JP7324304B2 - 燃料電池セル、燃料電池セル製造方法 - Google Patents
燃料電池セル、燃料電池セル製造方法 Download PDFInfo
- Publication number
- JP7324304B2 JP7324304B2 JP2021554487A JP2021554487A JP7324304B2 JP 7324304 B2 JP7324304 B2 JP 7324304B2 JP 2021554487 A JP2021554487 A JP 2021554487A JP 2021554487 A JP2021554487 A JP 2021554487A JP 7324304 B2 JP7324304 B2 JP 7324304B2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- opening
- insulating film
- electrode
- fuel cell
- film
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Active
Links
- 239000000446 fuel Substances 0.000 title claims description 91
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 title claims description 12
- 239000000758 substrate Substances 0.000 claims description 59
- 239000003792 electrolyte Substances 0.000 claims description 29
- 239000012528 membrane Substances 0.000 claims description 21
- 239000013078 crystal Substances 0.000 claims description 3
- 230000000149 penetrating effect Effects 0.000 claims 1
- 239000010408 film Substances 0.000 description 149
- 238000010248 power generation Methods 0.000 description 22
- 230000035882 stress Effects 0.000 description 22
- 239000004065 semiconductor Substances 0.000 description 21
- 239000007789 gas Substances 0.000 description 14
- YCKRFDGAMUMZLT-UHFFFAOYSA-N Fluorine atom Chemical compound [F] YCKRFDGAMUMZLT-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 8
- 229910052731 fluorine Inorganic materials 0.000 description 8
- 239000011737 fluorine Substances 0.000 description 8
- 238000005530 etching Methods 0.000 description 7
- 239000002737 fuel gas Substances 0.000 description 7
- KWYUFKZDYYNOTN-UHFFFAOYSA-M Potassium hydroxide Chemical compound [OH-].[K+] KWYUFKZDYYNOTN-UHFFFAOYSA-M 0.000 description 6
- 229910052581 Si3N4 Inorganic materials 0.000 description 6
- 238000000034 method Methods 0.000 description 6
- BASFCYQUMIYNBI-UHFFFAOYSA-N platinum Chemical compound [Pt] BASFCYQUMIYNBI-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 6
- HQVNEWCFYHHQES-UHFFFAOYSA-N silicon nitride Chemical compound N12[Si]34N5[Si]62N3[Si]51N64 HQVNEWCFYHHQES-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 6
- 238000001039 wet etching Methods 0.000 description 6
- UFHFLCQGNIYNRP-UHFFFAOYSA-N Hydrogen Chemical compound [H][H] UFHFLCQGNIYNRP-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 5
- VYPSYNLAJGMNEJ-UHFFFAOYSA-N Silicium dioxide Chemical compound O=[Si]=O VYPSYNLAJGMNEJ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 5
- 229910052751 metal Inorganic materials 0.000 description 5
- 239000002184 metal Substances 0.000 description 5
- 229910052814 silicon oxide Inorganic materials 0.000 description 5
- 238000000206 photolithography Methods 0.000 description 4
- 238000004544 sputter deposition Methods 0.000 description 4
- 239000000126 substance Substances 0.000 description 4
- PXHVJJICTQNCMI-UHFFFAOYSA-N Nickel Chemical compound [Ni] PXHVJJICTQNCMI-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 3
