JP2006284838A - 光変調器 - Google Patents
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Abstract
【課題】 LNチップと回路基板を少ない面積で実装した光変調器を提供する。
【解決手段】 LNチップ10の信号電極14、グランド電極15及び16が設けられた面を下向きにしたときのこれらの電極の位置に合わせて回路基板20に信号電極24−1、グランド電極25−1及び26−1を設ける。そして、回路基板20の信号電極24−1、グランド電極25−1及び26−1の上部にバンプ24a、25a、26aを形成し、LNチップ10を下向きにし電極どうしの位置を合わせて載せ、ボンディングする。
【選択図】 図1
【解決手段】 LNチップ10の信号電極14、グランド電極15及び16が設けられた面を下向きにしたときのこれらの電極の位置に合わせて回路基板20に信号電極24−1、グランド電極25−1及び26−1を設ける。そして、回路基板20の信号電極24−1、グランド電極25−1及び26−1の上部にバンプ24a、25a、26aを形成し、LNチップ10を下向きにし電極どうしの位置を合わせて載せ、ボンディングする。
【選択図】 図1
Description
本発明は、LN(LiNbO3、ニオブ酸リチウム)チップと回路基板から構成される光変調器に関する。
従来、LN変調器には、導波路及び電極が形成されたLNチップと、駆動回路、オートバイアス回路等を含む周辺回路が配置された制御回路基板を隣り合わせて配置し、封止ケースに内蔵したものがある。
まず、図6を参照して従来のLNチップ30の構成について説明する。図6はMZ(マッハツェンダ)型のLNチップ30の斜視図である。LNチップ30は、誘電体であるニオブ酸リチウムの結晶に変調用電極を形成し、細長い板状にカットしたものである。
まず、図6を参照して従来のLNチップ30の構成について説明する。図6はMZ(マッハツェンダ)型のLNチップ30の斜視図である。LNチップ30は、誘電体であるニオブ酸リチウムの結晶に変調用電極を形成し、細長い板状にカットしたものである。
このLN素子31の上部の表面近傍には導波路33a、33b、33c、33dが形成されている。導波路33aは一端が光ファイバ41に接続され、他端がY分岐によって2つの導波路33b及び33cに接続される。2つの導波路33b及び33cは互いに平行な直線部分を有し、再びY分岐によって1つの導波路33dに接続される。導波路33dは一端が2つの導波路33b及び33cと接続され、他端は光ファイバ42に接続される。
導波路33a、33b、33c、33dが形成されたLN素子31の上部には、膜状のバッファ層が設けられているが図6においては省略している。このバッファ層は、光の導波損失を避けるためにLN素子31と各電極、すなわち信号電極34、グランド電極35及び36との間に設けられたSiO2(二酸化ケイ素)の膜である。
信号電極34、グランド電極35及び36は、上記のバッファ層の上に金属がメッキされたものである。これらは、導波路33b及び33cの互いに平行な直線部分に対して平行に配置されているが、これらの電極の両側の端部はLNチップ30とは別に設けられた制御回路基板60(図7)の電極64、65、66と接続するため、導波路33b及び33cの互いに平行な直線部分に対して平行に配置された部分から側方に向かって小さな曲率半径の曲げ構造で形成されている。
37、38はそれぞれ光ファイバ41、42を保護してLN素子31に接続するためのガラスの部材である。LNブロック31a、31bはLN素子31と同じ材質からなる直方体の部材であり、キャピラリ37、38をLN素子31に固定するためLN素子31の両端に設けられている。
上記のように構成されたLN素子31の信号電極34に電圧を印加し電界を生じさせると、LN素子31すなわちニオブ酸リチウムの結晶の屈折率が変化する電気光学効果により、2つの導波路33b及び33cを通る光の位相がそれぞれ変化する。そして、2つの導波路33b及び33cが1つの導波路33dに接続されるY分岐において、位相の異なる2つの光が合波され強度変調が行われる。このようにして光ファイバ41からの入力光が変調され、光ファイバ42へ出力される。
上記のLNチップ30を、周辺回路が配置された制御回路基板60とともに封止ケースに内蔵する場合には、従来、これらは図7に示すように配置されている。LNチップ30を導波路33a、33b、33c、33d、及び、信号電極34、グランド電極35及び36が形成された面を上として封止ケースの底板部に固定するとともに、制御回路基板60をLNチップ30の信号電極34、グランド電極35及び36が曲げ構造で形成された側に並べて配置し、封止ケースの底板部に固定する。そして、LNチップ30の信号電極34、グランド電極35及び36と制御回路基板60の電極64、65、66とをそれぞれワイヤボンディング又はコンタクトスリーブにより接続する。ここでは、ボンディングワイヤ74、75、76で接続した例を示す。なお、制御回路基板60は、その表面に配置される周辺回路は省略し、電極64、65、66のみ示す。
