JP7219525B2 - トランスデューサ装置 - Google Patents
トランスデューサ装置 Download PDFInfo
- Publication number
- JP7219525B2 JP7219525B2 JP2018096872A JP2018096872A JP7219525B2 JP 7219525 B2 JP7219525 B2 JP 7219525B2 JP 2018096872 A JP2018096872 A JP 2018096872A JP 2018096872 A JP2018096872 A JP 2018096872A JP 7219525 B2 JP7219525 B2 JP 7219525B2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- mems element
- hole
- resistance
- substrate
- pass filter
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Active
Links
Images
Landscapes
- Transducers For Ultrasonic Waves (AREA)
Description
Claims (1)
- バックチャンバーを備えた支持基板と該支持基板に固定された振動膜とを備えたMEMS素子と、前記MEMS素子を搭載する実装基板と、該実装基板と接合して前記MEMS素子を覆う蓋部と、
前記MEMS素子のバックチャンバーにより形成されたコンデンサと、
前記実装基板と前記蓋部との間の空間内で、あるいは前記空間の内側と外側とで、前記空間の内側あるいは外側の気体が流れる抵抗孔により形成された抵抗とを備え、
前記コンデンサと前記抵抗とで形成されたハイパスフィルタを備え、入力信号が前記ハイパスフィルタを通過して出力されるトランスデューサ装置において、
前記蓋部に形成された入力信号が入力する信号入力孔と、
前記実装基板に前記MEMS素子の支持基板が接合し、前記実装基板の一部に形成された凹状部と前記支持基板とからなり、前記バックチャンバーの内側と外側とを連通する前記抵抗孔となる貫通孔とを備えたことを特徴とするトランスデューサ装置。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2018096872A JP7219525B2 (ja) | 2018-05-21 | 2018-05-21 | トランスデューサ装置 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2018096872A JP7219525B2 (ja) | 2018-05-21 | 2018-05-21 | トランスデューサ装置 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2019204987A JP2019204987A (ja) | 2019-11-28 |
JP7219525B2 true JP7219525B2 (ja) | 2023-02-08 |
Family
ID=68727362
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2018096872A Active JP7219525B2 (ja) | 2018-05-21 | 2018-05-21 | トランスデューサ装置 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP7219525B2 (ja) |
Citations (6)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2006325034A (ja) | 2005-05-19 | 2006-11-30 | Matsushita Electric Works Ltd | 音響センサ |
JP2010109457A (ja) | 2008-10-28 | 2010-05-13 | Toshiba Corp | 音響電子部品 |
JP2010114776A (ja) | 2008-11-07 | 2010-05-20 | Toshiba Corp | 音響トランスデューサ |
US20110272769A1 (en) | 2009-11-18 | 2011-11-10 | Bse Co., Ltd. | Mems microphone package and packaging method |
US20150014796A1 (en) | 2013-07-12 | 2015-01-15 | Infineon Technologies Ag | Device with MEMS Structure and Ventilation Path in Support Structure |
WO2017221762A1 (ja) | 2016-06-23 | 2017-12-28 | 株式会社村田製作所 | 電気音響変換装置 |
-
2018
- 2018-05-21 JP JP2018096872A patent/JP7219525B2/ja active Active
Patent Citations (6)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2006325034A (ja) | 2005-05-19 | 2006-11-30 | Matsushita Electric Works Ltd | 音響センサ |
JP2010109457A (ja) | 2008-10-28 | 2010-05-13 | Toshiba Corp | 音響電子部品 |
JP2010114776A (ja) | 2008-11-07 | 2010-05-20 | Toshiba Corp | 音響トランスデューサ |
US20110272769A1 (en) | 2009-11-18 | 2011-11-10 | Bse Co., Ltd. | Mems microphone package and packaging method |
US20150014796A1 (en) | 2013-07-12 | 2015-01-15 | Infineon Technologies Ag | Device with MEMS Structure and Ventilation Path in Support Structure |
WO2017221762A1 (ja) | 2016-06-23 | 2017-12-28 | 株式会社村田製作所 | 電気音響変換装置 |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JP2019204987A (ja) | 2019-11-28 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
US10477322B2 (en) | MEMS device and process | |
US8588435B2 (en) | Microphone | |
JP4539450B2 (ja) | 容量型振動センサ及びその製造方法 | |
US10158951B2 (en) | Silicon microphone with suspended diaphragm and system with the same | |
JP4770605B2 (ja) | 平衡出力マイクロホンおよび平衡出力マイクロホンの製造方法 | |
EP2355541B1 (en) | Microphone unit | |
WO2018197838A1 (en) | Mems devices and processes | |
US20090175477A1 (en) | Vibration transducer | |
JP5711860B1 (ja) | 圧電式発音体及び電気音響変換装置 | |
US20120099753A1 (en) | Backplate for Microphone | |
JP2008099212A (ja) | コンデンサマイクロホン及びその製造方法 | |
JP2010136131A (ja) | マイクロホンユニット | |
US20190110131A1 (en) | Electroacoustic transducer | |
JP2008085507A (ja) | 音響センサ並びにそれを備えた音響モジュール | |
KR101550633B1 (ko) | 마이크로폰 및 그 제조 방법 | |
KR20140121623A (ko) | 복수의 음향통과홀을 구비한 멤스 마이크로폰 | |
JP2011176533A (ja) | 音響センサ | |
JP5097603B2 (ja) | マイクロホンユニット | |
EP3334184B1 (en) | Acoustic sensor and capacitive transducer | |
KR101877838B1 (ko) | 멤스 마이크로폰 소자 및 이를 포함하는 멤스 마이크로폰 모듈 | |
JP7219525B2 (ja) | トランスデューサ装置 | |
US10524060B2 (en) | MEMS device having novel air flow restrictor | |
JP2006332799A (ja) | 音響センサ | |
JP2011176534A (ja) | 音響センサ | |
JP4476055B2 (ja) | コンデンサマイクロホンとその製造方法 |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20210330 |
|
A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20220209 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20220215 |
|
A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20220411 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20220823 |
|
A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20221012 |
|
TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20221228 |
|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20230124 |
|
R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
Ref document number: 7219525 Country of ref document: JP Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 |