JP7300201B2 - 蛍光検出用生体分子検査チップ - Google Patents

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Description

本発明は、蛍光検出用生体分子検査チップに関する。
表面プラズモン共鳴(Surface Plasmon Resonance:SPR)を利用した生体分子の検出法がある(例えば、特許文献1を参照)。
表面プラズモン共鳴センサーは、金や銀などの金属薄膜表面に発生する表面プラズモン共鳴現象を検出するデバイスである。表面プラズモンとは、金属-誘電体界面に生じる電子の疎密波の一種であり、その波数は金属薄膜表面に接する数100nmまでの試料の厚さや光学特性(誘電率、屈折率)によって変化する。この変化を直接測定することは不可能なため、SPRセンサーではレーザー光を試料の反対面から当てエバネッセント波を発生させ、これが表面プラズモンと共鳴する時のレーザーの入射角度変化を測定することで表面の状態の変化を間接的に測定するのが一般的な方法となっている。特許文献1では、センサー表面を様々な特性や機能を有する高分子を用いて化学修飾することで、より多くの生体成分を検出できるセンサーデバイスを提供できることが示唆されている。具体的には、金属薄膜をセンサー基板として用い、デバイスとしてSPR装置を使用して、抗原-抗体反応を利用した免疫センサーを提供することができる、として、抗体イミュノグロブリンG0.1μg/mlを最も低濃度での検出結果として開示している。しかし、疾患診断において5ng/ml程度が基準値に設定されることから、十分に高精度な方法を提供しているとは言えない。
医療診断や検査に使用される方法として、エライザ法がある。これは対象の生体分子に酵素反応を導入することで、試料の吸光度から標的分子の濃度を検定する方法である。高精度な方法として、現在標準手法として確立されている。標的分子によっても異なるが、多くの抗体と共通の2重鎖、2軽鎖構造をもつ典型的な抗体であるイミュノグロブリンG(IgG)では15ng/ml程度に対して検出を保証している。早期がん診断などでは、1ng/mlより高精度な生体分子検定法が必要とされているが、今日までその要請に十分応えられる方法は現れていない。
また、生体分子の検出において蛍光検出法が知られている(例えば、特許文献2および3を参照)。蛍光検出法は、励起光により励起されて蛍光を発する標的物質または蛍光標識された標的物質に、励起光を照射し、蛍光を検出することによって、標的物質を検出する方法である。
特許文献2によれば、反応チャンバと、インレット及びアウトレットと、前記反応チャンバと前記インレット及び前記アウトレットをそれぞれ接続する供給流路及び排出流路と、を有するマイクロ流路チップにおいて、凹部を有する基板ホルダと、該基板ホルダの凹部に装着された反応基板と、該基板ホルダ及び前記反応基板を覆うように配置された第1のシートと、該第1のシートを覆うように配置された第2のシートと、を有し、前記第1のシートは貫通孔を有し、該貫通孔によって、前記第2のシートと前記反応基板の間に前記反応チャンバが形成され、前記反応基板は、前記反応チャンバに露出している第1の面と、前記基板ホルダの凹部に設けられた観察窓を介して外部に露出している第2の面と、を有し、前記反応基板の第1の面には局在型表面プラズモンが発生する微細構造からなる反応スポットが形成されていることを特徴とするマイクロ流路チップが開示される。
特許文献2の反応スポットには、蛍光標識された単一のプライマー分子が結合し、蛍光標識されたdNTP分子が取り込まれる。これらの蛍光色素が、プリズムによって生じるエバネッセント光を励起光として発光し、局在型表面プラズモンを利用して局部発光を観測する配置が開示されているが、検出の効果(検出限界、検出感度など)については一切開示されていない。
一方、特許文献3の従来技術によれば、ミラーによって挟まれて構成されるレーザキャビティ領域に導入された対象物質に励起光を照射し、励起された蛍光をレーザキャビティの厚さ方向で共振させて、光強度を高めるバイオチップモジュールが開示される。しかしながら、このようなレーザキャビティの共振を利用しても十分な蛍光強度が得られていなかった。
最近、機能性を発現する人工ナノ構造表面(メタ表面とも呼ぶ)の研究が世界中で行われており、そのなかに、特に蛍光増強性能に優れたメタ表面がある(例えば、特許文献4および非特許文献1~3を参照)。特許文献4および非特許文献3は、基材と、前記基材の表面に位置するスラブ材と、少なくとも前記スラブ材上に位置する金属材料とを含み、被験物質の光学応答を増強させる表面増強ラマン分析用基板を開示する。前記基材は、少なくとも前記スラブ材と接する表面層を備え、前記スラブ材は、前記表面層の屈折率よりも高い屈折率を有する材料からなり、前記スラブ材の表面から前記基材の前記表面層に達する、周期的に配列した複数の穴を有し、前記金属材料は、前記スラブ材の表面、および、前記複数の穴のそれぞれを介した前記基材の表面層上に位置し、相補的な金属構造を有し、前記複数の穴の直径および周期によって決定される複数の共鳴を有する。
また、非特許文献1は、SOI(Silicon on Insulator)基板に、電子ビームリソグラフィ(EBL)およびボッシュ(BOSCH)プロセスによりシリコンからなる複数のナノロッドを形成し、この基板が顕著な蛍光増強性能を有することを開示する。また、非特許文献1によれば、このような複数のナノロッドを作製した基板の生体分子の蛍光検出法への適用が示唆される。
非特許文献2は、特許文献1に示す相補的な金属構造上に自己組織化単分子膜(SAM)を付与することにより、ローダミン色素の蛍光信号がSAMなしの場合と比して、さらに数十倍増大することを報告する。
しかしながら、特許文献4や非特許文献1~3に示されるメタ表面を蛍光検出法に適用する場合において、メタ表面単体では液体中の生体分子がメタ表面に効率的に固定されず、疾患診断などに求められる高精度な蛍光検出法を提供することはできない。
特許第3657790号公報 特開2011-220996号公報 特開2006-177878号公報 特開2017-173084号公報
Masanobu Iwanaga,Appl.Sci.,2018,8,1328 Bongseok Choi,et al.,Chem.Commun.2015,51,11470-11473 Masanobu Iwanaga,et al.,Nanoscale,2016,8,11099-11107
以上から、本発明の課題は、蛍光検出法による生体分子の検出のためのメタ表面を用いた検査チップを提供することである。
本発明による蛍光検出用生体分子検査チップは、メタ表面を有する第1の基板と、前記第1の基板と対向して位置し、マイクロ流路を有する第2の基板とを備え、前記メタ表面は、検出されるべき生体分子の固定を効率化する間隙を有すると共に、前記生体分子が発する蛍光の波長範囲を含む領域において蛍光増強を示し、前記第2の基板は、可視光または近赤外光を透過する材料からなり、前記第1の基板と前記第2の基板との間で前記蛍光が共振し、これにより上記課題を解決する。
前記メタ表面は、金属の相補的積層構造またはナノロッド構造であってもよい。
前記蛍光増強は、可視光領域または近赤外光領域における波長を有する光の強度の増強であってもよい。
前記第1の基板と前記第2の基板とにより形成されるマイクロ流路の高さは、10μm以上100μm以下の範囲であってもよい。
前記第1の基板と前記第2の基板とにより形成されるマイクロ流路の高さは、15μm以上50μm以下の範囲であってもよい。
前記メタ表面は、前記金属の相補的積層構造であり、前記金属の相補的積層構造は、基材と、前記基材の表面に位置するスラブ材と、少なくとも前記スラブ材上に位置する金属材料とを含み、前記基材は、少なくとも前記スラブ材と接する表面層を備え、前記スラブ材は、前記表面層の屈折率よりも高い屈折率を有する材料からなると共に、その表面から前記基材の前記表面層に達する、周期的に配列した複数の穴を有し、前記金属材料は、前記スラブ材の表面、および、前記複数の穴の底面を形成する前記基材の表面層上にそれぞれ位置し、これにより上記課題を解決する。
前記金属材料は、ドルーデ金属に近似できる複素誘電率を有する物質であってもよい。
前記ドルーデ金属に近似できる複素誘電率を有する物質は、金(Au)、銀(Ag)、銅(Cu)、アルミニウム(Al)、白金(Pt)、チタン(Ti)、ニッケル(Ni)、および、これらの合金からなる群から選択されてもよい。
前記複数の穴は、2以上の異なる直径を有する円孔、もしくは2以上の異なる一辺の長さを有する角柱状孔であり、かつ/または、2以上の異なる周期で配列されていてもよい。
前記複数の穴の周期は、300nm以上1000nm以下の範囲であってもよい。
前記複数の穴の直径または一辺の長さは、100nm以上500nm以下の範囲であってもよい。
前記スラブ材の厚さは、100nm以上2μm以下の範囲であってもよい。
前記メタ表面は、前記ナノロッド構造であり、前記ナノロッド構造は、基材と、前記基材の表面に周期的に起立する複数のナノロッドとを備え、前記基材は、前記複数のナノロッドの屈折率よりも小さい屈折率を有する材料からなってもよい。
前記基材は、1以上1.6以下の屈折率を有する材料からなり、前記複数のナノロッドは、2以上5以下の屈折率を有する半導体または誘電体からなってもよい。
前記半導体または誘導体は、シリコン、ゲルマニウム、窒化ガリウム、および、二酸化チタンからなる群から選択されてもよい。
前記複数のナノロッドの周期は、300nm以上1000nm以下の範囲であってもよい。
前記複数のナノロッドの直径または一辺の長さは、100nm以上500nm以下の範囲であってもよい。
前記複数のナノロッドの高さは、100nm以上2μm以下の範囲であってもよい。
