JP7228158B2 - 変位測定装置、変位測定方法、及びプログラム - Google Patents

変位測定装置、変位測定方法、及びプログラム Download PDF

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Description

本発明は、変位測定装置、変位測定方法、及びプログラムに関する。
物体の変位を測定する技術として、従来、機械的変位計やレーザ光を用いる非接触式変位センサが広く使われているが、これらのセンサを取り付けるための設置作業が手間とコストがかかるという問題点があった。
一方で、画像を用いた計測方法として、所定の模様が所定のピッチにおいて繰り返し描かれた模様である規則模様を用いたモアレ画像変位計測法(サンプリングモアレ法)が開発されている(特許文献1及び特許文献2)。サンプリングモアレ法では、ピッチの1000分の1の精度で微小な面内変位分布を測定できる。
図16は、従来のサンプリングモアレ法による物体の変位測定方法の一例を示す図である。一般的にサンプリングモアレ法による物体の変位測定方法では、表面に規則模様(格子マーカー101)を取付けた測定対象の物体103に正対する方向から、カメラ102(撮像素子を備えた光学式カメラ)で変形前後の当該物体103を撮影し、撮影した画像から変位量を算出する。
物体の変位には、面内変位と、面外変位とがある。面内変位は、カメラ102の素子面と平行な方向(x方向またはy方向)の変位である。面外変位は、カメラ102の素子面と垂直な方向(z方向)の変位である。
しかしながら、物体に正対する方向からの変位測定では、物体とカメラとの間に障害物がある場合にカメラは物体の表面に取り付けられた格子マーカーの規則模様を撮影できず、測定困難となる場合がある。
また、サンプリングモアレ法によって構造物の変位測定を行う場合、カメラと構造物との間に河川、海などがあり、構造物から適切な距離においてカメラを設置できない場合がある。また、サンプリングモアレ法によって構造物の変位測定を行う場合、構造物が河川や渓谷を跨ぐ橋梁である場合には、橋梁と正対する位置にカメラを設置できない場合がある。
一方、物体の変位測定方法として面外変位を測定する方法がある。面外変位の測定には、レーザードップラー式変位計が主に用いられる。レーザードップラー式変位計は、面外変位の測定として、橋梁のたわみの測定にはしばしば用いられるが、レーザードップラー式変位計は高価であり、一度に一点しか測定できない。
画像測定による面外変位の測定方法として、物体の表面の規則模様の格子ピッチの変化から面外変位を測定する方法が知られている。この方法は、図16と同様に、カメラと正対する面に配置された物体の表面の規則模様を撮影し、撮影された規則模様のピッチをモアレ法で解析し、格子ピッチの変化から面外変位を測定する方法である。
特開2009-264852号公報 再公表WO2015/008404号公報
しかしながら、上記のピッチによる面外変位の測定では、物体とカメラとの間の距離が大きい場合、規則模様のピッチの変化が十分に捉えられず、面外変位が十分に高い精度において測定できない。面外変位の測定精度は、一般的に面内変位の測定精度の10分の1程度に低くなり、物体とカメラとの間の距離が遠くなればなるほど測定精度は低下する。
本発明の目的は、以上の点に鑑みなされたもので、物体の面外変位の測定精度を向上させることができる方法の提供を目的とする。
本発明は上記の課題を解決するためになされたものであり、本発明の一態様は、所定の模様が所定のピッチにおいて繰り返し描かれたマーカーであって、変位の算出対象である物体の表面に形成されたマーカーが撮像部によって撮像された画像を取得する画像取得部と、前記マーカーの前記ピッチを示すピッチ情報を取得するピッチ情報取得部と、前記撮像部の光軸の方向と、前記撮像部に対する前記物体の方向とのなす角度を示す角度情報を取得する角度情報取得部と、前記画像取得部によって取得された前記画像と、前記ピッチ情報取得部によって取得された前記ピッチ情報が示す前記ピッチとに基づいて位相解析処理によって、前記撮像部によって撮像された時刻における前記画像の位相の基準時刻における前記画像の位相に対する位相差を算出する位相演算部と、前記位相演算部によって算出された前記位相差と、前記ピッチ情報取得部によって取得された前記ピッチ情報が示す前記ピッチとに基づいて、前記画像におけるみかけの変位であって、前記マーカーが撮像される撮像面に平行な方向のうちの所定の方向についての変位である面内変位を算出する面内変位算出部と、前記角度情報取得部によって取得される角度情報が示す前記角度と、前記面内変位算出部によって算出される前記面内変位とに基づいて、前記撮像面に垂直な方向についての変位である面外変位を算出する面外変位算出部と、を備える変位測定装置である。
また、本発明の一態様は、上記の変位測定装置において、前記所定の方向とは、前記撮像面に平行な方向のうち前記物体の変位が最も小さい方向である。
また、本発明の一態様は、上記の変位測定装置において、前記面外変位算出部は、前記面内変位算出部によって算出される前記面内変位を、前記角度情報取得部によって取得される角度情報が示す前記角度の正接によって除算することによって前記面外変位を算出する。
また、本発明の一態様は、所定の模様が所定のピッチにおいて繰り返し描かれたマーカーであって、変位の算出対象である物体の表面に形成されたマーカーが撮像部によって撮像された画像を取得する画像取得過程と、前記マーカーの前記ピッチを示すピッチ情報を取得するピッチ情報取得過程と、前記撮像部の光軸の方向と、前記撮像部に対する前記物体の方向とのなす角度を示す角度情報を取得する角度情報取得過程と、前記画像取得過程によって取得された前記画像と、前記ピッチ情報取得過程によって取得された前記ピッチ情報が示す前記ピッチとに基づいて位相解析処理によって、前記撮像部によって撮像された時刻における前記画像の位相の基準時刻における前記画像の位相に対する位相差を算出する位相演算過程と、前記位相演算過程によって算出された前記位相差と、前記ピッチ情報取得過程によって取得された前記ピッチ情報が示す前記ピッチとに基づいて、前記画像におけるみかけの変位であって、前記マーカーが撮像される撮像面に平行な方向のうちの所定の方向についての変位である面内変位を算出する面内変位算出過程と、前記角度情報取得過程によって取得される角度情報が示す前記角度と、前記面内変位算出過程によって算出される前記面内変位とに基づいて、前記撮像面に垂直な方向についての変位である面外変位を算出する面外変位算出過程と、を有する変位測定方法である。
