JP7266070B2 - 基板用の配線計測システム及びその方法 - Google Patents
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Description
10 画像キャプチャ装置
20 第一光源
30 第二光源
40 画像処理装置
IA 検査エリア
Ob 基板
200 配線計測システム
10A 画像キャプチャ装置
20A 第一光源
30A 第二光源
40A 画像処理装置
A1 矢印
F2 基板平面
300 配線計測システム
10B 画像キャプチャ装置
20B 第一光源
30B 第二光源
40B 画像処理装置
A2 矢印
A3 光の出力方向
A4 光の出力方向
α 画像を取る角度
β 夾角
S101-S103 ステップ
US 配線上側平面
SS 配線側面
BS 基板底部平面
C1 角Rの境界面
C2 角Rの境界面
R1 配線上側平面エリア
R2 配線側面エリア
R3 配線側面エリア
R4 基板底部平面エリア
CE1 角Rエリア
CE2 角Rエリア
CE3 角Rエリア
CE4 角Rエリア
I1 画像
I2 画像
UW1 上側配線幅
UW2 下側配線幅
SW1 第一側面エリア幅
SW2 第二側面エリア幅
400 配線計測システム
10C 第一画像キャプチャ装置
20C 第二画像キャプチャ装置
30C 第一光源グループ
31C 同軸光源
32C 側面光源
40C 第二光源グループ
41C 同軸光源
42C 側面光源
50C 画像処理装置
IA1 検査エリア
IA2 検査エリア
W1 上側配線幅
W2 下側配線幅
W3 側面の幅
W4 側面の幅
H 配線の厚さ
L 目標配線区域
S1 側面俯瞰角幅
S2 側面俯瞰角幅
ST1-STN 二次元画像断面図
S201-S207 ステップ
Claims (13)
- 基板用の配線計測システムであって、
基板に第一色光束を提供し、前記基板の第一エリア特徴を表示する第一光源と、
前記基板に第二色光束を提供し、前記基板の第二エリア特徴を表示する第二光源と、
前記基板のキャプチャを行い、前記第一エリア特徴及び前記第二エリア特徴を取得する画像キャプチャ装置と、
前記画像キャプチャ装置に接続され、前記第一エリア特徴及び前記第二エリア特徴を分析し、配線情報を取得する画像処理装置と、
を備え、
前記配線情報は、上側配線幅、下側配線幅、側面エリア幅、側面エリア面積および/または側面エリア表面品質を含むことを特徴とする配線計測システム。 - 前記画像キャプチャ装置が撮影した前記基板の配線画像は、前記第一色光束と前記第二色光束を混合することで前記基板に表示される第三エリア特徴を含み、
前記第一エリア特徴は、配線上側平面または基板底部平面の画像特徴を含み、
前記第二エリア特徴は、配線側面の画像特徴を含み、
前記第三エリア特徴は、配線上側平面と配線側面との境界部分の画像特徴または前記基板底部平面と配線側面の境界部分の画像特徴を含むことを特徴とする請求項1に記載の配線計測システム。 - 前記画像キャプチャ装置の光軸方向と前記基板の平面は一定の撮影角度を有し、前記撮影角度は0度から90度までの間であり、前記第一光源は同軸光源または前記基板の平面に相対する正方向の光源を備え、前記第二光源は側面光源を備えることを特徴とする請求項1に記載の配線計測システム。
- 前記画像キャプチャ装置の光軸方向と前記正方向の光源の光の出力方向との間の角度は20度から40度までの間であり、前記画像キャプチャ装置の光軸方向と前記側面光源の光の出力方向との間の夾角は30度から50度までの間であることを特徴とする請求項3に記載の配線計測システム。
- 前記第一光源または前記第二光源は、赤、緑、青の三色光源のうちのいずれか一種であり、前記第一光源と前記第二光源の色は異なることを特徴とする請求項1に記載の配線計測システム。
- 基板用の配線計測システムであって、
基板に第一色光束及び第二色光束を提供し、前記基板の第一配線画像特徴を表示する第一光源グループと、
前記基板の上側方向に設置し、前記第一配線画像特徴のキャプチャを行う第一画像キャプチャ装置と、
前記基板に前記第一色光束及び前記第二色光束を提供し、前記基板の第二配線画像特徴を表示する第二光源グループと、
前記基板の側面方向に設置し、前記第二配線画像特徴のキャプチャを行う第二画像キャプチャ装置と、
前記第一配線画像特徴及び前記第二配線画像特徴を分析し、配線情報を取得する画像処理装置と、
を備えることを特徴とする配線計測システム。 - 前記第一配線画像特徴または前記第二配線画像特徴は、前記第一色光束を前記基板に提供し表示される第一エリア特徴と、前記第二色光束を前記基板に提供し表示される第二エリア特徴と、前記第一色光束及び前記第二色光束を混合し前記基板に提供することで表示される第三エリア特徴を含み、前記第一エリア特徴は配線上側平面または前記基板底部平面の画像特徴を有し、前記第二エリア特徴は配線側面の画像特徴を含み、前記第三エリア特徴は配線上側平面と配線側面との境界部分の画像特徴または前記基板底部平面と配線側面との境界部分の画像特徴を含むことを特徴とする請求項6に記載の配線計測システム。
- 前記第二画像キャプチャ装置の光軸方向と前記基板の平面は一定の撮影角度を有し、前記撮影角度は0度から90度までの間であり、
前記第二光源グループは同軸光源または前記基板の平面に相対する正方向の光源と、側面光源を備えることを特徴とする請求項7に記載の配線計測システム。 - 前記第二画像キャプチャ装置の光軸方向と前記正方向の光源の光の出力方向との間の角度は20度から40度までの間であり、前記第二画像キャプチャ装置の光軸方向と前記側面光源の光の出力方向との間の夾角は30度から50度までの間であることを特徴とする請求項8に記載の配線計測システム。
- 前記同軸光源または前記正方向の光源は、赤、緑、青の三色光源のうちのいずれか一種であり、前記同軸光源と前記正方向の光源の色は異なることを特徴とする請求項8に記載の配線計測システム。
- 前記配線情報は、上側配線幅、下側配線幅、側面エリア幅、側面エリア面積および/または側面エリア表面品質を含むことを特徴とする請求項6に記載の配線計測システム。
- 前記画像処理装置は、前記配線情報に基づき前記基板の配線の厚さ、配線断面積または配線体積を取得することを特徴とする請求項11に記載の配線計測システム。
- 前記配線情報は前記基板の配線欠陥情報を含むことを特徴とする請求項6に記載の配線計測システム。
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