JP7324810B2 - 脱気装置、基板処理装置、及び処理液脱気方法 - Google Patents
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Description
810 基板支持ユニット
820 処理容器
830 ノズル
900 処理液供給装置
910 ボトル
920 脱気装置
990 ポンプユニット
930 溶存ガス抽出ノズル
940 第1タンク
960 第2タンク
Claims (18)
- 処理液供給ライン上に設置される脱気装置であって、
溶存ガスが含まれた処理液から溶存ガスを気泡形態に抽出する溶存ガス抽出ノズルと、
前記溶存ガス抽出ノズルを通過しながら、抽出された気泡を処理液と分離する第1タンクと、を含む脱気装置であり、
前記第1タンクは、
上端に提供され、処理液と気泡が流入される第1供給ポートと、
前記第1供給ポートと連結される上部空間を有する第1ケースと、
前記第1ケースを囲むように提供され、その間に前記上部空間から流入された処理液と気泡が分離される外側空間を有する第2ケースと、
前記外側空間の上端に位置され、前記外側空間で処理液と分離された気泡が排気される第1排気ポートと、を含む脱気装置。 - 前記溶存ガス抽出ノズルは、
流入口と吐出口の直径より前記流入口と前記吐出口との間を連結する中間流路の直径が相対的に大きい構造を有する請求項1に記載の脱気装置。 - 前記溶存ガス抽出ノズルは、
内部に処理液が流れる中間流路が形成され、前記中間流路の一側に処理液が流入される流入口と、前記中間流路の他側に処理液が吐出される吐出口が形成された本体と、を含み、
前記吐出口は、
キャビテーション現象を通じて処理液中の溶存ガスが気泡形態に抽出されるように前記中間流路の断面積より相対的に小さい断面積を有する請求項1に記載の脱気装置。 - 前記第1ケースは、
前記上部空間から前記外側空間に処理液と気泡が移動することができる第1移動通路と、
前記上部空間の下に水平隔壁によって区画され、前記外側空間から気泡が除去された処理液が貯蔵される下部空間と、
前記下部空間と前記外側空間を区画する垂直隔壁の下端に前記外側空間と前記下部空間との間の処理液移動のための第2移動通路と、を含む請求項1に記載の脱気装置。 - 前記第1タンクは、
前記下部空間から処理液が排出される第1排出ポートをさらに含み、
前記第2ケースは、
前記第1移動通路を通じて前記外側空間に流入される処理液が前記第1排気ポートに流入されないように前記外側空間に水平である方向に設置される遮蔽板をさらに含む請求項4に記載の脱気装置。 - 前記第1タンクで気泡が分離された処理液が貯蔵される空間を有する第2タンクをさらに含む請求項1に記載の脱気装置。
- 前記第2タンクは、
下端に提供され、前記第1タンクから気泡が分離された処理液が流入される第2供給ポートと、
上端に提供され、前記空間で処理液から分離された気泡が排気される第2排気ポートと、
下端に提供され、前記空間に貯蔵された処理液が排出される第2排出ポートを含む請求項6に記載の脱気装置。 - 処理液供給ライン上に設置される脱気装置であって、
溶存ガスが含まれた処理液から溶存ガスを気泡形態に抽出する溶存ガス抽出ノズルと、
前記溶存ガス抽出ノズルを通過しながら、抽出された気泡を処理液と分離する第1タンクと、
前記第1タンクで気泡が分離された処理液が貯蔵される空間を有する第2タンクと、を含む脱気装置であり、
前記溶存ガス抽出ノズルは、
キャビテーション現象を通じて処理液中の溶存ガスが気泡形態に抽出されるように吐出口の直径が流入口と吐出口との間を連結する中間流路の直径より相対的に小さい構造を有する脱気装置。 - 前記第1タンクは、
上端に提供され、処理液と気泡が流入される第1供給ポートと、
前記第1供給ポートと連結される上部空間と、その間に前記上部空間から流入された処理液と気泡が分離される外側空間から気泡が除去された処理液が貯蔵される下部空間を有する第1ケースと、
前記第1ケースを囲むように提供され、前記外側空間を有する第2ケースと、
前記外側空間の上端に位置され、前記外側空間で処理液と分離された気泡が排気される第1排気ポートと、
下端に提供され、前記下部空間に貯蔵された処理液が排出される第1排出ポートと、を含み、
前記第1ケースは、
前記上部空間から前記外側空間に処理液と気泡が移動することができる第1移動通路と、
前記下部空間を区画する垂直隔壁の下端に前記外側空間と前記下部空間との間の処理液移動のための第2移動通路と、を含む請求項8に記載の脱気装置。 - 前記第2ケースは、
前記第1移動通路を通じて前記外側空間に流入される処理液が前記第1排気ポートに流入されないように前記外側空間に水平である方向に設置される遮蔽板をさらに含む請求項9に記載の脱気装置。 - 前記第2タンクは、
下端に提供され、連結配管を通じて前記第1排出ポートと連結されて気泡が分離された処理液が流入される第2供給ポートと、
上端に提供され、前記空間で処理液から分離された気泡が排気される第2排気ポートと、
下端に提供され、前記空間に貯蔵された処理液が排出される第2排出ポートと、を含む請求項9に記載の脱気装置。 - 基板処理装置であって、
処理液を利用して基板を処理する処理装置と、
前記処理装置の各々のノズルに処理液を供給する処理液供給部と、を含む基板処理装置であり、
前記処理液供給部は、
処理液が貯蔵されているボトルと、
前記ボトルから供給される処理液から溶存ガスを気泡形態に抽出する溶存ガス抽出ノズルを有する脱気装置と、
