JP7298030B2 - マイクロメカニカル角速度センサシステム、角速度センサアレイ及び対応する製造方法 - Google Patents

マイクロメカニカル角速度センサシステム、角速度センサアレイ及び対応する製造方法 Download PDF

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Description

本発明は、マイクロメカニカル角速度センサシステム、角速度センサアレイ及び対応する製造方法に関する。
ＤＥ１０２０１７／２１６０１０Ａ１及び米国特許出願公開第２０１９／００７８８８７（Ａ１）号から、マイクロメカニカル角速度センサシステムが公知である。これは、回転駆動可能な第１の角速度センサ装置と、線形振動するように駆動可能な第２の角速度センサ装置とを有する。さらなる角速度センサは、ＤＥ１０２０１００６２０９５Ａ１、ＷＯ９６／３９６１５Ａ１、ＤＥ１０２０１００６１７５５Ａ１及びＤＥ１０２０１１００６３９４Ａ１から公知である。
本発明は、請求項１に記載のマイクロメカニカル角速度センサシステム、請求項１２に記載のマイクロメカニカル角速度センサアレイ、及び請求項１３に記載の対応する製造方法を提供する。
好ましい改善形態は、それぞれの従属請求項を対象とする。
したがって、本発明は、第２の軸周りの第１の外部角速度及び第３の軸周りの第２の外部角速度を検出するための、第１の軸周りを回転振動するように駆動フレーム装置を介した駆動装置によって駆動可能な第１の角速度センサ装置であって、第１の軸、第２の軸及び第３の軸が互いに直角に配置されている第１の角速度センサ装置と、第１の軸周りの第３の外部角速度を検出するための、第３の軸に沿って線形振動するように駆動フレーム装置を介した駆動装置によって駆動可能な第２の角速度センサ装置とを有するマイクロメカニカル角速度センサシステムに関する。第１の角速度センサ装置は、駆動フレーム装置を介して第２の角速度センサ装置に接続されている。駆動フレーム装置は、駆動装置によって第３の軸に沿って逆位相で振動するように駆動可能な第１の駆動フレームと、第２の駆動フレームとを有する。回転駆動可能な第１の角速度センサ装置は、第１の軸周りを振動するように駆動可能な第１のロータ装置と、第１のロータ装置と逆位相で第１の軸周りを振動するように駆動可能な第２のロータ装置とを有する。第１のロータ装置は、第１の外部角速度で第２の軸周りで、及び第２の外部角速度で第３の軸周りで傾斜可能であり、第２のロータ装置は、第１の外部角速度で第２の軸周りで、及び第２の外部角速度で第３の軸周りで、第１のロータ装置と逆平行に傾斜可能である。さらに、回転駆動可能な第１の角速度センサ装置は、第２の軸周りの平行の傾斜が抑制され、第２の軸周りの逆平行の傾斜が可能となるように、第１のロータ装置と第２のロータ装置とを連結する第１のばね装置を有する第１の連結装置を有し、第３の軸周りの平行の傾斜が抑制され、第３の軸周りの逆平行の傾斜が可能となるように、第１のロータ装置と第２のロータ装置とを連結する第２の連結装置を有する。第１の検出装置は、第１及び第２のロータ装置の第２の軸周りの逆平行の傾斜を検出するためのものであり、第２の検出装置は、第１及び第２のロータ装置の第３の軸周りの逆平行の傾斜を検出するためのものである。第２の連結装置は、第１から第３の揺動部を有し、第１の揺動部は、ばね装置を介して第１のロータ装置及び第１の駆動フレームに接続され、第２の揺動部は、ばね装置を介して第２のロータ装置及び第２の駆動フレームに接続され、第１及び第２の揺動部は、ばね装置を介してそれぞれ第３の揺動部に接続されている。第２の連結装置は、第４から第６の揺動部を有し、第４の揺動部は、ばね装置を介して第１のロータ装置と第１の駆動フレームとに接続され、第５の揺動部は、ばね装置を介して第２のロータ装置と第２の駆動フレームとに接続され、第４及び第５の揺動部は、ばね装置を介してそれぞれ第６の揺動部に接続されている。
本発明の基礎となる考え方は、１軸及び２軸角速度センサを、共通の駆動機構を介して組み合わせることにある。その結果生じる３軸角速度センサは、外部の線形加速度及び回転加速度に対して頑強であり、特に自動車周辺環境におけるセーフティ関連の使用方法のための要件を満たしている。
３つの全ての測定軸に共通の駆動機構を備えるマイクロメカニカル角速度センサシステムは、３つの個別の角速度センサに対して複数の利点がある。駆動機構が１つであるため、センサコアにおいて駆動構造並びに接続パッド及び関連する配線を削減することができる。そのため、１つの駆動制御回路のみを用意すればよいため、ＡＳＩＣ（Ａｐｐｌｉｃａｔｉｏｎ Ｓｐｅｃｉｆｉｃ Ｉｎｔｅｇｒａｔｅｄ Ｃｉｒｃｕｉｔ）もコンパクトに構成することができる。様々な角速度センサに対する異なる駆動周波数を回避することは、例えば駆動力の寄生クロストークによる相互干渉を回避することができるため、特に有利である。さらに、パッケージがより簡素になり、本発明に係る角速度センサシステムの設計によって、互いに対する個々の角速度センサの考えられる誤配置が除外される。
外力（振動）による（共振）加振や、システムの力学的又は静電学的な非線形クロストークなど、様々な方法で３軸角速度センサのエラー信号につながり得る干渉モードは、回避することができる。これに対し、同一の１軸角速度センサを３つ使用した場合、全ての角速度センサがプロセスによって異なる周波数の同じ干渉モードを持つため、対象となる周波数範囲では干渉モードの数が総じて３倍となる。したがって、多軸角速度センサでは、同一の検出構造が１つより多い測定軸に対して感度を有することで、干渉モードをさらに低減することが可能である。
