JP7185330B2 - プラズマ処理装置および多層管状成形体の製造方法 - Google Patents

プラズマ処理装置および多層管状成形体の製造方法 Download PDF

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Description

本発明は、多層管状成形体、プラズマ処理装置および多層管状成形体の製造方法に関する。
要求される複数の特性を比較的容易に付与し得ることから、多層管状成形体が用いられることがある。
この場合、例えば、ポリオレフィン、フッ素系ポリマーのような無極性のポリマーで内層を構成した場合、その外周に外層を被覆しようとすると、接着性ポリマー層を介在させたり、フッ素系ポリマーに予め接着性官能基を付与したりすることが必要である。
例えば、特許文献１には、自己接着性のシリコーンゴムからなる内層部と、この内層部の内側に設けられ、自己接着性のエチレン－四フッ化エチレン共重合体で構成されたバリア層とを有する多層管状成形体が開示されている。
また、特許文献１には、バリア層の内層部との対向面に、プラズマ処理により粗面化してよい旨も記載されている。しかしながら、特許文献１には、プラズマ処理の具体的な方法について記載されていない。
従来のプラズマ処理は、バリア層（筒状体）の内側と外側とに電極を配置した状態で行われる場合が多い。しかしながら、かかる方法では、筒状体の外周面のみをプラズマ処理することは困難である。
また、筒状体の外周面をプラズマ処理する場合、筒状体の内側に電極を挿入したり、筒状体自体を接地側電極として使用する必要がある。
上記構成の場合、電極の形状や配列、その組み合わせが要因となって、電極と筒状体の外周面との離間距離が均一でないと、外周面に処理ムラが生じ、よって、目的とする官能基を導入できないという問題がある。
そして、外周面に官能基を導入できないと、筒状体である内層と外層とを接着することができなくなる。また、処理ムラが存在する部分において、内層と外層との接着強度が低くなり易く、当該部分に応力が集中して剥離の原因にもなる。
特開２０２０－０４６０４７公報
本発明の目的は、内層の外周面に均一かつ確実にプラズマ処理し得るプラズマ処理装置、ならびに、かかるプラズマ処理装置を使用して内層の外周面にプラズマ処理することにより、内層と外層との接着性の高い多層管状成形体およびその製造方法を提供することにある。
このような目的は、下記の（１）～（１１）の本発明により達成される。
（１） 内層と、該内層の外周を被覆する外層とを有し、前記内層の外周面がプラズマ処理により変性されていることを特徴とする多層管状成形体。
（２） 内腔部を備える円筒状の誘電体と、
該誘電体の内周面側に配置され、軸方向に沿って巻回されたコイル状の内部電極と、
前記誘電体の外周面側に配置され、前記内部電極との間に交流電圧を印加する外部電極と、
前記交流電圧の印加によりプラズマを発生させるためのガスを前記内腔部に供給するガス供給部とを有することを特徴とするプラズマ処理装置。
（３） 前記内部電極を構成する線材のピッチは、０．５～１０ｍｍである上記（２）に記載のプラズマ処理装置。
（４） 前記内部電極を構成する線材の長手方向と直交する方向での断面形状は、角を有する形状である上記（１）または（２）に記載のプラズマ処理装置。
（５） 前記外部電極は、網状または箔状の円筒状体で構成されている上記（２）～（４）のいずれか１つに記載のプラズマ処理装置。
（６） 前記交流電圧の最大値は、１～２０ｋＶである上記（２）～（５）のいずれか１つに記載のプラズマ処理装置。
（７） 前記交流電圧の周波数は、１～３０ｋＨｚである上記（２）～（６）のいずれか１つに記載のプラズマ処理装置。
