JP7265336B2 - 搬送装置、成膜装置、有機el素子の製造システム、および有機el素子の製造方法 - Google Patents
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Description
Claims (15)
- ハンドに板状の対象物を載置して搬送する搬送装置において、
前記ハンドの構成部材の上面に固定的に装着された保持部と、
前記保持部に対して移動可能に配置された可動保持部と、
前記可動保持部を、前記保持部の上方位置と、前記保持部よりも前記ハンドの外側の退避位置と、の間で移動させるよう駆動する第1の駆動機構と、
前記可動保持部を、前記保持部の上方位置から前記保持部に向かう方向に下降、または、前記保持部から離れ前記保持部の上方位置に向かう方向に上昇させるよう駆動する第2の駆動機構と、を備え、
前記ハンドは、その手首側から手先側に伸びるメインフレームと、前記メインフレームに装着され前記メインフレームに対して交差する方向に伸びるサブフレームと、を前記構成部材として備え、前記保持部と、前記可動保持部を駆動する前記第1の駆動機構および前記第2の駆動機構と、が前記サブフレームに装着されており、
前記第1の駆動機構により前記可動保持部を前記退避位置から前記保持部の上に載置された前記対象物の上方位置に前記サブフレームに沿って移動させた後、前記第2の駆動機構により前記可動保持部を前記対象物の上方位置から、前記対象物に向かって下降させて、前記可動保持部と前記保持部とにより前記対象物を保持する保持動作と、
前記第2の駆動機構により前記可動保持部を前記対象物の上方位置へ上昇させた後、前記第1の駆動機構により前記可動保持部を前記対象物の上方位置から前記退避位置に前記サブフレームに沿って移動させる解放動作と、を行う搬送装置。 - 請求項1に記載の搬送装置において、前記メインフレームに対して複数の前記サブフレームが装着され、前記複数のサブフレームの上面に前記保持部が固定的に装着され、前記ハンドの手首側に装着された前記サブフレームに対して、前記保持部に加えて、前記可動保持部が配置されている搬送装置。
- 請求項2に記載の搬送装置において、前記ハンドの手先側の前記サブフレームに対して、前記保持部に加えて、前記可動保持部が配置されている搬送装置。
- 請求項1から3のいずれか1項に記載の搬送装置において、前記メインフレームに回転可能に支持されて回転駆動されるメインシャフトと、前記メインシャフトの回転駆動力により前記サブフレームに沿って往復移動し、前記第1の駆動機構または前記第2の駆動機構を駆動するサブシャフトと、を備える搬送装置。
- ハンドに板状の対象物を載置して搬送する搬送装置において、
前記ハンドの構成部材の上面に固定的に装着された保持部と、
前記保持部に対して移動可能に配置された可動保持部と、
前記可動保持部を、前記保持部の上方位置と、前記保持部よりも前記ハンドの外側の退避位置と、の間で移動させるよう駆動する第1の駆動機構と、
前記可動保持部を、前記保持部の上方位置から前記保持部に向かう方向に下降、または、前記保持部から離れ前記保持部の上方位置に向かう方向に上昇させるよう駆動する第2の駆動機構と、を備え、
前記第1の駆動機構により前記可動保持部を前記退避位置から前記保持部の上に載置された前記対象物の上方位置に移動させた後、前記第2の駆動機構により前記可動保持部を前記対象物の上方位置から、前記対象物に向かって下降させて、前記可動保持部と前記保持部とにより前記対象物を保持する保持動作と、
前記第2の駆動機構により前記可動保持部を前記対象物の上方位置へ上昇させた後、前記第1の駆動機構により前記可動保持部を前記対象物の上方位置から前記退避位置に移動させる解放動作と、を行い、
前記ハンドは、その手首側から手先側に伸びるメインフレームと、前記メインフレームに装着され前記メインフレームに対して交差する方向に伸びるサブフレームと、を前記構成部材として備え、前記保持部と、前記可動保持部を駆動する前記第1の駆動機構および前記第2の駆動機構と、が前記サブフレームに装着されており、
