JP7301636B2 - 太陽電池、多接合型太陽電池、太陽電池モジュール及び太陽光発電システム - Google Patents

太陽電池、多接合型太陽電池、太陽電池モジュール及び太陽光発電システム Download PDF

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Description

実施形態は太陽電池、多接合型太陽電池、太陽電池モジュール及び太陽光発電システムに関する。
高効率な太陽電池として多接合型(タンデム)太陽電池がある。タンデム太陽電池は、波長帯毎に分光感度が高いセルを用いることができるため、単接合よりも高効率化できる。またタンデム太陽電池のトップセルとして、安価な材料でかつバンドギャップが広い亜酸化銅化合物などが期待されている。
特開2018-46196号公報
実施形態は、特性を向上させた太陽電池、多接合型太陽電池、太陽電池モジュール及び太陽光発電システムを提供する。
実施形態の太陽電池は、透明な第1電極と、第1電極上に亜酸化銅を主体とする光電変換層と、光電変換層上に、n型層と、n型層上に透明な第2電極とを有し、光電変換層のn型層側には、混合領域又は/及び混合層が存在し、混合領域及び混合層は、第1グループ、第2グループ及び第3グループの元素を含み、第1グループは、Zn及びSnからなる群より選ばれる1種以上の元素であり、第2グループは、Y、Sc、V、Cr、Mn、Fe、Ni、Zr、B、Al、Ga、Nb、Mo、F、Cl、Br及びIからなる群より選ばれる1種以上の元素であり、第3グループは、Ge及びSiからなる群より選ばれる1種以上の元素である。混合領域及び混合層中の前記第1グループの元素の平均濃度を濃度aとし、混合領域及び混合層中の第2グループの元素の平均濃度を濃度bとし、混合領域及び混合層中の第3グループの元素の平均濃度を濃度cとし、濃度a、濃度b及び濃度cは、a+b>cを満たし、濃度a及び濃度cは、c/a<1を満たす。
実施形態の太陽電池の断面概念図。 実施形態の太陽電池の断面概念図。 実施形態の太陽電池の分析スポットを説明する図。 実施形態の多接合太陽電池の断面概念図。 実施形態の太陽電池モジュールの概念図。 実施形態の太陽電池モジュールの断面概念図。 実施形態の太陽光発電システムの概念図。 実施形態の車両の概念図。
(第1実施形態)
第1実施形態は、太陽電池に関する。図1に、第1実施形態の太陽電池100の概念図を示す。図1に示すように、本実施形態に係る太陽電池100は、第1電極1と、第1電極1上に光電変換層2と、光電変換層2上にn型層3と、n型層3上に第2電極4と、を備える。第1電極1と光電変換層2との間やn型層3と第2電極4との間には、図示しない中間層が含まれていてもよい。光は第1電極1側から入射しても第2電極4側から入射してもよい。光が太陽電池100に入射して発電することができる。
(第1電極)
実施形態の第1電極1は、光電変換層2側に設けられた透明な導電層である。図1では、第1電極1は、光電変換層2と直接接している。第1電極1としては、透明導電膜、透明導電膜と金属膜を積層したものが好ましい。透明導電膜としては、酸化インジウムスズ(Indium Tin Oxide;ITO)、アルミニウムドープ酸化亜鉛(Al-doped Zinc Oxide;AZO)、ボロンドープ酸化亜鉛(Boron-doped Zinc Oxide;BZO)、ガリウムドープ酸化亜鉛(Gallium-doped Zinc Oxide;GZO)、フッ素ドープ酸化スズ(Fluorine-doped Tin Oxide;FTO)、アンチモンドープ酸化スズ(Antimony-doped Tin Oxide;ATO)、チタンドープ酸化インジウム(Titanium-doped Indium Oxide;ITiO)、酸化インジウム酸化亜鉛(Indium Zinc Oxide;IZO)や酸化インジウムガリウム亜鉛(Indium Gallium Zinc Oxide;IGZO)、タンタルドープ酸化スズ(Ta-doped Tin Oxide;SnO:Ta)、ニオブドープ酸化スズ(Nb-doped Tin Oxide;SnO:Nb)、タングステンドープ酸化スズ(W-doped Tin Oxide;SnO:W)、モリブデンドープ酸化スズ(Mo-doped Tin Oxide;SnO:Mo)、フッ素ドープ酸化スズ(F-doped Tin Oxide;SnO2:F)、水素ドープ酸化インジウム(Hydrogen-doped Indium Oxide;IOH)など特に限定されない。透明導電膜は、複数の膜を持つ積層膜であってもよく、上記酸化物の他に酸化スズなどの膜が積層膜に含まれていてもよい。酸化スズなどの膜へのドーパントとしては、In、Si、Ge、Ti、Cu、Sb、Nb、F、Ta、W、Mo、F、Clなど特に限定されない。金属膜としては、Mo、Au、Cu、Ag、Al、TaやWの膜など特に限定されない。また、第1電極1は、透明導電膜の下にドット状、ライン状もしくはメッシュ状の金属を設けた電極でもよい。このとき、ドット状、ライン状もしくはメッシュ状の金属は、透明導電膜の光電変換層2とは反対側に配置される。ドット状、ライン状もしくはメッシュ状の金属は、透明導電膜に対して開口率が50%以上であることが好ましい。ドット状、ライン状もしくはメッシュ状の金属は、Mo、Au、Cu、Ag、Al、TaやWなど特に限定されない。第1電極1に金属膜を用いる場合、透過性の観点から5nm以下程度の膜厚とすることが好ましい。
(光電変換層)
実施形態の光電変換層2は、第1電極1とn型層3の間に配置された半導体層である。光電変換層2としては、化合物半導体層が好ましい。光電変換層2としては、亜酸化銅を主体(90wt%以上)とする半導体層が挙げられる。光電変換層2が厚くなると透過率が低下し、また、スパッタでの成膜を考慮すると10μm以下が実用的であり、化合物半導体層としては、亜酸化銅を主体とする半導体層が好ましい。光電変換層2の厚さは、800nm以上10μm以下であることが好ましい。化合物半導体層としては、亜酸化銅等を主体とする半導体層には、添加物が含まれていてもよい。