（８） 前記交流電圧の印加時間は、０．１～２０秒である上記（２）～（７）のいずれか１つに記載のプラズマ処理装置。
（９） 上記（２）～（８）のいずれか１つに記載のプラズマ処理装置の前記内腔部に内層を通過させつつ、その外周面にプラズマ処理する工程と、
前記内層の外周に外層を被覆する工程とを有することを特徴とする多層管状成形体の製造方法。
（１０） 前記内部電極と前記内層との離間距離は、１～１０ｍｍである上記（９）に記載の多層管状成形体の製造方法。
（１１） 前記内層は、無極性の樹脂材料で構成されている上記（９）または（１０）に記載の多層管状成形体の製造方法。
本発明によれば、内層の外周面に均一かつ確実にプラズマ処理し得るとともに、内層と外層との接着性の高い多層管状成形体が得られる。
また、本発明によれば、内層の内周面の耐薬品性や耐溶出性を損なうことなく、外周面のみをプラズマ処理することができる。
また、内層の形状を円筒状に保持した状態で、プラズマ処理することができるため、電極との離間距離を一定に保ち易く、外周面に対してムラなくプラズマ処理することができる。よって、内層と外層との接着性が向上して、剥離強度の向上にも寄与する。
本発明の多層管状成形体の製造方法により製造される多層管状成形体の先端部の構成を示す斜視図である。 本発明のプラズマ処理装置の全体構成を示す概略図である。 図２のプラズマ処理装置を使用して、内層の外周面をプラズマ処理している状態を示す断面図である。
以下、本発明の多層管状成形体、プラズマ処理装置および多層管状成形体の製造方法を添付図面に示す好適な実施形態に基づいて詳細に説明する。
＜多層管状成形体＞
図１は、本発明の多層管状成形体の製造方法により製造される多層管状成形体の先端部の構成を示す斜視図である。
図１に示す多層管状成形体１は、内層２と、内層２の外周を被覆する外層３とを有している。
以下、各層の構成について、順次説明する。
＜＜内層２＞＞
内層２の構成材料としては、特に限定されないが、無極性（低極性）の樹脂材料が好ましい。
ここで、無極性の樹脂材料で構成される内層２は、その外周面の接着性が乏しい。このため、内層２の外周を外層３で被覆する場合、内層２と外層３との間に接着性ポリマー層を介在させたり、外層３の構成材料に接着性ポリマーを選択する必要がある。換言すれば、多層管状成形体１を構成するのに使用可能な材料の選択の幅が狭くなり、目的とする性能や機能を有する多層管状成形体１が得られ難い。
そこで、本発明では、外層３で被覆する前に、内層２の外周面に、予め、外層３との接着性を高める官能基（以下、「接着性官能基」と記載する。）を導入する。すなわち、内層２の外周面をプラズマ処理により変性させる。これにより、内層２および外層３の構成材料によらず、接着剤（結合剤）を使用しなくとも、内層２と外層３との接着性の高い多層管状成形体１が得られる。
したがって、本発明は、無極性の樹脂材料で構成される内層２を有する多層管状成形体１の製造に好適に適用される。
無極性の樹脂材料としては、例えば、ポリテトラフルオロエチレン（ＰＴＦＥ）、テトラフルオロエチレン－ヘキサフルオロプロピレン共重合体（ＦＥＰ）、テトラフルオロエチレン－パーフルオロアルキルビニルエーテル共重合体（ＰＦＡ）、テトラフルオロエチレン－エチレン共重合体（ＥＴＦＥ）、ポリビニリデンフルオライド（ＰＶＤＦ）のようなフッ素系ポリマー、ポリプロピレン（ＰＰ）、低密度ポリエチレン（ＬＤＰＥ）、直鎖状低密度ポリエチレン（ＬＬＤＰＥ）、高密度ポリエチレン（ＨＤＰＥ）のようなポリオレフィン等が挙げられ、これらの１種または２種以上を組み合わせて用いることができる。
