JP7219611B2 - 光硬化性組成物、及び硬化物 - Google Patents
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Description
例えば、めっき造形物を製造するための鋳型パターンの形成に好適な光硬化性組成物として、アミド構造を有する特定の構造の単位を含むアルカリ可溶性樹脂と、少なくとも1個のエチレン性不飽和二重結合を有する化合物と、感放射線性ラジカル重合開始剤とをネガ型感放射線性樹脂組成物が提案されている(特許文献1を参照)。
また、特許文献1に記載される光硬化性組成物を用いてめっき用の鋳型パターンを形成する際には、アルカリ現像液を用いる現像によりパターニングされる。このため、特許文献1に記載される光硬化性組成物の硬化物はアルカリ溶解性に劣る。
その結果、特許文献1に記載される光硬化性組成物の硬化物は、アルカリ性の剥離液ではなく、有機溶剤型の剥離液を用いて基板から剥離される。
この点、少なくとも1個のエチレン性不飽和二重結合を有する化合物については室温で液状である場合が多い。このため、光硬化性組成物を、少なくとも1個のエチレン性不飽和二重結合を有する化合物が主成分である構成とすれば、有機溶剤を含まない光硬化性組成物を得ることができる。
このため、剥離後の残渣を低減させる目的で、光硬化性組成物の硬化物について、アルカリ性の剥離液により容易に溶解除去できることが求められている。
重合性単量体(A)が、カルボキシ基を有する(メタ)アクリル酸エステル(A1)と、環式骨格含有基を有する(メタ)アクリル酸エステル(A2)とを含み、
光硬化性組成物が、Tgが40℃以上であり、且つアルカリ可溶性である硬化物を与え、
環式骨格含有基中の環式骨格における環構成原子数が、5以上であり、
(メタ)アクリル酸エステル(A2)は、モノ(メタ)アクリレート化合物であり、
(メタ)アクリル酸エステル(A1)が下記式(a1):
CH2=CRa1-CO-O-Ra2-O-CO-Ra3-COOH・・・(a1)
で表される化合物であり、
式(a1)中、Ra1は水素原子又はメチル基であり、Ra2は、2価の有機基であり、Ra3は、部分的に又は完全に水素化されていてもよく、置換基を有していてもよいo-フェニレン基である、光硬化性組成物である。
光硬化性組成物は、重合性単量体(A)と、光重合開始剤(B)とを含む。
重合性単量体(A)は、カルボキシ基を有する(メタ)アクリル酸エステル(A1)と、環式骨格含有基を有する(メタ)アクリル酸エステル(A2)とを含む。
カルボキシ基を有する(メタ)アクリル酸エステル(A1)は、下記式(a1):
CH2=CRa1-CO-O-Ra2-O-CO-Ra3-COOH・・・(a1)
で表される化合物である
式(a1)中、Ra1は水素原子又はメチル基であり、Ra2は、2価の有機基であり、Ra3は、部分的に又は完全に水素化されていてもよく、置換基を有していてもよいo-フェニレン基である。
(メタ)アクリル酸エステル(A2)について、環式骨格含有基中の環式骨格における環構成原子数が、5以上である。また、(メタ)アクリル酸エステル(A2)は、モノ(メタ)アクリレート化合物である。
さらに、上記の光硬化性組成物は、Tgが40℃以上であり、且つアルカリ可溶性である硬化物を与える。
光硬化性組成物が上記の要件を満たすことによって、良好な光硬化性と、硬化物に関するアルカリ性の剥離液による良好な剥離性とを両立することができる。
ここで、硬化物のTgとは、露光量1000mJ/cm2で硬化された膜厚10μmの硬化膜のTgである。
前述の通り、重合性単量体(A)は、所定の構造のカルボキシ基を有する(メタ)アクリル酸エステル(A1)と、環式骨格含有基を有する(メタ)アクリル酸エステル(A2)とを含む。また、重合性単量体(A)は、本発明の目的を阻害しない範囲において、(メタ)アクリル酸エステル(A1)及び(メタ)アクリル酸エステル(A2)以外の、その他の単量体(A3)を含んでいてもよい。