光電変換層2のn型層3側の領域(混合領域)又は光電変換層2のn型層3側の層(混合層)には、第1グループの元素、第2のグループの元素及び第3グループの元素が含まれることが好ましい。図1の概念図には、光電変換層2のn型層3側に混合領域2aが存在する形態を示す。図2の概念図には、光電変換層2のn型層3側に混合層2bが存在する形態を示す。光電変換層2は、混合領域2a及び/又は混合層2bを含む半導体層である。
第1グループの元素は、Zn及びSnからなる群より選ばれる1種以上の元素であることが好ましい。第1グループの元素は、n型層3にも含まれる。
第2グループの元素は、Y、Sc、V、Cr、Mn、Fe、Ni、Zr、B、Al、Ga、Nb、Mo、Ti、F、Cl、Br及びIからなる群より選ばれる1種以上の元素であることが好ましい。
第3グループの元素は、Ge及びSiからなる群より選ばれる1種以上の元素であることが好ましい。更に第グループの元素は、n型層3にも含まれる。
第1グループの元素は、光電変換層2において、存在する領域を高抵抗化する働きを有すると考えられる。第2グループの元素についても、第1グループ同様に、光電変換層2において、存在する領域を高抵抗化する働きを持つと考えられる。これに対し、第3グループの元素は、光電変換層2において、存在する領域を低抵抗化する働きを持つと考えられる。
第1グループの元素、第2グループの元素及び第3グループの元素の3種が含まれていることでVoc及びFF(フィルファクター)が向上する。3つのグループのうち、1つのグループの元素が含まれていないとVoc及びFFは向上しないか、あまり向上しない。そのため、混合領域及び混合層に第1グループの元素、第2グループの元素及び第3グループの元素の3種が含まれていることが重要である。
混合領域2a及び混合層2b中に、このような働きを持つと考えられる各グループの元素が含まれる場合にVoc及びFFが向上する理由について、以下のとおり推察できる。
混合領域2a及び混合層2bの抵抗が、高抵抗化し、抵抗値が適正な範囲に達すると、pn接合領域における光生成キャリア(電子と正孔)の生成に有利に作用してVocとFFが向上する。しかし、混合領域2a及び混合層2bの抵抗が適正範囲を外れて高抵抗化したり、あるいは逆に低抵抗化したりすると、pn接合領域での光生成キャリアの再結合が増加してVocとFFが低下すると推察できる。そのため、混合領域2a及び混合層2bに第1グループ、第2グループ及び第3グループの元素が存在することで、混合領域2a及び混合層2bの抵抗値を適正な値に保つことができるため、Voc及びFFが向上させることができると推察できる。
n型層3を構成する第1グループと第3グループの元素の一部が、混合領域2a及び混合層2bに拡散して、n型層3の組成を変えた場合に、混合領域2a及び混合層2b中での第1グループと第3グループの元素濃度が変化する。このように第1グループと第3グループの混合領域2a及び混合層2b中での元素濃度が変化することで、混合領域2a及び混合層2bにおける第1グループの元素の平均濃度を濃度a、第3グループの元素の平均濃度を濃度cとしたときに、Voc及びFFをより向上させるために、濃度a及び濃度cは、c<aを満たすことでVocとFFの向上し、c<a<100cを満たすことがVocとFFの向上により好ましい。
ここで、第1グループと第3グループの元素は全てn型層の構成元素であるため、n型層と光電変換層の伝導帯のエネルギーマッチングを改善するために、n型層中で第3グループの元素の濃度を第1グループの元素の濃度より高い場合、つまり、混合領域2a及び混合層2b中に含まれる濃度a、濃度cがc>aとなる場合には、VocとFFは低下する。
そこで、新たに第2グループの元素を混合領域2a及び混合層2bに存在させると、混合領域2a及び混合層2bにおける第2グループの元素の平均濃度を濃度bとしたときに、第1、第2、3グループの元素を同時に含む場合は、a<cであっても、a+b>cを満たすことでVoc及びFFを向上させることができる。さらにc<a+b<100cを満たすことがより好ましい。
更に、第1電極側の光電変換層2(混合領域2a及び混合層2bは除く)に含まれる第1グループ、第2グループの元素の平均濃度は、濃度a及び濃度bよりも小さいことが好ましい。このような濃度関係にあることで、VocとFFは更に向上する。これは、第1電極1側の光電変換層が適正範囲を超えて高抵抗化すると、光電変換層2が全体的に絶縁体化する方向に変化する。そのため、光生成キャリアが再結合し易くなると推察されるためである。
混合領域2aの厚さは1nm以上20nm以下が好ましく、1nm以上10nm以下がより好ましい。透過型電子顕微鏡(Transmission Electron Microscope;TEM)で200万倍に拡大し、光電変換層2とn型層3の界面近傍を観察し、エネルギー分散型X線分光法(Energy Dispersive X-ray Spectroscopy;EDX)で光電変換層2とn型層3の界面を含む光電変換層2側の元素分析を行なって、CuO、第1から第3グループの元素を確認することによって、混合領域2aの存在を確認し、混合領域2aに含まれる第1から第3グループの元素の種類及び濃度を求めることができる。
混合領域2aは、光電変換層2の成膜中において、光電変換層2の表面部分を成膜しているときに第1から第3グループの元素を添加するか、n型層3から元素を拡散させるかのどちらか一方又は両方によって作られる。第1から第3グループの元素は、いずれも添加する元素とn型層3から拡散させる元素の少なくとも一方に含まれる。
