JP7263966B2 - 光デバイス - Google Patents
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Description
図9は、本発明の実施形態に係わる光変調器の端部におけるメタル配線およびポリマーパターンの構成の一例を示す。ここでは、図8と同様に、光変調器を構成する4個の変調器のうちの1つ(例えば、変調器11)の端部の構成を示す。なお、図9においては、図8(b)と同様に、光導波路が省略され、メタル配線およびポリマーパターンが描かれている。
図11は、送受信モジュールを含む光デバイスの一例を示す。光デバイス100は、この実施例では、光源51、送受信パッケージ60、DSP71を備える。送受信パッケージ60は、受信部61、TIA回路62、ドライバ回路63、変調部64を備える。受信部61および変調部64は、例えば、図1に示す光ICチップ10に実装される。変調部64は、例えば、図2~図4に示す構成により実現される。なお、光デバイス100は、図11に示していない要素を備えていてもよい。
3 流入路ポリマーパターン
4~7 チャネルポリマーパターン
8 流出路ポリマーパターン
3x、4x ポリマー流路
10 光ICチップ
11~14 変調器
81、91 変調部
82、92 パッド部
83、93 遷移部
100 光デバイス
Claims (7)
- 光ICチップ上に形成される光変調器を含む光デバイスであって、
前記光変調器は、
光導波路と、
前記光導波路の一方の側に形成される第1のメタル配線と、
前記光導波路の他方の側に形成される第2のメタル配線と、
前記光ICチップの1つの辺に沿って形成される第1のポリマーパターンと、
前記第1のポリマーパターンに接続し、前記第1のメタル配線と前記第2のメタル配線との間の領域において、少なくとも一部が前記光導波路上に形成される第2のポリマーパターンと、を備え、
前記第1のメタル配線は、
前記光導波路に平行に形成される第1の変調部と、
前記第1のメタル配線の先端に形成される第1のパッド部と、
前記第1の変調部と前記第1のパッド部とを接続する第1の遷移部と、を備え、
前記第2のメタル配線は、
前記光導波路に平行に形成される第2の変調部と、
前記第2のメタル配線の先端に形成される第2のパッド部と、
前記第2の変調部と前記第2のパッド部とを接続する第2の遷移部と、を備え、
前記第1の遷移部と前記第2の遷移部との間の領域が曲線になるように、前記第1のメタル配線および前記第2のメタル配線が形成され、
第2のポリマーパターンは、前記第1の遷移部と前記第2の遷移部との間の領域において曲線部を有する
ことを特徴とする光デバイス。 - 前記第1の変調部と前記第2の変調部との間の領域に形成される第2のポリマーパターンの幅と、前記第1の遷移部と前記第2の遷移部との間の領域に形成される第2のポリマーパターンの幅とは、互いに同じである
ことを特徴とする請求項1に記載の光デバイス。 - 前記第1の変調部と前記第2の変調部との間の領域に形成される第2のポリマーパターンの幅と、前記第1のパッド部と前記第2のパッド部との間の領域に形成される第2のポリマーパターンの幅とは、互いに同じである
ことを特徴とする請求項1または2に記載の光デバイス。 - 前記第2のポリマーパターンと前記第1の変調部との間の間隔と、前記第2のポリマーパターンと前記第1の遷移部との間の間隔とは、互いに同じである
ことを特徴とする請求項1に記載の光デバイス。 - 前記第2のポリマーパターンと前記第1の変調部との間の間隔と、前記第2のポリマーパターンと前記第1のパッド部との間の間隔とは、互いに同じである
ことを特徴とする請求項1または4に記載の光デバイス。 - 前記第1のパッド部と前記第2のパッド部との間の領域に形成される第2のポリマーパターンの幅は、前記第1の変調部と前記第2の変調部との間の領域に形成される第2のポリマーパターンの幅より広い
ことを特徴とする請求項1に記載の光デバイス。 - 前記光ICチップ上に光受信器がさらに形成されている
ことを特徴とする請求項1に記載の光デバイス。
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---|---|---|---|---|
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Citations (9)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2004126152A (ja) | 2002-10-01 | 2004-04-22 | Seiko Epson Corp | 光インターコネクション回路、光インターコネクション回路の製造方法、電気光学装置および電子機器 |
JP2006262476A (ja) | 2005-03-15 | 2006-09-28 | Fujitsu Ltd | 光トランシーバ及び光通信方法 |
JP2006284838A (ja) | 2005-03-31 | 2006-10-19 | Sumitomo Osaka Cement Co Ltd | 光変調器 |
US20140086523A1 (en) | 2012-09-27 | 2014-03-27 | Bruce A. Block | Poling structures and methods for photonic devices employing electro-optical polymers |
JP2015501945A (ja) | 2011-11-11 | 2015-01-19 | ギグオプティックス, インコーポレイテッド | 二偏波直交変調器 |
JP2015191137A (ja) | 2014-03-28 | 2015-11-02 | 住友大阪セメント株式会社 | 光導波路素子モジュール |
JP2015197448A (ja) | 2014-03-31 | 2015-11-09 | 住友大阪セメント株式会社 | 光導波路素子モジュール |
