JP2009274813A - 基板搬送装置 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】基板保持枠11と、基板保持枠11との間でガラス基板を保持する保持機構20とを有して、ガラス基板の搬送を行う基板搬送装置1であって、搬送経路2上に設けられたラック60と噛合するピニオン30と、ピニオン30の回転に応じて保持機構20の保持/保持解除をさせるように、ピニオン30と保持機構20とを連結する連結機構とを有するという構成を採用する。
【選択図】図2
Description
しかしながら、当該構成では、基板搬送装置の移動用の駆動装置とは別に保持機構用の駆動装置を追加して設けなければならずコスト高の問題があった。
このような構成を採用することによって、本発明では、搬送経路上のラックと、基板搬送装置のピニオンとを歯合させ、基板搬送装置の移動する動力を利用することでピニオンを回転させて保持機構の保持/保持解除を自動でさせることが可能となる。
このような構成を採用することによって、本発明では、回転軸を軸周りに回転させることで、保持機構の保持/保持解除をさせることが可能となる。また、付勢装置により回転軸が、保持部が基板に当接する回転方向に付勢されるため、モータ等の電気的動力を用いずに基板を保持できる。
このような構成を採用することによって、本発明では、基板を複数方向でクランプすることが可能となり、基板をより確実に保持できる共に、特定の一つの回転保持部を保持/保持解除状態とすることで、他の複数の回転保持部をその動作と連動させて保持/保持解除状態とさせることが可能となる。
このような構成を採用することによって、本発明では、付勢装置の付勢力によって保持機構が自動に保持状態に移行してしまうことを防止できるため、基板の受け取りや、受け渡しを円滑にすることが可能となる。
このような構成を採用することによって、本発明では、基板が保持位置に位置したときに、規制モードと規制解除モードとを切り替えることで、付勢力によって回転軸を回転させ、基板を自動で保持することが可能となる。
したがって、本発明では、保持機構用の駆動装置を設けることなく、コスト安で、保持機構の保持/保持解除を自動でさせることができる効果がある。
図2は、本発明の実施形態における基板搬送装置1を示す正面図である。
図3は、本発明の実施形態における基板搬送装置1の要部拡大正面図である。
図4は、本発明の実施形態における基板搬送装置1の要部拡大側面図である。
図5は、本発明の実施形態における基板搬送装置1に設けられたラッチ機構(切替装置)50の概略構成図である。
基板保持枠11は、保持機構20と協働してガラス基板を支持するものであり、図2に示すように、ガラス基板の形状に対応して形成された開口部11aを有している。開口部11aは、ガラス基板より僅かながら小さく設計された矩形状を有している。このような開口部11aを設けることによって、表面に処理を施したガラス基板であっても、当該表面に触れずに保持することが可能となる。なお、以下の説明で、ガラス基板が基板保持枠11に保持される位置を保持位置と称して説明することがある。
クランプ軸21は、開口部11aに沿って配設され、基板保持枠11に固定された複数の支持腕12によって基板保持枠11に沿った軸周りに回転自在に支持されている。
クランプアーム22は、クランプ軸21に設けられ、ガラス基板と当接可能な構成となっている。より詳しくは、クランプアーム22は、略U字形状を有すると共に、クランプ軸21の軸方向と直交する方向に突出して設けられており、また、クランプ軸21の軸方向において所定距離を空けて複数設けられる。
また、回転保持部23は、開口部11aの4辺の各々に対応するように4つ設けられており、それらは、各クランプ軸21の端部に設けられたベベルギア21aによって、互いに連動可能に連結される構成となっている。したがって、例えば、特定の一つの回転保持部23を保持状態に移行させると、それと連動して他の回転保持部23も保持状態に移行させることが可能となる。また、逆も同様に、特定の一つの回転保持部23を保持解除状態に移行させると、それと連動して他の回転保持部23も保持解除状態に移行させることが可能となる。
ピニオン30とクランプ軸21とは、図4に示すように連結機構40で連結されている。連結機構40は、ピニオン30の回転軸の端部に設けられるベベルギア41と、ベベルギア41と噛合すると共に、クランプ軸21の端部に設けられるベベルギア42とから構成される。すなわち、連結機構40により、クランプ軸21は、ピニオン30の回転に連動して回転することが可能となる。
ラッチ機構50は、本実施形態では、例えば、図5に示すような構造を有しており、クランプ軸21に接続されたツメ車51と、ツメ車51と当接するツメ部52と、ツメ部52をツメ車51に対して近接離間させるリンク部53及びガラス基板搭載部54とを有する。
ガラス基板搭載部54は、ガラス基板が保持位置にあるとき、その上部に載置されるガラス基板により下方に押進され、ガイド部54bが押下位置(ガイド溝54Bの下端)に位置し、また、ガラス基板が保持位置にないとき、バネ54aの付勢力によりガイド部54bが通常位置(ガイド溝54Bの上端)に戻るように移動する構成となっている。
図6は、本発明の実施形態における基板搬送装置1の基板受取部3における動作を説明する図である。
図7は、本発明の実施形態における基板搬送装置1の基板受取部3における動作を説明する図である。
図8は、本発明の実施形態における基板搬送装置1の基板受渡部における動作を説明する図である。
図9は、本発明の実施形態における基板搬送装置1の基板受渡部における動作を説明する図である。
基板搬送装置1は、搬送経路2に沿って基板受取部3が設けられる位置まで移動する(図6(a)参照)。なお、このとき、基板搬送装置1にはガラス基板が搭載されておらず、保持機構20は保持状態にあり、ラッチ機構50は規制モードにある。
このとき、ピニオン30は、ラック60と噛合することにより軸周りに回転する。ピニオン30が回転すると、図4に示す連結機構40の作用により、ピニオン30の回転に連動してクランプ軸21が回転する。さらに、クランプ軸21の端部に設けられたベベルギア21aの作用により、各クランプ軸21が連動して回転してクランプアーム22を外側に開き、保持機構20を保持解除状態とさせる。