本発明によれば、３つの揺動部がそれぞれ２つ設けられ、これらは共に、第１のロータ装置、第２のロータ装置、第１の駆動フレーム及び第２の駆動フレームを接続する。揺動部は平行な軸周りを回転可能であり、中央の揺動部は外側の揺動部と逆平行に傾斜する。このような構成は、少数のばね装置で実現することができる。蛇行が少ない構造を有する構成とすることで、角速度センサシステムを小さく構成することができる。さらに、傾斜の周波数をより良好に調整することができる。
好ましい改善形態によれば、線形駆動可能な第２の角速度センサ装置は、第１の部分フレーム及び第２の部分フレームを備えるフレーム装置を有し、第１の部分フレーム及び第２の部分フレームは、第３の軸に沿って振動するように駆動可能である。したがって、第２の角速度センサ装置は、第１の部分フレームと第２の部分フレームとに分割された１つの検出フレームのみを含む。検出フレームは駆動動作時に移動する。第１及び第２の部分フレームは、第３の外部角速度によって、第１の軸周りで、第２の軸に沿って逆位相で振動するように変位可能である。好ましくは、フレーム装置はちょうど２つの部分フレームで構成される。機械的な可動構造を減らすことで、低周波で励起できるモードの数を有利に低減することができる。
さらなる好ましい改善形態によれば、線形駆動可能な第２の角速度センサ装置は、第１のフレームと第２のフレームとを備えるフレーム装置を有し、第２のフレームは少なくとも部分的に第１のフレームに囲まれており、第１のフレームは第３の軸に沿って振動するように駆動可能であり、第２のフレームは第１のフレームと逆位相で第３の軸に沿って振動するように駆動可能であり、第１のフレーム及び第２のフレームは、第３の外部角速度によって第１の軸周りで、第２の軸に沿って逆位相で振動するように変位可能であり、第１のフレームは、第１の部分フレーム及び第２の部分フレームを有し、第２のフレームは、第３の部分フレーム及び第４の部分フレームを有する。第３の軸に沿った第１の部分フレームと第３の部分フレームの同位相の変位が抑制され、第３の軸に沿った第１の部分フレームと第３の部分フレームの逆位相の変位が可能となるように、第１の部分フレームと第３の部分フレームとが連結されている第３の連結装置と、第３の軸に沿った第２の部分フレームと第４の部分フレームの同位相の変位が抑制され、第３の軸に沿った第２の部分フレームと第４の部分フレームの逆位相の変位が可能となるように、第２の部分フレームと第４の部分フレームとが連結されている第４の連結装置と、が設けられている。第３の検出装置は、第２の軸に沿った第１のフレームと第２のフレームとの逆位相の変位を検出するために機能する。このような角速度センサ装置は、回転駆動可能な第１の角速度センサ装置に良好に連結することができる。
さらなる好ましい改善形態によれば、第１の部分駆動フレームと第３の部分駆動フレームとを接続するための連結装置と、第２の部分駆動フレームと第４の部分駆動フレームとを接続するための連結装置とが設けられている。したがって、さらなる部分駆動フレームの効果的な線形連結を達成することができる。
さらなる好ましい改善形態によれば、駆動装置は、第１の駆動フレームを駆動するための第１の駆動部と、第２の駆動フレームを駆動するための第２の駆動部とを有する。これにより、左右対称の駆動が可能となる。
さらなる好ましい改善形態によれば、駆動装置は、第１の駆動フレームを駆動し、かつ第２の駆動フレームを駆動するための単一の共通駆動部を有する。これにより、設計上のスペースが節約される。
さらなる好ましい改善形態によれば、第１及び／又は第２のロータ装置は、その下方にある直交電極と協働するように構成された１つ又は複数の直交電極を有する。これにより、駆動精度が向上する。
さらなる好ましい改善形態によれば、第１及び／又は第２のロータ装置の下方にさらなる電極が配置され、この電極により直交運動を補償し、及び／又は試験信号を出力することができる。このような構成は、特に開ループ制御のために設けることができる。さらに、周波数調整用や駆動動作の検出用の電極を設けてもよい。
さらなる好ましい改善形態によれば、第１の検出装置及び第２の検出装置は、第１及び第２のロータ装置の下方に配置されたそれぞれの複数の容量性プレート電極を有する。したがって、傾斜を確実に検出することができる。
さらなる好ましい改善形態によれば、第３の検出装置は、第１及び第２のフレーム内に配置された複数の容量性櫛形電極を有する。したがって、左右非対称の変位を確実に検出することができる。
さらなる好ましい改善形態によれば、マイクロメカニカル角速度センサシステムは、さらなる第２の角速度センサ装置を有し、第１の角速度センサ装置は、駆動フレーム装置を介してさらなる第２の角速度センサ装置に接続されている。第２の角速度センサ装置とさらなる第２の角速度センサ装置の構成は同一であってもよい。特に、さらなる第２の角速度センサ装置も、第１の軸周りの第３の外部角速度を検出するために、駆動フレーム装置を介した駆動装置によって、第３の軸に沿って線形振動するように駆動可能である。第２の角速度センサ装置及びさらなる第２の角速度センサ装置は、第１の角速度センサ装置に対して好ましくは対称的に取り付けられている。対称性を高めることで、製造公差の影響を低減することができる。角速度センサ装置全体は、その交点が角速度センサ装置の中心にある２本の垂直な軸に対して対称である。
特に有利には、マイクロメカニカル角速度センサアレイは、アレイ状に配置され、互いに相互接続された複数のマイクロメカニカル角速度センサシステムを含み、それぞれ第２の及びさらなる第２の角速度センサ装置を有する。これにより、全体の構成をさらに対称にすることができる。
