JP7181176B2 - 排気システムおよび排気方法 - Google Patents
排気システムおよび排気方法 Download PDFInfo
- Publication number
- JP7181176B2 JP7181176B2 JP2019186629A JP2019186629A JP7181176B2 JP 7181176 B2 JP7181176 B2 JP 7181176B2 JP 2019186629 A JP2019186629 A JP 2019186629A JP 2019186629 A JP2019186629 A JP 2019186629A JP 7181176 B2 JP7181176 B2 JP 7181176B2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- gas
- exhaust
- line
- buffer tank
- valve
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Active
Links
Images
Classifications
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B01—PHYSICAL OR CHEMICAL PROCESSES OR APPARATUS IN GENERAL
- B01F—MIXING, e.g. DISSOLVING, EMULSIFYING OR DISPERSING
- B01F23/00—Mixing according to the phases to be mixed, e.g. dispersing or emulsifying
- B01F23/10—Mixing gases with gases
- B01F23/19—Mixing systems, i.e. flow charts or diagrams; Arrangements, e.g. comprising controlling means
-
- F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
- F01—MACHINES OR ENGINES IN GENERAL; ENGINE PLANTS IN GENERAL; STEAM ENGINES
- F01N—GAS-FLOW SILENCERS OR EXHAUST APPARATUS FOR MACHINES OR ENGINES IN GENERAL; GAS-FLOW SILENCERS OR EXHAUST APPARATUS FOR INTERNAL COMBUSTION ENGINES
- F01N3/00—Exhaust or silencing apparatus having means for purifying, rendering innocuous, or otherwise treating exhaust
- F01N3/08—Exhaust or silencing apparatus having means for purifying, rendering innocuous, or otherwise treating exhaust for rendering innocuous
- F01N3/10—Exhaust or silencing apparatus having means for purifying, rendering innocuous, or otherwise treating exhaust for rendering innocuous by thermal or catalytic conversion of noxious components of exhaust
- F01N3/18—Exhaust or silencing apparatus having means for purifying, rendering innocuous, or otherwise treating exhaust for rendering innocuous by thermal or catalytic conversion of noxious components of exhaust characterised by methods of operation; Control
- F01N3/22—Control of additional air supply only, e.g. using by-passes or variable air pump drives
-
- F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
- F01—MACHINES OR ENGINES IN GENERAL; ENGINE PLANTS IN GENERAL; STEAM ENGINES
- F01N—GAS-FLOW SILENCERS OR EXHAUST APPARATUS FOR MACHINES OR ENGINES IN GENERAL; GAS-FLOW SILENCERS OR EXHAUST APPARATUS FOR INTERNAL COMBUSTION ENGINES
- F01N13/00—Exhaust or silencing apparatus characterised by constructional features ; Exhaust or silencing apparatus, or parts thereof, having pertinent characteristics not provided for in, or of interest apart from, groups F01N1/00 - F01N5/00, F01N9/00, F01N11/00
- F01N13/08—Other arrangements or adaptations of exhaust conduits
