JP7166198B2 - ハニカム構造体 - Google Patents
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Description
特許文献2によれば、Crと、Siの拡散係数がCrよりも高い金属元素とを少なくとも含有し、熱膨張係数が11×10-6/℃以下の金属を、Siを含む化合物からなるセラミック体の表面に配設した状態で加熱することにより、上記セラミック体の表面に上記金属体を接合形成すると共に、該金属体と上記セラミック体との接合界面に、SiとCrと上記金属の元素とを含有する拡散接合領域が形成される。
外周側壁と、外周側壁の内側に配設され、一方の底面から他方の底面まで流路を形成する複数のセルを区画形成する隔壁とを有する柱状のハニカム構造部、及び、当該柱状のハニカム構造部の外周側壁の外面に、少なくとも一つの電極部を備え、
柱状のハニカム構造部は、Si及びSiCの一方又は両方を含有するセラミックスで形成されており、
電極部は、酸化物に加えて、金属及び金属化合物の一方又は両方を含有し、
電極部の内周側における酸化物の体積割合は、電極部の外周側における酸化物の体積割合よりも高い、
ハニカム構造体。
[2]
電極部の内周側における酸化物の体積割合と、電極部の外周側における酸化物の体積割合の差が5%以上である[1]に記載のハニカム構造体。
[3]
電極部の内周側における酸化物の体積割合が65%以上である[1]又は[2]に記載のハニカム構造体。
[4]
電極部の外周側における酸化物の体積割合が80%以下である[1]~[3]の何れか一項に記載のハニカム構造体。
[5]
電極部の平均厚みが25~300μmである[1]~[4]の何れか一項に記載のハニカム構造体。
[6]
電極部は、B、Mg、Al、Si、P、Ti及びZrよりなる群から選択される一種又は二種以上の元素の酸化物を含有する[1]~[5]の何れか一項に記載のハニカム構造体。
[7]
電極部は、Mg、Al及びSiよりなる群から選択される一種又は二種以上の元素の酸化物を含有する[6]に記載のハニカム構造体。
[8]
電極部内の酸化物の少なくとも一部が結晶質である[1]~[7]の何れか一項に記載のハニカム構造体。
[9]
電極部が含有する金属及び金属化合物の一方又は両方は、ステンレス鋼、ニッケル-クロム合金、TaC、TiN及びZrB2よりなる群から選択される一種又は二種以上である[1]~[8]の何れか一項に記載のハニカム構造体。
[10]
電極部が含有する金属及び金属化合物の一方又は両方は、アスペクト比が2~100である扁平状の金属及び/又は金属化合物の粒子を含む[1]~[9]の何れか一項に記載のハニカム構造体。
[11]
通電抵抗が40Ω以下である[1]~[10]の何れか一項に記載のハニカム構造体。
[12]
柱状のハニカム構造部における酸化物の体積割合が、電極部の内周側における酸化物の体積割合よりも低い[1]~[11]の何れか一項に記載のハニカム構造体。
[13]
柱状のハニカム構造部における酸化物の体積割合が、35%以下である[1]~[12]の何れか一項に記載のハニカム構造体。
[14]
柱状のハニカム構造部における金属珪素の体積割合が20%以上である[1]~[13]の何れか一項に記載のハニカム構造体。
図1は、本発明に係るハニカム構造体の一実施形態を概略的に示す斜視図である。図2は、本発明に係るハニカム構造体の一実施形態の外周側壁と電極部の接合状態を説明する断面模式図である。本発明のハニカム構造体100は一実施形態において、外周側壁112と、外周側壁112の内側に配設され、一方の底面114から他方の底面116まで貫通して流路を形成する複数のセルを区画形成する隔壁118とを有する柱状のハニカム構造部110、及び、前記柱状のハニカム構造部110の外周側壁112の外面に接合された少なくとも一つの電極部120を備える。電極部120は、酸化物の体積割合の高い内周側120aと、酸化物の体積割合の低い外周側120bを有する。
柱状のハニカム構造部は、電気加熱に有利であるため、Si(金属珪素)及びSiC(炭化珪素)の一方又は両方を含有するセラミックスで形成される。Si及びSiCの一方又は両方を含有するセラミックスとしては、例えば、珪素-炭化珪素複合材、珪素-酸化物複合材料、炭化珪素-酸化物複合材料、及び珪素-炭化珪素-窒化珪素複合材料が挙げられる。なお、本発明においては、Siのみで柱状のハニカム構造部が形成される場合も、焼結体である限りセラミックスと呼ぶことにする。
