JP7266864B2 - 露光装置及び露光方法 - Google Patents
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Description
図1は、第1の実施の形態に係る露光装置1の概略を示す斜視図である。露光装置1は、主として、定盤11と、板状部12と、レール13、14と、枠体15と、ステージ20と、光照射部30と、レーザ干渉計50と、読取部60と、を有する。なお、図1においては、一部の構成について図示を省略している。また、露光装置1は、装置全体を覆う図示しない温度調整部により、一定温度に保たれている。
本発明の第2の実施の形態は、台形型認識マークを被読取部に設ける形態である。以下、第2の実施の形態の露光装置2について説明する。第1の実施の形態の露光装置1と、第2の実施の形態の露光装置2との差異は被読取部のみであるため、以下、第2の実施の形態の露光装置における被読取部についてのみ説明する。また、第1の実施の形態と同一の部分については、同一の符号を付し、説明を省略する。
11 :定盤
11a :上面
12 :板状部
12a :上面
13、14 :レール
15 :枠体
15a :支持部
15c :柱
20、20-1:ステージ
20a :上面
20b、20c:辺
21、21-1:板状部材
25、25-1:被読取部
25A、25A-1、25B、25B-1:リブ
25a、25b:土台部
25c :接着部
25d、25f:板状部
25e :認識マーク
30(30a~30g):光照射部
32a~32g:対物レンズ
33a~33g:光源部
34a~34g:AF処理部
35a~35g:筒状部
36a~36g:フランジ
37a~37g:取付部
38a~38g:取付部
39(39a~39g):駆動部
41 :台形型認識マーク
41a :突起部
41b :底面
41c、41d:側面
41e :上面
50、51:レーザ干渉計
60(60a~60g):読取部
70、70A:ガイド部材
71、71A:ガイド部本体
72、72A、73、73A:押さえリング
74、74A:取付孔
75、76 :孔
81、82 :駆動部
100 :マスク
101 :アライメントマーク
151 :底板
152 :側板
153 :支持板
154 :側板
155a~155g、156a~156g、157a~157g:丸孔
159 :仕切り壁
160 :弾性部材
161 :移動機構
161a :ラック
161b :ピニオン
161c :アクチュエータ
163 :永電磁石
201 :CPU
201a :制御部
202 :RAM
203 :ROM
204 :入出力インターフェース
205 :通信インターフェース
206 :メディアインターフェース
211 :入出力装置
212 :ネットワーク
213 :記憶媒体
331 :光源
332 :レンズ
333 :フライアイレンズ
334、335:レンズ
336 :ミラー
341 :AF用光源
342 :コリメータレンズ
343 :AF用シリンドリカルレンズ
344、345:ペンタプリズム
346 :レンズ
347、348:センサ
372 :中空部
391 :圧電素子
601 :鏡筒
602 :光源ユニット
603 :鏡筒
604 :チューブレンズ
605 :ハーフミラー
606 :カメラ
621 :光源
622 :光バンドルファイバ
623 :拡散板
624 :コリメータレンズ
Claims (11)
- 基板に対して露光を行う露光装置であって、
略水平な載置面に前記基板が載置される略板状のステージと、
前記ステージを水平面に略沿った第1方向に移動させる第1駆動部と、
前記ステージの上方に設けられており、描画処理時に光を照射する光照射部と、
前記光照射部に隣接して又は前記光照射部に設けられた読取部と、
前記光照射部及び前記読取部を鉛直方向に移動させる第2駆動部と、
前記載置面の前記第1方向と略直交する第2方向に沿った2つの辺のうちの少なくとも一方の近傍に設けられた被読取部であって、複数の認識マークを含む被読取部と、
を備え、
前記被読取部は、前記第1方向の位置により高さが異なるリブであって、前記第1方向に沿って設けられたリブを有し、
前記リブの底面は前記載置面に設けられており、
前記リブの前記底面と反対側の上面には、複数の前記認識マークが前記第1方向に沿って設けられている
ことを特徴とする露光装置。 - 前記リブは、前記第2方向に沿って隣接して設けられた第1リブ及び第2リブを有し、
前記第1リブの上面及び前記第2リブの上面は、傾きが略同じであり、
前記第1リブの最も高い位置における高さと、前記第2リブの最も低い位置における高さとが略同じである
ことを特徴とする請求項1に記載の露光装置。 - 前記第1駆動部は、前記ステージを前記第2方向に移動させ、
前記光照射部は、前記第2方向に沿って隣接して設けられた第1光照射部と第2光照射部とを有し、