- F01N13/087—Other arrangements or adaptations of exhaust conduits having valves upstream of silencing apparatus for by-passing at least part of exhaust directly to atmosphere
-
- F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
- F01—MACHINES OR ENGINES IN GENERAL; ENGINE PLANTS IN GENERAL; STEAM ENGINES
- F01N—GAS-FLOW SILENCERS OR EXHAUST APPARATUS FOR MACHINES OR ENGINES IN GENERAL; GAS-FLOW SILENCERS OR EXHAUST APPARATUS FOR INTERNAL COMBUSTION ENGINES
- F01N3/00—Exhaust or silencing apparatus having means for purifying, rendering innocuous, or otherwise treating exhaust
-
- F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
- F01—MACHINES OR ENGINES IN GENERAL; ENGINE PLANTS IN GENERAL; STEAM ENGINES
- F01N—GAS-FLOW SILENCERS OR EXHAUST APPARATUS FOR MACHINES OR ENGINES IN GENERAL; GAS-FLOW SILENCERS OR EXHAUST APPARATUS FOR INTERNAL COMBUSTION ENGINES
- F01N3/00—Exhaust or silencing apparatus having means for purifying, rendering innocuous, or otherwise treating exhaust
- F01N3/08—Exhaust or silencing apparatus having means for purifying, rendering innocuous, or otherwise treating exhaust for rendering innocuous
- F01N3/10—Exhaust or silencing apparatus having means for purifying, rendering innocuous, or otherwise treating exhaust for rendering innocuous by thermal or catalytic conversion of noxious components of exhaust
- F01N3/24—Exhaust or silencing apparatus having means for purifying, rendering innocuous, or otherwise treating exhaust for rendering innocuous by thermal or catalytic conversion of noxious components of exhaust characterised by constructional aspects of converting apparatus
- F01N3/30—Arrangements for supply of additional air
-
- G—PHYSICS
- G03—PHOTOGRAPHY; CINEMATOGRAPHY; ANALOGOUS TECHNIQUES USING WAVES OTHER THAN OPTICAL WAVES; ELECTROGRAPHY; HOLOGRAPHY
- G03F—PHOTOMECHANICAL PRODUCTION OF TEXTURED OR PATTERNED SURFACES, e.g. FOR PRINTING, FOR PROCESSING OF SEMICONDUCTOR DEVICES; MATERIALS THEREFOR; ORIGINALS THEREFOR; APPARATUS SPECIALLY ADAPTED THEREFOR
- G03F7/00—Photomechanical, e.g. photolithographic, production of textured or patterned surfaces, e.g. printing surfaces; Materials therefor, e.g. comprising photoresists; Apparatus specially adapted therefor
- G03F7/70—Microphotolithographic exposure; Apparatus therefor
- G03F7/708—Construction of apparatus, e.g. environment aspects, hygiene aspects or materials
- G03F7/70858—Environment aspects, e.g. pressure of beam-path gas, temperature
-
- G—PHYSICS
- G05—CONTROLLING; REGULATING
- G05D—SYSTEMS FOR CONTROLLING OR REGULATING NON-ELECTRIC VARIABLES
- G05D11/00—Control of flow ratio
- G05D11/02—Controlling ratio of two or more flows of fluid or fluent material
-
- H—ELECTRICITY
- H05—ELECTRIC TECHNIQUES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- H05G—X-RAY TECHNIQUE