- KDLHZDBZIXYQEI-UHFFFAOYSA-N Palladium Chemical compound [Pd] KDLHZDBZIXYQEI-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 3
- XUIMIQQOPSSXEZ-UHFFFAOYSA-N Silicon Chemical compound [Si] XUIMIQQOPSSXEZ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 3
- 238000005229 chemical vapour deposition Methods 0.000 description 3
- PMHQVHHXPFUNSP-UHFFFAOYSA-M copper(1+);methylsulfanylmethane;bromide Chemical compound Br[Cu].CSC PMHQVHHXPFUNSP-UHFFFAOYSA-M 0.000 description 3
- 229910021421 monocrystalline silicon Inorganic materials 0.000 description 3
- MWUXSHHQAYIFBG-UHFFFAOYSA-N nitrogen oxide Inorganic materials O=[N] MWUXSHHQAYIFBG-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 3
- NJPPVKZQTLUDBO-UHFFFAOYSA-N novaluron Chemical compound C1=C(Cl)C(OC(F)(F)C(OC(F)(F)F)F)=CC=C1NC(=O)NC(=O)C1=C(F)C=CC=C1F NJPPVKZQTLUDBO-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 3
- 239000011148 porous material Substances 0.000 description 3
- 229910052710 silicon Inorganic materials 0.000 description 3
- 239000010703 silicon Substances 0.000 description 3
- XKRFYHLGVUSROY-UHFFFAOYSA-N Argon Chemical compound [Ar] XKRFYHLGVUSROY-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- CURLTUGMZLYLDI-UHFFFAOYSA-N Carbon dioxide Chemical compound O=C=O CURLTUGMZLYLDI-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 239000000853 adhesive Substances 0.000 description 2
- 230000001070 adhesive effect Effects 0.000 description 2
- 238000005452 bending Methods 0.000 description 2
- 239000000919 ceramic Substances 0.000 description 2
- 239000011651 chromium Substances 0.000 description 2
- 239000001257 hydrogen Substances 0.000 description 2
- 229910052739 hydrogen Inorganic materials 0.000 description 2
- 239000000463 material Substances 0.000 description 2
- VNWKTOKETHGBQD-UHFFFAOYSA-N methane Chemical compound C VNWKTOKETHGBQD-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 230000004048 modification Effects 0.000 description 2
- 238000012986 modification Methods 0.000 description 2
- 238000005192 partition Methods 0.000 description 2
- 239000010948 rhodium Substances 0.000 description 2
- 239000007787 solid Substances 0.000 description 2
- WGTYBPLFGIVFAS-UHFFFAOYSA-M tetramethylammonium hydroxide Chemical compound [OH-].C[N+](C)(C)C WGTYBPLFGIVFAS-UHFFFAOYSA-M 0.000 description 2
- 239000010936 titanium Substances 0.000 description 2
- 235000012431 wafers Nutrition 0.000 description 2
- UGFAIRIUMAVXCW-UHFFFAOYSA-N Carbon monoxide Chemical compound [O+]#[C-] UGFAIRIUMAVXCW-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- VYZAMTAEIAYCRO-UHFFFAOYSA-N Chromium Chemical compound [Cr] VYZAMTAEIAYCRO-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- MYMOFIZGZYHOMD-UHFFFAOYSA-N Dioxygen Chemical compound O=O MYMOFIZGZYHOMD-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- KJTLSVCANCCWHF-UHFFFAOYSA-N Ruthenium Chemical compound [Ru] KJTLSVCANCCWHF-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- BQCADISMDOOEFD-UHFFFAOYSA-N Silver Chemical compound [Ag] BQCADISMDOOEFD-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- RTAQQCXQSZGOHL-UHFFFAOYSA-N Titanium Chemical compound [Ti] RTAQQCXQSZGOHL-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229910052786 argon Inorganic materials 0.000 description 1