前記読取部は、前記第1光照射部に隣接して又は前記第1光照射部に設けられた第1読取部と、前記第2光照射部に隣接して又は前記第2光照射部に設けられた第2読取部とを有し、
前記被読取部は、前記第2方向の位置が前記第1読取部と前記第2読取部との間に位置する
ことを特徴とする請求項1又は2に記載の露光装置。 - 前記被読取部は、前記ステージの前記第2方向に沿った2つの辺の近傍に設けられている
ことを特徴とする請求項1から3のいずれか一項に記載の露光装置。 - 前記認識マークは、前記読取部の開口数に基づいた大きさで前記リブに設けられる
ことを特徴とする請求項1から4のいずれか一項に記載の露光装置。 - 前記基板には、アライメントマークが設けられており、
前記第1駆動部により前記ステージを前記第1方向に移動させて前記読取部の視野内に前記アライメントマークを配置し、前記第2駆動部により前記基板の高さに合わせて前記光照射部及び前記読取部を鉛直方向に移動して、前記読取部で前記アライメントマークを読み取り、かつ、前記第1駆動部により前記ステージを前記第1方向に移動させて前記読取部の視野内に前記認識マークを配置し、前記読取部で前記認識マークを読み取る処理と、前記アライメントマーク及び前記認識マークを読み取った結果に基づいて前記光照射部から前記基板に光を照射する描画処理と、を行う制御部を備えた
ことを特徴とする請求項1から5のいずれか一項に記載の露光装置。 - 前記認識マークは、略5μm以上の厚みであり、略直交する4方向に突出する突起部を有する平面視略十字形状であり、
前記突起部の断面形状は、前記リブ側が広く、前記リブの反対側が狭い略台形形状であり、
前記突起部の両側の側面である第1側面及び第2側面は、前記上面に対して傾斜する傾斜面であり、前記第1側面の前記上面に対する傾斜角度の絶対値と、前記第2側面の前記上面に対する傾斜角度の絶対値との差が略1度以内であり、
前記制御部は、前記読取部を鉛直方向に移動させながら前記認識マークを読み取る
ことを特徴とする請求項6に記載の露光装置。 - 前記ステージに着脱可能に設けられる略板状の交換式被読取部を備え、
前記認識マークは、略数10nmから略1μmの厚みであり、
前記交換式被読取部には、略5μm以上の厚みであり、略直交する4方向に突出する突起部を有する平面視略十字形状の台形型認識マークが設けられており、
前記突起部の断面形状は、前記交換式被読取部を前記載置面に載置したときに、前記ステージ側が広く、前記ステージの反対側が狭い略台形形状であり、
前記突起部の両側の側面である第1側面及び第2側面は、前記交換式被読取部を前記載置面に載置したときに前記載置面に対して傾斜する傾斜面であり、前記第1側面の前記載置面に対する傾斜角度の絶対値と、前記第2側面の前記載置面に対する傾斜角度の絶対値との差が略1度以内であり、
前記制御部は、前記読取部を鉛直方向に移動させながら前記台形型認識マークを読み取る
ことを特徴とする請求項6に記載の露光装置。 - 第1方向に沿って移動可能に設けられたステージの上方に設けられた光照射部を用いて
基板に露光を行う露光方法であって、
前記ステージの略水平な面に前記基板を載置するステップと、
前記光照射部と、前記光照射部に隣接して又は前記光照射部に設けられた読取部とを前記基板の高さに合わせて鉛直方向に移動して、前記基板を前記読取部で読み取るステップと、
前記ステージの前記第1方向と略直交する第2方向に沿った2つの辺のうちの少なくとも一方の近傍に設けられた被読取部であって、前記ステージに設けられた前記第1方向の位置により高さが異なるリブの上面に前記第1方向に沿って複数設けられている認識マークを前記読取部で読み取るステップと、
前記基板の読取結果と、前記認識マークの読取結果とに基づいて、前記ステージを前記第1方向に移動させながら前記光照射部から前記基板に光を照射するステップと、
を含むことを特徴とする露光方法。 - 前記基板を前記読取部で読み取るステップでは、前記基板に設けられたアライメントマークを前記読取部で読み取り、
前記光照射部から前記基板に光を照射するステップでは、前記アライメントマークの読取結果と、前記認識マークの読取結果とに基づいて前記基板に光を照射する
ことを特徴とする請求項9に記載の露光方法。 - 前記ステージに前記基板を載置する前に行う校正ステップを有し、
前記校正ステップは、
前記読取部を前記ステージに近づける方向及び前記ステージから遠ざける方向に移動させながら、厚さが略5μm以上で平面視略十字形状の台形型認識マークであって、前記ステージ側が広く上面側が狭い略台形形状の断面形状を有する台形型認識マークを前記読取部で読み取るステップと、
前記台形型認識マークの読取結果に基づいて前記読取部の光軸の傾きを検知するステップと、
を含み、
前記光照射部から前記基板に光を照射するステップでは、前記読取部の光軸の傾きに基づいて描画位置を調整する
ことを特徴とする請求項9又は10に記載の露光方法。
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