本発明のさらなる特徴及び利点を、図に関連する実施形態を参照して以下に説明する。
本発明の第１の実施形態に係るマイクロメカニカル角速度センサシステムを説明する概略平面図である。 代替的な第２の角速度センサ装置を説明する概略平面図である。 本発明の第２の実施形態に係るマイクロメカニカル角速度センサシステムを説明する概略平面図である。 本発明の第１の実施形態に係る角速度センサシステムの第１及び第２の駆動フレームの第１の代替的な連結方法を示す拡大断面図である。 本発明の第１の実施形態に係る角速度センサシステムの第１及び第２の駆動フレームの第２の代替的な連結方法を示す拡大断面図である。 本発明の第３の実施形態に係るマイクロメカニカル角速度センサシステムを説明する概略平面図である。 図７ａ）は、本発明に係るマイクロメカニカル角速度センサシステムのための様々なばね懸架装置を説明する概略平面図である。図７ｂ）は、本発明に係るマイクロメカニカル角速度センサシステムのための様々なばね懸架装置を説明する概略平面図である。図７ｃ）は、本発明に係るマイクロメカニカル角速度センサシステムのための様々なばね懸架装置を説明する概略平面図である。 本発明の第４の実施形態に係るマイクロメカニカル角速度センサシステムを説明する概略平面図である。 本発明の第５の実施形態に係るマイクロメカニカル角速度センサシステムを説明する概略平面図である。 本発明の一実施形態に係る角速度センサアレイを説明する概略平面図である。
図中、同じ参照符号は、同一又は機能的に同一の要素を示す。
図１は、本発明の第１の実施形態に係るマイクロメカニカル角速度センサシステムを説明するための概略平面図である。
図１において、符号１００は、第２の軸（ｙ軸）周りの第１の外部角速度及び第３の軸（ｘ軸）周りの第２の外部角速度を検出するために、第１の軸（ｚ軸）周りを回転振動するように駆動可能な第１の角速度センサ装置を表す。第１の軸、第２の軸、第３の軸（ｚ、ｙ、ｘ）は、互いに垂直に配置されている。
回転駆動可能な第１の角速度センサ装置１００は、第１の軸（ｚ軸）周りを振動するように駆動可能な第１のロータ装置１ａと、第１のロータ装置１ａに対して逆位相で第１の軸（ｚ軸）周りを振動するように駆動可能な第２のロータ装置１ｂとを有する。
本第１の実施形態では、第１のロータ装置１ａ及び第２のロータ装置１ｂは、板状の角型に形成されており、それぞれの中央切欠き部に付随する第１の又は第２の懸架装置Ａ１ａ、Ａ１ｂが配置され、係止されている。
第１のロータ装置１ａは、第２の軸（ｙ軸）周りを第１の外部角速度で傾斜可能であり、第３の軸（ｘ軸）周りを第２の外部角速度で傾斜可能である。第２のロータ装置１ｂは、第２の軸（ｙ軸）周りの第１の外部角速度と第３の軸（ｘ軸）周りの第２の外部角速度とによって、第１のロータ装置１ａに対して逆平行に傾斜可能である。
第１及び第２のロータ装置１ａ、１ｂは、異方性ばね定数によって、第２の軸（ｙ軸）周りの平行の傾斜が抑制され、第２の軸（ｙ軸）周りの逆平行の傾斜が可能となるように、第１の連結装置としての第１のばね装置Ｆ１３を介して連結されている。
さらに、第２の連結装置Ｋ１、Ｋ２が設けられ、これを介して、第１のロータ装置１ａ及び第２のロータ装置１ｂは、同様に第２の連結装置Ｋ１、Ｋ２の異方性ばね定数によって、第３の軸（ｘ軸）周りの平行の傾斜が抑制され、第３の軸（ｘ軸）周りの逆平行の傾斜が可能となるように連結されている。
第２の連結装置Ｋ１、Ｋ２は、第１の揺動部３ａ１を備える第１の部分Ｋ１を有し、この揺動部３ａ１は、第１のばね装置ｙ３及び接続要素３ｃ１を介して第１のロータ装置１ａと接続されている。第２の揺動部３ａ２は、第２のばね装置ｙ４及び接続要素３ｃ２を介して第２のロータ装置１ｂに接続されている。第１及び第２の揺動部３ａ１、３ａ２は、第３又は第４のばね装置y5、ｙ６を介してそれぞれ第３の揺動部３ａに接続されている。第３の揺動部３ａは、第１の弾性懸架部Ａ１を介して基板（図示せず）に固定されている。
第２の連結装置Ｋ１、Ｋ２は、第４から第６の揺動部３ｂ、３ｂ１、３ｂ２をさらに有し、第４の揺動部３ｂ１は、第５のばね装置ｙ９及び接続要素３ｄ１を介して第１のロータ装置１ａに接続されている。第５の揺動部３ａ２は、第６のばね装置ｙ１０及び接続要素３ｄ２を介して第２のロータ装置１ｂに接続されている。第４及び第５の揺動部３ｂ１、３ｂ２は、第７又は第８のばね装置ｙ１１、ｙ１２を介してそれぞれ第６の揺動部３ｂに接続されている。第６の揺動部３ｂは、第２の弾性懸架部Ａ２を介して基板に固定されている。
さらに、第１の揺動部３ａ１及び第２の揺動部３ａ２は、第９及び第１０のばね装置ｙ１、ｙ２を介して第１の部分駆動フレームＲＡ１ａ及び第２の部分駆動フレームＲＡ１ｂに接続され、第１の部分駆動フレームＲＡ１ａ及び第２の部分駆動フレームＲＡ１ｂは、第１の駆動フレームＲＡ１ａ、ＲＡ１ｂの一部である。
最後に、第４の揺動部３ｂ１及び第５の揺動部３ｂ２は、第１１及び第１２のばね装置ｙ７、ｙ８を介して第３の部分駆動フレームＲＡ２ａ及び第４の部分駆動フレームＲＡ２ｂに接続されており、第３の部分駆動フレームＲＡ２ａ及び第４の部分駆動フレームＲＡ２ｂは、第２の駆動フレームＲＡ２ａ、ＲＡ２ｂの一部である。
第１の検出装置ＣＰＹ、ＣＮＹ、ＣＰＹ‘、ＣＮＹ‘は、第１及び第２のロータ装置１ａ、１ｂの第２の軸（ｙ軸）周りの逆平行の傾斜を検出するために機能する。第２の検出装置ＣＰＸ、ＣＮＸ、ＣＰＸ‘、ＣＮＸ‘は、第１及び第２のロータ装置１ａ、１ｂの第３の軸（ｘ軸）周りの逆平行の傾斜を検出するために機能する。