第1から第3グループの元素を光電変換層2のn型層3側に添加して、かつ、n型層3から元素を拡散させる場合、第1グループの元素は、添加する元素とn型層3から拡散させる元素の少なくとも一方に含まれ、第2グループの元素は、添加する元素とn型層3から拡散させる元素の少なくとも一方に含まれ、第3グループの元素は、添加する元素とn型層3から拡散させる元素の少なくとも一方に含まれる。第1から第3グループの元素を光電変換層2のn型層3側に添加して、かつ、n型層3から元素を拡散させる場合、第1グループの元素は、n型層3から拡散させる元素に含まれることが好ましく、第2グループの元素は、添加する元素に含まれることが好ましく、第3グループの元素は、n型層3から拡散させる元素に含まれることが好ましい。
混合層2bの厚さは、1nm以上20nm以下が好ましく、1nm以上10nm以下がより好ましい。TEMで200万倍に拡大し、光電変換層2とn型層3の界面近傍を観察し、光電変換層2のn型層3側に薄い層の存在を確認し、EDXで薄い層の元素分析を行なって、CuO、第1から第3グループの元素を確認することによって、混合層2bの存在を確認し、混合層2bに含まれる第1から第3グループの元素の種類及び濃度を求めることができる。
混合層2bは、一度、第1から第3グループの元素を含まない条件で光電変換層2を成膜し、その後、再び、光電変換層2を成膜する際に第1から第3グループの3種類の元素が添加されるように亜酸化銅を薄く成膜することによって形成される。
混合層2bと混合領域2aの両方が存在していてもよい。このとき、混合領域2aと混合層2bは直接的に接しており、混合層2bがn型層3側に位置しており、混合領域2aが第1電極1側に位置していることが好ましい。
濃度測定は、次の分析スポットを測定して求める。図3の分析スポットを説明する図に示すように太陽電池100を第2電極4側から見た表面の9スポットA1~A9を定める。各スポットは、正方形状で少なくとも5mmの領域を有する。そして、図3に示すように、長さD1と幅D2(D1≧D2)とした場合、太陽電池100の幅方向に対向する2辺からそれぞれ内側にD3(=D1/10)の距離のところに仮想線を引き、太陽電池100の長さ方向に対向する2辺からそれぞれ内側にD4(=D2/10)の距離のところに仮想線を引き、さらに、太陽電池100の中心を通る幅方向に平行な仮想線を引き、太陽電池100の中心を通る長さ方向に平行な仮想線を引き、仮想線の交点9点を中心とする領域を観察スポットA1~A9とする。SEMやTEMによる観察断面は、図3の面に対して垂直方向である。なお、太陽電池100を第2電極4側からみた形状が矩形ではない場合は、内接する矩形を基準に分析スポットを定めることが好ましい。濃度は、9点の分析スポットにおける値の最大値と最小値を除く7点の分析結果の平均値とする。
第1から第3グループの元素のうち、1つのグループの元素又は2つのグループの元素を光電変換層2のn型層3側に含有させた場合は、FF及びVocの向上は軽微であり、元素の添加による効果は変換効率の向上に実質的に寄与しない。第1グループの元素、第2のグループの元素及び第3グループの元素の3種類の元素を添加した場合に、FF及びVocが向上し、変換効率が向上する。第1から第3グループの元素の3種類の元素が光電変換層2のn型層3側に含まれることで、Vocが向上し、さらに、太陽電池100のI-V特性が理想的な特性に近づく。
光電変換層2はスパッタリングによって作製する。スパッタ中の雰囲気は、Arなどの不活性ガスと酸素ガスとの混合ガス雰囲気とすることが好ましい。太陽電池100を保持する基板の種類にもよるが、基板温度を100℃以上600℃以下に加熱して、Cuを含むターゲットを用いてスパッタする。例えば、スパッタリングの温度や酸素分圧を調整することによって大粒径な亜酸化銅薄膜を第1電極1上に成膜することができる。太陽電池100を作製するために用いる基板(第1電極1を保持する基板)としては、アクリル、ポリイミド、ポリカーボネート、ポリエチレンテレフタレート(PET)ポリプロピレン(PP)、フッ素系樹脂(ポリテトラフルオロエチレン(PTFE)、パーフルオロエチレンプロペンコポリマー(FEP)、エチレンテトラフルオロエチレンコポリマー(ETFE)、ポリクロロトリフルオロエチレン(PCTFE)、パーフルオロアルコキシアルカン(PFA)など)、ポリアリレート、ポリサルフォン、ポリエーテルサルフォンやポリエーテルイミドなどの有機系の基板やソーダライムガラス、白板ガラス、化学強化ガラスや石英などの無機系の基板を用いることができる。
光電変換層2の95%以上は亜酸化銅で構成されていることが好ましい。光電変換層2の98%以上が亜酸化銅で構成されていることがより好ましい。つまり、光電変換層2は、CuOやCu等の異相をほとんど(実質的に)含まないことが好ましい。光電変換層2には、CuOやCuなどの異相が含まれず、実質的にCuO単相の薄膜であると、非常に高い透光性となるため好ましい。光電変換層2が実質的にCuOの単相であることは、フォトルミネッセンス法(Photo Luminescence;PL法)により測定することで確認できる。
(n型層)
n型層3は、光電変換層2と第2電極4の間に配置されたn型の半導体層である。n型層3の光電変換層2を向く面は、光電変換層2のn型層3を向く面と直接的に接していることが好ましい。n型層3は、Zn又は/及びSnの中から選ばれた金属酸化物層であり、かつSi又は/及びGeを含んでいることが好ましい。つまり金属酸化物層は、ZnとZnの少なくとも一方及びSiとGeの少なくとも一方を含む金属酸化物層(n型層3)は、光電変換層2とn型層3との伝導帯のエネルギーマッチングを考慮して、Zn、Sn、Ge、Siの他に、Ga、Al、及びBからなる群より選ばれる1種以上の元素をさらに含む金属酸化物層であることがより好ましい。なお、光電変換層2とn型層3との伝導帯のエネルギーマッチングをさらに考慮して、上記以外の元素をn型層3に添加してもよい。
