JP7260293B2 - 加工品の自動検査システム - Google Patents

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Description

本発明は、加工品の自動検査システムに関する。
従来、工作機械で加工した加工品は、バリ取り作業、洗浄作業を行った後、外観検査、ネジ検査、三次元測定検査などの各種検査を実施する。これにより、不良品を排除し、信頼性の高い加工品を製品として出荷できるようにしている。
ここで、特許文献1には、ある定められた運転を行なう組立製品の寸法ならびに形状精度検査を行なう寸法、形状精度測定装置と運転状態を模擬して組立製品のある定められた種々の性能検査を、各検査項目毎にユニット構成された装置を単独又は複数ユニットで適宜組み合わせて検査を行なう運転検査装置で構成される装置で、自動的に検査を行ない、検査成績データの出力、合格又は不合格の判定ならびに不合格原因の診断機能を有する製品検査装置が開示されている。
特許文献2には、検査対象物体を載置して少なくとも一方向に連続的に移動させながら検査対象物体を撮像して検査対象物体の表面のテクスチャ情報を含む検査対象物体の画像を取得しながら検査対象物体の表面凹凸情報を取得し、この取得した検査対象物体の表面凹凸情報から検査対象物体の立体形状を復元し、取得した画像と復元した検査対象物体の立体形状とから表面テクスチャを持った物体の外観情報を得、この得られた外観情報から複数の特徴を抽出し、この抽出した複数の特徴のうち少なくとも1つの特徴を予め設定した参照データの前記少なくとも1つの特徴に対応する特徴と比較して検査対象となる物体の外観を評価するようにした外観検査装置が開示されている。
特許文献3には、エンジンシリンダなどの被検査円筒物体の内面に加工油や洗浄液が付着していたりしても、高速で、鋳巣、傷、汚れ等の欠陥を検査できるようにした欠陥検査装置であって、被検査円筒物体の内面に残っている残留液を洗浄する洗浄部と、洗浄部で洗浄した被検査円筒物体の内面の2次元画像を検出する光学系と、光学系で検出された2次元画像を基づいて鋳巣欠陥、加工穴の輪郭近傍欠陥、加工傷欠陥、汚れ欠陥等の情報を取得する画像処理部と、画像処理部で取得された欠陥の情報を出力する出力部とを備えた検査装置が開示されている。
特開昭58-97614号公報 特開2013-29350号公報 特開2005-121450号公報
一方、特許文献1、特許文献2、特許文献3においては、単に加工品の外観検査や三次元測定検査を行う装置が示されているだけであり、基本的に、検査者が一つずつ加工品をテーブルに載せるなどして各検査を行ってゆく作業を繰り返して対応しなければならない。このため、特許文献1、特許文献2、特許文献3では、各種検査を生産工程のライン上の一工程として自動化することができず、加工品の検査をシステマチックにして十分に効率化することができない。
本発明は、上記事情に鑑み、加工品の外観検査や三次元測定検査などの各種検査を生産工程のライン上の一工程として自動化することができ、加工品の検査工程を効率化することを可能にする加工品の自動検査システムを提供することを目的とする。
本発明者は、加工品の外観検査や三次元測定検査などの各種検査を自動的に行い、加工品の検査を十分に効率化する手段を見出し、本発明を完成するに至った。
(1)本発明は、少なくとも洗浄と外観検査を行う測定検査対象の加工品(例えば、後述の加工品W)を格納する外観検査等用自動倉庫(例えば、後述の外観検査等用自動倉庫
)と、三次元測定機(例えば、後述の三次元測定機2)による測定検査対象の前記加工品を格納する三次元測定用自動倉庫(例えば、後述の三次元測定用自動倉庫3)と、前記外観検査等用自動倉庫と前記三次元測定用自動倉庫の間で前記加工品を自動的に搬送する自動搬送部(例えば、後述の自動搬送部4)と、少なくとも洗浄装置(例えば、後述の洗浄装置10)と外観検査装置(例えば、後述の外観検査用ロボット16、撮像装置18)を有し、前記外観検査等用自動倉庫に隣接して設けられ、前記外観検査等用自動倉庫との間で自動的に前記加工品が搬送される外観検査等領域(例えば、後述の外観検査等領域R1)と、前記三次元測定機と前記三次元測定用自動倉庫との間で前記加工品を搬送する三次元測定用ロボット(例えば、後述の三次元測定用ロボット36)を有し、前記三次元測定用自動倉庫に隣接して設けられた三次元測定領域(例えば、後述の三次元測定領域R2)とを備えることを特徴とする。