第１の検出装置ＣＰＹ、ＣＮＹ、ＣＰＹ‘、ＣＮＹ‘及び第２の検出装置ＣＰＸ、ＣＮＸ、ＣＰＸ‘、ＣＮＸ‘は、例えば、図１にそれぞれの円で概略的に示されているように、直交運動を補償し、及び／又は試験信号を出力することができる、第１及び第２のロータ装置１ａ、１ｂの下方に配置されているそれぞれの複数の容量性プレート電極又はさらなる電極を有する。
第３の軸（ｘ軸）に沿って線形振動するように駆動するために、第１の駆動部ＡＴ１と第２の駆動部ＡＴ２とを有する駆動装置ＡＴ１、ＡＴ２、例えば（概略的にのみ示す）櫛形駆動装置が設けられている。
第１の駆動部ＡＴ１は、第１の駆動フレームＲＡ１ａ、ＲＡ１ｂに接続されている。
第２の駆動部ＡＴ２は、第２の駆動フレームＲＡ２ａ、ＲＡ２ｂに接続されている。
第１の駆動フレームＲＡ１ａ、ＲＡ１ｂ及び第２の駆動フレームＲＡ２ａ、ＲＡ２ｂは角状に構成されており、第１のロータ装置１ａからその平面内を横方向に延びている。
第１の部分駆動フレームＲＡ１ａは、ばねＦ１、Ｆ２を介して基板（図示せず）に接続されている。第２の部分駆動フレームＲＡ１ｂは、ばねＦ３、Ｆ４を介して基板に接続されている。さらに、第１の部分駆動フレームＲＡ１ａ及び第２の部分駆動フレームＲＡ１ｂは、ばねＦ５を介して相互に接続されている。ばねＦ１～Ｆ５は、第３の軸（ｘ軸）に沿って振動運動することが好ましいように構成されている。
第３の部分駆動フレームＲＡ２ａは、ばねＦ６、Ｆ７を介して基板（図示せず）に接続されている。第４の部分駆動フレームＲＡ２ｂは、ばねＦ８、Ｆ９を介して基板に接続されている。さらに、第３の部分駆動フレームＲＡ２ａ及び第４の部分駆動フレームＲＡ２ｂは、ばねＦ１０を介して相互に接続されている。また、ばねＦ６～Ｆ１０は、第３の軸（ｘ軸）に沿って振動運動することが好ましいように構成されている。
ばねＦ１０、Ｆ１４は、第３の部分駆動フレームＲＡ２ａと第４の部分駆動フレームＲＡ２ｂとを接続する。
第３の部分駆動フレームＲＡ２ａ及び第４の部分駆動フレームＲＡ２ｂは、第２のロータ装置１ｂと、以下にさらに説明する第１の軸（ｚ軸）周りの第３の外部角速度を検出するための、第３の軸（ｘ軸）に沿って線形振動するように駆動可能な第２の角速度センサ装置２００とを囲んでいる。
さらに、第３の部分駆動フレームＲＡ２ａ及び第４の部分駆動フレームＲＡ２ｂは、第１の角速度センサ装置１００と第２の角速度センサ装置２００との間の介在空間に延在し、ばねＦ１４を介して相互に接続されている。
さらに、第１の部分駆動フレームＲＡ１ａ及び第３の部分駆動フレームＲＡ２ａは、ばねＦ１１を介して相互に接続され、第２の部分駆動フレームＲＡ１ｂ及び第４の部分駆動フレームＲＡ２ｂは、ばねＦ１２を介して相互に接続されている。ばねＦ１１、Ｆ１２は、第３の軸（ｘ軸）に沿った逆位相の振動運動が好ましく、同位相の運動が抑制されるように構成されている。第１及び第２の駆動フレームＲＡ１ａ、ＲＡ１ｂ、ＲＡ２ａ、ＲＡ２ｂのそれぞれの駆動動作方向ＡＢは、対応する矢印で示されている。
第２の角速度センサ装置２００は、第１のフレームＲ１ａ、Ｒ１ｂと第２のフレームＲ２ａ、Ｒ２ｂとを備えるフレーム装置を有し、第１のフレームＲ１ａ、Ｒ１ｂは、第１の部分フレームＲ１ａと第２の部分フレームＲ１ｂとを有し、第２のフレームＲ２ａ、Ｒ２ｂは、第３の部分フレームＲ２ａと第４の部分フレームＲ２ｂとを有する。第２のフレームＲ２ａ、Ｒ２ｂは、隣接する３辺を第１のフレームＲ１ａ、Ｒ１ｂに囲まれている。
第１のフレームＲ１ａ、Ｒ１ｂは、第３及び第４の部分駆動フレームＲＡ２ａ、ＲＡ２ｂとばね装置Ｆ２０～Ｆ２３、Ｆ３０～Ｆ３３とを介して、第２の駆動部ＡＴ２により第３の軸ｘに沿って振動するように駆動可能である。
第３の軸ｘに沿った第１及び第３の部分フレームＲ１ａ、Ｒ２ａの同位相の変位が抑制され、第３の軸ｘに沿った第１及び第３の部分フレームＲ１ａ、Ｒ２ａの逆位相の変位が可能となるように、第１の部分フレームＲ１ａ及び第３の部分フレームＲ２ａがそれを介して連結されているばね装置Ｆ７１～Ｆ７４が設けられているため、第２のフレームＲ２ａ、Ｒ２ｂは、間接的に第１のフレームＲ１ａ、Ｒ１ｂによって、第３の軸ｘに沿って第１のフレームＲ１ａ、Ｒ１ｂと逆位相で振動するように駆動可能である。第２の部分フレームＲ１ｂ及び第４の部分フレームＲ２ｂとは、第３の軸ｘに沿った第２及び第４の部分フレームＲ１ｂ、Ｒ２ｂの同位相の変位が抑制され、第３の軸ｘに沿った第２及び第４の部分フレームＲ１ｂ、Ｒ２ｂの逆位相の変位が可能となるように、類似のばね装置Ｆ８１～Ｆ８４を介して連結されている。
異方性ばね装置Ｆ２４、Ｆ２５、Ｆ９１、Ｆ９２は、第３の部分フレームＲ２ａと基板とを接続し、異方性ばね装置Ｆ２６、Ｆ２７、Ｆ９３、Ｆ９４は、第４の部分フレームＲ２ｂと基板とを接続し、異方性ばね装置Ｆ１５は、基板と第３の部分フレームＲ２ａ及び第４の部分フレームＲ２ｂとを接続し、第３の部分フレームＲ２ａと第４の部分フレームＲ２ｂとを相互に接続する。
第１及び第２のフレームＲ１ａ、Ｒ１ｂ、Ｒ２ａ、Ｒ２ｂは、第３の外部角速度によって、第１の軸ｚ周りで第２の軸ｙに沿って逆位相で振動するように変位可能である。駆動動作の方向ＡＢ及び検出動作の方向ＤＢは、対応する矢印で示されている。
第３の検出装置ＥＫ１、ＥＫ２、例えば容量性櫛形構造は、第２の軸ｙに沿った第１及び第２のフレームＲ１ａ、Ｒ１ｂ、Ｒ２ａ、Ｒ２ｂの逆位相の変位を検出するために機能し、本例では第３の部分フレームＲ２ａ及び第４の部分フレームＲ２ｂの相互変位のみが第３の検出装置ＥＫ１、ＥＫ２により検出される。