n型層3の膜厚は、典型的には、3nm以上100nm以下である。n型層3の厚さが3nm未満であるとn型層3のカバレッジが悪い場合にリーク電流が発生し、特性を低下させてしまう場合がある。カバレッジが良い場合は上記膜厚に限定されない。n型層3の厚さが50nmを超えるとn型層3の過度の高抵抗化による特性低下や、透過率低下による短絡電流低下が起こる場合がある。従って、n型層3の厚さは3nm以上20nm以下がより好ましく、5nm以上20nm以下がさらにより好ましい。
n型層3は、例えば、原子層堆積法(Atomic Layer Deposition;ALD)やスパッタ法などで成膜することができる。
光電変換層2の伝導帯下端(Conduction Band Minimum:CBM)の位置(Ecp(eV))とn型層3の伝導帯下の位置(Ecn(eV))の差である伝導帯オフセット(ΔE=Ecp-Ecn)は、-0.6eV以上0.2eV以下(-0.6eV≦ΔE≦+0.2eV)であることが好ましい。伝導帯オフセットが0より大きいとpn接合界面の伝導帯が不連続となりスパイクが生じる。伝導帯オフセットが0より小さいとpn接合界面の伝導帯が不連続となりクリフが生じる。スパイクは、光生成電子を第2電極から取り出す際のエネルギー障壁となり、クリフは取り出す光生成電子の電圧を下げるため、ともに絶対値が小さい方が好ましい。従って、伝導帯オフセットは、-0.4eV以上0.0eV以下(-0.4eV≦ΔE≦0.0eV)であることがより好ましい。ただし、ギャップ内準位を利用して伝導する場合はこの限りではない。CBMの位置は、以下の手法を用いて見積もることができる。電子占有準位の評価法である光電子分光により価電子帯上端(Valence Band Maximum:VBM)を実測し、続いて測定対象の材料のバンドギャップを仮定してCBMを算出する。しかしながら、実際のpn接合界面では、相互拡散や陽イオンの空孔発生など理想的な界面を維持していないため、バンドギャップが変化する可能性が高い。このため、CBMも直接的に光電子放出の逆過程を利用する逆光電子分光により評価することが好ましい。具体的には、太陽電池表面を低エネルギーイオンエッチングと正・逆光電子分光測定の繰り返しにより、pn接合界面の電子状態を評価できる。混合領域及び/または混合層に含まれる第1から第3グループの元素は、n型層3とのCBMの差を考慮して適宜選択される。
(第2電極)
実施形態の第2電極4は、n層上に設けられた透明な導電層である。第2電極4は、第1電極1で挙げた電極と同様の透明電極を用いることが好ましい。第2電極4は、透明導電膜の上にドット状、ライン状もしくはメッシュ状の金属を設けた電極でもよい。ドット状、ライン状もしくはメッシュ状の金属は、透明導電膜に対して開口率が50%以上であることが好ましい。ドット状、ライン状もしくはメッシュ状の金属は、Mo、Au、Cu、Ag、Al、TaやWなど特に限定されない。第2電極4に金属膜を用いる場合、透過性の観点から5nm以下程度の膜厚とすることが好ましい。第2電極4は、第1電極1で挙げた電極と同様の透明電極を用いることが好ましい。第2電極4としては他にも金属ワイヤーを含む取出電極が設けられた多層グラフェン等の他の透明電極を採用することもできる。
(反射防止膜)
実施形態の反射防止膜は、光電変換層2へ光を導入しやすくするための膜であって、第1電極1上又は第2電極4上の光電変換層2側とは反対側に形成されていることが好ましい。反射防止膜としては、例えば、MgFやSiOを用いることが望ましい。なお、実施形態において、反射防止膜を省くことができる。各層の屈折率に応じて膜厚を調整する必要があるが、70~130nm(好ましくは、80~120nm)程度の厚さの薄膜を蒸着することが好ましい。
(第2実施形態)
第2実施形態は、多接合型太陽電池に関する。図4に第2実施形態の多接合型太陽電池200の断面概念図を示す。図4の多接合型太陽電池200は、光入射側に第1実施形態の太陽電池(第1太陽電池)100と、第2太陽電池201を有する。第2太陽電池201の光電変換層のバンドギャップは、第1実施形態の太陽電池100の光電変換層3よりも小さいバンドギャップを有する。なお、実施形態の多接合型太陽電池は、3以上の太陽電池を接合させた太陽電池も含まれる。
第1実施形態の太陽電池100の光電変換層2のバンドギャップが約2.0eVであるため、第2太陽電池201の光電変換層のバンドギャップは、1.0eV以上1.4eV以下であることが好ましい。第2太陽電池201の光電変換層としては、Inの含有比率が高いCIGS系、CIT系及びCdTe系、酸化銅系のうちのいずれか1種以上の化合物半導体層又は結晶シリコンであることが好ましい。
第1実施形態に係る太陽電池100を第1太陽電池とすることで、第1太陽電池での意図しない波長域の光を吸収してしまうことによりボトムセル(第2太陽電池)の変換効率を低下させることを防ぐことができるので、効率の良い多接合型太陽電池とすることができる。
(第3実施形態)
第3実施形態は、太陽電池モジュールに関する。図5に第3実施形態の太陽電池モジュール300の斜視概念図を示す。図5の太陽電池モジュール300は、第1太陽電池モジュール301と第2太陽電池モジュール302を積層した太陽電池モジュールである。第1太陽電池モジュール301は、光入射側であり、第1実施形態の太陽電池100を用いている。第2太陽電池モジュール302には、第2太陽電池201を用いることが好ましい。
図6に太陽電池モジュール300の断面概念図を示す。図6では、第1太陽電池モジュール301の構造を詳細に示し、第2太陽電池モジュール302の構造は示していない。第2太陽電池モジュール302では、用いる太陽電池の光電変換層などに応じて適宜、太陽電池モジュールの構造を選択する。図6の太陽電池モジュールは、複数の太陽電池100(太陽電池セル)が横方向に並んで電気的に直列に接続した破線で囲われたサブモジュール303が複数含まれ、複数のサブモジュール303が電気的に並列もしくは直列に接続している。
