JP2013228596A - 光変調器及びその実装方法 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】本発明に係る方法は、透明基板上光変調素子を、素子面を下向きにして配線基板上に設けられたバンプに固定してフリップチップ実装するステップと、当該フリップチップ実装後に、PLCを、素子面を上向きにして前記透明基板上光変調素子に接着するステップとを備えることを特徴とする。
【選択図】図3
Description
以下、本発明のPLC−窒化物系半導体光変調器300の実施例について説明する。本発明の実施例に係るPLC−窒化物系半導体光変調器300においては、透明基板上窒化物系半導体素子303として基板裏面がミラー面で構成されるGaN基板上GaN変調器を用い、PLC304、305の基板としてSi基板を用いた。
101、201、301 パッケージ
102、202、302 配線基板
103、203 LN光変調素子
104、105、204、205、304、305 PLC
106、107、206、207、306、307 光ファイバ
208、308 バンプ
300 窒化物系半導体光変調器
303 透明基板上窒化物系半導体素子
401 電極パターン
402 光導波路
Claims (6)
- 透明基板上光変調素子を、素子面を下向きにして配線基板上に設けられたバンプに固定してフリップチップ実装するステップと、
当該フリップチップ実装後に、PLCを、素子面を上向きにして前記透明基板上光変調素子に接着するステップと
を備えることを特徴とする光変調器の作製方法。 - 前記透明基板上光変調素子は、GaN系材料で構成されることを特徴とする請求項1に記載の光変調器の作製方法。
- 前記透明基板上光変調素子の透明基板において前記透明基板上光変調素子の素子面と反対側の面は、ミラー面で構成されることを特徴とする請求項1又は2に記載の光変調器の作製方法。
- バンプを有する配線基板と、
素子面を下向きにして前記配線基板の前記バンプに固定されてフリップチップ実装された透明基板上光変調素子と、
前記透明基板上光変調素子のフリップチップ実装後に、素子面を上向きにして透明基板上光変調素子に接着されたPLCと
を備えることを特徴とする光変調器。 - 前記透明基板上光変調素子は、GaN系材料で構成されることを特徴とする請求項4に記載の光変調器。
- 前記透明基板上光変調素子の透明基板において前記透明基板上光変調素子の素子面と反対側の面は、ミラー面で構成されることを特徴とする請求項4又は5に記載の光変調器。
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