また、本発明の一態様は、コンピュータに、所定の模様が所定のピッチにおいて繰り返し描かれたマーカーであって、変位の算出対象である物体の表面に形成されたマーカーが撮像部によって撮像された画像を取得する画像取得ステップと、前記マーカーの前記ピッチを示すピッチ情報を取得するピッチ情報取得ステップと、前記撮像部の光軸の方向と、前記撮像部に対する前記物体の方向とのなす角度を示す角度情報を取得する角度情報取得ステップと、前記画像取得ステップによって取得された前記画像と、前記ピッチ情報取得ステップによって取得された前記ピッチ情報が示す前記ピッチとに基づいて位相解析処理によって、前記撮像部によって撮像された時刻における前記画像の位相の基準時刻における前記画像の位相に対する位相差を算出する位相演算ステップと、前記位相演算ステップによって算出された前記位相差と、前記ピッチ情報取得ステップによって取得された前記ピッチ情報が示す前記ピッチとに基づいて、前記画像におけるみかけの変位であって、前記マーカーが撮像される撮像面に平行な方向のうちの所定の方向についての変位である面内変位を算出する面内変位算出ステップと、前記角度情報取得ステップによって取得される角度情報が示す前記角度と、前記面内変位算出ステップによって算出される前記面内変位とに基づいて、前記撮像面に垂直な方向についての変位である面外変位を算出する面外変位算出ステップと、を実行させるためのプログラムである。
本発明によれば、物体の面外変位の測定精度を向上させることができる。
本発明の実施形態に係る面外変位の測定方法の一例を示す図である。 本発明の実施形態に係るマーカーの一例を示す図である。 本発明の実施形態に係る測定システムの構成の一例を示す図である。 本発明の実施形態に係る面外変位測定処理の一例を示す図である。 本発明の実施形態に係る面外変位算出処理の一例を示す図である。 本発明の実施形態に係る繰り返し模様の一例を示す図である。 本発明の実施形態に係る斜め方向の繰り返し模様の一例を示す図である。 本発明の実施形態に係るカメラの設置位置の一例を示す図である。 本発明の実施形態に係る測定点の一例を示す図である。 本発明の実施形態に係る測定対象の橋梁の一例を示す図である。 本発明の実施形態に係る変位測定のセットアップの一例を示す図である。 本発明の実施形態に係るマーカーの設置位置の一例を示す図である。 本発明の実施形態に係るy方向の変位測定のセッティングの一例を示す図である。 本発明の実施形態に係る面外変位の測定結果の一例を示す図である。 本発明の実施形態に係る面外変位の測定結果の一例を示す図である。 従来のサンプリングモアレ法による物体の変位測定方法の一例を示す図である。
(実施形態)
以下、図面を参照しながら本発明の実施形態について詳しく説明する。図1は、本実施形態に係る面外変位の測定方法の一例を示す図である。本実施形態では、構造物である物体3の面外変位を測定する。物体3の面外変位は、物体3の表面に設置されたマーカー1の面外変位として測定される。カメラ2は物体3と正対して遠方に設置され、物体3の表面に設置したマーカー1を撮影する。
カメラ2と物体3の間の距離を距離Dとする。カメラ2と物体3上の任意の点との間の画角を角度θとする。物体3上の点P1が面外変位により点Q1に変位した場合の面外変位を面外変位Δzとする。
本実施形態に係る面外変位の測定方法では、まず面内変位Δyを算出する。ここで面内変位Δyは、面内変位のうち変位しない、もしくは変位が無視できる程度に小さい方向における、カメラ2によって撮像された画像におけるみかけの変位である。
本実施形態に係る面外変位の測定方法では、算出した面内変位Δyを角度θに基づいて面外変位Δzに換算することにより、物体の面外変位Δzを測定する。
ここでマーカー1には、所定の模様が所定のピッチにおいて繰り返し描かれている。本実施形態では、マーカー1に繰り返して描かれた所定の模様に基づいた変位解析により、撮影された格子画像の変位前後の位相差から得られた面内変位Δyを算出する。
本実施形態では、面内変位Δyを算出するための変位解析の手法の一例として、サンプリングモアレ法を用いる場合について説明する。なお、変位解析の手法の他の例として、一般的なフーリエ変換法や窓付フーリエ変換法、またはウェーブレット変換法などの各種フーリエ変換法が用いられてもよい。
ここで図2を参照し、マーカー1について説明する。図2は、本実施形態に係るマーカー1の一例を示す図である。図2(a)に示すマーカー1aでは、矩形波格子が所定のピッチにおいて繰り返し描かれている。図2(b)に示すマーカー1bでは、アルファベットの文字「A」が所定のピッチにおいて繰り返し描かれている。図2(c)に示すマーカー1cでは、斜線が所定のピッチにおいて繰り返し描かれている。
マーカー1として、マーカー1a、マーカー1b、及びマーカー1cのいずれが用いられてもよい。また、マーカー1に描かれる規則模様の他の例について図6及び図7を参照し後述する。
図3は、本実施形態に係る測定システムMSの構成の一例を示す図である。測定システムMSは、面外変位測定装置10と、撮像部20とを備える。
撮像部20は、マーカー1を撮像する。撮像部20は、撮像したマーカー1の画像を画像データPDとして面外変位測定装置10に供給する。撮像部20は、一例として、CCD(Charge Coupled Device)カメラやCMOS(Complementary metal-oxide-semiconductor)カメラなどの光学式カメラである。撮像部20は、図1のカメラ2に対応する。
面外変位測定装置10は、画像データPDと、ピッチ情報PIと、角度情報AIとに基づいて、面外変位Δzを算出する。面外変位測定装置10は、パラメータ入力部11と、演算処理部12と、表示部13とを備える。面外変位測定装置10は、一例として、パーソナルコンピュータ(PC:Personal Computer)である。
パラメータ入力部11は、面外変位の測定に用いられるパラメータを入力する操作を受け付ける。面外変位の測定に用いられるパラメータには、一例として、マーカー1に繰り返し描かれた格子模様のピッチであるピッチp、及び撮像部20の光軸の方向と撮像部20から物体3の方向とのなす角度θがある。パラメータ入力部11は、一例として、キーボードやマウスなどを含んで構成される。
なお、パラメータ入力部11は、記憶装置に予め記憶されるパラメータを、面外変位の測定に用いられるパラメータとして取得してもよい。この記憶装置は、面外変位測定装置10と一体となって備えられてもよいし、面外変位測定装置10とは独立して備えられてもよい。
パラメータ入力部11は、演算処理部12に、ピッチ情報PI、及び角度情報AIを供給する。ここでピッチ情報PIとは、マーカー1のピッチpを示す情報である。角度情報AIとは、撮像部20の光軸の方向と、撮像部20に対する物体3の方向とのなす角度θを示す情報である。
演算処理部12は、面外変位Δzを算出するための処理である面外変位算出処理を実行する。演算処理部12は、画像取得部120と、ピッチ情報取得部121と、角度情報取得部122と、位相演算部123と、面内変位算出部124と、面外変位算出部125とを備える。