前記複数のナノロッドは、2以上の異なる直径を有する円柱、もしくは2以上の異なる一辺の長さを有する角柱であり、かつ/または、2以上の異なる周期で配列されていてもよい。
本発明の蛍光検出用生体分子検査チップによれば、生体分子の捕捉および固定を効率化する間隙を有し、なおかつ顕著な蛍光増強特性を有する第1の基板を、マイクロ流路を備えた第2の基板と対向配置させることにより、液体試料中の生体分子であっても蛍光検出を可能にする。本発明の検査チップにおいては、第1の基板および第2の基板と、それらの間のマイクロメートルオーダの空間とがマイクロ共振器を構成し、生体分子から生じる蛍光が共振する。その際に、第1の基板のメタ表面は、蛍光を増強すると同時に、第2の基板側に効率的に放射することから、マイクロ共振器から蛍光放射は一方向に集約され、蛍光検出される効率を高める。これにより、より低濃度の生体分子であっても、高感度かつ再現性よく蛍光検出することができる。
本発明の蛍光検出用生体分子検査チップを示す模式図 本発明の蛍光検出用生体分子検査チップを用いた検出原理を示す模式図 金属の相補的積層構造を有するメタ表面の模式図 ナノロッド構造を有するメタ表面の模式図 本発明による検査チップを用いた検出装置を示す模式図 本発明の蛍光検出用生体分子検査チップを用いて試料溶液中に標的生体分子が存在するか否かを判定するフロー図 シリコンナノロッド構造のメタ表面を示すSEM像 金の相補的積層構造であるメタ表面を示すSEM像 実施例1の検査チップの外観(A)、およびこれを配置した流路装置の外観(B)を示す図 実施例3の検査チップの外観を示す図 検査後の実施例1の検査チップの様子を示す図 実施例1の検査チップを用いた発光スペクトルを示す図 比較例1の検査チップを用いた発光スペクトルを示す図 実施例1による蛍光測定から得た標準曲線を示す図 実施例2による蛍光測定から得た標準曲線を示す図 実施例3による蛍光測定から得た標準曲線を示す図 実施例4による蛍光測定から得た標準曲線を示す図 実施例5による蛍光測定から得た標準曲線を示す図 比較例1による蛍光測定から得た標準曲線を示す図 比較例2による蛍光測定から得た標準曲線を示す図 実施例6による捕捉抗体の有無による蛍光強度の比較を示す図 実施例8による検査チップの蛍光像 実施例9による種々のバッファーによる蛍光強度の比較を示す図 実施例10による各チャネルの蛍光像および生体分子固定状態を示す模式図 実施例10による蛍光強度の比較を示す図 実施例11による検査チップのメタ表面の上の分子の様子を示す模式図 実施例11による種々の濃度のCEAの蛍光像を示す図 実施例11による蛍光測定から得たCEAの蛍光強度の濃度依存性を示す図
以下、図面を参照しながら本発明の実施の形態を説明する。なお、同様の要素には同様の番号を付し、その説明を省略する。
本発明の蛍光検出用生体分子検査チップについて説明する。
図1は、本発明の蛍光検出用生体分子検査チップを示す模式図である。
図2は、本発明の蛍光検出用生体分子検査チップを用いた検出原理を示す模式図である。
本発明の蛍光検出用生体分子検査チップ100は、メタ表面110を有する第1の基板120と、そのメタ表面110側に対向して位置し、マイクロ流路130を有する第2の基板140とを備える。メタ表面110は、検出されるべき生体分子(以降では簡単のため標的生体分子と称する)の固定を効率化する間隙を有し、かつ、蛍光増強を示す。
ここで、「標的生体分子」とは、疾患診断のマーカー分子として使用される抗体や抗原、プロコラーゲンIIIペプチド、副次生成タンパク質等の生体分子であるが、例示的には、肝炎ウイルスIgM型抗体、肝炎ウイルスs抗原、CEA分子、p53分子、p53抗体等の生体分子、RNA、DNAなどの核酸およびその細分化された分子等である。
「間隙を有するメタ表面」とは、生体分子よりも大きい数十~数百ナノメートルオーダの間隙を有する立体構造からなる表面を意図する。このような間隙を有することにより、メタ表面110の表面積が大きくなり、生体分子の固定を効率化できる。また、流体の速度を局所的に低減させることで生体分子の固定を効率化できる。図1では巨視的に示すため、また図2では分子を拡大模式化して示すため、いずれも間隙は図示しないが、メタ表面110は間隙を有している。そして、図2には、メタ表面110上に捕捉分子が固定され、その捕捉分子に捕捉抗体が結合し、さらに、捕捉抗体に効率的に蛍光標識付き生体分子が結合している様子が示される。このように、メタ表面110は、生体分子の固定を効率化し得る。後述する図3の350、図4の430が間隙にあたる。
「蛍光増強を示すメタ表面」とは、上述したように、人工ナノ表面構造であって、その上に蛍光を発する物質が位置する場合に、シリコンウェーハや高平滑な石英基板などの平坦な表面上に位置する場合に比して、蛍光強度が増大するものを意図する。本発明の検査チップ100によれば、第1の基板120のメタ表面110は、さらに、標的生体分子(例えば、図2の蛍光標識付き生体分子)が発する蛍光の波長範囲を含む領域において蛍光増強を示すため、標的生体分子の濃度が低濃度であっても、その濃度を高精度に検出することができる。なお、「標的生体分子が発する蛍光」とは、標的生体分子それ自身が発する蛍光、標的生体分子に標識化された蛍光標識が発する蛍光、あるいは、標的生体分子に捕捉された二次抗体に標識化された蛍光標識が発する蛍光を意図する。
本発明の検査チップ100における第2の基板140は、可視光または近赤外光を透過する材料(光透過性材料)からなる。第1の基板120上に位置する標的生体分子に光(励起光)が照射されると、標的生体分子あるいは標識化された蛍光標識が励起され、蛍光を発する。この標的生体分子が発する蛍光は、図2に示すように、第1の基板120と第2の基板140との間で共振する。この結果、標的生体分子からの蛍光の強度が増大され、標的生体分子の濃度が低濃度であっても、その濃度を高精度に検出することができる。さらに、共振によって増大した蛍光は、メタ表面110ではなく、第2の基板140側に放射されるので、第2の基板140が光透過性材料からなると、蛍光は第2の基板140を透過し、効率良く検出される。本願明細書において、可視光とは、波長360nm以上830nm未満の範囲の波長を有する光を意図する。また、近赤外光とは波長830nm以上1600nm以下の範囲の波長を有する光を意図する。
なお、本願明細書において、可視光または近赤外光を透過する材料とは、可視光または近赤外光の平均透過率が60%以上となる材料を意味する。前記平均透過率は、好ましくは80%以上である。このような可視光または近赤外光を透過する材料は、透明セラミクス、ガラス等の無機材料およびプラスチック等の有機材料を使用できるが、加工性の観点から、シリコーン系樹脂、(メタ)アクリル系樹脂、エポキシ系樹脂、スチレン系樹脂、ポリカーボネート、エステル系樹脂、アクリロニトリル-ブタジエン-スチレン樹脂、ポリアミド、シクロオレフィンポリマー等が好ましい。中でも、シリコーン系樹脂であるポリジメチルシロキサン(PDMS)が好ましい。
メタ表面110の示す蛍光増強は、可視光域または近赤外光域における波長を有する光の強度の増強であり、好ましくは、520nm以上1500nm以下の波長範囲にピークを有する光の増強である。これにより、生体分子の検出精度が向上する。さらに好ましくは、540nm以上620nm以下または800nm以上900nm以下の波長範囲にピークを有する光を増強する。
第1の基板120と第2の基板140とにより形成されるマイクロ流路の高さ、すなわち第1の基板120と、第2の基板140のマイクロ流路との間の距離D(図2)は、好ましくは、10μm以上100μm以下の範囲である。この範囲であれば、マイクロ共振器としての機能が顕在化すると共に、マイクロ流路として標的生体分子を第1基板120上へ固定する効率が高まる。一方で、距離Dを10μmよりも小さくする場合、流路内での安定的な液流が困難となる、または第2基板140が自重により変形した際に、第1基板120に接触するなどの不具合が起こることが予見され、好ましくない。距離Dは、より好ましくは、15μm以上50μm以下の範囲である。
メタ表面110は、好ましくは、金属の相補的積層構造またはナノロッド構造である。これらの構造は、生体分子の固定を効率化する間隙を有し、かつ、蛍光増強を示し得る。
図3は、金属の相補的積層構造を有するメタ表面の模式図である。
金属の相補的積層構造を有するメタ表面300は、基材310と、基材310の表面に位置するスラブ材320と、スラブ材320および基材310の表面層340上に位置する金属材料330とを含む。
基材310は、少なくともスラブ材320と接する表面層340を備える。スラブ材320は、表面層340の屈折率よりも高い屈折率を有する材料からなる。さらに、スラブ材320は、スラブ材320の表面から基材310の表面層340に達する周期的に配列した複数の穴350を有する。このような構造により、基材310およびスラブ材320は、六方格子状、正方格子状等の周期的に配列される複数の穴350の周期Λおよび直径Dによって決定される周期構造体に特徴的な光の共鳴バンド状態を有する。この場合に、スラブ材320の屈折率が、表面層340の屈折率よりも大きいことが、スラブ材320への光のバンド状態密度(閉じ込め効果)を大きくするために必要である。
金属材料330は、スラブ材320の表面、および複数の穴350の底面を形成する基材310の表面層340上にそれぞれ位置しており、これにより相補的な金属積層構造を形成している。換言すれば、金属材料330は、スラブ材320の複数の穴350における穴側壁360を覆わず、金属材料330同士がスラブ材320の厚さから金属材料330の厚さを引いた距離だけ離間することを典型とする。以上のような構造により、金属の相補的積層構造を有するメタ表面300は、標的生体分子の発する蛍光が金属材料330で覆われていない穴側壁360を通ってスラブ材320内に閉じ込められる共鳴状態を形成できる。さらに、金属材料330が付与されていることで、前述した共鳴の線幅がそれぞれ広帯域化される。これにより、この複数の共鳴の少なくとも1つが、標的生体分子からの蛍光波長と重なり、その共鳴の線幅の範囲において効率的に蛍光が増強される。
