KR20220113266A - 초박형 동박 및 그 제작방법 - Google Patents

초박형 동박 및 그 제작방법 Download PDF

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Abstract

본 발명은 초박형 동박 및 그 제작방법을 개시한 것으로서, 초박형 동박 제작기술 분야에 속한다. 본 발명은 피틴산 및 2-티오우라실을 유기층으로 금속호일 캐리어위에 흡착시킨 후, 이 유기층위에 희토류 원소 Pr과 Nd를 함유하는 텅스텐-니켈 합금을 침적시키며, 그다음 동 침적을 3번 진행하여, 초박형 동박을 제작하며, 본 발명의 동 침적 전해액중에는 리그노술폰산나트륨과 올리고키토산의 복합 첨가제를 함유하고, 이 동 침적 전해액은 합금층의 희토류 원소 Pr과 Nd의 작용하에서, 초박형 동박의 경량화 및 균일한 침적을 실현하며, 초박형 동박의 4μm한계를 돌파하여, 3.5μm 초경량화를 실현하고, 인장성능이 510MPa까지 달하고, 연신율이 최고 10%까지 달하게 함으로써, 경량화 초박형 동박에 뛰어난 성능을 부여한다.

Description

초박형 동박 및 그 제작방법{ULTRA-THIN COPPER FOIL AND THE PREPARATION METHOD THEREOF}
본 발명은 초박형 동박 제작기술 분야에 관한 것으로서, 특히 초박형 동박 및 그 제작방법에 관한 것이다.
초박형 동박의 생산공정은 미세적이고, 전문적이며, 각 부분의 관리가 엄격한 제조 기술로서, 전자제품이 고도로 집적화, 소형화 됨에 따라, 회로판은 다중층화, 고집적화 되고, 회로판 인쇄도형의 선폭과 간격도 점점 미세화 되고 있어, 회로판의 믿음직한 성능에 대해 더욱 높은 요구가 제기되고 있다. 예를 들어, 미세회로중에 사용되는 박형화 동박은 보다 뛰어난 박리성을 가지고, 회로 에칭가공중에 생기는 "사이드 에칭" 현상을 효과적으로 줄이거나 피면할 수 있어, 박리가 가능한 초박형 동박은 고급화, 다중층화, 박형화, 고밀도화한 회로판에 널리 사용될 것으로 예상되며, 특히 최근 리튬 이온전지가 널리 사용됨에 따라, 초박형 동박의 발전에 더욱 넓은 시장공간을 제공하고 있다.
초박형 동박은 리튬전지중에서 음극 활성물질의 캐리어 역할을 할 뿐만 아니라 음극 전자 플로우의 수집과 전송체의 역할도 하므로, 동박의 두께가 얇으면 얇을 수록 에너지 향상 작용도 더 크다. 에너지밀도가 260wh/kg일 경우, 1wh/kg에 대응하는 셀의 총 질량을 약 3.85kg으로서, 주류 제품 8μm동박 15%중량 비례로 계산할 때, 동박의 중량은 약 0.58kg이다. 만약 동박의 두께를 6μm로 줄였을 때, 총 면적이 변하지 않는 상황하에서, 동박의 중량은 25% 저하되고, 50% 공극율 동박 기술을 사용함으로 인해, 에너지밀도의 환산결과 287wh/kg로 높아 지며, 8μm 동박에 비해 대전량이 더 많아 진다. 하지만 6μm미만 동박의 가공공정이 어렵기 때문에, 국내 제조업자들로 부터 생산되는 초박형 동박 제품은 주로 6~9μm로서, 인장강도 300~450MPa, 연신율 3%초, 가공전 표면 윤곽도 Rz 2μm를 실현할 수 있다.
기존 초박동박의 두께는 요구를 만족할 수 없고, 인장강도 및 연신율이 안 좋아, 현재 일부 연구팀들은 이미 6μm동박의 시험제작에 성공하고, 최저 4μm 초박형 동박제품을 만들어 낼 수 있고, 동박의 표면조도가 Ra이 0.35μm 미만, 인장강도가 최고 408MPa, 연신율이 최고 9.5%까지 달할 수 있어, 초박형 동박은 각 방면에서 뛰어난 성능을 얻을 수 있으나, 더욱 얇고, 더욱 가볍게, 원가를 줄이고 효율을 높이려면, 동박에 대한 더한층 경량화가 현단계 동박 산업의 중요한 발전방향으로 되고 있으며, 어떻게 박형 동박의 두께를 더욱 얇게 함과 동시에 성능면에서의 더욱 큰 돌파를 실현하여, 다양화한 생산의 요구를 만족할 것인가 하는 것이 초박형 동박 사업 발전의 중점, 난점으로 되고 있다.
