JP7262152B1 - 研磨機及び研磨加工における冷却方法 - Google Patents
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Abstract
Description
図1は、実施形態に係る研磨機1の全体構成を示す平面視模式図である。図2は、研磨機1に搭載されたエアーノズル51の斜視図である。図3は、研磨機1のクーラントCLの供給状態を示す側面視模式図である。図4は、研磨機1におけるエアーABの吹き付けを説明する平面視模式図である。図5は、研磨機1におけるエアーABの吹き付けを説明する正面視模式図である。
以下に、実施形態に係る研磨加工における冷却方法を説明するが、説明の便宜上、図1~図5を参照し、各部について前述した研磨機1と対応させた名称及び符号を付して説明する。
以上、本発明を上記の実施形態に基づき説明したが、本発明は上記の実施形態に限定されるものではない。その趣旨を逸脱しない範囲において種々の態様において実施することが可能であり、例えば、次のような変形も可能である。
Claims (4)
- 被加工物を研磨加工する際に用いられ、
前記被加工物を保持する被加工物保持部と、
回転駆動される砥石と、
クーラントの吐出ノズル先端が下向きに配置され、前記砥石と前記被加工物との接触箇所へ前記クーラントを供給するクーラント供給用ノズルと、
エアーの吹出ノズル先端が水平向きに配置され、回転する砥石の外周面に沿って発生した空気流に水平方向のエアーを吹き付けて前記空気流を砥石回転方向の上流側空気流と下流側空気流とに分断させるエアーノズルと、を有する研磨機であって、
前記エアーノズルは、エアーの吹き出し口となる複数のノズル孔が水平に並び、前記クーラント供給用ノズルと砥石軸線方向に離間して設置されるフラットノズルであり、
前記複数のノズル孔は、前記クーラントの吐出ノズル先端より僅かに高い位置で、かつ、前記砥石軸線方向に対し鋭角の範囲で前記砥石側に傾けた方向へ向けて配置されていることを特徴とする研磨機。 - 前記フラットノズルは、エアー供給路となるフレキシブルホースに接続固定されていることを特徴とする請求項1記載の研磨機。
- 前記エアー供給路に設置され、前記フラットノズルからのエアーの吹き出し量を調節するエアー調節機器を備えていることを特徴とする請求項2記載の研磨機。
- 請求項3記載の研磨機を使用した研磨加工における冷却方法であって、前記エアー調節機器を用いて、前記クーラントが前記接触箇所に流れ込むようにエアーの吹き出し量を設定範囲内に調節することを特徴とする研磨加工における冷却方法。
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