JP7266955B2 - 導電シート、タッチセンサ及びタッチセンサの製造方法 - Google Patents

導電シート、タッチセンサ及びタッチセンサの製造方法 Download PDF

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Description

本発明は、導電シート、タッチセンサ及びタッチセンサの製造方法に関し、特にメッシュ状の金属細線を含む導電シート、タッチセンサ及びタッチセンサの製造方法に関する。
従来から、タッチセンサの電極等に用いられる導電シートとして、透明基材にメッシュ状の金属細線を形成したものが使用されている。メッシュのパターン形状としては、例えば菱形や六角形等の多角形を敷き詰めた格子形状が一般的に用いられる。このようなメッシュ形状の金属細線を形成するには、導電インキをパターンに従って印刷する方法や、金属箔をエッチングすることでパターニングする方法などがある。
特開２００６－３４４１６３
しかしながら、金属細線が交差する角度が鋭角である場合、印刷時に鋭角部分で導電インキが滲む、あるいはエッチング液が鋭角部分に十分到達しないなどの理由により、金属細線の交点部分の面積が大きくなってしまい、金属細線が視認されるおそれがあった。
本発明の目的は、金属細線が視認されることを抑制した導電シート、タッチセンサ及びタッチセンサの製造方法を提供することである。
上記の目的を達成するため、第１の発明は、透明基材と、透明基材の一方の面に、第１方向に延びる複数の第１金属細線と、その第１金属細線と交差するように第２方向に延びる複数の第２金属細線によって、複数の第１開口部が第１方向及び第２方向に連続して配置されるようにメッシュ状に形成された第１導電パターンと、を備え、第１金属細線と第２金属細線とは、各々が交差する箇所に形成された共通の第１屈曲線を含み、第１屈曲線は、第１金属細線と第２金属細線によって形成された、対向する第１鈍角部同士を接続する、導電シートである。
第２の発明は、第１の発明において、第１屈曲線から次の第１屈曲線まで延びる第１金属細線及び第２金属細線をそれぞれ第１金属辺及び第２金属辺とすると、第１屈曲線を挟んで対向する第１金属辺と第２金属辺は、長さが等しくなるように構成された、導電シートである。
第３の発明は、第１又は第２の発明において第１金属辺又は第２金属辺の両端にある第１屈曲線は、平行である、導電シートである。
このように構成すると、第１屈曲線が対向する第１鈍角部同士を接続することにより、第１金属細線と第２金属細線で形成される角度を大きくすることができる。よって、金属細線が交差する箇所で正確にパターニングすることができ、金属細線が視認されにくい導電シートを得ることができる。
第４の発明は、第１から第３の発明において、透明基材の他方の面に、第１金属細線と重ならないように第１方向に延びる複数の第３金属細線と、その第３金属細線と交差し且つ第２金属細線と重ならないように第２方向に延びる複数の第４金属細線によって、複数の第２開口部が第１方向及び第２方向に連続して配置されるようにメッシュ状に形成された第２導電パターンを更に備え、第３金属細線と第４金属細線とは、各々が交差する箇所に形成された共通の第２屈曲線を含み、第２屈曲線は、第３金属細線と第４金属細線によって形成された、対向する第２鈍角部同士を接続する、導電シートである。
第５の発明は、第４の発明において、第２屈曲線から次の第２屈曲線まで延びる第３金属細線及び第４金属細線をそれぞれ第３金属辺及び第４金属辺とすると、第２屈曲線を挟んで対向する第３金属辺と第４金属辺は、長さが等しくなるように構成された、導電シートである。
第６の発明は、第４又は第５の発明において、第３金属辺又は第４金属辺の両端にある第２屈曲線は、平行である、導電シートである。
このように構成すると、透明基材の両面において金属細線が交差する箇所で金属の面積が大きくなることを抑制し、金属細線が視認されにくい導電シートを得ることができる。
第７の発明は、第４から第６の発明において、第２屈曲線は、第１開口部の中心に位置する、導電シートである。
このように構成すると、第１導電パターンと第２導電パターンが密集して配置されることがないので、金属細線の疎密の差によって金属細線が視認されるのを防止することができる。
第８の発明は、第４から第７の発明において、第２金属細線は、第１屈曲線から次の第１屈曲線の間に金属細線が形成されていない第１断線部を含み、第３金属細線は、第２屈曲線から次の第２屈曲線の間に金属細線が形成されていない第２断線部を含み、第１断線部と第２断線部とは、交差しない、導電シートである。
第９の発明は、第８の発明において、第２金属細線は、第２金属辺と第１断線部とが交互に配置され、第３金属細線は、第３金属辺と第２断線部とが交互に配置された、導電シートである。
このように構成すると、第１断線部及び第２断線部を設けることにより金属細線の疎密の偏りを起こすことなくパターンに変化を持たせることができ、金属細線のパターン見えとモアレの発生を抑制することができる。
第１０の発明は、第４の発明において、第１導電パターン及び第２導電パターンが複数の第１電極及び複数の第２電極をそれぞれ構成し、その複数の第１電極及び複数の第２電極の端部にそれぞれ形成された第１接続部及び第２接続部を有する導電シートと、外部配線と接続される端子部と、第１接続部及び第２接続部と端子部とを接続する引回し配線と、を備えたタッチセンサである。
このように構成すると、金属細線が視認されにくい第１導電パターン及び第２導電パターンを第１電極及び第２電極に用いるので、金属細線が視認されにくいタッチセンサを得ることができる。
第１１の発明は、透明基材の両面に第１黒化膜層と金属膜層と第２黒化膜層とを順次形成する工程と、透明基材の第１面に第１導電パターンで構成された複数の第１電極と、その複数の第１電極の端部にそれぞれ形成された第１接続部と、外部配線と接続される第１端子部と、第１接続部と第１端子部とを接続する第１引回し配線とを、透明基材の第２面に第２導電パターンで構成された複数の第２電極と、その複数の第２電極の端部にそれぞれ形成された第２接続部と、外部配線と接続される第２端子部と、第２接続部と第２端子部とを接続する第２引回し配線とを、同時にそれぞれ形成する工程と、を備え、第１導電パターンは、第１方向に延びる複数の第１金属細線と、その第１金属細線と交差するように第２方向に延びる複数の第２金属細線によって、複数の第１開口部が第１方向及び第２方向に連続して配置されるようにメッシュ状に形成され、第２導電パターンは、第１金属細線と重ならないように第１方向に延びる複数の第３金属細線と、その第３金属細線と交差し且つ第２金属細線と重ならないように第２方向に延びる複数の第４金属細線によって、複数の第２開口部が第１方向及び第２方向に連続して配置されるようにメッシュ状に形成され、第１金属細線と第２金属細線とは、各々が交差する箇所に形成された共通の第１屈曲線を含み、第１屈曲線は、第１金属細線と第２金属細線によって形成された、対向する第１鈍角部同士を接続し、第３金属細線と第４金属細線とは、各々が交差する箇所に形成された共通の第２屈曲線を含み、第２屈曲線は、第３金属細線と第４金属細線によって形成された、対向する第２鈍角部同士を接続する、タッチセンサの製造方法である。