本実施形態に係るハニカム構造体100は、柱状のハニカム構造部110の外周側壁112の外面に接合された少なくとも一つの電極部120を備える。好ましい実施形態においては、一対の電極部120が、ハニカム構造部110の中心軸を挟んで、ハニカム構造部110の外周側壁112の外面にセルの流路方向に帯状に延設される。これにより、ハニカム構造体100は、一対の電極部120間に電圧を印加した時に、ハニカム構造部110内を流れる電流の偏りを抑制することができ、ハニカム構造部110内の温度分布の偏りを抑制することができる。電極部120には、端子の接続を容易にするための端子接続部122を設けてもよい。
本発明において、ハニカム構造部の酸化物、Si(金属珪素)及びSiC(炭化珪素)の体積割合は以下の手順で測定する。まず、SEM(走査型電子顕微鏡)を用いて、500倍(1280×960ピクセル)の視野(約190μm×250μm)で、ハニカム構造部をセルの流路方向に直交する断面で撮像し、エネルギー分散型X線分析装置(EDS)を用いて酸素元素、珪素元素及び炭素元素のマッピングを実施し、酸素検出部から酸化物を、珪素のみを検出した箇所から金属珪素(Si)を、そして、珪素及び炭素を検出した箇所から炭化珪素(SiC)を特定する。
次に、本発明のハニカム構造体を製造する方法について例示的に説明する。但し、本発明のハニカム構造体の製造方法については、以下に説明する製造方法に限定されることはない。
本発明のハニカム構造体の製造方法は一実施形態において、焼成されたハニカム構造部を得る工程と、該ハニカム構造部の外周側壁の外面に電極部の内周側形成用ペースト又はスラリーを塗布する工程と、電極部の内周側形成用ペースト又はスラリーを焼成して電極部の内周側を形成する工程と、電極部の内周側の上に電極部の外周側形成用ペースト又はスラリーを塗布する工程と、電極部の外周側形成用ペースト又はスラリーを焼成して電極部の外周側を形成する工程とを含む。
また、本発明のハニカム構造体の製造方法は別の一実施形態において、焼成されたハニカム構造部を得る工程と、該ハニカム構造部の外周側壁の外面に電極部の内周側形成用ペースト又はスラリーを塗布する工程と、電極部の内周側形成用ペースト又はスラリーの上に電極部の外周側形成用ペースト又はスラリーを塗布する工程と、電極部の内周側形成用ペースト又はスラリー及び電極部の外周側形成用ペースト又はスラリーを焼成して電極部の内周側及び電極部の外周側を同時に形成する工程とを含む。
また、本発明のハニカム構造体の製造方法は更に別の一実施形態において、ハニカム成形体を得る工程と、該ハニカム成形体の外周側壁の外面に電極部の内周側形成用ペースト又はスラリーを塗布する工程と、電極部の内周側形成用ペースト又はスラリーの上に電極部の外周側形成用ペースト又はスラリーを塗布する工程と、ハニカム成形体、電極部の内周側形成用ペースト又はスラリー、及び電極部の外周側形成用ペースト又はスラリーを焼成して、焼成されたハニカム構造部、電極部の内周側及び電極部の外周側を同時に形成する工程とを含む。
焼成されたハニカム構造部を得る工程について説明する。本工程は、柱状のハニカム構造部の前駆体であるハニカム成形体を作製し、これを焼成することによって行われる。ハニカム成形体の作製は、公知のハニカム構造体の製造方法におけるハニカム成形体の作製方法に準じて行うことができる。例えば、まず、炭化珪素粉末(炭化珪素)及び金属珪素粉末(金属珪素)等のセラミックス原料の他に、バインダ、界面活性剤、造孔材、水等を混合して成形原料を作製する。セラミックス原料の平均粒子径は、例えば3~50μmとすることができる。セラミックス原料の平均粒子径はレーザー回折法で粒度の頻度分布を測定したときの、体積基準による算術平均径を指す。
電極部の内周側形成用ペースト又はスラリーの塗布工程について説明する。まず、結晶化ガラス等の酸化物粉末にバインダ、界面活性剤、水等を添加し、混練することにより電極部の内周側形成用ペースト又はスラリーを作製する。必要に応じて金属粉末及び金属化合物粉末の一方又は両方を添加してもよい。酸化物粉末の平均粒子径、金属粉末の平均粒子径及び金属化合物粉末の平均粒子径はそれぞれ、例えば1~50μmとすることができる。これらの平均粒子径はレーザー回折法で粒度の頻度分布を測定したときの、体積基準による算術平均径を指す。また、金属粉末及び金属化合物粉末の一方又は両方を添加する場合は、扁平状の金属及び/又は金属化合物の粒子が含まれるように添加することが望ましい。