本発明によれば、加工品の外観検査や三次元測定検査などの各種検査を自動的に行うことができ、加工品の検査工程を効率化することが可能になる。
本発明の一実施形態に係る加工品の自動検査システムを示す図である。 本発明の一実施形態に係る加工品の自動検査システムの外観検査等領域を示す斜視図である。 ネジ自動検査システムのネジ検査装置を示す斜視図である。 通りゲージを用いたネジ孔検査を示す図である。 止まりゲージを用いたネジ孔検査を示す図である。 ネジ自動検査システムの制御装置を示すブロック図である。 本発明の一実施形態に係る加工品の自動検査システムの制御システムの一部を示すブロック図である。 本発明の一実施形態に係るネジ自動検査システムを示す図である。 検査対象の加工品の一例を示す図である。 検査対象の加工品の一例を示す図である。 本発明の一実施形態に係るネジ自動検査システムを用いて行ったネジ検査結果ファイルの一例を示す図である。 自動三次元測定検査システムを示す斜視図である。 自動三次元測定検査システムの三次元測定用設備を示す斜視図である。 検査治具で加工品を支持した状態を示す斜視図である。 検査治具で加工品を支持した状態を示す斜視図である。
以下、図1から図15を参照し、本発明の一実施形態に係る加工品の自動検査システムについて説明する。
ここで、本実施形態は、工作機械で加工した加工品を順次搬送しながら外観検査、ネジ検査、三次元測定検査等を自動的に行うための加工品の自動検査システムに関するものである。
具体的に、本実施形態の加工品の自動検査システムAは、図1に示すように、外観検査等用自動倉庫1となる未検査品用分散倉庫と、三次元測定機2による測定検査対象の加工品Wを格納する三次元測定用自動倉庫3と、外観検査等用自動倉庫1に隣接して設けられ、加工品Wの外観検査、ネジ検査を行うための外観検査等検査領域R1と、三次元測定用自動倉庫3に隣接して設けられ、加工品Wの三次元測定検査を行うための三次元測定領域R2と、外観検査等用自動倉庫1と三次元測定用自動倉庫3の間で加工品Wを自動的に搬送する自動搬送部(搬送装置)4とを備えて構成されている。
外観検査等用自動倉庫1と三次元測定用自動倉庫3は、それぞれ、測定対象格納庫5と検査測定用格納庫6とがそれぞれ、上下方向に複数段、幅方向に複数列で並ぶ複数のスタッカラック(荷棚)7を備えて形成され、これら測定対象格納庫5と検査測定用格納庫6とが奥行方向に所定の間隔をあけて平行に設置されている。また、測定対象格納庫5と検査測定用格納庫6の間に、自動的に測定対象格納庫5と検査測定用格納庫6のスタッカラック7間で加工品W等の荷を搬送し出し入れするスタッカクレーン8が配設されている。
本実施形態では、外観検査等用自動倉庫1と三次元測定用自動倉庫3が所定の間隔をあけて平行に設定されている。このとき、外観検査等用自動倉庫1の測定対象格納庫5と、三次元測定用自動倉庫3の測定対象格納庫5とが対向するように、外観検査等用自動倉庫1と三次元測定用自動倉庫3が設置されている。
自動搬送部4は、ベルトコンベアなどであり、外観検査等用自動倉庫1の測定対象格納庫5と、三次元測定用自動倉庫3の測定対象格納庫5との間で架設され、外観検査等用自動倉庫1の測定対象格納庫5の所定のスタッカラック7から三次元測定用自動倉庫3の測定対象格納庫5の所定のスタッカラック7に加工品W等を搬送する。
本実施形態では、パレットに載せられた加工品Wがパレットとともにスタッカクレーン8で所定のスタッカラック7に格納されるように構成されている。
例えば、工作機械で加工した後、パレットに載せられ、AGV (無人搬送車)などで外観検査等用自動倉庫1の測定対象格納庫5まで運搬して搬入され、外観検査等用自動倉庫1のスタッカクレーン8によって自動的に、搬入した加工品Wが所定のスタッカラック7に格納される。
外観検査等用自動倉庫1の所定のスタッカラック7に格納された加工品Wを検査する際には、スタッカクレーン8によって自動的に、外観検査等用自動倉庫1の検査測定用格納庫6の所定のスタッカラック7に加工品Wが格納され、隣接する外観検査等検査領域R1でこの加工品Wの外観検査、ネジ検査が行われる。
外観検査、ネジ検査を終えた加工品Wは、外観検査等用自動倉庫1の検査測定用格納庫6の所定のスタッカラック7に戻され、スタッカクレーン8によって外観検査等用自動倉庫1の測定対象格納庫5の所定のスタッカラック7に格納されるとともに、自動搬送部4及び三次元測定用自動倉庫3のスタッカクレーン8によって外観検査等用自動倉庫1の測定対象格納庫5から三次元測定用自動倉庫3の測定対象格納庫5の所定のスタッカラック7に格納される。