このように構成すると、複数の電極と接続部と端子部と引回し配線を同時に形成するため、工程数を減らし、製造にかかる時間を短縮することができる。
この発明によれば、金属細線が視認されにくい導電シート、タッチセンサ及びタッチセンサの製造方法を提供することができる。
本発明の第１実施形態による導電シート１の概略断面図である。 本発明の第１実施形態による導電シート１の概略平面図である。 本発明の第１実施形態による導電シート１の第１金属細線１１の部分拡大断面図である。 本発明の第１実施形態による導電シート１の第１導電パターン１０の部分拡大平面図である。 本発明の第２実施形態による導電シート１００の概略断面図である。 本発明の第２実施形態による導電シート１００の第１導電パターン１１０の部分拡大平面図である。 本発明の第２実施形態による導電シート１００の第２導電パターン１２０の部分拡大平面図である。 本発明の第２実施形態による導電シート１００の概略平面図である。 第２実施形態の変形例Ａによる導電シート１００Ａの（ａ）概略平面図、（ｂ）第１金属辺１１４Ａの部分拡大平面図である。 第２実施形態の変形例Ｂによる導電シート１００Ｂの概略平面図である。 第２実施形態の変形例Ｃによる導電シート１００Ｃの概略平面図である。 本発明の第３実施形態によるタッチセンサ５００の概略平面図である。 本発明の第３実施形態によるタッチセンサ５００の図１２における領域Ｋの部分拡大平面図である。
本発明の第１実施形態について、図１から図４を参照しながら説明する。
＜第１実施形態＞
図１を参照して、本発明の第１実施形態に係る導電シート１は、透明基材３と、透明基材３の第１面３ａに形成された第１導電パターン１０を備えている。第１導電パターン１０は、第１面３ａ側からの平面視において、図２のようなパターン形状である。第１導電パターン１０は、第１方向ｄ１に延び、第２方向ｄ２に並んで配置された複数の第１金属細線１１と、第２方向ｄ２に延び、第１方向ｄ１に並んで配置された複数の第２金属細線１２を含む。第１金属細線１１と第２金属細線１２が交差することによって、透明基材３の第１面３ａ上には、複数の第１開口部Ｒが第１方向ｄ１及び第２方向ｄ２に連続して配置される。第１金属細線１１と第２金属細線１２は、各々が交差する箇所に形成された共通の第１屈曲線１３を含む。図３を参照して、第１金属細線１１は、透明基材３の第１面３ａ側から第１黒化層１１ａと金属層１１ｂと第２黒化層１１ｃとが積層されている。第１黒化層１１ａ及び第２黒化層１１ｃは、第１金属細線１１の反射率を低減させ、ぎらつきやパターン見えを抑制するための層である。第２金属細線１２も同様に、第１黒化層、金属層、第２黒化層の３層構成である。
透明基材３の材料は、フレキシブルなものであれば特に限定されないが、例えば、ポリエチレンテレフタレート（ＰＥＴ）、ポリ乳酸（ＰＬＡ）、ポリエチレンナフタレート（ＰＥＮ）等のポリエステル類、ポリエチレン（ＰＥ）、ポリプロピレン（ＰＰ）、ポリスチレン、ＥＶＡ、シクロオレフィンポリマー（ＣＯＰ）や環状オレフィン・コポリマー（ＣＯＣ）等のポリオレフィン類、ビニル系樹脂、ポリカーボネート（ＰＣ）、ポリアミド、ポリイミド（ＰＩ）、アクリル樹脂（ＰＭＭＡ）、トリアセチルセルロース（ＴＡＣ）、ポリウレタン、シリコーン、ポリ塩化ビニル、ポリフッ化ビニル等の樹脂フィルムを用いることができる。透明基材３の厚みは、５～５００μｍであり、好ましくは２０～１００μｍである。
透明基材３は単層のフィルムでもよいし、複数層を積層したフィルムであってもよい。透明基材３は、構成中に位相差フィルムを含んでいてもよい。
金属層の材料としては、特に限定されないが、例えば、金、銀、銅、鉄、ニッケル、クロム、アルミニウム、モリブデン、チタン等、又はこれらの合金を用いることができる。第１黒化層及び第２黒化層の材料としては、銅、ニッケル、クロム、アルミニウム、モリブデン、チタン等の金属酸化物又は金属窒化物を用いることができる。
第１金属細線１１及び第２金属細線１２の線幅は、例えば１～１０μｍであり、好ましくは１～５μｍである。第１金属細線１１及び第２金属細線１２の膜厚は、例えば１２０ｎｍ～１．２μｍである。第１黒化層及び第２黒化層の膜厚は、例えば１０～１００ｎｍであり、金属層の膜厚は、例えば１００ｎｍ～１μｍである。第１金属細線１１及び第２金属細線１２の開口率は例えば９０％以上、好ましくは９５％以上である。
以下、第１導電パターン１０の詳細について説明する。
図４は、導電シート１を透明基材３の第１面３ａ側から観察した場合の、第１導電パターン１０の一部を部分的に抜き出して拡大した平面図である。第１方向ｄ１に延びる第１金属細線１１と第２方向ｄ２に延びる第２金属細線１２とは、各々が交差する箇所に形成された共通の第１屈曲線１３を含む。第１金属細線１１と第２金属細線１２とは、各々が交差する箇所において、１本の第１屈曲線１３を共有している。第１金属細線１１と第２金属細線１２によって第１鈍角部θが形成される。第１屈曲線１３は、第１鈍角部θ同士を接続するように形成されている。
図４を参照して、第１金属細線１１のうち、第１屈曲線１３から次の第１屈曲線１３まで延びる金属細線が第１金属辺１４である。同様に、第２金属細線１２のうち、第１屈曲線１３から次の第１屈曲線１３まで延びる金属細線が第２金属辺１５である。第１金属辺１４及び第２金属辺１５の両端には、第１屈曲線１３が接続されている。第１金属辺１４と第２金属辺１５によって第１鈍角部θが形成される。第１金属辺１４と第２金属辺１５が交わる点を交点Ｓとすると、第１鈍角部θは、交点Ｓを中心として第１金属辺１４と第２金属辺１５によって形成される角度である。２本の第１屈曲線１３、２本の第１金属辺１４、及び２本の第２金属辺１５によって囲まれる領域が第１開口部Ｒである。第１開口部Ｒは、第１方向及び第２方向に連続して配置され、透明基材３の第１面３ａ上に敷き詰められる。１つの第１開口部Ｒの中に２つの第１鈍角部θが存在し、その２つの第１鈍角部θを通るように交点Ｓを結んだ仮想線を中心線Ｌとする。
第１屈曲線１３を挟んで対向する第１金属辺１４と第１金属辺１５の長さは等しい。つまり、第１鈍角部θを形成する第１金属辺１４と第２金属辺１５の長さは等しい。よって、透明基材３の第１面３ａ上の第１金属辺１４と第２金属辺１５の長さは全て等しい。第１開口部Ｒを形成する２本の第１金属辺１４及び２本の第２金属辺１５は等しい長さである。
