JP2016514207A - スパッタリング装置 - Google Patents
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Abstract
Description
本出願は、2013年3月1日に出願された米国特許仮出願第61/771,460号の利益を主張し、該仮出願は、参照により本明細書に組み込まれる。
例示的実施形態
Claims (20)
- マグネトロン組立体であって、
剛性支持構造と、
前記剛性支持構造に移動可能に取り付けられた磁石棒構造と、
前記剛性支持構造に連結され、かつ回転可能なターゲットシリンダの表面からの前記磁石棒構造の距離を変化させるように構成された少なくとも1つの作動機構と、
前記回転可能なターゲットシリンダの前記表面に対する前記磁石棒構造の位置を測定するように動作可能な位置指示機構と、
前記マグネトロン組立体の外部からコマンド信号を受信し、かつ前記マグネトロン組立体の外部に情報信号を送信するように構成された通信デバイスと、を備える、マグネトロン組立体。 - 前記作動機構が、ばね荷重空気圧構造またはばね荷重油圧構造を備える、請求項1に記載のマグネトロン組立体。
- 前記作動機構が、回転ケーブルまたはプッシュ/プルケーブルを備える、請求項1に記載のマグネトロン組立体。
- 前記作動機構が、サーボ、ステッピングモータ、または圧電モータを備えるモータ付き構造を含む、請求項1に記載のマグネトロン組立体。
- 前記位置指示機構が、直接感知によって、または間接メトリックによって、前記磁石棒構造の位置を測定する、請求項1に記載のマグネトロン組立体。
- 前記位置指示機構が、ホールプローブおよび磁石を備える、請求項1に記載のマグネトロン組立体。
- 前記位置指示機構が、データをさらに処理することなく直接オペレータに送信するデジタルインジケータを備える、請求項1に記載のマグネトロン組立体。
- 前記位置指示機構が、前記モータ付き構造との直接連結からのフィードバックを含む、請求項4に記載のマグネトロン組立体。
- 前記作動機構と動作可能に通信する電子制御装置をさらに備える、請求項1に記載のマグネトロン組立体。
- 前記作動機構および前記電子制御装置に通電するように構成されたバッテリ電源をさらに備える、請求項9に記載のマグネトロン組立体。
- 前記通信デバイスが、前記電子制御装置に動作可能に連結されたトランシーバを備える、請求項1に記載のマグネトロン組立体。
- 前記トランシーバが、無線周波数トランシーバ、光トランシーバ、または超音波トランシーバを含む、請求項11に記載のマグネトロン組立体。
- 前記作動機構が、
ホールプローブのためのセンサポートと、
圧縮ガスを受容するように構成された空気圧作動ポートと、
前記空気圧作動ポートと連通するベローズと、
前記ベローズおよび前記磁石棒構造に連結された制御シャフトと、
前記制御シャフトに連結された戻しばねと、
ホールプローブフィードバックのための前記制御シャフト内の磁石と、を備える、請求項1に記載のマグネトロン組立体。 - 前記作動機構が、
ステッピングモータと、
前記ステッピングモータに動作可能に連結されたベベルギヤと、
前記ベベルギヤと嵌合されるねじ付きハウジングと、
前記磁石棒構造と前記ねじ付きハウジングとの間に連結されるねじ付きポストと、を備える、請求項1に記載のマグネトロン組立体。 - スパッタリング装置のための回転式カソード組立体であって、
内部通路を画定する内面を有する回転可能なターゲットシリンダと、
前記ターゲットシリンダの前記内部通路内に配置された冷媒管と、
前記内部通路内の前記冷媒管に移動可能に取り付けられた磁石棒構造と、
前記冷媒管に連結され、かつ前記ターゲットシリンダの前記内面からの前記磁石棒構造の距離を変化させるように構成された複数の作動機構と、
各々が前記作動機構のうちのそれぞれの1つと関連付けられ、かつ前記ターゲットシリンダの前記内面に対する前記磁石棒構造の位置を測定するように動作可能な複数の位置指示機構と、
前記ターゲットシリンダ内にあり、かつ前記作動機構と動作可能に通信する電子制御装置と、
前記ターゲットシリンダ内に位置し、前記電子制御装置に動作可能に連結される第1のトランシーバと、
前記ターゲットシリンダの外部に位置し、かつ前記第1のトランシーバと信号通信する第2のトランシーバと、を備え、
前記ターゲットシリンダが、前記スパッタリング装置の動作中に浸食されるにつれて、前記作動機構が、前記電子制御装置からの制御信号に応答して、前記ターゲットシリンダの前記内面に対する前記磁石棒構造の前記位置を調整する、回転式カソード組立体。 - 前記第1および第2のトランシーバが、光トランシーバを含む、請求項15に記載の回転式カソード組立体。
- 前記第1のトランシーバに連結され、かつ前記第2のトランシーバに連結された第2の光ファイバーケーブルと光通信する第1の光ファイバーケーブルをさらに備える、請求項16に記載の回転式カソード組立体。
- 前記ターゲットシリンダ上のエンドキャップであって、前記第1の光ファイバーケーブルと前記第2の光ファイバーケーブルとの間で光信号が送信されることを可能にするウィンドウを有するエンドキャップをさらに備える、請求項17に記載の回転式カソード組立体。
- 前記第1および第2のトランシーバが、超音波トランシーバを含む、請求項15に記載の回転式カソード組立体。
- 前記第2のトランシーバが、ユーザー操作型の外部制御装置と信号通信する、請求項19に記載の回転式カソード組立体。
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