演算処理部12は、CPU(Central Processing Unit)により実現され、演算処理部12は、画像取得部120と、ピッチ情報取得部121と、角度情報取得部122と、位相演算部123と、面内変位算出部124と、面外変位算出部125とは、それぞれ、CPUがROM(Read Only Memory)からプログラムを読み込んで処理を実行することにより実現されるモジュールである。
画像取得部120は、撮像部20から供給される画像データPDを取得する。
ピッチ情報取得部121は、パラメータ入力部11から供給されるピッチ情報PIを取得する。
角度情報取得部122は、パラメータ入力部11から供給される角度情報AIを取得する。
位相演算部123は、位相解析処理を実行する。位相演算部123は、位相解析処理において、画像取得部120が取得した画像データPDと、ピッチ情報取得部121が取得したピッチ情報PIとに基づいて、画像データPDをサンプリング処理して得られるモアレ画像の位相を算出する。
面内変位算出部124は、位相演算部123が算出した位相に基づいて、面内変位Δyを算出する。
面外変位算出部125は、面内変位算出部124が算出した面内変位Δyと、角度情報取得部122が取得した角度情報AIとに基づいて、面外変位Δzを算出する。
表示部13は、演算処理部12が出力する算出結果を表示する。演算処理部12の演算処理の結果には、面外変位Δzが含まれる。表示部13は、一例として、ディスプレイである。
図4は、本実施形態に係る面外変位測定処理の一例を示す図である。なお、本実施形態に係る面外変位測定処理では、y方向についての面内変位Δyは、変位しない、もしくは変位が無視できる程度に小さいとする。
ステップS10:撮像部20は、マーカー1を撮像する。ここで撮像部20は、マーカー1を動画として撮像する。撮像部20は、撮像したマーカー1の画像を画像データPDとして面外変位測定装置10に供給する。画像データPDには、複数のフレームのマーカー1の画像が含まれる。
ステップS20:パラメータ入力部11は、面外変位の測定に用いられるパラメータを入力する操作を受け付ける。パラメータ入力部11は、パラメータとしてピッチpが入力されると、入力されたピッチpを示すピッチ情報PIを生成する。パラメータ入力部11は、パラメータとして角度θが入力されると、入力された角度θを示す角度情報AIを生成する。
パラメータ入力部11は、演算処理部12に、生成したピッチ情報PI、及び角度情報AIを供給する。
角度θは、一例として、使用するカメラ2のレンズの画角から算出される。なお、角度θの算出方法はこれに限らない。角度θは、撮影された画像の画素数と物体3の大きさとの関係から試算されてもよい。角度θは、カメラ2に測量センサを備えて、この測量センサによって算出されてもよい。角度θは、物体3についての設計図面がある場合、測定する箇所の幾何学的関係から算出されてもよい。
ステップS30:演算処理部12は、面外変位算出処理を実行する。
ここで図5を参照し、面外変位算出処理の詳細について説明する。図5は、本実施形態に係る面外変位算出処理の一例を示す図である。図5のステップS100からステップS160の各処理は、図4のステップS30の処理に対応する。
ステップS100:画像取得部120は、撮像部20から供給される画像データPDを取得する。画像取得部120は、取得した画像データPDを位相演算部123に供給する。
上述したように、画像取得部120は、変位の算出対象である物体3の表面に形成されたマーカー1が撮像部20によって撮像された画像データPDを取得する。
ステップS110:ピッチ情報取得部121は、パラメータ入力部11から供給されるピッチ情報PIを取得する。ピッチ情報取得部121は、取得したピッチ情報PIを位相演算部123に供給する。
ステップS120:角度情報取得部122は、パラメータ入力部11から供給される角度情報AIを取得する。角度情報取得部122は、取得した角度情報AIを面外変位算出部125に供給する。
ステップS130:位相演算部123は、位相解析処理を実行する。位相演算部123は、位相解析処理において、画像取得部120が取得した画像データPDと、ピッチ情報取得部121が取得したピッチ情報PIとに基づいて、画像データPDをサンプリング処理して得られるモアレ画像の位相を算出する。
(モアレ画像の位相の算出例)
ここで位相演算部123が、モアレ画像の位相を算出する位相解析処理の詳細について説明する。
位相演算部123は、一例として、特許文献1に記載の公知のサンプリングモアレ法を用いる。位相演算部123は、サンプリングモアレ法を用いることで、所定の模様が所定のピッチにおいて繰り返し描かれたマーカー1に含まれる単一周波数成分を用いて測定対象物である物体3の変位分布を解析することができる。
図6は、本実施形態に係る繰り返し模様の一例を示す図である。
マーカー1に描かれる繰り返し模様として、図6に示す例えば、図6(b)に示す縞格子、図6(c)、(d)に示す2次元格子が利用可能である。中心点Uは、繰り返し模様の中心点を示す。図6(b)に示す縞格子は、垂直方向に一定のピッチで輝度が変化する。図6(c)、(d)に示す縞格子は、それぞれ垂直方向と水平方向に、それぞれ一定のピッチで輝度が変化する。
なお、上述したように本実施形態では、面内変位Δyは、変位しない、もしくは変位が無視できる程度に小さい。そのため本実施形態では、マーカー1に描かれる繰り返し模様としては、水平方向(x方向)にピッチで輝度が変化する図6(a)に示す縞格子は採用しない。
次に、公知のサンプリングモアレ法について説明する。位相演算部123が取得した画像データPDに撮像されたマーカー1の繰り返し模様の輝度分布f(i,j)は、式(1)で表される。
Figure 0007228158000001
式(1)において、f(i,j)は、座標(i,j)における輝度値を示す。i、jは、それぞれ水平方向、垂直方向の座標値を示す。a、b、φ、φは、それぞれ繰り返し模様の振幅、背景輝度、繰り返し模様の初期位相、繰り返し模様の位相である。Pは、画像上のピッチである。
位相演算部123には、パラメータとして所定の間引き間隔Tを設定しておく。間引き間隔Tは、2以上の整数であればよい。間引き間隔Tの単位は画素数である。間引き間隔Tは、Pと等しくてもよいし、異なっていてもよい。位相演算部123は、間引きの開始点kとして0からT-1までのそれぞれについて、垂直方向に間引きを行って、T個の間引き画像を生成する。ここで間引き画像を生成する処理は、空間的なダウンサンプリングに相当する。
位相演算部123は、T個の間引き画像のそれぞれについて、互いに隣接する間引き後の画素の輝度値を補間して、間引き前と同様の間隔で配置された画素毎の輝度値を有するモアレ画像を生成する。間引き画像を生成する手法、モアレ画像を生成する手法は、それぞれ特許文献1に記載されている。
生成されたモアレ画像の輝度値f(i,j;k)は、式(2)で表される。
Figure 0007228158000002
位相演算部123は、T個のモアレ画像のそれぞれについて、離散フーリエ変換を行い任意の空間周波数ωの成分における位相分布φ(i,j;ω)と振幅分布a(i,j;ω)とを算出する。位相分布φ(i,j;ω)は、式(3)で表される。