三次元測定用自動倉庫3の測定対象格納庫5の所定のスタッカラック7に格納された加工品Wを三次元検査する際には、スタッカクレーン8によって自動的に、三次元測定用自動倉庫3の検査測定用格納庫6の所定のスタッカラック7に加工品Wが格納され、隣接する三次元測定領域R2でこの加工品Wの三次元測定検査が行われる。
三次元測定検査を終えた加工品Wは、三次元測定用自動倉庫3の検査測定用格納庫6の所定のスタッカラック7に戻され、例えば、塗装工程などの次工程に自動的に搬出される。
ここで、外観検査等領域R1で行う外観検査とネジ検査について説明する。
外観検査等領域R1で検査を行う際には、はじめに、図2に示すように、洗浄装置10で加工品Wを洗浄し、洗浄した加工品Wから洗浄液をエアブロー装置11で除去する。外観検査等領域R1内には、洗浄装置10とエアブロー装置11とともにハンドリングロボット12が設けられ、例えば、ハンドリングロボット12が、順次、外観検査等用自動倉庫1の所定のスタッカラック7に格納された加工品Wを、外観検査等領域R1の所定位置に設けられた仮置きテーブル13、14と、洗浄装置10、エアブロー装置11、洗浄処理後の加工品Wを載置する検査用テーブル15との間で運搬する。
外観検査等領域R1には、画像検査などによって加工品Wの傷、巣等の有無などの外観検査を行うための外観検査用ロボット(外観検査装置)16と、加工品Wの雌ネジ孔(やピン孔)の検査を行うためのネジ検査ロボット17とが並設されている。そして、検査用テーブル15に送られた加工品Wに対し、ネジ検査ロボット17と外観検査用ロボット16がそれぞれ検査を行うように構成されている。
外観検査用ロボット16、ネジ検査ロボット17は、多関節状のアーム部を備え、全方位の所定の領域内で自在に先端部を移動できるように構成されている。
外観検査用ロボット16は、先端部に加工品Wを撮像するための撮像装置(外観検査装置)18が取り付けられている。外観検査では、この撮像装置18で取得した画像を処理、解析して加工品Wの表面の傷、巣の有無、その程度等を調べ、加工品Wの良否を判定する。
ネジ検査ロボット17は、先端部にネジ検査装置19が取り付けられている。
ネジ検査装置19は、図2、図3に示すように、検査対象の加工品Wに穿設された雌ネジ孔を検査するための検査ゲージ20を保持するホルダ部21を着脱可能に備えている。また、複数規格の雌ネジ孔を検査するための複数の検査ゲージ規格が異なる検査ゲージ20をそれぞれ保持した状態の複数のホルダ部21が、ゲージストッカ22に格納されており、ネジ検査ロボット19は、ゲージストッカ22との間でホルダ部21を選択、交換、収納可能に駆動する。ゲージストッカ22は、例えば、ゲージサイズ:M3~M16(通り検査用/止まり検査用:各1本)の検査ゲージ20をそれぞれ保持した計16本のホルダ部21が格納されている。
ネジ検査装置19は、検査時に近接センサによって検査ゲージ20の前進量を捉え、これにより、雌ネジ孔23の良否を検査できるように構成されている。あるいは、ネジ検査装置19は、図4、図5に示すように、検査ゲージ20である通りゲージ20aを用い、無理なく手でねじ込む力に対応した所定の力(トルク)が設定され、この力で雌ネジ孔23に指定深さまで通りゲージ20aが到達するか否かを確認したり、検査ゲージ20の止まりゲージ20bを用い、無理なく手でねじ込む力に対応した所定の力(トルク)で雌ネジ孔23に止まりゲージ20bをねじ込み、止まりゲージ20bが2回転未満の螺入量で止まるか否かを確認する検査が行えるように構成されている。このような場合には、ネジサイズごとのパラメータ(前進量、トルク、回転数等)が予め設定されている。
ここで、図2に示すように、本実施形態のネジ自動検査システムBは、ハンドリングロボット12、ネジ検査ロボット17、外観検査用ロボット16、ネジ検査装置19等の駆動を制御する制御装置25を備えている。
