JP7302046B2 - 超薄型銅箔とその作製方法 - Google Patents
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Description
<先行技術文献>
<特許文献>
<特許文献1> 中国特許出願公開第112226790号明細書
(1)金属箔担体の表面に有機層を吸着させる(ステップ(1)):
シクロヘキサノール六リン酸と2-チオウラシルの混合水溶液に金属箔担体を浸漬して吸着させ、有機層吸着用担体を得る。
(2)吸着した有機層の表面に合金層を成膜する(ステップ(2)):
電流密度が25~30A/dm2、電解液温度が48~50℃、pHが4.5~5.0で、有機層の表面に合金層を成膜させ、
前記電解液は、希土類元素のPrとNdを含むタングステン-ニッケル電解液である。
(3)合金層の表面に超薄型銅箔層を成膜する(ステップ(3)):
成膜電解液は、リグニンスルホン酸ナトリウムとキトサンオリゴ糖を含む硫酸銅電解液である。
さらに、前記シクロヘキサノール六リン酸の濃度が1~15g/Lであり、前記2-チオウラシルの濃度が1~8g/Lである。
さらに、前記金属箔が銅箔である。
厚さが35μmの銅箔を成膜担体とし、担体を酸洗処理を行い、担体表面の酸化物及び不純物を除去した後、洗浄処理後の担体銅箔をシクロヘキサノール六リン酸及び2-チオウラシルの混合水溶液〔シクロヘキサノール六リン酸の濃度が1g/Lで、2-チオウラシル濃度が1g/Lである〕に浸漬し、室温で70s浸漬処理し、取り出した後、脱イオン水で洗い、有機層を吸着する担体を得る。
タングステン-ニッケル合金電解液の調製;電解液中の硫酸ニッケルの濃度が20g/Lで、タングステン酸ナトリウム濃度が35g/Lで、希土類元素Prの添加量が0.05g/L、Ndの添加量は0.03g/Lで、電解液のphが4.5である。
成膜プロセスパラメータ;電流密度が25A/dm2で、電解液温度が48℃で、成膜時間は5sである。
初回浸漬銅プロセスパラメータ;電解液中のCu2+の濃度が65g/Lで、硫酸の濃度が145g/Lで、リグニンスルホン酸ナトリウムの濃度が0.1g/Lで、キトサンオリゴ糖の濃度が10g/Lで、電解液の温度が45℃である。電流密度が10A/dm2で、成膜時間8sである。
第二回浸漬銅プロセスパラメータ;電解液には、Cu2+の濃度が20g/Lで、硫酸の濃度が110g/Lで、リグニンスルホン酸ナトリウムの濃度が0.1g/Lで、キトサンオリゴ糖の濃度が10g/Lで、電解液温度が48℃である。電流密度が20A/dm2で、成膜時間が8sである。
第三回浸漬銅プロセスパラメータ;電解液には、Cu2+の濃度が60g/Lで、硫酸の濃度が125g/Lで、リグニンスルホン酸ナトリウムの濃度が0.1g/Lで、キトサンオリゴ糖の濃度が10g/Lで、電解液温度が45℃である。電流密度が10A/dm2で、成膜時間が10sである。
厚さが35μmの銅箔を成膜担体とし、担体を酸洗処理を行い、担体表面の酸化物及び不純物を除去した後、洗浄処理後の担体銅箔をシクロヘキサノール六リン酸及び2-チオウラシルの混合水溶液〔シクロヘキサノール六リン酸の濃度が5g/Lで、2-チオウラシル濃度が5g/Lである〕に浸漬し、室温で75s浸漬処理し、取り出した後、脱イオン水で洗い、有機層を吸着する担体を得る。
タングステン-ニッケル合金電解液の調製;電解液中の硫酸ニッケルの濃度が22g/Lで、タングステン酸ナトリウム濃度が30g/Lで、希土類元素Prの添加量が0.06g/L、Ndの添加量は0.04g/Lで、電解液のphが5.0である。
成膜プロセスパラメータ;電流密度が28A/dm2で、電解液温度が49℃で、成膜時間は5sである。
初回浸漬銅プロセスパラメータ;電解液中のCu2+の濃度が68g/Lで、硫酸の濃度が150g/Lで、リグニンスルホン酸ナトリウムの濃度が0.2g/Lで、キトサンオリゴ糖の濃度が25g/Lで、電解液の温度が48℃である。電流密度が20A/dm2で、成膜時間9sである。
第二回浸漬銅プロセスパラメータ;電解液には、Cu2+の濃度が30g/Lで、硫酸の濃度が120g/Lで、リグニンスルホン酸ナトリウムの濃度が0.2g/Lで、キトサンオリゴ糖の濃度が25g/Lで、電解液温度が45℃である。電流密度が35A/dm2で、成膜時間が10sである。
厚さが35μmの銅箔を成膜担体とし、担体を酸洗処理を行い、担体表面の酸化物及び不純物を除去した後、洗浄処理後の担体銅箔をシクロヘキサノール六リン酸及び2-チオウラシルの混合水溶液〔シクロヘキサノール六リン酸の濃度が10g/Lで、2-チオウラシル濃度が6g/Lである〕に浸漬し、室温で73s浸漬処理し、取り出した後、脱イオン水で洗い、有機層を吸着する担体を得る。
タングステン-ニッケル合金電解液の調製;電解液中の硫酸ニッケルの濃度が23g/Lで、タングステン酸ナトリウム濃度が25g/Lで、希土類元素Prの添加量が0.06g/L、Ndの添加量は0.04g/Lで、電解液のphが5.0である。