JP2016018005A (ja) | 2014-07-04 | 2016-02-01 | 株式会社フジクラ | 光導波路素子およびその製造方法、光受信回路、光変調器 |
JP2020509427A (ja) | 2017-03-03 | 2020-03-26 | ネオフォトニクス・コーポレイションNeoPhotonics Corporation | 変調電極に対して横方向に変位した伝導平面を有する高周波光変調器 |
Family Cites Families (11)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
DE3929410A1 (de) * | 1989-09-05 | 1991-03-07 | Standard Elektrik Lorenz Ag | Integrierter lichtwellenleiter |
US5533151A (en) * | 1995-04-28 | 1996-07-02 | Texas Instruments Incorporated | Active cladding optical modulator using an electro-optic polymer on an inorganic waveguide |
US6355198B1 (en) | 1996-03-15 | 2002-03-12 | President And Fellows Of Harvard College | Method of forming articles including waveguides via capillary micromolding and microtransfer molding |
EP0987580A1 (en) * | 1998-09-16 | 2000-03-22 | Akzo Nobel N.V. | Optical intensity modulator and switch comprising the same |
US20020018636A1 (en) * | 2000-08-02 | 2002-02-14 | Gemfire Corporation | Device and method for variable attenuation of an optical channel |
US6937811B2 (en) * | 2002-11-19 | 2005-08-30 | Lumera Corporation | Polymer waveguide devices incorporating electro-optically active polymer clads |
JP2005181662A (ja) * | 2003-12-19 | 2005-07-07 | Fuji Xerox Co Ltd | 高分子光導波路の製造方法 |
JP2009069203A (ja) * | 2007-09-10 | 2009-04-02 | Fuji Xerox Co Ltd | 高分子光導波路及びその製造方法 |
JP2009075288A (ja) * | 2007-09-20 | 2009-04-09 | Fuji Xerox Co Ltd | 高分子光回路の製造方法 |
WO2009066699A1 (ja) * | 2007-11-19 | 2009-05-28 | Alps Electric Co., Ltd. | 光導波路及びその製造方法 |
JP2010152111A (ja) * | 2008-12-25 | 2010-07-08 | Fuji Xerox Co Ltd | 光導波路、光モジュール、光モジュールの製造方法、および光導波路の製造方法 |
-
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Patent Citations (9)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2004126152A (ja) | 2002-10-01 | 2004-04-22 | Seiko Epson Corp | 光インターコネクション回路、光インターコネクション回路の製造方法、電気光学装置および電子機器 |
JP2006262476A (ja) | 2005-03-15 | 2006-09-28 | Fujitsu Ltd | 光トランシーバ及び光通信方法 |
JP2006284838A (ja) | 2005-03-31 | 2006-10-19 | Sumitomo Osaka Cement Co Ltd | 光変調器 |
JP2015501945A (ja) | 2011-11-11 | 2015-01-19 | ギグオプティックス, インコーポレイテッド | 二偏波直交変調器 |
US20140086523A1 (en) | 2012-09-27 | 2014-03-27 | Bruce A. Block | Poling structures and methods for photonic devices employing electro-optical polymers |
JP2015191137A (ja) | 2014-03-28 | 2015-11-02 | 住友大阪セメント株式会社 | 光導波路素子モジュール |
JP2015197448A (ja) | 2014-03-31 | 2015-11-09 | 住友大阪セメント株式会社 | 光導波路素子モジュール |
JP2016018005A (ja) | 2014-07-04 | 2016-02-01 | 株式会社フジクラ | 光導波路素子およびその製造方法、光受信回路、光変調器 |
JP2020509427A (ja) | 2017-03-03 | 2020-03-26 | ネオフォトニクス・コーポレイションNeoPhotonics Corporation | 変調電極に対して横方向に変位した伝導平面を有する高周波光変調器 |
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