JP7247844B2 - 光学分析装置及び方法 - Google Patents
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Description
時間に関する第1パラメータと、第2パラメータと、前記第1パラメータ及び前記第2パラメータの値に依存した第3パラメータを有する複数のデータを2次元の画面上に表示する画像表示装置を備えるものであって、
各データの値を、該データが得られたときの該第1パラメータの値、該第2パラメータの値及び第3パラメータの値として取得するデータ取得部と、
前記データ取得部で取得した第3パラメータの値を該値の連続的変化に対応して連続的に変化するように定められている色のうちの対応する色である表示色を決定する表示色決定部と、
前記複数のデータを、画面上の2次元領域中の各データの第1パラメータの値を第1座標の値として表示し、第2パラメータの値を第2座標の値として表示し、前記第1パラメータの値及び前記第2パラメータの値に対応する第3パラメータの値を、前記第1座標及び前記第2座標に対応する位置に前記表示色で表示する2次元グラフ表示部と
を備える。
時間に関する第1パラメータと、第2パラメータと、前記第1パラメータ及び前記第2パラメータの値に依存した第3パラメータを有する複数のデータを2次元の画面上に表示する複数の工程を有する方法であって、該複数の工程が、
各データの値を、該データが得られたときの該第1パラメータの値、該第2パラメータの値及び第3パラメータの値として取得するデータ取得工程と、
前記データ取得工程で取得した第3パラメータの値を該値の連続的変化に対応して連続的に変化するように定められている色のうちの対応する色である表示色を決定する表示色決定工程と、
前記複数のデータを、画面上の2次元領域中の各データの第1パラメータの値を第1座標の値として表示し、第2パラメータの値を第2座標の値として表示し、前記第1パラメータの値及び前記第2パラメータの値に対応する第3パラメータの値を、前記第1座標及び前記第2座標に対応する位置に前記表示色で表示する2次元グラフ表示工程
である。
なお、従来の光学分析装置では測定試料の吸光度や透過度を測定することを目的としており、リアルタイム性を求められることが少なかったが、レーザ照明装置やレーザ加工装置のように光の出力をリアルタイムにモニタする必要がある装置に本願発明を適用することができる。さらには、光学装置の製造において装置の品質管理に本願発明を適用することができる。
図1は、本発明の一実施形態である光学分析装置1の構成を示す概略図である。この光学分析装置1は、分光測定装置20と、該分光測定装置20で取得されるデータを表示するデータ表示装置10とを備える。図1では分光測定装置20の一例として、測定対象の光90を回折格子21で分光し、分光された光90の波長毎の強度を光検出器22で検出するものを示した。光検出器22は複数の光検出素子221を一次元状に並べたものである。光検出器22には、回折格子21で分光されることによって、光検出素子221(光検出器22内の位置)毎に異なる波長の光が入射する。各光検出素子221は、それに入射した光の強度を検出し、該強度に対応する電気信号を送出する。従って、光検出素子221毎の電気信号は、光検出器22に入射した光90の波長毎の強度を示している。
図3を用いて、本実施形態の光学分析装置1の動作を、データ表示装置10の動作を中心に説明する。この光学分析装置1の動作は、本発明に係る光学分析方法の一実施形態に該当する。図3は、本実施形態の光学分析装置1におけるデータ表示装置10の動作を示すフローチャートである。ここでは、光検出器22の各光検出素子221が検出した光の強度のデータを、所定の時間間隔δtで取得する場合について説明する。
上記実施形態では、光検出器22から光の強度を取得しながらリアルタイムで2次元グラフの表示を更新することについて説明したが、光の強度を全て取得した後に2次元グラフを作成して表示するようにしてもよい。そのような表示を行う場合のデータ表示方法の例を、図7のフローチャートを用いて説明する。
上述した例示的な実施形態は、以下の態様の具体例であることが当業者により理解される。
第1項に係る光学分析装置は、