成膜プロセスパラメータ;電流密度が30A/dm2で、電解液温度が50℃で、成膜時間は6sである。
初回浸漬銅プロセスパラメータ;電解液中のCu2+の濃度が65g/Lで、硫酸の濃度が145g/Lで、リグニンスルホン酸ナトリウムの濃度が0.2g/Lで、キトサンオリゴ糖の濃度が15g/Lで、電解液の温度が45℃である。電流密度が35A/dm2で、成膜時間10sである。
第二回浸漬銅プロセスパラメータ;電解液には、Cu2+の濃度が25g/Lで、硫酸の濃度が110g/Lで、リグニンスルホン酸ナトリウムの濃度が0.1g/Lで、キトサンオリゴ糖の濃度が20g/Lで、電解液温度が48℃である。電流密度が25A/dm2で、成膜時間が9sである。
第三回浸漬銅プロセスパラメータ;電解液には、Cu2+の濃度が63g/Lで、硫酸の濃度が130g/Lで、リグニンスルホン酸ナトリウムの濃度が0.1g/Lで、キトサンオリゴ糖の濃度が20g/Lで、電解液温度が46℃である。電流密度が20/dm2で、成膜時間が9sである。
厚さが35μmの銅箔を成膜担体とし、担体を酸洗処理を行い、担体表面の酸化物及び不純物を除去した後、洗浄処理後の担体銅箔をシクロヘキサノール六リン酸及び2-チオウラシルの混合水溶液〔シクロヘキサノール六リン酸の濃度が12g/Lで、2-チオウラシル濃度が8g/Lである〕に浸漬し、室温で72s浸漬処理し、取り出した後、脱イオン水で洗い、有機層を吸着する担体を得る。
タングステン-ニッケル合金電解液の調製;電解液中の硫酸ニッケルの濃度が25g/Lで、タングステン酸ナトリウム濃度が20g/Lで、希土類元素Prの添加量が0.05g/L、Ndの添加量は0.04g/Lで、電解液のphが5.0である。
成膜プロセスパラメータ;電流密度が30A/dm2で、電解液温度が48℃で、成膜時間は6sである。
初回浸漬銅プロセスパラメータ;電解液中のCu2+の濃度が66g/Lで、硫酸の濃度が148g/Lで、リグニンスルホン酸ナトリウムの濃度が0.1g/Lで、キトサンオリゴ糖の濃度が20g/Lで、電解液の温度が46℃である。電流密度が30A/dm2で、成膜時間10sである。
第二回浸漬銅プロセスパラメータ;電解液には、Cu2+の濃度が30g/Lで、硫酸の濃度が115g/Lで、リグニンスルホン酸ナトリウムの濃度が0.1g/Lで、キトサンオリゴ糖の濃度が25g/Lで、電解液温度が46℃である。電流密度が30A/dm2で、成膜時間が8sである。
第三回浸漬銅プロセスパラメータ;電解液には、Cu2+の濃度が62g/Lで、硫酸の濃度が125g/Lで、リグニンスルホン酸ナトリウムの濃度が0.2g/Lで、キトサンオリゴ糖の濃度が25g/Lで、電解液温度が47℃である。電流密度が25/dm2で、成膜時間が10sである。
<比較例1>
<比較例2>
<比較例3>
<比較例4>
Claims (3)
- (1)金属箔担体の表面に有機層を吸着させるステップ(1)であって、
シクロヘキサノール六リン酸と2-チオウラシルの混合水溶液に前記金属箔担体を浸漬して吸着させ、有機層吸着用担体を得て、
(2)吸着した前記有機層の表面に合金層を成膜するステップ(2)であって、
電流密度が25~30A/dm 2、電解液の温度が48~50℃、pHが4.5~5.0で、前記有機層の表面に前記合金層を成膜させ、
前記電解液は、希土類元素のPrとNdを含むタングステン-ニッケル電解液であり、
(3)前記合金層の表面に薄型銅箔層を成膜するステップ(3)であって、
成膜電解液は、リグニンスルホン酸ナトリウムとキトサンオリゴ糖を含む硫酸銅電解液であり、
前記シクロヘキサノール六リン酸の濃度が1~15g/Lであり、前記2-チオウラシルの濃度が1~8g/Lであり、
前記希土類元素のPrとNdを含む前記タングステン-ニッケル電解液には、硫酸ニッケルの濃度が20~35g/Lで、タングステン酸ナトリウムの濃度が20~35g/Lで、前記希土類元素Prの濃度が0.05~0.06g/Lで、Ndの濃度は0.03-0.04g/Lであり、
前記ステップ(3)の前記成膜電解液中の前記リグニンスルホン酸ナトリウムの濃度は0.1~0.2g/L、前記キトサンオリゴ糖の濃度は10~25g/Lであり、
前記ステップ(3)には、前記薄型銅箔層は3回成膜で、第1回成膜電解液のCu 2+濃度が65~68g/Lで、硫酸濃度が145~150g/Lで、第2回成膜電解液のCu 2+濃度が20~30g/Lで、硫酸濃度が110~120g/Lで、第3回成膜電解液のCu 2+濃度が60~65g/Lで、硫酸濃度が120~130g/Lで行う、
というステップを含むこと、を特徴とする厚さが3.5~4.0μmの超薄型銅箔の作製方法。 - 前記ステップ(1)の浸漬吸着を室温で70~75秒間行うこと、を特徴とする請求項1に記載の厚さが3.5~4.0μmの超薄型銅箔の作製方法。
- 前記金属箔が銅箔であること、を特徴とする請求項1に記載の厚さが3.5~4.0μmの超薄型銅箔の作製方法。
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