また、制御装置25は、図2、図6に示すように、検査対象に穿設されて検査を行う雌ネジ孔23の規格に相当するホルダ部21をゲージストッカ22から選択してネジ検査装置19に自動的に装着するように、及び/又はネジ検査装置19に装着されたホルダ部21をゲージストッカ22の所定位置に格納するように、ロボット12、16、17及びネジ検査装置19の駆動を制御するホルダ部装着/格納制御部26と、テーブル13、14、15上の検査対象、又はテーブル13、14、15からロボット16、17が取って保持した検査対象の検査を行うようにロボット16、17及びネジ検査装置19等の駆動を制御する検査実行制御部27と、検査実行制御部27で駆動制御して得られたネジ検査結果から雌ネジ孔23の良否を判定するネジ孔判定部28とを備えている。
本実施形態のネジ自動検査システムBにおいては、制御装置25によって以下のように自動制御を行う。
図2、図6、図7、図8に示すように、まず、システム側のPLC29から外観検査等用自動倉庫1側の上位PC30に検査可能な加工品Wが格納されているかを問い合わせ、該当する加工品Wがある場合には、上位PC30から同加工品用のロボットプログラム番号を取得する。加工品Wをシステム内の搬送装置(台車、荷受台)に出庫し、外観検査等領域R1に搬入する。なお、ロボットプログラム番号や加工品情報等は、倉庫データベース31に保管、記憶され、Webサーバなどを通じて取得できるようになっている。
ホルダ部装着/格納制御部26によって、ネジ検査ロボット17を駆動制御し、検査対象に穿設されて検査を行う雌ネジ孔23の規格に相当するホルダ部21をゲージストッカ22から選択してネジ検査装置19に自動的に装着する。検査実行制御部27によって、ハンドリングロボット12で検査用テーブル15に搬送された加工品Wの雌ネジ孔23をネジ検査装置19で検査し、この検査時のデータが記憶部32に記憶され、ネジ孔判定部28が検査時のデータ(ネジ検査結果)から雌ネジ孔23の良否を判定する。
ここで、図6、図9、図10、図11に示すように、本実施形態では、例えば、予め取得した加工情報データに基づき、加工品Wに同じ工具を用いて複数の雌ネジ孔23が穿設されているか否かを確認する(図11の(1)参照)。同じ工具を用いて複数の雌ネジ孔23が穿設されている場合には、検査実行制御部27が、同じ工具を用いて形成した複数の雌ネジ孔23のうち、最後に形成した雌ネジ孔23に対してのみ検査を行うように制御し(図11の(2)、(3)参照)、この検査結果によって、同じ工具を用いて穿設された複数の雌ネジ孔23の良否をネジ孔判定部28が判定する。
なお、本実施形態の加工品の自動検査システムAにおいては、図1に示すように、例えば大型の加工品Wなど、ネジ自動検査システムBで自動的に検査を行えない加工品Wを検査するための外観検査等領域R1’を設け、ここで作業者などによって外観検査やネジ検査を行うことができるようになっている。
次に、本実施形態の自動三次元測定検査システムCでは、図1、図12に示すように、三次元測定領域R2が複数に分割されるとともに各分割領域にそれぞれ三次元測定用設備35を設けて構成されている。複数の三次元測定用設備35は、検査測定用格納庫6に隣接し、検査測定用格納庫6の幅方向に沿って並設されている。
各三次元測定用設備9には、三次元測定機2と三次元測定用ロボット36とが具備されている。
図13に示すように、三次元測定機2は、加工品Wの形状をデータ上で立体的にとらえて様々な測定を行うことを可能にする装置であり、例えば、互いに直行するガイド部と、ガイド部の移動量を求めるスケール及びプローブとを備え、加工品Wの形状に応じたそれぞれの移動量からプローブの三次元座標値を求めることができ、これにより、加工品Wの寸法や公差などを測定することができる。
なお、本実施形態では、図12や図13に門型の三次元測定機2を図示したが、これに限定する必要はなく、多関節アーム型など他の型式の三次元測定機を適用しても勿論構わない。
また、三次元測定機2は、加工品Wを設置する設置台部37を備えている。設置台部37には多数の治具挿入孔38が設けられている。図13、図14、図15に示すように、三次元測定機2は、治具挿入孔38に位置決め用プランジャ39aを嵌合させて検査治具39を設置し、例えば、加工品Wの形状に合わせて設置された複数の検査治具39に載置して加工品Wを支持させ、この状態で加工品Wを三次元計測するように構成されている。
検査治具39は、その部品(検査治具部品)として、三次元測定用ロボット39が検査治具部品を把持・接続するためのインターフェース40を有する略平盤状の基盤部39bと、基盤部39bの下面から下方に突出する複数の位置決め用プランジャ39aと、基盤部39bの上面に、上方に突出するようにして着脱可能に取り付けられる支持部39cとを備え、モジュール化して構成されている。
