JP7310805B2 - 炭化珪素エピタキシャル基板および炭化珪素半導体装置の製造方法 - Google Patents
炭化珪素エピタキシャル基板および炭化珪素半導体装置の製造方法 Download PDFInfo
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Description
まず本開示の実施形態の概要について説明する。本明細書の結晶学的記載においては、個別方位を[]、集合方位を<>、個別面を()、集合面を{}でそれぞれ示す。結晶学上の指数が負であることは、通常、数字の上に”-”(バー)を付すことによって表現されるが、本明細書では数字の前に負の符号を付すことによって結晶学上の負の指数を表現する。
以下、本開示の実施形態の詳細について説明する。以下の説明では、同一または対応する要素には同一の符号を付し、それらについて同じ説明は繰り返さない。
図1に示されるように、本実施形態に係る炭化珪素エピタキシャル基板100は、主表面14と、外縁部19とを有している。主表面14は、第1方向101および第2方向102の各々の方向に沿って2次元的に広がっている。外縁部19は、主表面14を取り囲んでいる。外縁部19は、たとえばオリエンテーションフラット17と、円弧状部18とを有している。オリエンテーションフラット17は、第1方向101に沿って延在している。円弧状部18は、オリエンテーションフラット17に連なっている。
次に、複合欠陥3の測定方法について説明する。基底面転位40を有する複合欠陥3の観察には、たとえば株式会社フォトンデザイン社製のフォトルミネッセンスイメージング装置(型番:PLI-200)が用いられる。炭化珪素エピタキシャル基板100の被測定領域に対して励起光が照射されると、被測定領域からフォトルミネッセンス光が観測される。励起光源としては、たとえば水銀キセノンランプが使用される。光源からの励起光は、313nmのバンドパスフィルターを通過した後、被測定領域に照射される。750nm以上の波長を有するフォトルミネッセンス光が、カメラ等の受光素子に到達する。以上のように、被測定領域のフォトルミネッセンス画像が撮影される。
次に、本実施形態に係る炭化珪素エピタキシャル基板100の製造装置200の構成について説明する。
次に、本実施形態に係る炭化珪素エピタキシャル基板100の製造方法について説明する。
次に、本実施形態に係る炭化珪素半導体装置300の製造方法について説明する。
まず、サンプル1~8に係る炭化珪素エピタキシャル基板100が準備された。サンプル1~4に係る炭化珪素エピタキシャル基板100を比較例とした。サンプル5~8に係る炭化珪素エピタキシャル基板100を実施例とした。サンプル1~8に係る炭化珪素エピタキシャル基板は、以下の条件を除き、上述した炭化珪素エピタキシャル基板100の製造方法に従って製造された。サンプル1~4に係る炭化珪素エピタキシャル基板100は、製造条件Aを用いて製造された。サンプル5~8に係る炭化珪素エピタキシャル基板100は、製造条件Bを用いて製造された。サンプル1~8に係る炭化珪素エピタキシャル基板100の直径は、150mmであった。
次に、サンプル1~8に係る炭化珪素エピタキシャル基板100において、複合欠陥の有無を観察した。複合欠陥3の観察は、上述の複合欠陥3の測定方法に従って行われた。炭化珪素エピタキシャル基板100に複合欠陥3が存在していた場合には、複合欠陥3に外接する四角形5の全面積(第2面積)を主表面14の面積(第1面積)で除することにより、第2面積を第1面積で除した値が算出された。第1面積は、7.5×7.5×3.14(cm2)とした。
表1は、サンプル1~8に係る炭化珪素エピタキシャル基板100の各々における第2面積を第1面積で除した値を示している。炭化珪素エピタキシャル膜20の厚みを15μm以上の場合において、複合欠陥3が観察された。一方、炭化珪素エピタキシャル膜20の厚みを12μm以下の場合には、複合欠陥3が観察されなかった。表1に示されるように、サンプル3および4に係る炭化珪素エピタキシャル基板100の各々における第2面積を第1面積で除した値は、0.001よりも大きかった。一方、サンプル7および8に係る炭化珪素エピタキシャル基板100の各々における第2面積を第1面積で除した値は、0.001以下であった。
Claims (5)
- 炭化珪素基板と、
前記炭化珪素基板上にある炭化珪素エピタキシャル膜と、
前記炭化珪素エピタキシャル膜にある複合欠陥とを備え、
前記炭化珪素エピタキシャル膜の主表面は、{0001}面に対して2°以上6°以下のオフ角で傾斜した面であり、
前記複合欠陥は、拡張欠陥と基底面転位とを含み、
前記拡張欠陥は、前記炭化珪素基板と前記炭化珪素エピタキシャル膜との境界に位置する起点から<11-20>方向に延在する第1領域と、<1-100>方向に沿って延在する第2領域とを有し、
<1-100>方向における前記第1領域の幅は、前記起点から前記第2領域に向かうにつれて拡がっており、
前記拡張欠陥は、前記炭化珪素エピタキシャル膜を構成する炭化珪素のポリタイプとは異なるポリタイプの炭化珪素により構成されており、
前記基底面転位は、前記起点に連なりかつ<1-100>方向に沿って延在する第3領域と、<1-100>方向に対して交差する方向に沿って延在する第4領域とを有し、
前記主表面に対して垂直な方向に見て、前記第4領域の端部は前記第2領域に沿った直線上に位置しており、
前記主表面の面積を第1面積とし、前記複合欠陥に外接する四角形の面積を第2面積とした場合、前記第2面積を前記第1面積で除した値は、0.001以下であり、
前記複合欠陥は、前記主表面の中心を中心とし、かつ前記主表面の半径の2/3の半径を有する円の内部のみに位置している、炭化珪素エピタキシャル基板。 - 前記炭化珪素エピタキシャル膜の厚みは、15μm以上である、請求項1に記載の炭化珪素エピタキシャル基板。
- 前記起点には、炭化珪素粒子がある、請求項1または請求項2に記載の炭化珪素エピタキシャル基板。
- 前記起点には、炭素粒子がある、請求項1または請求項2に記載の炭化珪素エピタキシャル基板。
- 請求項1~請求項4のいずれか1項に記載の炭化珪素エピタキシャル基板を準備する工程と、
前記炭化珪素エピタキシャル基板を加工する工程と、を備える、炭化珪素半導体装置の製造方法。
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