- 230000004888 barrier function Effects 0.000 description 1
- 230000015572 biosynthetic process Effects 0.000 description 1
- 229910002092 carbon dioxide Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000001569 carbon dioxide Substances 0.000 description 1
- 229910002091 carbon monoxide Inorganic materials 0.000 description 1
- 238000006243 chemical reaction Methods 0.000 description 1
- 229910052804 chromium Inorganic materials 0.000 description 1
- 230000007423 decrease Effects 0.000 description 1
- 229910001882 dioxygen Inorganic materials 0.000 description 1
- 238000001312 dry etching Methods 0.000 description 1
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 1
- 230000007613 environmental effect Effects 0.000 description 1
- 239000003344 environmental pollutant Substances 0.000 description 1
- 150000002431 hydrogen Chemical class 0.000 description 1
- 230000006872 improvement Effects 0.000 description 1
- 239000005001 laminate film Substances 0.000 description 1
- 239000007788 liquid Substances 0.000 description 1
- 238000002844 melting Methods 0.000 description 1
- 230000008018 melting Effects 0.000 description 1
- 229910052759 nickel Inorganic materials 0.000 description 1
- RVTZCBVAJQQJTK-UHFFFAOYSA-N oxygen(2-);zirconium(4+) Chemical compound [O-2].[O-2].[Zr+4] RVTZCBVAJQQJTK-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229910052763 palladium Inorganic materials 0.000 description 1
- 229920002120 photoresistant polymer Polymers 0.000 description 1
- 229910052697 platinum Inorganic materials 0.000 description 1
- 238000005498 polishing Methods 0.000 description 1
- 231100000719 pollutant Toxicity 0.000 description 1
- 238000003825 pressing Methods 0.000 description 1
- 230000008569 process Effects 0.000 description 1
- 229910052703 rhodium Inorganic materials 0.000 description 1
- MHOVAHRLVXNVSD-UHFFFAOYSA-N rhodium atom Chemical compound [Rh] MHOVAHRLVXNVSD-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229910052707 ruthenium Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000003566 sealing material Substances 0.000 description 1
- 229910052709 silver Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000004332 silver Substances 0.000 description 1
- 238000009751 slip forming Methods 0.000 description 1
- 239000007784 solid electrolyte Substances 0.000 description 1
- 230000008646 thermal stress Effects 0.000 description 1
- 239000010409 thin film Substances 0.000 description 1
- 229910052719 titanium Inorganic materials 0.000 description 1
- 229910052727 yttrium Inorganic materials 0.000 description 1