なお、従来技術として非特許文献1が知られている。
住友大阪セメント、「光通信用LiNbO3変調器」[online]、[平成17年2月28日検索]、インターネット<URL:http://www.socnb.com/report/ptech/2001_ln.pdf>
なお、従来技術として非特許文献1が知られている。
住友大阪セメント、「光通信用LiNbO3変調器」[online]、[平成17年2月28日検索]、インターネット<URL:http://www.socnb.com/report/ptech/2001_ln.pdf>
従来のLNチップ30は変調電圧をLN素子31の側面から光導波路と直交方向から導入した後、信号電極34及びグランド電極35の形状を曲げ構造として、光導波路と平行にして変調効果を得た後、再び屈曲させて変調電極は終端される構造となっている。このとき光導波路との相互作用部まで曲げ構造を含めて、光導波路と直交方向に一定の長さを要するため、素子幅の大部分を占めており1ウェハ当りのチップ数を制限する主要因ともなっている。また電極の曲げ構造部の曲率(R半径)が小さい場合には、電気的損失が無視できなくなり、曲げ構造部の曲率を緩和するとチップ幅が広くなるトレードオフの関係にある。また、変調器を動作させるための電圧を導入するにあたり、制御回路基板60をLN素子31の側面につけていたため小型化に限界があった。
本発明は、上記の事情を考慮してなされたものであり、その目的は、LNチップと回路基板を少ない面積で実装した光変調器を提供することである。
本発明は、上記の事情を考慮してなされたものであり、その目的は、LNチップと回路基板を少ない面積で実装した光変調器を提供することである。
本発明は上記の課題を解決するためになされたもので、請求項1に記載の発明は、電極が設けられた回路基板と、電気光学効果を有する材料からなる素子と、該素子に形成された導波路と、該導波路を通る光の位相を制御する電極とを有し、該電極が前記回路基板の電極にフェースダウンボンディングされるチップと、を具備することを特徴とする光変調器である。
請求項2に記載の発明は、請求項1に記載の光変調器において、前記フェースダウンボンディングは、フリップチップボンディングであることを特徴とする。
請求項3に記載の発明は、請求項1又は請求項2に記載の光変調器において、前記チップの電極は直線状に形成されていることを特徴とする。
本発明によれば、光変調器の実装面積を削減し、封止ケースを小型化することができる。また、LNチップ及び周辺回路を1枚の回路基板に実装することができるので、低コスト化を図ることができる。また、従来のようにLNチップの電極の端部を小さな曲率半径の曲げ構造とする必要がなくなり、回路基板上では曲率が緩やかな電極を形成可能なため、LN素子上に電極を形成するよりも曲げ構造による伝搬損失が少なくて済む。また、素子幅を200μm位まで狭くでき、1枚のLNウェハから多くの素子数を得ることができる。また、LNチップの電極をストレートすなわち直線状に形成することにより、曲線構造において発生していた高周波応答成分の劣化及び反射を取り除くことができる。また、従来LNチップ上に形成していた電極は、素子の幅や導波路との関係により形状に制約を受けていたが別の基板に電極を形成することで電極設計の自由度が増す。また、従来、LNチップの電極と制御回路基板とを金線で接続していた場合と異なり直接接続するため寄生容量を生じる余地が少ない。
以下、図面を参照し、本発明の実施形態について説明する。この実施形態では、フェースダウンボンディングの一形態であるフリップチップボンディングにより、図2に示すLNチップ10を図4に示す回路基板20に接続する。まず、LNチップ10、回路基板20について説明する。
図2に示すLNチップ10は、図6に示す従来のLNチップ30とは信号電極14、グランド電極15及び16の形状が異なるが、その他は同様である。ただし、図6のLNチップ30におけるキャピラリ37、38、LNブロック31a、31bは、図2のLNチップ10においては省略している。
図2に示すLNチップ10は、図6に示す従来のLNチップ30とは信号電極14、グランド電極15及び16の形状が異なるが、その他は同様である。ただし、図6のLNチップ30におけるキャピラリ37、38、LNブロック31a、31bは、図2のLNチップ10においては省略している。
LN素子11はLN素子31と同様の組成、形状であり、LN素子11の導波路13a、13b、13c、13dは、LN素子31の導波路33a、33b、33c、33dと同様に形成され、導波路13a、13dはそれぞれ光ファイバ41、42と接続されている。また、LN素子11の上部には、図示しない膜状のバッファ層が設けられている点も同様である。従来のLNチップ30は電極を曲げ構造としているため幅が約1.5mmから2mmとなっているが、ここで用いるLNチップ10は電極を曲げ構造とする必要がないため幅を最小で約200μm位まで狭くすることができる。