スラブ材320は、屈折率が2以上の材料からなることが好ましい。これは、表面層340に屈折率が1.5程度の材料が多く使用されることによる。スラブ材320の屈折率の上限は特に制限されないが、入手できる材料から概ね5以下となる。スラブ材320を構成する材料の具体例としては、Si、Ge、SiN、SiC、II-VI属の半導体、III-V属の半導体および二酸化チタン(TiO)からなる群から選択されるものが挙げられる。これらの材料であれば、屈折率が2以上であり、加工性に優れるまたは成長技術が発展しているため、容易にスラブ材320を形成できる。
スラブ材320は、好ましくは、100nm以上2μm以下の範囲の厚さを有する。この範囲であれば、光のバンド状態が形成されやすくなる。そして、この厚さ範囲にあるスラブ材320に金属材料330が組み合わされて相補的な積層構造を形成することにより、光の放射率の大きな共鳴状態が発現し、標的生体分子の発する蛍光を放射する効率を高める。より好ましくは、スラブ材320は、150nm以上250nm以下の範囲の厚さを有し、これにより、スラブ材320への光の閉じ込め効果が増し、金属材料330との組み合わせた相補的な積層構造において、蛍光増強に適した共鳴状態を構成しやすくなる(例えば、非特許文献2、3)。
複数の穴350の周期Λは、光の波長程度であるが、好ましくは、300nm以上1000nm以下の範囲である。この範囲であれば、メタ表面300は、520nm以上1500nm以下の波長範囲の光を増強できる。周期Λは、より好ましくは、400nm以上750nm以下の範囲である。これにより、メタ表面300は、540nm以上900nm以下の波長範囲の光を増強できる。複数の穴350は、2以上の異なる周期を有する穴であってもよい。この場合も、2以上の異なる周期のそれぞれが、300nm以上1000nm以下の範囲であれば、可視光域および近赤外光域において複数の波長範囲の光を増強できるので、蛍光標識の異なる2種以上の生体分子の検出も可能となる。
複数の穴350の直径Dは、周期Λよりも小さく、かつ100nm以上500nm以下の範囲であれば、メタ表面300により、540nm以上1000nm以下の波長範囲の光を増強できる。直径Dは、より好ましくは、250nm以上350nm以下の範囲である。この範囲にあれば、メタ表面300により、540nm以上900nm以下の波長範囲の光を増強できる。
なお、複数の穴350は、2以上の異なる直径を有する穴であってもよい。この場合も、2以上の異なる直径のそれぞれが、100nm以上500nm以下の範囲であれば、可視光域および近赤外光域において複数の波長範囲の光を増強できるので、蛍光標識の異なる2種以上の生体分子の検出も可能となる。
当然ながら、複数の穴350が、2以上の異なる直径で形成され、かつ2以上の異なる周期で配列されていてもよく、これにより、蛍光増強可能な可視光および近赤外光の波長域を制御でき、多様な生体分子に対応できる。
穴の形状は、図3では円柱状(円孔)を意図しているが、これに限らず、三角柱状、四角柱状を始めとする角柱状などその他の形状であってもよく、共鳴状態を呈する限り、制限はない。
基材310の表面層340は、好ましくは、屈折率が2未満の材料からなる。表面層340の屈折率の下限は特に限定されないが、入手できる材料から概ね1以上となる。表面層340には、いわゆる透明絶縁体を採用でき、具体例としては、SiO、Al、ガラスおよびプラスチックからなる群から選択される材料が挙げられる。プラスチックには、第2の基板140の材料として例示した樹脂が含まれる。これらの材料であれば、上述のスラブ材320との屈折率の大小関係により、効率的に、スラブ材320に光を閉じ込めることができる。なお、基材310は、Si基板、石英基板などのバルク基板と表面層340とから形成され、バルク基板は、スラブ材320および金属材料330を保持できる任意の基板であり得る。容易に入手でき、加工性に優れるメタ表面の材質としては、基材310をSi基板として、表面層340をSiOとし、Siからなるスラブ材320と融着したものが挙げられる。また、基材310をガラス基板などとし、Si層を成膜形成してスラブ材320とすることも可能である。
表面層340の厚さは、スラブ材320の厚さと同じまたはそれ以上であることが好ましい。これにより、スラブ材320を光損失の少ない導波路とすることができる。表面層340は、より好ましくは、200nm以上の厚さを有する。
金属材料330は、特に制限はないが、ドルーデ金属に近似できる複素誘電率を有するものが好ましい。ドルーデ金属とは、自由電子を有する金属をモデル化したものであり、複素誘電率ε(ω)=1-ω /ω(ω+iγ)で表される金属である。ここで、ωは角周波数、ωはプラズマ周波数、iは虚数単位、γはダンピング定数である。一般的に、多くの金属が、電子のバンド間遷移が生じる波長近傍を除いて、ドルーデ金属として近似できることが知られている(例えば、Frederich Wooten,Optical Properties of Solids(Academic Press,1972,第52頁~第65頁)。なお、本願明細書では、ωとγをフィッティングパラメータとして、実測された複素誘電率ε(ω)を、各ωに対して20%以下のずれで前述の式にフィッティングできる場合に、対象の金属材料330をドルーデ金属に近似できるとする。
可視光域あるいは近赤外光域において、このようなドルーデ金属に近似できる複素誘電率を有する物質としては、金(Au)、銀(Ag)、銅(Cu)、アルミニウム(Al)、白金(Pt)、チタン(Ti)、ニッケル(Ni)およびそれらの合金からなる群から選択される物質が例示される。金属材料330は、好ましくは、30nm以上100nm以下の範囲の厚さを有する。厚さが30nm未満であると、光が透過してしまい、金属として機能しない場合があり得る。厚さが100nmを超えると、穴350の側壁がふさがれてしまい、相補的な金属積層構造を形成できない場合があり得る。より好ましくは、金属材料330は、30nm以上40nm以下の範囲の厚さを有する。
図4は、ナノロッド構造を有するメタ表面の模式図である。
ナノロッド構造を有するメタ表面400は、基材410の表面に周期的に起立する複数のナノロッド420を備える。ここで、基材410はナノロッド420の材料よりも小さい屈折率をもつ材料からなることが好ましい。
基材410が検査チップ100に入射される光の波長域において透明で、屈折率が1以上1.6以下の材料からなる場合、ナノロッド420の材料としては、屈折率が2以上5以下である半導体または誘電体が好ましい。なぜなら、ナノロッドの材料が大きな屈折率をもつほど、ナノロッドは明瞭な共鳴状態を有するためである。この明瞭な共鳴状態は、蛍光増強効果などの共鳴増強効果を生じるために必要な物理条件であり、反射または透過スペクトルによって容易に確認できる。他方、基材410の屈折率がナノロッド420の材料と同程度以上の屈折率を有する場合、共鳴状態は不明瞭となり、顕著な共鳴増強効果は期待できない。
例えば、検査チップ100に入射する光の波長が500nm以上1100nm以下の範囲である場合、ナノロッド420の材料は、シリコン、ゲルマニウム、窒化ガリウム、および、二酸化チタンからなる群から選択される。これらの材料は、2以上5以下の屈折率を有する。
複数のナノロッド420の周期Λは、光の波長程度であるが、300nm以上1000nm以下の範囲であると、メタ表面400が、520nm以上1500nm以下の波長範囲の光を増強できる。周期Λは、より好ましくは、300nm以上450nm以下の範囲を有する。これにより、メタ表面400が、540nm以上900nm以下の波長範囲の光を増強できる。複数のナノロッド420は、2以上の異なる周期を有するナノロッドであってもよい。この場合も、上述した金属の相補的積層構造と同様に、2以上の異なる周期のそれぞれが、300nm以上1000nm以下の範囲であると、可視光域および近赤外光域において複数の波長範囲の光を増強できるので、蛍光標識の異なる2種以上の生体分子の検出も可能となる。
複数のナノロッド420の直径Dは、前述の周期Λより小さく、かつ100nm以上500nm以下の範囲であると、該周期Λが好ましい範囲にある場合と同様に、メタ表面400が、520nm以上1500nm以下の波長範囲の光を増強できる。直径Dは、より好ましくは、200nm以上350nm以下の範囲である。これにより、メタ表面400が、540nm以上900nm以下の波長範囲の光を増強できる。
なお、複数のナノロッド420は、2以上の異なる直径を有するナノロッドであってもよい。この場合も、2以上の異なる直径のそれぞれが、100nm以上500nm以下の範囲であると、可視光域および近赤外光域において複数の波長範囲の光を増強できるので、蛍光標識の異なる2種以上の生体分子の検出も可能となる。
当然ながら、複数のナノロッド420が、2以上の異なる周期および2以上の異なる直径で配列されていてもよく、これにより、蛍光増強可能な光の波長域を高精度に制御でき、多様な生体分子に対応できる。
複数のナノロッド420の高さは、好ましくは、100nm以上2μm以下の範囲である。この範囲であれば、ナノロッドに局在する電磁波共鳴の効果が顕著となり、明瞭な共鳴状態を生じることができる。より好ましくは、複数のナノロッド420は、150nm以上250nm以下の範囲の高さを有し、これにより、低次の共鳴状態の利用が可能になり、大きな蛍光増強が期待できる。