Figure 0007228158000003
振幅分布a(i,j;ω)は、式(4)で表される。
Figure 0007228158000004
位相演算部123は、各フレームについてマーカー毎に同様な処理を行って、モアレ画像の位相分布φ(i,j;ω)と振幅分布a(i,j;ω)とを算出する。この位相分布φ(i,j;ω)が、上記のモアレ画像の位相に相当する。なお、位相演算部123は、基準時刻のフレームについて、モアレ画像の位相分布φ(i,j;ω)と振幅分布a(i,j;ω)とをマーカー毎に予め取得しておく。
位相演算部123は、各フレームにおける位相分布φ’(i,j;ω)と基準時刻における位相分布φ(i,j;ω)との差である位相差Δφ(i,j;ω)を算出する。
ステップS140:面内変位算出部124は、面内変位を算出する。ここで面内変位算出部124は、式(5)に示すように、位相演算部123が算出した位相差Δφ(i,j;ω)と繰り返し模様のピッチpとに基づいて変位分布Δy(i,j;ω)を算出する。
Figure 0007228158000005
式(5)において、pは測定対象物に表された模様のピッチの現実の長さを表す。pの単位は、ミリメートル、メートルなどである。位相演算部123は、変位量の算出に用いられるパラメータの一部を予め設定しておく。なお、上述のピッチPは、画像上における模様のピッチである点で、現実のピッチの値を示すpとは別個のパラメータである。ここで画像上における模様のピッチであるPは、画素数を単位とする。
位相演算部123は、算出した変位分布Δy(i,j;ω)に振幅分布a(i,j;ω)を乗算して得られた乗算値を周波数間で合成して、周波数間で平均された変位分布Δy(i,j)を算出する。ここで位相演算部123は、振幅分布a(i,j;ω)の代わりに、振幅分布a(i,j;ω)のパワーに比例する重み係数を変位分布Δy(i,j;ω)に乗算してもよい。
なお、上述したステップS130及びステップ140においては、単一周波数成分を用いて測定対象物の変位分布を解析する場合の一例について説明したが、これに限らない。ステップS130及びステップ140において複数の周波数成分を用いて測定対象物の変位分布を解析してもよい。
ここで繰り返し模様に含まれる複数の周波数成分を用いて測定対象物の変位分布を解析するための公知のサンプリングモアレ法について説明する。従って、図6(b)-(d)に例示される繰り返し模様以外にも、垂直方向への輝度の変動に規則性を有する繰り返し模様であれば利用することができる。
位相演算部123が取得した画像データが示す1つのマーカーにおいて表される繰り返し模様の輝度分布g(i,j)は、式(6)で表される。
Figure 0007228158000006
式(6)において、g(i,j)は、座標(i,j)における輝度値を示す。w、a、φ、bは、それぞれ周波数成分の次数、w次の周波数成分の振幅、w次の周波数成分の初期位相である。wは、1以上であってW以下の整数である。Wは、周波数成分の最大次数を示す。Wは、サンプリング定理によりP/2よりも小さく、かつ2以上の整数であればよい。Pは、画像に表された規則性模様のピッチを示す。ここで画像上における模様のピッチであるPは、画素数を単位とする。位相演算部123は、最大次数Wを予め設定しておく。
位相演算部123は、取得した規則性模様の画像を間引き間隔Tで垂直方向に対して間引いて間引き画像を生成する。位相演算部123は、間引きの開始点kとして0からT-1までのそれぞれについて、T個の間引き画像を生成する。位相演算部123は、T個の間引き画像のそれぞれについて、互いに隣接する間引き後の画素の輝度値を補間して、間引き前と同様の間隔で配置された画素毎の輝度値を有する位相がシフトしたモアレ画像を生成する。それぞれのモアレ画像の輝度値g(i,j;m)は、式(7)で表される。
Figure 0007228158000007
位相演算部123は、T個のモアレ画像のそれぞれについて、離散フーリエ変換を行い任意の周波数ωの成分における位相分布φ(i,j;ω)を算出する。位相演算部123は、式(3)が示す輝度値f(i,j;m)に代えて、各次数の輝度値の周波数成分gw,M(i,j;m)を代入して各次数の位相分布φw,M(i,j;w,ω)を算出する。
面内変位算出部124は、位相差Δφw,M(i,j;w,ω)を式(5)の位相差Δφ(i,j;ω)に代入し、第w次のピッチP/wを式(5)のピッチpに代入して変位分布Δy(i,j;w,ω)を算出する。ここで位相差Δφw,M(i,j;w,ω)は、位相演算部123が算出した各フレームにおける位相分布φ’w,M(i,j;w,ω)から基準時刻における位相分布φ(i,j;w,ω)を差し引いて得られる。
面内変位算出部124は、算出した変位分布Δy(i,j;w,ω)に次数ならびに周波数毎の振幅分布a(i,j;w,ω)を乗算して得られた乗算値を、次数ならびに周波数間で合成して、次数ならびに周波数間で平均した変位分布Δy(i,j)を算出してもよい。ここで、面内変位算出部124は、周波数毎の振幅分布a(i,j;w,ω)に代えて、振幅分布a(i,j;w,ω)のパワーに比例する重み係数を乗算してもよい。
なお、面内変位算出部124は、算出した変位分布Δx(i,j)のうち、各マーカーの代表点における変位量もしくは各マーカー内もしくはマーカー内の各領域内の変位量の画素間の平均値を、各マーカーに係る変位量として採用してもよい。ここで各マーカーの代表点とは、例えば、後述する中心点U、中心点U、中心点Uである。
なお、位相演算部123は、撮像部20から取得した画像データPDからモアレ画像の位相を算出する手法として、2段モアレ法を利用してもよい。2段モアレ法は、2段階のモアレ解析処理を有する手法である。
第1段階の処理は、取得した画像に対してサンプリングモアレ法を用いて第1段階のモアレ画像の位相分布を生成する処理である。第2段階の処理は、第2段階の繰り返し模様として第1段階のモアレ画像の位相分布に対してサンプリングモアレ法を用いて第2段階のモアレ画像の位相分布を生成する処理である。
位相演算部123が2段モアレ法を用いる場合、面内変位算出部124は、第2段階のモアレ画像の位相分布から各マーカーの変位分布を生成し、生成した変位分布に基づく変位量を得る。
繰り返し模様の変化方向は、水平方向に交差する方向であれば、垂直方向に限られず、斜め方向であってもよい。斜め方向は、垂直方向と水平方向とのいずれにも交差する方向である。
図7は、本実施形態に係る斜め方向の繰り返し模様の一例を示す図である。
図7(a)に例示される繰り返し模様では、図面に対して左上方向に輝度が一定ピッチで繰り返される。図7(b)、(c)に例示される繰り返し模様は、それぞれ2つの領域を有し、領域ごとに輝度の繰り返し方向が異なる。