電極部の内周側形成用ペースト又はスラリーを塗布後、電極部の内周側形成用ペースト又はスラリーを焼成する。焼成の前に、バインダ等を除去するため、仮焼成を行ってもよい。焼成条件としては、窒素、アルゴン、真空等の不活性雰囲気において、950~1300℃で、10分~120分加熱することが好ましい。
電極部の外周側形成用ペースト又はスラリーの塗布工程について説明する。まず、金属粉末及び金属化合物粉末の一方又は両方に、バインダ、界面活性剤、水等を添加し、混練することにより電極の外周側形成用ペースト又はスラリーを作製する。必要に応じて結晶化ガラス等の酸化物粉末を添加してもよい。酸化物粉末の平均粒子径、金属粉末の平均粒子径及び金属化合物粉末の平均粒子径はそれぞれ、例えば1~50μmとすることができる。これらの平均粒子径はレーザー回折法で粒度の頻度分布を測定したときの、体積基準による算術平均径を指す。金属粉末及び金属化合物粉末の一方又は両方は、扁平状である金属粉末及び金属化合物粉末の一方又は両方を含有することが望ましい。
電極部の外周側形成用ペースト又はスラリーを塗布後、電極部の外周側形成用ペースト又はスラリーを焼成する。焼成の前に、バインダ等を除去するため、仮焼成を行ってもよい。焼成条件としては、窒素、アルゴン、真空等の不活性雰囲気において、950~1300℃で、10分~120分加熱することが好ましい。
(1)ハニカム構造部の作製
炭化珪素(SiC)粉末、金属珪素(Si)粉末、及び酸化物粉末(アルミナ、シリカの混合物)を試験番号に応じて表1-1に記載の体積組成となるように混合してセラミックス原料とし、これにバインダ、界面活性剤、造孔剤、及び水を添加して成形原料を作製した。成形原料を混練して坏土を作製した後、各セルの断面形状が正方形の円柱状のハニカム成形体を押出成形により得た。ハニカム成形体を乾燥後、脱脂及び焼成して各試験例に係るハニカム構造部を作製した。
次に、ガラス粉末、ステンレス(SUS430)粉末、Mo粉末、TaC粉末、TiN粉末、及びSiC粉末を、試験番号に応じて表1-2に記載の体積組成となるように混合し、水を添加して撹拌し、電極部内周側形成用スラリーを作製した。
水の含有量はガラス粉末、ステンレス粉末、Mo粉末、TaC粉末、TiN粉末、及びSiC粉末の合計を100質量部としたときに300質量部とした。
ガラスとしてはMgO-SiO2-Al2O3-B2O3からなる結晶化ガラスを用いた。ガラス粉末の平均粒子径は1μm、ステンレス(SUS430)粉末の平均粒子径は10μm、Mo粉末の平均粒子径は6μm、TaC粉末の平均粒子径は1μm、TiN粉末の平均粒子径は1μm、SiC粉末の平均粒子径は2μmであった。
次に、試験番号に応じて電極部内周側形成用スラリーを、試験番号に応じて表1に記載の塗布厚みになるようにして、ハニカム構造部の側面(外周側壁の外面)に、セルの流路方向に直交する断面で観察したときの当該スラリーの中心角が50°になるように、ハニカム構造部の両底面間の全長に亘って帯状に2箇所塗布した。2箇所の電極部内周側形成用スラリーは、ハニカム構造部の中心軸を挟んで互いに反対側の位置関係となるように配置した。このとき塗布重量によって膜厚を調整した。
次に、ハニカム構造部に塗布した電極部内周側形成用スラリーを80℃で2時間乾燥した後、焼成した。焼成の条件は、真空雰囲気下、1100℃、30分とした。
次に、ガラス粉末、ステンレス(SUS430)粉末、Mo粉末、TaC粉末、TiN粉末、ZrB2粉末を、試験番号に応じて表1-2に記載の体積組成となるように混合し、これに、バインダとしてヒドロキシプロピルメチルセルロースを添加すると共に、水を添加して混練し、電極部外周側形成用スラリーを作製した。
水の含有量はガラス粉末、ステンレス粉末、Mo粉末、TaC粉末、TiN粉末、ZrB2粉末の合計を100質量部としたときに300質量部とした。