ナノロッドの形状は、図4では円柱状を意図しているが、これに限らず、三角柱状、四角柱状を始めとする角柱状などその他の形状であってもよく、共鳴状態を呈する限り、制限はない。
図5は、本発明による検査チップを用いた検出装置を示す模式図である。
検出装置500は、少なくとも、検査チップ100に励起光を照射する光源510と、検査チップ100から放射される蛍光を検出する検出手段520とを備える。
光源510としては、キセノンランプ、発光ダイオード、レーザダイオード、半導体レーザおよび有機EL発光体等が採用できる。光源510からの励起光が、所期の波長および角度で検査チップ100に入射し、図1に示す第2の基板140を透過してメタ表面110を照射するよう、検出装置500は、波長選択フィルタ、ミラー、ビームスプリッタ等の光学系をさらに備えてもよい。
検出手段520は、励起光によって励起された蛍光を検出可能なものであれば任意の検出手段を採用できるが、例示的には、光検出器、CCDカメラ、CMOSカメラ、フォトダイオードアレイ、分光計等である。また、検出装置500は、対物レンズ、結像レンズ等の光学系をさらに備えてもよい。
検出装置500は、さらに、励起光と蛍光とを分離するフィルタ530を備えてもよい。これにより、迷光を抑制し、バックグランドの低い高精度な光測定ができる。
また、検出装置500は、検出手段520からのデータを入手し、解析するコンピュータ540を備えてもよい。コンピュータ540は、入手したデータに基づいて信号、バックグラウンド等の解析を行ってもよい。例えば、コンピュータ540が蛍光強度と濃度との関係、蛍光標識とその発光ピークとの関係、および蛍光標識と各種生体分子との関係等のデータを格納したメモリを備える場合、入手したデータから検出された生体分子の種類を特定したり、特定された生体分子の濃度を算出したりできる。また、コンピュータ540が解析したデータをディスプレイやプリンタ等の出力装置550に出力し、表示するようにしてもよい。
また、検出装置500は、1以上の試料溶液、捕捉分子、捕捉抗体等の試薬、洗浄液等をそれぞれ保持する供給容器、および測定後の廃液を保持する回収容器を備えてもよく、これらの容器に接続された分注機構(図示せず)をさらに備えてもよい。分注機構の動作は、コンピュータ540によって制御されてもよい。これにより、自動検出・解析を可能とする。
図6は、本発明の蛍光検出用生体分子検査チップを用いて試料溶液中に標的生体分子が存在するか否かを判定するフロー図である。
図5の検出装置500を用い、標的生体分子の存在の有無を判定するものとして説明する。ステップごとに詳述する。
ステップS610:標的生体分子を捕捉するための捕捉分子を含有する溶液を、図1に示す検査チップ100のマイクロ流路130に流し、メタ表面110に固定する。メタ表面110は間隙を有するため、捕捉分子を含有する溶液をマイクロ流路130に流すだけで、捕捉分子は容易に固定される。このような捕捉分子は、標的生体分子に応じて適宜選択される。捕捉分子を含有する溶液を流す前に、流路内を液体で満たすためにリン酸生理食塩水(PBS)などのバッファーなどを流してもよい。
例えば、標的生体分子が、免疫グロブリンなどのタンパク質である場合には、FC結合によってタンパク質を捕捉し得る任意の捕捉分子を使用できる。このような捕捉分子としては、代表的には、抗体結合タンパク質またはアビジン誘導体が挙げられる。
抗体結合タンパク質は、プロテインA、プロテインG、プロテインAG、および、これらの誘導体からなる群から選択される。アビジン誘導体は、ビオチンと結合能を有するものであれば特に制限はないが、好ましくは、ストレプトアビジン、アビジン、ニュートラアビジン、および、これらの誘導体からなる群から選択される。
標的生体分子は、タンパク質以外にもRNAやDNAなどの核酸であってもよい。この場合、ハイブリダイゼーションによって核酸を特異的に捕捉する相補的なDNAを捕捉分子(通例、アプタマーと呼ばれる)として使用できる。
ステップS610において、捕捉分子のメタ表面110への固定を促進するため、EDC(1-ethyl-3-(3-dimethylaminopropyl)-carbodiimide hydrochloride)/NHS(N-hydroxysuccinimide)などの試薬を用いて、捕捉分子の結合末端を活性化してもよい。捕捉分子を含む溶液を流した後、バッファーなどを流し、浮遊分子の除去と流路内の洗浄を行う。なお、マイクロ流路を通した捕捉分子を含有する溶液は廃液用の回収容器(図示せず)に回収してもよい。
ステップS620:被験生体分子を含有する溶液を検査チップ100のマイクロ流路130に流す。これにより、被験生体分子中に標的生体分子が存在する場合、標的生体分子は、ステップS610でメタ表面110に固定された捕捉分子によって特異的に捕捉され、メタ表面110に固定される。標的生体分子が、前述した免疫グロブリンなどのタンパク質であり、捕捉分子が、前述の抗体結合タンパク質またはアビジン誘導体である場合、標的生体分子は、マイクロ流路130を流れる間に捕捉される。ここでも、マイクロ流路を通した被験生体分子を含有する溶液は廃液用の回収容器に回収してもよい。
標的生体分子そのものが、後述する励起光によって励起され蛍光を発する、あるいは、標的生体分子が、後述する励起光によって励起され蛍光を発する蛍光標識で標識化されている場合、ステップS630に進む。ここでも、ステップ630に進む前に、マイクロ流路にバッファーなどで流して浮遊分子や非特異吸着分子を除去することが好ましい。
一方、標的生体分子そのものが、蛍光を発せず、かつ、蛍光標識で標識化されていない場合には、ステップS620に続いて、蛍光標識化されたさらなる抗体分子(二次抗体とも呼ぶ)を含有する溶液を検査チップ100のマイクロ流路130に流せばよい。このような二次抗体は、交差特性から標的生体分子に特異的に結合する性質の抗体分子であり、標的生体分子自体の蛍光標識の代用として採用することができる。また、二次抗体同士も結合する性質があり、蛍光の増幅に役立つことが期待される。
なお、標的生体分子、または、二次抗体を標識化する蛍光標識には、周知のものが採用されるが、例示的には、DyLight、フルオレセイン、アクリロダン、ローダミン、BODIPY、アクリジンオレンジ、エオシン、ピレン、アクリジンオレンジ、PyMPO、Alexa Fluor 488、Alexa Fluor 532、Alexa Fluor 546、Alexa Fluor 568、Alexa Fluor 594、Alexa Fluor 555、Alexa Fluor 633、Alexa Fluor 647、Alexa Fluor 660、および、Alexa Fluor 680からなる群より選択される。これらの蛍光標識は、励起波長および蛍光波長が既知である。
標的生体分子、あるいは、二次抗体の標識化は、市販の蛍光標識キットに記載の公知方法によって行うことができる。
ステップS630:励起光を、検査チップ100の第2の基板140側から入射し、メタ表面110に照射する。このような励起光は、図5の検出装置500の光源510から発せられる。メタ表面110に標的生体分子が存在すれば、励起光の照射によって、標的生体分子それ自身に基づいて、または、標的生体分子に標識化された蛍光標識、もしくは標的生体分子に結合した二次抗体に標識化された蛍光標識に基づいて、蛍光が発せられる。このように、本発明では、例えば、特許文献2のようにプリズムを配置してエバネッセント光で標的生体分子を励起する必要はない。
蛍光が発せられると、図2に示すように、検査チップ100の第1の基板120と第2の基板140との間で蛍光が共振し、第2の基板140側に放射される。
ステップS640:第2の基板140側から放射された光を検出する。このステップでは、図5の検出装置500の検出手段520を用いて、放射された蛍光を検出する。
ステップS650:検出された蛍光に基づいて、被験生体分子中に標的生体分子が存在するか否かを判定する。検出された光が、前述の蛍光標識に基づく蛍光、あるいは、標的生体分子自身による蛍光である場合には、標的生体分子が存在すると判定できる。検出された光が、上述の蛍光標識に基づく蛍光、あるいは、標的生体分子自身による蛍光でない場合には、標的生体分子が存在しないと判定できる。このような判定は、検出装置500のコンピュータ540にて行ってもよいし、出力装置550に表示されたスペクトルあるいは光学画像から判定してもよい。
以上のステップで使用した検査チップ100は、メタ表面110に固定された捕捉分子等を除去することにより、繰り返し使用できる。捕捉分子等のタンパク質の除去には、アルカリ水溶液を用い、超音波洗浄することが好ましい。
次に具体的な実施例を用いて本発明を詳述するが、本発明はこれら実施例に限定されるものではない。
[メタ表面]
メタ表面として、シリコンナノロッド構造および金の相補的積層構造をそれぞれ作製した。
シリコンナノロッド構造からなるメタ表面を作製するために、絶縁体上のシリコン(SOI:Silicon On Insulator)層と埋め込み酸化膜(BOX:Buried Oxide)層とを備えたSi基板410(図4)を用意した。この基板は、全体としてSOI基板と呼ばれる。SOI層の厚さは200nm、BOX層の厚さは375nmであった。なお、SOI層は、結晶性Siであり、BOX層はSiOであった。
周期Λが400nm、直径Dが300nm、および、周期Λが300nm、直径Dが220nmの円柱周期配列をそれぞれ設計した。電子ビームリソグラフィ(EBL)をSOI基板に行い、レジストマスクを作製した。BOSCH加工による異方的かつ選択的エッチングを行い、SOI層のみをエッチングした。その結果、周期Λが400nmで、直径Dが302nm、316nmまたは320nmである各種シリコンナノロッド構造が得られた。また、周期Λが300nmで、直径Dが236nmのシリコンナノロッド構造も得られた。このようにして、SOI層の厚さと同じ高さの複数のシリコンロッドを製造した。BOSCH加工後、残ったマスクをOプラズマにより除去した。得られたシリコンナノロッド構造であるメタ表面を走査型電子顕微鏡(SEM、日立製作所製、型番SU8230)により観察した。結果を図11(B)に示す。
