JP7252863B2 - 検査装置の異常箇所評価システムおよび検査装置の異常箇所評価方法 - Google Patents

Description

本発明は、検査装置の異常箇所評価システムおよび検査装置の異常箇所評価方法に関する。

検査装置は、コントローラと、コントローラからの入力に応じて検体へ出力を与える出力部とを備え、検体の性能や耐久性などを検査する。コントローラは、出力部の出力をフィードバックして検体に予め決められた検査条件通りに検査装置を制御して検体に出力を与える。

このような検査装置としては、たとえば、振動検査装置があり、振動検査装置は、出力部として加振器を備えており、機械部品やダンパといった検体に対して加振器で振動を与える。この場合、振動検査装置の出力は、検体に与える荷重、速度や変位といった物理量となり、コントローラから操作量を指示する入力が与えられると、振動検査装置は、検体に検査条件通りの荷重、速度或いは変位を与える（たとえば、特許文献１参照）。

特開２０１９－０３２２６１号公報

このような検査装置に異常が生じると正常な検体の検査が行えないので、異常箇所を特定したうえで検査装置の修理や部品交換等の対応が必要となる。このように検査装置の修理や部品交換等の対応を行うには、検査装置の異常箇所の特定が必要となる。

検査装置には多くの部品が使用されているため、予め異常箇所に当たりをつけて部品の異常の有無を確認する作業をしなければ異常箇所の特定に多大な時間がかかってしまう。

異常箇所を推定するには、検体の検査結果データを解析する等して行えなくはないが、データ解析による異常箇所の推定には熟練したオペレータの高度な知識が必要であって、誰もが異常箇所を推定できるものではない。

そこで、本発明は、検査装置の異常箇所の推定を容易とすることができる検査装置の異常箇所評価システムおよび検査装置の異常箇所評価方法の提供を目的としている。

上記した目的を達成するため、本発明の検査装置の異常箇所評価システムは、検査装置の動作と検査装置が検査する検体の動作を情報として検知する情報がそれぞれ異なる３つ以上のセンサ部を有するセンサ装置と、センサ装置が検知した情報を処理する処理装置とを備え、処理装置がセンサ部のうち２つのセンサ部の全組合わせについて２つのセンサ部が検知した情報同士の相関係数を求める相関係数算出部と、求めた全相関係数毎に相関係数と対応する正常値との差を指標として求める指標算出部と、指標を順位付けする順位算出部とを備えている。

また、本実施の形態の検査装置の異常箇所評価方法は、検査装置の動作と検査装置が検査する検体の動作を情報としてそれぞれ異なる３つ以上の情報を検知するセンシング過程と、センシング過程で検知した情報のうち２つの情報の全組合わせについて情報同士の相関係数を求める相関係数算出過程と、求めた全相関係数毎に相関係数と対応する正常値との差を指標として求める指標算出過程と、各指標を順位付けする順位算出過程とを備えている。

以上のように構成された検査装置の異常箇所評価システムおよび異常箇所評価方法では、相関係数が正常値と乖離すれば乖離するほど大きな値を採る指標を順位付けするので、検査装置のオペレータに注意を払うべき指標を順位付けして認識させ得る。また、このように構成された検査装置の異常箇所評価システムおよび異常箇所評価方法で求めた指標を利用すれば、検査装置のオペレータは、順位の高い指標とセンサ部の設置位置との関係から容易に異常箇所に当たりをつけることができる。

また、検査装置の異常箇所評価システムは、処理装置が指標に基づいて検査装置の異常箇所を推定する異常箇所推定部を備えてもよい。このように構成された検査装置の異常箇所評価システムによれば、自動的に異常箇所を推定するので検査装置のオペレータに推定した異常箇所を認識させ得るので、同オペレータの異常箇所の特定作業がより一層容易となる。

さらに、検査装置の異常箇所評価システムは、相関係数算出部が２つのセンサ部同士の情報の度数分布を求め、求めた度数分布に基づいて相関係数を求めてもよい。このように構成された検査装置の異常箇所評価システムによれば、位相ずれの影響を排除して情報の波形の一致度を示す相関係数が得られるので、常に安定した指標を求めることができ、異常箇所の特定に良好な指標を得ることができる。

また、検査装置の異常箇所評価システムは、過去に求めた正常な検査装置で正常な検体を検査した際に得られた複数の相関係数の平均値を正常値としてもよい。このように構成された検査装置の異常箇所評価システムによれば、異常な検査装置で検体を検査した際に得られる指標が平均値から乖離すればするほど大きな値を採るので、指標が異常値であるか否かについて検査装置のオペレータが判断しやすくなる。

そして、検査装置が振動検査装置であって、センサ装置が検査装置の変位と、検体の全体変位と検体の部分的な変位と、検体に作用する荷重を情報として検知してもよい。このように構成された検査装置の異常箇所評価システムによれば、検査装置のオペレータは、センサ部の位置関係と求めた指標とから、振動検査装置である検査装置のどこに異常があるのか異常箇所を具体的に推定できる。

本発明の検査装置の異常箇所評価システムおよび検査装置の異常箇所評価方法によれば、検査装置の異常箇所の推定を容易にできる。

一実施の形態における検査装置の評価システムの構成図である。 検査装置の側面図である。 処理装置の構成図である。 検査装置の変位の波形を示した図である。 正規化した検査装置の変位とダンパの荷重の波形を示した図である。 正規化した検査装置の変位とダンパの荷重のヒストグラムを示した図である。 指標の大小と異常箇所との関係を示した表である。 処理装置における処理手順の一例を示したフローチャートである。

以下、図に示した実施の形態に基づき、本発明を説明する。図１に示すように、一実施の形態における検査装置Ｔの異常箇所評価システム１は、検査装置Ｔの動作と検査装置Ｔが検査する検体としてのダンパＤの動作を情報として検知するセンサ装置２と、センサ装置２が検知した情報を処理する処理装置３とを備え、検査装置Ｔの異常箇所の推定に使用される指標を求める。

以下、異常箇所評価システム１の各部について詳細に説明する。検体としてのダンパＤは、異常箇所評価システム１で指標を求める際に検査装置Ｔの検査に供される基準となるダンパである。そして、検査装置Ｔの異常箇所評価システム１は、検査装置Ｔに異常が認められた場合に、ダンパＤに所定の振動を与えて検査装置Ｔの異常箇所の特定に役立つ指標を求める。

本実施の形態における検体であるダンパＤは、シリンダ５と、シリンダ５内に出入りするロッド６とを備えたテレスコピック型のダンパとされており、シリンダ５に対してロッド６が軸方向に変位する伸縮時に減衰力を発揮する。

他方、検査装置Ｔは、図２に示すように、検体であるダンパＤに振動を与える振動検査装置とされており、コントローラＣと加振器Ｅとを備えている。加振器Ｅは、架台１０と、架台１０に設けられて図２中左右方向へ移動可能であってダンパＤの一端を保持する保持部１１と、架台１０に設けられてダンパＤの他端に接続されてダンパＤに振動を与えるアクチュエータ１３とを備えている。

アクチュエータ１３は、シリンダ１３ａと、シリンダ１３ａ内に移動自在に挿入されてシリンダ１３ａ内を図示しない伸側室と圧側室とに区画する図外のピストンと、シリンダ１３ａ内に移動自在に挿入されて前記ピストンに連結されるロッド１３ｂと、図外のポンプから供給される圧油を前記伸側室と前記圧側室とに選択的に送り込むサーボ弁１３ｃとを備えている。

