JP7212482B2 - 傾斜センサ - Google Patents
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Description
2 :センサ基板
3 :固定基板
3a :収容凹部
3b :段差面
4 :機能部
5 :固定電極
5a :左固定電極
5a1 :左固定電極指
5b :右固定電極
5b1 :右固定電極指
6 :可動電極
6a :左錘部
6a1 :左可動電極指
6b :右錘部
6b1 :右可動電極指
6c :共通電極
6d :ばね部
7a :左配線層
7a1 :第1の左配線層
7a2 :第2の左配線層
7b :右配線層
7b1 :第1の右配線層
7b2 :第2の右配線層
7c :中央配線層
7c1 :第1の中央配線層
7c2 :第2の中央配線層
8 :スリット
9 :導電薄膜
10a~10c :第1の電極パッド
11a~11c :第2の電極パッド
12 :蓋体
13 :接着層
14 :電極接続部
15 :接続構造部
16a~16c :電極配線層
17 :絶縁保護層
17a :貫通孔
19 :支持部
19a :下地層
19b :はんだ層
E1 :第1の櫛歯状電極
E2 :第1の櫛歯状電極
G1 :第1のギャップ
G2 :第2のギャップ
a :横方向
b :縦方向
c :中央線
t :厚み
Claims (1)
- 固定電極と、可動電極とを具備するセンサ基板を有し、
前記可動電極の変位による静電容量変化に基づいて、傾斜が検知可能とされており、
前記固定電極は、複数の電極指を備えた第1の櫛歯状電極を有しており、前記可動電極は、複数の電極指を備えた第2の櫛歯状電極を有しており、
前記第2の櫛歯状電極に対し前記センサ基板の厚み方向への揺動範囲を規制する規制部材を備え、
前記規制部材は、前記センサ基板を支持する固定基板、及び前記センサ基板を覆う蓋体であり、
前記固定基板は収容凹部を有し、前記センサ基板は、前記収容凹部の底面側の内部に配置されて、前記第2の櫛歯状電極と前記収容凹部の底面との間に前記第2の櫛歯状電極の厚みよりも小さいギャップが形成され、前記収容凹部の開口側に、前記蓋体が配置されて開口が塞がれるとともに、前記第2の櫛歯状電極と前記蓋体との間に前記第2の櫛歯状電極の厚みよりも小さいギャップが形成されることを特徴とする傾斜センサ。
Priority Applications (1)
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JP2018168788A JP7212482B2 (ja) | 2018-09-10 | 2018-09-10 | 傾斜センサ |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
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JP2018168788A JP7212482B2 (ja) | 2018-09-10 | 2018-09-10 | 傾斜センサ |
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JP2020041888A JP2020041888A (ja) | 2020-03-19 |
JP7212482B2 true JP7212482B2 (ja) | 2023-01-25 |
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ID=69797979
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
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JP2018168788A Active JP7212482B2 (ja) | 2018-09-10 | 2018-09-10 | 傾斜センサ |
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JP (1) | JP7212482B2 (ja) |
Citations (6)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2005169541A (ja) | 2003-12-10 | 2005-06-30 | Hitachi Metals Ltd | 半導体装置およびその製造方法 |
JP2006084327A (ja) | 2004-09-16 | 2006-03-30 | Denso Corp | 容量式力学量センサ装置 |
JP2006145505A (ja) | 2004-11-24 | 2006-06-08 | Sakamoto Electric Mfg Co Ltd | 傾斜センサ |
JP2011038986A (ja) | 2009-08-18 | 2011-02-24 | Panasonic Electric Works Co Ltd | 傾斜センサ |
JP2014178218A (ja) | 2013-03-15 | 2014-09-25 | Panasonic Corp | 半導体物理量センサ |
JP2017090069A (ja) | 2015-11-03 | 2017-05-25 | 株式会社デンソー | 力学量センサ |
-
2018
- 2018-09-10 JP JP2018168788A patent/JP7212482B2/ja active Active
Patent Citations (6)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
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