これらの材料で内層２を構成することにより、内層２（多層管状成形体１）に、高い耐薬品性および耐熱性を付与することができる。
内層２の構成材料の重量平均分子量は、１０，０００～４００，０００程度であることが好ましく、５０，０００～１１０，０００程度であることがより好ましい。
なお、本明細書中において、重量平均分子量は、ゲルパミエーションクロマトグラフィー（ＧＰＣ）法により測定した標準ポリスチレン換算の値である。
内層２の構成材料には、内層２の特性を損なわない範囲で、他のポリマー、各種添加剤を添加してもよい。
他のポリマーとしては、例えば、スチレン系ブロック共重合体、ポリアクリル酸、ポリアクリル酸エステル等が挙げられる。
添加剤としては、例えば、酸化防止剤、熱安定剤、光安定剤、紫外線吸収剤、中和剤、滑剤、防曇剤、スリップ剤、架橋剤、架橋助剤、染料、顔料、難燃剤、分散剤、帯電防止剤、ブロッキング防止剤、無機フィラー（シリカ、タルク、マイカ等）等が挙げられる。
内層２における無極性の樹脂材料の含有量は、７５質量％以上であることが好ましく、８５質量％以上であることがより好ましく、９５質量％以上であることがさらに好ましく、１００質量％であってもよい。この場合、内層２に無極性の樹脂材料に基づく特性を十分に付与することができる。
内層２の外周面に導入する接着性官能基としては、例えば、水酸基、カルボニル基、カルボキシ基のような親水性基、アルキル基、ビニル基のような疎水性基が挙げられ、これらの１種または２種以上を組み合わせて用いることができる。
接着性官能基として親水性基を導入する場合、この親水性基にさらにジビニルモノマーやシランカップリング剤を反応させてもよい。これにより、内層２の外周面に重合性官能基を導入することができる。この場合、内層２と外層３との接着性をより高め易い。
また、プラズマ処理用ガスに、トリメチルビニルシランを添加するようにしてもよい。この場合、ポリエチレンのようなポリオレフィンの外表面に、直接、ビニル基を導入することができる。
＜＜外層３＞＞
外層３の構成材料としては、特に限定されないが、例えば、ポリ塩化ビニル（ＰＶＣ）、ポリウレタン系熱可塑性エラストマー（ＴＰＵ）、シリコーンゴム等が挙げられ、これらの１種または２種以上を組み合わせて用いることができる。
これらの材料は、柔軟性に優れる。ここで、フッ素系ポリマーやポリオレフィンで構成される内層２は、柔軟性（可撓性）が低くなり易いが、上記材料で構成される外層３と組み合わせることにより、多層管状成形体１全体として、高い柔軟性（可撓性）を確保することができる。
なお、ポリ塩化ビニルは、変性されていてもよい。かかる変性ポリ塩化ビニルとしては、例えば、アクリル変性ポリ塩化ビニル、ポリウレタン変性ポリ塩化ビニル、エチレン－酢酸ビニル共重合体変性ポリ塩化ビニル等が挙げられる。
外層３の構成材料の重量平均分子量は、４０，０００～２００，０００程度であることが好ましく、８０，０００～１６０，０００程度であることがより好ましい。
外層３の構成材料としてポリ塩化ビニルを使用する場合、外層３の柔軟性を高める観点から、各種可塑剤を添加してもよい。
可塑剤としては、例えば、フタル酸ジメチル（ＤＭＰ）、フタル酸ジエチル（ＤＥＰ）、フタル酸ジブチル（ＤＢＰ）、フタル酸ジ－２－エチルヘキシル（ＤＥＨＰ）、フタル酸ジノルマルデシル（ＤｎＤＰ）、フタル酸ジイソノニル（ＤＩＮＰ）のようなフタル酸エステル類、アジピン酸ジイソブチル（ＤＩＢＡ）、アジピン酸ジオクチル（ＤＯＡ）、アジピン酸ジ－２－エチルヘキシル（ＤＥＨＡ）、アジピン酸ジイソノニル（ＤＩＮＡ）のようなアジピン酸エステル類、トリメリット酸トリエステルのようなトリメリット酸エステル類、ポリエステル可塑剤等が挙げられる。