また、このとき、ラッチ機構50は、規制モードにあるため、ツメ52aとツメ車51とが当接して、クランプ軸21のクランプアーム22が閉じる回転方向の回転を規制し、コイルバネ24の付勢力により保持機構20が保持解除状態から保持状態となることを防止する。
ガラス基板が保持位置に位置されると、図5の矢印で示すようにガラス基板搭載部54がガラス基板により押進されて押下位置に位置することとなり、ラッチ機構50は、ツメ52aとツメ車51とが離間して、クランプ軸21のクランプアーム22が閉じる回転方向の回転の規制を解除する規制解除モードとなる。
ラッチ機構50が規制解除モードとなると、保持機構20は、図7(b)に示すように、コイルバネ24の付勢力によりクランプ軸21が回転し、クランプアーム22を内側に閉じてガラス基板を保持する保持状態となる。
そして、基板搬送装置1は、ガラス基板を基板保持枠11と保持機構20との間で保持すると共に、次工程の基板受渡部に搬送することとなる。
図8(a)に示すように、基板搬送装置1は、ガラス基板を保持しつつ搬送経路2に沿って基板受渡部が設けられる位置まで移動する。基板受渡部には、基板搬送装置1からガラス基板を受け取るロボットアームRが設けられており、所定位置で予め待機している。なお、ロボットアームRは、複数の基板吸着パッドR1により、ガラス基板を支持する構成となっている。
このとき、基板搬送装置1にはガラス基板が搭載されているため、保持機構20は保持状態にあり、ラッチ機構50は規制解除モードにある。
次に、基板搬送装置1は、図8(b)に示すように、基板受取部3が設けられる位置においてピニオン30を、搬送経路2上に設けられたラック60と噛合させながら、ラック60上の所定位置まで移動させる。このとき、ガラス基板を支持しているロボットアームRも基板搬送装置1の移動に追従して移動させるのが好ましい。
そして、ガラス基板が基板受渡部に移載された後、基板搬送装置1は、ラック60上を通過して、再び基板受取部3に移動することとなる。
したがって、本実施形態では、保持機構20用の駆動装置を設ける必要がなく、コスト安で、保持機構20の保持/保持解除を自動でさせることができる効果がある。
Claims (5)
- 基板保持枠と、前記基板保持枠との間で基板を保持する保持機構とを有して、前記基板の搬送を行う基板搬送装置であって、
前記搬送の経路上に設けられたラックと噛合するピニオンと、
前記ピニオンの回転に応じて前記保持機構の保持/保持解除をさせるように、前記ピニオンと前記保持機構とを連結する連結機構とを有することを特徴とする基板搬送装置。 - 前記保持機構は、前記基板保持枠に沿った軸周りに回転自在な回転軸及び、前記回転軸に設けられ、前記基板と当接可能な保持部を有する回転保持部と、
前記回転軸を、前記保持部が前記基板に当接する回転方向に付勢する付勢装置とを有し、
前記連結機構は、前記ピニオンの回転に連動して前記回転軸を回転させることを特徴とする請求項1に記載の基板搬送装置。 - 前記回転保持部は、複数設けられており、
前記複数の回転保持部は、互いに連動可能に連結され、
前記連結機構は、前記複数の回転保持部の内の特定の一つに設けられていることを特徴とする請求項2に記載の基板搬送装置。 - 前記回転軸の前記回転方向の回転を規制する規制モードと、
前記回転軸の前記回転方向の回転の規制を解除する規制解除モードとを切り替える切替装置を有することを特徴とする請求項2または3に記載の基板搬送装置。 - 前記切替装置は、前記基板が基板保持枠に保持される保持位置に位置するときに、前記規制モードと前記規制解除モードとを切り替えることを特徴とする請求項4に記載の基板搬送装置。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
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JP2008127385A JP5035104B2 (ja) | 2008-05-14 | 2008-05-14 | 基板搬送装置 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
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JP2008127385A JP5035104B2 (ja) | 2008-05-14 | 2008-05-14 | 基板搬送装置 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2009274813A true JP2009274813A (ja) | 2009-11-26 |
JP5035104B2 JP5035104B2 (ja) | 2012-09-26 |
Family
ID=41440594
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
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JP2008127385A Active JP5035104B2 (ja) | 2008-05-14 | 2008-05-14 | 基板搬送装置 |
Country Status (1)
Country | Link |
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JP5035104B2 (ja) | 2012-09-26 |
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A621 | Written request for application examination |
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FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
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