- VWQVUPCCIRVNHF-UHFFFAOYSA-N yttrium atom Chemical compound [Y] VWQVUPCCIRVNHF-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229910001928 zirconium oxide Inorganic materials 0.000 description 1
Images
Classifications
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01M—PROCESSES OR MEANS, e.g. BATTERIES, FOR THE DIRECT CONVERSION OF CHEMICAL ENERGY INTO ELECTRICAL ENERGY
- H01M8/00—Fuel cells; Manufacture thereof
- H01M8/10—Fuel cells with solid electrolytes
- H01M8/12—Fuel cells with solid electrolytes operating at high temperature, e.g. with stabilised ZrO2 electrolyte
- H01M8/1213—Fuel cells with solid electrolytes operating at high temperature, e.g. with stabilised ZrO2 electrolyte characterised by the electrode/electrolyte combination or the supporting material
- H01M8/1226—Fuel cells with solid electrolytes operating at high temperature, e.g. with stabilised ZrO2 electrolyte characterised by the electrode/electrolyte combination or the supporting material characterised by the supporting layer
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01M—PROCESSES OR MEANS, e.g. BATTERIES, FOR THE DIRECT CONVERSION OF CHEMICAL ENERGY INTO ELECTRICAL ENERGY
- H01M8/00—Fuel cells; Manufacture thereof
- H01M8/10—Fuel cells with solid electrolytes
- H01M8/1097—Fuel cells applied on a support, e.g. miniature fuel cells deposited on silica supports
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01M—PROCESSES OR MEANS, e.g. BATTERIES, FOR THE DIRECT CONVERSION OF CHEMICAL ENERGY INTO ELECTRICAL ENERGY
- H01M8/00—Fuel cells; Manufacture thereof
- H01M8/10—Fuel cells with solid electrolytes
- H01M8/12—Fuel cells with solid electrolytes operating at high temperature, e.g. with stabilised ZrO2 electrolyte
- H01M8/1213—Fuel cells with solid electrolytes operating at high temperature, e.g. with stabilised ZrO2 electrolyte characterised by the electrode/electrolyte combination or the supporting material
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01M—PROCESSES OR MEANS, e.g. BATTERIES, FOR THE DIRECT CONVERSION OF CHEMICAL ENERGY INTO ELECTRICAL ENERGY
- H01M8/00—Fuel cells; Manufacture thereof
- H01M8/10—Fuel cells with solid electrolytes
- H01M8/12—Fuel cells with solid electrolytes operating at high temperature, e.g. with stabilised ZrO2 electrolyte
- H01M8/1231—Fuel cells with solid electrolytes operating at high temperature, e.g. with stabilised ZrO2 electrolyte with both reactants being gaseous or vaporised
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01M—PROCESSES OR MEANS, e.g. BATTERIES, FOR THE DIRECT CONVERSION OF CHEMICAL ENERGY INTO ELECTRICAL ENERGY
- H01M8/00—Fuel cells; Manufacture thereof
- H01M8/10—Fuel cells with solid electrolytes
- H01M8/12—Fuel cells with solid electrolytes operating at high temperature, e.g. with stabilised ZrO2 electrolyte
- H01M8/124—Fuel cells with solid electrolytes operating at high temperature, e.g. with stabilised ZrO2 electrolyte characterised by the process of manufacturing or by the material of the electrolyte
