JP7296677B2 - プラズマエッチングシステム - Google Patents
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Description
前記プラズマエッチングシステムは、フラットパネル無線周波数電源及びフラットパネル無線周波数マッチャーを更に含み、前記フラットパネル無線周波数電源の無線周波数電力はフラットパネル無線周波数マッチャーを介してフラットパネル型電極に接続される。
Claims (6)
- 反応チャンバーと、反応チャンバー内に位置してワークピースを載置するためのベースと、反応チャンバー上に位置する誘電体ウィンドウとを含むプラズマエッチングシステムであって、前記誘電体ウィンドウの外面にはフラットパネル型電極及びコイル電極が設置され、前記フラットパネル型電極はベースの真上に位置し、前記コイル電極は前記フラットパネル型電極の周辺領域の周りに配置され、前記コイル電極と前記誘電体ウィンドウの外面との間にはファラデーシールド層が更に設置されていることにより、前記フラットパネル型電極によって、前記誘電体ウィンドウの中央領域を洗浄できることを特徴とするプラズマエッチングシステム。
- 前記フラットパネル型電極のサイズは、ワークピースのサイズの1/2~1であることを特徴とする請求項1に記載のプラズマエッチングシステム
- 前記コイル電極は縦円錐コイルであることを特徴とする請求項1に記載のプラズマエッチングシステム。
- 前記コイル電極は複数の縦円錐コイルを結合することによって構成されることを特徴とする請求項3に記載のプラズマエッチングシステム。
- 無線周波数電源、無線周波数マッチャーおよび無線周波数電力分配ボックスを更に含み、前記無線周波数電源の無線周波数電力は、無線周波数マッチャーを介して、無線周波数電力分配ボックスによって分配され、フラットパネル型電極及びコイル電極に接続されることを特徴とする請求項1~4のいずれか1項に記載のプラズマエッチングシステム。
- 前記プラズマエッチングシステムは、コイル無線周波数電源及びコイル無線周波数マッチャーを更に含み、前記コイル無線周波数電源の無線周波数電力はコイル無線周波数マッチャーを介してコイル電極に接続され、
前記プラズマエッチングシステムは、フラットパネル無線周波数電源及びフラットパネル無線周波数マッチャーを更に含み、前記フラットパネル無線周波数電源の無線周波数電力はフラットパネル無線周波数マッチャーを介してフラットパネル型電極に接続されることを特徴とする請求項1~4のいずれか1項に記載のプラズマエッチングシステム。
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