太陽電池100は、スクライブされていて、隣り合う太陽電池100は、上部側の第2電極4と下部側の第1電極1が接続している。第3実施形態の太陽電池100も第1実施形態の太陽電池100と同様に、基板10、第1電極1、光電変換層2、n型層3と第2電極4を有する。
モジュール毎に出力電圧が異なると電圧の低い部分に電流が逆流したり、余計な熱を発生させたりすることがあるためモジュールの出力低下につながる。
また、本願の太陽電池を用いると各波長帯に適した太陽電池を用いることができるため、トップセルやボトムセルの太陽電池を単体で用いたときと比較して効率良く発電できるようになり、モジュールの全体の出力が増大するため望ましい。
モジュール全体の変換効率が高いと、照射された光エネルギーのうち、熱になるエネルギー割合を低くすることができる。そのためモジュール全体の温度が上昇による効率の低下を抑制することができる。
(第4実施形態)
第4実施形態は太陽光発電システムに関する。第3実施形態の太陽電池モジュール300は、第4実施形態の太陽光発電システムにおいて、発電を行う発電機として用いることができる。実施形態の太陽光発電システムは、太陽電池モジュールを用いて発電を行うものであって、具体的には、発電を行う太陽電池モジュールと、発電した電気を電力変換する手段と、発電した電気をためる蓄電手段又は発電した電気を消費する負荷とを有する。図7に実施形態の太陽光発電システム400の構成概念図を示す。図7の太陽光発電システムは、太陽電池モジュール401(300)と、電力変換装置402と、蓄電池403と、負荷404とを有する。蓄電池403と負荷404は、どちらか一方を省略しても良い。負荷404は、蓄電池403に蓄えられた電気エネルギーを利用することもできる構成にしてもよい。電力変換装置402は、変圧や直流交流変換などの電力変換を行う回路又は素子を含む装置である。電力変換装置402の構成は、発電電圧、蓄電池403や負荷404の構成に応じて好適な構成を採用すればよい。
太陽電池モジュール300に含まれる受光したサブモジュール301に含まれる太陽電池セルが発電し、その電気エネルギーは、コンバーター402で変換され、蓄電池403で蓄えられるか、負荷404で消費される。太陽電池モジュール401には、太陽電池モジュール401を常に太陽に向けるための太陽光追尾駆動装置を設けたり、太陽光を集光する集光体を設けたり、発電効率を向上させるための装置等を付加することが好ましい。
太陽光発電システム400は、住居、商業施設や工場などの不動産に用いられたり、車両、航空機や電子機器などの動産に用いられたりすることが好ましい。実施形態の変換効率に優れた太陽電池を太陽電池モジュール401に用いることで、発電量の増加が期待される。
太陽光発電システム400の利用例として車両を示す。図8に車両500の構成概念図を示す。図8の車両500は、車体501、太陽電池モジュール502、電力変換装置503、蓄電池504、モーター505とタイヤ(ホイール)506を有する。車体501の上部に設けられた太陽電池モジュール501で発電した電力は、電力変換装置503変換されて、蓄電池504にて充電されるか、モーター505等の負荷で電力が消費される。太陽電池モジュール501又は蓄電池504から供給される電力を用いてモーター505によってタイヤ(ホイール)506を回転させることにより車両500を動かすことができる。太陽電池モジュール501としては、多接合型ではなく、第1実施形態の太陽電池100を備えた第1太陽電池モジュールだけで構成されていてもよい。透過性のある太陽電池モジュール501を採用する場合は、車体501の上部に加え、車体501の側面に発電する窓として太陽電池モジュール501を使用することも好ましい。
以下、実施例に基づき本発明をより具体的に説明するが、本発明は以下の実施例に限定されるものではない。
(実施例1)
実施例1では、基板に白板ガラス基板を用い、裏面側の第1電極としてSbドープしたSnOを含む透明導電膜を用いる。第1電極上に酸素とアルゴンガスの混合ガス雰囲気中でスパッタリング法により基板を450℃で加熱して光電変換層として亜酸化銅化合物を成膜する。なお、亜酸化銅化合物層の成膜の最終段階でMnを添加する。その後、原子層堆積法により光電変換層上にn型層としてZn及びGeを含む金属酸化物層を堆積し、ZnとGeを光電変換層へ拡散させてZn(第1グループ)、Mn(第2グループ)及びGe(第3グループ)を含む約5nm厚の混合領域を形成する。その後表面側の第2電極としてAZO透明導電膜を堆積する。その上に反射防止膜としてMgFを堆積して太陽電池を得る。
AM1.5Gの光源を模擬したソーラーシミュレータを用い、その光源下で基準となるSiセルを用いて1sunになるように光量を調節する。気温は25℃。電圧をスイープし、電流密度(電流をセル面積で割ったもの)を測定する。横軸を電圧、縦軸を電流密度とした際に、横軸と交わる点が開放電圧Vocとなり、縦軸と交わる点が短絡電流密度Jscとなる。測定曲線上において、電圧と電流密度を掛け合わせ、最大になる点をそれぞれVmpp、Jmpp(マキシマムパワーポイント)とすると、FF=(Vmpp*Jmpp)/(Voc*Jsc)、効率Eff.=Voc*Jsc*FFで求まる。
得られる太陽電池の断面をTEM-EDXで観察し各元素の濃度を求める。
(実施例2)
光電変換層上にn型層として、Zn、Sn及びGeを含む金属酸化物層を堆積し、Zn、Sn及びGeを光電変換層へ拡散させてZn及びSn(第1グループ)、Mn(第2グループ)及びGe(第3グループ)を含む約5nm厚の混合領域を形成すること以外は実施例1と同様に太陽電池を作製し、評価する。
