弁座１１６から離れ、第１主弁口１１５が開く。第１主弁体１２０とともに作動棒１２８が上方に移動する。閉弁ばね２４５によって第２パイロット弁体２４０が第２パイロット弁座２２８ｂに押し付けられ、第２パイロット通路２２５が閉じる。第２背圧室２１４の流体圧力Ｐ２が第２主弁室２１３の流体圧力Ｐ１と同じになる。閉弁ばね２３５によって第２主弁体２２０（第２主弁部２２１ａ）が第２主弁座２１６に押し付けられ、第２主弁口２１５が閉じる。これにより、図１３に示すように、電磁弁３は第１主弁口１１５が開き、第２主弁口２１５が閉じた状態になる。この状態において、流体は、入口流路１１０ｃから入り、第１主弁室１１３、第１主弁口１１５を通り、中間流路１１０ｄから出て行く。また、第２主弁室２１３の流体圧力Ｐ１と第２背圧室２１４の流体圧力Ｐ２とが同一である（Ｐ１≒Ｐ２）。また、第２主弁口２１５の流体圧力Ｐ３は、第２主弁室２１３の流体圧力Ｐ１および第２背圧室２１４の流体圧力Ｐ２より低い。

そして、コイル３２が非通電状態になると、プランジャー３４が、プランジャーばね３５によって下方に移動する。プランジャー３４が第１パイロット弁体１４０を第１パイロット弁座１２１ｂに押し付け、第１パイロット弁体１４０が第１パイロット通路１２５を閉じる。さらに、第１パイロット弁体１４０が第１主弁体１２０（第１主弁部１２１ａ）を第１主弁座１１６に押し付け、第１主弁体１２０が第１主弁口１１５を閉じる。これにより、第１主弁室１１３から第１主弁口１１５への流体の流れが遮断される。

また、第１主弁体１２０とともに作動棒１２８が下方に移動し、作動棒１２８が第２パイロット弁体２４０を下方に押す。これにより、第２パイロット弁体２４０が第２パイロット弁座２２８ｂから離れ、第２パイロット通路２２５が開く。このとき、第２背圧室２１４の流体圧力Ｐ２と第２主弁口２１５の流体圧力Ｐ３との圧力差ΔＰ２３が大きいため（ΔＰ２３≧Ｓ１）、図１４に示すように、流路切換弁体６１が第２パイロット通路２２５を流れる流体に押されて下流側（左方）に移動して弁座部６２に接する。これにより、第２パイロット通路２２５を流れる流体は、流路面積の小さい第１流通孔６１ｃを通って第２主弁口２１５（出口流路１１０ｅ）に流れる。すなわち、流路切換機構２６０は、第２パイロット通路２２５を第１通路形態Ｆ１に切り換える。

第２背圧室２１４の流体が第１流通孔６１ｃを通って第２主弁口２１５に流れると、第２主弁室２１３と第２背圧室２１４との間の流量より第２背圧室２１４と第２主弁口２１５との間の流量が小さくなる。そのため、第２主弁室２１３の流体圧力Ｐ１と第２背圧室２１４の流体圧力Ｐ２とが、ほぼ同じ値を維持したまま徐々に低下する。そして、第２背圧室２１４の流体圧力Ｐ２が低下して圧力差ΔＰ２３が小さくなると（ΔＰ２３＜Ｓ１）、第２パイロット通路２２５を流れる流体が流路切換弁体６１を下流側に押す力が弱まり、図１５に示すように、流路切換弁体６１が圧力差作動ばね６３に押されて上流側に移動して弁座部６２から離れる。これにより、第２パイロット通路２２５を流れる流体は、流路面積の大きい第２流通孔６２ｃを通って第２主弁口２１５に流れる。すなわち、流路切換機構２６０は、第２パイロット通路２２５を第２通路形態Ｆ２に切り換える。