以下、重合性単量体(A)に関して、(メタ)アクリル酸エステル(A1)、(メタ)アクリル酸エステル(A2)、及びその他の単量体(A3)について説明する。
(メタ)アクリル酸エステル(A1)は、下記式(a1):
CH2=CRa1-CO-O-Ra2-O-CO-Ra3-COOH・・・(a1)
で表される化合物である
式(a1)中、Ra1は水素原子又はメチル基である。Ra2は、2価の有機基である。Ra3は、部分的に又は完全に水素化されていてもよく、置換基を有していてもよいo-フェニレン基である。
上記の炭化水素基の具体例の中では、アルキレン基、脂環式炭化水素基、及び芳香族炭化水素基が好ましく、アルキレン基がより好ましい。
Ra2としてのアルキレン基の好適な例としては、メチレン基、エタン-1,2-ジイル基、エタン-1,1-ジイル基、プロパン-1,3-ジイル基、プロパン-1,2-ジイル基、プロパン-1,1-ジイル基、プロパン-2,2-ジイル基、n-ブタン-1,4-ジイル基、n-ペンタン-1,5-ジイル基、n-ヘキサン-1,6-ジイル基、n-ヘプタン-1,7-ジイル基、n-オクタン-1,8-ジイル基、n-ノナン-1,9-ジイル基、及びn-デカン-1,10-ジイル基が挙げられる。
これらの中では、メチレン基、エタン-1,2-ジイル基、プロパン-1,3-ジイル基、プロパン-1,2-ジイル基、及びn-ブタン-1,4-ジイル基が好ましく、エタン-1,2-ジイル基がより好ましい。
置換基の例としては、炭素原子数1以上4以下のアルキル基、炭素原子数1以上4以下のアルコキシ基、炭素原子数2以上4以下の脂肪族アシル基、炭素原子数2以上4以下の脂肪族アシルオキシ基、炭素原子数2以上4以下のアルコキシカルボニル基、1又は2の炭素原子数1以上4以下のアルキル基で置換されていてもよいアミノ基、シアノ基、及びハロゲン原子等が挙げられる。
(メタ)アクリル酸エステル(A2)は、環式骨格含有基を有する(メタ)アクリル酸エステルである。環式骨格について、環構成原子数が5以上である環式骨格である。
なお、(メタ)アクリル酸エステル(A1)も、感光性原子数が5以上である環式骨格を有するが、本出願の特許請求の範囲及び明細書において、(メタ)アクリル酸(A1)は(メタ)アクリル酸(A2)に含まれない。
光硬化性組成物がかかる(メタ)アクリル酸エステル(A2)を含むことにより、40℃以上のTgを示す硬化物を形成でき、また硬化物に容易に変形しない良好な機械的特性が付与される。
(メタ)アクリル酸のエステル形成性誘導体としては、例えば、(メタ)アクリル酸塩化物や(メタ)アクリル酸臭化物のような(メタ)アクリル酸ハライドが挙げられる。
脂肪族炭化水素環からなる環式基の具体例としては、シクロペンチル基、シクロヘキシル基、シクロヘプチル基、及びシクロオクチル基等のシクロアルキル基や、アダマンタン、ノルボルナン、イソボルナン、トリシクロデカン、及びテトラシクロドデカン等のポリシクロアルカンから1個の水素原子を除いた基や、これらのポリシクロアルカンのC1-C4アルキル置換体から1個の水素原子を除いた基が挙げられる。
CH2=CRa1-CO-O-Ra4-Ra5・・・(a2)
式(a2)中、Ra1は、水素原子、又はメチル基である。Ra4は、単結合、又は2価の鎖状連結基である。Ra5は、環構成原子数が5以上である炭化水素環である。
Ra4としての2価の連結基は、2価の脂肪族炭化水素基であってもよく、N、O、S、P、B、Si、ハロゲン原子等のヘテロ原子を含む2価の鎖状脂肪族基であってもよい。Ra4としての2価の連結基としては、炭素原子数1以上4以下のアルキレン基が好ましい。かかるアルキレン基の具体例としては、メチレン基、エタン-1,2-ジイル基、エタン-1,1-ジイル基、プロパン-1,3-ジイル基、プロパン-1,2-ジイル基、及びブタン-1,4-ジイル基が挙げられる。