- H05G2/00—Apparatus or processes specially adapted for producing X-rays, not involving X-ray tubes, e.g. involving generation of a plasma
- H05G2/001—X-ray radiation generated from plasma
- H05G2/003—X-ray radiation generated from plasma being produced from a liquid or gas
- H05G2/005—X-ray radiation generated from plasma being produced from a liquid or gas containing a metal as principal radiation generating component
-
- F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
- F01—MACHINES OR ENGINES IN GENERAL; ENGINE PLANTS IN GENERAL; STEAM ENGINES
- F01N—GAS-FLOW SILENCERS OR EXHAUST APPARATUS FOR MACHINES OR ENGINES IN GENERAL; GAS-FLOW SILENCERS OR EXHAUST APPARATUS FOR INTERNAL COMBUSTION ENGINES
- F01N2410/00—By-passing, at least partially, exhaust from inlet to outlet of apparatus, to atmosphere or to other device
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01M—PROCESSES OR MEANS, e.g. BATTERIES, FOR THE DIRECT CONVERSION OF CHEMICAL ENERGY INTO ELECTRICAL ENERGY
- H01M8/00—Fuel cells; Manufacture thereof
- H01M8/06—Combination of fuel cells with means for production of reactants or for treatment of residues
- H01M8/0662—Treatment of gaseous reactants or gaseous residues, e.g. cleaning
-
- H—ELECTRICITY
- H05—ELECTRIC TECHNIQUES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- H05G—X-RAY TECHNIQUE
- H05G2/00—Apparatus or processes specially adapted for producing X-rays, not involving X-ray tubes, e.g. involving generation of a plasma
- H05G2/001—X-ray radiation generated from plasma
- H05G2/008—X-ray radiation generated from plasma involving a beam of energy, e.g. laser or electron beam in the process of exciting the plasma
-
- Y—GENERAL TAGGING OF NEW TECHNOLOGICAL DEVELOPMENTS; GENERAL TAGGING OF CROSS-SECTIONAL TECHNOLOGIES SPANNING OVER SEVERAL SECTIONS OF THE IPC; TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC CROSS-REFERENCE ART COLLECTIONS [XRACs] AND DIGESTS
- Y02—TECHNOLOGIES OR APPLICATIONS FOR MITIGATION OR ADAPTATION AGAINST CLIMATE CHANGE
- Y02E—REDUCTION OF GREENHOUSE GAS [GHG] EMISSIONS, RELATED TO ENERGY GENERATION, TRANSMISSION OR DISTRIBUTION
- Y02E60/00—Enabling technologies; Technologies with a potential or indirect contribution to GHG emissions mitigation
- Y02E60/30—Hydrogen technology
- Y02E60/50—Fuel cells
-
- Y—GENERAL TAGGING OF NEW TECHNOLOGICAL DEVELOPMENTS; GENERAL TAGGING OF CROSS-SECTIONAL TECHNOLOGIES SPANNING OVER SEVERAL SECTIONS OF THE IPC; TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC CROSS-REFERENCE ART COLLECTIONS [XRACs] AND DIGESTS
- Y02—TECHNOLOGIES OR APPLICATIONS FOR MITIGATION OR ADAPTATION AGAINST CLIMATE CHANGE
- Y02T—CLIMATE CHANGE MITIGATION TECHNOLOGIES RELATED TO TRANSPORTATION
- Y02T10/00—Road transport of goods or passengers