第１金属辺１４の両端に接続されている２本の第１屈曲線１３は平行である。同様に、第２金属辺１５の両端に接続されている２本の第１屈曲線１３は平行である。１つの第１開口部Ｒを形成する２本の第１屈曲線１３は平行である。第１導電パターン１０の各々の第１屈曲線１３は等しい長さである。第１金属辺１４及び第２金属辺１５のうち交点Ｓとは反対側の終点を結んだ線分は、中心線Ｌと直交する。第１屈曲線１３は、対向する第１鈍角部θ同士を接続することで第１開口部Ｒ同士を接続し、第１中心線Ｌ同士を接続している。第１屈曲線１３は、第１中心線Ｌの延長線上に配置される。第１開口部Ｒは、中心線Ｌを中心として線対称となる図形である。第１金属辺１４及び第２金属辺１５と第１屈曲線１３で形成する角度は、それぞれ直角又は鈍角となる。
第１金属辺１４及び第２金属辺１５の長さは、導電シート１の用途や必要とされる抵抗値、透明基材３の大きさに応じて設定することができ、例えば３００～１３００μｍとすることができる。屈曲線１３の長さは、８～２０μｍであることが好ましい。屈曲線１３の長さが８μｍ以上であれば、金属細線のパターニング時にエッチング液が到達しないなどの理由により、除去されるべき金属が残って交点部分の面積が大きくなる現象を防ぐことができる。２０μｍ以下であれば、例えば表示装置のブラックマトリクスとの干渉等による、モアレの発生を抑制することができる。更に好ましい屈曲線１３の長さは、８～１４μｍである。鈍角部θは９０°以上１８０°未満に設定できる。
導電シート１は、導電性インキを透明基材３上にパターン印刷する方法や、透明基材３上にスパッタリング法や金属箔転写により黒化層を含む金属膜を形成し、露光・エッチングによりパターニングを行う方法によって、製造することができる。露光・エッチングによりパターニングを行う場合は、透明基材３の両面に黒化層を含む金属膜を形成し、両面同時にパターニングを行うことができる。
以上から、第１実施形態による導電シート１では、第１屈曲線１３が対向する第１鈍角部θ同士を接続する。そのため、第１金属細線１１と第２金属細線１２が屈曲線を形成することなく交差して鋭角を形成する場合に比べて、第１金属辺１４及び第２金属辺１５と第１屈曲線１３とでより大きい角度を形成することができる。よって、金属細線のパターニング時にエッチング液が行き渡らず、交点部分の金属がパターン通りにエッチングされずに残り交点部分の金属面積が大きくなる現象を抑制することができる。したがって、第１金属細線１１と第２金属細線１２の交差する箇所において金属細線が視認されにくい導電シート１を得ることができる。
第１開口部Ｒを形成する第１金属辺１４同士及び第２金属辺１５同士の長さは等しく、第１金属辺１４と第２金属辺１５の長さも等しいので、透明基材３の第１面３ａ上において金属細線が均等に配置される。よって、金属細線が疎らに形成される箇所と密集して形成される箇所との差による金属細線のパターン見えを防ぐことができる。
全ての金属辺の長さが等しいことに加えて、第１金属辺１４又は第２金属辺１５の両端に接続された第１屈曲線１３は平行であり且つ長さが等しい。このようにすると、全ての第１開口部Ｒは同じ形状になるため、第１導電パターン１０の設計負荷をより低減することができる。更に、各々の長さが等しい第１屈曲線１３が、第１開口部Ｒの第１中心線Ｌの延長線上に形成されており、第１金属辺１４及び第２金属辺１５と屈曲線１３とで形成される角度が全て直角又は鈍角になる。第１金属細線１１と第２金属細線１２との交差する箇所において金属細線が鋭角を形成しないので、交点部分の金属面積が大きくなる現象をより効果的に抑制することができる。
次に、本発明の第２実施形態について、図５から図７を参照しながら説明する。
＜第２実施形態＞
図５を参照して、本発明の第２実施形態に係る導電シート１００は、透明基材１３０と、透明基材１３０の第１面１３０ａに形成された第１導電パターン１１０と、透明基材１３０の第２面１３０ｂに形成された第２導電パターン１２０とを備えている。第１導電パターン１１０及び第２導電パターン１２０は、第１面１３０ａ側からの平面視において、図８のようなパターン形状である。図８では、第１面１３０ａ側の第１導電パターン１１０を実線で、第２面１３０ｂ側の第２導電パターン１２０を破線で表している。
図６及び図７を参照して、第１導電パターン１１０及び第２導電パターン１２０について説明する。
図６は、透明基材１３０の第１面１３０ａ側から観察した場合の、第１導電パターン１１０の一部を部分的に抜き出して拡大した平面図である。第１方向ｄ１に延びる第１金属細線１１１と第２方向ｄ２に延びる第２金属細線１１２とは、各々が交差する箇所に共通の第１屈曲線１１３が形成されている。第１金属細線１１１と第２金属細線１１２とは、各々が交差する箇所において、１本の第１屈曲線１１３を共有している。第１金属細線１１１と第２金属細線１１２によって第１鈍角部θ１が形成される。第１屈曲線１１３は、第１鈍角部θ１同士を接続するように形成されている。
第１金属細線１１１のうち、第１屈曲線１１３から次の第１屈曲線１１３まで延びる金属細線が第１金属辺１１４である。第２金属細線１１２のうち、第１屈曲線１１３から次の第１屈曲線１１３まで延びる金属細線が第２金属辺１１５である。第１金属辺１１４及び第２金属辺１１５の両端には、第１屈曲線１１３が接続されている。第１金属辺１１４と第２金属辺１１５によって第１鈍角部θ１が形成される。第１金属辺１１４と第２金属辺１１５が交わる点を交点Ｓ１とすると、第１鈍角部θ１は、交点Ｓ１を中心として第１金属辺１１４と第２金属辺１１５によって形成される角度である。２本の第１屈曲線１１３、２本の第１金属辺１１４、及び２本の第２金属辺１１５によって囲まれる領域が第１開口部Ｒ１である。第１開口部Ｒ１は、第１方向ｄ１及び第２方向ｄ２に連続して配置され、透明基材１３０の第１面１３０ａ上に敷き詰められる。１つの第１開口部Ｒ１の中に２つの第１鈍角部θ１が存在し、その２つの第１鈍角部θ１を通るように第１交点Ｓ１を結んだ仮想線が第１中心線Ｌ１である。
第１屈曲線１１３を挟んで対向する第１金属辺１１４と第２金属辺１１５の長さは等しい。第１開口部Ｒ１を形成する２本の第１金属辺１１４及び２本の第２金属辺１１５は全て等しい長さである。第１金属辺１１４の両端に接続されている２本の第１屈曲線１１３は平行であり、第２金属辺１１５の両端に接続されている２本の第１屈曲線１１３は平行である。１つの第１開口部Ｒ１を形成する２本の第１屈曲線１１３は平行である。第１金属辺１１４及び第２金属辺１１５のうち交点Ｓ１とは反対側の終点を結んだ線分は、第１中心線Ｌ１と直交する。第１屈曲線１１３は、第１中心線Ｌ１同士を接続しており、第１中心線Ｌ１の延長線上に配置される。第１開口部Ｒ１は、第１中心線Ｌ１を中心として線対称となる図形である。第１金属辺１１４及び第２金属辺１１５と第１屈曲線１１３で形成する角度は、それぞれ直角又は鈍角となる。