サーボ弁１３ｃは、詳細には図示はしないが、中空なハウジングと、ハウジング内に移動自在に挿入されるスプールと、スプールを駆動するソレノイドと、スプールを中立位置に位置決めするばねと、外部からの入力を受け取ってソレノイドを駆動する駆動回路とを備えている。ソレノイドは、駆動回路から供給される電流量に応じてスプールに与える推力を変更でき、スプールの位置を調節できる。そして、サーボ弁１３ｃは、スプールの位置に応じて、前記伸側室へ圧油を供給するポジションと、前記圧側室へ圧油を供給するポジションと、両者への圧油の供給を遮断するポジションとに切り替わり、前記伸側室或いは前記圧側室へ圧油を供給するポジションではソレノイドへ供給される電流量に応じて流量を調節する。

本実施の形態では、サーボ弁１３ｃは、入力として電流指令Ｉを受けとるとソレノイドの推力を調整して、スプールのハウジングに対する位置を調節して、前記伸側室と前記圧側室のうち入力が指示する室に対して入力が指示する流量の圧油を供給する。アクチュエータ１３は、伸側室と圧側室のうちサーボ弁１３ｃから圧油の供給を受けた室を拡大させるとともに圧油の供給のない室を縮小させて、伸縮駆動する。このように、加振器Ｅは、コントローラＣから入力を受けるとアクチュエータ１３を伸縮駆動させてダンパＤの一端を加振して、ダンパＤに振動を与える。なお、駆動回路は、ソレノイドに流れる電流を検知する電流センサを備えており、電流センサで検知する電流をフィードバックして、コントローラＣから入力される電流指令Ｉ通りにソレノイドへ電流を与える。なお、駆動回路は、サーボ弁１３ｃ側ではなく、コントローラＣに内包されていてもよい。

コントローラＣは、検査装置Ｔの異常箇所評価にあたって、加振器Ｅにおけるアクチュエータ１３を所定周期の正弦波で伸縮させる電流指令Ｉを入力としてアクチュエータ１３へ与える。このように、検査装置Ｔは、アクチュエータ１３を駆動して検体であるダンパＤへ繰り返し正弦波の振動を与えるようになっている。

このような所定周期の正弦波で検査装置Ｔの出力を変化させる電流指令Ｉは、予めコントローラＣに格納しておくか、検査の際にコントローラＣに記憶させてもよい。なお、所定周期は、任意に設定できる。

このように本実施の形態では、検査装置Ｔが振動検査装置とされているので、検査装置Ｔの動作は、加振器Ｅにおけるアクチュエータ１３が発揮する荷重、速度および変位となっている。また、検査装置Ｔの動作によってダンパＤに振動が与えられ、ダンパＤは伸縮する動作を行う。よって、ダンパＤの動作は、ダンパＤの伸縮によって発揮する荷重、伸縮の速度および変位となっている。

つづいて、センサ装置２は、コントローラＣからの入力としての電流指令ＩによってダンパＤを検査する際の検査装置Ｔの動作と検体であるダンパＤの動作を情報として検知する。本実施の形態では、センサ装置２は、アクチュエータ１３の伸縮方向の変位を検知する第一変位センサ２ａと、アクチュエータ１３とダンパＤとの間に設置されてダンパＤが発揮する減衰力である荷重を検知するロードセル２ｂと、ダンパＤの伸縮方向の全体の変位を検知する第二変位センサ２ｃと、ダンパＤのシリンダ５に対するロッド６の伸縮方向の変位を検知する第三変位センサ２ｄとを備えている。このように本実施の形態のセンサ装置２は、検査装置Ｔの動作としての加振器Ｅの荷重、速度および変位のうち変位を情報として検知するとともに、ダンパＤの動作としての荷重、速度および変位のうち、ダンパＤの全体の伸縮変位とロッド６とシリンダ５の相対移動による伸縮ストロークの変位とダンパＤが発揮する荷重を検知している。よって、第一変位センサ２ａは、検査装置Ｔの動作の一つである変位を情報として検知するセンサ部として機能する。ロードセル２ｂは、ダンパＤの動作の一つである荷重を情報として検知するセンサ部として機能する。また、第二変位センサ２ｃおよび第三変位センサ２ｄは、ダンパＤの動作の一つである変位を情報として検知するセンサ部として機能する。そして、第一変位センサ２ａ、ロードセル２ｂ、第二変位センサ２ｃおよび第三変位センサ２ｄは、互いに異なる情報を検知している。第二変位センサ２ｃと第三変位センサ２ｄは、ダンパＤの動作の一つである変位を検知するが、第二変位センサ２ｃが検知するのは検査装置Ｔから受ける荷重によってダンパＤが伸縮する際のロッド６とシリンダ５の相対変位およびロッド６およびシリンダ５の圧縮変形量を含むダンパＤの全体変位であり、第三変位センサ２ｄが検知するのはロッド６とシリンダ５の相対移動によるダンパＤの部分的な変位である。よって、第二変位センサ２ｃと第三変位センサ２ｄが検知する情報は、種類上のカテゴリとしては同一であるが検知部位も検知対象が異なっているので、互いに異なった情報である。

このようにセンサ装置２は、本実施の形態では、互いに異なる情報を検知する４つのセンサ部を備えており、検査装置Ｔの動作およびダンパＤの動作を情報として検知する。なお、センサ装置２は、検査装置Ｔの動作としての荷重、速度および変位の１つ以上を情報として検知し、ダンパＤの動作としての荷重、速度および変位のうち１つ以上のカテゴリの情報を２つ以上検知すればよい。

そして、センサ装置２は、検知した検査装置Ｔの変位ＳＤ、検知したダンパＤの荷重Ｆ、検知したダンパＤの全体の変位ｄ１、および検知したロッド６とシリンダ５との相対的な変位ｄ２を前記情報として処理装置３に入力する。なお、検査装置Ｔは、センサ装置２が検知した情報を一纏めにしたＣＳＶファイル等にして、前記情報を処理装置３に入力するようにしてもよい。

処理装置３は、図３に示すように、コンピュータシステムであり、演算処理装置３ａと、処理装置３の制御と処理に必要なプログラムを記憶するとともに演算処理装置３ａが当該プログラムの実行に必要となる記憶領域を提供する記憶装置３ｂと、第一変位センサ２ａ、ロードセル２ｂ、第二変位センサ２ｃおよび第三変位センサ２ｄからの信号を受け取るインターフェース３ｃと、キーボードやマウスといった入力装置３ｄと、表示装置３ｅと、補助記憶装置３ｆと、印刷装置としてのプリンタ３ｇと、これら装置を互いに通信可能に接続するバス３ｈとを備えている。

演算処理装置３ａは、演算処理を行うＣＰＵ等であって、オペレーティングシステムおよび他のプログラムの実行によって処理装置３の各部の制御を行うとともに、変位ＳＤ、ｄ１，ｄ２および荷重Ｆに基づいて指標を求める処理を行う。記憶装置３ｂは、ＲＯＭおよびＲＡＭを備える他、ハードディスクを備えている。インターフェース３ｃは、第一変位センサ２ａ、ロードセル２ｂ、第二変位センサ２ｃおよび第三変位センサ２ｄから入力されるアナログ信号を演算処理装置３ａで読み取り可能なデジタル信号へ変換する。表示装置３ｅは、演算処理装置３ａが処理したデータ等を表示する画面を備えており、たとえば、液晶ディスプレイ等である。補助記憶装置３ｆは、コンピュータで読み取り可能な記録媒体と記憶媒体のドライブ装置とで構成されており、記憶媒体は、磁気ディスク、光磁気ディスク、光ディスク、半導体メモリ等である。また、処理装置３は、第一変位センサ２ａ、ロードセル２ｂ、第二変位センサ２ｃおよび第三変位センサ２ｄが検知した変位ＳＤ、ｄ１，ｄ２および荷重Ｆの値、変位ＳＤ、ｄ１，ｄ２および荷重Ｆに基づいて求められる相関係数および指標を表示装置３ｅの画面上に表示して閲覧を可能とするとともに、相関係数および指標を求めるためのアプリケーションプログラムを記憶装置３ｂに記憶している。なお、処理装置３は、前記情報を検査装置Ｔから受け取る場合、検査装置Ｔと通信可能とされてもよいし、補助記憶装置３ｆを利用して前記情報を受け取ってもよい。