본발명은 기존기술중에 존재하는 상기 문제들을 해결하여, 초박형 동박의 두께를 더욱 얇게 하고, 성능을 더한층 향상시켜, 초박형 동박의 다양화, 고성능의 수요를 만족하기 위하여, 초박형 동박 및 그 제작방법을 제공하는 것을 목적으로 한다.
(1) 금속호일 캐리어를 피틴산 및 2-티오우라실의 혼합 수용액중에서 침지 및 흡착시켜, 유기층이 흡착된 캐리어를 얻는 금속호일 캐리어 표면에 유기층을 흡착시키는 단계,
(2) 전류밀도가 25~30A/dm2, 희토류 원소 Pr과 Nd를 함유하는 텅스텐-니켈 전해액의 온도가 48~50℃ pH 4.5~5.0 조건하에서, 흡착된 유기층 표면에 합금층을 침적시키는 단계, 및
(3) 침적 전해액은 리그노술폰산나트륨과 올리고키토산을 함유하는 황산동 전해액인 합금층 표면에 초박형 동박층을 침적시키는 단계를 포함하는 초박형 동박의 제작방법을 제공한다.
바람직하게, 상기 피틴산의 농도는 1~15g/L이고, 상기 2-티오우라실의 농도는 1~8g/L이다.
바람직하게, 단계(1)중의 침지 및 흡착은 실온 조건하에서 진행되고, 그 시간은 70~75s이다.
바람직하게, 상기 금속호일은 동박이다.
바람직하게, 상기 희토류 원소 Pr과 Nd를 함유하는 텅스텐-니켈 전해액중, 황산 니켈의 농도는 20~35g/L이고, 텅스텐산 나트륨의 농도는 20~35g/L이며, 희토류 원소 Pr의 농도는 0.05~0.06g/L이고, Nd의 농도는 0.03~0.04g/L이다.
바람직하게, 단계(3)의 침적 전해액중의 리그노술폰산나트륨의 농도는 0.1~0.2g/L이고, 올리고키토산의 농도는 10~25g/L이다.
바람직하게, 단계(3)은 초박형 동박을 3번 침적시키는 것으로서, 첫번째 침적 전해액중의 Cu2+농도는 65~68g/L이고, 황산의 농도는 145~150g/L이며, 두번째 침적 전해액중의 Cu2+농도는 20~30g/L이고, 황산의 농도는 110~120g/L이며, 세번째 침적 전해액중의 Cu2+농도는 60~65g/L이고, 황산의 농도는 120~130g/L이다.
본 발명은 상기 제작방법에 의해 제작되는 초박형 동박을 더 제공한다.
본 발명은 먼저 깨끗한 35μm캐리어 동박위에 유기층을 흡착시키고, 유기층은 피틴산 및 2-티오우라실을 원료로 하며, 그 다음 이 유기층위에 희토류 원소 Pr과 Nd를 함유하는 텅스텐-니켈 합금을 침적시키는데, 희토류 원소 Pr과 Nd를 도입하여 동박의 박리강도를 높이고, 초박형 동박의 표면 결정입자를 미세화하는 동시에, 피틴산과 티오펜을 공동으로 유기층으로 하기 때문에, 유기층 자신이 비교적 좋은 박리 잠재력을 가지며, 합금층과 복합될 때, 희토류 원소 Pr과 Nd는 극소량의 첨가량만으로 뛰어난 박리 효과를 달성할 수 있어, 박리제가 적게 흡착되어 박리가 어렵고, 박리제가 많이 흡착되어 전도성이 떨어짐으로 인해, 후속되는 전기침적 단계에 영향을 주는 문제를 효과적으로 해결할 수 있다.
현재 리그노술폰산나트륨은 산업상 널리 사용되는 분산제 또는 윤활제로서, 본 발명은 창조적으로 리그노술폰산나트륨과 올리고키토산을 복합 첨가제로 하여, 황산동 전해액중에 첨가하여, 합금층중 극소량의 희토류 원소 Pr과 Nd의 작용하에서, 초박형 동박의 경량화와 균일한 침적을 실현하고, 초박형 동박의 4μm의 한계를 돌파하여 3.5μm의 초 경량화를 실현하며, 인장강도가 510MPa 까지 달하게 하고, 연신율이 최고로 10% 까지 달하게 함으로써, 경량화 초박형 동박에 뛰어난 성능을 부여할 수 있다.