また、外層３の構成材料には、外層３の特性を損なわない範囲で、内層２で挙げたのと同様の各種添加剤を添加してもよい。
外層３における上記材料の含有量は、４０～７０重量％程度であることが好ましく、４５～６５重量％程度であることがより好ましい。この場合、外層３に上記材料に基づく柔軟性を十分に付与することができる。
内層２の厚さに対する外層３の厚さの比は、１～１０程度であることが好ましく、３～７程度であることがより好ましい。かかる関係を満足することにより、多層管状成形体１の柔軟性を十分に高めつつ、多層管状成形体１に優れた耐薬品性および耐熱性を付与することができる。
内層２の厚さの具体的な値は、特に限定されないが、０．１～３ｍｍ程度であることが好ましく、０．２～０．５ｍｍ程度であることがより好ましい。
また、外層３の厚さの具体的な値も、特に限定されないが、０．５～４ｍｍ程度であることが好ましく、０．７～３ｍｍ程度であることがより好ましい。
内層２に対する外層３の接着強度は、１０Ｎ／２５ｍｍ以上であることが好ましく、２０Ｎ／２５ｍｍ以上であることがより好ましく、４０Ｎ／２５ｍｍ以上であることがさらに好ましい。なお、接着強度の上限は、通常、１００Ｎ／２５ｍｍ程度である。この場合、多層管状成形体１において、内層２と外層３とが十分に剥離し難いと判断することができる。したがって、かかる接着強度を有する多層管状成形体１は、稼働部に配置される管状成形体に好適に使用される。
＜プラズマ処理装置＞
図２は、本発明のプラズマ処理装置の全体構成を示す概略図、図３は、図２のプラズマ処理装置を使用して、内層の外周面をプラズマ処理している状態を示す断面図である。
図２に示すプラズマ処理装置１００は、内腔部２１０を備える円筒状の誘電体２００と、誘電体２００の内周面側に配置され、軸方向に沿って巻回されたコイル状の内部電極３００と、誘電体２００の外周面側に配置され、内部電極３００との間に交流電圧を印加する外部電極４００と、交流電圧の印加によりプラズマを発生させるためのガスを内腔部２１０に供給するガス供給部５００とを有する。
また、内部電極３００の一端側の引き出し線３１０と他端側の引き出し線３２０との間は、配線３３０で接続され、引き出し線４１０と配線４２０とを介して、交流電源６００が接続されている。外部電極４００は、引き出し線４１０を介して接地され、配線４２０と配線３３０とが導通している。なお、引き出し線３１０、引き出し線３２０、配線３３０、配線４２０および引き出し線４１０は、絶縁材料で被覆されている。
ガス供給部５００から内腔部２１０にガスを供給しつつ、内部電極３００に交流電流を流すことにより、プラズマ放電が生じる。その結果、内腔部２１０内にプラズマが集中的に発生し、この内腔部２１０に内層２を通過させれば、内層２の外周面が選択的にプラズマ処理される。
以下、各部の構成について、順次説明する。
＜＜誘電体２００＞＞
誘電体２００の構成材料としては、比誘電率（εｒ）および耐熱性ができるだけ高い誘電材料が好ましく、石英（εｒ＝３．８）、アルミナ（εｒ＝９．４）、窒化ホウ素（εｒ＝１２）のようなセラミックスがより好ましい。
誘電体２００の厚さは、特に限定されないが、０．５～１０ｍｍ程度であることが好ましく、１～５ｍｍ程度であることがより好ましい。
また、誘電体２００の長さも、特に限定されないが、５０～５００ｍｍ程度であることが好ましく、１００～３００ｍｍ程度であることがより好ましい。
＜＜内部電極３００＞＞
内部電極（印加側電極）３００は、誘電体２００の軸方向に沿って配置され、誘電体２００の内周面に接触している。この内部電極３００は、誘電体２００の軸方向に沿って、線状または帯状の線材をコイル状に巻回してなるコイル状体で構成されている。