そして、本実施の形態では、情報としての変位ＳＤ、ｄ１，ｄ２および荷重Ｆを処理して相関係数および指標を求めるプログラムを処理装置３の演算処理装置３ａが実行して実行することで、相関係数を求める相関係数算出部３ａ１と、求めた相関係数から指標を求める指標算出部３ａ２と、求めた指標を順位付けする順位算出部３ａ３と、指標の順位に基づいて検査装置Ｔの異常箇所を推定する異常箇所推定部３ａ４とを実現している。処理装置３は、センサ装置２のセンサ部である第一変位センサ２ａ、ロードセル２ｂ、第二変位センサ２ｃおよび第三変位センサ２ｄのうち２つのセンサ部の全組み合わせについて組み合わせた２つのセンサ部が検知した情報同士の相関係数を求める。

以下、処理装置３の処理について詳しく説明する。本実施の形態では、センサ装置２は、第一変位センサ２ａ、ロードセル２ｂ、第二変位センサ２ｃおよび第三変位センサ２ｄの４つのセンサ部を備えている。４つのセンサ部から２つのセンサ部の組み合わせを選ぶ場合、２つのセンサ部の組み合わせ方は６通りである。したがって、処理装置３は、６個の相関係数を求めればよいが、本実施の形態では、検体が片ロッド型のダンパＤであって伸長時と収縮時とで異なる特性を持つことから、アクチュエータ１３の変位ＳＤについては伸長方向を正とし、ダンパＤの収縮方向を正とし、ダンパＤの収縮時に発生する荷重を正として、正の値を持つ変位ＳＤ，ｄ１，ｄ２および荷重Ｆのうち二つの情報同士の相関係数を６通りの全組み合わせについて求めるとともに、正の値を持つ変位ＳＤ，ｄ１，ｄ２および荷重Ｆのうち二つの情報同士の相関係数を６通りの全組み合わせについて求めるようにしている。よって、本実施の形態では、相関係数算出部３ａ１は、１２通りの組み合わせについて情報同士の相関係数を求める。

相関係数算出部３ａ１について詳細に説明する。第一変位センサ２ａ、ロードセル２ｂ、第二変位センサ２ｃおよび第三変位センサ２ｄの４つのセンサ部のうち２つのセンサ部が検知した情報同士は、検査装置ＴがダンパＤに予め決められた所定の振動を与える場合、検査装置Ｔが正常であってダンパＤにも異常がなければある一定の相関を示す筈である。

他方、検査装置Ｔに異常がある場合、第一変位センサ２ａ、ロードセル２ｂ、第二変位センサ２ｃおよび第三変位センサ２ｄの４つのセンサ部のうち２つのセンサ部が検知した情報同士の相関が通常の相関と異なるセンサ部同士が見つかる。通常とは異なる相関を示すセンサ部同士の検査装置Ｔおよび検体であるダンパＤへの設置位置の関係から通常とは異なった相関を示したセンサ部間に異常箇所があると考えられる。このように第一変位センサ２ａ、ロードセル２ｂ、第二変位センサ２ｃおよび第三変位センサ２ｄの４つのセンサ部から２つのセンサ部を抜き出して組み合わせる場合の全通りのセンサ部の組み合わせについて、センサ部が検知した情報通りの相関係数を求め、求めた１２通りの相関係数が正常な相関係数とどれだけ異なっているかを指標として求めれば、検査装置Ｔの異常箇所を推定する際に非常に有用な指標が得られる。

よって、相関係数算出部３ａ１は、本実施の形態では、第一変位センサ２ａ、ロードセル２ｂ、第二変位センサ２ｃおよび第三変位センサ２ｄの４つのセンサ部から２つのセンサ部を選んだ場合の６通りの組み合わせの全てについて相関係数を求める。また、相関係数算出部３ａ１は、組み合わせた２つのセンサ部同士が検知した情報同士の相関係数を求めるにあたり、本実施の形態の検査装置Ｔのアクチュエータ１３が伸長時と収縮時とで異なる特性を持つことから、前述したように正の値の情報と負の値の情報の双方について相関係数を求めるので、合計１２個の相関係数を求める。

相関係数は、２つのセンサ部が検知した各情報が互いに相関しているかを示す尺度となる値であり、値が１に近づくほど情報同士の相関が高いことを示す。本実施の形態では、相関係数算出部３ａ１は、第一変位センサ２ａ、ロードセル２ｂ、第二変位センサ２ｃおよび第三変位センサ２ｄの４つのセンサ部がそれぞれ検知した変位ＳＤ、変位ｄ１、変位ｄ２および荷重Ｆの４つの情報のうちから２つの情報を抜き出し、６通りの情報の組み合わせについてそれぞれ正の値と負の値とについて相関係数を求める。

具体的には、たとえば、相関係数算出部３ａ１は、第一変位センサ２ａとロードセル２ｂとの組み合わせについて、こられが検知したアクチュエータ１３の変位ＳＤとダンパＤの荷重Ｆとの相関係数をそれぞれ正と負の値の双方について求める。検査装置Ｔの異常箇所の推定にあたり、検査装置ＴがダンパＤに３周期分の正弦波を与える場合、第一変位センサ２ａが検知する変位ＳＤは、図４に示すような波形を描く。この波形の最初の一周期と最後の一周期は、アクチュエータ１３の急激な始動と停止を避ける目的でアクチュエータ１３を伸縮させているので、相関係数算出部３ａ１は、この余分な最初と最後の一周期分の波に相当するデータを切り落とし、安定した３周期分の波形中のデータのみを用いて相関係数を求める。ダンパＤの荷重Ｆについても同様に、アクチュエータ１３によって振動させられるダンパＤが発揮する荷重Ｆをロードセル２ｂで検知して、得られた荷重Ｆの波形から最初と最後の一周期の波に相当するデータを切り落として、中間の３周期分の波形に含まれるデータのみを相関係数の算出に利用する。

そして、相関係数算出部３ａ１は、変位ＳＤの３周期分の波形中の正の値を持つデータと荷重Ｆの３周期分の波形中の正の値を持つデータのみを抽出して、抽出した変位ＳＤと荷重Ｆの両データの相関係数を求めるとともに、変位ＳＤの３周期分の波形中の負の値を持つデータと荷重Ｆの３周期分の波形中の負の値を持つデータのみを抽出して、抽出した変位ＳＤと荷重Ｆの両データの相関係数を求める。相関係数算出部３ａ１は、変位ＳＤと荷重Ｆの相関係数を求める際に、変位ＳＤと荷重Ｆを正規化して最大値１から最小値－１までの値を持つデータに変換する。