図２は、代替的な第２の角速度センサ装置２００‘を説明するための概略平面図である。これは、第１の部分フレームＲ１ａ‘と第２の部分フレームＲ１ｂ‘とを備えたフレーム装置Ｒ１ａ‘、Ｒ１ｂ‘を含み、第１の部分フレームＲ１ａ‘、Ｒ１ｂ‘及び第２の部分フレームＲ１ｂ‘は、第３の軸ｘに沿って振動するように駆動可能である。第１及び第２の部分フレームＲ１ａ‘、Ｒ１ｂ‘は、第３の外部角速度によって、第１の軸ｚ周りで第２の軸ｙに沿って逆位相で振動するように変位可能である。特に、フレーム装置Ｒ１ａ‘、Ｒ１ｂ‘は、図１に示した４つの部分フレームＲ１ａ、Ｒ２ａ、Ｒ１ｂ、Ｒ２ｂの代わりに、ちょうど２つの部分フレームＲ１ａ‘、Ｒ１ｂ‘で構成されている。
図３は、本発明の第２の実施形態に係るマイクロメカニカル角速度センサシステムを説明するための概略平面図である。
第２の実施形態は、図１に従って上述した第１の実施形態と類似して構成されており、第１の部分駆動フレームＲＡ１ａ及び第３の部分駆動フレームＲＡ２ａが互いに直接接続されておらず、第２の部分駆動フレームＲＡ１ｂ及び第４の部分駆動フレームＲＡ２ｂも互いに直接接続されていない点のみが異なっている。第１の部分駆動フレームＲＡ１ａはばねＦ２ａによって基板に接続され、第２の部分駆動フレームＲＡ１ｂはばねＦ４ａを介して基板に接続され、第３の部分駆動フレームＲＡ２ａはばねＦ７ａを介して基板に接続され、第４の部分駆動フレームはばねＦ９ａを介して基板に接続されている。
第１の駆動フレームＲＡ１ａ、ＲＡ１ｂ及び第２の駆動フレームＲＡ２ａ、ＲＡ２ｂの間接的な接続は、第２の実施形態では、第１の角速度検出装置１００の一方の側では上述の部品ｙ１～ｙ６、３ａ、３ａ１、３ａ２を介して、対向側では上述の部品ｙ７～ｙ１２、３ｂ、３ｂ１、３ｂ２によって行われる。
図４は、本発明の第１の実施形態に係る角速度センサシステムの第１及び第２の駆動フレームの第１の代替的な連結方法を示す拡大断面図である。
第１の代替的な連結方法では、第１の部分駆動フレームＲＡ１ａ及び第３の部分駆動フレームＲＡ２ａはそれぞれ角度のついた端部Ｅ１、Ｅ２を有し、端部Ｅ１、Ｅ２間に角ばねＦ１２ｂが挿入されて基板に係止されている。
図５は、本発明の第１の実施形態に係る角速度センサシステムの第１及び第２の駆動フレームの第２の代替的な連結方法を示す拡大断面図である。
第２の代替的な連結方法では、第１の部分駆動フレームＲＡ１ａ及び第２の部分駆動フレームＲＡ２ａは同様に、それぞれ角度のついた端部Ｅ１、Ｅ２を有し、端部Ｅ１、Ｅ２の間にＵ字型ばねＦ１２ｃが投入され、基板に係止されている。さらに、基板に係止されたばねＦ１ｃが第１の端部Ｅ１には設けられ、第２の端部の基板に係止されたばねＦ２ｃは基板に設けられている。
図６は、本発明の第３の実施形態に係るマイクロメカニカル角速度センサシステムを説明する概略平面図である。
第３の実施形態では、ばねＦ５が省略されているため、第１の部分駆動フレームＲＡ１ａ‘及び第２の部分駆動フレームＲＡ１ｂ‘は角状の構成ではなく、直線状で相互に接続されていない。
特に、この第３の実施形態では、１つの駆動部、ここでは第２の駆動部ＡＴ２のみが設けられており、この駆動部は既に上述した。
ちなみに、第１の駆動フレームＲＡ１ａ、ＲＡ１ｂ及び第２の駆動フレームＲＡ２ａ、ＲＡ２ｂが互いに線形連結されている全ての実施形態において、第１の駆動部ＡＴ１は省略してもよい。
さらに、第１のロータ装置１ａに取り付けられた直交電極Ｑ１が概略的に示されており、これはその下方にある直交電極Ｑ２と容量的に相互作用し、対応する電圧を印加することでｘｙ平面以外の動きを防止している。当然ながら、このような直交電極を２つのロータ装置１ａ、１ｂの異なる位置に設けて、第１の角速度検出装置の動作を安定させてもよい。
図７ａ）～ｃ）は、本発明に係るマイクロメカニカル角速度センサシステムのための様々なばね懸架装置を説明するための概略平面図である。
特に、図７ａ）～ｃ）は、第１及び第２のロータ装置１ａ、１ｂの第１及び第２の懸架装置Ａ１ａ、Ａ１ｂの３つの異なる実施形態Ａ‘、Ａ‘‘、Ａ‘‘‘を示す。
第１の実施形態は、第１の軸（ｚ軸）周りを回転可能であり、第２の軸（ｙ軸）及び第３の軸（ｘ軸）周りで傾斜可能な第１の折り返しばねＬ１を有する。
第２の実施形態は、機械的特性が同じである異なる折り返しばねＬ２を有する。
第３の実施形態Ａ１‘‘‘は、剛性の湾曲円弧要素ＲＫ１、ＲＫ２を介して互いに接続された弾性ばねＬ３ａ、Ｌ３ｂ、Ｌ３ｃの組合せを有する。また、第３の実施形態Ａ１‘‘‘は、第１の軸（ｚ軸）周りを回転し、第２の軸（ｙ軸）及び第３の軸（ｘ軸）周りで傾斜可能である。
それぞれ、懸架装置Ａ‘、Ａ‘‘、Ａ‘‘‘は基板（図示せず）中央に係止されている。
図８は、本発明の第４の実施形態に係るマイクロメカニカル角速度センサシステムを説明する概略平面図である。
第４の実施形態は、第１の実施形態に対応し、第２の駆動部ＡＴ２‘は、第２の駆動フレームＲＡ２ａ‘、ＲＡ２ｂ‘の外側ではなく、第２の駆動フレームＲＡ２ａ‘、ＲＡ２ｂ‘の内側に配置されている。
さらに、第２の駆動フレームは中断され、端部領域ＲＡ２ａ‘‘、ＲＡ２ｂ‘‘は、ばねＦ７、Ｆ９を介してのみ基板に接続され、第２の駆動部ＡＴ２‘には直接接続されていない。
図９は、本発明の第５の実施形態に係るマイクロメカニカル角速度センサシステムを説明する概略平面図である。これは、２つの第２の角速度センサ装置２００を有し、第１の角速度センサ装置１００は、駆動フレーム装置ＲＡ１‘、ＲＡ２‘を介して第２の角速度センサ装置２００に接続されている。２つの第２の角速度センサ装置２００は、第１の角速度センサ装置１００のロータ装置１ａ‘、１ｂ‘に対して対称的に配置されている。
図面は概略的に理解されるものである。特に、第１及び第２の角速度センサ装置１００、２００及び駆動フレーム装置ＲＡ１‘、ＲＡ２‘は、上記に示した実施形態のうち任意の実施形態であってよい。