(実施例3)
光電変換層上にn型層として、Sn及びGeを含む金属酸化物層を堆積し、Sn及びGeを光電変換層へ拡散させてSn(第1グループ)、Mn(第2グループ)及びGe(第3グループ)を含む約5nm厚の混合領域を形成すること以外は実施例1と同様に太陽電池を作製し、評価する。
(実施例4)
亜酸化銅化合物層の成膜の最終段階でNbを添加して、Zn(第1グループ)、Nb(第2グループ)及びGe(第3グループ)を含む約5nm厚の混合領域を形成すること以外は実施例1と同様に太陽電池を作製し、評価する。
(実施例5)
亜酸化銅化合物層の成膜の最終段階でZrを添加して、Zn(第1グループ)、Zr(第2グループ)及びGe(第3グループ)を含む約5nm厚の混合領域を形成すること以外は実施例1と同様に太陽電池を作製し、評価する。
(実施例6)
亜酸化銅化合物層の成膜の最終段階でMoを添加して、Zn(第1グループ)、Mo(第2グループ)及びGe(第3グループ)を含む約5nm厚の混合領域を形成すること以外は実施例1と同様に太陽電池を作製し、評価する。
(実施例7)
亜酸化銅化合物層の成膜の最終段階でCrを添加して、Zn(第1グループ)、Cr(第2グループ)及びGe(第3グループ)を含む約5nm厚の混合領域を形成すること以外は実施例1と同様に太陽電池を作製し、評価する。
(実施例8)
亜酸化銅化合物層の成膜の最終段階でClを添加して、Zn(第1グループ)、Cl(第2グループ)及びGe(第3グループ)を含む約5nm厚の混合領域を形成すること以外は実施例1と同様に太陽電池を作製し、評価する。
(実施例9)
亜酸化銅化合物層の成膜の最終段階でIを添加して、Zn(第1グループ)、I(第2グループ)及びGe(第3グループ)を含む約5nm厚の混合領域を形成すること以外は実施例1と同様に太陽電池を作製し、評価する。
(実施例10)
亜酸化銅化合物層の成膜の最終段階でFeを添加して、Zn(第1グループ)、Fe(第2グループ)及びGe(第3グループ)を含む約5nm厚の混合領域を形成すること以外は実施例1と同様に太陽電池を作製し、評価する。
(実施例11)
亜酸化銅化合物層の成膜の最終段階でNiを添加して、Zn(第1グループ)、Ni(第2グループ)及びGe(第3グループ)を含む約5nm厚の混合領域を形成すること以外は実施例1と同様に太陽電池を作製し、評価する。
(実施例12)
亜酸化銅化合物層の成膜の最終段階でAlを添加して、Zn(第1グループ)、Al(第2グループ)及びGe(第3グループ)を含む約5nm厚の混合領域を形成すること以外は実施例1と同様に太陽電池を作製し、評価する。
(実施例13)
亜酸化銅化合物層の成膜の最終段階でGaを添加して、Zn(第1グループ)、Ga(第2グループ)及びGe(第3グループ)を含む約5nm厚の混合領域を形成すること以外は実施例1と同様に太陽電池を作製し、評価する。
(実施例14)
亜酸化銅化合物層の成膜の最終段階でYを添加して、Zn(第1グループ)、Y(第2グループ)及びGe(第3グループ)を含む約5nm厚の混合領域を形成すること以外は実施例1と同様に太陽電池を作製し、評価する。
(実施例15)
亜酸化銅化合物層の成膜の最終段階でScを添加して、Zn(第1グループ)、Sc(第2グループ)及びGe(第3グループ)を含む約5nm厚の混合領域を形成すること以外は実施例1と同様に太陽電池を作製し、評価する。
(実施例16)
亜酸化銅化合物層の成膜の最終段階でVを添加して、Zn(第1グループ)、V(第2グループ)及びGe(第3グループ)を含む約5nm厚の混合領域を形成すること以外は実施例1と同様に太陽電池を作製し、評価する。
(実施例17)
亜酸化銅化合物層の成膜の最終段階でFを添加して、Zn(第1グループ)、F(第2グループ)及びGe(第3グループ)を含む約5nm厚の混合領域を形成すること以外は実施例1と同様に太陽電池を作製し、評価する。
(実施例18)
亜酸化銅化合物層の成膜の最終段階でBrを添加して、Zn(第1グループ)、Br(第2グループ)及びGe(第3グループ)を含む約5nm厚の混合領域を形成すること以外は実施例1と同様に太陽電池を作製し、評価する。
(実施例19)
亜酸化銅化合物層の成膜の最終段階でBを添加して、Zn(第1グループ)、B(第2グループ)及びGe(第3グループ)を含む約5nm厚の混合領域を形成すること以外は実施例1と同様に太陽電池を作製し、評価する。
(実施例20)
光電変換層上にn型層として、Zn及びSiを含む金属酸化物層を堆積し、Zn及Siを光電変換層へ拡散させてZn(第1グループ)、Mn(第2グループ)及びSi(第3グループ)を含む約5nm厚の混合領域を形成すること以外は実施例1と同様に太陽電池を作製し、評価する。
(実施例21)
光電変換層上にn型層として、Zn及びSiを含む金属酸化物層を堆積し、Zn及Siを光電変換層へ拡散させてZn(第1グループ)、Nb(第2グループ)及びSi(第3グループ)を含む約5nm厚の混合領域を形成すること以外は実施例4と同様に太陽電池を作製し、評価する。
(実施例22)
光電変換層上にn型層として、Zn及びSiを含む金属酸化物層を堆積し、Zn及Siを光電変換層へ拡散させてZn(第1グループ)、Zr(第2グループ)及びSi(第3グループ)を含む約5nm厚の混合領域を形成すること以外は実施例5と同様に太陽電池を作製し、評価する。
(実施例23)
亜酸化銅化合物層の成膜の最終段階でZnとMnを添加して、Zn(第1グループ)、Mn(第2グループ)及びGe(第3グループ)を含む約5nm厚の混合領域を形成すること以外は実施例1と同様に太陽電池を作製し、評価する。
(実施例24)
亜酸化銅化合物層の成膜の最終段階でMnとGeを添加して、Zn(第1グループ)、Mn(第2グループ)及びGe(第3グループ)を含む約5nm厚の混合領域を形成すること以外は実施例1と同様に太陽電池を作製し、評価する。
(実施例25)