図7(b)に例示される繰り返し模様は、垂直方向に2つの領域に区分され、図面に対して上方の領域R1bの中心点、下方の領域R2bの中心点が、それぞれ中心点U、中心点Uとなる。図面に対して上方の領域R1bの模様の繰り返し方向は、左上方向であるのに対して、下方の領域R2bの模様の繰り返し方向は、右上方向である。
図7(c)に例示される繰り返し模様は、水平方向に2つの領域に区分され、図面に対して左方の領域R1cの中心点、右方の領域R2cの中心点が、それぞれ中心点U、中心点Uとなる。図面に対して左方の領域R1cの模様の繰り返し方向は、右上方向であるのに対して、右方の領域R2cの模様の繰り返し方向は、左上方向である。
図7(d)に例示される繰り返し模様は、図面に対して左上方向と右上方向のいずれにも輝度が一定ピッチで繰り返される2次元格子である。
従って、繰り返し方向が斜め方向である繰り返し模様であっても、面内変位算出部124は、垂直方向のピッチpが、p/cosψとなる繰り返し模様として、変位量を算出することができる。ここで、pは、繰り返し方向への繰り返し模様のピッチを示し、ψは、垂直方向と繰り返し方向とのなす角度を示す。
また、繰り返し方向が斜め方向である繰り返し模様を用いることで、一方向の大きさが長手方向よりも小さい細長い試料であっても、面内変位算出部124は、長手方向のモアレ画像の位相差に基づいて測定精度を犠牲にせずに一方向の変位量を求めることができる。そのため、各マーカーの形状や設置場所の自由度を高くすることができる。例えば、マーカーの垂直方向の高さは、水平方向の幅に比べて小さくてもよい。マーカーの形状は平型であってもよいし、柱状であってもよい。そのため、マーカーの設置場所に対する条件が緩和される。但し、繰り返し方向は、水平方向から十分に離れた角度(例えば、角度θは、-75°~75°)であることが望ましい。
上述したように、面内変位算出部124は、位相演算部123が算出した位相差と、ピッチpとに基づいて面内変位を算出する。ここで位相演算部123は、位相差を画像取得部120によって取得された変位前画像及び変位後画像に基づいて算出する。
つまり、面内変位算出部124は、画像取得部120によって取得された画像データPDと、ピッチ情報取得部121によって取得されたピッチ情報PIが示すピッチPとに基づいて、撮像部20によって撮像された画像におけるみかけの変位であって、マーカー1が撮像される撮像面に平行な方向のうちの所定の方向についての変位である面内変位を算出する。
また、上述したように面内変位算出部124は、モアレ法に基づいて面内変位Δyを算出する。
ここで所定の方向とは、面内変位のうち変位しない、もしくは変位が無視できる程度に小さい方向である。なお、所定の方向とは、撮像面に平行な方向のうち物体3の変位が最も小さい方向であればよい。
図5に戻って面外変位測定処理の説明を続ける。
ステップS150:面外変位算出部125は、面内変位算出部124が算出した面内変位Δyと、角度情報取得部122が取得した角度情報AIとに基づいて、面外変位Δzを算出する。ここで面外変位算出部125は、式(8)を用いて、面内変位算出部124が算出した面内変位Δyを換算することによって面外変位Δzを算出する。
Figure 0007228158000008
式(8)の関係により、x方向またはy方向のいずれか一方の面内変位がゼロである場合、構造物の変位前後の画像を、サンプリングモアレ法を用いて面内変位がゼロである方向に変位解析を行うことにより、面内変位解析で得られた面内変位Δxまたは面内変位Δyから面外変位Δzを求めることができる。
また、式(8)の関係から、角度θが大きいほど、面外変位Δzの測定感度が大きくなり、精度の良い測定ができる。
上述したように、面外変位算出部125は、角度情報取得部122によって取得される角度情報AIが示す角度θと、面内変位算出部124によって算出される面内変位Δyとに基づいて、撮像面に垂直な方向についての変位である面外変位Δzを算出する。
ここで面外変位算出部125は、式(8)に基づいて面外変位Δzを算出する。つまり、面外変位算出部125は、面内変位算出部124によって算出される面内変位Δyを、角度情報取得部122によって取得される角度情報AIが示す角度θの正接によって除算することによって面外変位Δzを算出する。
ステップS160:演算処理部12は、面外変位算出処理の結果として、面外変位Δzを表示部13に出力する。
以上で、演算処理部12は、面外変位算出処理を終了する。
図4に戻って面外変位測定処理の説明を続ける。
ステップS40:表示部13は、演算処理部12が出力する算出結果を表示する。表示部13は、算出結果として面外変位Δzを表示する。
以上で、測定システムMSは、面外変位測定処理を終了する。
(撮像部の設置位置)
図8は、本実施形態に係るカメラ2の設置位置の一例を示す図である。比較のために図8(a)に従来の面外変位測定方法によるカメラの設置位置を示し、図8(b)に本実施形態の面外変位測定によるカメラの設置位置を示す。
図8では、物体3の面外変位Δzとして、橋梁3Bのたわみを測定する場合の一例について説明する。橋梁3Bでは、中央が最もたわみやすく、特にこの中央におけるたわみを測定することが求められる。図2、図6、及び図7において示したようなマーカーが、橋梁3Bの中央の床版の下部に予め貼り付けられる。
なお、マーカーが貼り付けられる代わりに、橋梁3Bの中央の床版の下部にマーカーとして規則模様が塗布されてもよい。つまり、マーカーは、変位の算出対象である物体の表面に形成される。
従来の面外変位測定方法では、格子ピッチの変化から面外変位を算出する。従来の面外変位測定方法では、カメラ2aを橋梁3Bの最もたわみやすい位置である中央の直下に設置することが多い。しかしながら、カメラ2aから橋梁3Bの床版までの距離Daが遠くなると、カメラ2aが撮像する画像における格子ピッチの変化はわずかであり、微小な面外変位を測定することは困難である。
一方、本実施形態ではカメラ2bを橋梁3Bの橋脚のそばに設置する。そのため、カメラ2bからみた橋梁3Bの中央の方向は、カメラレンズの光軸に対して角度θだけ傾いている。つまり、カメラ2bは、橋梁3Bの中央を斜めから撮影することになる。
上述の図1に示したように、物体がP1からQ1に変形、すなわち面外方向にΔz変位すると、カメラ2bが撮像する画像の上ではあたかもP1からP’1に変形しているように撮像される。このことは、本来測定したい面外変位Δzが見かけの面内変位Δyとして撮像されることを意味する。言い換えれば、精度の高い面内変位Δyを測定して、カメラ2bの画角や幾何学的な配置によるレンズの光軸から測定点のなす角度θを考慮することで、従来の面外変位測定方法では、測定困難だった面外変位を精度よく測定できる。
ここで測定点とは、変位を測定する物体の表面上の点である。マーカーは測定点に設置される。
ただし、この方法では物体の測定点において、面内変位と面外変位が同時に発生している場合は、面内変位と面外変位との両方の変位量が加算された量が、見かけ上の面内変位となる。