第２背圧室２１４の流体が第２流通孔６２ｃを通って第２主弁口２１５に流れると、第２主弁室２１３と第２背圧室２１４との間の流量より第２背圧室２１４と第２主弁口２１５との間の流量が大きくなる。そのため、第２主弁室２１３の流体圧力Ｐ１より第２背圧室２１４の流体圧力Ｐ２が小さくなり（Ｐ１＞Ｐ２）、第２背圧室２１４の流体圧力Ｐ２と第２主弁口２１５の流体圧力Ｐ３とがほぼ同じ値となる（Ｐ２≒Ｐ３）。これにより、第２主弁室２１３の流体圧力Ｐ１と第２背圧室２１４の流体圧力Ｐ２との圧力差ΔＰ１２によって第２主弁体２２０に対して上方に押す力が加わり、図１６に示すように、第２主弁体２２０が第２主弁座２１６から離れ、第２主弁口２１５が開く。このとき、第２主弁室２１３の流体圧力Ｐ１と第２主弁口２１５の流体圧力Ｐ３との圧力差ΔＰ１３が、第２パイロット通路２２５が開いた直後より小さくなっているので、第２主弁室２１３から第２主弁口２１５に急激に流体が流れ込むことを抑制できる。これにより、第１主弁口１１５が閉じ、第２主弁口２１５が開いた状態になる。この状態において、流体は、中間流路１１０ｄから入り、第２主弁室２１３、第２主弁口２１５を通り、出口流路１１０ｅから出て行く。

電磁弁３は、上述した第１実施例に係る電磁弁１と同様の作用効果を奏する。

（第４実施例）
以下、本発明の電気的駆動弁の第４実施例に係るパイロット式の電磁弁について、図１７～図２１を参照して説明する。

図１７は、本発明の第４実施例に係る電磁弁の断面図である。図１８～図２１は、図１７の電磁弁の一部を示す断面図である。図１８～図２１において、（ａ）は主弁体およびその内部の断面図であり、（ｂ）は（ａ）の一点鎖線で囲む部分の拡大断面図である。図１８～図２１は、順に第２主弁口が閉じた状態、途中状態１（第２均圧通路が第２通路形態となる状態）、途中状態２（第２均圧通路が第１通路形態となる状態）および第２主弁口が開いた状態を示している。図１８、図２１において、流体の流れを矢印で模式的に示している。以下の説明において、第３実施例に係る電磁弁３と同一（実質的に同一を含む）の構成要素には同一の符号を付して説明を省略する。

図１７～図２１に示すように、第４実施例に係る電磁弁４は、弁本体１１０と、第１主弁体１２０と、駆動部１３０と、第１パイロット弁体１４０と、第２主弁体２２０と、第２パイロット弁体２４０と、流路切換機構２７０と、を有している。電磁弁４は、上述した電磁弁３の流路切換機構２６０に代えて、構成の異なる流路切換機構２７０を有している。

流路切換機構２７０は、第２均圧通路２２６に配置されている。流路切換機構２７０は、流路切換弁体７１と、弁座部７２と、圧力差作動ばね７３と、を有している。これらの部材は、上述した電磁弁２の流路切換弁体７１、弁座部７２および圧力差作動ばね７３と、同一（実質的に同一を含む）の構成を有するため、同一の符号を付して説明を一部省略する。

第２流通孔７２ｃの流路面積Ｂ２は、第１流通孔７１ｃの流路面積Ｂ１より大きい。第２パイロット通路２２５の流路面積Ｂｐ２は、第１流通孔７１ｃの流路面積Ｂ１より大きく、第２流通孔７２ｃの流路面積Ｂ２より小さい（Ｂ２＞Ｂｐ２＞Ｂ１）。なお、流路面積とは、流路の最も狭い部分の断面積である。第２パイロット通路２２５（流路面積Ｂｐ２）の流量をＱｐ２、第１流通孔７１ｃ（流路面積Ｂ１）の流量をＱ１、第２流通孔７２ｃ（流路面積Ｂ２）の流量をＱ２としたとき、電磁弁４は各流量の大きさがＱ２＞Ｑｐ２＞Ｑ１となるように構成されている。

