JP7233466B2 - 磁性ターゲット材料を用いたスパッタリング源の磁力解放 - Google Patents
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Description
ット材料から離すように格納させて、回転ターゲットカソードのターゲットシリンダへの磁石バーの挿入、およびターゲットシリンダからの磁石バーの取り出しを容易にすることができる機構を提供する。
離れるように格納して挿入および取り出しを行うことができるようにする。次に、磁石バーがターゲットシリンダ内の正しい位置にきたら、位置決め機構を用いて磁石バー構造を展開位置に移動させる。磁石バー構造の位置決めは、磁石バーアセンブリがターゲットシリンダの内部にある状態で、ターゲットシリンダを回転ターゲットカソードのエンドブロックに取り付ける前に行うことができる。磁石バー構造を展開位置に位置決めすることは、ターゲットシリンダを回転ターゲットカソードのエンドブロックに取り付けた後に行うこともできる。位置決めは、機械力、電気力、空圧力、油圧力、または磁力を任意に組み合わせて行うことができる。位置決め機構は、磁石バー構造の完全展開位置または完全格納位置のいずれかをもたらすように構成されている。
ドプレート218および220により提供される。
される。複数のローラ322は、支持プレート310に移動可能に接続されて磁石バー構造304をターゲットシリンダの内面から離して保持する。
例示的な実施形態
すことができる。
Claims (12)
- 回転ターゲットカソードのための磁石バーアセンブリであって、前記磁石バーアセンブリは、
支持構造と、
前記支持構造に移動可能に取り付けられる磁石バー構造であって、前記磁石バー構造が、複数の磁石を含む、磁石バー構造と、
前記支持構造および前記磁石バー構造に動作可能に連結される位置決め機構であって、前記位置決め機構は、前記磁石バー構造を格納位置と展開位置との間で移動させるように構成されており、前記位置決め機構は、前記支持構造および前記磁石バー構造に連結されるブラダアセンブリを備え、前記ブラダアセンブリは、
前記磁石バー構造とは反対の前記支持構造の側に位置決めされる格納用ブラダと、
前記格納用ブラダを磁石バー作動プレートと前記支持構造との間に挟持するように配置される磁石バー作動プレートであって、前記磁石バー作動プレートは、前記磁石バー構造に、前記支持構造内を通過する複数のボルトで連結される、磁石バー作動プレートと、
を備える、位置決め機構と、
を備え、
前記磁石バー構造の前記格納位置は、前記磁石バーアセンブリがターゲットシリンダに挿入されるとき、または前記ターゲットシリンダから取り出されるときに、前記磁石と前記ターゲットシリンダの磁性ターゲット材料との間の磁力を実質的に低減させ、
前記磁石バー構造の前記展開位置は、前記磁石バーアセンブリが前記ターゲットシリンダ内にあるときに、前記磁石と前記磁性ターゲット材料との間の前記磁力を実質的に増加させて、前記磁石バー構造からの磁場が前記磁性ターゲット材料内を貫通することができるようにする、磁石バーアセンブリ。 - 前記支持構造に移動可能に接続される複数のローラをさらに備え、前記ローラは、前記磁石バー構造を前記ターゲットシリンダの内面から離して保持するように構成される、請求項1に記載の磁石バーアセンブリ。
- 磁力歪み緩和アセンブリを更に備え、該磁力歪み緩和アセンブリは、
前記支持構造の第1のエンドプレートの第1の端部に遊隙を有して連結されるエンドブロック接続部と、
前記支持構造の第2のエンドプレートの、前記第1の端部とは反対側の第2の端部に遊隙を有して連結されるエンドキャップ接続部と、を備え、
前記エンドブロック接続部とエンドキャップ接続部の各々における前記遊隙は、それぞれOリングによりもたらされており、
前記歪み緩和アセンブリは、前記磁石バーアセンブリと前記磁性ターゲットシリンダとの間の磁力が、前記エンドブロック接続部および前記エンドキャップ接続部に伝達されることを防止する、請求項1に記載の磁石バーアセンブリ。 - 前記支持構造は、前記展開位置にあるときの前記磁石バー構造と前記ターゲットシリンダとの間の距離を制限するように、実質的に剛性である、請求項1に記載の磁石バーアセンブリ。
- 前記支持構造は、複数の支持プレートを挟持構成で含む、請求項1に記載の磁石バーアセンブリ。
- 前記支持プレートは、前記支持構造内を通って延在する内部冷媒通路を画定する、請求項5に記載の磁石バーアセンブリ。
- 前記支持プレートは、1組の支持構造ねじで一緒に保持される、請求項5に記載の磁石バーアセンブリ。
- 前記支持構造は、前記磁石バー作動プレートの展開運動を制限する、請求項7に記載の磁石バーアセンブリ。
- 前記磁石バーアセンブリが前記ターゲットシリンダの外部にある状態で、前記支持構造の長さに沿った個々の調整を行って、前記ターゲットシリンダの表面の磁場を均一に調整するように構成されている1つ以上の調整機構をさらに備える、請求項1に記載の磁石バーアセンブリ。
- 前記格納用ブラダを膨張させるために、ガスをガス源から提供するように前記格納用ブラダに連結されているブラダ充填ポートをさらに備える、請求項1に記載の磁石バーアセンブリ。
- 膨張すると、前記格納用ブラダが前記磁石バー作動プレートを押すことにより今度は、前記ボルトおよび前記磁石バー構造を前記格納位置に引き込み、
前記格納用ブラダが収縮すると、前記磁石バー作動プレートが前記ボルトおよび前記磁石バー構造を前記展開位置に押し出す、請求項1に記載の磁石バーアセンブリ。 - 各磁石バー均一性調整ナットが前記ボルト群のうちの該当するボルトに連結される1組の磁石バー均一性調整ナットをさらに備えて、前記磁石バー構造の長さに沿った調整を行い、前記ターゲットシリンダの表面の磁場を均一に調整することが可能になる、請求項1に記載の磁石バーアセンブリ。
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