すなわち、検査治具39は、加工品Wの形状、三次元側的の設置台部37への設置位置などに応じて基盤部39bの上面の任意の位置に、また、基盤部39bの上面に任意の数の支持部39cを取り付け、各部品39a、39b、39cを組み立てることによって形成される。そして、位置決め用プランジャ39aを治具挿入孔38に挿入するとともに基盤部39bが設置台部37上の所定位置に位置決めして載置され、例えば、複数の検査治具39の各支持部39cの上端が当接するように載置することで、加工品Wを静置した状態で保持することができる。
上記のような複数の検査治具39の部品(複数の基盤部39b及び位置決めプランジャ39a、複数の支持部39c)が検査治具ストッカ41に収納されている。この検査治具ストッカ41は、例えば、検査測定用格納庫6の所定のスタッカラック7に格納したり、三次元測定領域R2に三次元測定用設備35として配置するなどして設けられている。
三次元測定用ロボット36は、図12、図13に示すように、多関節状のアームを備えて形成されて全方位の所定の範囲内で自在に先端部側を移動できるように構成されている。
三次元測定用ロボット36は、検査治具39を設置する際に用いる治具設置用装置42と、加工品Wを把持する際に用いる加工品把持装置43とを自動的に選択して先端部側に装着し、検査治具部品39a、39b、39cひいては検査治具39の組み立て作業、検査測定用格納庫6と三次元測定機2との間で加工品Wを搬送して三次元測定機2で検査を行う搬送/検査作業とを自動的に行うように構成されている。
三次元測定用ロボット36は、検査治具ストッカ41から検査治具部品39a、39b、39cを選択して検査治具39を組み立て、自動的に三次元測定機2の設置台部37の所定位置に設置するように構成されている。このとき、三次元測定用ロボット36は、加工品Wの形状に合うように自動的に複数の検査治具部品39a、39b、39cを配置し、加工品Wを支持する検査治具39を組み立てるように構成されている。
また、自動倉庫3での加工品Wの搬送作業の制御、三次元測定用ロボット36の駆動制御、三次元測定機2の稼働制御は、それぞれの制御を連関させて行う制御システム(制御装置)44によって自動制御されている。
すなわち、自動倉庫3のスタッカクレーン8の駆動制御によって、検査を行う加工品W(や検査治具ストッカ41)が検査測定用格納庫6の所定のスタッカラック7に格納される。
三次元測定用ロボット36の駆動制御によって、検査する加工品Wに合うように検査治具39が組み立てられるとともに三次元測定機2の設置台部37に設置される。また、三次元測定用ロボット36の駆動制御によって、検査測定用格納庫6の所定のスタッカラック7から複数の検査治具39に支持させて、検査対象の加工品Wが三次元測定機2の設置台部37に設置される。
三次元測定機2の稼働制御によって、設置台部37に設置された加工品Wが検知され、三次元測定機2が自動的に加工品Wの三次元計測を行う。
三次元計測が完了した後、三次元測定用ロボット36と自動倉庫3の駆動制御によって、検査を終えた加工品Wは自動倉庫3の所定のスタッカラック7に戻される。
また、同規格の加工品Wの検査が引き続き行われる場合には、次の加工品Wが上記と同様に、三次元測定機2の設置台部37に複数の検査治具39に支持させて設置され、三次元測定機2が自動的に加工品Wの三次元計測を行ってゆく。
一方、異なる規格の加工品Wの検査を行う際には、検査治具39が適宜分解されて検査治具ストッカ41に戻され、新たな加工品Wに合わせた検査治具39の組み立て、設置台部37への設置、加工品Wの設置、三次元計測が順次行われる。
なお、本実施形態の加工品の自動検査システムAにおいては、図1に示すように、例えば大型の加工品Wなど、自動三次元測定検査システムCで自動的に検査を行えない加工品Wを検査するための三次元測定領域R2’を設け、ここで作業者などによって三次元測定検査を行うことができるようになっている。
したがって、本実施形態の加工品の自動検査システムAにおいては、加工品Wの外観検査や三次元測定検査などの各種検査を自動的に行うことができ、加工品Wの検査工程を効率化することが可能になる。
以上、本発明に係る加工品の自動検査システムの一実施形態について説明したが、本発明は上記の一実施形態に限定されるものではなく、その趣旨を逸脱しない範囲で適宜変更可能である。
1 外観検査等用自動倉庫(未検査品用分散倉庫)
2 三次元測定機
3 三次元測定用自動倉庫