LNチップ10の信号電極14、グランド電極15及び16は、上記のバッファ層の上に設けられ、LNチップ10の平面図である図3に示すように、導波路13b及び13cの互いに平行な直線部分に対して平行に配置され、LNチップ30の信号電極34、グランド電極35及び36とは異なり、曲げ構造としない直線状に形成されている。
次に、図4に示す回路基板20の構成を説明する。回路基板20の基板21は高周波に対応のプリント基板であり材質はセラミックを用いる。基板21の表面に電極及び配線が配置され、LNチップ10を制御する駆動回路、オートバイアス回路等を構成する回路部品が取り付けられるが、図4においてはこのような配線や回路部品は省略し、LNチップ10を接続する信号電極24−1、24−2、グランド電極25−1、25−2、26−1、26−2のみを示す。これらの電極は、図2に示すLNチップ10を上下反対向きにして回路基板20の上から図5に示すように接続したときに、LNチップ10の信号電極14の両端が回路基板20の信号電極24−1、24−2に接続され、LNチップ10のグランド電極15の両端が回路基板20のグランド電極25−1、25−2に接続され、LNチップ10のグランド電極16の両端が回路基板20のグランド電極26−1、26−2に接続されるように配置されている。また、信号電極24−1、グランド電極25−1、26−1は緩やかな曲率で側方に向かう曲げ構造でコネクタ51(図5)に接続され、信号電極24−2、グランド電極25−2、26−2も同様に緩やかな曲率で側方に向かう曲げ構造でコネクタ52(図5)に接続される。
回路基板20の信号電極24−1、24−2、グランド電極25−1、25−2、26−1、26−2とLNチップ10の信号電極14、グランド電極15及び16との接続は、次のように行う。まず、回路基板20の信号電極24−1、24−2、グランド電極25−1、25−2、26−1、26−2の上に、金、半田等のバンプを形成する。すなわち、図4に示すように信号電極24−1の上部にバンプ24a、信号電極24−2の上部にバンプ24b、グランド電極25−1の上部にバンプ25a、グランド電極25−2の上部にバンプ25b、グランド電極26−1の上部にバンプ26a、グランド電極26−2の上部に26bをそれぞれ形成する。そして、図1に示すように、回路基板20の信号電極24−1、24−2とLNチップ10の信号電極14、回路基板20のグランド電極25−1、25−2とLNチップ10のグランド電極15、回路基板20のグランド電極26−1、26−2とLNチップ10のグランド電極16の位置が合うように、回路基板20の上からLNチップ10を上下反対向きにして載せ、ボンディングする。この接続には一般的なフリップチップボンダ等の装置を用いることができる。これにより、回路基板20の信号電極24−1、24−2、グランド電極25−1、25−2、26−1、26−2とLNチップ10の信号電極14、グランド電極15及び16とがバンプを挟んで接続されるため、これらの電極の間に空気層が設けられ、入力された光を正しく変調することができる。
なお、LNチップ10に形成される導波路及び電極の形状、これに対応する回路基板20の電極の形状、電極上にバンプを形成する位置や個数は上記で説明した形態に限定されず、各種の形態とすることができる。
なお、LNチップ10に形成される導波路及び電極の形状、これに対応する回路基板20の電極の形状、電極上にバンプを形成する位置や個数は上記で説明した形態に限定されず、各種の形態とすることができる。
本発明は、LNチップと回路基板から構成される光変調器に用いられる。また、本発明は、LN変調器に限定されるものではなく、半導体材料、ポリマー材料で作成された変調器においても利用可能である。
10、30…LNチップ
11、31…LN素子
12…バッファ層
13a、13b、13c、13d、33a、33b、33c、33d…導波路
14、24−1、24−2、34…信号電極
15、16、25−1、25−2、26−1、26−2、35、36…グランド電極
20…回路基板
21…基板
24a、24b、25a、25b、26a、26b…バンプ
31a、31b…LNブロック
37、38…キャピラリ
41、42…光ファイバ
51、52…コネクタ
60…制御回路基板
64、65、66…電極
74、75、76…ボンディングワイヤ
11、31…LN素子
12…バッファ層
13a、13b、13c、13d、33a、33b、33c、33d…導波路
14、24−1、24−2、34…信号電極
15、16、25−1、25−2、26−1、26−2、35、36…グランド電極
20…回路基板
21…基板
24a、24b、25a、25b、26a、26b…バンプ
31a、31b…LNブロック
37、38…キャピラリ
41、42…光ファイバ
51、52…コネクタ
60…制御回路基板
64、65、66…電極
74、75、76…ボンディングワイヤ
Claims (3)
- 電極が設けられた回路基板と、
電気光学効果を有する材料からなる素子と、該素子に形成された導波路と、該導波路を通る光の位相を制御する電極とを有し、該電極が前記回路基板の電極にフェースダウンボンディングされるチップと、