変位ＳＤと荷重Ｆを正規化すると、たとえば、図５に示したように、変位ＳＤの波形Ｗｓｄと荷重Ｆの波形Ｗｆとが得られる。これらの波形Ｗｓｄと波形Ｗｆの正側のデータ群の各標準偏差の積で波形Ｗｓｄと波形Ｗｆの正側のデータ群の共分散を割って相関係数Ｒｐｓｄ＿ｆを得るとともに、これらの波形Ｗｓｄと波形Ｗｆの負側のデータ群の各標準偏差の積で波形Ｗｓｄと波形Ｗｆの正側のデータ群の共分散を割って相関係数Ｒｍｓｄ＿ｆを得ればよい。このようにして得られた相関係数Ｒｐｓｄ＿ｆは、変位ＳＤの波形Ｗｓｄの正側と荷重Ｆの波形Ｗｆの正側との相関性を示す尺度となる値であり、相関係数Ｒｍｓｄ＿ｆは、変位ＳＤの波形Ｗｓｄの負側と荷重Ｆの波形Ｗｆの負側との相関性を示す尺度となる値である。

前述したように相関係数Ｒｐｓｄ＿ｆ，Ｒｍｓｄ＿ｆを求めることができるが、ダンパＤは速度に対して伸縮速度に依存した減衰力を発揮するとともにヒステリシスを持っているので、アクチュエータ１３の変位ＳＤの波形Ｗｓｄに対してダンパＤが発揮する荷重Ｆの波形Ｗｆとでは位相にずれがある。位相ずれがあると波形Ｗｓｄと波形Ｗｆの形状が良く一致していても変位ＳＤと荷重Ｆの相関性が低くなる。

そこで、本実施の形態の相関係数算出部３ａ１は、－１から１までの範囲を所定の幅のビンで区切って複数の区間を設定し、区間毎の変位ＳＤの正の値と荷重Ｆの正の値の度数分布を求める。度数分布を縦軸に度数、横軸に値を採ってグラフ化すると、図６に示すように、変位ＳＤのヒストグラムＨｓｄと荷重ＦのヒストグラムＨｆとが得られる。

そして、相関係数算出部３ａ１は、この図６に示したグラフ中の変位ＳＤの０から１までのヒストグラムＨｓｄの度数の標準偏差をσｐｓｄとし、この図６に示したグラフ中の荷重Ｆの０から１までのヒストグラムＨｆの度数の標準偏差をσｐｆとし、変位ＳＤの０から１までのヒストグラムＨｓｄの度数と荷重Ｆの０から１までのヒストグラムＨｆの度数との共分散をＳｐｓｄ＿ｆとすると、相関係数Ｒｐｓｄ＿ｆ＝Ｓｐｓｄ＿ｆ／（σｐｓｄ×σｐｆ）を演算して求める。

また、相関係数算出部３ａ１は、この図６に示したグラフ中の変位ＳＤの－１から０までのヒストグラムＨｓｄの度数の標準偏差をσｍｓｄとし、この図６に示したグラフ中の荷重Ｆの－１から０までのヒストグラムＨｆの度数の標準偏差をσｍｆとし、変位ＳＤの－１から０までのヒストグラムＨｓｄの度数と荷重Ｆの－１から０までのヒストグラムＨｆの度数との共分散をＳｍｓｄ＿ｆとすると、相関係数Ｒｍｓｄ＿ｆ＝Ｓｍｓｄ＿ｆ／（σｍｓｄ×σｍｆ）を演算して求める。なお、共分散を得るには、変位ＳＤの０から１までのヒストグラムＨｓｄの度数のデータ数と荷重Ｆの０から１までのヒストグラムＨｆの度数のデータ数が同じである必要があるが、予め、相関係数Ｒｐｓｄ＿ｆを求めるために使用するデータ数を決めておけばよい。

正規化した変位ＳＤと荷重Ｆの値は、－１から１までの値を採るので、－１から１までに区分を設定して、変位ＳＤと荷重Ｆの度数分布を求めると、位相が反映されることはないが、変位ＳＤと荷重Ｆの値の出現度合をそのまま反映した度数分布が得られる。したがって、相関係数算出部３ａ１が前述のように変位ＳＤと荷重Ｆの度数分布同士の相関係数Ｒｐｓｄ＿ｆ，Ｒｍｓｄ＿ｆを求めると、位相にずれがある変位ＳＤと荷重Ｆとからも波形Ｗｓｄと波形Ｗｆの形状の一致度を示す相関係数が得られる。

なお、位相ずれが検査装置Ｔの異常箇所を推定する指標に対して重大な影響を与えない場合には、前述したように、度数分布を求めずに正規化した変位ＳＤと荷重Ｆとをそのまま利用して変位ＳＤと荷重Ｆの相関係数Ｒｐｓｄ＿ｆ，Ｒｍｓｄ＿ｆを求めることも可能である。

また、本実施の形態では、相関係数算出部３ａ１は、変位ＳＤの正の値と荷重Ｆの正の値の相関係数Ｒｐｓｄ＿ｆと変位ＳＤの負の値と荷重Ｆの負の値の相関係数Ｒｍｓｄ＿ｆとを求めているが、検体の動作に方向性がない場合や方向性があっても正負の両側で相関係数を求める実益がない場合、正と負に分けずに変位ＳＤと荷重Ｆとの組み合わせにおいて一つの相関係数のみを求めてもよい。

そして、相関係数算出部３ａ１は、残りの５通りのセンサ部の組み合わせの全部について、つまり、第一変位センサ２ａと第二変位センサ２ｃとの組み合わせ、第一変位センサ２ａと第三変位センサ２ｄとの組み合わせ、第二変位センサ２ｃと第三変位センサ２ｄとの組み合わせ、ロードセル２ｂと第二変位センサ２ｃとの組み合わせ、およびロードセル２ｂと第三変位センサ２ｄとの組み合わせについても、それぞれ前述した第一変位センサ２ａとロードセル２ｂとの組み合わせにおける変位ＳＤと荷重Ｆの正負両方の値の相関係数Ｒｐｓｄ＿ｆ，Ｒｍｓｄ＿ｆを求める処理と同様の処理を行う。

したがって、相関係数算出部３ａ１は、変位ＳＤと変位ｄ１の正の値の相関係数Ｒｐｓｄ＿ｄ１と負の値の相関係数Ｒｍｓｄ＿ｄ１を、変位ＳＤと変位ｄ２の正の値の相関係数Ｒｐｓｄ＿ｄ２と負の値の相関係数Ｒｍｓｄ＿ｄ２を、変位ｄ１と変位ｄ２の正の値の相関係数Ｒｐｄ１＿ｄ２と負の値の相関係数Ｒｍｄ１＿ｄ２を、変位ｄ１と荷重Ｆの正の値の相関係数Ｒｐｄ１＿ｆと負の値の相関係数Ｒｍｄ１＿ｆを、さらには、変位ｄ２と荷重Ｆの正の値の相関係数Ｒｐｄ２＿ｆと負の値の相関係数Ｒｍｄ２＿ｆを、それぞれ相関係数Ｒｐｓｄ＿ｆ，Ｒｍｓｄ＿ｆを求める処理と同様の処理で求める。