前記脱気装置に貯蔵されてある溶存ガスが分離された処理液を前記処理装置の各々のノズルに供給するポンプと、を含み、
前記脱気装置は、
前記溶存ガス抽出ノズルを通過しながら、抽出された気泡を処理液と分離する第1タンクと、
前記第1タンクで気泡が分離された処理液が貯蔵されて処理される空間を有する第2タンクと、
前記第1タンクの下端と前記第2タンクの下端を連結する連結配管と、を含む基板処理装置。 - 前記溶存ガス抽出ノズルは、
流入口と吐出口の直径より前記流入口と前記吐出口との間を連結する中間流路の直径が相対的に大きい構造を有する請求項12に記載の基板処理装置。 - 前記第1タンクは、
上端に提供され、処理液と気泡が流入される第1供給ポートと、
前記第1供給ポートと連結される上部空間と、その間に前記上部空間から流入された処理液と気泡が分離される外側空間から気泡が除去された処理液が貯蔵される下部空間を有する第1ケースと、
前記第1ケースを囲むように提供され、前記外側空間を有する第2ケースと、
前記外側空間の上端に位置され、前記外側空間で処理液と分離された気泡が排気される第1排気ポートと、を含み、
前記第1ケースは、
前記上部空間から前記外側空間に処理液と気泡が移動することができる第1移動通路と、
前記下部空間を区画する垂直隔壁の下端に前記外側空間と前記下部空間との間の処理液移動のための第2移動通路と、を含む請求項12に記載の基板処理装置。 - 前記第1タンクは、
前記下部空間から処理液が排出される第1排出ポートをさらに含み、
前記第2ケースは、
前記第1移動通路を通じて前記外側空間に流入される処理液が前記第1排気ポートに流入されないように前記外側空間に水平である方向に設置される遮蔽板をさらに含む請求項14に記載の基板処理装置。 - 前記第2タンクは、
下端に提供され、前記第1タンクから気泡が分離された処理液が流入される第2供給ポートと、
上端に提供され、前記空間で処理液から分離された気泡が排気される第2排気ポートと、
下端に提供され、前記空間に貯蔵された処理液が排出される第2排出ポートを含む請求項12に記載の基板処理装置。 - 処理液の脱気方法であって、
溶存ガス抽出ノズルを通じて溶存ガスが含まれた処理液から溶存ガスを気泡形態に抽出する抽出段階と、
第1タンクで抽出された気泡を処理液と分離する分離段階と、
第2タンクで前記第1タンクから気泡が分離された処理液が提供されて貯蔵する処理段階を含む処理液の脱気方法。 - 前記抽出段階は、
キャビテーション現象を通じて処理液中の溶存ガスが気泡形態に抽出される請求項17に記載の処理液の脱気方法。
Applications Claiming Priority (2)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
KR10-2020-0116370 | 2020-09-10 | ||
KR1020200116370A KR102572629B1 (ko) | 2020-09-10 | 2020-09-10 | 탈기 장치, 기판 처리 장치 및 처리액 탈기 방법 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2022046443A JP2022046443A (ja) | 2022-03-23 |
JP7324810B2 true JP7324810B2 (ja) | 2023-08-10 |
Family
ID=80470483
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2021145251A Active JP7324810B2 (ja) | 2020-09-10 | 2021-09-07 | 脱気装置、基板処理装置、及び処理液脱気方法 |
Country Status (4)
Country | Link |
---|---|
US (1) | US11673075B2 (ja) |
JP (1) | JP7324810B2 (ja) |
KR (1) | KR102572629B1 (ja) |
CN (1) | CN114171431A (ja) |
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- 2021-09-08 US US17/468,800 patent/US11673075B2/en active Active
- 2021-09-10 CN CN202111061658.XA patent/CN114171431A/zh active Pending
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US11673075B2 (en) | 2023-06-13 |
KR102572629B1 (ko) | 2023-08-31 |
JP2022046443A (ja) | 2022-03-23 |
CN114171431A (zh) | 2022-03-11 |
US20220072452A1 (en) | 2022-03-10 |
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A621 | Written request for application examination |
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