ここで、内部電極は、誘電体２００の軸方向に沿って配置され、かつ、周方向に沿って併設された複数の棒状体、誘電体２００の軸方向に沿って、かつ、誘電体２００と同心的に配置される複数のリング状体等で構成することも考えられる。
しかしながら、内部電極を棒状体で構成する場合、内層２を円筒状のまま処理するには、内層２のサイズ（外径）に応じて配置数を調整する必要が生じる。また、誘電体２００の軸方向（内層２の挿入方向）に沿って棒状体を配置するため、内層２の外周面の周方向に沿って処理ムラが発生することが懸念される。
一方、内部電極をリング状体で構成する場合、プラズマ処理の時間を稼ぐために、配置数を多くする必要がある。この場合も、軸方向に沿って処理ムラが生じないように、隣り合うリング状体同士が重なり合わないように配置する必要がある。
これに対して、本発明のように、内部電極３００をコイル状体で構成することにより、内層２の外周面の周方向かつ軸方向に沿ってムラなくプラズマ処理することができるようになる。
内部電極３００を構成する線材のピッチ（図３中のＰ）は、０．５～１０ｍｍ程度であることが好ましく、１～７．５ｍｍ程度であることがより好ましい。この場合、巻回された線材同士の隙間、発生したプラズマで十分に充填することができ、よって、内層２の外周面をより均一にプラズマ処理し易くなる。
また、内部電極３００を構成する線材の長手方向と直交する方向での断面形状は、円形状であってもよいが、図３に示すような矩形状（角形状）や三角形状、Ｍ字形状のような角を有する形状であることが好ましい。この場合、線材の角部からプラズマ放電を内層２に向けて発生させ易くなる。
線材の断面積は、特に限定されないが、０．００１～９ｍｍ２程度であることが好ましく、０．００５～２ｍｍ２程度であることがより好ましい。
内部電極３００のコイル状部分（引き出し線３１０、３２０を除いた部分）の長さも、特に限定されないが、２５～２５０ｍｍ程度であることが好ましく、５０～２００ｍｍ程度であることがより好ましい。
内部電極３００（線材）の構成材料としては、導電性材料であればよく、特に限定されないが、例えば、鉄、ステンレス鋼、銅、銀、金、白金、パラジウム、タングステン、ニッケル、アルミニウム、カーボン等が挙げられ、これらの１種または２種以上を組み合わせて用いることができる。
＜＜外部電極４００＞＞
外部電極（接地側電極）４００は、誘電体２００の軸方向に沿って配置され、誘電体２００の外周面に接触している。この外部電極４００は、誘電体２００の軸方向に沿って配置された網状または箔状（シート状）の円筒状体で構成されている。
外部電極４００を円筒状体で構成することにより、コイル状体で構成される内部電極３００の作用と相まって、内層２の外周面を、その周方向に沿ってムラなく、プラズマ処理することができる。
外部電極４００の厚さは、特に限定されないが、０．０１～１ｍｍ程度であることが好ましく、０．０５～０．５ｍｍ程度であることがより好ましい。
また、外部電極４００の長さは、内部電極３００のコイル状部分を包含することができる程度のサイズであることが好ましい。
外部電極４００の構成材料としては、導電性材料であればよく、特に限定されないが、例えば、鉄、ステンレス鋼、銅、銀、金、白金、パラジウム、タングステン、ニッケル、アルミニウム、カーボン等が挙げられ、これらの１種または２種以上を組み合わせて用いることができる。
以上のような構成のプラズマ処理装置１００によれば、内層２を変形させることなく、内腔部２１０を通過させることができるため、その外周面を選択的にプラズマ処理することができる。また、内層２の外周面の周方向に沿った処理ムラも生じ難い。
