JP7313078B2 - 造形装置、液滴移動装置、目的物生産方法、造形方法、液滴移動方法、造形プログラムおよび液滴移動プログラム - Google Patents
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Description
本願は、2019年3月7日に日本に出願された特願2019-042010号、及び2019年8月30日に日本に出願された特願2019-158495号について優先権を主張し、その内容をここに援用する。
光造形に関連して、非特許文献1には、光還元(Photoreduction)にて銀の微細構造を造形する方法が示されている。非特許文献1に記載の方法では、銀イオンを含む水溶液にレーザ光を照射して銀を目的の形状に凝縮させたのち、水溶液を除去する。
以下、本発明の第1の実施形態を説明するが、以下の第1の実施形態は請求の範囲にかかる発明を限定するものではない。また、第1の実施形態の中で説明されている特徴の組み合わせの全てが発明の解決手段に必須であるとは限らない。
図1は、第1の実施形態に係る造形システムの機能構成を示す概略ブロック図である。図1に示すように、造形システム1は、造形装置100と、制御装置200とを備える。造形装置100は、造形部110と、移動処理部120と、観察部150とを備える。制御装置200は、表示部210と、操作入力部220と、記憶部280と、処理部290とを備える。
造形装置100は、目的物の生成を実行する装置である。特に、造形装置100は、1つ以上の材料それぞれの液滴を部分的に固体に変化させることで目的物を造形する。ここでいう液滴は、表面張力でまとまっている液体のかたまりである。ここでいう造形は、形のあるものを作ることである。
但し、造形部110が造形を行う方法は、材料の液滴を部分的に固体に変化させることができる方法であればよく、特定の方法に限定されない。例えば、造形部110が造形を行う方法は、光重合(Photopolymerization)、光架橋(Photocrosslink)、光還元(Photoreduction)のいずれか、またはこれらの組み合わせであってもよい。
また、基板810の上には液滴820が載っている。造形部110が照射するレーザ光を造形用ビームB11とも称する。
図2は、造形部110、移動処理部120それぞれのレーザ光発射部分、支持台130、基板810および液滴820を横(水平方向)から見た例を示している。
造形部110は、造形用ビームB11を透過させる液滴820に対し、液滴820内に焦点を結ぶように造形用ビームB11を基板810の下から照射している。造形部110が照射した造形用ビームB11は、点P11で焦点を結んでいる。このため、液滴820のうち点P11の部分が液体から固体に変化する。
造形部110が、液滴820内で造形用ビームB11の焦点位置を目的物の形状に沿って移動させることで、材料を目的物の形状に加工することができる。
但し、造形部110が液滴820の上側から造形用ビームB11を照射するようにしもよい。これにより、液滴820が不透明な盤の上面に滴下されている場合など、液滴820が不透明な物の上に位置する場合でも、液滴820に造形用ビームB11を照射させて材料を部分的に固体に変化させることができる。
但し、造形システム1が固体の材料を洗浄する方法は、滴下口140から洗浄液を滴下させる方法に限定されない。造形システム1が、あらかじめ液滴820の形態で用意されている洗浄液を移動させることで固体の材料を洗浄液に浸し、これによって固形の材料を洗浄するようにしてもよい。
造形システム1は、第1材料の液滴821-11を用いた第1材料の加工の後、第2材料の液滴821-12を用いて第2材料の加工を行うことで、第1材料および第2材料の両方を含む目的物を生成することができる。かかる加工のために、移動処理部120が液滴820を移動させる。
移動処理部120を備える造形装置100は、液滴移動装置の例に該当する。
移動処理部120は、加熱用の電磁波(例えば赤外線レーザ光)を、水平方向における液滴820の周囲を囲むように照射する。これにより、移動処理部120は、液滴820の水平方向の温度について、周辺側の方が中心側よりも温度が高くなるように温度勾配を生じさせる。ここでいう周辺側、中心側は、液滴820の内部のうち、液滴820と外部との境界に、より近い側、より遠い側である。
この温度勾配により、液滴820の加熱時に、液滴820が水平方向に広がることを防止できる。
また、移動処理部120が照射する電磁波を加熱用ビームとも称する。
ただし、移動処理部120は、加熱用ビームB12を液滴820に直接照射するのではなく、液滴820の周囲に照射している。加熱用ビームB12の内部に空洞(加熱用ビームB12が照射されない部分)が形成されており、この空洞の部分に液滴820が位置している。加熱用ビームB12の空洞は、移動処理部120が照射する加熱用ビームB12の一部をマスク121が遮断することによって形成されている。
図4の例のように、移動処理部120が液滴820の周囲に加熱用ビームB12を照射する場合も、移動処理部120が液滴820に加熱用ビームB12を照射すると表記する。
図5(A)の例では、加熱用ビームB12の中心にマスク121が設けられることで、加熱用ビームB12の内部(中心付近)に空洞が形成されている。液滴820は、この空洞に位置している。
図5(B)のグラフの横軸は位置(断面における水平方向の位置)を示す。縦軸は、温度を示す。線L11は、断面における基板810および液滴820の温度分布を示している。すなわち、線L11は、横軸に示される位置と、基板810および液滴820の温度との関係を示している。