つづいて、指標算出部３ａ２は、相関係数算出部３ａ１が求めた全相関係数毎に相関係数と対応する正常値との差を指標として求める。つまり、指標算出部３ａ２は、たとえば、変位ＳＤと荷重Ｆの正の値の相関係数Ｒｐｓｄ＿ｆについては、相関係数Ｒｐｓｄ＿ｆからこの相関係数Ｒｐｓｄ＿ｆ対応する正常値Ｎｐｓｄ＿ｆを差し引いて差を求め、この差の絶対値を指標Ｉｐｓｄ＿ｆとする。正常値Ｎｐｓｄ＿ｆは、過去に正常な検査装置Ｔが同一のダンパＤを検査した際に第一変位センサ２ａとロードセル２ｂとで得られた変位ＳＤと荷重Ｆの正の値について前述した処理で求めた多数の相関係数Ｒｐｓｄ＿ｆの平均値とされている。つまり、正常値Ｎｐｓｄ＿ｆは、過去に正常な検査装置Ｔで得られた多数の相関係数Ｒｐｓｄ＿ｆの平均値であり、予め処理装置３の記憶装置３ｂ或いは補助記憶装置３ｆに記憶させてあり、指標算出部３ａ２の指標Ｉｐｓｄ＿ｆの演算に利用される。

指標算出部３ａ２は、このほかの相関係数Ｒｍｓｄ＿ｆ，Ｒｐｓｄ＿ｄ１，Ｒｍｓｄ＿ｄ１，Ｒｐｓｄ＿ｄ２，Ｒｍｓｄ＿ｄ２，Ｒｐｄ１＿ｄ２，Ｒｍｄ１＿ｄ２，Ｒｐｄ１＿ｆ，Ｒｍｄ１＿ｆ，Ｒｐｄ２＿ｆ，Ｒｍｄ２＿ｆについても同様の処理を行って、それぞれ指標Ｉｍｓｄ＿ｆ，Ｉｐｓｄ＿ｄ１，Ｉｍｓｄ＿ｄ１，Ｉｐｓｄ＿ｄ２，Ｉｍｓｄ＿ｄ２，Ｉｐｄ１＿ｄ２，Ｉｍｄ１＿ｄ２，Ｉｐｄ１＿ｆ，Ｉｍｄ１＿ｆ，Ｉｐｄ２＿ｆ，Ｉｍｄ２＿ｆを求める。

相関係数Ｒｍｓｄ＿ｆ，Ｒｐｓｄ＿ｄ１，Ｒｍｓｄ＿ｄ１，Ｒｐｓｄ＿ｄ２，Ｒｍｓｄ＿ｄ２，Ｒｐｄ１＿ｄ２，Ｒｍｄ１＿ｄ２，Ｒｐｄ１＿ｆ，Ｒｍｄ１＿ｆ，Ｒｐｄ２＿ｆ，Ｒｍｄ２＿ｆにそれぞれ対応する正常値Ｎｍｓｄ＿ｆ，Ｎｐｓｄ＿ｄ１，Ｎｍｓｄ＿ｄ１，Ｎｐｓｄ＿ｄ２，Ｎｍｓｄ＿ｄ２，Ｎｐｄ１＿ｄ２，Ｎｍｄ１＿ｄ２ ，Ｎｐｄ１＿ｆ，Ｎｍｄ１＿ｆ，Ｎｐｄ２＿ｆ，Ｎｍｄ２＿ｆも同様に対応する正常な検査装置ＴでダンパＤを検査した際に得られた情報から求めた相関係数の平均値とされる。

このようにして得られた指標Ｉｐｓｄ＿ｆ，Ｉｍｓｄ＿ｆ，Ｉｐｓｄ＿ｄ１，Ｉｍｓｄ＿ｄ１，Ｉｐｓｄ＿ｄ２，Ｉｍｓｄ＿ｄ２，Ｉｐｄ１＿ｄ２，Ｉｍｄ１＿ｄ２，Ｉｐｄ１＿ｆ，Ｉｍｄ１＿ｆ，Ｉｐｄ２＿ｆ，Ｉｍｄ２＿ｆは、異常が認められた検査装置ＴがダンパＤに振動を与えた際に得られる相関係数と、正常な検査装置ＴがダンパＤに振動を与えた際に得られる多数の相関係数の平均値との差であるので、大きな値を持つほど相関係数が正常値から乖離していることを示している。

つづいて、順位算出部３ａ３は、求めた１２個の指標Ｉｐｓｄ＿ｆ，Ｉｍｓｄ＿ｆ，Ｉｐｓｄ＿ｄ１，Ｉｍｓｄ＿ｄ１，Ｉｐｓｄ＿ｄ２，Ｉｍｓｄ＿ｄ２，Ｉｐｄ１＿ｄ２，Ｉｍｄ１＿ｄ２，Ｉｐｄ１＿ｆ，Ｉｍｄ１＿ｆ，Ｉｐｄ２＿ｆ，Ｉｍｄ２＿ｆを比較して大きな値を持つ順番で順位付けする。

また、順位算出部３ａ３は、順位付けした１２個の指標Ｉｐｓｄ＿ｆ，Ｉｍｓｄ＿ｆ，Ｉｐｓｄ＿ｄ１，Ｉｍｓｄ＿ｄ１，Ｉｐｓｄ＿ｄ２，Ｉｍｓｄ＿ｄ２，Ｉｐｄ１＿ｄ２，Ｉｍｄ１＿ｄ２，Ｉｐｄ１＿ｆ，Ｉｍｄ１＿ｆ，Ｉｐｄ２＿ｆ，Ｉｍｄ２＿ｆを上から或いは左から順番に整列させて表示装置３ｅの画面上に表示させる。なお、順位算出部３ａ３は、１２個の指標Ｉｐｓｄ＿ｆ，Ｉｍｓｄ＿ｆ，Ｉｐｓｄ＿ｄ１，Ｉｍｓｄ＿ｄ１，Ｉｐｓｄ＿ｄ２，Ｉｍｓｄ＿ｄ２，Ｉｐｄ１＿ｄ２，Ｉｍｄ１＿ｄ２，Ｉｐｄ１＿ｆ，Ｉｍｄ１＿ｆ，Ｉｐｄ２＿ｆ，Ｉｍｄ２＿ｆを整列させることに変えて、順位とともに表示させるようにしてもよい。また、順位算出部３ａ３は、指標と順位をプリンタ３ｇによって紙媒体に印刷して出力してもよい。

図２に示すように、検査装置Ｔと検体であるダンパＤに対して図中右から順に第一変位センサ２ａ、第二変位センサ２ｃ、第三変位センサ２ｄ、ロードセル２ｂが設けられている。第一変位センサ２ａ、第二変位センサ２ｃ、第三変位センサ２ｄ、ロードセル２ｂの設置位置により、検査装置Ｔの異常箇所によって各指標が以下のように大小する傾向となる。

たとえば、ロードセル２ｂと第二変位センサ２ｃとの間のダンパＤを検査装置Ｔへ取り付けるブラケット１５に異常がある場合には、変位ｄ１と荷重Ｆの相関係数Ｒｐｄ１＿ｆ，Ｒｍｄ１＿ｆから求めた指標Ｉｐｄ１＿ｆ，Ｉｍｄ１＿ｆが大きな値となる傾向がある。また、ブラケット１５に異常がある場合、ブラケット１５が第一変位センサ２ａとロードセル２ｂとの間に位置しているので変位ＤＳと荷重Ｆとから求められる指標Ｉｐｓｄ＿ｆ，Ｉｍｓｄ＿ｆも大きな値となる傾向となるとともに、ブラケット１５が第二変位センサ２ｃとロードセル２ｂとの間に位置しているので変位ｄ１と荷重Ｆとから求められる指標Ｉｐｄ１＿ｆ，Ｉｍｄ１＿ｆも大きな値となる傾向となる。