亜酸化銅化合物層の成膜の最終段階でZn、MnとGeを添加して、Zn(第1グループ)、Mn(第2グループ)及びGe(第3グループ)を含む約5nm厚の混合領域を形成すること以外は実施例1と同様に太陽電池を作製し、評価する。
(実施例26)
混合領域の厚さが1nmになるように、亜酸化銅化合物層の成膜の最終段階でのMn添加の時期及び拡散条件を変更すること以外は、実施例1と同様に太陽電池を作製し、評価する。
(実施例27)
混合領域の厚さが10nmになるように、亜酸化銅化合物層の成膜の最終段階でのMn添加の時期及び拡散条件を変更すること以外は、実施例1と同様に太陽電池を作製し、評価する。
(実施例28)
混合領域の厚さが20nmになるように、亜酸化銅化合物層の成膜の最終段階でのMn添加の時期及び拡散条件を変更すること以外は、実施例1と同様に太陽電池を作製し、評価する。
(実施例29)
Mnを最終段階に添加した亜酸化銅化合物層上に、Cuを主体とし、Zn、Mn及びGeを微量添加させた5nm厚の混合層を形成し、Zn及びGeを混合層及びn型層から拡散させて、混合領域(Zn(第1グループ)、Mn(第2グループ)及びGe(第3グループ)を含む)と混合層(Zn(第1グループ)、Mn(第2グループ)及びGe(第3グループ)を含む)を含む光電変換層を形成すること以外は、実施例1と同様に太陽電池を作製し、評価する。
(実施例30)
Mnを最終段階に添加せずに亜酸化銅化合物層を成膜し、亜酸化銅化合物層上にCuを主体とし、Zn、Mn及びGeを微量添加させた5nm厚の混合層を形成して、混合領域がなく、混合層(Zn(第1グループ)、Mn(第2グループ)及びGe(第3グループ)を含む)を含む光電変換層を形成すること以外は、実施例1と同様に太陽電池を作製し、評価する。
(実施例31)
光電変換層上にn型層として、Zn、Sn及びSiを含む金属酸化物層を堆積し、Zn、Sn及Siを光電変換層へ拡散させてZn及びSn(第1グループ)、Mn(第2グループ)及びSi(第3グループ)を含む約5nm厚の混合領域を形成すること以外は実施例1と同様に太陽電池を作製し、評価する。
(実施例32)
光電変換層上にn型層として、Sn及びSiを含む金属酸化物層を堆積し、Sn及Siを光電変換層へ拡散させてSn(第1グループ)、Mn(第2グループ)及びSi(第3グループ)を含む約5nm厚の混合領域を形成すること以外は実施例1と同様に太陽電池を作製し、評価する。
(実施例33)
光電変換層上にn型層として、Sn、Ge及びSiを含む金属酸化物層を堆積し、Sn、Ge及Siを光電変換層へ拡散させてSn(第1グループ)、Mn(第2グループ)及びGe及びSi(第3グループ)を含む約5nm厚の混合領域を形成すること以外は実施例1と同様に太陽電池を作製し、評価する。
(実施例34)
光電変換層上にn型層として、Zn、Sn、Ge及びSiを含む金属酸化物層を堆積し、Zn、Sn、Ge及Siを光電変換層へ拡散させてZn及びSn(第1グループ)、Mn(第2グループ)及びGe及びSi(第3グループ)を含む約5nm厚の混合領域を形成すること以外は実施例1と同様に太陽電池を作製し、評価する。
(比較例1)
Mnを最終段階に添加せずに亜酸化銅化合物層を成膜し、Zn及Geを光電変換層へ拡散させてZn(第1グループ)及びGe(第3グループ)を含む約5nm厚の混合領域(第2グループの元素は含有しない)を形成すること以外は実施例1と同様に太陽電池を作製し、評価する。
(比較例2)
Mnを最終段階に添加した亜酸化銅化合物層上に、Cuを主体とし、Zn及びMnを微量添加させた5nm厚の混合層を形成し、光電変換層上にn型層として、ZnOを金属酸化物層として堆積し、Znを光電変換層へ拡散させてZn(第1グループ)及びMn(第2グループ)を含む約5nm厚の混合領域(第3グループの元素は含有しない)を形成すること以外は実施例1と同様に太陽電池を作製し、評価する。
(比較例3)
Mnを最終段階に添加せずに成膜した亜酸化銅化合物層上に、Cuを主体とし、Znを微量添加させた5nm厚の混合層を形成し、光電変換層上にn型層として、ZnOを金属酸化物層として堆積し、Znを光電変換層へ拡散させてZn(第1グループ)を含む約5nm厚の混合領域(第2グループ及び第3グループの元素は含有しない)を形成すること以外は実施例1と同様に太陽電池を作製し、評価する。
(比較例4)
光電変換層上にn型層として、GeOを金属酸化物層として堆積し、Geを光電変換層へ拡散させてMn(第2グループ)及びGe(第3グループ)を含む約5nm厚の混合領域(第1グループの元素は含有しない)を形成すること以外は実施例1と同様に太陽電池を作製し、評価する。
(比較例5)
光電変換層上にn型層として、酸化チタン層を堆積し、Mn(第2グループ)を含む約5nm厚の混合領域(第1、第3グループの元素は含有しない)を形成すること以外は実施例1と同様に太陽電池を作製し、評価する。
(比較例6)
Mnを最終段階に添加せずに亜酸化銅化合物層を成膜し、GeOを金属酸化物層として堆積し、Geを光電変換層へ拡散させてGe(第3グループ)を含む約5nm厚の混合領域(第1グループ及び第2グループの元素は含有しない)を形成すること以外は実施例1と同様に太陽電池を作製し、評価する。
(比較例7)
Mnを最終段階に添加せずに成膜した亜酸化銅化合物層上に、Cuを主体とし、ZnとGeを微量添加させた5nm厚の混合層を形成し、光電変換層上にn型層として、ZnとGeを含む金属酸化物層として堆積し、Zn及びGeを光電変換層へ拡散させず、Zn(第1グループ)とGe(第3グループ)を含む約5nm厚の混合領域(第2グループの元素は含有しない)を形成すること以外は実施例1と同様に太陽電池を作製し、評価する。
(比較例8)