前述の通り、重合性単量体(A)は、本発明の目的を阻害しない範囲で、(メタ)アクリル酸エステル(A1)、及び(メタ)アクリル酸エステル(A2)以外のその他の単量体(A3)を含んでいてもよい。その他の単量体(A3)は、1種を単独で使用されても、2種以上を組み合わせて使用されてもよい。
より好ましくは、重合性単量体(A)の質量に対する、(メタ)アクリル酸エステル(A1)の質量の比率が35質量%以上65質量%以下であり、且つ、重合性単量体(A)の質量に対する、(メタ)アクリル酸エステル(A2)の質量の比率が35質量%以上65以下%以下である。
光硬化性組成物は、前述の重合性単量体(A)を硬化させるための成分として光重合開始剤(B)を含む。光重合開始剤(B)としては、従来より、エチレン性不飽和二重結合を有する重合性化合物を重合させるために使用されている種々の化合物を特に制限なく用いることができる。光重合開始剤(B)は、1種を単独で使用されても、2種以上を組み合わせて使用されてもよい。
光硬化性組成物は、粘度調整や、溶解しにくい成分の可溶化の目的等で、有機溶剤(S)を含んでいてもよい。ただし、光硬化性組成物の粘度が所望する範囲内であり、重合性単量体(A)と、光重合開始剤(B)とが均一に液状化される場合、有機溶剤(S)の量は少ないほど好ましい。
光硬化性組成物の粘度としては、25℃での値として、例えば、10cP以上500cp以下が好ましく、20cP以上200cP以下がより好ましく、30cp以上100cP以下が特に好ましい。
典型的には、有機溶剤(S)の量は、重合性単量体(A)の質量と、光重合開始剤(B)の質量との合計100質量部に対して、20質量以下が好ましく、10質量部以下がより好ましく、5質量以下がさらにより好ましく、0質量部であるのが特に好ましい。
光硬化性組成物は、本発明の目的を阻害しない範囲で、重合性単量体(A)、光重合開始剤(B)、及び有機溶剤(S)以外のその他の成分を含んでいてもよい。
その他の成分としては、増感剤、硬化促進剤、光架橋剤、光増感剤、分散助剤、充填剤、チキソトロピー付与剤、密着促進剤、酸化防止剤、紫外線吸収剤、凝集防止剤、熱重合禁止剤、消泡剤、界面活性剤等が例示される。
以上説明した光硬化性組成物は、上記各成分を、それぞれ所定量混合した後、撹拌機で均一に混合することにより得られる。なお、得られた光硬化性組成物がより均一になるようフィルタを用いて濾過してもよい。
露光の際の露光量は、光硬化性組成物が良好に硬化する限り特に限定されない。露光の際の露光量は、例えば、10mJ/cm2以上10000mJ/cm2以下が好ましく、100mJ/cm2以上4000mJ/cm2以下がより好ましい。
このようにして形成されるパターニングされた硬化膜は、めっき造形物を形成するための鋳型パターンや、エッチングマスクとして好適に使用される。なお、パターニングされた硬化膜の用途はこれらの用途に限定されない。
塩基性剥離液が溶媒として水を含有する場合、塩基性剥離液は防錆剤を含んでいてもよい。防錆剤としては、従来公知のものを適宜用いることができる。
A2-1:ベンジルアクリレート
A2-2:イソボルニルアクリレート
A3-1:N,N-ジメチルアクリルアミド
A3-2:CH2=CCH3-CO-O-(O-CH2CH2)4-OCH3
A3-3:2-ヒドロキシエチルアクリレート
A3-4:ヘキシレングリコールジアクリレート
A3-5:ヘキシレングリコールジメタクリレート
PI-1:2-メチル-1-〔4-(メチルチオ)フェニル〕-2-モルフォリノプロパン-1-オン
PI-2:2,2-ジメトキシ-1,2-ジフェニルエタン-1-オン
また、表1又は表2に記載の種類及び量の重合性単量体(A)((A)成分)と、表1又は表2に記載の種類及び量の光重合開始剤(B)((B)成分)と、添加剤としての3-メルカプトプロピオン酸1質量部とを均一に混合して、各比較例の光硬化性組成物を得た。
得られた各実施例及び比較例の光硬化性組成物を用いて、以下の評価を行った。評価結果を、表1及び表2に記す。