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01M—PROCESSES OR MEANS, e.g. BATTERIES, FOR THE DIRECT CONVERSION OF CHEMICAL ENERGY INTO ELECTRICAL ENERGY
- H01M8/00—Fuel cells; Manufacture thereof
- H01M8/10—Fuel cells with solid electrolytes
- H01M8/12—Fuel cells with solid electrolytes operating at high temperature, e.g. with stabilised ZrO2 electrolyte
- H01M8/1286—Fuel cells applied on a support, e.g. miniature fuel cells deposited on silica supports
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01M—PROCESSES OR MEANS, e.g. BATTERIES, FOR THE DIRECT CONVERSION OF CHEMICAL ENERGY INTO ELECTRICAL ENERGY
- H01M8/00—Fuel cells; Manufacture thereof
- H01M8/10—Fuel cells with solid electrolytes
- H01M8/12—Fuel cells with solid electrolytes operating at high temperature, e.g. with stabilised ZrO2 electrolyte
- H01M2008/1293—Fuel cells with solid oxide electrolytes
-
- Y—GENERAL TAGGING OF NEW TECHNOLOGICAL DEVELOPMENTS; GENERAL TAGGING OF CROSS-SECTIONAL TECHNOLOGIES SPANNING OVER SEVERAL SECTIONS OF THE IPC; TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC CROSS-REFERENCE ART COLLECTIONS [XRACs] AND DIGESTS
- Y02—TECHNOLOGIES OR APPLICATIONS FOR MITIGATION OR ADAPTATION AGAINST CLIMATE CHANGE
- Y02E—REDUCTION OF GREENHOUSE GAS [GHG] EMISSIONS, RELATED TO ENERGY GENERATION, TRANSMISSION OR DISTRIBUTION
- Y02E60/00—Enabling technologies; Technologies with a potential or indirect contribution to GHG emissions mitigation
- Y02E60/30—Hydrogen technology
- Y02E60/50—Fuel cells
-
- Y—GENERAL TAGGING OF NEW TECHNOLOGICAL DEVELOPMENTS; GENERAL TAGGING OF CROSS-SECTIONAL TECHNOLOGIES SPANNING OVER SEVERAL SECTIONS OF THE IPC; TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC CROSS-REFERENCE ART COLLECTIONS [XRACs] AND DIGESTS
- Y02—TECHNOLOGIES OR APPLICATIONS FOR MITIGATION OR ADAPTATION AGAINST CLIMATE CHANGE
- Y02P—CLIMATE CHANGE MITIGATION TECHNOLOGIES IN THE PRODUCTION OR PROCESSING OF GOODS
- Y02P70/00—Climate change mitigation technologies in the production process for final industrial or consumer products
- Y02P70/50—Manufacturing or production processes characterised by the final manufactured product
Landscapes
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Manufacturing & Machinery (AREA)
- Life Sciences & Earth Sciences (AREA)
- Sustainable Development (AREA)
- Sustainable Energy (AREA)
- Chemical & Material Sciences (AREA)
- Chemical Kinetics & Catalysis (AREA)
- Electrochemistry (AREA)
- General Chemical & Material Sciences (AREA)
- Fuel Cell (AREA)
Description
図1は、本発明の実施形態1に係る燃料電池セル1の平面図である。図1に示すように、燃料電池セル1は、単結晶シリコン(Si)からなる半導体基板2上に形成された第1絶縁膜3と第2絶縁膜4上に、第1電極5が形成されている。第2絶縁膜4の上面は第1電極5によって覆われるとともに、第1電極5の一部を露出させるように電解質膜6で覆われている。第1電極5と電解質膜6の内側には第2電極7が形成されている。上面から見た平面図の場合、第1電極5および第2電極7に隠れて開口部は見られないが、下面(第1開口部8側)から見た平面図では、半導体基板2の第1開口部8内に第2開口部9を有する第1絶縁膜3が見られる。第1絶縁膜3は透過するので、第2開口部9より面積が大きい第3開口部10も観察することができる。第1電極5と第2電極7は、アノードまたはカソード電極となり、外部とそれぞれ接続されて燃料電池セル1が発電した電力を外部に供給する。