流路切換機構２７０において、第２パイロット通路２２５が開いた状態の場合に、第２均圧通路２２６の上流側にある第２主弁室２１３の流体圧力Ｐ１と下流側にある第２背圧室２１４の流体圧力Ｐ２との圧力差ΔＰ１２が小さいとき、または、圧力差ΔＰ１２が大きくかつ第２背圧室２１４の流体圧力Ｐ２と第２主弁口２１５の流体圧力Ｐ３との圧力差ΔＰ２３が小さいとき、第２均圧通路２２６を流れる流体が流路切換弁体７１を下流側に押す力が、圧力差作動ばね７３が流路切換弁体７１を上流側に押す力より小さくなる。これにより、流路切換弁体７１が上流側に移動して弁座部７２に接する。そして、流路切換弁体７１が弁座部７２に接しているとき、切換弁部７１ａが第２流通孔７２ｃを閉じ、第２均圧通路２２６を流れる流体は第１流通孔７１ｃを通る（図２０）。流体が第１流通孔７１ｃを通る構成の第２均圧通路２２６Ｅを「第１通路形態Ｇ１」という。第２フランジ２２２の外周面と第２空間１１０ｂの内周面との隙間の断面積と、第１流通孔７１ｃの流路面積Ｂ１と、を合わせた面積が、第１通路形態Ｇ１の第２均圧通路２２６Ｅの流路面積になる。第1通路形態Ｇ１の第２均圧通路２２６Ｅの流路面積は、第２パイロット通路２２５の流路面積より小さい。

流路切換機構２７０において、第２パイロット通路２２５が開いた状態の場合に、圧力差ΔＰ１２が大きくかつ圧力差ΔＰ２３が大きいとき、第2均圧通路２２６を流れる流体が流路切換弁体７１を下流側に押す力が、圧力差作動ばね７３が流路切換弁体７１を上流側に押す力より大きくなる。これにより、流路切換弁体７１が下流側に移動して弁座部７２から離れる。そして、流路切換弁体７１が弁座部７２から離れているとき、第２流通孔７２ｃが開き、第２均圧通路２２６を流れる流体は第２流通孔７２ｃを通る（図１９）。流体が第２流通孔７２ｃを通る構成の第２均圧通路２２６Ｅを「第２通路形態Ｇ２」という。第２フランジ２２２の外周面と第２空間１１０ｂの内周面との隙間の断面積と、第２流通孔７２ｃの流路面積Ｂ２と、を合わせた面積が、第２通路形態Ｇ２の第２均圧通路２２６Ｅの流路面積になる。第２通路形態Ｇ２の第２均圧通路２２６Ｅの流路面積は、第２パイロット通路２２５の流路面積より大きい。

次に、電磁弁４の動作の一例について、図１８～図２１を参照して説明する。

コイル３２が通電状態のとき、上述した電磁弁３と同様に、電磁弁４は第１主弁口１１５が開き、第２主弁口２１５が閉じた状態になる（図１８）。

また、第１主弁体１２０とともに作動棒１２８が下方に移動し、作動棒１２８が第２パイロット弁体２４０を下方に押す。これにより、図１９に示すように、第２パイロット弁体２４０が第２パイロット弁座２２８ｂから離れ、第２パイロット通路２２５が開く。第２パイロット通路２２５が開いた直後は第２背圧室２１４の流体圧力Ｐ２と第２主弁口２１５の流体圧力Ｐ３との圧力差ΔＰ２３が大きく、第２背圧室２１４から第２主弁口２１５に流体が流れ、第２主弁室２１３の流体圧力Ｐ１と第２背圧室２１４の流体圧力Ｐ２との圧力差ΔＰ１２が大きくなる。このとき、第２均圧通路２２６を流れる流体の流量が大きく、流路切換弁体７１が流体に押されて上方に移動して弁座部７２から離れる。これにより、第２均圧通路２２６を流れる流体は、流路面積の大きい第２流通孔７２ｃを通って第２背圧室２１４に流れる。すなわち、流路切換機構２７０は、第２均圧通路２２６Ｅを第２通路形態Ｇ２に切り換える。

第２主弁室２１３の流体が第２流通孔７２ｃを通って第２背圧室２１４に流れると、第２主弁室２１３と第２背圧室２１４との間の流量が第２背圧室２１４と第２主弁口２１５との間の流量より大きくなる。そのため、第２主弁室２１３の流体圧力Ｐ１と第２背圧室２１４の流体圧力Ｐ２とが徐々に低下しつつ互いに近づき、圧力差ΔＰ１２が小さくなる。そして、圧力差ΔＰ１２が小さくなると、第２均圧通路２２６を流れる流体の流量が小さくなり、流体が流路切換弁体７１を上方に押す力が弱まって、図２０に示すように、流路切換弁体７１が下方に移動して弁座部７２に接する。これにより、第２均圧通路２２６を流れる流体は、流路面積の小さい第１流通孔７１ｃを通って第２背圧室２１４に流れる。すなわち、流路切換機構２７０は、第２均圧通路２２６Ｅを第１通路形態Ｇ１に切り換える。