본 발명의 제작방법은 안정적인 제어가 가능하고, 복합 동박이 뛰어난 박리강도를 가지게 하며, 제작되는 초박형 동박이 3.5μm의 초박효과를 실현할 수 있어, 주류 초박형 동박의 8μm, 6μm, 4μm의 한계를 돌파함과 동시에, 인장성능, 연신율 등 면에서 뛰어난 성능을 나타낼 수 있어, 초박형 동박의 발전 및 초박형 동박의 발전에 의뢰하는 많은 산업들에 대한 현저한 추진 의의를 가진다.
아래 본 발명의 여러가지 예시성 실시형태에 대해 구체적으로 설명하기로 하는데, 이 상세한 설명들은 본 발명에 대해 제한하는 것이라고 이해해서는 안되고, 본 발명의 어느 방면, 특성 및 실시형태에 대한 더욱 상세한 설명이라고 이해해야 한다.
본 발명중의 용어들은 단지 특수한 실시형태를 설명하기 위한 것이지, 본 발명을 제한하기 위한 것은 아니다. 그리고, 본 발명중의 데이터 범위는 구체적으로 개시된 이 범위내의 상한치와 하한치 사이의 각 중간치라고 이해해야 한다. 모든 진술치 또는 진술범위내의 중간치 및 모든 기타 진술치 또는 상기 범위내의 중간치 사이의 각 비고적 작은 범위들도 모두 본 발명에 포괄된다. 이러한 비교적 작은 범위의 상한과 하한은 단독으로 범위내에 포괄 되거나 배제될 수도 있다.
특별한 설명이 없는 한, 본서에 사용되는 모든 기술 및 과학 용어들은 본 발명에기재된 분야의 기술자들이 보통 이해하는 바와 같은 의미를 가진다. 본 발명에는 바람직한 방법과 자재들만 설명되었지만, 본 발명의 실시 또는 실험중에는 본서에 기재된 것과 상사하거나 같은 임의의 방법과 자재를 사용할 수 있다. 본 명세서중에 언급된 모든 문헌들은 인용 및 병합을 통해, 문헌과 관련되는 방법 및/또는 재재의 개시 또는 설명에 사용할 있다. 병합문헌과 충돌이 생길 경우에는 본 명세서의 내용에 준한다.
본 발명의 범위 또는 취지를 벗어나지 않는 상황하에서, 본 발명 명세서의 구체적인 실시형태에 대한 여러가지 개진과 변동은 본 분야의 기술자에게는 번연한 것이다. 본 발명의 명시서로 부터 얻어지는 기타 실시형태는 기술자에게는 번연한 것이다. 본 발명의 명세서와 실시예는 단지 예시적으로 제공되는 것이다.
본서에 사용되는 "포함", "포괄", "가진다", "함유"등 용어들은 모두 오픈식 용어들로서, 즉 "포함하지만, 이에 한하지 않는다"라는 의미를 가진다.
본 발명중의 "몫"은 특별한 설명이 없는한, 모두 "중량몫"을 말한다.
[실시예 1]
(1) 동박 캐리어 표면에 유기층을 흡착
두께가 35μm인 동박을 침적 캐리어로, 캐리어에 대한 산세정 처리를 진행하여, 표면의 산화물 및 불순물을 제거한 후, 청정처리가 된 캐리어 동박을 피틴산 및 2-티오우라실의 혼합 수용액(피틴산의 농도 1g/L, 2-티오우라실의 농도 1g/L)중에 담그어, 실온에서 70s 담근 후, 꺼내어 탈이온수로 세척하여, 유기층이 흡착된 캐리어를 얻는다.
(2) 캐리어에 흡착된 유기층위에 합금층을 침적
텅스텐-니켈 합금 전해액을 배합: 전해액중의 황산 니켈 농도는 20g/L이고, 텅스텐산 나트륨의 농도는 35g/L이며, 희토류 원소 Pr의 농도는 0.05g/L이고, Nd의 농도는 0.03g/L이며, 전해액의 pH4.5이다.
침적공정 파라미터: 전류밀도 25A/dm2, 전해액 온도 48℃ 침적시간 5s.