光電変換層上にn型層として、Mg及びGeを含む金属酸化物層を堆積し、Mg及びGeを光電変換層へ拡散させてMg(いずれのグループにも属さない)、Mn(第2グループ)及びGe(第3グループ)を含む約5nm厚の混合領域(第1グループの元素は含有しない)を形成すること以外は実施例1と同様に太陽電池を作製し、評価する。
(比較例9)
光電変換層上にn型層として、Zn及びSbを含む金属酸化物層を堆積し、Zn及びSbを光電変換層へ拡散させてZn(第1グループ)、Mn(第2グループ)及びSb(いずれのグループにも属さない)を含む約5nm厚の混合領域(第3グループの元素は含有しない)を形成すること以外は実施例1と同様に太陽電池を作製し、評価する。
(比較例10)
亜酸化銅化合物層の成膜の最終段階でWを添加して、Zn(第1グループ)、Ge(第3グループ)及びW(いずれのグループにも属さない)を含む約5nm厚の混合領域(第2グループの元素は含有しない)を形成すること以外は実施例1と同様に太陽電池を作製し、評価する。
表1に実施例及び比較例の結果を示す。濃度a、濃度bと濃度cの関係であるa+b>cを満たすとき、a+b>cの評価をAとし、c<a+b<100cを満たすとき、a+b>cの評価をBとする。濃度aと濃度cの関係であるc/a<1を満たすとき、c/aの評価をAとし、0.01<c/a<1を満たすとき、c/aの評価をBとする。第1から第3グループのうち1種類または2種類しか混合領域2a又は混合層2bに含まれない比較例と比べて、FFとVocが向上する場合をそれぞれAと評価し、FFとVocが比較例以下の場合はBと評価する。
Figure 0007301636000001
実施例の太陽電池は、全て混合領域2a又は混合層2bに3グループの元素を添加した場合にのみ、VocとFFが向上したが、これによって、実施例の太陽電池の効率も改善した。これは混合領域2a又は混合層2bを含むpn接合領域での光生成キャリアの再結合や、電圧低下が改善したためである。これは、3グループの元素を適正濃度添加し、抵抗値を適正化したことと考えられる。以上の実施例に示されるように、混合領域2a又は混合層2bへの適切な元素添加により、亜酸化銅太陽電池を用いた高効率太陽電池を実現可能になる。
全ての実施例において、第1グループの元素の平均濃度である濃度aと、銅元素の平均濃度である濃度dは、0.000001<a/d<0.1を満たし、第2グループの元素の平均濃度である濃度bと濃度dは、0.0000001<b/d<0.1を満たし、第3グループの元素の平均黄土である濃度cと濃度dは、0.000001<c/d<0.001を満たす。
明細書中、一部の元素は、元素記号のみで表している。
以上、本発明の実施形態を説明したが、本発明は上記実施形態そのままに限定解釈されるものではなく、実施段階ではその要旨を逸脱しない範囲で構成要素を変形して具体化できる。また、上記実施形態に開示されている複数の構成要素の適宜な組み合わせにより種々の発明を形成することができる。例えば、変形例の様に異なる実施形態にわたる構成要素を適宜組み合わせても良い。
100…太陽電池(第1太陽電池、トップセル)、1…第1電極、2…光電変換層、3…n型層、4…第2電極、200…多接合型太陽電池、201…第2太陽電池(ボトムセル)、300…太陽電池モジュール、301第1太陽電池モジュール、302…第2太陽電池モジュール、10…基板、303…サブモジュール、400…太陽光発電システム、401…太陽電池モジュール、402…電力変換装置、403…蓄電池、404…負荷、500…車両、501…車体、502…太陽電池モジュール、503…電力変換装置、504…蓄電池、505…モーター、506…タイヤ(ホイール)

Claims (8)

  1. 透明な第1電極と、
    前記第1電極上に亜酸化銅を主体とする光電変換層と、
    前記光電変換層上に、n型層と、
    前記n型層上に透明な第2電極とを有し、
    前記光電変換層の前記n型層側には、混合領域又は/及び混合層が存在し、
    前記混合領域及び前記混合層は、第1グループ、第2グループ及び第3グループの元素を含み、
    前記第1グループは、Zn及びSnからなる群より選ばれる1種以上の元素であり、
    前記第2グループは、Y、Sc、V、Cr、Mn、Fe、Ni、Zr、B、Al、Ga、Nb、Mo、F、Cl、Br及びIからなる群より選ばれる1種以上の元素であり、
    前記第3グループは、Ge及びSiからなる群より選ばれる1種以上の元素であり、
    前記混合領域及び前記混合層中の前記第1グループの元素の平均濃度を濃度aとし、
    前記混合領域及び前記混合層中の前記第2グループの元素の平均濃度を濃度bとし、
    前記混合領域及び前記混合層中の前記第3グループの元素の平均濃度を濃度cとし、
    前記濃度a、前記濃度b及び前記濃度cは、a+b>cを満たし、
    前記濃度a及び前記濃度cは、c/a<1を満たす太陽電池。
  2. 記濃度a、前記濃度b及び前記濃度cは、c<a+b<100cを満たす請求項1に記載の太陽電池。
  3. 記濃度a及び前記濃度cは、c<a<100cを満たす請求項1又は2に記載の太陽電池。
  4. 前記n型層は、ZnとSnの少なくともどちらか一方及びGeとSiの少なくともどちらか一方を含む金属酸化物層である請求項1ないし3のいずれか1項に記載の太陽電池。
  5. 記第1電極側の前記光電変換層に含まれる前記第1グループ、前記第2グループ及び前記第3グループの元素の平均濃度は前記濃度a、前記濃度b及び前記濃度cよりも小さい請求項1ないし4のいずれか1項に記載の太陽電池。
  6. 請求項1ないし5のいずれか1項に記載の太陽電池を用いた多接合型太陽電池。
  7. 請求項1ないし5のいずれか1項に記載の太陽電池を用いた太陽電池モジュール。
  8. 請求項7に記載の太陽電池モジュールを用いて発電する太陽光発電システム。
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