そこで、本実施形態では測定する物体は2次元の面内方向(x方向とy方向)において、どちらかの方向は変形しないまたはその変形量が無視できるほど少ないと仮定する。本実施形態では、この仮定の下で、変形しない方向の格子の見かけの面内変位を算出して、式(8)に示したように角度θを考慮した補正を行うことで、面外変位を測定する。
したがって、本実施形態に係る面外変位測定方法は、3次元空間で3次元的に自由に変形できる物体の面外変位の測定に適用する場合、2次元の面内方向においてどちらかの方向は変形しないまたはその変形量が無視できるほど少ないと考えられる場合に比べて測定の精度は低くなると考えられる。本実施形態に係る面外変位測定方法は、橋梁やトンネルなどのインフラ構造物のように1方向が拘束されていると考えられる物体における面外変位を測定する場合に有効である。
図8(b)の例の場合、橋梁3Bは列車の通過に伴い、列車の進行方向(y方向)と上下方向(z方向)には変形するが、列車の進行方向と垂直な方向(x方向)では、地震や強風などの強い外力を加えない限り変形しないと考えられる。
このことを利用して、2次元のマーカー1を撮影して、y方向から算出される面内変位Δyをそのままy方向の面内変位として算出し、x方向から算出される面内変位dxを列車の重量による橋梁3Bのたわみである面外変位Δzに換算することで、カメラ2bから測定対象である橋梁3Bの中央までの距離が遠くなっても、面外変位Δzを従来よりも高い精度において測定できるようになる。
ここで図9を参照し、測定点の他の選び方の例について説明する。図9は、本実施形態に係る測定点の一例を示す図である。測定点は測定対象である物体の任意の点に複数選んでよい。図9では、橋梁3Bの面外変位の測定点として、測定点M1-2、測定点M1-3、及び基準点A1が示されている。
複数の測定点を選ぶ場合、複数の測定点毎に、マーカー1が設置される。マーカー1-1は、基準点A1に設置される。マーカー1-2は、測定点M1-2に設置される。マーカー1-3は、測定点M1-3に設置される。
複数の測定点は、カメラ2bからみてカメラ2bの画角Vの範囲内に位置する。したがって、複数の測定点毎に設置されたマーカー1-1、マーカー1-2、及びマーカー1-3は、カメラ2bによって1つのフレームに同時に撮像される。
複数の測定点を選ぶ場合、測定対象物の変位分布が算出されてよい。また、複数の測定点を選ぶ場合、同じ撮影画像の中において変位のないまたは変位量が少ない点と基準点A1における変位量との相対変位を取ることによって、カメラ2bのぶれの影響を低減でき、変位測定の精度の向上が期待できる。
(橋梁直下からの撮影による面外変位測定)
図10から図15を参照し、橋梁直下からの撮影による面外変位測定について説明する。
本実施形態に係る面外変位の測定方法による、橋梁直下からの撮影による面外変位測定により、橋梁のたわみ(面外変位)の測定を行った。特許文献1に記載されるような従来の面外変位測定方法による測定結果と比較することで、本実施形態に係る面外変位測定方法の有効性を確認する。
図10は、本実施形態に係る測定対象の橋梁3Cの一例を示す図である。橋梁3Cでは橋桁間の距離は30メートルであり、橋梁3Cの床版から地面までの高さは約16メートルである。橋梁3Cの橋脚の根元には、デジタルカメラ2cが備えられている。
図11は、本実施形態に係る変位測定のセットアップの一例を示す図である。
本実施形態では、測定用の格子マーカーの規則模様として、マーカー1cを使用した。マーカー1cは、図2(c)や図7(b)に示したような一組の斜め方向の格子対が所定のピッチにおいて繰り返し描かれたマーカーである。マーカー1cのピッチと角度はそれぞれ71ミリメートル、45度及び、88ミリメートル、-45度である。
図12は、本実施形態に係るマーカー1cの設置位置の一例を示す図である。マーカー1cとして、マーカー1c-1、マーカー1c-2、マーカー1c-3、マーカー1c-4、マーカー1c-A、及びマーカー1c-Bは、橋梁3Cの底面の6箇所に設置されている。図12では、マーカー1cとして、マーカー1c-1、マーカー1c-2、マーカー1c-3、マーカー1c-4、マーカー1c-A、及びマーカー1c-Bが撮像された画像が示されている。
底面の6箇所のうち橋脚側の2カ所を基準点とし、残り4カ所を測定点として測定を行った。マーカー1c-1及びマーカー1c-3は、橋梁中央(1/2点)に位置する測定点M1及び測定点M3にそれぞれ設置した。マーカー1c-2及びマーカー1c-4は、橋梁中央と橋脚の中間地点(1/4点)に位置する測定点M2及び測定点M4にそれぞれ設置した。マーカー1c-A、及びマーカー1c-Bは、橋脚の付近に位置する基準点A及び基準点Bにそれぞれ設置した。測定点M1、測定点M2及び基準点Aは、列車の上り線の直下に位置する。測定点M3、測定点M4及び基準点Bは、列車の下り線の直下に位置する。
橋梁3Cの真下にデジタルカメラ2cを設置し、デジタルカメラ2cから約16メートル離れた橋梁の床版部にあらかじめ貼り付けられた格子マーカーを橋梁の上り線を列車が通過する際に動画撮影を行い、サンプリングモアレ法により面外変位を測定する。動画の撮影フレームレートは、一例として24fpsである。
上り線を列車TRが通過するため、測定点M1、測定点M2、及び基準点Aの直上を列車TRが通過することになる。橋梁3Cでは、x方向に面内変位が発生するため、y方向には面内変位が生じないと仮定して、面外方向の変位を解析した。ここでx方向は、列車TRの通過方向である。y方向は、列車TRの通過方向に垂直な方向である。
図13は、本実施形態に係るy方向の変位測定のセッティングの一例を示す図である。面外変位計算の際の画角は、上述の図12の画像上のピクセル数から計算した。図13における画角θ1及びθ2は、いずれも15°となった。
本実施形態に係る面外変位測定方法と従来の測定方法(正対方向からの変位測定)との比較のため、本実施形態に係る面外変位測定方法による測定と同時に、橋梁から30m離れた位置から橋梁側面(上り線側の側面)を撮影し、橋梁の上下方向の変位を測定した。測定位置の関係は、本実施形態に係る面外変位測定方法の測定点M1に相当する。つまり、橋梁の中央の上り線側に格子マーカーを設置した。従来の測定方法においても、本実施形態に係る面外変位測定方法と同様にシネマカメラで動画撮影をし、格子マーカーとして格子ピッチ50mmの2次元のドット格子マーカーを使用した。
図14及び図15は、本実施形態に係る面外変位の測定結果の一例を示す図である。図14(a)は、比較のための従来の測定方法による同条件の変位量のグラフを示す。図14(b)は、本実施形態に係る面外変位測定方法で測定点M1の面外変位を解析した場合の橋梁の変位量のグラフを示す。また、図15(a)に図12における測定点M2、図15(b)には測定点M3、図15(c)には測定点M4における面外変位の測定結果をそれぞれ示す。
図14(a)と図14(b)を比較すると、本実施形態に係る面外変位測定方法と従来の測定方法ではほぼ同等の変位量のピーク値が得られており、全体としても10%以内の誤差となっていることが確認できた。本実施形態に係る面外変位測定方法において、規則模様の大きさ、ピッチ及び形状を適切に選択することにより、精度の更なる改善が期待できる。