また、図5(B)では、液滴820を図示することで液滴820の位置が示されている。図5(A)に示されるように、移動処理部120が液滴820の周囲に加熱用ビームB12を照射することで、線L11に示されるように、液滴820の周辺側のほうが中心側よりも温度が高い温度勾配が生じている。
線L21は、ヒートマップにおける図5の断面の位置を示している。点P21は、加熱用ビームB12の中心の位置を示している。
図6の例で、移動処理部120は、図4の例のように加熱用ビームB12を、液滴820の周囲を円形(ドーナツ形状)に囲むように照射している。これにより、図6のヒートマップは、図5の線L11が示す温度分布を平面に展開した温度分布を示している。具体的には、図6のヒートマップでは、点P21(加熱用ビームB12の中心)を中心とする同心円状の温度分布が生じている。点P21から遠ざかるにつれて、一旦温度が高くなり、ピークを越えてさらに点P21から遠ざかると温度が低くなっていく。
図7の場合、ヤングの式は、式(1)のように示される。
また、移動処理部120が図4~図6の例のように、液滴820の周囲を囲むように加熱用ビームB12を照射して温度勾配を生じさせ、かつ、加熱用ビームB12を動かさない場合も、液滴820内の力が釣り合い、液滴820は移動しない。
この場合、加熱用ビームB12の照射によって液滴820の周辺側の温度が中心側の温度よりも上昇する。このため、液滴820の中心側の表面張力が周辺側の表面張力よりも大きくなり、液滴820には、液滴形状を維持する方向に力が働く。
この液滴820の温度上昇により液滴820が広がろうとする力と、先に述べた液滴820の中心側の表面張力の増加による液滴820の形状を維持しようとする力との釣り合いがとれたところで、液滴820は、それ以上広がらずに留まる。
比較的温度が低い側(図8に向かって右側)における力を、図7で用いた変数名に「’」を付した変数名で示す。具体的には、γ’Lは、液滴820における表面張力を示す。
γ’Sは、固体の表面張力(基板810における表面張力)を示す。γ’LSは、固液界面張力を示す。θ’は液滴820の基板810に対する接触角を示す。
図8の例では、高温側の温度THと低温側の温度TL(TH>TL)との温度差が生じている。この温度差によって、高温側、低温側それぞれで接触角および表面張力が、移動処理部120が加熱用ビームB12を移動させない場合から変化している。
低温側では、接触角θ’が、加熱用ビームB12を移動させない場合よりも大きくなり、液体と気体との間の表面張力γ’Lの水平方向成分は減少する。低温側の界面に働く力F’は、固体の表面張力γ’Sの向きを正として、式(2)のように示される。
一方、高温側では、接触角θ’’が、加熱用ビームB12を移動させない場合よりも小さくなり、液体と気体との間の表面張力γ’’Lの水平方向成分は増加する。高温側の界面に働く力F’’は、固体の表面張力γ’’LSの向きを正として、式(3)のように示される。
図9は、液滴に生じる力の向きの例を示す。上記のように、力F’の向き、力F’’の向きの何れも図9に向かって右向き(液滴820の高温側の端部から低温側の端部への向き)となっている。力F’と力F’’とを合成した力FTotalは、式(4)のように示される。
図11は、マスク121の形状の第2例を示す図である。図11は、円錐形状のマスク121の例を示している。この円錐形状のマスク121を、移動処理部120と液滴820との間に、円錐の頂点を上側、底面を下側にして配置する。
マスク121の形状が円錐形状の場合、マスク121の位置として円錐の底面の位置を用いている。
また、移動処理部120が液滴820の加熱に用いる電磁波は、上記のように赤外線レーザ光であってもよいが、液体の材料を固体に変化させるもの以外であればよく、特定の周波数の電磁波、および、特定の方式の電磁波に限定されない。また、移動処理部120が液滴820の加熱に用いる電磁波は、レーザに限定されない。
造形システム1は、第3材料の液滴821-21、第4材料の液滴821-22および第5材料の液滴821-23の各々を造形領域に位置させて部分的に固体に変化させることで、第3材料、第4材料および第5材料を含む目的物を生成することができる。
一方、移動処理部120は、基板810の上から加熱用ビームB12を照射する。
図13では、説明のために造形用ビームB11および加熱用ビームB12の両方を示している。但し、造形部110が造形用ビームB11を照射している間は、移動処理部120が、液滴820に対して加熱用ビームB12の照射を行わないようにしてもよい。造形部110が造形領域に位置する材料に対する加工を終了したのち、移動処理部120は、この造形領域に位置する材料に対して加熱用ビームB12を照射して、液体のままの材料を造形領域外へ移動させる。
図14は、基板810にパターンを設けるための構成の例を示す図である。図14の例では、基板810としてガラス基板を用いている。基板810のうち濡れ性を高めたい部分以外の部分をマスク912で覆い、エキシマランプ光源911からエキシマ光(VUV光)を照射する。エキシマ光が大気中の酸素をオゾン等の活性酸素に変化させ、また、ガラス表面の結合を切断する。活性酸素とガラス基板表面の化学反応によって、「-OH」または「-COOH」など樹脂との親和性が高い官能基が付与されることで濡れ性が高くなる。
図18は、移動処理部120が備える冷却装置の例を示す図である。図18の例で、冷却装置122は、ファン123と、ダクト124とを備え、ダクト124には送風口125が設けられている。