ガラスとしてはMgO-SiO2-Al2O3-B2O3からなる結晶化ガラスを用いた。ガラスの平均粒子径は1μm、ステンレス(SUS430)粉末の平均粒子径は10μm、Mo粉末の平均粒子径は6μm、TaC粉末の平均粒子径は1μm、TiN粉末の平均粒子径は1μm、ZrB2粉末の平均粒子径は1μmであった。
次に、試験番号に応じて電極部外周側形成用スラリーを、試験番号に応じて表1-2に記載の塗布厚みになるようにして、そして、それぞれの電極部の内周側全体を被覆するようにして塗布した。このとき塗布重量によって膜厚を調整した。
次に、ハニカム構造部に塗布した電極部外周側形成用スラリーを80℃で2時間乾燥した後、焼成した。焼成の条件は、真空雰囲気下、1100℃、30分とした。
以上の手順で、各試験例に係るハニカム構造体を作製した。なお、各試験例に係るハニカム構造体はそれぞれ、以下の各種評価に必要な数だけ用意した。
得られた各試験例に係るハニカム構造体は、底面が直径114mmの円形であり、セルの流路方向における長さが30mmである略円柱形状を有していた。
セルの流路方向に直交する断面における、セルの形状は、正方形であった。
ハニカム構造部における隔壁の厚みは127μmであった。
セル密度は、セルの流路方向に直交する断面において、62セル/cm2であった。
得られた各試験例に係るハニカム構造体について、電極部の外観を目視で確認し、以下の基準に従って評価した。結果を表1-3の「焼成後の外観」の「電極」の欄に示す。
A:電極部の外観に3mm以上の長さの不連続部(切れ)がなく、電極部が割れて基材が視認できる部分もない。
B:電極部の外観に3mm以上の長さの不連続部(切れ)がある、又は電極部が割れて基材が視認できる部分がある。
また、得られた各試験例に係るハニカム構造体について、電極部がハニカム構造部の外周側壁から剥離している部分の有無を目視で確認し、以下の基準に従って評価した。結果を表1-3の「焼成後の外観」の「電極-基材」の欄に示す。
A:剥離が確認できない。
B:少なくとも部分的に剥離が見られる。
得られた各試験例に係るハニカム構造体の一対の電極部に端子を接続して先述した測定条件で電圧を印加し、通電抵抗を測定した。結果を表1-3に示す。
得られた各試験例に係るハニカム構造体について、以下の体積割合を先述した方法で求めた。結果を表1-2、表1-3に示す。
・ハニカム構造部における酸化物、Si(金属珪素)及びSiC(炭化珪素)の体積割合・電極部の内周側における酸化物、並びに、金属及び金属化合物(金属酸化物を除く)の体積割合
・電極部の外周側における酸化物、並びに、金属及び金属化合物(金属酸化物を除く)の体積割合
SEM(走査型電子顕微鏡)は、日立ハイテクノロジーズ社製の型式S-3400Nを用いた。
エネルギー分散型X線分析装置(EDS)としては、HORIBA社製の型式EMAX EX-250を用いた。
画像解析ソフトとしては、Media Cybernetics社製の「Image-Pro Plus 7.0J(商品名)」を用いた。
得られた各試験例に係るハニカム構造体の電極部について、先述した方法で5箇所以上の厚みを測定し、平均厚みを算出した。SEM、EDS及び画像解析ソフトは上記と同様のものを用いた。結果を表1-3に示す。
<試験用ハニカム構造部の作製>
ハニカム構造部の構造を以下のように変更した他は、「(1)ハニカム構造部の作製」と同様の手順で、実施例1~34、比較例1~3に係るハニカム構造部を作製した(図5の(a)参照)。
外形:底面が一辺35mmの正方形であり、高さ(セルの流路方向における長さ)が100mmである略四角柱形状
セルの流路方向に直交する断面におけるセルの形状:正方形
ハニカム構造部における隔壁の厚み:300μm
セル密度:セルの流路方向に直交する断面において、47セル/cm2
「(2)電極部の内周側の形成」と同様の手順で、実施例1~34、比較例1~3に係る電極部内周側形成用スラリーを作製した。試験例毎に上記で作製した試験用ハニカム構造部を二つ用意し、それぞれの大きい方の側面に当該スラリーを表1-2に記載の塗布厚みで塗布面がφ10mmの円形状となるように塗布した。その後、電極部内周側形成用スラリーを80℃で2時間乾燥した後、真空雰囲気下、1100℃の加熱温度で、30分間焼成することにより、電極部内周側付きの試験用ハニカム構造部を二つ得た。