図14(b)と図15との測定結果から、本実施形態に係る面外変位測定方法によって、列車TRが通過する時の複数の測定点の変位が同時に測定できることを確認できた。これは従来の測定方法にない利点である。図14(b)と図15(a)を比較すると、即ち測定点M1と測定点M2を比較すると、波形のピーク値がほぼ半分近い値となっており、測定点M2(橋梁の1/4点)の変位量としては妥当な値が得られていることが確認できた。
図14と図15に示す解析結果を比較すると、列車TRの通過した側の変位と、列車TRが通過していない側の変位の差が見られる。すなわち、測定点M3及び測定点M4の変位は、測定点M1と比較して小さい値となっていることが確認できる。以上の結果から、単一のカメラで物体から遠く離れても全視野で高精度な面外変位が測定できることが確認できた。
以上に説明したように、本実施形態に係る変位測定装置(この一例において、面外変位測定装置10)は、画像取得部120と、ピッチ情報取得部121と、角度情報取得部122と、面内変位算出部124と、面外変位算出部125とを備える。
画像取得部120は、所定の模様が所定のピッチpにおいて繰り返し描かれたマーカーであって、変位の算出対象である物体3の表面に形成されたマーカー1が撮像された画像(この一例において、画像データPD)を取得する。
ピッチ情報取得部121は、マーカー1のピッチpを示すピッチ情報PIを取得する。
角度情報取得部122は、撮像部20の光軸の方向と、撮像部20に対する物体3の方向とのなす角度θ示す角度情報AIを取得する。
位相演算部123は、画像取得部120によって取得された画像(この一例において、画像データPD)と、ピッチ情報取得部121によって取得されたピッチ情報PIが示すピッチpとに基づいて、撮像部20によって撮像された画像におけるみかけの変位であって、マーカー1が撮像される撮像面に平行な方向のうちの所定の方向についての変位である面内変位Δyを算出する。
面外変位算出部125は、角度情報取得部122によって取得される角度情報AIが示す角度θと、面内変位算出部124によって算出される面内変位Δyとに基づいて、撮像面に垂直な方向についての変位である面外変位Δzを算出する。
この構成により、本実施形態に係る変位測定装置(この一例において、面外変位測定装置10)では、面外変位Δzの測定精度よりも高い面内変位Δyを算出してこの面内変位Δyを面外変位Δzに変換することができるため、物体3の面外変位Δzの測定精度を向上させることができる。
従来の面外変位の測定方法では、物体とカメラとの間の距離が大きい場合、規則模様のピッチの変化が十分に捉えられず、面外変位が十分に高い精度において測定することが困難であった。面外変位の測定精度は、一般的に面内変位の測定精度よりは10倍も低くピッチの100分の1程度であり、距離が遠くなればなるほど測定精度は低下する。
本実施形態に係る変位測定装置(この一例において、面外変位測定装置10)では、特に撮像部20と離れた位置にある物体3の面外変位Δzを測定する場合に有効である。本実施形態に係る変位測定装置(この一例において、面外変位測定装置10)では、ピッチの1000分の1の精度で微小な面内変位分布を測定できる。
また、本実施形態に係る変位測定装置(この一例において、面外変位測定装置10)では、カメラ及び格子マーカーの設置に制約があり物体の変位測定が困難な場合において、カメラと格子マーカーとの設置に柔軟性を持たせ、物体の変位測定における制約を緩和することができる。
従来の面外変位の測定方法では、測定対象の物体が橋梁である場合、高架橋のように橋脚が数メートルや数十メートルあり橋脚が高い場合には、十分な精度が得られないだけでなく、橋梁中央の直下にカメラを設置する必要があるため、橋梁が河川や渓谷を跨ぐ場合にカメラの設置が困難である。
一方、本実施形態に係る変位測定装置(この一例において、面外変位測定装置10)では、カメラを測定位置に正対する位置に配置する必要がないため、構造物の測定において、カメラの設置が困難な場所においても構造物の変位及び振動が測定できるため、測定における場所の制約が従来に比べて少なく様々な構造物の変位及び振動を測定することが可能となる。このことから、特に電車が通過する高架橋や高速道路などの橋梁のたわみ測定に有効である。
また、本実施形態に係る変位測定装置(この一例において、面外変位測定装置10)では、所定の方向とは、撮像面に平行な方向のうち物体3の変位が最も小さい方向(この一例において、y方向)である。
この構成により、本実施形態に係る変位測定装置(この一例において、面外変位測定装置10)では、面外変位Δzを算出するのに用いるみかけの面内変位Δyの誤差を最小にできるため、所定の方向が撮像面に平行な方向のうち物体3の変位が最も小さい方向でない場合に比べて、面外変位Δzの測定精度を向上できる。ここでみかけの面内変位Δyの誤差とは、面内変位Δyがゼロである場合に対する誤差である。
また、本実施形態に係る変位測定装置(この一例において、面外変位測定装置10)では、面外変位算出部125は、面内変位算出部124によって算出される面内変位Δyを、角度情報取得部122によって取得される角度情報AIが示す角度θの正接によって除算することによって面外変位Δzを算出する。
この構成により、本実施形態に係る変位測定装置(この一例において、面外変位測定装置10)では、物体3の測定点が撮像部20の光軸から角度θだけずれた位置にある場合に角度θのずれを補正して面外変位Δzを算出できるため、面内変位Δyを角度θの正接によって除算することによって面外変位Δzを算出しな場合に比べて面外変位Δzの測定精度を向上できる。
なお、上述した実施形態における変位測定装置の一部、例えば、画像取得部120、ピッチ情報取得部121、角度情報取得部122、位相演算部123、面内変位算出部124、及び面外変位算出部125をコンピュータで実現するようにしてもよい。その場合、この制御機能を実現するためのプログラムをコンピュータ読み取り可能な記録媒体に記録して、この記録媒体に記録されたプログラムをコンピュータシステムに読み込ませ、実行することによって実現してもよい。なお、ここでいう「コンピュータシステム」とは、面外変位測定装置10に内蔵されたコンピュータシステムであって、OSや周辺機器等のハードウェアを含むものとする。また、「コンピュータ読み取り可能な記録媒体」とは、フレキシブルディスク、光磁気ディスク、ROM、CD-ROM等の可搬媒体、コンピュータシステムに内蔵されるハードディスク等の記憶装置のことをいう。さらに「コンピュータ読み取り可能な記録媒体」とは、インターネット等のネットワークや電話回線等の通信回線を介してプログラムを送信する場合の通信線のように、短時間、動的にプログラムを保持するもの、その場合のサーバやクライアントとなるコンピュータシステム内部の揮発性メモリのように、一定時間プログラムを保持しているものも含んでもよい。また上記プログラムは、前述した機能の一部を実現するためのものであってもよく、さらに前述した機能をコンピュータシステムにすでに記録されているプログラムとの組み合わせで実現できるものであってもよい。