4 自動搬送部
5 測定対象格納庫
6 検査測定用格納庫
7 スタッカラック(荷棚)
8 スタッカクレーン
10 洗浄装置
11 エアブロー装置
12 ハンドリングロボット
16 外観検査用ロボット(外観検査装置)
17 ネジ検査ロボット
18 撮像装置(外観検査装置)
35 三次元測定用設備
36 三次元測定用ロボット
A 加工品の自動検査システム
B ネジ自動検査システム
C 自動三次元測定検査システム
R1 外観検査等検査領域
R2 三次元測定領域
W 加工品

Claims (1)

  1. 少なくとも洗浄と外観検査を行うための測定検査対象の加工品を格納する外観検査等用自動倉庫と、
    三次元測定機による測定検査対象の前記加工品を格納する三次元測定用自動倉庫と、
    前記外観検査等用自動倉庫と前記三次元測定用自動倉庫の間で前記加工品を自動的に搬送する自動搬送部と、
    少なくとも洗浄装置と外観検査装置を有し、前記外観検査等用自動倉庫に隣接して設けられ、前記外観検査等用自動倉庫との間で自動的に前記加工品が搬送される外観検査等領域と、
    前記三次元測定機と前記三次元測定用自動倉庫との間で前記加工品を搬送する三次元測定用ロボットを有し、前記三次元測定用自動倉庫に隣接して設けられた三次元測定領域とを備え、前記外観検査等用自動倉庫及び前記三次元測定用自動倉庫は、それぞれ、平行に配置された測定対象格納庫と検査測定用格納庫とから形成される、加工品の自動検査システム。
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Citations (5)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2001267383A (ja) 2000-03-14 2001-09-28 Hitachi Ltd 製造ラインおよび半導体デバイスの製造方法
JP2005121450A (ja) 2003-10-16 2005-05-12 Hitachi Ltd 欠陥検査装置及びその方法並びに円筒物体の内面加工方法
WO2008075404A1 (ja) 2006-12-19 2008-06-26 Systemv Management Inc., 半導体製造システム
JP2013029350A (ja) 2011-07-27 2013-02-07 Hitachi Ltd 外観検査方法及びその装置
JP2014187211A (ja) 2013-03-22 2014-10-02 Toshiba Corp 電子デバイスの製造支援システム、製造支援方法及び製造支援プログラム

Family Cites Families (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS5897614A (ja) * 1981-12-08 1983-06-10 Agency Of Ind Science & Technol 製品検査装置
JP2559375B2 (ja) * 1986-08-29 1996-12-04 株式会社日立製作所 半導体装置の搬送方法
JPH06227624A (ja) * 1993-01-29 1994-08-16 Fujitsu Ltd ライン制御方法及び移載機

Patent Citations (5)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2001267383A (ja) 2000-03-14 2001-09-28 Hitachi Ltd 製造ラインおよび半導体デバイスの製造方法
JP2005121450A (ja) 2003-10-16 2005-05-12 Hitachi Ltd 欠陥検査装置及びその方法並びに円筒物体の内面加工方法
WO2008075404A1 (ja) 2006-12-19 2008-06-26 Systemv Management Inc., 半導体製造システム
JP2013029350A (ja) 2011-07-27 2013-02-07 Hitachi Ltd 外観検査方法及びその装置
JP2014187211A (ja) 2013-03-22 2014-10-02 Toshiba Corp 電子デバイスの製造支援システム、製造支援方法及び製造支援プログラム

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