前記メインフレームに回転可能に支持されて回転駆動されるメインシャフトと、前記メインシャフトの回転駆動力により前記サブフレームに沿って往復移動し、前記第1の駆動機構または前記第2の駆動機構を駆動するサブシャフトと、を備える搬送装置。 - 請求項4または5に記載の搬送装置において、前記メインシャフトに装着されたカムと、前記サブシャフトの後端部と、が当接し、前記メインシャフトが回転駆動され、前記カムを介して前記サブシャフトに伝達される駆動力により、前記サブシャフトが前記サブフレームに沿って往復移動し、前記サブシャフトの前端を介して前記第1の駆動機構または前記第2の駆動機構が駆動される搬送装置。
- 請求項6に記載の搬送装置において、
前記第1の駆動機構は、往復運動する前記サブシャフトの先端に当接可能な位置に第1のリニアガイドに支持されたベースと、前記ベースに装着された、傾斜面を有する板カムと、前記第1のリニアガイドを前記サブシャフトの先端に当接する方向に付勢する第1の付勢手段と、前記可動保持部が前記保持部の上方位置にある際、前記ベースを停止させる係止手段と、を有し、
前記第2の駆動機構は、前記可動保持部を支持するブラケットと、前記ブラケットを支持する、前記第1のリニアガイドと平行に配置された第2のリニアガイドと、前記ベースと係合可能な係合爪と、前記係合爪と前記ベースとが係止する方向に前記第2のリニアガイドを付勢する第2の付勢手段と、前記板カムと当接して前記可動保持部の昇降位置を決定するカムフォロワを有し、
前記保持動作においては、前記サブシャフトが後退して、前記ベースが移動し、前記係合爪を介して前記ブラケットを前記可動保持部が前記保持部の上方位置に達するまで移動させた後、前記カムフォロワが前記板カムの前記傾斜面に沿って下降して前記可動保持部を前記対象物に当接させ、
前記解放動作においては、前記サブシャフトが前進して、前記ベースが移動し、前記カムフォロワが前記板カムの前記傾斜面に沿って上昇して前記可動保持部を前記対象物から離間させた後、さらに前記可動保持部が前記保持部の上方位置から前記退避位置に移動するまで前記係合爪を介して前記ブラケットを移動させる搬送装置。 - 請求項1から7のいずれか1項に記載の搬送装置において、前記保持部が弾性部材により構成されている搬送装置。
- 請求項1から8のいずれか1項に記載の搬送装置において、前記可動保持部が弾性部材により構成されている搬送装置。
- 請求項1から9のいずれか1項に記載の搬送装置において、前記ハンドの前記対象物に対する相対的な位置および/または姿勢を制御するロボットアームを備えた搬送装置。
- 請求項1から10のいずれか1項に記載の搬送装置と、前記対象物としてのガラス基板に対して成膜を行う成膜チャンバと、を備えた成膜装置。
- 請求項1から10のいずれか1項に記載の搬送装置と、
前記搬送装置により前記対象物として搬送されるガラス基板に対して有機薄膜を成膜する成膜チャンバと、を備え、
前記成膜チャンバにより有機薄膜が成膜された前記ガラス基板を用いて有機EL素子を製造する有機EL素子の製造システム。 - 請求項1から10のいずれか1項に記載の搬送装置によって、有機薄膜を成膜する成膜チャンバに対して、前記対象物としてのガラス基板を搬入または搬出する搬送工程と、
前記ガラス基板に対して、前記成膜チャンバにより有機薄膜を成膜する成膜工程と、
を含み、前記ガラス基板を用いて有機EL素子を製造する有機EL素子の製造方法。 - 請求項11に記載の成膜装置を複数台備えたことを特徴とする製造システム。
- 請求項11に記載の成膜装置を複数台備え、そのうち少なくとも一台の前記成膜装置は前記対象物として搬送されるガラス基板に有機薄膜を成膜することを特徴とする有機ELパネルの製造システム。
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