ここで、従来のプラズマ処理装置では、内層２を介して内側および外側に電極を配置しているが、この場合、内層２の内周面も不本意にプラズマ処理されることがある。内層２の内周面がプラズマ処理されると、内層２の機能（例えば、耐薬品性、撥水性、防汚性、抽出性）が低下または消失するおそれがある。このため、内層２の内周面をプラズマ処理することは回避したい。これに対して、本発明のプラズマ処理装置１００によれば、かかる不都合を防止することができる。
＜多層管状成形体の製造方法＞
本発明の多層管状成形体の製造方法は、プラズマ処理装置１００の内腔部２１０に内層２を通過させつつ、その外表面にプラズマ処理する工程（プラズマ処理工程）と、内層２の外周に外層３を被覆する工程（被覆工程）とを有する。
［１］プラズマ処理工程
まず、ガス（以下、「プラズマ処理用ガス」と記載する。）を、ガス供給部５００からプラズマ処理装置１００の内腔部２１０内に供給する。この状態で、交流電源６００により、内部電極３００と外部電極４００との間に交流電圧を印加する。これにより、内腔部２１０内でプラズマ放電が生じ、プラズマが集中的に発生する。
次いで、内腔部２１０内に内層２を通過させる。これにより、内層２の外周面は、その先端部から順にプラズマ処理される。
このとき、内部電極３００と内層２との離間距離（図３中のＧ）は、特に限定されないが、１～１０ｍｍ程度であることが好ましく、１～５ｍｍ程度であることがより好ましく、１～３ｍｍ程度であることがさらに好ましい。内部電極３００と内層２との離間距離を上記範囲に設定することにより、内層２の変質および劣化を防止しつつ、その外周面を選択的にプラズマ処理することができる。
このプラズマ処理により、内層２の外周面を励起状態とし、外周面に存在する元素をガスの種類に応じて接着性官能基を置換して導入することができる。
プラズマ処理用ガスとしては、例えば、アルゴン、ヘリウムのような希ガス、二酸化炭素、一酸化炭素、酸素、四フッ化メタン、メタン、エタン等が挙げられ、これらの１種を単独で、または、２種以上の混合ガスとして用いることができる。
例えば、高密度ポリエチレン（ＨＤＰＥ）で構成される内層２の外周面に、カルボキシ基を導入する場合、好ましくは、内部電極３００と内層２との離間距離Ｇを１～２ｍｍに設定し、プラズマ処理用ガスとして、アルゴンと二酸化炭素とメタンとを２０～９９：８０～０．５：２～０の量比で含む混合ガスが使用される。
交流電圧の最大値は、１～２０ｋＶ程度であることが好ましく、５～１０ｋＶ程度であることがより好ましい。
交流電圧の周波数は、１～３０ｋＨｚ程度であることが好ましく、５～１５ｋＨｚ程度であることがより好ましい。
交流電圧の印加時間は、０．１～２０秒程度であることが好ましく、１～１０秒程度であることがより好ましい。
かかる条件でプラズマ処理すれば、内層２の外周面に、より正確に目的とする接着性官能基を導入することができる。
［２］被覆工程
次に、内層２の外周面に、例えば、押出成形等により外層３を形成する。これにより、多層管状成形体１が得られる。
本発明によれば、内層２の外周面に、予め、接着性官能基が導入されているため、接着剤（結合剤）を使用することなく、外層３を内層２に直接かつ強固に接着することができる。
なお、外層３を内層２の外周に被覆した後、外層３の構成材料に応じて、内層２と外層３との接着性をより高めるために、外層３を加熱処理してもよい。
外層３の構成材料として、例えば、付加反応型シリコーンゴムを使用する場合、プラズマ処理後、内層２の外周面にビニル基を有するシランカップリング剤を塗布し、付加反応型シリコーンゴムを被覆して外層３を形成し、その後、１２０～１８０℃程度で加熱処理（二次加硫処理）することができる。