移動処理部120は、送風口125から送風される空気が液滴820に当たるように冷却装置122を配置し、冷却装置122に送風させることで液滴820を冷却する。移動処理部120は、冷却装置122による冷却開始から100秒経過後に加熱用ビームB12の照射を終了するなど、液滴820の温度がある程度(例えば、40℃以下)下がった後に、加熱用ビームB12の照射を終了する。
これにより、液滴820の周辺側のほうが中心側よりも高い温度勾配が生じたまま、液滴820の温度が低下する。これによって、液滴820が基板810のパターンを逆流するなど、液滴820が広がることを防止または軽減できる。
図19は、観察部150の構成例を示す。図19の例で、観察部150は、観察光光源151と、ビームスプリッタ152と、観察用レンズ153と、CCDカメラ154と、表示装置155とを備える。
観察光光源151は、目的物を撮影するための照明光B13を照射する。ここでの目的物は、造形途中のものであってもよい。照明光B13は、目的物に照射される。照明光B13の一部が反射または吸収された後、残りの光が造形部110のレーザ光発射部分を経由してビームスプリッタ152へ入射される。
CCDカメラ154は、照明光B13を受光して光電変換することで、目的物の画像データを生成する。
表示装置155は、例えば液晶パネルまたはLEDパネル等の表示画面を有し、目的物の画像を表示する。具体的には、表示装置155は、CCDカメラが生成した目的物の画像データの入力を受け、この画像データが示す画像を表示する。
ただし、観察部150の構成および配置は図19に示すものに限定されない。例えば、観察部150が、目的物を上方向から撮影するようにしてもよいし、斜め上方向または斜め下方向から撮影するようにしてもよい。
また、制御装置200は、造形システム1のユーザインタフェースとして機能する。
制御装置200は、例えばパソコン(Personal Computer)またはワークステーション(Workstation)等のコンピュータを用いて構成される。
表示部210は、表示装置155を用いて構成されていてもよいし、表示装置155とは別に構成されていてもよい。
操作入力部220は、例えばキーボードおよびマウス等の入力デバイスを備え、ユーザ操作を受ける。特に、操作入力部220は、造形システム1に関する設定を行うユーザ操作を受ける。
処理部290は、制御装置200の各部を制御して各種処理を実行する。処理部290は、制御装置200が備えるCPU(Central Processing Unit、中央処理装置)が、記憶部280からプログラムを読み出して実行することで構成される。
制御装置200が、予め設定されたプログラム等に基づいて自動的に造形装置100を制御するようにしてもよい。あるいは、ユーザがオンラインで制御装置200に指示を入力し、制御装置200がユーザの指示に従って造形装置100を制御するようにしてもよい。
図20は、材料の配置の第1例を示す。図20は、造形システム1が目的物を生成する処理の開始時における材料の配置の例を示している。図20の例では、基板810の上に第7材料の液滴821-41と、第7材料とは異なる第8材料の液滴821-42とが載っている。また、領域A21は造形領域を示している。
図20の状態から、造形部110が、造形領域(領域A21)内に位置する第7材料の液滴821-41に造形用ビームB11を照射して第7材料の液滴821-41の一部を液体から固体に変化させる。
図21における固形物840は、第7材料の固形物840-41であり、生成途中の目的物の例に該当する。具体的には、図20の状態から、造形部110が、第7材料の液滴821-41に造形用ビームB11を照射して第7材料の液滴821-41の一部を液体から固体に変化させたものが、図21の第7材料の固形物840-41である。
図21は、造形部110による第7材料の液滴821-41に対する加工が終了した状態の例を示している。移動処理部120が、使用終了後の第7材料の液滴821-41を領域A21の内から外へ移動させることで、図22に示す状態になる。移動処理部120は、液滴を移動させるが、固形の材料については移動させない。図22の例でも、第7材料の液滴821-41が領域A21の内から外へ移動している一方、第7材料の固形物840-41は、領域A21内に留まっている。
図22の状態から、滴下口140が洗浄液を造形領域(領域A21)内に滴下することで、図23の状態になる。図22の状態では、第7材料の液滴821-41は領域A21の外へ移動しているが、第7材料の固形物840-41の表面には液体の第7材料が残存している。そこで、滴下口140が、洗浄液を領域A21内に滴下して第7材料の固形物840-41を洗浄液に浸す。これにより、造形システム1は、第7材料の固形物840-41の表面を洗浄する。具体的には、造形システム1は、第7材料の固形物840-41の表面に付着している液体の第7材料を除去する。
図23の状態から、移動処理部120が、洗浄液の液滴822を領域A21内から基板810の上面の外へと移動させることで、洗浄液の液滴822が基板810上から除去され、図24の状態になる。
図24の状態から、移動処理部120が第8材料の液滴821-42を領域A21内へ移動させることで、図25の状態になる。
図25の状態から、造形部110が第8材料の液滴821-42に造形用ビームB11を照射して第8材料の液滴821-42の一部を液体から固体に変化させたものが、図26の第8材料の固形物840-42である。
