JP7202339B2 - 非円形の固定子を備えるモータ - Google Patents
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Description
Claims (18)
- 装置であって、
モータを備え、前記モータは、
回転子と、
固定子と、
を備え、前記回転子は少なくとも部分的に前記固定子の回転子収容領域内に配置され、前記固定子は、
歯を備える固定子部材と、前記回転子収容領域から離間した前記少なくとも1つの部品収容領域とを備え、前記歯は、第1組の歯および第2組の歯を含み、前記第1組の歯は、前記第2組の歯より、前記回転子収容領域から径方向に長く、前記第2組の歯は、前記第1の歯より、前記少なくとも1つの部品収容領域の近くに配置され、
前記固定子は更に、
前記固定子部材に設けた少なくとも1つのコイル巻線と、
前記固定子を収容するモータハウジングと、
を備え、
前記モータは更に、前記少なくとも1つの部品収容領域内に、該少なくとも1つの部品収容領域内で動くことが可能に配置された少なくとも1つの部品を備え、
前記少なくとも1つの部品は、前記少なくとも1つの部品収容領域内にネジ山があるロッドであり、
前記モータハウジングは、前記ロッドの回転によって前記モータハウジングが前記ロッドに沿って前記ロッドの長手方向に移動するように、前記ロッドの前記ネジ山に結合される、
装置。 - 前記ロッドは、前記少なくとも1つの部品収容領域内で回転するように構成され、前記少なくとも1つの部品収容領域は、前記固定子が前記ロッドに沿って縦方向に上下移動するように構成される、
請求項1に記載の装置。 - 請求項1に記載の装置と、
前記回転子に結合される駆動シャフトと、
を備え、
前記駆動シャフトは前記モータハウジングから該モータハウジングの外部に突出し、
前記モータハウジングは少なくとも1つの第2の部品収容領域を有し、該少なくとも1つの第2の部品収容領域は、前記少なくとも1つの部品のうちの少なくとも1つを、内部で動くことが可能なように保持する、
ロボット駆動部。 - 請求項3に記載のロボット駆動部と、前記駆動シャフトに連結されたロボットアームとを備えるロボット。
- チャンバに接続される駆動部ハウジングを備え、前記モータハウジングの前記駆動部ハウジングへの接続部は、前記モータハウジングが前記駆動部ハウジング上をスライドすることを可能にするように構成され、
前記ネジ山を有する前記ロッドは、前記モータハウジングに接続されたネジを備え、前記ネジが回転すると前記モータハウジングが移動するようにされる、
請求項3に記載のロボット駆動部。 - 前記駆動部ハウジング及び前記ネジに接続され、前記ネジを回転させるネジ用モータを備える、請求項5に記載のロボット駆動部。
- 前記歯のそれぞれの基部は、前記固定子部材の部分であって前記固定子部材の外周壁を形成する部分に配置され、前記外周壁は楕円状の形状を有する、請求項1に記載の装置。
- 前記少なくとも1つの部品収容領域は、前記固定子部材の側面外周壁に開放側面を有する、請求項7に記載の装置。
- 前記少なくとも1つの部品収容領域は、前記回転子収容領域の中心軸と平行な中心軸を有する、請求項1に記載の装置。
- 前記少なくとも1つの部品収容領域は、前記固定子部材の上側面および下側面以外は実質的に閉塞されている、請求項1に記載の装置。
- 方法であって、
歯を備える固定子部材を準備することを含み、前記固定子部材は回転子収容領域を有し、前記歯は、第1組の歯および第2組の歯を有し、前記第1組の歯は、前記第2組の歯より、前記回転子収容領域から径方向に長く、前記固定子部材は、前記回転子収容領域から離間した前記少なくとも1つの部品収容領域を有し、前記第2組の歯は、前記第1の歯よりも、前記少なくとも1つの部品収容領域の近くに配置され、
前記方法は更に、
少なくとも1つのコイル巻線を、前記歯の少なくともいずれかに配することと、