図8は、本発明の実施形態2に係る燃料電池セル1の断面図である。図8に示すように、第1絶縁膜3、第1電極5、電解質膜6、第2電極7は、実施形態1と同じである。実施形態1と異なる点は、第1絶縁膜3上に、第2絶縁膜4と第3絶縁膜12が積層されており、第3開口部10の側壁形状が第1絶縁膜3から第1電極5に向かうにしたがい広くなっていることである。
図9は、本発明の実施形態3に係る燃料電池セル1の平面図である。図9に示されるように、上面からの平面視では、第1電極5、電解質膜6、第2電極7の形状は、実施形態1~2と同じである。ただし、下側から見た場合、第1開口部8内の第1絶縁膜3内に円径で小面積の第2開口部9が複数配置されており、第2開口部9内には第1電極5が露出して見える。
図11は、本発明の実施形態4に係る燃料電池セル1の平面図である。図11に示すように、上面からの平面視では、第1電極5、電解質膜6、第2電極7の形状は、実施形態3と同じである。ただし、下側から見た場合、第1開口部8内の第1絶縁膜3内に円径で小面積の第2開口部9が複数配置されており、第2開口部9内には第1電極5が露出して見える。実施形態3と異なる点は、第3開口部10が複数あることである。
図13は、本発明の実施形態5に係る燃料電池セル1の断面図である。本実施形態5に係る燃料電池セルは、第3開口部10と第1電極5の間に応力調整膜15を有している。図13に示すように第3開口部10の形状は実施形態3と同じであるが、少なくとも第3開口部10を覆うように応力調整膜15が形成されている。応力調整膜15は、例えば窒化アルミニウムなどで形成されており、粒界が膜厚方向に沿って延伸する柱状晶構造を有し、膜厚が約50nmと薄膜で連続膜であるが燃料ガスや空気などを通す膜である。応力調整膜15は、半導体基板2に対して引張り応力を有し、かつフッ素系の耐薬品性に優れた膜であり、発電出力を維持したまま、圧縮応力を持つ電解質膜6との応力バランスが良好となり、耐熱性が向上する。
図14は、本発明の実施形態6に係る燃料電池セル1の平面図である。図14に示すように、実施形態6における燃料電池セル21の外部への出力端子を同じ高さに配置するために、第3電極20と第2電極7を電解質膜6上の同一層として分離して形成する。第3電極20は、電解質膜6内に形成したコンタクト孔19に嵌合するように配置されている。燃料電池セル21の下面(第1開口部8側)から見た場合、第1開口部8内に第2開口部9が複数配置され、第3開口部10を通して第1電極5が露出している。第3開口部10も複数配置され、実施形態4と同様である。
図16は、本発明の実施形態7に係る燃料電池システムの構成を説明する側断面図である。燃料電池セル1は、実施形態1~6いずれかで説明したものである。燃料電池セル1をアレイ状に配置し、燃料電池セル1の上方に空気室を形成する。空気導入口を介して空気室へ空気を導入し、空気排気口から排出する。燃料電池セル1の下方に燃料室を形成する。燃料導入口を介して燃料室へ燃料ガスを導入し、燃料排出口から排出する。燃料電池セル1は接続部を介して外部負荷と接続される。
本発明は、前述した実施形態に限定されるものではなく、様々な変形例が含まれる。例えば、上記した実施形態は本発明を分かりやすく説明するために詳細に説明したものであり、必ずしも説明した全ての構成を備えるものに限定されるものではない。また、ある実施形態の構成の一部を他の実施形態の構成に置き換えることが可能であり、また、ある実施形態の構成に他の実施形態の構成を加えることも可能である。また、各実施形態の構成の一部について、他の構成の追加・削除・置換をすることが可能である。
2:半導体基板
3:第1絶縁膜
4:第2絶縁膜
5:第1電極
6:電解質膜
7:第2電極
8:第1開口部
9:第2開口部
10:第3開口部
12:第3絶縁膜
15:応力調整膜
17:第4絶縁膜
18:第5絶縁膜
19:コンタクト孔
20:第3電極
22:台座
23:配線
24:配線
25:上蓋基板
26:ガス配管
Claims (15)
- 第1開口部を有する支持基板、
前記第1開口部と連通した第2開口部を有し前記支持基板上に配置され、前記支持基板に対して引張り応力を有する第1絶縁膜、
前記第2開口部と連通した第3開口部を有し前記第1絶縁膜上に配置され、前記支持基板に対して圧縮応力を有する第2絶縁膜、
前記第2絶縁膜上に配置された第1電極、
前記第1電極上に配置された電解質膜、
前記電解質膜上に配置された第2電極、
を備え、
前記第1開口部の開口面積は、前記第2開口部の開口面積よりも大きく、
前記第3開口部の開口面積は、前記第2開口部の開口面積よりも大きい
ことを特徴とする燃料電池セル。 - 前記第1電極は、前記第2開口部と前記第3開口部を覆う位置に配置されている
ことを特徴とする請求項1記載の燃料電池セル。 - 前記第3開口部の前記支持基板側における開口面積は、前記第3開口部の前記第1電極側における開口面積よりも小さい
ことを特徴とする請求項1記載の燃料電池セル。 - 前記燃料電池セルはさらに、
前記第2絶縁膜と前記第1電極との間の境界面に配置されるとともに、前記第3開口部の側壁を覆う、第3絶縁膜を備える
ことを特徴とする請求項1記載の燃料電池セル。 - 前記第1絶縁膜は、前記第2開口部を複数有し、
前記複数の第2開口部の両端サイズは、前記第3開口部の開口サイズよりも小さい
ことを特徴とする請求項1記載の燃料電池セル。 - 前記第1絶縁膜は、前記第2開口部を複数有し、
前記複数の第2開口部の両端サイズは、前記第3開口部の一方の側壁を覆う前記第3絶縁膜の表面から他方の側壁を覆う前記第3絶縁膜の表面までのサイズよりも小さい
ことを特徴とする請求項4記載の燃料電池セル。 - 前記燃料電池セルはさらに、
前記第2絶縁膜と前記第1電極との間の境界面に配置されるとともに、前記第3開口部を複数の区画に区分する、第3絶縁膜を備える
ことを特徴とする請求項1記載の燃料電池セル。 - 前記第1絶縁膜は、前記第3開口部の区画ごとに前記第2開口部を有する
ことを特徴とする請求項7記載の燃料電池セル。 - 前記第1絶縁膜は、前記第3開口部の区画ごとに2以上の前記第2開口部を有する
ことを特徴とする請求項7記載の燃料電池セル。 - 前記燃料電池セルはさらに、前記第1電極と前記第2絶縁膜との間に配置され、前記第3開口部を覆う、応力調整層を備え、
前記応力調整層は、前記支持基板に対して引張り応力を有し、かつ粒界が膜厚方向に対して平行な方向に沿って延伸する柱状結晶構造を有する
ことを特徴とする請求項1記載の燃料電池セル。 - 前記電解質膜は、コンタクト孔を有し、
前記燃料電池セルはさらに、前記コンタクト孔と嵌合することによって前記第1電極と接触した第3電極を備える
ことを特徴とする請求項1記載の燃料電池セル。 - 前記支持基板から前記第3電極の最上面までの距離と、前記支持基板から前記第2電極の最上面までの距離は、前記燃料電池セルを蓋部材によって覆ったとき前記第2電極と前記蓋部材との間の空間が気密封止されるように構成されている