図26は、造形部110による第8材料の液滴821-42に対する加工が終了した状態の例を示している。移動処理部120が、使用終了後の第8材料の液滴821-42を領域A21の内から外へ移動させることで、図27に示す状態になる。上記のように、移動処理部120は、液滴を移動させるが、固形の材料については移動させない。図27の例でも、第8材料の液滴821-42が領域A21の内から外へ移動している一方、第8材料の固形物840-42は、領域A21内に留まっている。
図27の状態から、滴下口140が洗浄液を造形領域(領域A21)内に滴下することで、図28の状態になる。図27の状態では、第8材料の液滴821-42は領域A21の外へ移動しているが、固形物840の表面には液体の第8材料が残存している。そこで、滴下口140が、洗浄液を領域A21内に滴下して固形物840を洗浄液に浸す。これにより、造形システム1は、固形物840の表面を洗浄する。具体的には、造形システム1は、第7材料の固形物840-41の表面および第8材料の固形物840-42の表面に付着している液体の第8材料を除去する。
図28の状態から、移動処理部120が、洗浄液の液滴822を領域A21内から基板810の上面の外へと移動させることで、洗浄液の液滴822が基板810上から除去され、図29の状態になる。
図29の固形物840は、完成した目的物の例に該当する。このように、図20~図29の例では、造形システム1は、第7材料および第8材料といった複数の材料を用いたマルチマテリアルの目的物を生成している。
図30は、制御装置200が造形装置100を制御して目的物を生成させる処理手順の例を示すフローチャートである。
図30の処理で、制御装置200は、造形部110を制御して造形処理を行わせる(ステップS101)。造形部110は、制御装置200の制御に従って造形領域内の材料の液滴821に造形用ビームB11を照射して材料の液滴821内で造形用ビームB11の焦点を結ばせる。焦点の位置で材料が液体から固体に変化する。
次に、制御装置200は、滴下口140を制御して洗浄液を滴下させる(ステップS103)。滴下口140は、制御装置200の制御に従って洗浄液を造形領域内へ滴下する。この滴下により、造形領域内にある固体の材料を洗浄する。
次に制御装置200は、目的物が完成したか否かを判定する(ステップS105)。目的物が完成したと判定した場合(ステップS105:YES)、制御装置200は、図30の処理を終了する。
ステップS106の後、処理がステップS101へ戻る。
図31は、造形装置100を用いて得られる造形物の例を示す図である。図31に示す造形物900は、SR499+SR368、SR348、および、SR499+SR348の3種類の樹脂を含んで構成されている。
このように、造形装置100を用いて微細な物を造形することができる。また、造形物900を構成する樹脂のうち、SR499+SR368はアクリレート系であり、SR348はメタクリレート系であり、SR499+SR348はアクリレート系+メタクリレート系である。これらのうち、アクリレート系樹脂であるSR499+SR368にのみ銅めっきを行うことができる。したがって、造形物900に対して選択的に銅めっきを行うことができる。
このように、移動処理部120が液滴820の水平方向周辺側のほうが中心側よりも温度が高くなる温度勾配を生じさせるように加熱し、加熱箇所を移動させることで、液滴820は、加熱箇所の移動に従って広がらずに移動する。移動処理部120によれば、加熱箇所を移動させた分だけ液滴820を移動させることができ、かつ、液滴820が広がらない点で、液滴820の移動を高精度に制御することができる。
移動処理部120によれば、液滴820の周囲に電磁波を照射するという比較的簡単な方法で、液滴820を加熱することができる。
移動処理部120によれば、液滴820に向けて電磁波を照射し、電磁波の一部をマスクで遮断するという比較的簡単な方法で、液滴820を加熱することができる。また、上述したように、移動処理部120が円錐形状のマスク121を用いることで、例えば平面形状のマスク121を用いる場合と比較して、液滴820により大きな温度勾配を生じさせることができる。
移動処理部120によれば、液滴820の温度が高いうちに、液滴820の水平方向周辺側のほうが中心側よりも温度が高い温度勾配が消滅することを防止できる。これにより、移動処理部120によれば、液滴820が広がることを防止または軽減できる。
移動処理部120が、液滴820に、面上(例えば基板810上)で濡れ性が比較的高い部分を移動させることで、移動処理部120は、比較的容易に液滴820を移動させることができる。また、面上で、液滴820が位置する部分の周囲の濡れ性が比較的低いこことで、液滴820の広がりを防止または軽減できる。
あるいは、造形部110のレーザ光発射部分が造形用ビームB11を発射する角度を変化させるようにしてもよい。
図33の例で、造形部110のレーザ光発射部分は対物レンズとして機能し、液滴820と反対側(図33の下側)から入射した造形用ビームを屈折させて液滴820の側(図33の上側)へ照射する。
造形部110のレーザ光発射部分への造形用ビームB11の入射角をθIで示す。造形部110のレーザ光発射部分からの造形用ビームB11の出射角をθOで示す。出射角θOは入射角θIに応じて変化する。出射角θOの変化に伴って造形用ビームB11が焦点を結ぶ点P11の位置も変化する。したがって、造形部110は、造形用ビームB11のレーザ光発射部分への入射角θIを変化させることで、レーザ光発射部分の位置、基板810の位置の何れも変化させる必要なしに、造形用ビームB11が焦点を結ぶ位置を変化させることができる。