また、シランカップリング剤を使用しない場合には、プラズマ処理の際にプラズマ発生用ガス中にジビニルモノマーを添加して、内層２の外周面にビニル基を導入した後、付加反応型シリコーンゴムを被覆して外層３を形成し、その後、１２０～１８０℃程度で加熱処理（二次加硫処理）することができる。
以上のような多層管状成形体１は、十分な柔軟性を備え、優れた耐薬品性および耐熱性も優れる。このため、多層管状成形体１は、例えば、食品加工、化粧品製造、化学品製造等の分野で好適に使用される。
例えば、ＰＦＡ等の単層品でしか実現できていなかった超低溶出性が要求される分野（例えば、半導体製造分野、製薬（バイオ）分野等）へ適用可能な多層管状成形体１を容易に製造することができる。
このような多層管状成形体１は、例えば、チューブ、ホース等として使用することができる。
さらに、多層管状成形体１は、外層３の外周に、最外層が被覆されていてもよい。
また、内層２と外層３との間または外層３と最外層との間に、補強層を配置することで、多層管状成形体１を耐圧ホースとして使用することができる。
以上、本発明のプラズマ処理装置および多層管状成形体の製造方法について説明したが、本発明は、上述した実施形態の構成に限定されるものではない。
本発明のプラズマ処理装置は、上述した実施形態の構成において、他の任意の構成を追加してもよいし、同様の機能を発揮する任意の構成と置換されていてよい。
また、本発明の多層管状成形体の製造方法は、上述した実施形態の構成において、他の任意の工程を追加してもよいし、同様の機能を発揮する任意の工程と置換されていてよい。
１ 多層管状成形体
２ 内層
３ 外層
１００ プラズマ処理装置
２００ 誘電体
２１０ 内腔部
３００ 内部電極
３１０ 引き出し線
３２０ 引き出し線
３３０ 配線
４００ 外部電極
４１０ 引き出し線
４２０ 配線
５００ ガス供給部
６００ 交流電源
Ｇ 離間距離
Ｐ ピッチ

Claims (8)

  1. 内腔部を備える円筒状の誘電体と、
    該誘電体の内周面側に配置され、軸方向に沿って巻回されたコイル状の内部電極であって、その両端部が電気的に接続された内部電極と、
    前記誘電体の外周面側に配置され、前記内部電極との間に交流電圧を印加する外部電極と、
    前記交流電圧の印加によりプラズマを発生させるためのガスを前記内腔部に供給するガス供給部とを有し、
    前記内部電極を構成する線材の長手方向と直交する方向での断面形状は、角を有する形状であり、かつ前記線材のピッチは、０．５～１０ｍｍであり、
    前記外部電極の軸方向に沿った長さは、前記内部電極を包含するサイズであることを特徴とするプラズマ処理装置。
  2. 前記外部電極は、網状または箔状の円筒状体で構成されている請求項１に記載のプラズマ処理装置。
  3. 前記交流電圧の最大値は、１～２０ｋＶである請求項１または２に記載のプラズマ処理装置。
  4. 前記交流電圧の周波数は、１～３０ｋＨｚである請求項１～３のいずれか１項に記載のプラズマ処理装置。
  5. 前記交流電圧の印加時間は、０．１～２０秒である請求項１～４のいずれか１項に記載のプラズマ処理装置。
  6. 請求項１～５のいずれか１項に記載のプラズマ処理装置の前記内腔部に内層を通過させつつ、その外周面にプラズマ処理する工程と、
    前記内層の外周に外層を被覆する工程とを有することを特徴とする多層管状成形体の製造方法。
  7. 前記内部電極と前記内層との離間距離は、１～１０ｍｍである請求項６に記載の多層管状成形体の製造方法。
  8. 前記内層は、無極性の樹脂材料で構成されている請求項６または７に記載の多層管状成形体の製造方法。
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