第２主弁室２１３の流体が第１流通孔７１ｃを通って第２背圧室２１４に流れると、第２主弁室２１３と第２背圧室２１４との間の流量が第２背圧室２１４と第２主弁口２１５との間の流量より小さくなる。そのため、第２主弁室２１３の流体圧力Ｐ１より第２背圧室２１４の流体圧力Ｐ２が低下して、圧力差ΔＰ１２が大きくなる（Ｐ１＞Ｐ２）とともに圧力差ΔＰ２３が小さくなり（Ｐ２≒Ｐ３）、第２均圧通路２２６を流れる流体の流量が小さく、流路切換弁体７１は弁座部７２に接した状態を維持する。これにより、第２主弁室２１３の流体圧力Ｐ１と第２背圧室２１４の流体圧力Ｐ２との圧力差ΔＰ１２によって第２主弁体２２０に対して上方に押す力が加わり、図２１に示すように、第２主弁体２２０が第２主弁座２１６から離れ、第２主弁口２１５が開く。このとき、第２主弁室２１３の流体圧力Ｐ１と第２主弁口２１５の流体圧力Ｐ３との圧力差ΔＰ１３が、第２パイロット通路２２５が開いた直後より小さくなっているので、第２主弁室２１３から第２主弁口２１５に急激に流体が流れ込むことを抑制できる。これにより、第１主弁口１１５が閉じ、第２主弁口２１５が開いた状態になる。この状態において、流体は、中間流路１１０ｄから入り、第２主弁室２１３、第２主弁口２１５を通り、出口流路１１０ｅから出て行く。

電磁弁４は、上述した第２実施例に係る電磁弁２と同様の作用効果を奏する。

上記に本発明の実施例を説明したが、本発明はこれらの例に限定されるものではない。前述の実施例に対して、当業者が適宜、構成要素の追加、削除、設計変更を行ったものや、実施例の特徴を適宜組み合わせたものも、本発明の趣旨に反しない限り、本発明の範囲に含まれる。

（第１実施例）
１…電磁弁、１０…弁本体、１１…周壁部、１２…底壁部、１３…主弁室、１４…背圧室、１５…主弁口、１６…主弁座、１７…入口継手管、１８…出口継手管、２０…主弁体、２１…主弁体本体、２１ａ…主弁部、２１ｂ…パイロット弁座、２２…フランジ、２５…パイロット通路、２５ａ…大径部、２５ｂ…小径部、２６、２６Ｅ…均圧通路、３０…駆動部、３１…ケース、３２…コイル、３３…固定鉄心、３４…プランジャー、３５…プランジャーばね、４０…パイロット弁体、６０…流路切換機構、６１…流路切換弁体、６１ａ…切換弁部、６１ｂ…ガイド部、６１ｃ…第１流通孔、６１ｄ…貫通孔、６２…弁座部、６２ｃ…第２流通孔、６３…圧力差作動ばね、Ｆ１…第１通路形態、Ｆ２…第２通路形態、
（第２実施例）
２…電磁弁、２６、２６Ｅ…均圧通路、７０…流路切換機構、７１…流路切換弁体、７１ａ…切換弁部、７１ｂ…ガイド部、７１ｃ…第１流通孔、７１ｄ…貫通孔、７２…弁座部、７２ｃ…第２流通孔、７３…圧力差作動ばね、７４…ばね受け部材、Ｇ１…第１通路形態、Ｇ２…第２通路形態、
（第３実施例）
３…電磁弁、１１０…弁本体、１１０ａ…第１空間、１１０ｂ…第２空間、１１０ｃ…入口流路、１１０ｄ…中間流路、１１０ｅ…出口流路、１１０ｆ…第３空間、１１０ｇ…作動棒挿通孔、１１３…第１主弁室、１１４…第１背圧室、１１５…第１主弁口、１１６…第１主弁座、１２０…第１主弁体、１２１…第１主弁体本体、１２１ａ…第１主弁部、１２１ｂ…第１パイロット弁座、１２２…第１フランジ、１２５…第１パイロット通路、１２６…第１均圧通路、１２８…作動棒、１２８ａ…流体通路、１３０…駆動部、１４０…第１パイロット弁体、２１３…第２主弁室、２１４…第２背圧室、２１５…第２主弁口、２１６…第２主弁座、２２０…第２主弁体、２２１…第２主弁体本体、２２１ａ…第２主弁部、２２２…第２フランジ、２２５…第２パイロット通路、２２５ａ…通路前半部、２２５ｂ…通路後半部、２２６、２２６Ｅ…第２均圧通路、２２８…第２パイロット弁室、２２８ａ…天井面、２２８ｂ…第２パイロット弁座、２２８ｃ…接触領域、２２９…ばね室、２４０…第２パイロット弁体、２４１…フレーム、２４２…パッキン、２６０…流路切換機構、
（第４実施例）
４…電磁弁、２７０…流路切換機構