金の相補的積層構造であるメタ表面は、埋め込み酸化膜340(図3)を備えたSi基板310(図3)上に、Siのスラブ材320(図3)を有し、金属材料330として金(Au)を備えるものとした。スラブ材320に形成された穴は、直径Dが302nm、291nm、250nm、または315nmのいずれかで、深さが230nmであり、一方向の周期Λが410.5nmで、これと直交する方向の周期が710nmであった。これらの周期は、周期的に配置された穴が形成する矩形単位胞の短辺と長辺の長さである。
金の相補的積層構造であるメタ表面は、特許文献4の実施例1と同様の手順で作製した。得られた金の相補的積層構造であるメタ表面をSEMにより観察した。結果を図8に示す。
図7は、シリコンナノロッド構造のメタ表面を示すSEM像である。
図8は、金の相補的積層構造であるメタ表面を示すSEM像である。
図7には、高さが200nmで、高さ方向に垂直な断面が、一辺320nmの正方形である四角柱状のシリコンナノロッドが、周期400nmで配列したナノロッド構造が示される。図8には、周期410.5/710nm、直径291nm、の円孔が周期的に配列した金の相補的積層構造のトップビュー画像が示される。この構造の高さは230nmであった。
図7に示すシリコンナノロッド構造が蛍光増強を示すことを確認するため、該構造を有するSOI基板、および比較用の平坦なSi基板のそれぞれにローダミン590(R590)分子を分散させ、波長532nmの入射レーザ光を照射し、その際の蛍光スペクトルを測定し、比較した。その結果、シリコンナノロッド構造を有するSOI基板において、発光ピーク波長590nmにおける発光強度の増大が確認された。この結果は、シリコンナノロッド構造が、波長550nm以上570nm以下、580nm以上600nm以下、および650nm以上690nm以下の各波長範囲で蛍光増強を示すメタ表面であるとの、非特許文献1の報告にも合致するものである。
また、非特許文献3では、金の相補的積層構造(周期410.5/710nm、穴の直径265nm)、および比較用の平坦なSi基板のそれぞれにR590分子を分散させ、蛍光スペクトルを測定し、比較することにより、金の相補的積層構造を用いた場合に、550nm以上600nm以下、650nm以上700nm以下および750nm以上800nm以下の波長域において発光強度が増大したとされている。このように、金の相補的積層構造(周期410.5/710nm、円の直径265nm)も、550nm以上600nm以下の範囲で蛍光増強を示すメタ表面であることが知られている。
金の相補的積層構造が他の波長の蛍光増強も示すことを確認するため、金の相補的積層構造(周期410.5/710nm、穴の直径250nm)を有する基板、および比較用の平坦なSi基板のそれぞれにIR783分子を分散させ、蛍光スペクトルを測定し、比較した。その結果、金の相補的積層構造を有する基板において、波長850nm以上900nm以下における発光強度の増大が確認された。このことから、金の相補的積層構造(周期410.5/710nm、円の直径250nm)は、850nm以上900nm以下の範囲においても蛍光増強を示すメタ表面であることを確認した。
[試料]
捕捉分子には、プロテインAG-シスまたはシス-ストレプトアビジン(Click Biosystems、PRO1001またはPRO1005)を用いた。捕捉抗体には抗アビジン抗体(アブカム、ab53494)を用いた。
標的生体分子にはイミュノグロブリンG(IgG、アブカム、ab206202)、p53抗体(Novus Biologicals、NB200-171)、マウスモノクローナルp53抗体(アブカム、ab16465)、CEA(アブカム、ab742)、および、蛍光分子(AF555、Alexa Fluor555)標識済みp53抗体(アブカム、ab210717)、蛍光分子(AF555、Alexa Fluor555)標識済みヤギ抗マウスIgG抗体(アブカム、ab150114)、蛍光分子(AF555、Alexa Fluor555)標識済みヤギ抗ウサギIgG抗体(アブカム、ab150078)、または、蛍光分子(DL555、DyLight555)標識済みIgG(Novus Biologicals、NBP1-76055)を用いた。
また、ビオチン標識キット(和光純薬347-90891)、蛍光分子HiLyte555(HL555)標識キット(和光純薬348-90141)、蛍光分子インドシアニングリーン(ICG)標識キット(和光純薬345-91431)を使用し、必要に応じて、標的生体分子に蛍光標識、ビオチン標識を付した。
以降の実施例1~実施例8および比較例1~比較例2では、上述のメタ表面を用いて検査チップを製造し、上述の試料を用いて蛍光測定を行った。
[実施例1]
実施例1では、周期400nm、直径320nmである円柱状シリコンナノロッド構造のメタ表面110(図1)の第1の基板120(図1)に、マイクロ流路(流路高さD30μm)を有するポリジメチルシロキサン(PDMS)製の第2の基板140(図1)を自己吸着により貼り合わせ、検査チップを構成した。検査チップの外観を図9(A)に、これを配置した流路装置の外観を図9(B)に、それぞれ示す。なお、PDMSは、可視光の平均透過率が60%以上であることが知られている。
図9は、実施例1の検査チップおよびこれを配置した流路装置の外観を示す図である。
前述のとおり、検査チップは、シリコンナノロッド構造のメタ表面110(図1)を有する第1の基板120(図1)に、マイクロ流路を有するポリジメチルシロキサン(PDMS)製の第2の基板140(図1)を自己吸着させて構成されている。このため、検査チップの作製工程は著しく簡素化された。
図9(A)によれば、検査チップは3つのマイクロ流路(マイクロチャネル)を有し、各流路内にメタ表面110が配置されていることが分かる。このような構成により、標的生体分子の固定と蛍光検出とを、流路数に応じて、複数の標的生体分子に対して並行して行うことが可能となる。図中の横長の六角形の中心に矩形のメタ表面が位置する。図の右に位置する供給口から試料等を供給し、図の左に位置する排出口から廃液を排出するように構成されている。図9(B)は、検査チップに対して外部からの試薬の流入、および外部への試薬の排出を行うための接続チューブ、ならびに検査チップを覆うカバーを配置した流路装置の写真である。このカバーは、検査チップの押さえの役割を兼ねており、第1の基板と第2の基板との自己吸着のみによって流路が封止される検査チップにおいて、液漏れを生じさせない働きがある。
実施例1の検査チップおよび流路装置を用いて、次のようにして蛍光標識化された標的生体分子の検出を行った。接続チューブの供給口から検査チップのマイクロ流路にPBSを4分間流し、リンスした。次いで、捕捉分子として、プロテインAG-シスのPBS希釈液(濃度146μg/mL)を連続的に20分間流した後、再びPBSでマイクロ流路内を4分間リンスした。流量レートは10μL/分であった。次いで、標的生体分子として、HL555で蛍光標識化したIgG分子のPBS希釈液(濃度5ng/mL、0.5ng/mLおよび0.05ng/mL)400μLをそれぞれ、検査チップの各マイクロ流路に間欠的(ON/OFF=1/3)に流した。平均流量レートは8μL/分であった。その後、PBSでマイクロ流路をリンスして、浮遊分子および非特異吸着分子を除き、乾燥窒素をフローしてマイクロ流路内を乾燥させた。
マイクロ流路内を乾燥させた検査チップを図5に示す検出装置にセットし、蛍光測定を行った。光源510として波長532nmの光を発するレーザ(ATOK社製、型番Action532Q-0050)を用い、検出手段520としてイメージング分光検出器(Princeton-Instruments社製、型番IsoPlane160-ProEM1024HS)を用いた。メタ表面上に照射されたレーザ光パワーは0.17mWであり、測定時間は20秒であった。測定後の検査チップをSEM観察した結果を図11に示す。HL555で蛍光標識された標的生体分子の希釈液(濃度5ng/mL)を流したメタ表面上で測定した蛍光スペクトルを図12に示す。蛍光スペクトルから得られる標的生体分子濃度と蛍光強度との関係を図14に示す。
[実施例2]
実施例2では、周期300nm、直径236nmである円柱状シリコンナノロッド構造のメタ表面を用いた以外は実施例1と同様にして検査チップおよび流路装置を構成した。得られた検査チップの外観は図9(A)と同様であり、流路装置の外観は図9(B)と同様であった。
実施例2では、標的生体分子を、AF555を蛍光標識したIgG分子とした。この標的生体分子のPBS希釈液(濃度2ng/ml、0.1ng/mlおよび0.005ng/ml)250μLをそれぞれ、検査チップの各マイクロ流路に流した。流量レートは8.3μL/分であった。PBSによるリンスは実施例1と同様に行った。実施例2の標的生体分子濃度と蛍光強度との関係を図15に示す。
[実施例3]
実施例3では、周期410.5/710nm、穴の直径302nmである金の相補的積層構造のメタ表面110(図1)を有する第1の基板120(図1)に、マイクロ流路(流路高さ30μm)を有するPDMS製の第2の基板140(図1)を自己吸着により貼り合わせ、検査チップを構成した。この検査チップの外観を図10に示す。
図10は、実施例3の検査チップの外観を示す図である。