図１０は、本発明の一実施形態に係る角速度センサアレイを説明する概略平面図である。マイクロメカニカル角速度センサアレイは、図９に示すように、アレイ状に配置され、相互に接続された複数のマイクロメカニカル角速度センサシステムを有する。角速度センサシステムは剛性リンクＶ１、Ｖ２によって相互に接続されている。
以上、本発明を好ましい実施例を参照して記載したが、本発明はこれに限定されるものではない。特に、言及された材料やトポロジーは例示に過ぎず、説明された例に限定されない。
上記実施形態において図示された第１及び第２の角速度センサ装置の幾何学と対称性は例示に過ぎず、必要に応じて変動してよい。

Claims (13)

  1. 第２の軸（ｙ）周りの第１の外部角速度及び第３の軸（ｘ）周りの第２の外部角速度を検出するための、第１の軸（ｚ）周りを回転振動するように駆動フレーム装置（ＲＡ１ａ、ＲＡ１ｂ、ＲＡ２ａ、ＲＡ２ｂ；ＲＡ１ａ‘、ＲＡ１ｂ‘、ＲＡ２ａ、ＲＡ２ｂ；ＲＡ１‘、ＲＡ２‘）を介した駆動装置（ＡＴ１、ＡＴ２；ＡＴ２；ＡＴ１‘、ＡＴ２‘）によって駆動可能な第１の角速度センサ装置（１００）であって、前記第１の軸（ｚ）、第２の軸（ｙ）及び第３の軸（ｘ）が互いに直角に配置されている、第１の角速度センサ装置と、
    前記第１の軸（ｚ）周りの第３の外部角速度を検出するための、前記第３の軸（ｘ）に沿って線形振動するように前記駆動フレーム装置（ＲＡ１ａ、ＲＡ１ｂ、ＲＡ２ａ、ＲＡ２ｂ；ＲＡ１ａ‘、ＲＡ１ｂ‘、ＲＡ２ａ、ＲＡ２ｂ；ＲＡ１‘、ＲＡ２‘；ＲＡ１‘、ＲＡ２‘）を介した前記駆動装置（ＡＴ１、ＡＴ２；ＡＴ２；ＡＴ１‘、ＡＴ２‘）によって駆動可能な第２の角速度センサ装置（２００）と
    を有するマイクロメカニカル角速度センサシステムであって、
    前記第１の角速度センサ装置（１００）が、前記駆動フレーム装置（ＲＡ１ａ、ＲＡ１ｂ、ＲＡ２ａ、ＲＡ２ｂ；ＲＡ１ａ‘、ＲＡ１ｂ‘、ＲＡ２ａ、ＲＡ２ｂ；ＲＡ１‘、ＲＡ２‘）を介して前記第２の角速度センサ装置（２００）に接続されており、
    前記駆動フレーム装置（ＲＡ１ａ、ＲＡ１ｂ、ＲＡ２ａ、ＲＡ２ｂ；ＲＡ１ａ‘、ＲＡ１ｂ‘、ＲＡ２ａ、ＲＡ２ｂ；ＲＡ１‘、ＲＡ２‘；ＲＡ１‘、ＲＡ２‘）が、前記駆動装置（ＡＴ１、ＡＴ２；ＡＴ２；ＡＴ１‘、ＡＴ２‘）によって前記第３の軸（ｘ）に沿って逆位相で振動するように駆動可能な第１の駆動フレーム（ＲＡ１ａ、ＲＡ１ｂ；ＲＡ１‘）と、第２の駆動フレーム（ＲＡ２ａ、ＲＡ２ｂ；ＲＡ２‘）とを有し、
    前記回転駆動可能な第１の角速度センサ装置（１００）が、
    前記第１の軸（ｚ）周りを振動するように駆動可能な、第１のロータ装置（１ａ；１ａ‘）、及び前記第１のロータ装置（１ａ；１ａ‘）と逆位相で前記第１の軸（ｚ）周りを振動するように駆動可能な第２のロータ装置（１ｂ；１ｂ‘）であって、
    前記第１のロータ装置（１ａ；１ａ‘）が、前記第１の外部角速度で前記第２の軸（ｙ）周りで、及び前記第２の外部角速度で前記第３の軸（ｘ）周りで傾斜可能であり、
    前記第２のロータ装置（１ｂ；１ｂ‘）が、前記第１の外部角速度で前記第２の軸（ｙ）周りで、及び前記第２の外部角速度で前記第３の軸（ｘ）周りで、前記第１のロータ装置（１ａ；１ａ‘）と逆平行に傾斜可能である、第１のロータ装置（１ａ；１ａ‘）及び第２のロータ装置（１ｂ；１ｂ‘）と、
    前記第２の軸（ｙ）周りの平行の傾斜が抑制され、前記第２の軸（ｙ）周りの逆平行の傾斜が可能となるように、前記第１のロータ装置（１ａ；１ａ‘）と前記第２のロータ装置（１ｂ；１ｂ‘）とを連結する第１のばね装置（Ｆ１３）を有する第１の連結装置（Ｆ５；Ｆ６；ＳＡ、ＳＢ、Ｆ１２）と、
    前記第３の軸（ｘ）周りの平行の傾斜が抑制され、前記第３の軸（ｘ）周りの逆平行の傾斜が可能となるように、前記第１のロータ装置（１ａ；１ａ‘）と前記第２のロータ装置（１ｂ；１ｂ‘）とを連結する第２の連結装置（Ｋ１、Ｋ２）と、
    前記第１のロータ装置（１ａ；１ａ‘）及び第２のロータ装置（１ａ‘；１ｂ‘）の前記第２の軸（ｙ）周りの逆平行の傾斜を検出するための第１の検出装置（ＣＰＹ、ＣＮＹ；ＣＰＹ‘、ＣＮＹ‘）と、
    前記第１のロータ装置（１ａ；１ａ‘）及び第２のロータ装置（１ａ‘；１ｂ‘）の前記第３の軸（ｘ）周りの逆平行の傾斜を検出するための第２の検出装置（ＣＰＸ；ＣＮＸ；ＣＰＸ‘、ＣＮＸ‘）と
    を有するマイクロメカニカル角速度センサシステムにおいて、
    前記第２の連結装置（Ｋ１、Ｋ２）が、第１の揺動部（３ａ１）、第２の揺動部（３ａ２）及び第３の揺動部（３ａ）を有し、前記第１の揺動部（３ａ１）が、ばね装置（ｙ３、ｙ１）を介して前記第１のロータ装置（１ａ）及び前記第１の駆動フレーム（ＲＡ１ａ）に接続され、前記第２の揺動部（３ａ２）が、ばね装置（ｙ４、ｙ２）を介して前記第２のロータ装置（１ｂ）及び前記第２の駆動フレーム（ＲＡ２ａ）に接続され、前記第１の揺動部（３ａ１）及び第２の揺動部（３ａ２）が、ばね装置（ｙ５、ｙ６）を介してそれぞれ前記第３の揺動部（３ａ）に接続されており、
    前記第２の連結装置（Ｋ１、Ｋ２）が、第４の揺動部（３ｂ１）、第５の揺動部（３ｂ２）及び第６の揺動部（３ｂ）を有し、前記第４の揺動部（３ｂ１）が、ばね装置（ｙ９、ｙ７）を介して前記第１のロータ装置（１ａ）と前記第１の駆動フレーム（ＲＡ１ｂ）とに接続され、前記第５の揺動部（３ｂ２）は、ばね装置（ｙ１０、ｙ８）を介して前記第２のロータ装置（１ｂ）と前記第２の駆動フレーム（ＲＡ２ｂ）とに接続され、前記第４の揺動部（３ｂ１）及び第５の揺動部（３ｂ２）は、ばね装置（ｙ１１、ｙ１２）を介してそれぞれ前記第６の揺動部（３ｂ）に接続されていることを特徴とする、マイクロメカニカル角速度センサシステム。
  2. 前記線形駆動可能な第２の角速度センサ装置（２００）が、