図７は、導電シート１００を透明基材１３０の第１面１３０ａ側から観察した場合の、第２導電パターン１２０の一部を部分的に抜き出して拡大した平面図である。第２導電パターン１２０は、第１方向ｄ１に延び、第２方向ｄ２に並んで配置された複数の第３金属細線１２１と、第２方向ｄ２に延び、第１方向ｄ１に並んで配置された複数の第４金属細線１２２を含む。第３金属細線１２１と第４金属細線１２２が交差することによって、透明基材１３０の第２面１３０ｂ上には、複数の第２開口部Ｒ２が第１方向ｄ１及び第２方向ｄ２に連続して配置される。
第１方向ｄ１に延びる第３金属細線１２１と第２方向ｄ２に延びる第４金属細線１２２とは、各々が交差する箇所に共通の第２屈曲線１２３が形成されている。第３金属細線１２１と第４金属細線１２２とは、各々が交差する箇所において、１本の第２屈曲線１２３を共有している。第３金属細線１２１と第４金属細線１２２によって第２鈍角部θ２が形成される。第２屈曲線１２３は、第２鈍角部θ２同士を接続するように形成されている。
第３金属細線１２１のうち、第２屈曲線１２３から次の第２屈曲線１２３まで延びる金属細線が第３金属辺１２４である。第４金属細線１２２のうち、第２屈曲線１２３から次の第２屈曲線１２３まで延びる金属細線が第４金属辺１２５である。第３金属辺１２４及び第４金属辺１２５の両端には、第２屈曲線１２３が接続されている。第３金属辺１２４と第４金属辺１２５によって第２鈍角部θ２が形成される。第３金属辺１２４と第４金属辺１２５が交わる点を交点Ｓ２とすると、第２鈍角部θ２は、交点Ｓ２を中心として第３金属辺１２４と第４金属辺１２５によって形成される角度である。２本の第２屈曲線１２３、２本の第３金属辺１２４、及び２本の第４金属辺１２５によって囲まれる領域が第２開口部Ｒ２である。第２開口部Ｒ２は、第１方向及び第２方向に連続して配置され、透明基材１３０の第２面１３０ｂ上に敷き詰められる。１つの第２開口部Ｒ２の中に２つの第２鈍角部θ２が存在し、その２つの第２鈍角部θ２を通るように交点Ｓ２を結んだ仮想線が第２中心線Ｌ２である。
第１屈曲線１２３を挟んで対向する第３金属辺１２４と第４金属辺１２５の長さは等しい。第２開口部Ｒ２を形成する２本の第３金属辺１２４及び２本の第４金属辺１２５は全て等しい長さである。第３金属辺１２４の両端に接続されている２本の第２屈曲線１２３は平行であり、第４金属辺１２５の両端に接続されている２本の第２屈曲線１２３は平行である。１つの第２開口部Ｒ２を形成する２本の第２屈曲線１２３は平行である。第３金属辺１２４及び第４金属辺１２５のうち交点Ｓ２とは反対側の終点を結んだ線分は、第２中心線Ｌ２と直交する。第２屈曲線１２３は、第２中心線Ｌ２同士を接続しており、第２中心線Ｌ２の延長線上に配置される。第２開口部Ｒ２は、第２中心線Ｌ２を中心として線対称となる図形である。第３金属辺１２４及び第４金属辺１２５と第２屈曲線１２３で形成する角度は、それぞれ直角又は鈍角となる。
第１金属辺１１４及び第２金属辺１１５と第３金属辺１２４及び第４金属辺１２５の長さは等しい。第１屈曲線１１３と第２屈曲線１２３の長さも等しい。第１鈍角部θ１と第２鈍角部θ２の大きさも等しい。よって、第１開口部Ｒ１と第２開口部Ｒ２の開口面積は等しい。金属辺及び屈曲線の長さ、鈍角部の角度は、第１実施形態と同じように設定できる。
図８を参照して、第１導電パターン１１０と第２導電パターン１２０の重ね方について説明する。
第２導電パターン１２０を構成する第３金属細線１２１は、第１金属細線１１１と重ならないように第２方向ｄ２に複数並んで配置される。同様に、第４金属細線１２２は、第２金属細線１１２と重ならないように、第１方向ｄ１に複数並んで配置される。第１金属細線１１１と第３金属細線１２１は共に第１方向ｄ１に延びている。第２金属細線１１２と第４金属細線１２２は共に第２方向ｄ２に延びている。
第１導電パターン１１０及び第２導電パターン１２０は、第２導電パターン１２０の第２屈曲線１２３が、第１導電パターン１１０の第１開口部Ｒ１の中心に位置するように配置されている。第１開口部Ｒ１の中心に位置する第２屈曲線１２３は、その第１開口部Ｒ１の第１中心線Ｌ１の中心に、第１中心線Ｌ１と重なるように配置される。
第１開口部Ｒ１と第２開口部Ｒ２の開口面積は等しいので、第１屈曲線１１３についても同様となる。第１導電パターン１１０の第１屈曲線１１３は、第２導電パターン１２０の第２開口部Ｒ２の中心に位置するように配置される。第２開口部Ｒ２の中心に位置する第１屈曲線１１３は、その第２開口部Ｒ２の第２中心線Ｌ２の中心に、第２中心線Ｌ２と重なるように配置される。
以上から、第２実施形態による導電シート１００では、第２屈曲線１２３が対向する第２鈍角部θ２同士を接続する。そのため、第３金属細線１２１と第４金属細線１２２が屈曲線を形成することなく交差する場合に比べて、第３金属辺１２４及び第４金属辺１２５と第２屈曲線１２３とでより大きい角度を形成することができる。よって、金属細線のパターニング時にエッチング液が行き渡らず交点部分の金属がパターン通りにエッチングされずに残り交点部分の金属の面積が大きくなる現象を抑制することができる。したがって、透明基材１３０の第１面１３０ａだけでなく第２面１３０ｂにおいても、金属細線の交点部分が視認されにくい導電シートを形成することができる。
第１金属辺１１４及び第２金属辺１１５と第３金属辺１２４及び第４金属辺１２５の長さが等しくなるように、第１屈曲線１１３と第２屈曲線１２３の長さが等しくなるようにそれぞれ構成されているので、第１開口部Ｒ１と第２開口部Ｒ２の開口面積は等しい。よって、透明基材１３０の両面で同じ導電パターンを使用できるため、導電パターンの設計負荷を軽減することができる。
第２屈曲線１２３が第１開口部Ｒ１の中心に位置するように、言い換えると第１屈曲線１１３が第２開口部Ｒ２の中心に位置するように、第１導電パターン１１０と第２導電パターン１２０を配置するので、透明基材１３０の第１面１３０ａ側から見ると金属細線が均等に配置される。そのため、金属細線の疎密の差による金属細線のパターン見えを防止することができる。
上記第２実施形態では金属辺が直線であったが、金属辺の構成はこれに限られない。図９から図１１を参照して、変形例ＡからＣを説明する。尚、図９から図１１では、透明基材の第１面側にある第１導電パターンを実線で、第２面側にある第２導電パターンを破線で、それぞれ表している。ここでは、第２実施形態との相違点を中心に説明する。
＜変形例Ａ＞
図９を参照して、変形例Ａにかかる導電シート１００Ａを説明する。