前述のとおり、検査チップは、金の相補的積層構造からなるメタ表面110(図1)を有する第1の基板120(図1)に、マイクロ流路を有するPDMS製の第2の基板140(図1)を自己吸着させて構成されている。このため、検査チップの作製工程は著しく簡素化された。
図10によれば、検査チップは3つのマイクロ流路(マイクロチャネル)を有し、各流路内にメタ表面が配置されていることが分かる。このような構成により、標的生体分子の固定と蛍光検出とを、流路数に応じて、複数の標的生体分子に対して並行して行うことが可能となる。図中の横長の六角形の中心に矩形のメタ表面が位置する。図の右に位置する供給口から試料等を供給し、図の左に位置する排出口から廃液を排出するように構成されている。検査チップは、図9(B)で示したカバーを用いて押さえられると共に、接続チューブに接続されて、流路装置を構成した。
標的生体分子として、HL555で蛍光標識したIgG分子をさらにビオチン標識して用いた以外は、実施例1と同様の手順で、標的生体分子の検出を行った。標的生体分子濃度と蛍光強度との関係を図16に示す。
[実施例4]
実施例4では、直径316nmである円柱状シリコンナノロッド構造のメタ表面を有する第1の基板を用いた以外は、実施例1と同様にして検査チップを構成した。検査チップの外観は、図9(A)と同様であった。標的生体分子として、AF555で蛍光標識された腫瘍マーカーであるp53抗体を用いた以外は、実施例1と同様の手順で、標的生体分子の検出を行った。標的生体分子濃度と蛍光強度との関係を図17に示す。
[実施例5]
実施例5では、穴の直径が291nmである金の相補的積層構造のメタ表面を有する第1の基板を用いた以外は、実施例3と同様にして検査チップを構成した。検査チップの外観は図10と同様であった。捕捉分子としてシス-ストレプトアビジンを用いると共に、標的生体分子として、HL555で蛍光標識したp53抗体をさらにビオチン標識して用いた以外は、実施例1と同様の手順で標的生体分子の検出を行った。標的生体分子濃度と蛍光強度との関係を図18に示す。
[実施例6]
実施例6では、実施例5で作製した検査チップおよび流路装置を用いて、捕捉抗体の有無による標的生体分子の検出効率を比較した。
まず、標的生体分子の濃度を50ng/mLとした以外は、実施例1と同様の手順で標的生体分子の検出を行った。次に、PBSでリンスした実施例5の流路装置に、標的生体分子を流す前に、捕捉抗体として、抗ビオチン抗体希釈液(濃度10μg/mL)を25分間流した以外は同様の手順で標的生体分子の検出を行った。捕捉抗体の有無による蛍光強度を比較した。結果を図21に示す。
[実施例7]
実施例7では、周期400nm、直径302nmである円柱状シリコンナノロッド構造のメタ表面を有する第1の基板を用いると共に、PDMS製の第2の基板に形成されたマイクロ流路の流路高さDを15μmとした以外は、実施例1と同様にして検査チップおよび流路装置を構成した。検査チップの外観は、図9(A)と同様であり、流路装置の外観は図9(B)と同様であった。得られた流路装置を用い、実施例1と同様の手順で標的生体分子の検出を行った。標的生体分子として、AF555で蛍光標識されたIgG分子をさらにビオチン標識して用いた。ここで、IgG濃度は5ng/ml、0.33ng/mlおよび0.022ng/mlとした。
[比較例1]
比較例1では、周期400nm、直径302nmである円柱状シリコンナノロッド構造のメタ表面を用いた以外は、実施例1と同様にして、検査チップおよび流路装置を構成し、標的生体分子の検出を行った。標的生体分子の濃度は、50ng/mL、5ng/mLおよび0.5ng/mLとした。蛍光検出の測定時に、PDMS製の第2の基板を除去してメタ表面を有する基板(第1基板)単独について測定し、マイクロ共振器を通して検出する実施例との比較を行った。標的生体分子の蛍光検出は、実施例1と同様の手順で行った。濃度が50ng/mLの標的生体分子についての蛍光スペクトルを図13に示す。蛍光スペクトルから得られた標的生体分子濃度と蛍光強度との関係を図19に示す。
[比較例2]
比較例2では、穴の直径が250nmである金の相補的積層構造のメタ表面を有する第1の基板のみを単独で用いた。捕捉分子として、プロテインAのPBS希釈液500ng/mLをメタ表面に滴下し、表面への固定のため、室温・湿潤環境で1時間保持したのち、PBSでリンスした。次いで、標的生体分子として、ICG標識したIgG分子のPBS希釈液2μL(濃度90ng/mL、9000ng/mLおよび450000ng/mL)を、別々に準備した基板のメタ表面にそれぞれ滴下し、室温・湿潤環境下で2時間インキュベーションした。その後、PBSでリンスして固定されていない浮遊分子などを除去し、乾燥窒素をフローしてメタ表面を乾燥させた。
実施例1と同様の手順で標的生体分子の検出を行った。標的生体分子濃度と蛍光強度との関係を図20に示す。
[実施例8]
実施例8では、穴の直径が315nmである金の相補的積層構造のメタ表面を有する第1の基板を用いた以外は、実施例3と同様にして検査チップおよび流路装置を構成した。検査チップの外観は図10と同様であった。
実施例8の検査チップおよび流路装置を用いて、蛍光標識化されていない標的生体分子の検出を次のように行った。流路装置における接続チューブの供給口から検査チップのマイクロ流路にPBSを5分間流し、流路内を液体で満たした。次いで、捕捉分子として、プロテインAG-シスのPBS希釈液(濃度146μg/mL)を23分間流した。流量レートは11μL/分であった。その後、PBSでマイクロ流路内を6分間リンスした。引き続き、標的生体分子として、蛍光標識化していないp53抗体のPBS希釈液360μL(濃度1ng/mL)をマイクロ流路に流した。流量レートは7.7μL/mLであった。再びPBSでマイクロ流路内を10分間リンスした。次いで、DL555で蛍光標識されたヤギ・ポリクローナル、抗ウサギIgGを二次抗体として400μL(濃度9.1μg/mL)を流し、PBSでマイクロ流路をリンスして、浮遊分子および非特異吸着分子を除き、乾燥窒素をフローしてマイクロ流路内を乾燥させた。
マイクロ流路内を乾燥させた検査チップを図5に示す検出装置にセットし、蛍光像の測定を行った。光源510として、波長532nm帯の発光ダイオードを用い、検出手段520としてCCDカメラ(Lumenera社製、型番INFINITY-3S)を用いた。測定時間は2秒であった。CCDカメラによる蛍光像を図22に示す。
分かりやすさのため、実施例1~8および比較例1~2の検査チップの一覧および実験条件を表1および表2にまとめて示し、以上の結果を説明する。
Figure 0007300201000001
Figure 0007300201000002
図11は、検査後の実施例1の検査チップの様子を示す図である。
図11(A)は、検査後の実施例の検査チップの外観を示し、メタ表面を含む低倍率のSEM像である。マイクロ流路の境界が鮮明に映し出されており、液流の有無による基板表面状態の差異が明瞭に観察される。この結果は液漏れが生じていないことを支持している。図11(B)は、メタ表面の上面のSEM像である。図11(B)によれば、捕捉分子、生体分子等が凝集している様子は見られなかった。このことから、実施例1の手順により、捕捉分子、生体分子等は、本発明の検査チップのメタ表面に凝集して複合体などを形成することなく、分子レベルで個別に最表面に固定できたことが示唆される。図示しないが、他の実施例の検査チップにおいても、同様に、液漏れはなかった。
図12は、実施例1の検査チップを用いた発光スペクトルを示す図である。
図13は、比較例1の検査チップを用いた発光スペクトルを示す図である。
図12は、実施例1の検査チップについて、HL555で標識されたIgG分子の濃度5ng/mlの標的生体分子を流した後に測定した発光スペクトルを示す。図12によれば、波長570nm付近に発光ピーク、610nm付近に発光の2次ピークを示し、この発光は、IgGに蛍光標識されたHL555に基づく蛍光であることが確認できた。このことから、本発明の検査チップが蛍光増強する波長領域(表1を参照)は、HL555の蛍光の波長範囲内に確かに存在し、本発明の検査チップを用い、図6に示す手順によって、蛍光標識化された標的生体分子を蛍光検出法により検出できることが確認された。
さらに、図12に示されるように、実施例1による発光スペクトルは周期10nm程度の短い周期の干渉縞を示す。一方、図13に示されるように、比較例1による発光スペクトルは同様の干渉縞を示さなかった。また、図示しないが、比較例2による発光スペクトルも同様に、マイクロ共振器に由来する干渉縞を示さなかった。
図12の結果と比較例1および2の結果とから、マイクロ流路を有する第2の基板140(図1)を検査チップに用いることにより、第1の基板120(図1)のメタ表面110(図1)と第2の基板140(図1)との間で蛍光が共振したのち、第2の基板を通して放射されたことを示しており、メタ表面を有する第1の基板およびマイクロ流路を有する第2の基板と、これらの間のマイクロメートルオーダの空間とによって、マイクロ共振器が成立していることを示す。
図示しないが、他の実施例2~8の検査チップを用いた発光スペクトルも同様にマイクロ共振器に由来する干渉縞を示しており、メタ表面を有する第1の基板とマイクロ流路を有する第2の基板とは、マイクロ共振器として機能し、この間で蛍光がマイクロ共振器から放射されたことを確認した。また、これらの結果から、第1の基板と第2の基板との間で蛍光が共振するために好適な基板間の距離は、15μm以上50μm以下であることが分かった。
図14は、実施例1による蛍光測定から得た標準曲線を示す図である。
図15は、実施例2による蛍光測定から得た標準曲線を示す図である。
図16は、実施例3による蛍光測定から得た標準曲線を示す図である。
図17は、実施例4による蛍光測定から得た標準曲線を示す図である。