また、上述した実施形態における面外変位測定装置10の一部、または全部を、LSI(Large Scale Integration)等の集積回路として実現してもよい。面外変位測定装置10の各機能ブロックは個別にプロセッサ化してもよいし、一部、または全部を集積してプロセッサ化してもよい。また、集積回路化の手法はLSIに限らず専用回路、または汎用プロセッサで実現してもよい。また、半導体技術の進歩によりLSIに代替する集積回路化の技術が出現した場合、当該技術による集積回路を用いてもよい。
以上、図面を参照してこの発明の一実施形態について詳しく説明してきたが、具体的な構成は上述のものに限られることはなく、この発明の要旨を逸脱しない範囲内において様々な設計変更等をすることが可能である。
本発明は、サンプリングモアレ法などの位相解析方法に基づいて物体の面外変位を遠い距離からの撮影でも解析できるため、画像撮影場所の制約が緩和され、構造物の変位計測が可能な範囲を拡張することが可能となる。
例えば、橋梁が河川や渓谷、海などを跨ぐ場合、橋脚の根元にカメラを設置して測定ができるため、従来の方法では困難であった場所での変位測定が可能となる。
また、橋梁の下にカメラを設置するため、雨や雪の測定への影響を少なくできる。
本発明は、サンプリングモアレ法などの位相解析方法により得られた面内変位量から面外変位を求めているため、カメラと測定対象物との距離が離れている場合でも、従来の測定方法に比べて精度の良い変位計測が可能となる。
上述した実施形態では、橋梁構造物のたわみ計測を例に示したが、本発明は、小さいスケールの構造体の面外変位測定にも応用できる。
10…面外変位測定装置、120…画像取得部、121…ピッチ情報取得部、122…角度情報取得部、124…面内変位算出部、125…面外変位算出部、20…撮像部、1…マーカー、3…物体

Claims (5)

  1. 所定の模様が所定のピッチにおいて繰り返し描かれたマーカーであって、変位の算出対象である物体の表面に形成されたマーカーが撮像部によって撮像された画像を取得する画像取得部と、
    前記マーカーの前記ピッチを示すピッチ情報を取得するピッチ情報取得部と、
    前記撮像部の光軸の方向と、前記撮像部に対する前記物体の方向とのなす角度を示す角度情報を取得する角度情報取得部と、
    前記画像取得部によって取得された前記画像と、前記ピッチ情報取得部によって取得された前記ピッチ情報が示す前記ピッチとに基づいて位相解析処理によって、前記撮像部によって撮像された時刻における前記画像の位相の基準時刻における前記画像の位相に対する位相差を算出する位相演算部と、
    前記位相演算部によって算出された前記位相差と、前記ピッチ情報取得部によって取得された前記ピッチ情報が示す前記ピッチとに基づいて、前記画像におけるみかけの変位であって、前記マーカーが撮像される撮像面に平行な方向のうちの所定の方向についての変位である面内変位を算出する面内変位算出部と、
    前記角度情報取得部によって取得される角度情報が示す前記角度と、前記面内変位算出部によって算出される前記面内変位とに基づいて、前記撮像面に垂直な方向についての変位である面外変位を算出する面外変位算出部と、
    を備える変位測定装置。
  2. 前記所定の方向とは、前記撮像面に平行な方向のうち前記物体の変位が最も小さい方向である
    請求項1に記載の変位測定装置。
  3. 前記面外変位算出部は、前記面内変位算出部によって算出される前記面内変位を、前記角度情報取得部によって取得される角度情報が示す前記角度の正接によって除算することによって前記面外変位を算出する
    請求項1または請求項2に記載の変位測定装置。
  4. 所定の模様が所定のピッチにおいて繰り返し描かれたマーカーであって、変位の算出対象である物体の表面に形成されたマーカーが撮像部によって撮像された画像を取得する画像取得過程と、
    前記マーカーの前記ピッチを示すピッチ情報を取得するピッチ情報取得過程と、
    前記撮像部の光軸の方向と、前記撮像部に対する前記物体の方向とのなす角度を示す角度情報を取得する角度情報取得過程と、
    前記画像取得過程によって取得された前記画像と、前記ピッチ情報取得過程によって取得された前記ピッチ情報が示す前記ピッチとに基づいて位相解析処理によって、前記撮像部によって撮像された時刻における前記画像の位相の基準時刻における前記画像の位相に対する位相差を算出する位相演算過程と、
    前記位相演算過程によって算出された前記位相差と、前記ピッチ情報取得過程によって取得された前記ピッチ情報が示す前記ピッチとに基づいて、前記画像におけるみかけの変位であって、前記マーカーが撮像される撮像面に平行な方向のうちの所定の方向についての変位である面内変位を算出する面内変位算出過程と、
    前記角度情報取得過程によって取得される角度情報が示す前記角度と、前記面内変位算出過程によって算出される前記面内変位とに基づいて、前記撮像面に垂直な方向についての変位である面外変位を算出する面外変位算出過程と、
    を有する変位測定方法。
  5. コンピュータに、
    所定の模様が所定のピッチにおいて繰り返し描かれたマーカーであって、変位の算出対象である物体の表面に形成されたマーカーが撮像部によって撮像された画像を取得する画像取得ステップと、
    前記マーカーの前記ピッチを示すピッチ情報を取得するピッチ情報取得ステップと、
    前記撮像部の光軸の方向と、前記撮像部に対する前記物体の方向とのなす角度を示す角度情報を取得する角度情報取得ステップと、
    前記画像取得ステップによって取得された前記画像と、前記ピッチ情報取得ステップによって取得された前記ピッチ情報が示す前記ピッチとに基づいて位相解析処理によって、前記撮像部によって撮像された時刻における前記画像の位相の基準時刻における前記画像の位相に対する位相差を算出する位相演算ステップと、
    前記位相演算ステップによって算出された前記位相差と、前記ピッチ情報取得ステップによって取得された前記ピッチ情報が示す前記ピッチとに基づいて、前記画像におけるみかけの変位であって、前記マーカーが撮像される撮像面に平行な方向のうちの所定の方向についての変位である面内変位を算出する面内変位算出ステップと、
    前記角度情報取得ステップによって取得される角度情報が示す前記角度と、前記面内変位算出ステップによって算出される前記面内変位とに基づいて、前記撮像面に垂直な方向についての変位である面外変位を算出する面外変位算出ステップと、
    を実行させるためのプログラム。
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