導電シート１００Ａは、透明基材と、透明基材第１面に形成された第１導電パターン１１０Ａと、透明基材第２面に形成された第２導電パターン１２０Ａとを備える。第１導電パターン１１０Ａ及び第２導電パターン１２０Ａは、第１面側からの平面視において、図９（ａ）のようなパターン形状である。
変形例Ａでは、金属辺が、山と谷が交互に形成されるように円弧を連続させた波線形状で構成されている。第１導電パターン１１０Ａにおいて、１本の金属辺は４つの円弧を山と谷が交互になるように連続させた形状である。円弧の山と谷が１つずつセットになったものを１周期とすると、第１金属辺１１４Ａ及び第２金属辺１１５Ａの波線の長さは２周期と表せる。第３金属辺１２４Ａ及び第４金属辺１２５Ａも同様である。
変形例Ａによる導電シート１００Ａでは、上記実施形態と同様に金属細線の交点部分の視認を防止できることに加えて、太陽光などの点光源から入射した光が金属細線によって回折することで起こる光芒を抑制することで、ぎらつきを抑えることができる。
更に、図９（ｂ）を参照して、金属辺において１つの円弧の始点から終点まで直線（弦長）を引き、その直線から円弧の頂上までを矢高ｈとすると、円弧の半径ｒとの関係は０．０７＜ｈ／ｒ≦０．４であることが好ましい。ｈ／ｒが０．４以下であれば金属細線の抵抗値が上がりすぎず良好な応答速度を保つことができ、０．０７より大きければ、光芒をより効果的に抑制することができる。
＜変形例Ｂ＞
図１０を参照して、変形例Ｂにかかる導電シート１００Ｂを説明する。
導電シート１００Ｂは、透明基材と、透明基材第１面に形成された第１導電パターン１１０Ｂと、透明基材第２面に形成された第２導電パターン１２０Ｂとを備える。第１導電パターン１１０Ｂ及び第２導電パターン１２０Ｂは、第１面側からの平面視において、図１０のようなパターン形状である。
第１導電パターン１１０Ｂは、複数の第１金属細線１１１Ｂと複数の第２金属細線１１２Ｂを含む。第１金属細線１１１Ｂと第２金属細線１１２Ｂとは、各々が交差する箇所に共通の第１屈曲線１１３Ｂが形成されている。第１金属細線１１１Ｂのうち、第１屈曲線１１３Ｂから次の第１屈曲線１１３Ｂまで延びる金属細線が第１金属辺１１４Ｂである。一方、第２金属細線１１２Ｂは、第１屈曲線１１３Ｂから次の第１屈曲線１１３Ｂまで延びる金属細線である第２金属辺１１５Ｂと、第１屈曲線１１３Ｂから次の第１屈曲線１１３Ｂの間に金属細線が形成されていない第１断線部１１６Ｂとを含む。第２金属細線１１２Ｂにおいて、第２金属辺１１５Ｂと第１断線部１１６Ｂとは交互に形成されている。
第２導電パターン１２０Ｂは、複数の第３金属細線１２１Ｂと複数の第４金属細線１２２Ｂを含む。第３金属細線１２１Ｂと第４金属細線１２２Ｂとは、各々が交差する箇所に共通の第２屈曲線１２３Ｂが形成されている。第３金属細線１２１Ｂは、第２屈曲線１２３Ｂから次の第２屈曲線１２３Ｂまで延びる金属細線である第３金属辺１２４Ｂと、第２屈曲線１２３Ｂから次の第２屈曲線１２３Ｂの間に金属細線が形成されていない第２断線部１２６Ｂとを含む。第３金属辺１２４Ｂと第２断線部１２６Ｂとは交互に形成されている。第４金属細線１２２Ｂは、第２屈曲線１２３Ｂから次の第２屈曲線１２３Ｂまで延びる第４金属辺１２５Ｂを含む。第１断線部１１６Ｂと第２断線部１２６Ｂは交差しない。
変形例Ｂによる導電シート１００Ｂでは、第１断線部１１６Ｂと第２断線部１２６Ｂを形成することにより、金属細線の疎密の偏りを起こすことなくパターンに変化を持たせることができる。よって、金属細線の交点部分の視認防止に加えて、金属細線の疎密の差によるパターン見えを防止するとともに、タッチセンサの電極等に使用する際に、表示装置のブラックマトリクスとの干渉によって発生するモアレを抑制することができる。
＜変形例Ｃ＞
図１１を参照して、変形例Ｃにかかる導電シート１００Ｃを説明する。
導電シート１００Ｃは、透明基材と、透明基材第１面に形成された第１導電パターン１１０Ｃと、透明基材第２面に形成された第２導電パターン１２０Ｃとを備える。第１導電パターン１１０Ｃ及び第２導電パターン１２０Ｃは、第１面側からの平面視において、図１１のようなパターン形状である。
変形例Ｃでは、金属辺が変形例Ａと同様の波線で構成されている。第１導電パターン１１０Ｃにおいて、１本の金属辺は４つの円弧を山と谷が交互になるように連続させた形状である。円弧の山と谷が１つずつセットになったものを１周期とすると、第１金属辺１１４Ｃ及び第２金属辺１１５Ｃの波線の長さは２周期と表せる。第２導電パターン１２０Ｃも同様である。更に、変形例Ｂと同様に断線部が形成されている。第２金属細線１１２Ｃは、第２金属辺１１５Ｃと第１断線部１１６Ｃとを含み、第２金属辺１１５Ｃと第１断線部１１６Ｃとは交互に形成されている。第３金属細線１２１Ｃは、第３金属辺１２４Ｃと第２断線部１２６Ｃとを含み、第３金属辺１２４Ｃと第２断線部１２６Ｃとは交互に形成されている。
変形例Ｃによる導電シート１００Ｃでは、金属辺を波線にすることで光芒を抑制するとともに、断線部を形成することで金属細線の疎密の偏りを起こすことなくパターンに変化を持たせることができる。よって、金属細線交点の視認防止に加えて、金属細線のパターン見えとモアレ発生を抑制し、更に光芒によるぎらつきを抑制できる導電シートを得ることができる。
次に、本発明の第３実施形態について、図１２及び図１３を参照しながら説明する。
＜第３実施形態＞
図１２を参照して、本発明の第３実施形態に係るタッチセンサ５００は、透明基材６００と、透明基材６００の第１面に形成された複数の第１電極７００と、複数の第１電極７００の端部にそれぞれ形成された第１接続部７１０と、外部配線と接続される第１端子部７２０と、第１接続部７１０と第１端子部７２０とを接続する第１引回し配線７３０とを備える。さらに、タッチセンサ５００は、透明基材６００の第２面に形成された複数の第２電極８００と、複数の第２電極８００の端部にそれぞれ形成された第２接続部８１０と、外部配線と接続される第２端子部８２０と、第２接続部８１０と第２端子部８２０とを接続する第２引回し配線８３０とを備える。図１２において、透明基材６００の第１面に形成された電極等を実線で、第２面に形成された電極等を破線で表している。
透明基材６００の第１面は、操作領域Ｖ１と周辺領域Ｖ２に区画されている。操作領域Ｖ１は、タッチセンサ５００のうちユーザーによる入力操作が行われる領域であり、周辺領域Ｖ２は、組立て後にカバー基材の枠状の加飾層等で覆われる領域である。透明基材６００の第１面の操作領域Ｖ１には複数の第１電極７００と第１ダミー部７４０が、周辺領域Ｖ２には第１接続部７１０と第１端子部７２０と第１引回し配線７３０が、それぞれ形成されている。
複数の第１電極７００は、操作領域Ｖ１に形成されている。複数の第１電極７００は、帯形状であり、透明基材６００の第１面に、ｙ軸方向に向かって延びｘ軸方向に４本並ぶように配置されている。複数の第１電極７００は、第２実施形態で説明した第１導電パターン１１０で構成されている。これらの複数の第１電極７００は、タッチセンサの電極を構成する。