入射角θIを変化させる方法として、例えば、造形用ビームB11の光源と造形部110のレーザ光発射部分との間にミラーを設け、ミラーの向きを変化させる方法を用いることができる。
以下、図面を参照しながら第2の実施形態について詳しく説明する。
図34は、第2の実施形態に係る造形システム21を示す図である。
制御装置2200は、表示部2210と、操作入力部2220と、記憶部2280と、処理部2290とを備える。
造形装置2100は、目的物の生成を実行する装置である。特に、造形装置2100は、1つ以上の材料それぞれの液滴を部分的に固体に変化させることで目的物を造形する。ここでいう液滴は、表面張力でまとまっている液体のかたまりである。ここでいう造形は、形のあるものを作ることである。
レーザ光を単にレーザとも称する。
但し、造形部2110が造形を行う方法は、材料の液滴を部分的に固体に変化させることができる方法であればよく、特定の方法に限定されない。例えば、造形部2110が造形を行う方法は、光重合、光架橋、光還元のいずれか、またはこれらの組み合わせであってもよい。
また、基板2810の上には液滴2820が載っている。造形部2110が照射するレーザ光を造形用ビームB11-2とも称する。
図35は、造形部2110、移動処理部2120それぞれのレーザ光発射部分、支持台2130、基板2810および液滴2820を横(水平方向)から見た例を示している。
造形部2110は、造形用ビームB11-2を透過させる液滴2820に対し、液滴2820内に焦点を結ぶように造形用ビームB11-2を基板2810の下から照射している。造形部2110が照射した造形用ビームB11-2は、点P11-2で焦点を結んでいる。このため、液滴2820のうち点P11-2の部分が液体から固体に変化する。
造形部2110が、液滴2820内で造形用ビームB11-2の焦点位置を目的物の形状に沿って移動させることで、材料を目的物の形状に加工することができる。
但し、造形部2110が液滴2820の上側から造形用ビームB11-2を照射するようにしもよい。これにより、液滴2820が不透明な基板2810の上面に滴下されている場合など、液滴2820が不透明な物の上に位置する場合でも、液滴2820に造形用ビームB11-2を照射させて材料を部分的に固体に変化させることができる。
但し、造形システム21が固体の材料を洗浄する方法は、滴下口2140から洗浄液を滴下させる方法に限定されない。造形システム21が、あらかじめ液滴2820の形態で用意されている洗浄液を移動させることで固体の材料を洗浄液に浸し、これによって固形の材料を洗浄するようにしてもよい。
造形システム21は、第1材料の液滴2821-11を用いた第1材料の加工の後、第2材料の液滴2821-12を用いて第2材料の加工を行うことで、第1材料および第2材料の両方を含む目的物を生成することができる。かかる加工のために、移動処理部2120が液滴2820を移動させる。
移動処理部2120を備える造形装置2100は、液滴移動装置の例に該当する。
移動処理部2120は、上記レーザC-2の照射箇所をガルバノミラー(Galvano Mirror)21030(図37参照)で移動させることにより上記温度勾配を生じさせる。
特に、移動処理部2120は、レーザC-2の照射箇所を高速移動させて同じ箇所を繰り返し加熱することで、定常的な温度勾配(特に、温度の脈動が無視できる程度に小さい温度勾配)を生じさせる。
レーザ照射装置21010は、レーザC-2を照射する装置である。レーザ照射装置21010が照射するレーザC-2の例としては、照射された照射箇所を加熱する赤外線が挙げられる。
造形システム21のユーザは、ガルバノミラー21030Aと、ガルバノミラー21030Bを回転させることにより、照射箇所D2の位置を変更しながら、レーザC-2を照射することができる。
移動処理部2120は、基板2810上の照射箇所D2-1、照射箇所D2-2および照射箇所D2-3を照射する。移動処理部2120は、レーザC-2の照射箇所D2を照射箇所D2-1、照射箇所D2-2および照射箇所D2-3に高速移動させる。すなわち、移動処理部2120のレーザC-2の照射箇所D2は、軌跡G-2の中で高速移動させられることとなる。
移動処理部2120が、レーザC-2を連続的に照射して軌跡G-2全体にレーザC-2を照射するようにしてもよい。あるいは、移動処理部2120が、レーザC-2を点滅させて、照射箇所D2-1、照射箇所D2-2および照射箇所D2-3のように軌跡G-2の一部にのみレーザC-2を照射するようにしてもよい。
図39の例で、温度勾配(線L2-1)は、照射箇所D2-2の位置に該当する位置で最高温度を示し、当該照射箇所D2-2から遠くなると、温度が低くなる形状の温度の勾配となっている。このように、図38の例でレーザC-2の照射によって生じる温度勾配は、照射箇所D2の軌跡G-2に該当する位置で最高温度となり、当該軌跡G-2から遠くなると、温度が低くなる形状の温度の勾配となっている。
図40の場合、ヤングの式は、式(5)のように示される。
γ’Sは、固体の表面張力(基板2810における表面張力)を示す。γ’LSは、固液界面張力を示す。θ’は液滴2820の基板2810に対する接触角を示す。
低温側では、接触角θ’が図40の場合よりも大きくなり、液体と気体との間の表面張力γ’Lの水平方向成分は減少する。低温側の界面に働く力F’は、固体の表面張力γ’Sの向きを正として、式(6)のように示される。
一方、高温側では、接触角θ’’が、レーザC-2を照射しない場合よりも小さくなり、液体と気体との間の表面張力γ’’Lの水平方向成分は増加する。高温側の界面に働く力F’’は、固体の表面張力γ’’LSの向きを正として、式(7)のように示される。