- Y02T10/10—Internal combustion engine [ICE] based vehicles
- Y02T10/12—Improving ICE efficiencies
Description
一態様では、前記バッファタンクの円筒形状部は、その上端から下端に向かって徐々に大きくなる直径を有する円錐台形状部として形成されている。
一態様では、前記制御部は、前記初期排気動作中に、前記希釈ガス導入バルブをさらに開く。
一態様では、前記排ガスは、EUV露光装置から排出される排ガスである。
一態様では、前記排ガスは、EUV露光装置から排出される排ガスである。
さらに、本発明によれば、バッファタンクから排出される排ガスの流れを妨げる機器を出口ラインに設ける必要がないので、バッファタンクの上流側に設けられた機器に過大な背圧がかかることが防止される。
図1は、一実施形態に係る排気システムを示す模式図である。この排気システム1は、排ガスに含まれる大量の水素ガスを爆発下限界(4%)以下の濃度に希釈して大気放出するシステムである。図1に示す例では、排気システム1は、EUV露光装置50から排出された排ガスを処理する排ガス処理装置52が停止したときに、該排ガスに含まれる大量の水素ガスを大気に放出可能な爆発下限界以下の濃度に希釈する緊急排気システムとして機能する。しかしながら、本発明は、図1に示す例に限定されない。例えば、排気システム1を、水素ガス製造プラント、水素ガス貯蔵所、および水素ガス充填所などの大量の水素ガスを取り扱う設備に設けてもよい。この場合、設備から大量の水素ガスを排出する際に、排気システム1を用いて、水素ガスを爆発下限界以下の濃度まで希釈してから大気放出する。
(1)バッファタンク5の容積:800L
(2)バッファタンク5の本体5aの高さ(鉛直方向の長さ):1350mm
(3)入口ライン2に導入される排ガスの流量:
(a)0-5[sec]→810[slm]
(b)5-25[sec]→250[slm]
(4)排ガスに含まれる水素ガスの流量:
(a)0-5[sec]→560[slm]
(b)5-25[sec]→172.8[slm]
(5)排ガスに含まれる窒素ガスの流量:
(a)0-5[sec]→250[slm]
(b)5-25[sec]→77.2[slm]
(6)パージガス(窒素ガス)の流量:2[slm]
(7)希釈ガスの流量:600[slm]
(8)出口ライン7の末端:大気開放
出口ライン7の末端が大気開放されるため、排ガスが導入される前のバッファタンク5内のガスの圧力は、大気圧である。
(1)窒素ガスは水素ガスよりも重い(すなわち、窒素ガスは、水素ガスよりも大きな比重を有する)ので、窒素ガスが充填されたバッファタンク5内の水素ガスの浮力は、排ガスに含まれる窒素ガスの浮力よりも大きい。
(2)水素ガスと窒素ガスとを含む排ガスを、バッファタンク5の接線方向に導入して、排ガスの旋回流を形成すると、水素ガスの浮力と窒素ガスの浮力との差に起因して、窒素ガスが水素ガスよりも先にバッファタンク5の下部に向かって移動(拡散)する。
(3)その結果、バッファタンク5内での水素ガスの鉛直方向下向きの拡散が妨げられる。
2 入口ライン
5 バッファタンク
6 案内板
7 出口ライン
10 バイパスライン
11 入口バルブ
12 第1出口バルブ
15 水素排出ライン
16 第2出口バルブ
17 希釈ライン
18 バイパスバルブ
19 希釈ガス導入バルブ
21 パージライン
25 制御装置
50 EUV露光装置
51 ドライポンプ
52 排ガス処理装置
55 排気ライン
57 主バルブ
Claims (9)
- 水素ガスを含む排ガスが流れる排気ラインに接続される排気システムであって、
前記排気ラインから分岐し、入口バルブが配置された入口ラインと、
前記入口ラインに連結され、円筒形状部を有するバッファタンクと、
前記バッファタンクの下部に連結され、第1出口バルブが配置された出口ラインと、
前記入口ラインを前記出口ラインに連結し、バイパスバルブが配置されたバイパスラインと、
前記バッファタンクの上部から前記パイパスラインまたは前記出口ラインまで延び、第2出口バルブが配置された水素排出ラインと、
前記バッファタンクにパージガスを供給するパージラインと、
前記出口ラインに連結され、希釈ガス導入バルブが配置された希釈ガスラインと、
前記入口バルブ、前記第1出口バルブ、前記第2出口バルブ、前記バイパスバルブ、および前記希釈ガス導入バルブの動作を制御する制御装置と、を備え、
前記バイパスラインは、前記入口ラインで前記入口バルブの上流側に設けられた分岐点から延びて、前記第1出口バルブの下流側に設けられた連結点で前記出口ラインに連結され、
前記入口ラインは、前記バッファタンクの接線方向に前記排ガスを導入するように、前記円筒形状部の上部に連結され、
前記制御装置は、
前記排気ラインに配置された主バルブが閉じられると、前記入口バルブ、および前記第1出口バルブを少なくとも開く、初期排気動作を実行し、
前記初期排気動作を所定時間実行した後で、前記入口バルブおよび前記第1出口バルブを閉じて、前記バイパスバルブ、前記第2出口バルブ、および前記希釈ガス導入バルブを開く水素排気動作を実行することを特徴とする排気システム。 - 前記バッファタンクの内周面には、螺旋状に延びる案内板が配置されていることを特徴とする請求項1に記載の排気システム。
- 前記バッファタンクの円筒形状部は、その上端から下端に向かって徐々に大きくなる直径を有する円錐台形状部として形成されていることを特徴とする請求項1または2に記載の排気システム。
- 前記制御部は、前記初期排気動作中に、前記希釈ガス導入バルブをさらに開くことを特徴とする請求項1乃至3のいずれか一項に記載の排気システム。
- 前記排ガスは、EUV露光装置から排出される排ガスであることを特徴とする請求項1乃至4のいずれか一項に記載の排気システム。
- 主バルブが配置された排気ラインを流れる排ガスに含まれる水素ガスを不活性ガスで爆発下限界以下の濃度まで希釈して排気する方法であって、
前記主バルブが閉じられると、前記排気ラインを流れる排ガスをバッファタンクの接線方向に導入して、該バッファタンク内に排ガスの旋回流を形成しつつ、前記バッファタンクの下部から前記排ガスに含まれる水素ガスよりも重いガスを排出する初期排気動作を実行し、