時間に関する第1パラメータと、第2パラメータと、前記第1パラメータ及び前記第2パラメータの値に依存した第3パラメータを有する複数のデータを2次元の画面上に表示する画像表示装置を備えるものであって、
各データの値を、該データが得られたときの該第1パラメータの値、該第2パラメータの値及び第3パラメータの値として取得するデータ取得部と、
前記データ取得部で取得した第3パラメータの値を該値の連続的変化に対応して連続的に変化するように定められている色のうちの対応する色である表示色を決定する表示色決定部と、
前記複数のデータを、画面上の2次元領域中の各データの第1パラメータの値を第1座標の値として表示し、第2パラメータの値を第2座標の値として表示し、前記第1パラメータの値及び前記第2パラメータの値に対応する第3パラメータの値を、前記第1座標及び前記第2座標に対応する位置に前記表示色で表示する2次元グラフ表示部と
を備える。
第4項に係る光学分析方法は、
時間に関する第1パラメータと、第2パラメータと、前記第1パラメータ及び前記第2パラメータの値に依存した第3パラメータを有する複数のデータを2次元の画面上に表示する複数の工程を有する方法であって、該複数の工程が、
各データの値を、該データが得られたときの該第1パラメータの値、該第2パラメータの値及び第3パラメータの値として取得するデータ取得工程と、
前記データ取得工程で取得した第3パラメータの値を該値の連続的変化に対応して連続的に変化するように定められている色のうちの対応する色である表示色を決定する表示色決定工程と、
前記複数のデータを、画面上の2次元領域中の各データの第1パラメータの値を第1座標の値として表示し、第2パラメータの値を第2座標の値として表示し、前記第1パラメータの値及び前記第2パラメータの値に対応する第3パラメータの値を、前記第1座標及び前記第2座標に対応する位置に前記表示色で表示する2次元グラフ表示工程
である。
第2項に係る光学分析装置は、第1項に係る光学分析装置において、
前記データ取得部は、複数の所定の時間の各々に到達する毎に、前記第3パラメータの値を、該第3パラメータの値が得られたときの前記第1パラメータの値及び前記第2パラメータの値と共に取得し、
前記表示色決定部は、前記データ取得部が前記第3パラメータの値を取得する毎に前記表示色を決定し、
前記2次元グラフ表示部は、前記表示色決定部が前記表示色を決定する毎に、前記第3パラメータの前記表示色を前記位置に追加表示する。
第5項に係る光学分析方法は、第4項に係る光学分析方法において、
前記データ取得工程では、複数の所定の時間の各々に到達する毎に、前記第3パラメータの値を、該第3パラメータの値が得られたときの前記第1パラメータの値及び前記第2パラメータの値と共に取得し、
前記表示色決定工程では、前記データ取得工程において前記第3パラメータの値を取得する毎に前記表示色を決定し、
前記2次元グラフ表示工程では、前記表示色決定工程において前記表示色を決定する毎に、前記第3パラメータの前記表示色を前記位置に追加表示する。
第3項に係る光学分析装置は、第1又は第2項に係る光学分析装置において、
さらに、前記第1パラメータ及び前記第2パラメータのうちのいずれか一方を注目対象パラメータ、他方を固定対象パラメータとし、前記データ取得部で取得した前記第3パラメータの値のうち該固定対象パラメータが所定の固定値である第3パラメータの値につき、前記画面上の前記2次元領域以外の第2の2次元領域中の、該注目対象パラメータの値を第1座標、該第3パラメータの値を第2座標とする位置に表示する第2の2次元グラフ表示部を備える。
第6項に係る光学分析方法は、第4又は第5項に係る光学分析方法において、
さらに、前記第1パラメータ及び前記第2パラメータのうちのいずれか一方を注目対象パラメータ、他方を固定対象パラメータとし、前記データ取得工程で取得した前記第3パラメータの値のうち該固定対象パラメータが所定の固定値である第3パラメータの値につき、前記画面上の前記2次元領域以外の第2の2次元領域中の、該注目対象パラメータの値を第1座標、該第3パラメータの値を第2座標とする位置に表示する第2の2次元グラフ表示工程を有する。
10…データ表示装置
11…データ取得部
12…データ一時記憶部
13…表示色決定部
14…2次元グラフ表示部
15…第2の2次元グラフ表示部
16…ディスプレイ
17…入力部
18…データ保存部
19…コンピュータ本体