また、ブラケット１５に異常があっても、第一変位センサ２ａが検知する変位ＳＤと第二変位センサ２ｃが検知する変位ｄ１との関係性、第一変位センサ２ａが検知する変位ＳＤと第三変位センサ２ｄが検知する変位ｄ２との関係性、さらには、第二変位センサ２ｃが検知する変位ｄ１と第三変位センサ２ｄが検知する変位ｄ２との関係性には、影響が出づらいと考えられるので、これらに関連する指標Ｉｐｓｄ＿ｄ１，Ｉｍｓｄ＿ｄ１，Ｉｐｓｄ＿ｄ２，Ｉｍｓｄ＿ｄ２，Ｉｐｄ１＿ｄ２，Ｉｍｄ１＿ｄ２は小さな値を採る傾向となる。

ダンパＤとアクチュエータ１３とを連結するブラケット１６が異常箇所である場合、第一変位センサ２ａが検出する変位ＳＤと第二変位センサ２ｃが検出する変位ｄ１とから得られた指標Ｉｐｓｄ＿ｄ１，Ｉｍｓｄ＿ｄ１が大きな値となる傾向を示す。ブラケット１６が第一変位センサ２ａと第二変位センサ２ｃとの間に位置しているので変位ＤＳと変位ｄ１とから求められる指標Ｉｐｓｄ＿ｄ１，Ｉｍｓｄ＿ｄ１も大きな値となる傾向となるとともに、ブラケット１５が第一変位センサ２ａとロードセル２ｂとの間に位置しているので変位ＳＤと荷重Ｆとから求められる指標Ｉｐｓｄ＿ｆ，Ｉｍｓｄ＿ｆも大きな値となる傾向となる。

また、ブラケット１６に異常があっても、第二変位センサ２ｃが検知する変位ｄ１と第三変位センサ２ｄが検知する変位ｄ２との関係性、第二変位センサ２ｃが検知する変位ｄ１とロードセル２ｂが検知する荷重Ｆとの関係性、さらには、第三変位センサ２ｄが検知する変位ｄ２とロードセル２ｂが検知する荷重Ｆとの関係性には、影響が出づらいと考えられるので、これらに関連する指標Ｉｐｄ１＿ｄ２，Ｉｍｄ１＿ｄ２，Ｉｐｄ１＿ｆ，Ｉｍｄ１＿ｆ，Ｉｐｄ２＿ｆ，Ｉｍｄ２＿ｆは小さな値を採る傾向となる。

さらに、指標のうち、第一変位センサ２ａが検知する変位ＳＤとロードセル２ｂが検知する荷重Ｆとから得られた指標Ｉｐｓｄ＿ｆ，Ｉｍｓｄ＿ｆのみが高い値を採る場合、加振器Ｅ或いは保持部１１或いは架台１０に異常箇所がある可能性が高い。

また、第二変位センサ２ｃの取付け不良の場合には、第二変位センサ２ｃが関係する指標Ｉｐｓｄ＿ｄ１，Ｉｍｓｄ＿ｄ１，Ｉｐｄ１＿ｄ２，Ｉｍｄ１＿ｄ２，Ｉｐｄ１＿ｆ，Ｉｍｄ１＿ｆのみが高い値を採るので、この取付け不良を判別可能であり、同様に、第三変位センサ２ｄの取付け不良の場合には、第三変位センサ２ｄが関係する指標Ｉｐｓｄ＿ｄ２，Ｉｍｓｄ＿ｄ２，Ｉｐｄ１＿ｄ２，Ｉｍｄ１＿ｄ２，Ｉｐｄ２＿ｆ，Ｉｍｄ２＿ｆのみが高い値を採るので、この取付け不良を判別可能である。なお、センサ装置２は、異常箇所評価システム１を構成する要素ではあるが、検査装置Ｔに設けられているので、指標Ｉｐｓｄ＿ｆ，Ｉｍｓｄ＿ｆ，Ｉｐｓｄ＿ｄ１，Ｉｍｓｄ＿ｄ１，Ｉｐｓｄ＿ｄ２，Ｉｍｓｄ＿ｄ２，Ｉｐｄ１＿ｄ２，Ｉｍｄ１＿ｄ２，Ｉｐｄ１＿ｆ，Ｉｍｄ１＿ｆ，Ｉｐｄ２＿ｆ，Ｉｍｄ２＿ｆを利用してセンサ部の取付不良についても把握できる。

以上を取りまとめて一覧にすると、図７に示した表のごとくとなる。たとえば、図７の表中の一行目を参照すると、指標Ｉｐｓｄ＿ｆ，Ｉｍｓｄ＿ｆ，Ｉｐｓｄ＿ｄ１、Ｉｍｄｓ＿ｄ１，Ｉｐｓｄ＿ｄ２，Ｉｍｓｄ＿ｄ２が大きな値となっており、その他の指標は小さな値となっている。このような場合、第一変位センサ２ａと、その他のセンサ部であるロードセル２ｂ、第二変位センサ２ｃおよび第三変位センサ２ｄとの間の相関性が異常を示していることに他ならないから、ブラケット１６が異常箇所である可能性が高いことが分かる。よって、この場合、指標を順位付けすると、先程の６つの指標Ｉｐｓｄ＿ｆ，Ｉｍｓｄ＿ｆ，Ｉｐｓｄ＿ｄ１、Ｉｍｄｓ＿ｄ１，Ｉｐｓｄ＿ｄ２，Ｉｍｓｄ＿ｄ２が１番目から６番目を締めていれば、ブラケット１６に異常がある可能性があると判断できる。また、本実施の形態では、変位ＳＤ，ｄ１，ｄ２および荷重Ｆ（情報）の正の値と負の値についても指標を求めているから、指標の順位付けにてアクチュエータ１３の伸長時と収縮時とのどちらの指標が大きいかも把握できる。たとえば、ブラケット１５，１６に亀裂が入っていて、引っ張りに対して剛性が低くなるものの圧縮に対して剛性がさほど変化がないような場合などでは、アクチュエータ１３の収縮側の指標で異常が認められることになる。よって、本実施の形態では、異常箇所の特定のみならず、異常箇所がどのような状態であるかもある程度把握することができる。

このように、大きな値を持つ指標と小さな値を持つ指標との対比によって、検査装置Ｔの異常箇所を推定することが可能であり、処理装置３が指標を求めて、これらの指標を順位付けして検査装置Ｔのオペレータに提示すると、オペレータは順位付けされた指標から容易に検査装置Ｔの異常箇所に当たりをつけることができる。したがって、このように異常箇所評価システム１が求めた順位付けされた指標は、検査装置Ｔのオペレータにとって異常箇所を特定するうえで非常に有用である。