一方、移動処理部2120は、基板2810の上からレーザC-2を照射する。
造形部2110が造形領域に位置する材料に対する加工を終了したのち、移動処理部2120は、この造形領域に位置する材料に対してレーザC-2を照射して、液体のままの材料を造形領域外へ移動させる。
図44は、基板2810にパターンを設けるための構成の例を示す図である。図44の例では、基板2810としてガラス基板を用いている。基板2810のうち濡れ性を高めたい部分以外の部分をマスク2912で覆い、エキシマランプ光源2911からエキシマ光(VUV光)を照射する。エキシマ光が大気中の酸素をオゾン等の活性酸素に変化させ、また、ガラス表面の結合を切断する。活性酸素とガラス基板表面の化学反応によって、「-OH」または「-COOH」など樹脂との親和性が高い官能基が付与されることで濡れ性が高くなる。
図47は、観察部2150の構成例を示す。図47の例で、観察部2150は、観察光光源2151と、ビームスプリッタ2152と、観察用レンズ2153と、CCDカメラ2154と、表示装置2155とを備える。
CCDカメラ2154は、照明光B13-2を受光して光電変換することで、目的物の画像データを生成する。
表示部2210は、表示装置2155を用いて構成されていてもよいし、表示装置2155とは別に構成されていてもよい。
図48は、材料の配置の第1例を示す。図48は、造形システム21が目的物を生成する処理の開始時における材料の配置の例を示している。図48の例では、基板2810の上に第6材料の液滴2821-41と、第6材料とは異なる第7材料の液滴2821-42とが載っている。また、領域A21-2は造形領域を示している。
図48の状態から、造形部2110が、造形領域(領域A21-2)内に位置する第6材料の液滴2821-41に造形用ビームB11-2を照射して第6材料の液滴2821-41の一部を液体から固体に変化させる。
図49における固形物2840は、第6材料の固形物2840-41であり、生成途中の目的物の例に該当する。具体的には、図48の状態から、造形部2110が、第6材料の液滴2821-41に造形用ビームB11-2を照射して第6材料の液滴2821-41の一部を液体から固体に変化させたものが、図49の第6材料の固形物2840-41である。
図49は、造形部2110による第6材料の液滴2821-41に対する加工が終了した状態の例を示している。移動処理部2120が、使用終了後の第6材料の液滴2821-41を領域A21-2の内から外へ移動させることで、図50に示す状態になる。移動処理部2120は、液滴を移動させるが、固形の材料については移動させない。図50の例でも、第6材料の液滴2821-41が領域A21-2の内から外へ移動している一方、第6材料の固形物2840-41は、領域A21-2内に留まっている。
図50の状態から、滴下口2140が洗浄液を造形領域(領域A21-2)内に滴下することで、図51の状態になる。図50の状態では、第6材料の液滴2821-41は領域A21-2の外へ移動しているが、第6材料の固形物2840-41の表面には液体の第6材料が残存している。そこで、滴下口2140が、洗浄液を領域A21-2内に滴下して第6材料の固形物2840-41を洗浄液に浸す。これにより、造形システム21は、第6材料の固形物2840-41の表面を洗浄する。具体的には、造形システム21は、第6材料の固形物2840-41の表面に付着している液体の第6材料を除去する。
図51の状態から、移動処理部2120が、洗浄液の液滴2822を領域A21-2内から基板2810の上面の外へと移動させることで、洗浄液の液滴2822が基板2810上から除去され、図52の状態になる。
図52の状態から、移動処理部2120が第7材料の液滴2821-42を領域A21-2内へ移動させることで、図53の状態になる。
図53の状態から、造形部2110が第7材料の液滴2821-42に造形用ビームB11-2を照射して第7材料の液滴2821-42の一部を液体から固体に変化させたものが、図54の第7材料の固形物2840-42である。
図54は、造形部2110による第7材料の液滴2821-42に対する加工が終了した状態の例を示している。移動処理部2120が、使用終了後の第7材料の液滴2821-42を領域A21-2の内から外へ移動させることで、図55に示す状態になる。上記のように、移動処理部2120は、液滴を移動させるが、固形の材料については移動させない。図55の例でも、第7材料の液滴2821-42が領域A21-2の内から外へ移動している一方、第7材料の固形物2840-42は、領域A21-2内に留まっている。
図55の状態から、滴下口2140が洗浄液を造形領域(領域A21-2)内に滴下することで、図56の状態になる。図55の状態では、第7材料の液滴2821-42は領域A21-2の外へ移動しているが、固形物2840の表面には液体の第7材料が残存している。そこで、滴下口2140が、洗浄液を領域A21-2内に滴下して固形物2840を洗浄液に浸す。これにより、造形システム21は、固形物2840の表面を洗浄する。具体的には、造形システム21は、第6材料の固形物2840-41の表面および第7材料の固形物2840-42の表面に付着している液体の第7材料を除去する。
図56の状態から、移動処理部2120が、洗浄液の液滴2822を領域A21-2内から基板2810の上面の外へと移動させることで、洗浄液の液滴2822が基板2810上から除去され、図57の状態になる。