各試験例に係る試験用積層体の上下面に引張試験用の冶具を接着剤で取り付け、引張試験機(インストロン社製 型式5564)により、図6の矢印の方向における破壊強度を測定した。結果を表1-4に示す。破壊強度が2MPaであるというのは、破壊点がハニカム構造部と電極部の界面ではなく、ハニカム構造部の内部にあることを意味し、ハニカム構造部と電極部が高い接合強度を有することを示している。
各試験例に係る試験用積層体を常温(約25℃)から900℃に加熱して1時間保持し、その後冷却して常温(約25℃)で1時間保持する冷熱サイクルを1サイクルとして、50サイクル行った。その後、破壊強度を上述した初期破壊強度と同じ方法で測定した。また、このときの破壊点を顕微鏡で観察し、破壊点の場所がハニカム構造部の内部にあるか、それともハニカム構造部と電極部の間の界面にあるかを調査した。結果を表1-4に示す。
電極部外周側形成用スラリーに使用するステンレス(SUS430)粉末として、球状の粉末(平均粒子径10μm)と扁平状の粉末(平均粒子径30μm)の二種類を用意し、試験番号に応じて種々の体積比で混合して使用し、当該スラリー中のステンレス(SUS430)粉末及びガラス粉末の配合を試験番号に応じて表2に記載の体積組成となるように変え、スクリーン印刷によって塗布した他は、実施例1と同様の手順で、ハニカム構造部の作製、電極部の内周側の形成、及び電極部の外周側の形成を行い、各試験例に係るハニカム構造体を作製した。
110 ハニカム構造部
112 外周側壁
114 一方の底面
116 他方の底面
118 隔壁
120 電極部
120a 電極部の内周側
120b 電極部の外周側
122 端子接続部
130 端子
Claims (14)
- 外周側壁と、外周側壁の内側に配設され、一方の底面から他方の底面まで流路を形成する複数のセルを区画形成する隔壁とを有する柱状のハニカム構造部、及び、当該柱状のハニカム構造部の外周側壁の外面に、少なくとも一つの電極部を備え、
柱状のハニカム構造部は、Si及びSiCの一方又は両方を含有するセラミックスで形成されており、
電極部は、酸化物に加えて、金属及び金属化合物の一方又は両方を含有し、
電極部の内周側における酸化物の体積割合は、電極部の外周側における酸化物の体積割合よりも高く、電極部の内周側における酸化物の体積割合と、電極部の外周側における酸化物の体積割合の差が5%以上である、
ハニカム構造体。 - 電極部の内周側における酸化物の体積割合と、電極部の外周側における酸化物の体積割合の差が10%以上である請求項1に記載のハニカム構造体。
- 電極部の内周側における酸化物の体積割合が65%以上である請求項1又は2に記載のハニカム構造体。
- 電極部の外周側における酸化物の体積割合が80%以下である請求項1~3の何れか一項に記載のハニカム構造体。
- 電極部の平均厚みが25~300μmである請求項1~4の何れか一項に記載のハニカム構造体。
- 電極部は、B、Mg、Al、Si、P、Ti及びZrよりなる群から選択される一種又は二種以上の元素の酸化物を含有する請求項1~5の何れか一項に記載のハニカム構造体。
- 電極部は、Mg、Al及びSiよりなる群から選択される一種又は二種以上の元素の酸化物を含有する請求項6に記載のハニカム構造体。
- 電極部内の酸化物の少なくとも一部が結晶質である請求項1~7の何れか一項に記載のハニカム構造体。
- 電極部が含有する金属及び金属化合物の一方又は両方は、ステンレス鋼、ニッケル-クロム合金、TaC、TiN及びZrB2よりなる群から選択される一種又は二種以上である請求項1~8の何れか一項に記載のハニカム構造体。
- 電極部が含有する金属及び金属化合物の一方又は両方は、アスペクト比が2~100である扁平状の金属及び/又は金属化合物の粒子を含む請求項1~9の何れか一項に記載のハニカム構造体。
- 通電抵抗が40Ω以下である請求項1~10の何れか一項に記載のハニカム構造体。
- 柱状のハニカム構造部における酸化物の体積割合が、電極部の内周側における酸化物の体積割合よりも低い請求項1~11の何れか一項に記載のハニカム構造体。
- 柱状のハニカム構造部における酸化物の体積割合が、35%以下である請求項1~12の何れか一項に記載のハニカム構造体。
- 柱状のハニカム構造部における金属珪素の体積割合が20%以上である請求項1~13の何れか一項に記載のハニカム構造体。
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