また、異常箇所評価システム１は、指標の順位付けにとどまらず、指標に基づいて検査装置Ｔの異常箇所を推定する異常箇所推定部３ａ４を備えている。異常箇所推定部３ａ４は、１２個の指標Ｉｐｓｄ＿ｆ，Ｉｍｓｄ＿ｆ，Ｉｐｓｄ＿ｄ１，Ｉｍｓｄ＿ｄ１，Ｉｐｓｄ＿ｄ２，Ｉｍｓｄ＿ｄ２，Ｉｐｄ１＿ｄ２，Ｉｍｄ１＿ｄ２，Ｉｐｄ１＿ｆ，Ｉｍｄ１＿ｆ，Ｉｐｄ２＿ｆ，Ｉｍｄ２＿ｆの大小を判別するために各指標Ｉｐｓｄ＿ｆ，Ｉｍｓｄ＿ｆ，Ｉｐｓｄ＿ｄ１，Ｉｍｓｄ＿ｄ１，Ｉｐｓｄ＿ｄ２，Ｉｍｓｄ＿ｄ２，Ｉｐｄ１＿ｄ２，Ｉｍｄ１＿ｄ２，Ｉｐｄ１＿ｆ，Ｉｍｄ１＿ｆ，Ｉｐｄ２＿ｆ，Ｉｍｄ２＿ｆに対して閾値を設定して、指標が閾値を超えるとその指標を「大」、指標が閾値以下であるとその指標を「小」として判断する。異常箇所推定部３ａ４は、１２個の指標Ｉｐｓｄ＿ｆ，Ｉｍｓｄ＿ｆ，Ｉｐｓｄ＿ｄ１，Ｉｍｓｄ＿ｄ１，Ｉｐｓｄ＿ｄ２，Ｉｍｓｄ＿ｄ２，Ｉｐｄ１＿ｄ２，Ｉｍｄ１＿ｄ２，Ｉｐｄ１＿ｆ，Ｉｍｄ１＿ｆ，Ｉｐｄ２＿ｆ，Ｉｍｄ２＿ｆの「大」「小」の判別により、「大」「小」の組み合わせパターンが図７の各行のどれに一致するかを判断し、一致するパターンのそれぞれに紐づけされた検査装置Ｔの箇所を異常箇所と推定する。

なお、異常箇所推定部３ａ４は、推定した異常箇所を表示装置３ｅに表示させる。また、異常箇所推定部３ａ４は、図７の表中のパターンに該当しない場合には、異常箇所を推定せず処理を終了する。前述した各指標に設定される閾値は、任意に設定すればよいが、たとえば、以下のように設定してもよい。各指標は、相関係数から過去の正常な相関係数の平均値を差し引いて求められることから、過去の正常な相関係数の標準偏差を求めて、この標準偏差の３倍の値を閾値とすればよい。このようにすると、標準偏差の３倍を閾値に設定すれば過去の正常な相関係数の９９．７％が採り得る値を指標が逸脱した場合に「大」と判定されるので、精度よく指標を異常値であるか否かを判断できる。

以上までの検査装置Ｔの異常箇所評価システム１の処理を図８に示したフローチャートに即して説明する。異常が認められた検査装置Ｔに検体であるダンパＤを取り付け、コントローラＣから電流指令Ｉを入力してアクチュエータ１３を駆動し、ダンパＤへ正弦波の振動を与え（ステップＳＴ１）、検査装置Ｔの動作およびダンパＤの動作の情報として変位ＳＤ，ｄ１，ｄ２および荷重Ｆをそれぞれ第一変位センサ２ａ、ロードセル２ｂ、第二変位センサ２ｃおよび第三変位センサ２ｄで検知する（ステップＳＴ２、センシング過程）し、処理装置３の演算処理装置３ａへ入力する。

処理装置３は、検知した変位ＳＤ，ｄ１，ｄ２および荷重Ｆから第一変位センサ２ａ、ロードセル２ｂ、第二変位センサ２ｃおよび第三変位センサ２ｄの各センサ部のうち２つのセンサ部の１２通りの組み合わせについて検知した情報同士の相関係数を求める（ステップＳＴ３、相関係数算出過程）。また、処理装置３は、１２個の相関係数と各相関係数の正常値との差を求めて１２個の指標を求める（ステップＳＴ４、指標算出過程）。さらに、処理装置３は、各指標を順位付けする（ステップＳＴ５、順位算出過程）。さらに、処理装置３は、各指標と対応する閾値とを比較し、各指標が「大」か「小」のいずれに該当するか判定し、各指標の大小のパターンから異常箇所を推定する（ステップＳＴ６）。処理装置３は、推定した異常箇所とともに各指標を順位付けされた順番にしたがって表示装置３ｅの画面上に表示する（ステップＳＴ７）。

検査装置Ｔの異常箇所評価システム１は、以上のように動作して、異常箇所の推定に有用な指標Ｉｐｓｄ＿ｆ，Ｉｍｓｄ＿ｆ，Ｉｐｓｄ＿ｄ１，Ｉｍｓｄ＿ｄ１，Ｉｐｓｄ＿ｄ２，Ｉｍｓｄ＿ｄ２，Ｉｐｄ１＿ｄ２，Ｉｍｄ１＿ｄ２，Ｉｐｄ１＿ｆ，Ｉｍｄ１＿ｆ，Ｉｐｄ２＿ｆ，Ｉｍｄ２＿ｆを求めて順位付けし、表示装置３ｅにこれらの指標Ｉｐｓｄ＿ｆ，Ｉｍｓｄ＿ｆ，Ｉｐｓｄ＿ｄ１，Ｉｍｓｄ＿ｄ１，Ｉｐｓｄ＿ｄ２，Ｉｍｓｄ＿ｄ２，Ｉｐｄ１＿ｄ２，Ｉｍｄ１＿ｄ２，Ｉｐｄ１＿ｆ，Ｉｍｄ１＿ｆ，Ｉｐｄ２＿ｆ，Ｉｍｄ２＿ｆと順位とともにして表示させるとともに、推定した異常箇所も表示させ、或いは、プリンタ３ｇで紙媒体に印刷してオペレータによるこれらの指標等を視認できるようにする。

このように本実施の形態の検査装置Ｔの異常箇所評価システム１は、検査装置Ｔの動作と検査装置Ｔが検査するダンパ（検体）Ｄの動作を情報として検知する情報がそれぞれ異なる３つ以上のセンサ部としての第一変位センサ２ａ、ロードセル２ｂ、第二変位センサ２ｃおよび第三変位センサ２ｄを有するセンサ装置２と、センサ装置２が検知した変位（情報）ＳＤ，ｄ１，ｄ２および荷重（情報）Ｆを処理する処理装置３とを備え、処理装置３がセンサ部のうち２つのセンサ部の全組合わせについて２つのセンサ部が検知した情報同士の相関係数を求める相関係数算出部３ａ１と、求めた全相関係数毎に相関係数と対応する正常値との差を指標として求める指標算出部３ａ２と、指標を順位付けする順位算出部３ａ３とを備えている。

また、本実施の形態の検査装置Ｔの異常箇所評価方法は、検査装置Ｔの動作と検査装置Ｔが検査するダンパ（検体）Ｄの動作を情報としてそれぞれ異なる３つ以上の情報としての変位ＳＤ，ｄ１，ｄ２および荷重Ｆを検知するセンシング過程と、センシング過程で検知した情報としての変位ＳＤ，ｄ１，ｄ２および荷重Ｆのうち２つの情報の全組合わせについて情報同士の相関係数を求める相関係数算出過程と、求めた全相関係数毎に相関係数と対応する正常値との差を指標として求める指標算出過程と、各指標を順位付けする順位算出過程とを備えている。

以上のように構成された検査装置Ｔの異常箇所評価システム１および異常箇所評価方法では、相関係数が正常値と乖離すれば乖離するほど大きな値を採る指標を順位付けするので、検査装置Ｔのオペレータに注意を払うべき指標を順位付けして認識させ得る。また、このように構成された検査装置Ｔの異常箇所評価システム１および異常箇所評価方法で求めた指標を利用すれば、検査装置Ｔのオペレータは、順位の高い指標とセンサ部の設置位置との関係から容易に異常箇所に当たりをつけることができる。以上より、検査装置Ｔの異常箇所評価システム１および異常箇所評価方法によれば、検査装置Ｔの異常箇所の推定を容易にできる。