(3) 합금층 표면에 초박형 동박층을 3번 침적
첫번째 동 침적공정 파라미터: 전해액중의 Cu2+농도는 65g/L이고, 황산의 농도는 145g/L이며, 리그노술폰산나트륨의 농도는 0.1g/L이고, 올리고키토산의 농도는 10g/L이며, 전해액의 온도는 45℃ 전류밀도는 10 A/dm2, 침적시간은 8s이다.
두번째 동 침적공정 파라미터: 전해액중의 Cu2+농도는 20g/L이고, 황산의 농도는 110g/L이며, 리그노술폰산나트륨의 농도는 0.1g/L이고, 올리고키토산의 농도는 10g/L이며, 전해액의 온도는 48℃ 전류밀도는 20 A/dm2, 침적시간은 8s이다.
세번째 동 침적공정 파라미터: 전해액중의 Cu2+농도는 60g/L이고, 황산의 농도는 125g/L이며, 리그노술폰산나트륨의 농도는 0.1g/L이고, 올리고키토산의 농도는 10g/L이며, 전해액의 온도는 45℃ 전류밀도는 10 A/dm2, 침적시간은 10s이다.
[실시예 2]
(1) 동박 캐리어 표면에 유기층을 흡착
두께가 35μm인 동박을 침적 캐리어로, 캐리어에 대한 산세정 처리를 진행하여, 표면의 산화물 및 불순물을 제거한 후, 청정처리가 된 캐리어 동박을 피틴산 및 2-티오우라실의 혼합 수용액(피틴산의 농도 5g/L, 2-티오우라실의 농도 5g/L)중에 담그어, 실온에서 75s 담근 후, 꺼내어 탈이온수로 세척하여, 유기층이 흡착된 캐리어를 얻는다.
(2) 캐리어에 흡착된 유기층위에 합금층을 침적
텅스텐-니켈 합금 전해액을 배합: 전해액중의 황산 니켈 농도는 22g/L이고, 텅스텐산 나트륨의 농도는 30g/L이며, 희토류 원소 Pr의 농도는 0.06g/L이고, Nd의 농도는 0.04g/L이며, 전해액의 pH5.0이다.
침적공정 파라미터: 전류밀도 28A/dm2, 전해액 온도 49℃ 침적시간 5s.
(3) 합금층 표면에 초박형 동박층을 3번 침적
첫번째 동 침적공정 파라미터: 전해액중의 Cu2+농도는 68g/L이고, 황산의 농도는 150g/L이며, 리그노술폰산나트륨의 농도는 0.2g/L이고, 올리고키토산의 농도는 25g/L이며, 전해액의 온도는 48℃ 전류밀도는 20A/dm2, 침적시간은 9s이다.
두번째 동 침적공정 파라미터: 전해액중의 Cu2+농도는 30g/L이고, 황산의 농도는 120g/L이며, 리그노술폰산나트륨의 농도는 0.2g/L이고, 올리고키토산의 농도는 25g/L이며, 전해액의 온도는 45℃ 전류밀도는 35A/dm2, 침적시간은 10s이다.
세번째 동 침적공정 파라미터: 전해액중의 Cu2+농도는 65g/L이고, 황산의 농도는 120g/L이며, 리그노술폰산나트륨의 농도는 0.2g/L이고, 올리고키토산의 농도는 15g/L이며, 전해액의 온도는 48℃ 전류밀도는 35A/dm2, 침적시간은 8s이다.
[실시예 3]
(1) 동박 캐리어 표면에 유기층을 흡착
두께가 35μm인 동박을 침적 캐리어로, 캐리어에 대한 산세정 처리를 진행하여, 표면의 산화물 및 불순물을 제거한 후, 청정처리가 된 캐리어 동박을 피틴산 및 2-티오우라실의 혼합 수용액(피틴산의 농도 10g/L, 2-티오우라실의 농도 6g/L)중에 담그어, 실온에서 73s 담근 후, 꺼내어 탈이온수로 세척하여, 유기층이 흡착된 캐리어를 얻는다.
(2) 캐리어에 흡착된 유기층위에 합금층을 침적
텅스텐-니켈 합금 전해액을 배합: 전해액중의 황산 니켈 농도는 23g/L이고, 텅스텐산 나트륨의 농도는 25g/L이며, 희토류 원소 Pr의 농도는 0.06g/L이고, Nd의 농도는 0.04g/L이며, 전해액의 pH5.0이다.