図58は、制御装置2200が造形装置2100を制御して目的物を生成させる処理手順の例を示すフローチャートである。
次に、制御装置2200は、滴下口2140を制御して洗浄液を滴下させる(ステップS2103)。滴下口2140は、制御装置2200の制御に従って洗浄液を造形領域内へ滴下する。この滴下により、造形領域内にある固体の材料を洗浄する。
次に制御装置2200は、目的物が完成したか否かを判定する(ステップS2105)。目的物が完成したと判定した場合(ステップS2105:YES)、制御装置2200は、図58の処理を終了する。
ステップS2106の後、処理がステップS2101へ戻る。
これにより、液体の材料を固体に変化させて目的物を造形する場合に、液体の材料を設置する負担を軽減し、液体の材料を設置する負担を軽減することができ、材料を入れ替える際に、マイクロチューブや切換えバルブが不要であるため、材料の浪費が極めて少なく、材料の再利用することができる。
これにより、多様な形状の温度勾配を生成できるため、多様な形状に係る液滴2820を移動させることができ、液体の材料を設置する負担を軽減することができる。
これにより、ガルバノミラー21030を用いてレーザC-2の照射箇所D2を高速移動でき、液体の材料を設置する負担を軽減することができる。
これにより、所定形状の温度勾配により液滴2820を移動させることで、液体を設置する負担を減らすことができる。
さらに、基板2810を構成する材料の吸収スペクトルに合わせて、レーザC-2の波長を変更させても良い。
例えば、図59に示すように、移動処理部2120が、時分割処理によって液滴2820Aと液滴2820Bの各々に対して、軌跡G1-2と軌跡G2-2のようにレーザC-2を照射することで、複数の液滴2820を同時に移動させるようにしてもよい。
これにより、移動処理部2120は、1本のレーザC-2で(したがって、レーザ照射装置21010を複数備える必要なしに)、複数の液滴2820を同時に移動させることができる。
あるいは、造形部2110のレーザ光発射部分が造形用ビームB11-2を発射する角度を変化させるようにしてもよい。
図60の例で、造形部2110のレーザ光発射部分は対物レンズとして機能し、液滴2820と反対側(図60の下側)から入射した造形用ビームを屈折させて液滴2820の側(図60の上側)へ照射する。
造形部2110のレーザ光発射部分への造形用ビームB11-2の入射角をθIで示す。造形部2110のレーザ光発射部分からの造形用ビームB11-2の出射角をθOで示す。出射角θOは入射角θIに応じて変化する。出射角θOの変化に伴って造形用ビームB11-2が焦点を結ぶ点P11-2の位置も変化する。したがって、造形部2110は、造形用ビームB11-2のレーザ光発射部分への入射角θIを変化させることで、レーザ光発射部分の位置、基板2810の位置の何れも変化させる必要なしに、造形用ビームB11-2が焦点を結ぶ位置を変化させることができる。
入射角θIを変化させる方法として、例えば、造形用ビームB11-2の光源と造形部2110のレーザ光発射部分との間にミラーを設け、ミラーの向きを変化させる方法を用いることができる。
また、「コンピュータシステム」は、WWWシステムを利用している場合であれば、ホームページ提供環境(あるいは表示環境)も含むものとする。
また、「コンピュータ読み取り可能な記録媒体」とは、フレキシブルディスク、光磁気ディスク、ROM、CD-ROM等の可搬媒体、コンピュータシステムに内蔵されるハードディスク等の記憶装置のことをいう。また上記プログラムは、前述した機能の一部を実現するためのものであっても良く、さらに前述した機能をコンピュータシステムにすでに記録されているプログラムとの組み合わせで実現できるものであっても良い。
100 造形装置
110 造形部
120 移動処理部
121 マスク
122 冷却装置
123 ファン
124 ダクト
125 送風口
130 支持台
140 滴下口
200 制御装置
210 表示部
220 操作入力部
280 記憶部
290 処理部
810 基板
820 液滴
21 造形システム
2100 造形装置
2110 造形部
2120 移動処理部
2130 支持台
2140 滴下口
2150 観察部
2151 観察光光源
2152 ビームスプリッタ
2153 観察用レンズ
2154 CCDカメラ
2155 表示装置
2200 制御装置
2210 表示部
2220 操作入力部
2280 記憶部
2290 処理部
2810 基板
2820 液滴
2840 固形物
21010 レーザ照射装置
21020 ガルバノミラー回転装置
21030 ガルバノミラー
21040 集光レンズ
Claims (18)
- 液滴の周囲を円形に囲む環状の領域に電磁波を照射するまたはヒータにより熱を供給することで前記液滴の水平方向の周辺側の方が中心側よりも温度が高くなるように前記液滴を加熱し、前記電磁波を照射するまたは前記ヒータにより熱を供給する前記環状の領域を移動させることで前記液滴を移動させる移動処理部と、
所定の造形領域内で前記液滴を部分的に固体に変化させることで造形を行う造形部と、
を備える造形装置。 - 前記移動処理部は、前記電磁波を用いて前記液滴を加熱する、請求項1に記載の造形装置。
- 液滴の水平方向の周辺側の方が中心側よりも温度が高くなるように前記液滴を、電磁波を用いて加熱し、加熱箇所を移動させることで前記液滴を移動させる移動処理部と、
所定の造形領域内で前記液滴を部分的に固体に変化させることで造形を行う造形部と、を備え、
前記移動処理部は、前記電磁波の一部をマスクで遮断することで、前記液滴の水平方向の周辺側の方が中心側よりも温度が高くなるように前記液滴を加熱する、