Claims

主弁室と背圧室とを有する弁本体と、前記主弁室と前記背圧室とを区画するように配置され、前記主弁室に接続された主弁口を開閉する主弁体と、前記主弁室と前記背圧室とを接続する均圧通路と、前記背圧室と前記主弁口とを接続するパイロット通路と、前記パイロット通路を開閉するパイロット弁体と、前記パイロット弁体を駆動する駆動部と、を有する電気的駆動弁であって、
前記パイロット通路を、前記均圧通路より流路面積の小さい第１通路形態と、前記均圧通路より流路面積の大きい第２通路形態と、に切り換える流路切換機構を有し、
前記流路切換機構は、前記パイロット通路が開いた状態において、
前記主弁口の流体圧力が前記背圧室の流体圧力より低くかつ前記背圧室の流体圧力と前記主弁口の流体圧力との圧力差が大きいときは前記第１通路形態に切り換え、
前記圧力差が小さいときは前記第２通路形態に切り換えるように構成されていることを特徴とする電気的駆動弁。
主弁室と背圧室とを有する弁本体と、前記主弁室と前記背圧室とを区画するように配置され、前記主弁室に接続された主弁口を開閉する主弁体と、前記主弁室と前記背圧室とを接続する均圧通路と、前記背圧室と前記主弁口とを接続するパイロット通路と、前記パイロット通路を開閉するパイロット弁体と、前記パイロット弁体を駆動する駆動部と、を有する電気的駆動弁であって、
前記均圧通路を、前記パイロット通路より流路面積の小さい第１通路形態と、前記パイロット通路より流路面積の大きい第２通路形態と、に切り換える流路切換機構を有し、
前記流路切換機構は、前記パイロット通路が開いた状態において、
前記主弁室の流体圧力と前記背圧室の流体圧力との圧力差が大きくかつ前記背圧室の流体圧力と前記主弁口の流体圧力との圧力差が大きいときは前記第２通路形態に切り換え、
前記主弁室の流体圧力と前記背圧室の流体圧力との圧力差が小さいときまたは前記主弁室の流体圧力と前記背圧室の流体圧力との圧力差が大きくかつ前記背圧室の流体圧力と前記主弁口の流体圧力との圧力差が小さいときは前記第１通路形態に切り換えるように構成されていることを特徴とする電気的駆動弁。
主弁室と背圧室とを有する弁本体と、前記主弁室と前記背圧室とを区画するように配置され、前記主弁室に接続された主弁口を開閉する主弁体と、前記主弁室と前記背圧室とを接続する均圧通路と、前記背圧室と前記主弁口とを接続するパイロット通路と、前記パイロット通路を開閉するパイロット弁体と、前記パイロット弁体を駆動する駆動部と、を有する電気的駆動弁であって、
前記パイロット通路を、前記均圧通路より流路面積の小さい第１通路形態と、前記均圧通路より流路面積の大きい第２通路形態と、に切り換える流路切換機構を有し、
前記流路切換機構は、前記パイロット通路が開いた状態において、
前記背圧室の流体圧力と前記主弁口の流体圧力との圧力差が大きいときは前記第１通路形態に切り換え、
前記圧力差が小さいときは前記第２通路形態に切り換えるように構成されており、
前記流路切換機構が、
第１流通孔が設けられた流路切換弁体と、
前記第１流通孔より径の大きい第２流通孔が設けられた弁座部と、
前記流路切換弁体を上流側に押すように設けられた圧力差作動ばねと、を有し、
上流側の流体圧力と下流側の流体圧力との圧力差に応じて前記流路切換弁体が前記弁座部に接離し、
前記流路切換弁体が前記弁座部に接しているときは流体が前記第１流通孔を通り、
前記流路切換弁体が前記弁座部から離れているときは流体が前記第２流通孔を通る、ように構成されている、電気的駆動弁。