図18は、実施例5による蛍光測定から得た標準曲線を示す図である。
図19は、比較例1による蛍光測定から得た標準曲線を示す図である。
図20は、比較例2による蛍光測定から得た標準曲線を示す図である。
図14は、実施例1における蛍光スペクトルから波長590nm以上598nm以下の信号強度を積算し、標的生体分子の濃度に対してプロットして得られる標準曲線を示している。図15~図20は、それぞれ、実施例2~5および比較例1~2による蛍光スペクトルから、同様に信号強度を積算し、標的生体分子の濃度に対してプロットして得られる標準曲線である。
図14によれば、実施例1の検査チップを用いた場合、0.05ng/mlの低濃度においても蛍光信号は観測された。さらに、黒点線で示すように蛍光強度は、IgG分子濃度に対してべき乗の応答を示しており、測定を行った濃度では、検出限界を示唆するプラトー(一定値)には未だ達していないことが分かる。
図15によれば、実施例2の検査チップを用いた場合、標的生体分子の濃度が0.005ng/mL(換算すると、0.034pM,Mはモーラー、すなわち、モル/リットル)の低濃度であっても、信号(蛍光強度)が検出されたことが分かる。このことは、マイクロ共振器を形成する本発明の検査チップが、効率的に標的生体分子を検出できることを示す。さらに、濃度xに対する信号yの減衰率は、図中の黒点線で示すy=x^0.4で近似できることが分かった。このことは、信号の減衰が濃度に対して極めて小さいことを示しており、より低濃度(例えば、1pg/mLのオーダ)の標的生体分子であっても、本発明の検出チップを用いて蛍光検出できることを示唆する。すなわち、本発明の検査チップを用いれば、エライザ法で検出可能とされている保証値17ng/mL(HRP標識付きIgG、アブカム、ab6721)に対して約34000倍の検出感度で標的生体分子を検出できる。
図16~図18(実施例3~5)によれば、図14(実施例1)と同様に、低濃度域においても蛍光信号が観測され、標的生体分子を検出できたことが分かる。図示しないが、実施例7の検査チップを用いた場合も、同様に、低濃度領域においても標的生体分子を検出できた。このことから、本発明の検出チップは、金属の相補的積層構造またはナノロッド構造であるメタ表面を有する第1の基板と、マイクロ流路を備えた第2の基板とを対向させてマイクロ共振器を構成することにより、標的生体分子の種類に関わらず、低濃度の生体分子の蛍光検出に好適であることが示された。
一方、図19(比較例1)によれば、濃度xに対する信号yの減衰率は、y∝x^0.6で表され、標的生体分子濃度の減少と共に信号が急激に減衰することが分かった。このことから、本発明の検査チップにおける蛍光の放射制御が、低濃度の標的生体分子の検出に対して有効であることが示された。
また、図20(比較例2)によれば、標的生体分子濃度の減少と共に、さらに急激に信号が減衰することが分かった。図14~図18と、図20とを比較すると、本発明の検査チップにおいて、マイクロ流路による試料の輸送により、メタ表面に効率的に捕捉分子が固定され、さらに効率的に標的生体分子が捕捉されていることが分かった。
図21は、実施例6による捕捉抗体の有無による蛍光強度の比較を示す図である。
図21によれば、捕捉抗体として抗ビオチン抗体を用いることにより、検出強度が19倍となった。このことから、本発明の検査チップを用い、蛍光検出法により標的生体分子を検出する場合、ビオチン・抗ビオチン結合反応を生じる捕捉抗体を用いることにより、特異的な結合を促進し、結果として、より高感度な検出が可能となることが分かった。
図22は、実施例8による検査チップの蛍光像である。
図22では、グレースケールで示されるが、白く示される領域が黄色く発光している。このことから、本発明の検査チップを用い、図6に示す手順を踏むことで、蛍光標識化されていない標的生体分子であっても、蛍光標識化された二次抗体を用いることによって検出できることが確認された。
[実施例9]
実施例9では、実施例3と同じ検査チップおよび流路装置を使用し、再現性、ならびに、バッファー(緩衝液)の影響について調べた。
実施例1と同様の手順で、捕捉分子としてシス-ストレプトアビジンを、標的生体分子としてHL555で蛍光標識したIgG分子の希釈液(濃度10ng/mL、NSバッファー、10%血清、全血清)を用いて、蛍光検出を行った。なお、比較のために、捕捉分子なし、ならびに、捕捉分子および標的生体分子ともになしの場合についても、蛍光検出を行った。
実験例をまとめる。
実験1)実施例1と同様に捕捉分子を流路装置に流した後、NSバッファー(Abcam社製、ab193972)で希釈した標的生体分子を、平均流量レート7μL/分で30分間、流した。
実験2)標的生体分子を、90%NSバッファーおよび10%ヒト血清で希釈した以外は、実験1と同様に行った。
実験3)事前に捕捉分子を流路装置に流さなかった以外は実験1と同様に行った。
実験4)実験1の測定の翌日に、再現性を確かめるため、同じ設計により作製したメタ表面を用いて、実験1と同様の実験を行った。
実験5)実施例1と同様に捕捉分子を流路装置に流した後、100%ヒト血清で希釈した標的生体分子を、平均流量レート4μL/分で50分間、流した。
実験6)バックグラウンド信号レベルを決定するために、捕捉分子および標的生体分子を流すことなく、NSバッファーのみを平均流量レート7μL/分で30分間、流路装置に流した。
蛍光測定はPBSによるリンス液でマイクロ流路が満たされた状態で、527nm帯のバンドパスフィルタで波長域を制限されたLED光を励起光として行い、591nm帯の蛍光バンドパスフィルタにより蛍光像をCCDカメラで撮像することにより実施した。
得られた蛍光測定の結果を図23に示す。
図23において、測定番号1~6は、それぞれ、前述の実験1~実験6に相当する。実験1と実験4との比較から、本発明の検査チップは再現性に優れることが分かった。
実験2の結果によれば、ヒト血清10%をバッファーに用いた場合も、本発明の検査チップを用いれば、PBSのようなNSバッファーに比べてわずかに強度の低下がみられるものの、良好に蛍光検出できることが分かった。さらに驚くべきことには、全血清をバッファーに用いた場合も、蛍光強度は低下するものの、実験3(捕捉分子なし)や実験6(バックグラウンドシグナルレベル)に対して、十分に差別化できる蛍光強度を示した。このことから、本発明の検査チップは、NSバッファーと同様に、血清も使用できることが示された。
[実施例10]
実施例10では、実施例3と同じ検査チップおよび流路装置を使用し、マウスモノクローナルp53抗体の間接的な検出を実施した。
まず、捕捉分子としてシス-ストレプトアビジンのPBS希釈液(濃度20μg/mL)を流量レート11~12μL/分で30分間流した。次いで、PBSでマイクロ流路内を10分間リンスした。次いで、流路装置の3つのチャネルのそれぞれに、ビオチン標識化したマウスモノクローナルp53抗体(チャネル1)、NSバッファー(チャネル2)およびビオチン標識化したマウスモノクローナルp53抗体(チャネル3)を、流量レート11~13μL/分で30分間流した。チャネル2をブランクとした。ビオチン標識化したマウスモノクローナルp53抗体は、NSバッファーで5μg/mLまで希釈された。
次いで、3つのチャネルをPBSで15分間洗浄し、チャネル1とチャネル2とに、蛍光分子標識済みヤギ抗マウスAF555-IgGのNSバッファー希釈液を、チャネル3に蛍光分子標識済みヤギ抗ウサギAF555-IgGのNSバッファー希釈液を、それぞれ30分間流した。蛍光分子標識済みヤギ抗マウス抗体およびヤギ抗ウサギ抗体は、いずれも二次抗体であった。これらの希釈液の濃度は100ng/mLであり、平均流量レート11~12μL/分であった。その後、マイクロ流路をPBSで10分間リンスして、浮遊分子および非特異吸着分子を除き、乾燥窒素をフローしてマイクロ流路内を乾燥させた後、実施例9と同様にして蛍光測定を行った。
図24は、実施例10による各チャネルの蛍光像および生体分子固定状態を示す模式図である。
図25は、実施例10による蛍光強度の比較を示す図である。
図24(A)~(C)は、それぞれ、流路装置のチャネル1~3に配置した各検査チップの蛍光像と、模式的な結合状態とを示すものである。図24(A)によれば、チャネル1では、検査チップのメタ表面に固定された捕捉分子(シス-ストレプトアビジン)2410にマウスモノクローナルp53抗体2420が固定され、さらに、二次抗体(蛍光分子標識済みヤギ抗マウスAF555-IgG)2430が固定されている。図中、白く示される領域は、二次抗体に基づく発光である。
図24(C)によれば、チャネル3では、チャネル1(図24(A)参照)と同様に、検査チップのメタ表面に固定された捕捉分子(シス-ストレプトアビジン)2410に、マウスモノクローナルp53抗体2420が固定され、さらに、二次抗体(蛍光分子標識済みヤギ抗ウサギAF555-IgG)2440が固定されている。図中、白い点線で示される領域が二次抗体に基づく発光である。この発光は、マウス・ウサギ間の異種交差反応による。
一方、チャネル2には、標的生体分子(マウスモノクローナルp53抗体)を流していないため、図24(B)に示されるように、検査チップのメタ表面には、他のチャネルと同様に固定された捕捉分子(シス-ストレプトアビジン)2410と、偶発的、非特異的に固定された二次抗体(蛍光分子標識済みヤギ抗マウスAF555-IgG)2430とが存在するに留まる。チャネル2では発光がほとんど確認されなかったことから、本発明の検査チップでは、二次抗体の非特異吸着に起因する偽信号は十分小さいといえる。
図25のチャネル1とチャネル2との比較から、蛍光標識化されていない標的生体分子がメタ表面に存在する場合には、蛍光標識化された二次抗体を用いることによって、これを特異的に検出できることが確認された。