ことを特徴とする請求項11記載の燃料電池セル。 - 前記燃料電池セルはさらに、前記第1電極と前記支持基板との間において、
前記支持基板に対して圧縮応力を有する層、
前記支持基板に対して引張り応力を有する層、
を有する
ことを特徴とする請求項1記載の燃料電池セル。 - 前記第1絶縁膜は、引張り応力を有する
ことを特徴とする請求項1記載の燃料電池セル。 - 燃料電池セルを製造する方法であって、
支持基板を形成する工程、
前記支持基板上に第1絶縁膜を形成する工程、
前記第1絶縁膜を貫通する第2開口部を形成する工程、
前記第1絶縁膜上に第2絶縁膜を形成する工程、
前記第2絶縁膜を平坦化する工程、
前記第2絶縁膜上に第1電極を形成する工程、
前記第1電極上に電解質膜を形成する工程、
前記電解質膜上に第2電極を形成する工程、
前記支持基板のうち前記第1絶縁膜と接していない側の面に前記第2開口部と連通する第1開口部を形成する工程、
前記第2絶縁膜内に前記第2開口部と連通する第3開口部を形成する工程、
を有し、
前記第1開口部の開口面積は、前記第2開口部の開口面積よりも大きく、
前記第3開口部の開口面積は、前記第2開口部の開口面積よりも大きい
ことを特徴とする燃料電池セル製造方法。
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
PCT/JP2019/043590 WO2021090424A1 (ja) | 2019-11-07 | 2019-11-07 | 燃料電池セル、燃料電池セル製造方法 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPWO2021090424A1 JPWO2021090424A1 (ja) | 2021-05-14 |
JP7324304B2 true JP7324304B2 (ja) | 2023-08-09 |
Family
ID=75848819
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2021554487A Active JP7324304B2 (ja) | 2019-11-07 | 2019-11-07 | 燃料電池セル、燃料電池セル製造方法 |
Country Status (6)
Country | Link |
---|---|
US (1) | US20220399558A1 (ja) |
EP (1) | EP4057401A4 (ja) |
JP (1) | JP7324304B2 (ja) |
CN (1) | CN114600286B (ja) |
TW (1) | TWI732697B (ja) |
WO (1) | WO2021090424A1 (ja) |
Families Citing this family (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
WO2021090475A1 (ja) * | 2019-11-08 | 2021-05-14 | 株式会社日立ハイテク | 燃料電池セル、燃料電池セル製造方法 |
Citations (5)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2001236970A (ja) | 2000-02-24 | 2001-08-31 | Masanori Okuyama | 超小形燃料電池 |
JP2004206998A (ja) | 2002-12-25 | 2004-07-22 | Nissan Motor Co Ltd | 固体酸化物形燃料電池用セル、セル板及びその製造方法 |
JP2004288382A (ja) | 2003-03-19 | 2004-10-14 | Nissan Motor Co Ltd | 固体酸化物形燃料電池用セル、セル板及びその製造方法 |
JP2013033618A (ja) | 2011-08-01 | 2013-02-14 | Dainippon Printing Co Ltd | 固体酸化物形燃料電池および固体酸化物形燃料電池の製造方法 |
WO2019198372A1 (ja) | 2018-04-13 | 2019-10-17 | 日産自動車株式会社 | メタルサポートセルおよびメタルサポートセルの製造方法 |
Family Cites Families (12)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP3731648B2 (ja) * | 2000-11-27 | 2006-01-05 | 日産自動車株式会社 | 燃料電池用単セル及び固体電解質型燃料電池 |
JP4196374B2 (ja) * | 2001-03-29 | 2008-12-17 | パナソニック株式会社 | 高分子電解質型薄膜燃料電池およびその運転方法 |
JP4026411B2 (ja) * | 2002-05-27 | 2007-12-26 | 日産自動車株式会社 | 固体電解質型燃料電池セルおよびその製造方法 |
AU2003248806A1 (en) * | 2002-07-01 | 2004-01-19 | The Regents Of The University Of California | Mems-based fuel cells with integrated catalytic fuel processor and method thereof |
JP2008066173A (ja) * | 2006-09-08 | 2008-03-21 | Hitachi Maxell Ltd | 燃料電池 |
JP4886581B2 (ja) * | 2007-04-18 | 2012-02-29 | 日東電工株式会社 | 配線回路基板および燃料電池 |
FR2918799B1 (fr) * | 2007-07-10 | 2010-10-08 | Commissariat Energie Atomique | Substrat poreux etanche pour piles a combustible planaires et packaging integre. |
KR101002044B1 (ko) * | 2008-01-15 | 2010-12-17 | 한국과학기술연구원 | 초소형 연료전지 및 그 제조 방법과 이를 이용한 초소형연료전지 스택 |
US20120171596A1 (en) * | 2009-08-04 | 2012-07-05 | Donald Bennett Hilliard | Solid oxide electrolytic device |