前記少なくとも1つの部品収容領域に少なくとも1つの部品を配することと、
を含み、
前記少なくとも1つの部品は、前記少なくとも1つの部品収容領域内で、軸方向に回転するように構成され、
前記少なくとも1つの部品は、前記少なくとも1つの部品収容領域内にネジ山があるロッドであり、
前記ロッドは、前記少なくとも1つの部品収容領域内で回転するように構成され、前記少なくとも1つの部品収容領域は、前記固定子が前記ロッドに沿って縦方向に上下移動するように構成される、
方法。 - 前記固定子部材を収容するモータハウジングを準備することを更に含み、
前記モータハウジングは、前記ロッドの回転によって前記モータハウジングが前記ロッドに沿って縦方向に上下移動するように、前記ロッドの前記ネジ山に結合される、
請求項11に記載の方法。 - 方法であって、
モータハウジングを有するモータと、歯を備える固定子部材と、前記歯の少なくともいくつかに配される少なくとも1つのコイル巻線とを準備することを含み、
前記固定子部材は回転子収容領域を有し、前記歯は、第1組の歯および第2組の歯を有し、前記第1組の歯は、前記第2組の歯より、前記回転子収容領域から径方向に長く、前記固定子部材は、前記回転子収容領域から離間した前記少なくとも1つの部品収容領域を有し、前記第2組の歯は、前記第1の歯よりも、前記少なくとも1つの部品収容領域の近くに配置され、
前記方法は更に、前記少なくとも1つの部品収容領域に少なくとも1つの部品を配することを含み、前記少なくとも1つの部品は、前記少なくとも1つの部品収容領域内で、軸方向に回転するように構成され、
前記方法は更に、駆動部ハウジングを前記モータハウジングに接続することを更に含み、
前記接続は、前記モータハウジングが前記駆動部ハウジング上をスライドすることを可能にし、前記少なくとも1つの部品は、前記モータハウジングに接続されたネジを備え、前記ネジが回転すると前記モータハウジングが移動するようにされる、
の方法。 - 前記駆動部ハウジング及び前記ネジに、前記ネジを軸方向に回転させるように構成されるネジ用モータを接続することを更に含む、請求項13に記載の方法。
- 前記固定子部材を準備することは、前記少なくとも1つの部品収容領域に開放側面を設けることであって、前記固定子部材の側面外周壁に開放側面を設けることを含む、請求項11に記載の方法。
- 装置であって、
モータを備え、前記モータは、
第1の部品収容領域を有するモータハウジングと;
回転子と;
前記モータハウジング内に配される固定子と;
を備え、前記回転子は少なくとも部分的に前記固定子の回転子収容領域内に配置され、前記固定子は、
歯を備える固定子部材と、前記回転子収容領域から離間した第2の部品収容領域とを備え、前記歯は、第1組の歯および第2組の歯を含み、前記第1組の歯は、前記第2組の歯より、前記回転子収容領域から径方向に長く、前記第2組の歯は、前記第1の歯より、前記第2の部品収容領域の近くに配置され、
前記固定子は更に、前記固定子部材に設けた少なくとも1つのコイル巻線を備え、
前記モータは更に、前記第1の部品収容領域及び前記第2の部品収容領域の両方の中に動くことができるように配される第1のネジを有し、前記第1のネジが回転するにつれて前記モータが前記第1のネジに沿って縦方向に移動するように、前記モータハウジングと前記第1のネジとの間の接続部が設けられる、
装置。 - チャンバに接続される駆動部ハウジングを備え、前記モータハウジングの前記駆動部ハウジングへの接続部は、前記モータハウジングが前記駆動部ハウジング上をスライドすることを可能にするように構成される、請求項16に記載の装置。
- 前記駆動部ハウジングと前記ネジとの間に接続され、前記ネジを回転させるネジ用モータを備える、請求項17に記載の装置。
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