    第１の部分フレーム（Ｒ１ａ‘）及び第２の部分フレーム（Ｒ１ｂ‘）を備えるフレーム装置（Ｒ１ａ‘、Ｒ１ｂ‘）を有し、前記第１の部分フレーム（Ｒ１ａ）及び前記第２の部分フレーム（Ｒ１ｂ‘）が、前記第３の軸（ｘ）に沿って振動するように駆動可能であり、
    前記第１の部分フレーム（Ｒ１ａ‘）及び第２の部分フレーム（Ｒ１ｂ‘）が、前記第３の外部角速度によって、前記第１の軸（ｚ）周りで、前記第２の軸（ｙ）に沿って逆位相で振動するように変位可能である、請求項１に記載のマイクロメカニカル角速度センサシステム。
  3. 前記線形駆動可能な第２の角速度センサ装置（２００）が、
    第１のフレーム（Ｒ１ａ、Ｒ１ｂ）と第２のフレーム（Ｒ２ａ；Ｒ２ｂ）とを備えるフレーム装置（Ｒ１ａ、Ｒ１ｂ；Ｒ２ａ、Ｒ２ｂ）であって、
    前記第２のフレーム（Ｒ２ａ；Ｒ２ｂ）が少なくとも部分的に前記第１のフレーム（Ｒ１ａ、Ｒ１ｂ）に囲まれており、
    前記第１のフレーム（Ｒ１ａ、Ｒ１ｂ）が前記第３の軸（ｘ）に沿って振動するように駆動可能であり、前記第２のフレーム（Ｒ２ａ；Ｒ２ｂ）が前記第１のフレーム（Ｒ１ａ、Ｒ１ｂ）と逆位相で前記第３の軸（ｘ）に沿って振動するように駆動可能であり、
    前記第１のフレーム（Ｒ１ａ、Ｒ１ｂ）及び第２のフレーム（Ｒ２ａ、Ｒ２ｂ）が、前記第３の外部角速度によって前記第１の軸（ｚ）周りで、前記第２の軸（ｙ）に沿って逆位相で振動するように変位可能であり、
    前記第１のフレーム（Ｒ１ａ、Ｒ１ｂ）が、第１の部分フレーム（Ｒ１ａ）及び第２の部分フレーム（Ｒ１ｂ）を有し、前記第２のフレーム（Ｒ２ａ；Ｒ２ｂ）が、第３の部分フレーム（Ｒ２ａ）及び第４の部分フレーム（Ｒ２ｂ）を有する、フレーム装置（Ｒ１ａ、Ｒ１ｂ；Ｒ２ａ、Ｒ２ｂ）と、
    前記第３の軸（ｘ）に沿った前記第１の部分フレーム及び前記第３の部分フレーム（Ｒ１ａ；Ｒ２ａ）の同位相の変位が抑制され、前記第３の軸（ｘ）に沿った前記第１の部分フレーム及び前記第３の部分フレーム（Ｒ１ａ；Ｒ２ａ）の逆位相の変位が可能となるように、前記第１の部分フレーム（Ｒ１ａ）及び前記第３の部分フレーム（Ｒ２ａ）が連結されている、第３の連結装置（Ｆ７１－Ｆ７４）と、
    前記第３の軸（ｘ）に沿った前記第２の部分フレーム及び前記第４の部分フレーム（Ｒ１ｂ；Ｒ２ｂ）の同位相の変位が抑制され、前記第３の軸（ｘ）に沿った前記第２の部分フレーム（Ｒ１ｂ）及び前記第４の部分フレーム（Ｒ２ｂ）の逆位相の変位が可能となるように、前記第２の部分フレーム（Ｒ１ｂ）及び前記第４の部分フレーム（Ｒ２ｂ）が連結されている、第４の連結装置（Ｆ８１－Ｆ８４）と、
    前記第２の軸（ｙ）に沿った前記第１のフレーム（Ｒ１ａ、Ｒ１ｂ）と前記第２のフレーム（Ｒ２ａ、Ｒ２ｂ）との逆位相の変位を検出するための第３の検出装置（ＥＫ１、ＥＫ２）と
    を有する、請求項１に記載のマイクロメカニカル角速度センサシステム。
  4. 前記第３の検出装置（ＥＫ１、ＥＫ２、ＥＫ３）が、前記第１のフレーム（Ｒ１ａ、Ｒ１ｂ）及び第２のフレーム（Ｒ２ａ、Ｒ２ｂ）内に配置された複数の容量性櫛形電極を有する、請求項３に記載のマイクロメカニカル角速度センサシステム。
  5. 前記第１の駆動フレーム（ＲＡ１ａ、ＲＡ１ｂ；ＲＡ１‘）は第１の部分駆動フレーム（ＲＡ１ａ）と第２の部分駆動フレーム（ＲＡ１ｂ）を含み、前記第２の駆動フレーム（ＲＡ２ａ、ＲＡ２ｂ；ＲＡ２‘）は第３の部分駆動フレーム（ＲＡ２ａ）と第４の部分駆動フレーム（ＲＡ２ｂ）を含み、
    前記第１の部分駆動フレーム（ＲＡ１ａ）と前記第３の部分駆動フレーム（ＲＡ２ａ）とを接続するための連結装置（Ｆ１１）と、前記第２の部分駆動フレーム（ＲＡ１ｂ）と前記第４の部分駆動フレーム（ＲＡ２ｂ）とを接続するための連結装置（Ｆ１２）とが設けられている、請求項１～４のいずれか一項に記載のマイクロメカニカル角速度センサシステム。
  6. 前記駆動装置（ＡＴ１、ＡＴ２；ＡＴ２；ＡＴＴ、ＡＴ２‘）は、前記第１の駆動フレーム（ＲＡ１ａ、ＲＡ１ｂ；ＲＡ１‘）を駆動するための第１の駆動部（ＡＴ１；ＡＴ）と、前記第２の駆動フレーム（ＲＡ２ａ、ＲＡ２ｂ；ＲＡ２‘）を駆動するための第２の駆動部（ＡＴ２；ＡＴ２‘）とを有する、請求項１～５のいずれか一項に記載のマイクロメカニカル角速度センサシステム。
  7. 前記駆動装置（ＡＴ１、ＡＴ２；ＡＴ２；ＡＴＴ、ＡＴ２‘）が、前記第１の駆動フレーム（ＲＡ１ａ、ＲＡ１ｂ；ＲＡＴ）を駆動するための、及び前記第２の駆動フレーム（ＲＡ２ａ、ＲＡ２ｂ；ＲＡ２‘）を駆動するための単一の共通駆動部（ＡＴ２）を有する、請求項１～５のいずれか一項に記載のマイクロメカニカル角速度センサシステム。
  8. １つ又は複数の試験信号電極が、前記第１のロータ装置（１ａ；１ａ‘）及び／又は第２のロータ装置（１ｂ；１ｂ‘）の下方に配置されている、請求項１～７のいずれか一項に記載のマイクロメカニカル角速度センサシステム。
  9. 前記第１のロータ装置（１ａ；１ａ‘）及び／又は第２のロータ装置（１ｂ；１ｂ‘）が、その下方にある直交電極（Ｑ２）と協働するように構成された１つ又は複数の直交電極（Ｑ１）を有する、請求項１～８のいずれか一項に記載のマイクロメカニカル角速度センサシステム。
  10. 前記第１の検出装置（ＣＰＹ、ＣＮＹ；ＣＰＹ‘、ＣＮＹ‘）及び前記第２の検出装置（ＣＰＸ、ＣＮＸ；ＣＰＸ‘、ＣＮＸ‘）が、前記第１のロータ装置（１ａ；１ａ‘）及び第２のロータ装置（１ｂ；１ｂ‘）の下方に配置されたそれぞれの複数の容量性プレート電極を有する、請求項１～９のいずれか一項に記載のマイクロメカニカル角速度センサシステム。