を具備することを特徴とする光変調器。 - 前記フェースダウンボンディングは、フリップチップボンディングであることを特徴とする請求項1に記載の光変調器。
- 前記チップの電極は直線状に形成されていることを特徴とする請求項1又は請求項2に記載の光変調器。
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Cited By (9)
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JP2008103201A (ja) * | 2006-10-19 | 2008-05-01 | Nissan Motor Co Ltd | 燃料電池システム |
EP2113806A1 (en) * | 2008-04-29 | 2009-11-04 | Avanex Corporation | Electro-optic device package |
JP2011209456A (ja) * | 2010-03-29 | 2011-10-20 | Sumitomo Osaka Cement Co Ltd | 光導波路素子モジュール |
JP2012141632A (ja) * | 2012-03-16 | 2012-07-26 | Sumitomo Osaka Cement Co Ltd | 光導波路素子モジュール |
JP2013029791A (ja) * | 2011-07-29 | 2013-02-07 | Fujitsu Optical Components Ltd | 回路基板、及び光変調器 |
JP2013228596A (ja) * | 2012-04-26 | 2013-11-07 | Nippon Telegr & Teleph Corp <Ntt> | 光変調器及びその実装方法 |
JP2017068071A (ja) * | 2015-09-30 | 2017-04-06 | 住友大阪セメント株式会社 | 光制御素子 |
JP2021026090A (ja) * | 2019-08-02 | 2021-02-22 | 富士通オプティカルコンポーネンツ株式会社 | 光デバイス |
WO2022163724A1 (ja) * | 2021-01-29 | 2022-08-04 | 住友大阪セメント株式会社 | 光変調器とそれを用いた光送信装置 |
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2005
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Cited By (11)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2008103201A (ja) * | 2006-10-19 | 2008-05-01 | Nissan Motor Co Ltd | 燃料電池システム |
EP2113806A1 (en) * | 2008-04-29 | 2009-11-04 | Avanex Corporation | Electro-optic device package |
US8206042B2 (en) | 2008-04-29 | 2012-06-26 | Oclaro (North America), Inc. | Electro-optic device packages |
JP2011209456A (ja) * | 2010-03-29 | 2011-10-20 | Sumitomo Osaka Cement Co Ltd | 光導波路素子モジュール |
JP2013029791A (ja) * | 2011-07-29 | 2013-02-07 | Fujitsu Optical Components Ltd | 回路基板、及び光変調器 |
JP2012141632A (ja) * | 2012-03-16 | 2012-07-26 | Sumitomo Osaka Cement Co Ltd | 光導波路素子モジュール |
JP2013228596A (ja) * | 2012-04-26 | 2013-11-07 | Nippon Telegr & Teleph Corp <Ntt> | 光変調器及びその実装方法 |
JP2017068071A (ja) * | 2015-09-30 | 2017-04-06 | 住友大阪セメント株式会社 | 光制御素子 |
JP2021026090A (ja) * | 2019-08-02 | 2021-02-22 | 富士通オプティカルコンポーネンツ株式会社 | 光デバイス |
JP7263966B2 (ja) | 2019-08-02 | 2023-04-25 | 富士通オプティカルコンポーネンツ株式会社 | 光デバイス |
WO2022163724A1 (ja) * | 2021-01-29 | 2022-08-04 | 住友大阪セメント株式会社 | 光変調器とそれを用いた光送信装置 |
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