複数の第１電極７００の大きさは、操作領域Ｖ１の大きさや解像度によって決定されるため特に限定されないが、第１導電パターン１１０を構成する第１開口部Ｒ１のピッチ（第１開口部Ｒ１を構成する第１屈曲線１１３同士を結びＬ１と直交する線分の長さ）をＡ、第１電極７００の幅をＷ、第１ダミー部７４０の幅をＸとすると、Ｗ／Ａが２以上の整数であることが好ましい。このようにすれば、金属細線のどこか１箇所が断線してしまった場合であっても電極の導通を維持し、タッチセンサの動作を保つことができる。更に、複数の第１電極７００のそれぞれの幅Ｗを同一にして、Ｗ／Ａを２以上の整数とし、Ｘ／Ａを０以上の整数とすることが好ましい。このようにすれば、１つの電極内に含まれる金属細線の面積が一定になるため、電極ごとに抵抗値がばらつかず良好に動作するタッチセンサを得ることができる。
第１ダミー部７４０は、操作領域Ｖ１のうち複数の第１電極７００が形成されていない領域に形成されている。第１電極７００と第１ダミー部７４０とは、交互に配置されている。第１ダミー部７４０は、複数の第１電極７００と同様に、第２実施形態で説明した第１導電パターン１１０で構成されている。図１３を参照して、図１２における領域Ｋを拡大すると、第１電極７００と第１ダミー部７４０とは、第１境界部７５０によって電気的に接続しないように断線されている。第１境界部７５０は、第１電極７００を構成する金属細線が一部断線することで形成されており、第１電極７００と第１ダミー部７４０は第１境界部７５０によって隔てられる。第１電極７００と第１ダミー部７４０の境界線上にある金属細線全てを断線させることで第１境界部７５０が形成される。第１境界部７５０はｙ方向に形成されている。第１境界部７５０の幅は、１～２０μｍであることが好ましい。第１境界部７５０の断線の幅をこの範囲にしておくと、金属細線の有無による第１電極と第１ダミー部の境界線見えを防止できる。第１境界部７５０の断線を形成する際は、断線している金属細線の端部が直角になるように断線させることが好ましい。斜め方向に延びる金属細線をｙ軸に平行に断線させると、断線させた金属細線の端部が鋭角になり、製造時のエッチング精度が悪化する場合があるためである。第１境界部７５０を構成する断線は、第１金属辺及び第２金属辺の中点に位置させることが好ましい。
第１接続部７１０は、第１電極７００と第１引回し配線７３０を接続するためのものである。第１接続部７１０によって、第１電極７００を構成する第１導電パターン１１０をまとめて第１引回し配線７３０に接続することができる。第１接続部７１０は、矩形状であり、帯形状である第１電極７００の長手方向の一端に形成されている。第１接続部７１０は、第１電極７００を構成する第１導電パターン１１０の一部と重なるように、周辺領域Ｖ２に形成される。第１電極７００は操作領域Ｖ１の境界線まで延びており、第１接続部７１０の矩形の一辺は、操作領域Ｖ１と周辺領域Ｖ２の境界線と重なっている。第１接続部７１０の幅は、第１電極７００の幅と等しい。第１接続部７１０は、第１金属細線１１１や第２金属細線１１２と同様に、透明基材６００側から第１黒化層、金属層、第２黒化層の順で積層された積層膜で構成されている。
第１端子部７２０は、フレキシブル配線基板などの外部配線とタッチセンサ５００を接続するためのものであり、透明基材６００上の外縁付近に形成されている。第１引回し配線７３０は、第１電極７００と第１端子部７２０とを接続するためのものであり、途中で折れ曲がり透明基材６００外縁の中央付近に集まるようにして第１端子部７２０に接続されている。第１端子部７２０及び第１引回し配線７３０は、第１金属細線１１や第２金属細線１２と同様に、透明基材６００側から第１黒化層、金属層、第２黒化層の順で積層されている。
同様に、透明基材６００の第２面の操作領域Ｖ１には複数の第２電極８００と第２ダミー部８４０が、周辺領域Ｖ２には第２接続部８１０と第２端子部８２０と第２引回し配線８３０が、それぞれ形成されている。複数の第２電極８００は、透明基材６００の第２面に、ｘ軸方向に向かって延びｙ軸方向に５本並ぶように配置されている。第２接続部８１０は、帯形状である複数の第２電極８００の長手方向の一端に形成されている。複数の第２電極８００は、第２実施形態で説明した第２導電パターン１２０で構成されている。これらの複数の第２電極８００は、タッチセンサの電極を構成する。
透明基材６００の両面に形成された第１端子部７２０及び第２端子部８２０はフレキシブルプリント基板（図示せず）と接続される。フレキシブルプリント基板は、静電容量方式のタッチ検出を実現する制御部と接続されている。ユーザーの指やスタイラス等の導体が近接又は離間した際に、第１電極７００及び第２電極８００に生じる静電容量の変化に応じて流れる電流を制御部で検知することで、ユーザーによるタッチ操作及びタッチ位置を検出することができる。
タッチセンサ５００の製造方法を説明する。
まず、スパッタリング法や金属箔転写により、透明基材６００の両面に第１黒化膜層・金属膜層・第２黒化膜層をこの順で形成する。更に、第２黒化膜層の上にレジスト層を形成し、パターンマスクを用いて露光・現像することによりレジスト層をパターニングする。その後、パターニングされたレジスト層をエッチングマスクとして、第１黒化膜層・金属膜層・第２黒化膜層のエッチングを行なうことで、透明基材６００の両面に、導電パターンで構成された電極、ダミー部、接続部、端子部、引回し配線を同時に形成する。
以上から、第３実施形態によるタッチセンサ５００では、第１電極７００及び第２電極８００が第２実施形態に係る第１導電パターン及び第２導電パターンでそれぞれ構成されているため、金属細線の交点部分が視認されにくく、外観が良好なタッチセンサを得ることができる。
また、操作領域Ｖ１では、電極が形成されていない箇所にダミー部が形成されているため、電極の有無に起因して電極パターンが操作者に観察されてしまう骨見え現象を抑制することができる。ダミー部は電極と同じく第２実施形態に係る第１導電パターン及び第２導電パターンで構成されているため、ダミー部と電極の両方において金属細線の交点部分のパターン見えを抑えられる。よって、タッチセンサ５００の操作領域Ｖ１の外観を良好にすることができる。また、第３実施形態に係るタッチセンサ５００の製造方法では、電極、ダミー部、接続部、端子部、引回し配線を透明基材６００の両面に同時に形成できるため、製造工程が複雑化するのを防ぐことができる。
尚、上記の実施形態では、第１金属辺と第２金属辺の長さが等しく構成されていたが、第１金属辺と第２金属辺の長さは異なっていてもよい。第１金属辺と第２金属辺の長さが異なることにより、開口部の大きさが異なっていてもよい。金属細線の疎密の差によるパターン見え防止のため、第１金属辺と第２金属辺の長さは、一方の辺が他方の辺の１倍～２倍になるように設定することが好ましい。第３金属辺と第４金属辺も同様である。