침적공정 파라미터: 전류밀도 30A/dm2, 전해액 온도 50℃ 침적시간 6s.
(3) 합금층 표면에 초박형 동박층을 3번 침적
첫번째 동 침적공정 파라미터: 전해액중의 Cu2+농도는 65g/L이고, 황산의 농도는 145g/L이며, 리그노술폰산나트륨의 농도는 0.2g/L이고, 올리고키토산의 농도는 15g/L이며, 전해액의 온도는 45℃ 전류밀도는 35A/dm2, 침적시간은 10s이다.
두번째 동 침적공정 파라미터: 전해액중의 Cu2+농도는 25g/L이고, 황산의 농도는 110g/L이며, 리그노술폰산나트륨의 농도는 0.1g/L이고, 올리고키토산의 농도는 20g/L이며, 전해액의 온도는 48℃ 전류밀도는 25A/dm2, 침적시간은 9s이다.
세번째 동 침적공정 파라미터: 전해액중의 Cu2+농도는 63g/L이고, 황산의 농도는 130g/L이며, 리그노술폰산나트륨의 농도는 0.1g/L이고, 올리고키토산의 농도는 20g/L이며, 전해액의 온도는 46℃ 전류밀도는 20A/dm2, 침적시간은 9s이다.
[실시예 4]
(1) 동박 캐리어 표면에 유기층을 흡착
두께가 35μm인 동박을 침적 캐리어로, 캐리어에 대한 산세정 처리를 진행하여, 표면의 산화물 및 불순물을 제거한 후, 청정처리가 된 캐리어 동박을 피틴산 및 2-티오우라실의 혼합 수용액(피틴산의 농도 12g/L, 2-티오우라실의 농도 8g/L)중에 담그어, 실온에서 72s 담근 후, 꺼내어 탈이온수로 세척하여, 유기층이 흡착된 캐리어를 얻는다.
(2) 캐리어에 흡착된 유기층위에 합금층을 침적
텅스텐-니켈 합금 전해액을 배합: 전해액중의 황산 니켈 농도는 25g/L이고, 텅스텐산 나트륨의 농도는 20g/L이며, 희토류 원소 Pr의 농도는 0.05g/L이고, Nd의 농도는 0.04g/L이며, 전해액의 pH5.0이다.
침적공정 파라미터: 전류밀도 30A/dm2, 전해액 온도 48℃ 침적시간 6s.
(3) 합금층 표면에 초박형 동박층을 3번 침적
첫번째 동 침적공정 파라미터: 전해액중의 Cu2+농도는 66g/L이고, 황산의 농도는 148g/L이며, 리그노술폰산나트륨의 농도는 0.1g/L이고, 올리고키토산의 농도는 20g/L이며, 전해액의 온도는 46℃ 전류밀도는 30A/dm2, 침적시간은 10s이다.
두번째 동 침적공정 파라미터: 전해액중의 Cu2+농도는 30g/L이고, 황산의 농도는 115g/L이며, 리그노술폰산나트륨의 농도는 0.1g/L이고, 올리고키토산의 농도는 25g/L이며, 전해액의 온도는 46℃ 전류밀도는 30A/dm2, 침적시간은 8s이다.
세번째 동 침적공정 파라미터: 전해액중의 Cu2+농도는 62g/L이고, 황산의 농도는 125g/L이며, 리그노술폰산나트륨의 농도는 0.2g/L이고, 올리고키토산의 농도는 25g/L이며, 전해액의 온도는 47℃ 전류밀도는 25A/dm2, 침적시간은 10s이다.
[비교예 1]
실시예1과 다른점이라면, 벤조트리아졸을 유기층의 원료로 사용하는 것이다.
[비교예 2]
실시예1과 다른점이라면, 합금중에 희토류 원소를 첨가하지 않는 것이다.
[비교예 3]
실시예1과 다른점이라면, 합금중의 희토류 원소 Nd를 La로 바꾸는 것이다.
[비교예 4]
실시예1과 다른점이라면, 동 침적 전해액중에 리그노술폰산나트륨을 첨가하지 않는 것이다.
60KN압력, 175℃하에서, 실시예 1~4 및 비교예 1~4에 의해 제작된 복합 호일을 프리프랙위에 압착하여, 복합 다중층판을 제작한 후, 만능시험기로 박리강도 시험을 진행한다. 시험성적은 표1과 같다.