20…分光測定装置
21…回折格子
22…光検出器
221…光検出素子
31…2次元グラフ
32、33…第2の2次元グラフ
321…波長入力欄
34…サンプリングレート入力欄
90…光
Claims (4)
- 時間に関する第1パラメータと、第2パラメータと、前記第1パラメータ及び前記第2パラメータの値に依存した第3パラメータを有するデータを所定の時間間隔で取得した複数のデータを2次元の画面上に表示する画像表示装置を備えるものであって、
ユーザが前記時間間隔を入力する時間間隔入力欄を前記画面上に表示する時間間隔入力欄表示部と、
前記時間間隔入力欄への入力に基づいて前記時間間隔を設定する時間間隔設定部と、
各データの値を、該データが得られたときの該第1パラメータの値、該第2パラメータの値及び第3パラメータの値として前記時間間隔で取得するデータ取得部と、
前記データ取得部で前記第3パラメータの値が取得される毎に、取得した第3パラメータの値に対し、該値の連続的変化に対応して連続的に変化するように定められている色のうちの対応する色である表示色を決定する表示色決定部と、
前記複数のデータを、前記時間間隔入力欄と同一の画面上の2次元領域中の各データの第1パラメータの値を第1座標の値とし、第2パラメータの値を第2座標の値として、前記第1パラメータの値及び前記第2パラメータの値に対応する第3パラメータの値を、前記第1座標及び前記第2座標に対応する位置に前記表示色で示す2次元グラフを表示するものであって、前記表示色決定部で前記表示色が決定される毎に、前記第3パラメータの前記表示色を前記位置に追加表示する2次元グラフ表示部と
を備える光学分析装置。 - さらに、前記第1パラメータ及び前記第2パラメータのうちのいずれか一方を注目対象パラメータ、他方を固定対象パラメータとし、前記データ取得部で取得した前記第3パラメータの値のうち該固定対象パラメータが所定の固定値である第3パラメータの値につき、前記画面上の前記2次元領域以外の第2の2次元領域中の、該注目対象パラメータの値を第1座標、該第3パラメータの値を第2座標とする位置に表示する第2の2次元グラフ表示部を備える、請求項1に記載の光学分析装置。
- 時間に関する第1パラメータと、第2パラメータと、前記第1パラメータ及び前記第2パラメータの値に依存した第3パラメータを有するデータを所定の時間間隔で取得した複数のデータを2次元の画面上に表示する複数の工程を有する方法であって、該複数の工程が
ユーザが前記時間間隔を入力する時間間隔入力欄を前記画面上に表示する時間間隔入力欄表示工程と、
前記時間間隔入力欄への入力に基づいて前記時間間隔を設定する時間間隔設定工程と、
各データの値を、該データが得られたときの該第1パラメータの値、該第2パラメータの値及び第3パラメータの値として前記時間間隔で取得するデータ取得工程と、
前記データ取得工程で前記第3パラメータの値が取得される毎に、取得した第3パラメータの値に対し、該値の連続的変化に対応して連続的に変化するように定められている色のうちの対応する色である表示色を決定する表示色決定工程と、
前記複数のデータを、前記時間間隔入力欄と同一の画面上の2次元領域中の各データの第1パラメータの値を第1座標の値とし、第2パラメータの値を第2座標の値とし、前記第1パラメータの値及び前記第2パラメータの値に対応する第3パラメータの値を、前記第1座標及び前記第2座標に対応する位置に前記表示色で示す2次元グラフを表示するものであって、前記表示色決定工程で前記表示色が決定される毎に、前記第3パラメータの前記表示色を前記位置に追加表示する2次元グラフ表示工程と、
前記画面上に前記時間間隔を表示する時間間隔数値表示工程
である光学分析方法。 - さらに、前記第1パラメータ及び前記第2パラメータのうちのいずれか一方を注目対象パラメータ、他方を固定対象パラメータとし、前記データ取得工程で取得した前記第3パラメータの値のうち該固定対象パラメータが所定の固定値である第3パラメータの値につき、前記画面上の前記2次元領域以外の第2の2次元領域中の、該注目対象パラメータの値を第1座標、該第3パラメータの値を第2座標とする位置に表示する第2の2次元グラフ表示工程を有する、請求項3に記載の光学分析方法。
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