KR20160070566A (ko) * | 2014-12-10 | 2016-06-20 | 김은구 | 뿔대통 형상의 고체산화물 연료전지용 단위전지 및 이를 포함하는 고체산화물 연료전지 스택 |
US10637088B2 (en) * | 2015-05-22 | 2020-04-28 | Nanyang Technological University | Energy conversion device and method of forming the same |
JP6551436B2 (ja) * | 2017-02-24 | 2019-07-31 | 株式会社豊田中央研究所 | 燃料電池 |
-
2019
- 2019-11-07 CN CN201980101696.8A patent/CN114600286B/zh active Active
- 2019-11-07 WO PCT/JP2019/043590 patent/WO2021090424A1/ja unknown
- 2019-11-07 EP EP19951820.0A patent/EP4057401A4/en active Pending
- 2019-11-07 JP JP2021554487A patent/JP7324304B2/ja active Active
- 2019-11-07 US US17/771,690 patent/US20220399558A1/en active Pending
-
2020
- 2020-10-16 TW TW109135829A patent/TWI732697B/zh active
Patent Citations (5)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2001236970A (ja) | 2000-02-24 | 2001-08-31 | Masanori Okuyama | 超小形燃料電池 |
JP2004206998A (ja) | 2002-12-25 | 2004-07-22 | Nissan Motor Co Ltd | 固体酸化物形燃料電池用セル、セル板及びその製造方法 |
JP2004288382A (ja) | 2003-03-19 | 2004-10-14 | Nissan Motor Co Ltd | 固体酸化物形燃料電池用セル、セル板及びその製造方法 |
JP2013033618A (ja) | 2011-08-01 | 2013-02-14 | Dainippon Printing Co Ltd | 固体酸化物形燃料電池および固体酸化物形燃料電池の製造方法 |
WO2019198372A1 (ja) | 2018-04-13 | 2019-10-17 | 日産自動車株式会社 | メタルサポートセルおよびメタルサポートセルの製造方法 |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
EP4057401A1 (en) | 2022-09-14 |
TWI732697B (zh) | 2021-07-01 |
TW202119685A (zh) | 2021-05-16 |
US20220399558A1 (en) | 2022-12-15 |
WO2021090424A1 (ja) | 2021-05-14 |
JPWO2021090424A1 (ja) | 2021-05-14 |
EP4057401A4 (en) | 2024-01-24 |
CN114600286B (zh) | 2023-12-05 |
CN114600286A (zh) | 2022-06-07 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
US6969565B2 (en) | Solid oxide fuel cell stack and method of manufacturing the same | |
JP3731648B2 (ja) | 燃料電池用単セル及び固体電解質型燃料電池 | |
KR100572057B1 (ko) | 연료전지 어셈블리, 및 연료전지 어셈블리용세퍼레이터-확산층 어셈블리와 그 제조 방법 | |
KR101002044B1 (ko) | 초소형 연료전지 및 그 제조 방법과 이를 이용한 초소형연료전지 스택 | |
TW200406949A (en) | Fuel cell and method for forming | |
JP7324304B2 (ja) | 燃料電池セル、燃料電池セル製造方法 | |
JP2018163811A (ja) | 燃料電池 | |
JP2004031158A (ja) | 燃料電池セル及びこれを用いた燃料電池スタック | |
JP7332708B2 (ja) | 燃料電池セル、燃料電池セル製造方法 | |
JP2002170578A (ja) | 燃料電池用セル及びその製造方法 | |
JP7204768B2 (ja) | 燃料電池セル | |
US20220393215A1 (en) | Fuel Cell, Fuel Cell System and Method for Producing Fuel Cell | |
JP2002352832A (ja) | 燃料電池用セル板、その製造方法および燃料電池スタック | |
US20230127271A1 (en) | Fuel Cell and Method for Producing Same | |
JP2002289221A (ja) | 燃料電池用セル板、その製造方法および固体電解質型燃料電池 | |
JP2004207155A (ja) | 燃料電池およびその製造方法 |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20220406 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20230404 |
|
A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20230512 |
|
TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20230718 |
|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20230728 |
|
R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
Ref document number: 7324304 Country of ref document: JP Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 |