실시예1 실시예2 실시예3 실시예4 비교예1 비교예2 비교예3 비교예4
박리
강도
(kg/cm)		 0.14 0.13 0.14 0.14 0.06 0.06 0.07 0.08
시험성적으로 부터 볼때, 본 발명 실시예 1~4의 캐리어와 초박형 동박 사이의 박리 효과가 좋고, 박리강도는 0.14 kg/cm에 달하며, 박리후 초박형 동박의 표면은 반들반들 윤이 나고 깨끗하였으며, 비교예 1~4의 캐리어와 초박형 동박 사이의 박리강도는 낮고, 그중, 비교예1~2에는 초박형 동박이 캐리어에 잔류하는 현상이 존재한다.
실시예 1~4 및 비교예 3~4를 박리한 후의 초박형 동박에 대한 성능 시험(비교예 1~2에는 초박형 동박이 캐리어에 잔류하는 현상이 존재하여, 온전한 초박형 동박이 얻어지지 않기 때문에, 성능시험을 진행하지 않는다.)을 진행한다. 그 시험성적은 표2와 같다.
두께(μm) 인장성능(MPa) 연신율(%) 표면조도Ra(μm)
실시예1 3.5 510 10.1 0.30
실시예2 3.6 508 9.98 0.32
실시예3 3.5 512 10.0 0.31
실시예4 3.5 512 9.97 0.30
비교예3 3.8 412 8.6 0.42
비교예4 4.0 401 8.2 0.44
상기 실시예는 본 발명의 최량의 실시 방식에 대한 설명으로서, 본 발명의 보호범위는 이에 제한되지 않으며, 본 발명의 취지를 벗어나지 않는 전제하에서, 본 분야의 보통 기술자가 본 발명의 기술수단에 대해 실시한 각종 변동과 개진은 모두 본 발명의 특허청구의 범위에 확정된 보호범위에 포함된다.

Claims (5)

  1. (1) 금속호일 캐리어를 피틴산 및 2-티오우라실의 혼합 수용액중에서 침지 및 흡착시켜, 유기층이 흡착된 캐리어를 얻는 금속호일 캐리어 표면에 유기층을 흡착시키는 단계,
    (2) 전류밀도가 25~30A/dm2, 희토류 원소 Pr과 Nd를 함유하는 텅스텐-니켈 전해액의 온도가 48~50℃ pH 4.5~5.0 조건하에서, 흡착된 유기층 표면에 합금층을 침적시키는 단계, 및
    (3) 침적 전해액은 리그노술폰산나트륨과 올리고키토산을 함유하는 황산동 전해액인 합금층 표면에 초박형 동박층을 침적시키는 단계를 포함하고,
    상기 피틴산의 농도는 1~15g/L이고, 상기 2-티오우라실의 농도는 1~8g/L이며,
    상기 희토류 원소 Pr과 Nd를 함유하는 텅스텐-니켈 전해액중, 황산 니켈의 농도는 20~35g/L이고, 텅스텐산 나트륨의 농도는 20~35g/L이며, 희토류 원소 Pr의 농도는 0.05~0.06g/L이고, Nd의 농도는 0.03~0.04g/L이며,
    단계(3)의 침적 전해액중의 리그노술폰산나트륨의 농도는 0.1~0.2g/L이고, 올리고키토산의 농도는 10~25g/L인
    것을 특징으로 하는 초박형 동박의 제작방법.
  2. 청구항1에 있어서,
    단계(1)중의 침지 및 흡착은 실온 조건하에서 진행되고, 그 시간은 70~75초인 것을 특징으로 하는 초박형 동박의 제작방법.
  3. 청구항1에 있어서,
    상기 금속호일은 동박인 것을 특징으로 하는 초박형 동박의 제작방법.
  4. 청구항1에 있어서,
    단계(3)은 초박형 동박을 3번 침적시키는 것으로서, 첫번째 침적 전해액중의 Cu2+농도는 65~68g/L이고, 황산의 농도는 145~150g/L이며, 두번째 침적 전해액중의 Cu2+농도는 20~30g/L이고, 황산의 농도는 110~120g/L이며, 세번째 침적 전해액중의 Cu2+농도는 60~65g/L이고, 황산의 농도는 120~130g/L인 것을 특징으로 하는 초박형 동박의 제작방법.
  5. 청구항1 내지 청구항4 중 어느 한 항에 따른 제작방법에 의해 제작된 초박형 동박.
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