  11. さらなる第２の角速度センサ装置（２００）を備え、前記第１の角速度センサ装置（１００）が、前記駆動フレーム装置（ＲＡ１ａ、ＲＡ１ｂ、ＲＡ２ａ、ＲＡ２ｂ；ＲＡ１ａ‘、ＲＡ１ｂ‘、ＲＡ２ａ、ＲＡ２ｂ；ＲＡＴ、ＲＡ２‘）を介して前記さらなる第２の角速度センサ装置（２００）に接続されている、請求項１～１０のいずれか一項に記載のマイクロメカニカル角速度センサシステム。
  12. アレイ状に配置され、相互に接続された、請求項１～１１のいずれか一項に記載の複数のマイクロメカニカル角速度センサシステムを備えた、マイクロメカニカル角速度センサアレイ。
  13. マイクロメカニカル角速度センサシステムの製造方法であって、
    駆動装置（ＡＴ１、ＡＴ２；ＡＴ１‘、ＡＴ２‘）によって、第３の軸（ｘ）に沿って逆位相で振動するように駆動可能な第１の駆動フレーム（ＲＡ１ａ、ＲＡ１ｂ；ＲＡＴ）及び第２の駆動フレーム（ＲＡ２ａ、ＲＡ２ｂ）を有する駆動フレーム装置（ＲＡ１ａ、ＲＡ１ｂ、ＲＡ２ａ、ＲＡ２ｂ；ＲＡ１ａ‘、ＲＡ１ｂ‘、ＲＡ２ａ、ＲＡ２ｂ；ＲＡＴ、ＲＡ２‘）を形成するステップと、
    第２の軸（ｙ）周りの第１の外部角速度及び第３の軸（ｘ）周りの第２の外部角速度を検出するための、前記駆動装置（ＡＴ１、ＡＴ２；ＡＴ２；ＡＴ１‘、ＡＴ２‘）によって前記駆動フレーム装置（ＲＡ１ａ、ＲＡ１ｂ、ＲＡ２ａ、ＲＡ２ｂ；ＲＡ１ａ‘、ＲＡ１ｂ‘、ＲＡ２ａ、ＲＡ２ｂ；ＲＡ１‘、ＲＡ２‘；ＲＡ１‘、ＲＡ２‘）を介して第１の軸（ｚ）周りで回転振動するように駆動可能な第１の角速度センサ装置（１００）を形成するステップであって、前記第１の軸（ｚ）、第２の軸（ｙ）及び第３の軸（ｘ）が互いに垂直に配置されている、ステップと、
    前記第１の軸（ｚ）周りの第３の外部角速度を検出するための、前記駆動装置（ＡＴ１、ＡＴ２；ＡＴ１‘、ＡＴ２‘）によって前記駆動フレーム装置（ＲＡ１ａ、ＲＡ１ｂ、ＲＡ２ａ、ＲＡ２ｂ；ＲＡ１ａ‘、ＲＡ１ｂ‘）を介して前記第３の軸（ｘ）に沿って線形振動するように駆動可能な第２の角速度センサ装置（２００）を形成するステップと、
    前記駆動フレーム装置（ＲＡ１ａ、ＲＡ１ｂ、ＲＡ２ａ、ＲＡ２ｂ；ＲＡ１ａ‘、ＲＡ１ｂ‘、ＲＡ２ａ、ＲＡ２ｂ；ＲＡ１‘、ＲＡ２‘）を介して前記第１の角速度センサ装置（１００）と前記第２の角速度センサ装置（２００）とを接続するステップと
    を含む製造方法であり、
    前記回転駆動可能な第１の角速度センサ装置（１００）が、
    前記第１の軸（ｚ）周りで振動するように駆動可能な、第１のロータ装置（１ａ；１ａ‘）、及び前記第１の軸（ｚ）周りで前記第１のロータ装置（１ａ；１ａ‘）と逆位相で振動するように駆動可能な第２のロータ装置（１ｂ；１ｂ‘）であって、
    前記第１のロータ装置（１ａ；１ａ‘）が、前記第１の外部角速度で前記第２の軸（ｙ）周りで、及び前記第２の外部角速度で前記第３の軸（ｘ）周りで傾斜可能であり、
    前記第２のロータ装置（１ｂ；１ｂ‘）が、前記第１の外部角速度で前記第２の軸（ｙ）周りで、及び前記第２の外部角速度で前記第３の軸（ｘ）周りで、前記第１のロータ装置（１ａ；１ａ‘）と逆平行に傾斜可能である、第１のロータ装置（１ａ；１ａ‘）及び第２のロータ装置（１ｂ；１ｂ‘）と、
    前記第２の軸（ｙ）周りの平行の傾斜が抑制され、前記第２の軸（ｙ）周りの逆平行の傾斜が可能となるように、前記第１のロータ装置（１ａ；１ａ‘）と前記第２のロータ装置（１ｂ；１ｂ‘）とを連結する第１のばね装置（Ｆ１３）を有する第１の連結装置（Ｆ５；Ｆ６；ＳＡ、ＳＢ、Ｆ１２）と、
    前記第３の軸（ｘ）周りの平行の傾斜が抑制され、前記第３の軸（ｘ）周りの逆平行の傾斜が可能となるように、前記第１のロータ装置（１ａ；１ａ‘）と前記第２のロータ装置（１ｂ；１ｂ‘）とを連結する第２の連結装置（Ｋ１、Ｋ２）と、
    前記第１のロータ装置（１ａ；１ａ‘）及び第２のロータ装置（１ａ‘；１ｂ‘）の前記第２の軸（ｙ）周りの逆平行の傾斜を検出するための第１の検出装置（ＣＰＹ、ＣＮＹ；ＣＰＹ‘、ＣＮＹ‘）と、
    前記第１のロータ装置（１ａ；１ａ‘）及び第２のロータ装置（１ａ‘；１ｂ‘）の前記第３の軸（ｘ）周りの逆平行の傾斜を検出するための第２の検出装置（ＣＰＸ；ＣＮＸ；ＣＰＸ‘、ＣＮＸ‘）と
    を有する製造方法において、
    前記第２の連結装置（Ｋ１、Ｋ２）が、第１の揺動部（３ａ１）、第２の揺動部（３ａ２）及び第３の揺動部（３ａ）を有し、前記第１の揺動部（３ａ１）が、ばね装置（ｙ３、ｙ１）を介して前記第１のロータ装置（１ａ）及び前記第１の駆動フレーム（ＲＡ１ａ）に接続され、前記第２の揺動部（３ａ２）は、ばね装置（ｙ４、ｙ２）を介して前記第２のロータ装置（１ｂ）及び前記第２の駆動フレーム（ＲＡ２ａ）に接続され、前記第１の揺動部（３ａ１）及び第２の揺動部（３ａ２）が、ばね装置（ｙ５、ｙ６）を介してそれぞれ前記第３の揺動部（３ａ）に接続されており、
    前記第２の連結装置（Ｋ１、Ｋ２）が、第４の揺動部（３ｂ１）、第５の揺動部（３ｂ２）及び第６の揺動部（３ｂ）を有し、前記第４の揺動部（３ｂ１）が、前記第１のロータ装置（１ａ）と前記第１の駆動フレーム（ＲＡ１ｂ）とにばね装置（ｙ９、ｙ７）を介して接続され、前記第５の揺動部（３ｂ２）が、前記第２のロータ装置（１ｂ）と前記第２の駆動フレーム（ＲＡ２ｂ）とにばね装置（ｙ１０、ｙ８）を介して接続され、前記第４の揺動部（３ｂ１）及び第５の揺動部（３ｂ２）が、それぞれ前記第６の揺動部（３ｂ）にばね装置（ｙ１１、ｙ１２）を介して接続されていることを特徴とする、製造方法。
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