前記初期排気動作を所定時間実行した後で、前記バッファタンクにパージラインを介して供給されるパージガスの流量に応じて、前記バッファタンクの上部から前記水素ガスを排出する水素排気動作を実行することを特徴とする方法。 - 前記初期排気動作は、
前記排気ラインから分岐する入口ラインに配置される入口バルブと、前記バッファタンクの下部に連結された出口ラインに配置された第1出口バルブと、を開く動作であり、
前記水素排気動作は、前記入口バルブおよび前記第1出口バルブを閉じて、前記入口ラインを前記出口ラインに連結するバイパスラインに配置されたバイパスバルブと、前記バッファタンクの上部から前記バイパスラインまたは前記出口ラインまで延びる水素排出ラインに配置された第2出口バルブと、前記出口ラインに連結された希釈ガスラインに配置された希釈ガス導入バルブと、を開く動作であることを特徴とする請求項6に記載の方法。 - 前記初期排気動作中に、前記希釈ガス導入バルブをさらに開くことを特徴とする請求項7に記載の方法。
- 前記排ガスは、EUV露光装置から排出される排ガスであることを特徴とする請求項6乃至8のいずれか一項に記載の方法。
Priority Applications (4)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2019186629A JP7181176B2 (ja) | 2019-10-10 | 2019-10-10 | 排気システムおよび排気方法 |
US17/061,899 US11090619B2 (en) | 2019-10-10 | 2020-10-02 | Exhaust system and exhaust method |
NL2026632A NL2026632B1 (en) | 2019-10-10 | 2020-10-06 | Exhaust System and Exhaust Method |
TW109134604A TW202123362A (zh) | 2019-10-10 | 2020-10-06 | 排氣系統及排氣方法 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2019186629A JP7181176B2 (ja) | 2019-10-10 | 2019-10-10 | 排気システムおよび排気方法 |
Publications (3)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2021062316A JP2021062316A (ja) | 2021-04-22 |
JP2021062316A5 JP2021062316A5 (ja) | 2022-05-30 |
JP7181176B2 true JP7181176B2 (ja) | 2022-11-30 |
Family
ID=74095999
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2019186629A Active JP7181176B2 (ja) | 2019-10-10 | 2019-10-10 | 排気システムおよび排気方法 |
Country Status (4)
Country | Link |
---|---|
US (1) | US11090619B2 (ja) |
JP (1) | JP7181176B2 (ja) |
NL (1) | NL2026632B1 (ja) |
TW (1) | TW202123362A (ja) |
Families Citing this family (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
GB2561899B (en) | 2017-04-28 | 2020-11-04 | Edwards Ltd | Vacuum pumping system |
JPWO2022210979A1 (ja) | 2021-03-31 | 2022-10-06 |
Citations (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
KR100778566B1 (ko) | 2006-08-08 | 2007-11-22 | 현대자동차주식회사 | 연료전지 차량의 수소 안전 배기 시스템 |
US20110192139A1 (en) | 2010-02-11 | 2011-08-11 | Agency For Defense Development | Hydrogen combustion system with closed-cycle recycling of exhaust gas and method thereof |
CN109004252A (zh) | 2018-07-30 | 2018-12-14 | 苏州就是能源科技有限公司 | 一种氢能尾气处理装置 |
JP2019027776A (ja) | 2017-08-03 | 2019-02-21 | 株式会社荏原製作所 | 排ガス処理装置 |
Family Cites Families (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH0815528B2 (ja) * | 1991-10-30 | 1996-02-21 | 株式会社荏原製作所 | ガス中の水素の除去方法及び装置 |
JPH1147550A (ja) | 1997-08-01 | 1999-02-23 | Ebara Corp | 排ガス処理方法 |
JP6751163B2 (ja) | 2017-01-30 | 2020-09-02 | ギガフォトン株式会社 | 極端紫外光生成装置 |
TWI754084B (zh) * | 2017-08-03 | 2022-02-01 | 日商荏原製作所股份有限公司 | 排氣處理裝置 |
-
2019
- 2019-10-10 JP JP2019186629A patent/JP7181176B2/ja active Active
-
2020
- 2020-10-02 US US17/061,899 patent/US11090619B2/en active Active