さらに、図25のチャネル1とチャネル3との比較から、マウスモノクローナルp53抗体とヤギ抗ウサギ抗体との間で生じる交差反応は小さく、蛍光が抑制されることが分かった。このことは、蛍光強度の測定により、p53抗体を動物種ごとに選択的、特異的に検出できることを示唆している。
[実施例11]
実施例11では、実施例3と同じ検査チップおよび流路装置を使用し、サンドウィッチ検定配置においてCEAの間接的な検出を調べた。CEAは医療診断に使用される腫瘍マーカーである。
まず、捕捉分子としてシス-ストレプトアビジンのPBS希釈液(濃度20μg/mL)を50分間、流路装置に流し、検査チップのメタ表面に捕捉分子を固定させた。次いで、ウサギモノクローナルである抗CEA抗体(アブカム、ab229074)、および、標的生体分子として天然タンパク質であるCEA(アブカム、ab742)を準備した。抗CEA抗体としては、ビオチン標識化したものと、そうでないものとを準備した。
ビオチン標識化した抗CEA抗体および抗CEA抗体の濃度は、いずれもNSバッファーを用いて100ng/mLに調製した。CEA濃度は、NSバッファーを用いて、30ng/mL、3ng/mLおよび0.3ng/mLの3種に調製した。
ビオチン標識化した抗CEA抗体(100μL)、各濃度の標的生体分子CEA(100μL)、および、抗CEA抗体(100μL)の反応液を、室温(299K)にて、400rpmで60分間インキュベーションし、3種類の抗CEA抗体-標的生体分子CEA-ビオチン標識化した抗CEA抗体のサンドイッチ複合体カクテルを形成した。各カクテル中の標的CEAの終濃度はそれぞれ、10ng/mL、1ng/mLおよび0.1ng/mLであった。
各カクテルを、平均流量レート10μL/分で28分間、流路装置の各チャネルに流し、ELISAキット内で洗浄用バッファー(アブカム、ab195215)を10分間流し、PBSで10分間リンスした。
次いで、二次抗体として蛍光分子標識済みAF555-IgGを平均流量レート9μL/分で30分間各チャネルに流した。AF555-IgGは、ヤギ-ポリクローナル抗ウサギ抗体(アブカム、ab150078)であった。PBSで10分間チャネルをリンスした後、実施例9と同様にして蛍光測定を行った。
図26は、実施例11による検査チップのメタ表面の上の分子の様子を示す模式図である。
図26によれば、メタ表面上に捕捉分子(シス-ストレプトアビジン)が固定され、それに抗CEA抗体-標的生体分子CEA-ビオチン標識化した抗CEA抗体のサンドイッチ複合体が固定されている様子が示される。標的生体分子CEAは、ラベルフリーである(蛍光標識を有していない)が、蛍光検出できる。
さらに、図26によれば、サンドイッチ複合体のビオチン標識化した抗CEA抗体に二次抗体としてAF555-IgGが固定されている様子が示される。二次抗体はポリクローナルであるため、二次抗体同士で結合を生じ、蛍光増幅する。
図27は、実施例11による種々の濃度のCEAの蛍光像を示す図である。
図28は、実施例11による蛍光測定から得たCEAの蛍光強度の濃度依存性を示す図である。
図27では、グレースケールで示されるが、白く示される領域が黄色く発光している。図27によれば、サンドイッチ複合体中の標的生体分子CEA濃度が増大するにつれて、メタ表面(図中の矩形の領域)の蛍光強度も増大した。注目すべきは、二次抗体は、検査チップのメタ表面以外の領域にも流されているが、メタ表面以外の領域において有意な蛍光は見られなかったことである。このことから、二次抗体は、サンドイッチ複合体のビオチン標識化した抗CEA抗体に特異的に結合したと言える。
図28において、点線は次式のHillの式を用いたフィッティング曲線である。
y=y+(S-y)x/(x+K
ここで、yは蛍光強度であり、yは蛍光測定におけるバックグラウンドレベルであり、Sは飽和信号強度であり、xは標的生体分子の濃度であり、nは共同的反応の程度であり、Kは乖離定数である。
図28によれば、プロファイルはフィッティング曲線によく一致しており、蛍光強度が飽和領域から直線的に減少する部分が存在することから、高感度検出が達成されていることが分かる。現在のCEAの医療診断の基準は5ng/mLであるが、本発明の検査チップを用いれば、より低濃度であっても検出可能であり、定量的結果を精度よく提供できることが示された。
さらに、ゼロ信号となるCEA濃度から3σ(σ:標準偏差)隔てたCEA濃度を求め、検出限界(LOD)を統計的に評価したところ、LODは0.85pg/mL(図28中に3σで示す)であった。このことは、バックグラウンドが理想的に抑制されている場合には、蛍光測定により極めて低濃度の標的生体分子CEAを検出できることを示唆する。
本発明の蛍光検出用生体分子検査チップは、蛍光検出法により生体分子を検出するすべての技術に適用できる。本発明の検査チップを用いれば、標的生体分子が低濃度、例えば、1pg/mLのオーダであっても高精度にできる。
100 蛍光検出用生体分子検査チップ
110、300、400 メタ表面
120 第1の基板
130 マイクロ流路
140 第2の基板
310、410 基材
320 スラブ材
330 金属材料
340 表面層
350 穴
360 穴側壁
420 ナノロッド
500 検出装置
510 光源
520 検出手段
530 フィルタ
540 コンピュータ
550 出力装置

Claims (19)

  1. メタ表面を有する第1の基板と、
    前記第1の基板と対向して位置し、マイクロ流路を有する第2の基板と
    を備え、
    前記メタ表面は、検出されるべき生体分子の固定を効率化する間隙を有すると共に、前記生体分子が発する蛍光の波長範囲を含む領域において蛍光増強を示し、
    前記第2の基板は、可視光または近赤外光を透過する材料からなり、
    前記第1の基板と前記第2の基板との間で前記蛍光が共振する、蛍光検出用生体分子検査チップ。
  2. 前記メタ表面は、金属の相補的積層構造またはナノロッド構造である、請求項1に記載の検査チップ。
  3. 前記蛍光増強は、可視光領域または近赤外光領域における波長を有する光の強度の増強である、請求項1または2に記載の検査チップ。
  4. 前記第1の基板と前記第2の基板とにより形成されるマイクロ流路の高さは、10μm以上100μm以下の範囲である、請求項1~3のいずれかに記載の検査チップ。
  5. 前記第1の基板と前記第2の基板とにより形成されるマイクロ流路の高さは、15μm以上50μm以下の範囲である、請求項4に記載の検査チップ。
  6. 前記メタ表面は、前記金属の相補的積層構造であり、
    前記金属の相補的積層構造は、基材と、前記基材の表面に位置するスラブ材と、少なくとも前記スラブ材上に位置する金属材料とを含み、
    前記基材は、少なくとも前記スラブ材と接する表面層を備え、
    前記スラブ材は、前記表面層の屈折率よりも高い屈折率を有する材料からなると共に、その表面から前記基材の前記表面層に達する、周期的に配列した複数の穴を有し、
    前記金属材料は、前記スラブ材の表面、および、前記複数の穴の底面を形成する前記基材の表面層上にそれぞれ位置する、請求項2に記載の検査チップ。
  7. 前記金属材料は、ドルーデ金属に近似できる複素誘電率を有する物質である、請求項6に記載の検査チップ。
  8. 前記ドルーデ金属に近似できる複素誘電率を有する物質は、金(Au)、銀(Ag)、銅(Cu)、アルミニウム(Al)、白金(Pt)、チタン(Ti)、ニッケル(Ni)、および、これらの合金からなる群から選択される、請求項7に記載の検査チップ。
  9. 前記複数の穴は、2以上の異なる直径を有する円孔、もしくは2以上の異なる一辺の長さを有する角柱状孔であり、かつ/または、2以上の異なる周期で配列されている、請求項6~8のいずれかに記載の検査チップ。
  10. 前記複数の穴の周期は、300nm以上1000nm以下の範囲である、請求項6~9のいずれかに記載の検査チップ。
  11. 前記複数の穴の直径または一辺の長さは、100nm以上500nm以下の範囲である、請求項6~10のいずれかに記載の検査チップ。
  12. 前記スラブ材の厚さは、100nm以上2μm以下の範囲である、請求項6~11のいずれかに記載の検査チップ。
  13. 前記メタ表面は、前記ナノロッド構造であり、
    前記ナノロッド構造は、基材と、前記基材の表面に周期的に起立する複数のナノロッドとを備え、
    前記基材は、前記複数のナノロッドの屈折率よりも小さい屈折率を有する材料からなる、請求項2に記載の検査チップ。
  14. 前記基材は、1以上1.6以下の屈折率を有する材料からなり、
    前記複数のナノロッドは、2以上5以下の屈折率を有する半導体または誘電体からなる、請求項13に記載の検査チップ。
  15. 前記半導体または誘導体は、シリコン、ゲルマニウム、窒化ガリウム、および、二酸化チタンからなる群から選択される、請求項14に記載の検査チップ。
  16. 前記複数のナノロッドの周期は、300nm以上1000nm以下の範囲である、請求項13~15のいずれかに記載の検査チップ。
  17. 前記複数のナノロッドの直径または一辺の長さは、100nm以上500nm以下の範囲である、請求項13~16のいずれかに記載の検査チップ。
  18. 前記複数のナノロッドの高さは、100nm以上2μm以下の範囲である、請求項13~17のいずれかに記載の検査チップ。
  19. 前記複数のナノロッドは、2以上の異なる直径を有する円柱、もしくは2以上の異なる一辺の長さを有する角柱であり、かつ/または、2以上の異なる周期で配列されている、請求項13~18のいずれかに記載の検査チップ。
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