また、本実施の形態の検査装置Ｔの異常箇所評価システム１では、処理装置３が指標に基づいて検査装置Ｔの異常箇所を推定する異常箇所推定部３ａ４を備えているので、自動的に異常箇所を推定するので検査装置Ｔのオペレータに推定した異常箇所を認識させ得るので、同オペレータの異常箇所の特定作業がより一層容易となる。

さらに、本実施の形態の検査装置Ｔの異常箇所評価システム１では、相関係数算出部３ａ１が２つのセンサ部同士の情報の度数分布を求め、求めた度数分布に基づいて相関係数を求める。Ｄに動的に振動を与えるとノイズなどの影響もあって変位（情報）ＳＤ，ｄ１，ｄ２および荷重（情報）Ｆの波形が乱れる場合があって、そのまま相関係数を求めると位相ずれの影響で相関係数の値が変化して、異常箇所の推定に対して良好な指標が得られない場合がある。これに対して、本実施の形態の検査装置Ｔの異常箇所評価システム１によれば、度数分布に基づいて相関係数を求めれば位相ずれの影響を排除して、変位（情報）ＳＤ，ｄ１，ｄ２および荷重（情報）Ｆの波形の一致度を示す相関係数が得られるので、常に安定した指標を求めることができ、異常箇所の特定に良好な指標を得ることができる。

また、本実施の形態の検査装置Ｔの異常箇所評価システム１では、過去に求めた正常な検査装置Ｔで正常なダンパ（検体）Ｄを検査した際に得られた複数の相関係数の平均値を正常値としたので、異常な検査装置Ｔでダンパ（検体）Ｄを検査した際に得られる指標が平均値から乖離すればするほど大きな値を採るので、指標が異常値であるか否かについて検査装置Ｔのオペレータが判断しやすくなる。

そして、本実施の形態の検査装置Ｔの異常箇所評価システム１では、検査装置Ｔが振動検査装置であって、センサ装置２が検査装置Ｔの変位ＳＤと、ダンパ（検体）Ｄの全体変位ｄ１と、ダンパ（検体）ｄ２の部分的な変位ｄ２と、ダンパ（検体）Ｄに作用する荷重Ｆを情報として検知している。このように構成された検査装置Ｔの異常箇所評価システム１によれば、検査装置Ｔのオペレータは、センサ部である第一変位センサ２ａ、ロードセル２ｂ、第二変位センサ２ｃおよび第三変位センサ２ｄの位置関係と求めた指標とから、振動検査装置である検査装置Ｔのどこに異常があるのか異常箇所を具体的に推定できる。

なお、前述した実施の形態では、センサ装置２が検知する情報が変位ＳＤ，ｄ１，ｄ２および荷重Ｆであったが、検査装置Ｔの動作は変位ＳＤ以外にもアクチュエータ１３の速度或いは荷重もあるので、センサ装置２はこれらを情報として検知してもよいし、また、ダンパ（検体）Ｄの動作についても変位ｄ１，ｄ２および荷重Ｆの他に速度もあるので、センサ装置２は速度を検知してもよい。センサ部は、検体の全体或いは部分について、変位、速度および加速度のうち２つ以上を並列に検知してもよく、この場合、並列されるセンサ部のうち一つに異常がある場合にはそのセンサ部に関連する指標が大きな値を採るのでセンサ装置２における一部のセンサ部の異常を見つけることが可能となる。

また、検査装置Ｔは、振動検査装置以外の検査装置とされてもよく、たとえば、検体の内部に圧力を負荷する圧力検査装置や、検体に温度を作用させる温度検査装置であってもよい。圧力検査装置の場合には、圧力検査装置の動作として圧力検査装置の圧力源の圧力を情報とし、検体内の圧力、検体の全長或いは部分の歪や応力を情報とし、前述のように指標を求めればよい。このように検査装置Ｔが圧力検査装置であっても、異常箇所評価システム１および異常箇所評価方法は、検査装置Ｔのオペレータの圧力検査装置の異常箇所の特定を助けることができる。検査装置Ｔが温度検査装置であっても、異常箇所評価システム１および異常箇所評価方法は、圧力検査装置と同様に、温度検査装置側の動作と検体側の動作を情報として検知して指標を求めれば、同様に検査装置Ｔのオペレータの異常箇所の特定を助けることができる。検体についても本実施の形態では、ダンパＤを検体としているが、検体はダンパＤ以外の機械部品とされてもよく、検査装置Ｔが振動検査装置以外である場合には、検査に適した検体を使用すればよい。

以上、本発明の好ましい実施の形態を詳細に説明したが、特許請求の範囲から逸脱しない限り、改造、変形、および変更が可能である。

１・・・異常箇所評価システム、２・・・センサ装置、２ａ・・・第一変位センサ（センサ部）、２ｂ・・・ロードセル（センサ部）、２ｃ・・・第二変位センサ（センサ部）、２ｄ・・・第三変位センサ（センサ部）、３・・・処理装置、３ａ１・・・相関係数算出部、３ａ２・・・指標算出部、３ａ３・・・順位算出部、３ａ４・・・異常箇所推定部

Claims (6)

1. 検査装置の異常箇所の推定に使用される指標を求める検査装置の異常箇所評価システムであって、
   前記検査装置の動作と前記検査装置が検査する検体の動作を情報として、検知する情報がそれぞれ異なる３つ以上のセンサ部を有するセンサ装置と、
   前記センサ装置が検知した情報を処理する処理装置とを備え、
   前記処理装置は、
   前記センサ部のうち２つのセンサ部の全組合わせについて前記２つのセンサ部が検知した前記情報同士の相関係数を求める相関係数算出部と、
   求めた全相関係数毎に、前記相関係数と対応する正常値との差を前記指標として求める指標算出部と、
   前記指標を順位付けする順位算出部とを有する
   ことを特徴とする検査装置の異常箇所評価システム。
2. 前記処理装置は、
   前記指標に基づいて、前記検査装置の異常箇所を推定する異常箇所推定部を有する
   ことを特徴とする請求項１に記載の検査装置の異常箇所評価システム。
3. 前記相関係数算出部は、前記２つのセンサ部同士の前記情報の度数分布を求め、求めた前記度数分布に基づいて前記相関係数を求める
   ことを特徴とする請求項１または２に記載の検査装置の異常箇所評価システム。
4. 前記正常値は、過去に正常な前記検査装置で正常な前記検体を検査した際に得られた複数の相関係数の平均値を前記正常値とした
   ことを特徴とする請求項１から３のいずれか１項に記載の異常箇所評価システム。
5. 前記検査装置は、振動検査装置であって、
   前記センサ装置は、前記検査装置の変位と、前記検体の全体変位と、前記検体の部分的な変位と、前記検体に作用する荷重を情報として検知する
   ことを特徴とする請求項１から４のいずれか１項に記載の検査装置の異常箇所評価システム。
6. 検査装置の異常箇所の推定に使用される指標を求める検査装置の異常箇所評価方法であって、
   前記検査装置の動作と前記検査装置が検査する検体の動作を情報として、それぞれ異なる３つ以上の情報を検知するセンシング過程と、
   前記センシング過程で検知した前記情報のうち２つの情報の全組合わせについて前記情報同士の相関係数を求める相関係数算出過程と、
   求めた全相関係数毎に、前記相関係数と対応する正常値との差を前記指標として求める指標算出過程と、
   前記指標を順位付けする順位算出過程とを備えた
   ことを特徴とする検査装置の異常箇所評価方法。

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