更に、屈曲線を挟んで隣り合う第１金属辺同士の長さが異なっていてもよい。その場合も、一方の辺が他方の辺の１～２倍になるように設定すればよい。第２金属辺から第４金属辺も同様である。
上記の実施形態では、第１屈曲線と第２屈曲線の長さは全て等しく構成されていたが、これらの長さは異なっていてもよい。第１屈曲線同士、又は第２屈曲線同士の長さが異なっていてもよい。
上記の実施形態では、金属辺の両端に接続された屈曲線は平行であったが、これらの屈曲線は平行でなくてもよい。第１実施形態を例にとると、第１屈曲線１３はＬ１の延長線上に形成されているが、ｄ１方向又はｄ２方向に傾斜していてもよい。更に、第１屈曲線１３は湾曲していてもよい。その際、エッチング液の未到達等による金属細線交点での金属面積増大を回避するために、第１屈曲線１３と第１金属辺１４又は第２金属辺１５が形成する角度が９０°以上であることが好ましい。他の実施形態でも同様である。
上記の実施形態では、第１導電パターンと第２導電パターンが重なるときに屈曲線が開口部の中心に配置されるように構成されていたが、第１導電パターンと第２導電パターンの重ね方はこれに限られない。第１導電パターンと第２導電パターンを重ねることで第１導電パターンを構成する金属辺と第２導電パターンを構成する金属辺が交差する。このとき、金属辺と屈曲線が近すぎる、あるいは屈曲線同士が近すぎる配置を防ぐため、交差する金属辺同士は、一方の金属辺が他方の金属辺によって１：１～２：１に分割されるように交差することが好ましい。
上記の実施形態では、金属細線は第１黒化層、金属層、第２黒化層の順に積層されていたが、金属細線の積層構成はこれに限られない。例えば、金属層のみとする構成や、透明基材側から金属層、黒化層の順に積層された構成としてもよいし、透明基材上に形成された金属層の上面と側面を覆うように黒化層を形成してもよい。更に、金属層の周囲を全て黒化層で覆う構成としてもよい。
上記の実施形態では、第２金属辺と第１断線部が交互に形成され、第３金属辺と第２断線部が交互に形成されていたが、断線部の形成位置はこれに限られない。金属細線の疎密の偏りを防ぐために、第１断線部と第２断線部が交差しないように断線部を形成すればよい。
上記の実施形態では、金属辺は直線又は波線で構成されていたが、他の形状であってもよい。例えば、ジグザグ線や屈曲線を用いることができる。
上記の実施形態では、電極は帯形状であったが、電極の形状はこれに限られない。電極の他の形状としては、例えば菱形形状が頂点同士を繋ぐように連なった形状や櫛歯形状とすることができる。また、電極の本数、引回し配線の位置、端子部の位置も特に制限されない。
上記の実施形態では、ダミー部は第２実施形態に係る導電パターンによって構成されていたが、ダミー部の金属細線パターンはこれに限られない。ダミー部は、金属細線交点の視認を抑制できるような金属細線パターンで形成されることが好ましい。
上記の実施形態では、タッチセンサ５００の透明基材６００の両面に電極が形成されていたが、タッチセンサの構成はこれに限られない。一方面に電極が形成された透明基材２枚を、透明基材の他方面が対向するように貼り合わせてもよいし、電極形成面同士が対向するように接着層を介して貼り合わせてもよい。又、一方の透明基材の電極形成面に他方の透明基材の電極非形成面を重ねるようにして貼り合わせてもよい。
上記の実施形態では、電極の一方端に接続部が形成されていたが、電極の長手方向両端に接続部を形成してもよい。例えば、第２電極８００の左側端部に第２接続部８１０が形成されているところ、更に第２電極８００の右側端部に第２接続部８１０を形成してもよい。この場合、第１端子部７２０の右側にも第２端子部８２０が形成され、それぞれの第２引回し配線８３０が第２端子部８２０と接続される。端子部の位置や引回し配線の配置は特に限定されない。
上記の実施形態では、複数の電極、ダミー部、接続部、端子部、引回し配線を同時に形成したが、タッチセンサ５００の製造方法はこれに限られない。例えば、操作領域Ｖ１に第１実施形態による金属細線を形成した後に、レーザーで金属細線を断線させることにより境界部を形成し、複数の電極とダミー部を形成してもよい。また、複数の電極及びダミー部を操作領域Ｖ１に形成した後に、接続部、端子部、引回し配線を周辺領域Ｖ２に形成してもよい。また、透明基材６００の両面に同時に形成するのではなく、片面ずつに形成してもよい。
上記実施形態では、導電シートがタッチセンサの電極として用いられる場合について説明したが、導電シートの用途はタッチセンサに限定されない。例えば、アンテナ、ヒータなどにも本発明に係る導電シートを用いることができる。
１，１００ 導電シート
３，１３０，６００ 透明基材
１０，１１０ 第１導電パターン
１１，１１１ 第１金属細線
１２，１１２ 第２金属細線
１３，１１３ 第１屈曲線
１４，１１４ 第１金属辺
１５，１１５ 第２金属辺
２０，１２０ 第２導電パターン
２１，１２１ 第３金属細線
２２，１２２ 第４金属細線
２３，１２３ 第２屈曲線
２４，１２４ 第３金属辺
２５，１２５ 第４金属辺
５００ タッチセンサ
７００ 第１電極
８００ 第２電極
７１０ 第１接続部
８１０ 第２接続部
７２０ 第１端子部
８２０ 第２端子部
７３０ 第１引回し配線
８３０ 第２引回し配線
７４０ 第１ダミー部
８４０ 第２ダミー部

Claims (9)

  1. 透明基材と、
    前記透明基材の一方の面に、第１方向に延びる複数の第１金属細線と、その第１金属細線と交差するように第２方向に延びる複数の第２金属細線によって、複数の第１開口部が第１方向及び第２方向に連続して配置されるようにメッシュ状に形成された第１導電パターンと、を備え、
    前記第１金属細線と前記第２金属細線とは、各々が交差する箇所に形成された共通の第１屈曲線を含み、
    前記第１屈曲線は、前記第１金属細線と前記第２金属細線によって形成された、対向する第１鈍角部同士を接続し、
    前記第１屈曲線から次の第１屈曲線まで延びる前記第１金属細線及び前記第２金属細線をそれぞれ第１金属辺及び第２金属辺とすると、前記第１屈曲線を挟んで対向する前記第１金属辺と前記第２金属辺は、長さが等しく、それぞれの長さが３００～１３００μｍであり、
    前記第１金属辺及び前記第２金属辺の両端にある前記第１屈曲線は、平行であり、長さが８～２０μｍである、導電シート。
  2. 前記第２金属細線は、前記第１屈曲線から次の第１屈曲線の間に金属細線が形成されていない第１断線部を含む、請求項１に記載の導電シート。