- 2020-10-06 TW TW109134604A patent/TW202123362A/zh unknown
- 2020-10-06 NL NL2026632A patent/NL2026632B1/en active
Patent Citations (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
KR100778566B1 (ko) | 2006-08-08 | 2007-11-22 | 현대자동차주식회사 | 연료전지 차량의 수소 안전 배기 시스템 |
US20110192139A1 (en) | 2010-02-11 | 2011-08-11 | Agency For Defense Development | Hydrogen combustion system with closed-cycle recycling of exhaust gas and method thereof |
JP2019027776A (ja) | 2017-08-03 | 2019-02-21 | 株式会社荏原製作所 | 排ガス処理装置 |
CN109004252A (zh) | 2018-07-30 | 2018-12-14 | 苏州就是能源科技有限公司 | 一种氢能尾气处理装置 |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
US11090619B2 (en) | 2021-08-17 |
TW202123362A (zh) | 2021-06-16 |
NL2026632A (en) | 2021-05-31 |
US20210106955A1 (en) | 2021-04-15 |
JP2021062316A (ja) | 2021-04-22 |
NL2026632B1 (en) | 2021-10-14 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
JP7181176B2 (ja) | 排気システムおよび排気方法 | |
US10468146B2 (en) | Combustion controller for combustible gas | |
US6234787B1 (en) | Combustion type harmful substance removing apparatus | |
JP2008520435A5 (ja) | ||
KR102537741B1 (ko) | 배출 가스 처리 장치 | |
KR20100138906A (ko) | 제조 프로세스들로부터의 가연성 폐기물 가스들을 처리하기 위한 시스템 및 방법 | |
JP5540035B2 (ja) | ガス処理装置 | |
CN206868010U (zh) | 一种用于VOCs治理技术的安全防护装置 | |
WO2009110611A1 (ja) | 表面処理装置 | |
US6688020B2 (en) | Substrate processing apparatus | |
JP3563950B2 (ja) | 水素含有排ガス処理装置 | |
KR20130096877A (ko) | 과불화화합물의 분리 및 재활용시스템 | |
JP6209786B2 (ja) | 排気ガス処理システム | |
US20220344889A1 (en) | Apparatus and method for reducing thermal blooming in an optical subsystem of a high energy laser | |
JP2005331309A (ja) | 排気ガス測定装置 | |
JP2022042602A (ja) | 水素希釈装置および水素希釈方法 | |
JP2019152484A (ja) | フィルタベント設備、フィルタベント方法及び原子力プラント | |
CN216979019U (zh) | 一种氢气稀释调压系统和氢燃料电池测试台架 | |
US20210232054A1 (en) | Exhaust System with U-Shaped Pipes | |
JP2023523563A (ja) | 可燃性ガスの希釈 | |
JP2006142185A (ja) | 可燃・爆発性ガス消滅装置および可燃・爆発性ガス消滅システム | |
JP2006038023A (ja) | 水封機構 | |
JP2023014441A (ja) | フレアガス燃焼処理システム | |
JPS6152725B2 (ja) | ||
JPS5849017B2 (ja) | 半導体用高圧拡散、酸化装置 |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20220520 |
|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20220520 |
|
A871 | Explanation of circumstances concerning accelerated examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A871 Effective date: 20220520 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20220726 |
|
A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20220920 |
|
TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20221025 |
|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20221117 |
|
R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
Ref document number: 7181176 Country of ref document: JP Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 |