シリコン基板上に、光硬化性組成物をスピンコーター(MS-B300、ミカサ株式会社製)を用いて塗布した後、離形処理済みフィルム(ピューレックス A31、帝人デュポンフィルム社製)を組成物上に設置した。その後、平行光露光機(MAT-2501、ウシオ電機株式会社製)を用いてフィルム越しに、露光量1000mJ/cm2にて露光を行い、膜厚10μmの硬化膜を形成し、硬化性を評価した。
露光後にフィルムを離形して、露光された塗布膜の表面の流動性を確認し、流動性がない場合を○と判定し、流動性がある場合を×と判定した。
硬化性の評価と同様にして形成された膜厚10μmの硬化膜を、モノエタノールアミンとDMSOの混合溶液(各50質量%)に25℃で5分間浸漬した後に、基板表面を水でリンスし、次いで基板表面に窒素ガスを吹き付けて乾燥させた。乾燥後の基板の表面に硬化膜が残存していない場合を○と判定し、硬化膜が残存している場合を×と判定した。
なお、比較例1、比較例2、及び比較例10では、硬化膜の硬化性が極度に不良であったことから、剥離性の評価を行わなかった。
実施例1~4、比較例3~5、比較例7、比較例9、及び比較例11~13について、硬化性の評価と同様にして形成された硬化膜を試料として用いて、熱重量測定装置(DSC Q2000、日本サーマル・コンサルティング株式会社製)により硬化膜のTgを測定した。
組成物調製後に凝固が見られない光硬化性組成物について、回転式粘度計(RE-80-L、東機産業株式会社製)を用いて25℃にて粘度を測定した。
Claims (8)
- 重合性単量体(A)と、光重合開始剤(B)とを含む光硬化性組成物であって、
前記重合性単量体(A)が、カルボキシ基を有する(メタ)アクリル酸エステル(A1)と、環式骨格含有基を有する(メタ)アクリル酸エステル(A2)とを含み、
前記光硬化性組成物が、Tgが40℃以上であり、且つアルカリ可溶性である硬化物を与え、
前記環式骨格含有基が、脂肪族炭化水素環からなる環式基を含む基であり、
前記環式骨格含有基中の環式骨格における環構成原子数が、5以上であり、
前記(メタ)アクリル酸エステル(A2)は、モノ(メタ)アクリレート化合物であり、
前記(メタ)アクリル酸エステル(A1)が下記式(a1):
CH2=CRa1-CO-O-Ra2-O-CO-Ra3-COOH・・・(a1)
で表される化合物であり、
前記式(a1)中、Ra1は水素原子又はメチル基であり、Ra2は、2価の有機基であり、Ra3は、部分的に又は完全に水素化されていてもよく、置換基を有していてもよいo-フェニレン基である、光硬化性組成物。 - 前記重合性単量体(A)の質量に対する、2以上のエチレン性不飽和二重結合を有する多官能化合物の質量の比率が2質量%以下である、請求項1に記載の光硬化性組成物。
- 前記光硬化性組成物の固形分の質量に対する、ポリマーの質量の比率が5質量%以下である、請求項1又は2に記載の光硬化性組成物。
- 前記Ra2が、アルキレン基であり、前記Ra3がo-フェニレン基である、請求項1~3のいずれか1項に記載の光硬化性組成物。
- 前記環式骨格含有基が、炭素原子数6以上20以下の炭化水素基である、請求項1~4のいずれか1項に記載の光硬化性組成物。
- 前記脂肪族炭化水素環からなる環式基が、シクロアルキル基、ポリシクロアルカンから1個の水素原子を除いた基、及び前記ポリシクロアルカンのC1-C4アルキル置換体から1個の水素原子を除いた基からなる群よりなる選択される、請求項1~5のいずれか1項に記載の光硬化性組成物。
- 重合性単量体(A)の質量に対する、(メタ)アクリル酸エステル(A1)の質量の比率が30質量%以上70質量%以下であり、
重合性単量体(A)の質量に対する、(メタ)アクリル酸エステル(A2)の質量の比率が30質量%以上70質量%以下である、請求項1~6のいずれか1項に記載の光硬化性組成物。 - 請求項1~7のいずれか1項に記載の光硬化性組成物の硬化物。
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