  3. 前記透明基材の他方の面に、前記第１金属細線と重ならないように第１方向に延びる複数の第３金属細線と、その第３金属細線と交差し且つ前記第２金属細線と重ならないように第２方向に延びる複数の第４金属細線によって、複数の第２開口部が第１方向及び第２方向に連続して配置されるようにメッシュ状に形成された第２導電パターンを更に備え、
    前記第３金属細線と前記第４金属細線とは、各々が交差する箇所に形成された共通の第２屈曲線を含み、
    前記第２屈曲線は、前記第３金属細線と前記第４金属細線によって形成された、対向する第２鈍角部同士を接続し、
    前記第２屈曲線から次の第２屈曲線まで延びる前記第３金属細線及び前記第４金属細線をそれぞれ第３金属辺及び第４金属辺とすると、前記第２屈曲線を挟んで対向する前記第３金属辺と前記第４金属辺は、長さが等しく、それぞれの長さが３００～１３００μｍであり、
    前記第３金属辺及び前記第４金属辺の両端にある前記第２屈曲線は、平行であり、長さが８～２０μｍである、請求項１に記載の導電シート。
  4. 前記第２金属細線は、前記第１屈曲線から次の第１屈曲線の間に金属細線が形成されていない第１断線部を含み、
    前記第３金属細線は、前記第２屈曲線から次の第２屈曲線の間に金属細線が形成されていない第２断線部を含み、
    前記第１断線部と前記第２断線部とは、交差しない、請求項３に記載の導電シート。
  5. 前記第２金属細線は、前記第２金属辺と前記第１断線部とが交互に配置され、
    前記第３金属細線は、前記第３金属辺と前記第２断線部とが交互に配置された、請求項４に記載の導電シート。
  6. 前記第１導電パターン及び前記第２導電パターンが複数の第１電極及び複数の第２電極をそれぞれ構成し、その複数の第１電極及び複数の第２電極の端部にそれぞれ形成された第１接続部及び第２接続部を有する請求項３に記載の導電シートと、
    外部配線と接続される端子部と、
    前記第１接続部及び前記第２接続部と前記端子部とを接続する引回し配線と、を備えたタッチセンサ。
  7. 透明基材の両面に第１黒化膜層と金属膜層と第２黒化膜層とを順次形成する工程と、
    前記透明基材の第１面に第１導電パターンで構成された複数の第１電極と、その複数の第１電極の端部にそれぞれ形成された第１接続部と、外部配線と接続される第１端子部と、前記第１接続部と前記第１端子部とを接続する第１引回し配線とを、前記透明基材の第２面に第２導電パターンで構成された複数の第２電極と、その複数の第２電極の端部にそれぞれ形成された第２接続部と、外部配線と接続される第２端子部と、前記第２接続部と前記第２端子部とを接続する第２引回し配線とを、同時にそれぞれ形成する工程と、を備え、
    前記第１導電パターンは、第１方向に延びる複数の第１金属細線と、その第１金属細線と交差するように第２方向に延びる複数の第２金属細線によって、複数の第１開口部が第１方向及び第２方向に連続して配置されるようにメッシュ状に形成され、
    前記第２導電パターンは、前記第１金属細線と重ならないように第１方向に延びる複数の第３金属細線と、その第３金属細線と交差し且つ前記第２金属細線と重ならないように第２方向に延びる複数の第４金属細線によって、複数の第２開口部が第１方向及び第２方向に連続して配置されるようにメッシュ状に形成され、
    前記第１金属細線と前記第２金属細線とは、各々が交差する箇所に形成された共通の第１屈曲線を含み、
    前記第１屈曲線は、前記第１金属細線と前記第２金属細線によって形成された、対向する第１鈍角部同士を接続し、
    前記第３金属細線と前記第４金属細線とは、各々が交差する箇所に形成された共通の第２屈曲線を含み、
    前記第２屈曲線は、前記第３金属細線と前記第４金属細線によって形成された、対向する第２鈍角部同士を接続し、
    前記第１屈曲線から次の第１屈曲線まで延びる前記第１金属細線及び前記第２金属細線をそれぞれ第１金属辺及び第２金属辺とすると、前記第１屈曲線を挟んで対向する前記第１金属辺と前記第２金属辺は、長さが等しく、それぞれの長さが３００～１３００μｍであり、
    前記第１金属辺及び前記第２金属辺の両端にある前記第１屈曲線は、平行であり、長さが８～２０μｍであり、
    前記第２屈曲線から次の第２屈曲線まで延びる前記第３金属細線及び前記第４金属細線をそれぞれ第３金属辺及び第４金属辺とすると、前記第２屈曲線を挟んで対向する前記第３金属辺と前記第４金属辺は、長さが等しく、それぞれの長さが３００～１３００μｍであり、
    前記第３金属辺及び前記第４金属辺の両端にある前記第２屈曲線は、平行であり、長さが８～２０μｍである、タッチセンサの製造方法。
  8. 透明基材と、
    前記透明基材の一方の面に、第１方向に延びる複数の第１金属細線と、その第１金属細線と交差するように第２方向に延びる複数の第２金属細線によって、複数の第１開口部が第１方向及び第２方向に連続して配置されるようにメッシュ状に形成された第１導電パターンと、
    前記透明基材の他方の面に、前記第１金属細線と重ならないように第１方向に延びる複数の第３金属細線と、その第３金属細線と交差し且つ前記第２金属細線と重ならないように第２方向に延びる複数の第４金属細線によって、複数の第２開口部が第１方向及び第２方向に連続して配置されるようにメッシュ状に形成された第２導電パターンと、を備え、
    前記第１金属細線と前記第２金属細線とは、各々が交差する箇所に形成された共通の第１屈曲線を含み、
    前記第１屈曲線は、前記第１金属細線と前記第２金属細線によって形成された、対向する第１鈍角部同士を接続し、
    前記第３金属細線と前記第４金属細線とは、各々が交差する箇所に形成された共通の第２屈曲線を含み、
    前記第２屈曲線は、前記第３金属細線と前記第４金属細線によって形成された、対向する第２鈍角部同士を接続し、
    前記第２金属細線は、前記第１屈曲線から次の第１屈曲線の間に金属細線が形成されていない第１断線部を含み、
    前記第３金属細線は、前記第２屈曲線から次の第２屈曲線の間に金属細線が形成されていない第２断線部を含み、
    前記第１断線部と前記第２断線部とは、交差しない、導電シート。
  9. 前記第１屈曲線から次の第１屈曲線まで延びる前記第１金属細線及び前記第２金属細線をそれぞれ第１金属辺及び第２金属辺とし、前記第２屈曲線から次の第２屈曲線まで延びる前記第３金属細線及び前記第４金属細線をそれぞれ第３金属辺及び第４金属辺とすると、
    前記第２金属細線は、前記第２金属辺と前記第１断線部とが交互に配置され、
    前記第３金属細線は、前記第３金属辺と前記第２断線部とが交互に配置された、請求項８に記載の導電シート。
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