造形装置。 - 液滴の水平方向の周辺側の方が中心側よりも温度が高くなるように前記液滴を加熱し、加熱箇所を移動させることで前記液滴を移動させる移動処理部と、
所定の造形領域内で前記液滴を部分的に固体に変化させることで造形を行う造形部と、を備え、
前記移動処理部は、前記液滴を移動させた後、移動後の液滴を冷却してから、前記液滴の水平方向の周辺側の方が中心側よりも温度が高くなるようにする加熱を終了する、
造形装置。 - 液滴の水平方向の周辺側の方が中心側よりも温度が高くなるように前記液滴を加熱し、加熱箇所を移動させることで前記液滴を移動させる移動処理部と、
所定の造形領域内で前記液滴を部分的に固体に変化させることで造形を行う造形部と、を備え、
前記移動処理部は濡れ性を変えるパターン加工が施された面上にて前記液滴を移動させる、
造形装置。 - 液滴の周囲を円形に囲む環状の領域に電磁波を照射するまたはヒータにより熱を供給することで前記液滴の水平方向の周辺側の方が中心側よりも温度が高くなるように前記液滴を加熱し、前記電磁波を照射するまたは前記ヒータにより熱を供給する前記環状の領域を移動させることで前記液滴を移動させる移動処理部を備える液滴移動装置。
- 液滴の周囲を円形に囲む環状の領域に電磁波を照射するまたはヒータにより熱を供給することで前記液滴の水平方向の周辺側の方が中心側よりも温度が高くなるように前記液滴を加熱し、前記電磁波を照射するまたは前記ヒータにより熱を供給する前記環状の領域を移動させることで前記液滴を移動させる工程と、
所定の造形領域内で前記液滴を部分的に固体に変化させることで造形を行う工程と、
を含む目的物生産方法。 - 液滴の周囲を円形に囲む環状の領域に電磁波を照射するまたはヒータにより熱を供給することで前記液滴の水平方向の周辺側の方が中心側よりも温度が高くなるように前記液滴を加熱し、前記電磁波を照射するまたは前記ヒータにより熱を供給する前記環状の領域を移動させることで前記液滴を移動させる工程を含む液滴移動方法。
- コンピュータに、
液滴の周囲を円形に囲む環状の領域に電磁波を照射するまたはヒータにより熱を供給することで前記液滴の水平方向の周辺側の方が中心側よりも温度が高くなるように前記液滴を加熱し、前記電磁波を照射するまたは前記ヒータにより熱を供給する前記環状の領域を移動させる工程と、
所定の造形領域内で前記液滴を部分的に固体に変化させることで造形を行う工程と、
を実行させるためのプログラム。 - コンピュータに、
液滴の周囲を円形に囲む環状の領域に電磁波を照射するまたはヒータにより熱を供給することで前記液滴の水平方向の周辺側の方が中心側よりも温度が高くなるように前記液滴を加熱し、前記電磁波を照射するまたは前記ヒータにより熱を供給する前記環状の領域を移動させる工程
を実行させるためのプログラム。 - レーザの照射箇所を移動させて、液滴の外形に沿う円弧状の領域、または前記円弧状の領域の一部である複数の箇所に前記レーザを繰り返し照射して加熱することで前記液滴に所定形状の温度勾配を生じさせ、当該温度勾配に基づいて前記液滴を温度の低い側に移動させる移動処理部と、
所定の造形領域内で前記液滴を部分的に固体に変化させることで造形を行う造形部と、
を備える造形装置。 - 前記移動処理部は、複数の前記液滴のそれぞれに対して時分割で前記レーザを繰り返し照射することで、それら複数の液滴を同時に移動させる、請求項11に記載の造形装置。
- 前記移動処理部は、前記レーザの照射箇所をガルバノミラーで移動させることにより前記温度勾配を生じさせる
請求項11または請求項12に記載の造形装置。 - レーザの照射箇所を移動させて、液滴の外形に沿う円弧状の領域、または前記円弧状の領域の一部である複数の箇所に前記レーザを繰り返し照射して加熱することで前記液滴に所定形状の温度勾配を生じさせ、当該温度勾配に基づいて前記液滴を温度の低い側に移動させる移動処理部、
を備える液滴移動装置。 - レーザの照射箇所を移動させて、液滴の外形に沿う円弧状の領域、または前記円弧状の領域の一部である複数の箇所に前記レーザを繰り返し照射して加熱することで前記液滴に所定形状の温度勾配を生じさせ、当該温度勾配に基づいて前記液滴を温度の低い側に移動させるステップと、
所定の造形領域内で前記液滴を部分的に固体に変化させることで造形を行うステップと、
を有する造形方法。 - レーザの照射箇所を移動させて、液滴の外形に沿う円弧状の領域、または前記円弧状の領域の一部である複数の箇所に前記レーザを繰り返し照射して加熱することで前記液滴に所定形状の温度勾配を生じさせ、当該温度勾配に基づいて前記液滴を温度の低い側に移動させるステップと、
を有する液滴移動方法。 - コンピュータを、
レーザの照射箇所を移動させて、液滴の外形に沿う円弧状の領域、または前記円弧状の領域の一部である複数の箇所に前記レーザを繰り返し照射して加熱することで前記液滴に所定形状の温度勾配を生じさせ、当該温度勾配に基づいて前記液滴を温度の低い側に移動させる移動処理部、
所定の造形領域内で前記液滴を部分的に固体に変化させることで造形を行う造形部、
として機能させるための造形プログラム。 - コンピュータを、
レーザの照射箇所を移動させて、液滴の外形に沿う円弧状の領域、または前記円弧状の領域の一部である複数の箇所に前記レーザを繰り返し照射して加熱することで前記液滴に所定形状の温度勾配を生じさせ、当該温度勾配に基づいて前記液滴を温度の低い側に移動させる移動処理部、
として機能させるための液滴移動プログラム。
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